KR20130125127A - 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법 - Google Patents

액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20130125127A
KR20130125127A KR1020120048638A KR20120048638A KR20130125127A KR 20130125127 A KR20130125127 A KR 20130125127A KR 1020120048638 A KR1020120048638 A KR 1020120048638A KR 20120048638 A KR20120048638 A KR 20120048638A KR 20130125127 A KR20130125127 A KR 20130125127A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
specific layer
camera
inspection object
liquid crystal
defective
Prior art date
Application number
KR1020120048638A
Other languages
English (en)
Inventor
김학용
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020120048638A priority Critical patent/KR20130125127A/ko
Publication of KR20130125127A publication Critical patent/KR20130125127A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1313—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/8858—Flaw counting
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/8861—Determining coordinates of flaws
    • G01N2021/8864—Mapping zones of defects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

액정표시장치용 불량 검사 장치가 개시된다.
본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사 장치는 검사 대상물이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 안착된 검사 대상물을 스캔하는 카메라와, 상기 카메라의 스캔 방향대로 이동하여 상기 검사 대상물의 특정 레이어의 두께 정보를 획득하는 변위 센서 및 상기 변위 센서에서 획득된 상기 특정 레이어의 두께 정보를 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집하여 상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 불량 위치 검출부를 포함한다.

Description

액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법{DEFECT INSPECTION APPARATUS FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND INSPECTING METHOD THEREOF}
본 발명은 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법에 관한 것으로, 특히 검사 대상물의 두께를 실시간으로 획득하여 불량을 검출하는 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점차 증가하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel:PDP), 전계발광 표시장치(Electro Luminescent Display: ELD), 진공 형광 표시장치(Vacuum Fluorescent Display: VFD) 등 여러 종류의 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 그 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.
상기와 같은 평판 표시 장치 중에서 액정표시장치는 두께가 얇고 가벼우며 화질이 우수함과 동시에 전력의 소비가 적어 종래의 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT)을 대체하여 사용되고 있는 추세이다. 특히, 상기 액정표시장치는 무게가 가벼워 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형 표시장치에도 많이 사용되고 있다.
상기 액정표시장치는 화상을 표시하는 액정패널과, 상기 액정패널에 구동 신호를 인가하는 구동부로 크게 구분되며, 상기 액정패널은 둘 사이에 소정의 공간이 마련되도록 상호 합착된 제1 및 제2 유리기판과, 두 기판 사이에 형성된 액정층으로 이루어진다.
공정 중에 발생할 수 있는 이물질 또는 스크래치 등에 의해 상기 액정패널이 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 액정패널 상에는 커버 글라스 및 보호 필름이 형성된다.
상부에 보호 필름이 부착된 커버 글라스 및 상기 액정패널은 합착기에 의해 합착된다. 상기 커버 글라스와 액정패널 사이에 공기층만 형성되는 경우 외부 광이 상기 커버 글라스를 통해 상기 공기층에 입사되면 상기 공기층은 상기 외부 광을 그대로 액정패널로 투과시켜 시인성을 저하시킬 수 있다.
따라서, 시인성 확보를 위해 상기 커버 글라스와 액정패널을 합착할 때 상기 커버 글라스와 액정패널 사이에 오버 코트 레진이 형성된다. 상기 오버 코트 레진은 상기 공기층에 비해 굴절률이 낮아 외부 광이 상기 오버 코트 레진으로 유입될 때 광을 반사시켜 시인성을 향상시킬 수 있다.
이와 같이, 상기 커버 글라스와 액정패널은 오버 코트 레진을 사이에 두고 합착된 상태로 불량 검사를 위한 공정을 진행하게 된다. 편의를 위해 상기 오버 코트 레진을 사이에 두고 합착된 커버 글라스와 액정패널은 검사 대상물로 설명하기로 한다.
상기 불량 검사 공정은 카메라의 고정된 심도를 이용하여 상기 검사 대상물의 특정 레이어에 초점을 맞춰 상기 특정 레이어의 불량 검사를 실시한다.
상기 불량 검사 공정에서 제1 카메라가 상기 검사 대상물의 오버 코트 레진에 초점을 맞춰 상기 오버 코트 레진과의 거리 정보를 획득하고, 제2 카메라가 상기 검사 대상물의 커버 글라스에 초점을 맞춰 상기 커버 글라스와의 거리 정보를 획득한다.
이어, 상기 거리 정보를 이용하여 상기 검사 대상물의 오버 코트 레진의 두께를 파악하고, 상기 파악된 오버 코트 레진의 두께가 상기 검사 대상물의 합착 공정시에 설정된 기준값에 대응되는지를 판단한 후 상기 오버 코트 레진의 불량 여부를 파악한다.
그러나, 공정 중에 발생할 수 있는 변수들(예를 들면, 이물질 등)로 인해 상기 검사 대상물 간 공차가 발생할 경우 고정된 심도를 갖는 카메라를 이용하여 상기 검사 대상물의 특정 레이어의 두께를 파악하기 곤란하며 상기 특정 레이어의 불량 여부 또한 판단할 수 없게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 변위 센서를 이용하여 카메라의 스캔 지점별로 검사 대상물의 두께 정보를 실시간으로 획득하여 상기 획득된 두께 정보를 통해 상기 검사 대상물의 불량 여부를 신속히 검출할 수 있는 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사 장치는 검사 대상물이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 안착된 검사 대상물을 스캔하는 카메라와, 상기 카메라의 스캔 방향대로 이동하여 상기 검사 대상물의 특정 레이어의 두께 정보를 획득하는 변위 센서 및 상기 변위 센서에서 획득된 상기 특정 레이어의 두께 정보를 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집하여 상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 불량 위치 검출부를 포함한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사 방법은 검사 대상물이 스테이지 상에 지지되는 단계와, 카메라를 이용하여 상기 스테이지 상에 지지되는 검사 대상물을 스캔하는 동시에 변위 센서를 이용하여 상기 검사 대상물 상에 레이저를 조사하여 상기 검사 대상물의 특정 레이어의 두께 정보를 획득하는 단계 및 상기 변위 센서를 통해 획득한 상기 특정 레이어의 두께 정보를 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집하여 상기 수집된 정보를 통해 상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 단계를 포함한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 불량 검사 방법은 검사 대상물을 스캔하는 카메라와 상기 카메라의 스캔 지점별로 상기 검사 대상물로 레이저를 조사하여 상기 검사 대상물의 두께 정보를 실시간으로 획득하는 변위 센서를 이용하여 신속하게 상기 검사 대상물의 불량 여부를 판단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 검사 대상물의 상세한 단면도를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 스테이지 상에 안착된 검사 대상물과 변위 센서를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1의 오버 코트 레진 내부에 이물질이 발생한 경우 스캔 지점별로 수집한 오버 코트 레진의 두께 정보를 나타낸 실험 데이터이다.
도 5는 도 1의 오버 코트 레진 상면에 이물질이 발생한 경우 스캔 지점별로 수집한 오버 코트 레진의 두께 정보를 나타낸 실험 데이터이다.
도 6은 본 발명에 의한 액정표시장치용 불량 검사 방법의 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사 장치(100)는 검사 대상물(110)이 안착되는 스테이지(120)와, 상기 스테이지(120)를 특정 방향으로 이동시키는 제1 이동 수단(190)을 구비한 프레임(130)과, 상기 제1 이동 수단(190)에 의해 이동된 검사 대상물(110)을 스캔하는 카메라 유닛(160)과, 상기 카메라 유닛(160)으로부터 획득된 정보를 이용하여 상기 검사 대상물(110)의 불량 위치를 실시간으로 검출하는 불량 위치 검출부(150) 및 상기 불량 위치 검출부(150)로부터 제공된 정보를 이용하여 작업자가 상기 검사 대상물(110)의 최종 불량 여부를 판단하는 불량 판정부(200)를 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사 장치(100)는 상기 프레임(130)과 상기 카메라 유닛(160)을 지지하는 지지대(140) 및 상기 제1 이동 수단(190)에 의해 상기 카메라 유닛(160)으로 이동하는 검사 대상물(110)로 광을 제공하는 조명 유닛(170) 및 상기 조명 유닛(170)을 지지하는 조명 지지부(180)를 더 포함한다.
이때, 상기 검사 대상물(110)은 도 2에 도시된 바와 같이, 액정표시모듈(110a)과, 오버 코트 레진(110b)과, 커버 글라스(110c) 및 보호 필름(110d)으로 이루어져 있다. 상기 액정표시모듈(110a)은 TFT 공정, C/F 공정, 셀 공정을 완료한 상태의 제품을 의미한다.
상기 액정표시모듈(110a)은 상기 불량 검사 장치(100)로 이송되기 전에 합착 공정을 통해 상기 보호 필름(110d)이 부착된 커버 글라스(110c)와 합착된다. 합착 공정에서 시인성 향상을 위해 상기 액정표시모듈(110a) 및 커버 글라스(110c) 사이에 감광성 물질인 오버 코트 레진(110b)이 형성된다.
이와 같은 합착 공정을 거친 검사 대상물(110)은 이송 로봇(도시하지 않음)에 의해 상기 액정표시장치용 불량 검사 장치(100)로 이송되어 상기 스테이지(120)에 안착된다.
상기 스테이지(120)에 안착된 검사 대상물(110)은 상기 스테이지(120)를 이동시키는 이동 수단(190)에 의해 상기 카메라 유닛(160)으로 이동한다.
상기 카메라 유닛(160)은 상기 검사 대상물(110)을 스캔하는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라(210) 및 상기 검사 대상물(110)로 레이저를 조사하여 상기 검사 대상물(110)의 특정 레이어의 위치를 실시간으로 센싱하는 변위 센서(220)를 포함한다. 이때, 상기 특정 레이어는 상기 오버 코트 레진(110b)을 의미한다.
또한, 상기 카메라 유닛(160)은 상기 CCD 카메라(210) 및 변위 센서(220)를 고정하는 고정부(230)와, 상기 고정부(230)와 결합되어 레일(250) 상에서 상기 고정부(230)를 좌우로 이동시키는 제2 이동 수단(240)을 더 포함한다.
상기 CCD 카메라(210)는 상기 검사 대상물(110)을 스캔하고 상기 검사 대상물(110)과 상기 CCD 카메라(210) 사이의 거리를 측정하여 상기 측정된 거리 정보를 상기 불량 위치 검출부(150)로 제공한다.
이때, 상기 조명 유닛(170)에서 조사된 빛이 상기 검사 대상물(110)을 거쳐 렌즈를 통해 상기 CCD 카메라(210)에 입사된다.
상기 변위 센서(220)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 검사 대상물(110)로 레이저를 조사하여 상기 검사 대상물(110)의 오버 코트 레진(110b)으로부터 반사되는 레이저를 수광하여 실시간으로 상기 특정 레이어의 두께 정보를 획득한다.
이때, 상기 검사 대상물(110)은 스테이지(120) 상에 안착되는데, 상기 검사 대상물(110)과 스테이지(120) 사이에는 복수의 에어 스프링(115)이 마련되어, 상기 스테이지(120)에서 발생되는 진동이 상기 검사 대상물(110)로 전달되는 것을 방지한다.
이와 같이, 상기 변위 센서(220)에서 획득한 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보는 상기 불량 위치 검출부(150)로 제공된다.
상기 불량 위치 검출부(150)는 상기 변위 센서(220)로부터 실시간으로 제공된 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보를 수집하고 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께가 변하는 부분을 검출하여 상기 오버 코트 레진(110b)의 불량 위치를 검출한다.
상기 변위 센서(220)가 상기 검사 대상물(110)을 스캔하면서 실시간으로 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보를 획득하면, 상기 불량 위치 검출부(150)는 상기 스캔 지점별로 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보를 파악하여 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 변화를 파악한다.
상기 불량 위치 검출부(150)는 상기 스캔 지점별로 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께가 일정한 값을 갖는 경우에 상기 오버 코트 레진(110b)을 정상으로 인식한다.
또한, 상기 불량 위치 검출부(150)는 상기 스캔 지점별로 수집된 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보가 변하는 경우에 상기 오버 코트 레진(110b)에 불량이 발생했음을 인식하고 상기 오버 코트 레진(110b)에서 발생한 불량 위치 정보를 상기 불량 판정부(200)로 제공한다.
상기 불량 판정부(200)는 상기 불량 위치 검출부(150)로부터 제공된 불량 위치 정보를 모니터에 출력함으로써 작업자로 하여금 상기 검사 대상물(110)의 불량 여부를 최종적으로 판단하도록 한다.
이때, 상기 불량 위치 검출부(150)는 상기 스캔 지점별로 수집된 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보를 기준값과 비교하여 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 변화를 파악할 수도 있다. 여기서, 상기 기준값은 액정표시모듈(도 2의 110a)과 커버 글라스(도 2의 110c)를 합착하는 공정에서 상기 액정표시모듈(110a)과 커버 글라스(110c) 사이에 위치하는 오버 코트 레진(110b)의 두께를 의미한다.
도 4는 도 1의 오버 코트 레진 내부에 이물질이 발생한 경우 스캔 지점별로 수집한 오버 코트 레진의 두께 정보를 나타낸 실험 데이터이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 검사 대상물(110)은 변위 센서(220) 및 CCD 카메라(210)의 스캔으로 의해 스캔 지점별로 실시간으로 그 두께 정보가 획득된다.
상기 검사 대상물(110)의 오버 코트 레진(110b) 내부에 이물질(300a)이 발생한 경우 상기 이물질(300a)이 상기 오버 코트 레진(110b) 내부에 위치하기 때문에 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께를 변화시킨다.
상기 오버 코트 레진(110b) 내부에 이물질(300a)이 발생할 경우 상기 이물질(300a)에 의해 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께가 변하게 되어 상기 검사 대상물(110)의 전체 두께가 불규칙적으로 변하게 된다. 이러한 경우 상기 검사 대상물(110)은 불량으로 인식될 수 있다.
도 5는 도 1의 오버 코트 레진 상면에 이물질이 발생한 경우 스캔 지점별로 수집한 오버 코트 레진의 두께 정보를 나타낸 실험 데이터이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 검사 대상물(110)의 오버 코트 레진(110b) 상면에 이물질(300)이 발생한 경우 상기 이물질(300)은 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께에 영향을 미쳐 상기 검사 대상물(110)의 전체 두께(h)에 영향을 미치는 요인으로 작용하게 된다.
변위 센서(220)는 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보를 스캔 지점별로 실시간으로 획득하는데, 상기 이물질(300)이 상기 오버 코트 레진(110b)의 상면에 발생할 경우 상기 이물질(300)의 두께를 포함시켜 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께를 측정하게 된다.
상기 변위 센서(220)는 이물질(300)이 형성된 오버 코트 레진(110b)의 두께와 이물질(300)이 발생하지 않은 오버 코트 레진(110b)의 두께를 실시간으로 획득한다.
상기 이물질(300)이 형성된 오버 코트 레진(110b)의 두께와 이물질(300)이 발생하지 않은 오버 코트 레진(110b)의 두께는 상이한 값을 갖기 때문에 스캔 지점별로 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보를 나열할 경우 그 값이 변하는 위치(A)를 파악할 수 있다.
상기 오버 코트 레진(110b)의 두께 정보가 변하는 위치는 상기 오버 코트 레진(110b) 상면에 이물질(300)이 형성되어 있다는 것을 나타내는 것이므로 상기 오버 코트 레진(110b)의 불량을 용이하게 파악할 수 있다.
상기 오버 코트 레진(110b)의 상면 또는 내부에 이물질(300)이 형성되지 않는 경우 상기 오버 코트 레진(110b)의 두께는 B와 같이 일정한 값을 가질 수 있다.
도 6은 본 발명에 의한 액정표시장치용 불량 검사 방법의 흐름도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 액정표시장치용 불량 검사 방법은 검사 대상물을 불량 검사 장치에 투입하는 단계(S600)와, 상기 검사 대상물에 카메라 스캔 및 레이저를 조사하는 단계(S610)와, 스캔 지점별로 오버 코트 레진의 두께 정보를 파악하는 단계(S620)와, 상기 검사 대상물의 불량 위치를 센싱하는 단계(S630) 및 불량 여부를 판정하는 단계(S640)를 포함한다.
더 상세하게는, 오버 코트 레진을 사이에 두고 합착된 액정표시모듈 및 커버 글라스로 이루어진 검사 대상물이 투입되면(S600), 상기 검사 대상물 상부에 위치한 카메라가 상기 검사 대상물을 스캔하고 이와 동시에 변위 센서가 상기 검사 대상물에 레이저를 조사한다. (S610)
연속하여, 상기 스캔 지점별로 상기 검사 대상물의 두께 정보를 획득한다. (S620) 특히, 상기 변위 센서는 상기 검사 대상물 중 오버 코트 레진의 두께 정보를 스캔 지점별로 실시간으로 획득한다.
이어, 상기 스캔 지점별로 획득된 오버 코트 레진의 두께 정보를 비교하여 일정한 값을 갖는지 값이 변하는지 여부에 따라 상기 오버 코트 레진의 불량 위치를 센싱한다. (S630)
연속하여 상기 오버 코트 레진의 불량 위치를 확인한 후 작업자가 최종적으로 상기 오버 코트 레진의 불량을 판정한다. (S640)
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 불량 검사장치는 변위 센서를 이용하여 검사 대상물의 특정 레이어(오버 코트 레진)의 두께 정보를 실시간으로 파악하여 상기 특정 레이어의 불량 위치를 용이하게 파악할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 및 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110:검사 대상물 150:불량 위치 검출부
160:카메라 유닛 200:불량 판정부
210:CCD 카메라 220:변위 센서

Claims (12)

  1. 검사 대상물이 안착되는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 안착된 검사 대상물을 스캔하는 카메라;
    상기 카메라의 스캔 방향대로 이동하여 상기 검사 대상물의 특정 레이어의 두께 정보를 획득하는 변위 센서; 및
    상기 변위 센서에서 획득된 상기 특정 레이어의 두께 정보를 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집하여 상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 불량 위치 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 검사 대상물은 감광성 물질인 오버 코트 레진을 사이에 두고 합착된 액정표시모듈 및 커버 글라스로 이루어지며 상기 특정 레이어는 상기 오버 코트 레진인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 불량 위치 검출부는 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집한 상기 특정 레이어의 두께 정보가 일정한 값을 갖는 경우 상기 특정 레이어를 정상으로 판별하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 불량 위치 검출부는 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집한 상기 특정 레이어의 두께 정보가 변하는 경우 상기 특정 레이어를 불량으로 판별하고 상기 특정 레이어에서 발생한 불량 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 불량 위치 검출부로부터 제공된 불량 위치 정보를 출력하여 상기 검사 대상물의 불량 여부를 최종적으로 판단하는 불량 판정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 불량 위치 검출부는 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집된 상기 특정 레이어의 두께 정보와 기준값을 비교하여 상기 특정 레이어의 두께 변화를 파악하여 불량 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 장치.
  7. 검사 대상물이 스테이지 상에 지지되는 단계;
    카메라를 이용하여 상기 스테이지 상에 지지되는 검사 대상물을 스캔하는 동시에 변위 센서를 이용하여 상기 검사 대상물 상에 레이저를 조사하여 상기 검사 대상물의 특정 레이어의 두께 정보를 획득하는 단계; 및
    상기 변위 센서를 통해 획득한 상기 특정 레이어의 두께 정보를 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집하여 상기 수집된 정보를 통해 상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 검사 대상물은 감광성 물질인 오버 코트 레진을 사이에 두고 합착된 액정표시모듈 및 커버 글라스로 이루어지며 상기 특정 레이어는 상기 오버 코트 레진인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 방법.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 단계는 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집한 상기 특정 레이어의 두께 정보가 일정한 값을 갖는 경우 상기 특정 레이어를 정상으로 판별하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 단계는 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집한 상기 특정 레이어의 두께 정보가 변하는 경우 상기 특정 레이어를 불량으로 판별하고, 상기 특정 레이어에서 발생한 불량 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 특정 레이어의 불량 위치 정보를 출력하여 상기 검사 대상물의 불량 여부를 최종적으로 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 방법.
  12. 제7 항에 있어서,
    상기 특정 레이어의 불량 위치를 검출하는 단계는 상기 카메라의 스캔 지점별로 수집된 상기 특정 레이어의 두께 정보와 기준값을 비교하여 상기 특정 레이어의 두께 변화를 파악하여 불량 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 불량 검사 방법.
KR1020120048638A 2012-05-08 2012-05-08 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법 KR20130125127A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120048638A KR20130125127A (ko) 2012-05-08 2012-05-08 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120048638A KR20130125127A (ko) 2012-05-08 2012-05-08 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20130125127A true KR20130125127A (ko) 2013-11-18

Family

ID=49853665

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120048638A KR20130125127A (ko) 2012-05-08 2012-05-08 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20130125127A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109540476A (zh) * 2018-11-22 2019-03-29 安徽万源信息科技有限公司 一种显示屏显示状态自动检测***
KR102102610B1 (ko) 2019-12-06 2020-04-21 (주)티엘씨테크퍼스트 디스플레이 보호 필름 얼룩 검사장치 및 그 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109540476A (zh) * 2018-11-22 2019-03-29 安徽万源信息科技有限公司 一种显示屏显示状态自动检测***
KR102102610B1 (ko) 2019-12-06 2020-04-21 (주)티엘씨테크퍼스트 디스플레이 보호 필름 얼룩 검사장치 및 그 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101384948B (zh) 用于测试平板显示器设备的***及其方法
WO2014169516A1 (zh) 一种检测装置及检测方法
US20100118912A1 (en) Quality control of the frit for oled sealing
US10169855B2 (en) Method and device for detecting defects on a display subtrate
KR20190126952A (ko) 불량 검출 장치 및 방법
CN106198561B (zh) 一种显示基板的异物检测方法和修复方法
CN101464417A (zh) 玻璃检测方法及其设备
KR101311981B1 (ko) 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법
US8786851B2 (en) System for testing distortion of liquid crystal display device
CN101408520A (zh) 一种判别内外层瑕疵的检测方法与***
CN214334700U (zh) 一种高效导电粒子检测装置
KR20130125127A (ko) 액정표시장치용 불량 검사 장치 및 그의 검사방법
KR20200047262A (ko) 광학 필름의 결함 검사 방법 및 장치
TWI467162B (zh) 電光調變裝置、電光檢測器及其檢測方法
KR101367078B1 (ko) 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법
KR102034042B1 (ko) 평판 디스플레이 패널의 외관 스크래치 검사 방법
CN102017114A (zh) 基板质量测试器
CN107843604B (zh) 一种用于检测双层基板边缘缺陷的装置及检测方法
KR102037395B1 (ko) 투과 광학계 검사 장치 및 이를 이용한 필름 결함 검사 방법
KR101111383B1 (ko) 3차원 표면 형상 측정부가 구비되는 압흔 검사시스템
KR20140058710A (ko) 표시장치용 비전검사 시스템 및 이의 검사방법
KR100749954B1 (ko) 편광필름의 검사방법 및 이에 적용되는 편광필름의 검사장치
JP2008091843A (ja) 基板の圧着状態検査装置
KR100971081B1 (ko) 편광필름의 검사방법
KR20030060243A (ko) 평판 디스플레이 자동 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E601 Decision to refuse application