KR20130098476A

KR20130098476A - Gate valve

Info

Publication number: KR20130098476A
Application number: KR1020120020026A
Authority: KR
Inventors: 김도완; 유광연; 김보람
Original assignee: 주식회사 에이티에스엔지니어링
Priority date: 2012-02-28
Filing date: 2012-02-28
Publication date: 2013-09-05

Abstract

PURPOSE: A gate valve is provided to enable the isolation of vacuum equipment and to minimize the generation of particles. CONSTITUTION: A gate valve comprises a valve unit (200), an operation unit (300), a guide unit (400), and a drive unit (500). The valve unit opens and closes an opening where a board passes through. The operation unit is coupled to the valve unit and opens and closes the valve unit. The guide unit is coupled to the operation unit and has a guide groove for guiding the operation unit. The drive unit is coupled to the operation unit and moves the operation unit in a first direction.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}Gate valve {GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 출입되는 공정챔버의 개구를 개폐할 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve, and more particularly, to a gate valve that can open and close the opening of the process chamber through which the substrate enters and exits.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. In general, most of the processes for manufacturing LCD substrates or semiconductor devices proceed in a vacuum.

따라서 LCD기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이고 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다.Therefore, most of the equipment for performing a process for manufacturing an LCD substrate or a semiconductor device is a vacuum equipment and a gate valve is provided to isolate the vacuum equipment from the outside or other vacuum equipment.

게이트 밸브 기술과 관련하여, 대한민국 공개 특허 제 2001-0101757호에는 승하강 실린더 및 개폐 실린더를 구비하는 게이트 밸브가 개시되어 있고, 대한민국 공개 특허 제 2001-0007378호에는 캠을 이용하여 개폐동작을 수행하는 게이트 밸브가 개시되어 있다.In connection with the gate valve technology, Korean Patent Application Publication No. 2001-0101757 discloses a gate valve having a lifting and lowering cylinder and an opening / closing cylinder, and Korean Patent Application Publication No. 2001-0007378, which performs an opening and closing operation using a cam. A gate valve is disclosed.

대한민국 공개 특허 제 2001-0101757호에 개시된 게이트 밸브는 승하강 동작을 위한 액추에이터와 개폐동작을 수행하기 위한 액추에이터가 각각 필요하므로 구동부의 구성이 복잡하고 큰 중량을 가진다.The gate valve disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2001-0101757 requires an actuator for lifting and lowering operation and an actuator for performing opening and closing operation, respectively, so that the configuration of the driving unit is complicated and has a large weight.

한편 대한민국 공개 특허 제 2001-0007378에 개시된 게이트 밸브는 변위부재의 운동이 안정적이지 못하여 각 변위부재 사이의 마찰로 인해 파티클이 발생할 우려가 있다.On the other hand, the gate valve disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2001-0007378 may not generate stable particles due to friction between the displacement members due to unstable movement of the displacement members.

따라서 간단한 구성으로 진공 장비의 격리가 가능하면서 구동시 파티클의 발생을 최소화하는 게이트 밸브가 요구된다.Therefore, there is a need for a gate valve that can isolate vacuum equipment with a simple configuration while minimizing the generation of particles during operation.

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 간단한 구성으로 진공 장비의 격리가 가능하고 구동시 파티클의 발생을 최소화하는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention is to solve such a problem, the problem to be solved by the present invention is to provide a gate valve that can isolate the vacuum equipment with a simple configuration and minimize the generation of particles during operation.

본 발명의 일 실시예에 의한 게이트 밸브는, 기판이 통과하는 개구부를 개폐하는 밸브 유닛과, 상기 밸브 유닛에 결합되고 상기 밸브 유닛을 개폐동작시키는 작동 유닛과, 상기 작동 유닛에 결합되고 상기 작동 유닛을 가이드 하는 가이드 홈이 형성되는 가이드 유닛 및 상기 작동 유닛에 결합되고 상기 작동 유닛을 제1 방향으로 운동시키는 구동 유닛을 포함하되, 상기 작동 유닛은, 상기 밸브 유닛과 일체화 되도록 결합되는 제1 본체부와, 상기 구동 유닛과 일체화 되도록 결합되는 제2 본체부와, 상기 제1 본체부와 상기 제2 본체부에 일정한 경사를 가지고 각각 결합되고 상기 경사의 방향이 제2 방향이 되도록 회전함으로써 상기 제1 본체부를 회전시키는 링크부 및 상기 제2 본체부에 결합되고 상기 링크부가 회전할 때 상기 제1 본체부의 일단을 가압하도록 이루어지는 가압부를 포함한다.A gate valve according to an embodiment of the present invention includes a valve unit for opening and closing an opening through which a substrate passes, an operation unit coupled to the valve unit and opening / closing the valve unit, and coupled to the operation unit and the operation unit And a driving unit coupled to the operation unit and guiding the movement unit in a first direction, wherein the operation unit is coupled to be integrated with the valve unit. And a second main body part coupled to be integral with the driving unit, and coupled to the first main body part and the second main body part with a predetermined inclination, and rotated such that the inclination direction becomes a second direction. It is coupled to the link portion for rotating the body portion and the second body portion and press one end of the first body portion when the link portion rotates It includes parts made of pressed so.

상기 게이트 밸브의 상기 가이드 유닛은, 제1 방향을 따라 변동되는 폭을 가지는 가이드 홈을 구비하고, 상기 작동 유닛이 상기 가이드 홈에 결합되어 제1 방향으로 가이드되며 상기 작동 유닛의 상기 링크부가 상기 가이드 홈의 변동되는 폭 부분에서 제2 방향으로 가이드되면서 작동하여 상기 밸브 유닛이 상기 밸브 하우징의 개구부)를 개폐하는 동작을 수행할 수 있다.The guide unit of the gate valve has a guide groove having a width that varies in a first direction, the operation unit is coupled to the guide groove and guided in a first direction, and the link portion of the operation unit is guided The valve unit may be operated while being guided in the second direction in a variable width portion of the groove to open and close the opening of the valve housing.

상기 가이드 유닛의 상기 가이드 홈은, 제1 방향으로 형성되고 상기 작동 유닛이 상기 제1 방향으로 이동하도록 가이드하는 제1 가이드 홈과, 상기 제1 가이드 홈과 단차를 이루며 평행하게 연장되고 상기 작동 유닛의 상기 링크부가 상기 제1 방향으로 이동하도록 가이드하는 제2 가이드 홈 및 상기 제2 가이드 홈으로부터 연장되고 상기 작동 유닛의 상기 링크부가 상기 제2 방향으로 이동하도록 가이드하는 제3 가이드 홈을 포함할 수 있다.The guide groove of the guide unit may include a first guide groove formed in a first direction and guiding the operation unit to move in the first direction, and extending in parallel with the first guide groove in step with the first guide groove. May include a second guide groove for guiding the link portion to move in the first direction and a third guide groove extending from the second guide groove and guiding the link portion of the operation unit to move in the second direction. have.

상기 작동 유닛의 상기 제1 본체부는, 일측이 상기 밸브 유닛이 결합되고 다른 일측이 상기 링크부와 연결되는 제1 본체 블록 및 상기 제1 본체 블록의 양측에 결합되고 상기 가이드 홈을 따라 이동하는 제1 가이드 부재를 포함할 수 있다.The first body portion of the operating unit, the first side is coupled to the valve unit and the other side is coupled to both sides of the first body block and the first body block and the link portion and the first groove is moved 1 may include a guide member.

상기 작동 유닛의 상기 제2 본체부는, 일측이 상기 구동 유닛이 결합되고 다른 일측이 상기 링크부와 연결되는 제2 본체 블록 및 상기 제2 본체 블록의 양측에 결합되고 상기 가이드 홈을 따라 이동하는 제2 가이드 부재를 포함할 수 있다.The second main body portion of the operation unit, the second body block is coupled to both sides of the second body block and the second body block and one side is coupled to the drive unit and the other side is connected to the link portion and the guide groove 2 may comprise a guide member.

상기 제1 본체부의 상기 제1 본체 블록은, 일측에 돌출부가 형성되고 상기 돌출부에 상기 링크부가 결합될 수 있다.The first body block of the first body portion may have a protrusion formed on one side thereof, and the link portion may be coupled to the protrusion.

상기 제1 본체 블록의 상기 돌출부는 일측이 일정한 곡률반경을 가지는 경사면으로 형성될 수 있다.The protrusion of the first body block may be formed as an inclined surface having one side having a constant radius of curvature.

상기 작동 유닛의 상기 가압부는, 상기 제2 본체 블록에 결합되는 가압부 본체 및 상기 가압부 본체에 회전 가능하게 결합되는 가압부재를 포함하고, 상기 가압부재가 상기 돌출부의 상기 경사면을 가압함으로써 상기 밸브 유닛을 작동시킬 수 있다.The pressing unit of the operation unit includes a pressing unit body coupled to the second body block and a pressing member rotatably coupled to the pressing unit body, wherein the pressing member presses the inclined surface of the protruding portion to press the valve. The unit can be operated.

상기 작동 유닛의 상기 링크부는 상기 제2 본체부와 접촉하는 접촉부를 가지고 상기 접촉부는 상기 제2 본체부의 접촉면과 대응되는 형상으로 이루어질 수 있다.The link portion of the operation unit may have a contact portion in contact with the second body portion, and the contact portion may have a shape corresponding to the contact surface of the second body portion.

상기 게이트 밸브의 상기 가이드 유닛은, 상기 가이드 홈이 형성되는 제1 가이드부 및 일측이 상기 밸브 하우징에 결합되고 다른 일측이 상기 제1 가이드부와 결합되며 상기 제1 가이드부에 형성된 가이드 홈에서 연장되는 끝단이 형성되는 제2 가이드부를 포함할 수 있다.The guide unit of the gate valve, the first guide portion and one side of which the guide groove is formed is coupled to the valve housing, the other side is coupled to the first guide portion and extends from the guide groove formed in the first guide portion It may include a second guide portion is formed end.

상기 게이트 밸브의 상기 가이드 홈은, 상기 제1 가이드 홈의 일단, 상기 제2 가이드 홈의 일단 또는 상기 제3 가이드 홈의 일단 중 적어도 하나는 교체가 가능한 부재로 이루어질 수 있다.The guide groove of the gate valve, at least one of one end of the first guide groove, one end of the second guide groove or one end of the third guide groove may be made of a replaceable member.

본 발명의 일 실시예에 의한 게이트 밸브에 따르면 간단한 구성으로 진공 장비의 격리가 가능하고 구동시 파티클의 발생을 최소화 할 수 있다.According to the gate valve according to an embodiment of the present invention it is possible to isolate the vacuum equipment with a simple configuration and to minimize the generation of particles during operation.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 게이트 밸브의 사시도.
도 2는 도 1의 게이트 밸브의 분해 사시도.
도 3은 도 1의 게이트 밸브의 작동 유닛의 사시도.
도 4는 도 3의 작동 유닛의 측면도.
도 5는 도 1의 게이트 밸브의 가이드 유닛을 나타내는 사시도.
도 6는 도 1의 게이트 밸브의 구동 유닛을 나타내는 사시도.
도 7a 내지 도 7c는 도 1의 게이트 밸브의 작동을 나타내는 작동도.1 is a perspective view of a gate valve according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the gate valve of FIG. 1. FIG.
3 is a perspective view of an operating unit of the gate valve of FIG. 1;
4 is a side view of the operating unit of FIG. 3;
5 is a perspective view illustrating a guide unit of the gate valve of FIG. 1.
6 is a perspective view showing a drive unit of the gate valve of FIG.
7A to 7C are operation views showing the operation of the gate valve of FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

도면들에 있어서, 각 장치 또는 막(층) 및 영역들의 두께는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 막(층)이 다른 막(층) 또는 기판 상에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 다른 막(층) 또는 기판 상에 직접 형성되거나 그들 사이에 추가적인 막(층)이 개재될 수 있다.In the drawings, the thickness of each device or film (layer) and regions is exaggerated for clarity of the present invention, and each device may have various additional devices not described herein, (Layer) is referred to as being located on another film (layer) or substrate, it may be formed directly on another film (layer) or substrate, or an additional film (layer) may be interposed therebetween.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일유사한 구성에 대해서는 동일유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings. In the present specification, the same reference numerals are assigned to the same components in different embodiments, and the description thereof is replaced with the first explanation.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 게이트 밸브의 사시도이고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브의 분해사시도이다.1 is a perspective view of a gate valve according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view of the gate valve of FIG.

도면을 참조하면 본 발명의 일실시예에 따른 게이트 밸브는 밸브 하우징(100)과, 밸브 유닛(200)과, 작동 유닛(300)과, 가이드 유닛(400) 및 구동 유닛(500)을 포함하여 이루어진다.Referring to the drawings, a gate valve according to an embodiment of the present invention includes a valve housing 100, a valve unit 200, an operation unit 300, a guide unit 400, and a drive unit 500. Is done.

상기 밸브 하우징(100)은 챔버와 연결되고 개구부(111)가 형성되며 상기 개구부(111)를 통하여 기판의 이송이 가능하다.The valve housing 100 is connected to the chamber, the opening 111 is formed and the substrate can be transferred through the opening 111.

상기 밸브 하우징(100)은 밸브 하우징 본체(110)와 하부 플레이트(120)를 포함하여 이루어진다.The valve housing 100 includes a valve housing body 110 and a lower plate 120.

상기 밸브 하우징 본체(110)는 내부에 공간이 형성되고 하부에 개방면을 구비하는 육면체의 형상으로 이루어지며 상기 하부 플레이트(120)가 상기 개방면을 폐쇄하도록 이루어진다. The valve housing body 110 is formed in a shape of a hexahedron having a space formed therein and having an open surface at the bottom thereof, and the lower plate 120 is configured to close the open surface.

상기 밸브 하우징 본체(110)에서 챔버와 접하는 면에는 개구부(111)가 형성되고 상기 개구부(111)는 기판이 이송되는 경우에는 개방되고 챔버에서 공정을 수행하는 경우에는 상기 밸브 유닛(200)에 의해 폐쇄된다. In the valve housing main body 110, an opening 111 is formed on a surface contacting the chamber, and the opening 111 is opened when the substrate is transferred, and is opened by the valve unit 200 when performing a process in the chamber. It is closed.

상기 밸브 유닛(200)은, 상기 밸브 하우징(100)의 상기 개구부(111)를 개폐하도록 이루어진다.The valve unit 200 is configured to open and close the opening 111 of the valve housing 100.

도면을 참조하면, 상기 밸브 유닛(200)은, 상기 개구부(111)를 폐쇄하는 밀봉면을 구비하는 밸브체(210)과 일단이 상기 밸브체(210)에 결합되고 다른 일단이 상기 작동 유닛(300)에 결합되는 밸브 로드(220)를 포함한다.Referring to the drawings, the valve unit 200, the valve body 210 having a sealing surface for closing the opening 111 and one end is coupled to the valve body 210 and the other end is the operation unit ( And a valve rod 220 coupled to 300.

상기 작동 유닛(300)의 운동은 상기 밸브 로드(220)를 통하여 상기 밸브체(210)에 전달되게 되고 이에 따라 밸브체(210)의 승하강 작동 및 계폐 작동이 이루어진다.The movement of the operation unit 300 is transmitted to the valve body 210 through the valve rod 220, and thus the lifting and lowering operation of the valve body 210 is performed.

상기 밸브 로드(220)는 초기에 수직 방향에서 일정한 각도(a : 도 4 참조) 만큼 기울어진 상태를 가진다. 이는 밸브 유닛(200)이 상승 또는 하강하는 경우 밸브 하우징(100) 내벽과 간섭되는 현상을 방지하기 위함이다.The valve rod 220 is initially inclined by a predetermined angle (a: FIG. 4) in the vertical direction. This is to prevent the phenomenon that the valve unit 200 interferes with the inner wall of the valve housing 100 when the valve unit 200 is raised or lowered.

상기 작동 유닛(300)은, 상기 밸브 유닛(200)에 결합되고 상기 밸브 유닛(200)이 개폐동작을 수행하도록 한다.The operation unit 300 is coupled to the valve unit 200 to allow the valve unit 200 to perform the opening and closing operation.

도 3은 도 1의 게이트 밸브의 작동 유닛의 사시도이고, 도 4는 도 3의 작동 유닛의 측면도이다.3 is a perspective view of the operating unit of the gate valve of FIG. 1, and FIG. 4 is a side view of the operating unit of FIG. 3.

도면을 참조하면 상기 작동 유닛(300)은, 제1 본체부(310)와, 제2 본체부(320) 및 링크부(330)로 이루어진다.Referring to the drawings, the operation unit 300 includes a first main body 310, a second main body 320, and a link unit 330.

상기 제1 본체부(310)는 상기 밸브 유닛(200)과 일체화 되도록 결합되고 상기 밸브 유닛(200)과 함께 상승 및 하강하고 상기 밸브 유닛(200)이 개방 및 폐쇄운동을 하도록 한다.The first main body 310 is coupled to be integral with the valve unit 200 and is raised and lowered together with the valve unit 200 to allow the valve unit 200 to open and close.

상기 제2 본체부(320)는 상기 구동 유닛(500)과 일체화 되도록 결합되고 상기 구동 유닛(500)의 운동을 상기 링크부(330)를 통해 상기 제1 본체부(310)에 전달하여 상기 제1 본체부(310)가 상승 및 하강 운동하도록 한다.The second main body 320 is coupled to be integral with the driving unit 500, and transfers the movement of the driving unit 500 to the first main body 310 through the link unit 330. 1 main body 310 to move up and down.

상기 링크부(330)는 상기 제1 본체부(310)와 상기 제2 본체부(320)에 일정한 경사(각도(a))를 가지고 결합된다.The link unit 330 is coupled to the first main body 310 and the second main body 320 with a predetermined inclination (angle (a)).

도면을 참조하면 상기 링크부는 상기 제1 본체부(310)와 상기 제2 본체부(320)에 축 결합되어 각각 회전 가능하도록 이루어지고 상기 경사의 방향이 수평이 되도록 회전함으로써 상기 제1 본체부(310)를 회전시킨다.Referring to the drawings, the link part is axially coupled to the first body part 310 and the second body part 320 so as to be rotatable, respectively, and is rotated so that the direction of the inclination is horizontal. Rotate 310).

상기 작동 유닛(300)이 상승 및 하강 운동하는 경우 상기 가이드 홈(430)에 의해 수평방향의 운동이 구속된 상태가 되므로 상기 경사는 유지되고 상기 제1 본체부(310)와 상기 제2 본체부(320)는 일정한 거리를 유지하도록 지지된다.When the operation unit 300 moves up and down, the horizontal movement is constrained by the guide groove 430, so that the inclination is maintained and the first main body 310 and the second main body portion. 320 is supported to maintain a constant distance.

이 때 상기 링크부(330)에는 상기 제2 본체부(320)와 접촉하는 접촉부(333)가 형성되고 상기 접촉부(333)는 상기 제2 본체부(320)의 접촉면과 대응되는 형상으로 이루어질 수 있다.In this case, the link part 330 may be provided with a contact part 333 in contact with the second main body part 320, and the contact part 333 may have a shape corresponding to the contact surface of the second main body part 320. have.

상기와 같이 접촉부(333)가 형성되는 경우에는 상기 가이드 홈(430)에 의해 상기 링크부(330)의 수평방향의 운동이 구속되지 않는 경우에도 상기 경사를 유지함으로써 상기 제1 본체부(310)와 상기 제2 본체부(320)가 일정한 거리를 유지하도록 지지하는 것이 가능하다.When the contact portion 333 is formed as described above, the first body portion 310 is maintained by maintaining the inclination even when the horizontal movement of the link portion 330 is not restricted by the guide groove 430. And the second main body 320 can be supported to maintain a constant distance.

상기 가압부(340)는 상기 제1 본체부(310)와 상기 제2 본체부(320) 사이에 개재되고 초기 상태에서 상기 밸브 유닛(200)이 수직 방향에서 일정한 각도(a)만큼 기울어진 상태를 가지도록 상기 제1 본체부(310)의 일단을 지지함과 아울러 상기 링크부(330)의 경사의 방향이 수평이 되도록 회전할 때 상기 제1 본체부(310)의 일단을 가압하도록 이루어진다.The pressing unit 340 is interposed between the first main body 310 and the second main body 320 and the valve unit 200 in the initial state inclined by a predetermined angle (a) in the vertical direction Supporting one end of the first body portion 310 so as to have a pressure is made to press one end of the first body portion 310 when rotated so that the direction of the inclination of the link portion 330 is horizontal.

이하에는 상기 작동 유닛(300)의 상기 제1 본체부(310), 제2 본체부(320), 링크부(330) 및 상기 가압부(340)에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the first main body 310, the second main body 320, the link unit 330, and the pressing unit 340 of the operation unit 300 will be described in detail.

상기 제1 본체부(310)는, 일측이 상기 밸브 유닛(200)이 결합되고 다른 일측이 상기 링크부(330)와 연결되는 제1 본체 블록(311)과 상기 제1 본체 블록(311)의 양측에 결합되고 상기 가이드 홈(430)을 따라 이동하는 제1 가이드 부재(312)를 포함한다.The first body portion 310, the one side of the first body block 311 and the first body block 311 is coupled to the valve unit 200 and the other side is connected to the link unit 330 The first guide member 312 is coupled to both sides and moves along the guide groove 430.

한편 상기 제2 본체부(320)는, 일측이 상기 구동 유닛(500)이 결합되고 다른 일측이 상기 링크부(330)와 연결되는 제2 본체 블록(321) 및 상기 제2 본체 블록(321)의 양측에 결합되고 상기 가이드 홈(430)을 따라 이동하는 제2 가이드 부재(322)을 포함한다.Meanwhile, the second main body 320 has a second main body block 321 and the second main body block 321, one side of which is coupled to the driving unit 500 and the other side of which is connected to the link unit 330. It is coupled to both sides of the includes a second guide member 322 to move along the guide groove 430.

이 때 상기 제1 본체 블록(311)은, 단면이 대략 U자 형상으로 이루어지고 U자 형상의 홈부에 상기 밸브 유닛(200)이 통과하도록 이루어진다.At this time, the first body block 311, the cross section is made of a substantially U-shape and the valve unit 200 is made to pass through the U-shaped groove portion.

또한 상기 제1 본체 블록(311)의 하부에는 돌출부(313)가 형성되어 있어 상기 돌출부(313)의 양측에 상기 링크부(330)가 결합하도록 이루어진다.In addition, a protrusion 313 is formed at a lower portion of the first body block 311 so that the link portion 330 is coupled to both sides of the protrusion 313.

이 때 상기 돌출부(313)는 일측이 일정한 곡률반경을 가지는 경사면(314)을 이루도록 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the protrusion 313 is preferably formed so that one side forms an inclined surface 314 having a constant radius of curvature.

상기 가압부(340)는, 상기 제2 본체 블록(321)에 결합되는 가압부 본체(341)와, 상기 가압부 본체(341)에 회전 가능하게 결합되는 축(342)과, 상기 축에 결합되어 회전하도록 이루어지는 가압롤(343)을 포함한다.The pressing unit 340 may include a pressing unit body 341 coupled to the second body block 321, a shaft 342 rotatably coupled to the pressing unit body 341, and coupled to the shaft. And a press roll 343 configured to rotate.

상기 가압롤(343)은 상기 제1 본체 블록(311)의 상기 경사면(314)을 따라 가압할 수 있도록 이루어진다. 이에 따라 상기 가압롤(343)이 상기 제1 본체 블록(310)을 가압하는 가압점(지지점)의 변동이 가능하다.The pressing roll 343 may be pressed along the inclined surface 314 of the first body block 311. Thereby, the press point 343 can change the press point (support point) for pressing the first body block 310.

상기와 같이 상기 돌출부(313)의 일측이 일정한 곡률반경을 가지는 경사면(314)으로 형성되고 상기 가압롤(343)이 상기 경사면(314)을 가압하도록 구성됨으로써 스프링과 같은 탄성부재를 이용하여 가압부를 형성하는 경우에 비해 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.As described above, one side of the protrusion 313 is formed of an inclined surface 314 having a constant radius of curvature, and the pressing roll 343 is configured to press the inclined surface 314 so that the pressing portion is formed using an elastic member such as a spring. Particle generation can be minimized as compared with the case of forming.

또한 상기 가압부(340)는 상기 제1 본체부(310)가 회동하는 것을 보조함과 아울러 회동된 상태를 지지한다. 이에 따라 상기 밸브 유닛(200)의 개구부(111)를 폐쇄하는 동작을 원활하게 하고 폐쇄상태를 정밀하게 유지할 수 있다.In addition, the pressing unit 340 assists the first main body 310 to rotate and supports the rotated state. Accordingly, the operation of closing the opening 111 of the valve unit 200 may be smoothly performed, and the closed state may be precisely maintained.

다음은 본 발명의 일실시예에 따른 게이트 밸브의 가이드 유닛(400)에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, a guide unit 400 of a gate valve according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 도 1의 게이트 밸브의 가이드 유닛(400)을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a diagram illustrating the guide unit 400 of the gate valve of FIG. 1.

상기 가이드 유닛(400)은, 일방향을 따라 변동되는 폭을 가지는 가이드 홈(430)을 구비하고, 상기 작동 유닛(300)이 상기 가이드 홈(430)에 결합되어 움직이며 상기 가이드 홈(430)의 폭이 변동되는 부분에서 상기 링크부(330)가 작동되어 상기 밸브 유닛(200)이 상기 밸브 하우징(100)의 개구부(111)를 개폐하는 동작을 수행한다.The guide unit 400 includes a guide groove 430 having a width that varies in one direction, and the operation unit 300 is coupled to the guide groove 430 to move and moves of the guide groove 430. The link unit 330 is operated at a portion of which the width is changed to perform the operation of opening and closing the opening 111 of the valve housing 100 by the valve unit 200.

상기 가이드 유닛(400)은, 상기 가이드 홈(430)이 형성되는 제1 가이드부(410) 및 일단부가 상기 하우징(510)에 결합되고 다른 일단부가 상기 제1 가이드부(410)와 결합되는 제2 가이드부(420)를 포함한다.The guide unit 400 may include a first guide part 410 in which the guide groove 430 is formed, and one end thereof is coupled to the housing 510, and the other end part thereof is coupled to the first guide part 410. 2 includes a guide portion 420.

상기 가이드 홈(430)은, 제1 가이드 홈(431), 제2 가이드 홈(432) 및 제3 가이드 홈(433)을 포함하여 이루어진다.The guide groove 430 includes a first guide groove 431, a second guide groove 432, and a third guide groove 433.

상기 제1 가이드 홈(431)은, 제1 방향으로 형성되고 상기 작동 유닛(300)이 상기 제1 방향으로 이동하도록 가이드한다.The first guide groove 431 is formed in a first direction and guides the operation unit 300 to move in the first direction.

도면을 참조하면 상기 제1 가이드 홈(431)은 수직 방향으로 연장되어 형성되고 상기 작동 유닛(300)의 상기 제1 본체 블록(310) 및 상기 제2 본체 블록(320)에 각각 형성되는 제1 가이드 부재(312) 및 제2 가이드 부재(322)가 상기 제1 가이드 홈(431)을 따라 이동하도록 이루어진다. 이에 따라 상기 작동 유닛(300)이 흔들림 없이 승하강 운동하는 것이 가능하다.Referring to the drawings, the first guide groove 431 extends in the vertical direction and is formed in the first body block 310 and the second body block 320 of the operation unit 300, respectively. The guide member 312 and the second guide member 322 are configured to move along the first guide groove 431. Accordingly, the operation unit 300 can move up and down without shaking.

상기 제1 가이드 홈(431)의 일단은 상기 제2 가이드부(420)에 형성되고 상기 제1 본체 블록(311)의 상기 제1 가이드 부재(312)의 승강 운동을 제한하도록 이루어진다.One end of the first guide groove 431 is formed in the second guide part 420 and is configured to limit the lifting motion of the first guide member 312 of the first body block 311.

상기 제2 가이드 홈(432)은, 상기 제1 가이드 홈(431)과 단차를 이루며 평행하게 연장되고 상기 작동 유닛(300)의 상기 링크부(330)가 상기 제1 방향으로 이동하도록 가이드한다.The second guide groove 432 extends in parallel with the first guide groove 431 in step and guides the link portion 330 of the operation unit 300 to move in the first direction.

도면을 참조하면 상기 제2 가이드 홈(432)는 상기 제1 가이드 홈(431)과 마찬가지로 상기 수직 방향으로 연장되어 형성되고 상기 제1 가이드 홈(431)에 대해 단차를 두고 형성된다.Referring to the drawing, the second guide groove 432 is formed to extend in the vertical direction like the first guide groove 431 and is formed with a step with respect to the first guide groove 431.

또한 상기 작동 유닛(300)의 상기 링크부(330)에 형성되는 제3 가이드 부재(332)는 상기 제2 가이드 홈(432)를 따라 이동하도록 이루어진다.In addition, the third guide member 332 formed in the link unit 330 of the operation unit 300 is configured to move along the second guide groove 432.

이에 따라 상기 링크부(330)는 각도(a)를 유지하며 승하강 운동할 수 있고 상기 작동 유닛(300)은 흔들림 없이 승하강 운동할 수 있다.Accordingly, the link unit 330 may move up and down while maintaining the angle a, and the operation unit 300 may move up and down without shaking.

상기 제3 가이드 홈(433)은, 상기 제2 가이드 홈(432)부터 연장되고 제2 방향으로 형성되며 상기 작동 유닛(300)의 상기 링크부(330)가 상기 제2 방향으로 이동하도록 가이드한다.The third guide groove 433 extends from the second guide groove 432 and is formed in a second direction and guides the link portion 330 of the operation unit 300 to move in the second direction. .

상기 제3 가이드 홈(433)은 상기 가이드 홈(430)의 폭이 변경 되는 부분으로서 상기 제3 가이드 홈(433)에 의해 상기 링크부(330)의 가이드 방향이 변경되어 링크부(330)가 각도를 가지는 상태에서 수평 상태를 이루도록 한다.The third guide groove 433 is a portion in which the width of the guide groove 430 is changed, the guide direction of the link portion 330 is changed by the third guide groove 433 so that the link portion 330 A horizontal state is achieved at an angle.

또한 상기 제1 가이드 홈(431)의 일단, 상기 제2 가이드 홈(432)의 일단 또는 상기 제3 가이드 홈(433)의 일단 중 적어도 하나는 교체가 가능하도록 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, at least one of one end of the first guide groove 431, one end of the second guide groove 432, or one end of the third guide groove 433 may be replaced.

이는 작동 유닛(300)의 작동시 제1 가이드 부재(312) 내지 제3 가이드 부재와 접촉이 발생하는 부분을 교체하기 용이하게 하여 유지보수 성능을 높이기 위함이다.This is to increase the maintenance performance by facilitating the replacement of the portion in contact with the first guide member 312 to the third guide member during operation of the operation unit 300.

이에 따라 상기 작동 유닛(300)의 작동에 의해 상기 제1 가이드 홈(431)의 일단, 상기 제2 가이드 홈(432)의 일단 또는 상기 제3 가이드 홈(433)의 일단에 마모 또는 변형이 있는 경우 간편하게 교체하여 작업을 진행할 수 있다.Accordingly, one end of the first guide groove 431, one end of the second guide groove 432, or one end of the third guide groove 433 may be worn or deformed by the operation of the operation unit 300. In this case, the replacement can be done easily.

다음은 본 발명의 일실시예에 따른 게이트 밸브의 구동 유닛에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, a driving unit of a gate valve according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6는 도 1의 게이트 밸브의 구동 유닛(500)을 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view illustrating a drive unit 500 of the gate valve of FIG. 1.

상기 구동 유닛(500)은, 상기 작동 유닛(300)에 결합되고 상기 작동 유닛(300)을 제1 방향(승하강)으로 운동시킨다.The drive unit 500 is coupled to the operation unit 300 and moves the operation unit 300 in a first direction (rising).

도면을 참조하면 상기 구동 유닛(500)은 대략 육면체의 형상으로 이루어지고 유체에 의해 작동되는 실린더로 구성된다.Referring to the drawings, the drive unit 500 is formed in a substantially hexahedral shape and consists of a cylinder operated by a fluid.

상기와 같이 구동 유닛(500)을 육면체의 형상으로 함으로써 일반적인 원통형의 실린더에 비해 길이를 짧게 하고도 동일하거나 그 이상의 힘을 얻을 수 있다.By making the drive unit 500 into the shape of a cube as described above, the same or more force can be obtained even with a shorter length than that of a general cylindrical cylinder.

상기 구동 유닛(500)의 형상은 육면체에 한정되지 않고 높이에 비해 폭이 큰 형상을 채용할 수 있으며 이에 따라 단면이 직사각형이나 타원형상인 구동 유닛을 채용할 수 있다. The shape of the driving unit 500 is not limited to a hexahedron, and may be a shape having a larger width than a height, and thus a driving unit having a rectangular or elliptical cross section may be adopted.

상기 구동 유닛(500)의 상부와 하부에는 유체가 유입 또는 배출되는 제1 포트(미도시)와 제2 포트(미도시)가 각각 형성되고 구동 로드(530)를 통해 상기 작동 유닛을 승하강 운동시킨다. A first port (not shown) and a second port (not shown) through which fluid is introduced or discharged are respectively formed at an upper portion and a lower portion of the driving unit 500, and the lifting unit moves up and down through a driving rod 530. Let's do it.

상기 제1 포트에는 유체의 유입량과 배출량을 조절하는 조절부(510)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 구동 유닛(500)의 상승 운동 속도를 더 정밀하게 제어할 수 있다.The first port may further include an adjusting unit 510 for adjusting the inflow and discharge of the fluid. Accordingly, the upward movement speed of the driving unit 500 can be more precisely controlled.

상기 제2 포트에는 상기 구동 로드(530)가 제1 방향의 일정한 위치에 도달할 때 상기 구동 로드(530)의 운동속도를 감속시키는 완충부(520)를 더 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the second port further includes a shock absorbing part 520 that slows down the movement speed of the driving rod 530 when the driving rod 530 reaches a predetermined position in the first direction.

상기 완충부(560)는 예를 들면 체크 밸브로서, 상기 구동 로드(530)가 상승할 때에는 유체가 저항 없이 유입되고 상기 구동 로드(530)가 일정한 속도 이상으로 하강할 때에는 상기 구동 로드(530)의 운동을 저지함으로써 구동 로드(530)의 급격한 하강을 방지한다.The buffer part 560 is, for example, a check valve. When the driving rod 530 rises, fluid flows without resistance, and the driving rod 530 when the driving rod 530 falls above a certain speed. By preventing the motion of the driving rod 530 to prevent the sudden fall.

다음으로 본 발명의 일실시예에 따른 게이트 밸브의 작동에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, the operation of the gate valve according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 7a 내지 도 7c는 도 1의 게이트 밸브의 작동을 나타내는 작동도이다.7A to 7C are operation diagrams illustrating an operation of the gate valve of FIG. 1.

초기 상태에서 상기 게이트 밸브는 도 7a에 도시된 바와 같이 상기 구동 유닛(500), 상기 작동 유닛(300) 및 상기 밸브 유닛(200)이 모두 하방에 위치한다.In the initial state, the gate valve is located below the drive unit 500, the operation unit 300, and the valve unit 200 as shown in FIG. 7A.

이에 따라 상기 밸브 유닛(200)은 상기 밸브 하우징(100)에 형성된 개구부(111)를 개방한 상태가 된다.Accordingly, the valve unit 200 is in a state of opening the opening 111 formed in the valve housing 100.

또한 상기 밸브 유닛(200)은 수직방향을 기준으로 소정의 각도(a)만큼 기울어진 상태로 위치하고 이러한 상태는 작동 유닛(300)의 가압부(340)에 의해 유지된다.In addition, the valve unit 200 is positioned in an inclined state by a predetermined angle (a) with respect to the vertical direction, and this state is maintained by the pressing unit 340 of the operation unit 300.

상기와 같은 초기 상태에서 상기 게이트 밸브의 상승 동작시에는 상기 구동 유닛(500)의 제2 포트를 통해 유체가 유입된다.In the initial operation as described above, the fluid flows through the second port of the driving unit 500 during the raising operation of the gate valve.

유입된 상기 유체에 의해 상기 구동 유닛(500)의 상기 구동 로드(530)가 상승한다.The driving rod 530 of the driving unit 500 rises due to the fluid introduced therein.

상기 구동 로드(530)이 상승하면 상기 구동 로드(530)에 결합된 상기 작동 유닛(300)이 상승한다.When the driving rod 530 is raised, the operation unit 300 coupled to the driving rod 530 is raised.

이 때 상기 작동 유닛(300)은 상기 제1 본체 블록(310)과 상기 제2 본체 블록(320)이 상기 제1 가이드 홈(431)을 따라 이동하고, 상기 링크부(330)가 상기 제2 가이드 홈(432)을 따라 이동한다.At this time, the operation unit 300 is the first body block 310 and the second body block 320 is moved along the first guide groove 431, the link unit 330 is the second Move along the guide groove 432.

상술한 바와 같이 상기 링크부(330)는 상기 제2 가이드 홈(432)에 의해 이동이 고정되고 상기 접촉부(333)에 의해 지지되므로 초기의 각도(a)를 유지하고 상기 제1 본체 블록(310)과 상기 제2 본체 블록(320)의 이격된 거리를 유지한 상태로 이동한다.As described above, since the link part 330 is fixed by the second guide groove 432 and supported by the contact part 333, the link part 330 maintains an initial angle a and the first body block 310. ) And the second body block 320 are moved in a state where they are spaced apart from each other.

상기 구동 유닛(500)의 구동 로드(530)이 계속하여 상승하면 상기 밸브 유닛(200)이 상기 밸브 하우징(110)의 상기 개구부(111)와 대향하는 도 7b의 상태가 된다.If the driving rod 530 of the driving unit 500 continuously rises, the valve unit 200 is in a state of FIG. 7B facing the opening 111 of the valve housing 110.

이 때 상기 제1 본체 블록(310)에 형성된 상기 제1 가이드 부재(312)가 상기 제1 가이드 홈(431)의 일단에 도달한 상태가 되고 상기 링크부(330)의 제3 가이드 부재(332)가 상기 제2 가이드 홈(432)의 일단에 도달한 상태가 된다.At this time, the first guide member 312 formed in the first body block 310 reaches a state of one end of the first guide groove 431 and the third guide member 332 of the link unit 330. ) Reaches a state of one end of the second guide groove 432.

상기 구동 유닛(500)이 더 상승하게 되면 상기 제1 가이드 부재(312)는 상기 제1 가이드 홈(430)의 일단(421)과 접촉하면서 상승이 저지되지만 상기 제2 가이드 부재(322)는 계속적으로 상승이 가능하다.When the driving unit 500 is further raised, the first guide member 312 contacts the one end 421 of the first guide groove 430 and the lift is prevented, but the second guide member 322 is continuously The rise is possible.

즉 상기 제1 가이드 부재(312)의 상승이 저지되더라도 제3 가이드 부재(332)가 상기 제2 가이드 홈(432)에서 벗어나 상기 제3 가이드 홈(433)로 가이드 되면서 링크부(330)의 각도가 수평이되므로 상기 제2 가이드 부재(322)는 계속적인 상승이 가능하다.That is, even if the rise of the first guide member 312 is prevented, the third guide member 332 is guided out of the second guide groove 432 to the third guide groove 433 and the angle of the link portion 330 Since the horizontal is the second guide member 322 can be continuously raised.

이에 따라 상기 제1 본체 블록(310)과 상기 제2 본체 블록(320) 사이의 간격도 최소화되고 상기 제1 본체 블록(310)과 상기 제2 본체 블록(320) 사이에 개재된 상기 가압부(340)의 상기 가압롤(343)이 상기 제1 본체 블록(310)의 돌출부(313)에 형성된 경사면(314)을 따라 상방으로 이동하면서 가압한다.Accordingly, the gap between the first body block 310 and the second body block 320 is also minimized, and the pressing part interposed between the first body block 310 and the second body block 320 ( The pressing roll 343 of the 340 is pressed while moving upward along the inclined surface 314 formed on the protrusion 313 of the first body block 310.

이에 따라 상기 밸브 유닛(200)이 상기 개구부(111)를 폐쇄하도록 회동시키는 도 7c의 상태가 된다.As a result, the valve unit 200 rotates to close the opening 111.

상기 게이트 밸브의 개방 동작시에는 상기한 동작이 역순으로 이루어지게 된다.In the opening operation of the gate valve, the above operation is performed in the reverse order.

즉 상기 구동 유닛(500)의 구동 로드(530)가 하강하면 상기 제1 가이드 부재(312)의 위치는 고정된 상태로 상기 제2 가이드 부재(322)만이 하강하고 상기 링크부(330)는 수평상태에서 점차 각도를 가지는 상태가 된다.That is, when the driving rod 530 of the driving unit 500 descends, only the second guide member 322 descends while the position of the first guide member 312 is fixed, and the link unit 330 is horizontal. The state gradually becomes an angled state.

상기 링크부(330)가 일정한 각도(a)를 이루게 되면 상기 제3 가이드 부재는 상기 제3 가이드 홈(433)부터 상기 제2 가이드 홈(432)로 완전히 복귀하게 된다.When the link part 330 has a constant angle a, the third guide member completely returns from the third guide groove 433 to the second guide groove 432.

이 때 제1 본체 블록(310)과 상기 제2 본체 블록(320) 사이의 간격이 벌어지면서 상기 가압부(340)는 상기 제1 본체 블록(310)의 하단에 형성된 경사면(314)을 따라 하방으로 이동하면서 가압한다.At this time, as the gap between the first body block 310 and the second body block 320 increases, the pressing part 340 moves downward along the inclined surface 314 formed at the lower end of the first body block 310. Pressurize while moving to.

이에 따라 상기 밸브 유닛(200)은 수직 방향에서 일정한 각도(a)만큼 기울어진 상태를 가지도록 회동되고 상기 개구부(111)를 개방하는 도 7b의 상태가 된다.Accordingly, the valve unit 200 is rotated to have a state inclined by a predetermined angle a in the vertical direction and is in a state of FIG. 7B in which the opening 111 is opened.

이 상태에서 구동 로드(530)이 계속적으로 하강하게 되면 작동 유닛(300) 전체가 하강하게 되고 도 7a에 도시한 바와 같은 위치로 복귀하게 된다.In this state, when the driving rod 530 continuously descends, the entire operation unit 300 descends and returns to the position as shown in FIG. 7A.

상기와 같이 설명된 게이트 밸브는 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.The above-described gate valve is not limited to the configuration and method of the embodiments described above, the embodiments may be configured by selectively combining all or part of each embodiment so that various modifications can be made It may be.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 밸브 하우징 200 : 밸브 유닛
300 : 작동 유닛 400 : 가이드 유닛
500 : 구동 유닛100: valve housing 200: valve unit
300: operation unit 400: guide unit
500 drive unit

Claims

기판이 통과하는 개구부(111)를 개폐하도록 이루어지는 밸브 유닛(200);
상기 밸브 유닛(200)에 결합되고 상기 밸브 유닛(200)을 개폐동작시키는 작동 유닛(300);
상기 작동 유닛(300)에 결합되고 상기 작동 유닛(300)을 가이드 하는 가이드 홈(430)이 형성되는 가이드 유닛(400) 및
상기 작동 유닛(300)에 결합되고 상기 작동 유닛(300)을 제1 방향으로 운동시키는 구동 유닛(500)을 포함하되,
상기 작동 유닛(300)은,
상기 밸브 유닛(200)과 일체화 되도록 결합되는 제1 본체부(310);
상기 구동 유닛(500)과 일체화 되도록 결합되는 제2 본체부(320);
상기 제1 본체부(310)와 상기 제2 본체부(320)에 일정한 경사를 가지고 각각 결합되고 상기 경사의 방향이 제2 방향이 되도록 회전함으로써 상기 제1 본체부(310)를 회전시키는 링크부(330) 및
상기 제2 본체부(320)에 결합되고 상기 링크부(330)가 회전할 때 상기 제1 본체부(310)의 일단을 가압하도록 이루어지는 가압부(340)
를 포함하는 게이트 밸브.A valve unit 200 configured to open and close the opening 111 through which the substrate passes;
An operation unit 300 coupled to the valve unit 200 to open and close the valve unit 200;
A guide unit 400 coupled to the operation unit 300 and having a guide groove 430 for guiding the operation unit 300;
A driving unit 500 coupled to the operation unit 300 and moving the operation unit 300 in a first direction,
The operation unit (300)
A first body part 310 coupled to be integral with the valve unit 200;
A second main body 320 coupled to be integral with the driving unit 500;
Link portions for coupling the first body portion 310 and the second body portion 320 with a predetermined inclination, respectively, and rotating the first body portion 310 by rotating so that the direction of the inclination becomes a second direction. 330 and
The pressing unit 340 coupled to the second main body 320 and configured to press one end of the first main body 310 when the link unit 330 rotates.
Gate valve comprising a.

제1항에 있어서,
상기 가이드 유닛(400)은,
제1 방향을 따라 변동되는 폭을 가지는 가이드 홈(430)을 구비하고, 상기 작동 유닛(300)이 상기 가이드 홈(430)에 결합되어 제1 방향으로 가이드되며 상기 작동 유닛(300)의 상기 링크부(330)가 상기 가이드 홈(430)의 변동되는 폭 부분에서 제2 방향으로 가이드되면서 작동하여 상기 밸브 유닛(200)이 상기 밸브 하우징(100)의 개구부(111)를 개폐하는 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method of claim 1,
The guide unit 400,
And a guide groove 430 having a width varying in a first direction, wherein the operation unit 300 is coupled to the guide groove 430 to be guided in a first direction and the link of the operation unit 300 is provided. The unit 330 is operated while being guided in the second direction in the variable width portion of the guide groove 430 to perform the operation of opening and closing the opening 111 of the valve housing 100 by the valve unit 200. Gate valve, characterized in that.

제2항에 있어서,
상기 가이드 홈(430)은,
제1 방향으로 형성되고 상기 작동 유닛(300)이 상기 제1 방향으로 이동하도록 가이드하는 제1 가이드 홈(431);
상기 제1 가이드 홈(431)과 단차를 이루며 평행하게 연장되고 상기 작동 유닛(300)의 상기 링크부(330)가 상기 제1 방향으로 이동하도록 가이드하는 제2 가이드 홈(432) 및
상기 제2 가이드 홈(432)부터 연장되고 상기 작동 유닛(300)의 상기 링크부(330)가 상기 제2 방향으로 이동하도록 가이드하는 제3 가이드 홈(433)
을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브The method of claim 2,
The guide groove 430 is,
A first guide groove 431 formed in a first direction and guiding the operation unit 300 to move in the first direction;
A second guide groove 432 extending in parallel with the first guide groove 431 and guiding the link unit 330 of the operation unit 300 to move in the first direction;
A third guide groove 433 extending from the second guide groove 432 and guiding the link part 330 of the operation unit 300 to move in the second direction
Gate valve comprising a

제1항에 있어서,
상기 제1 본체부(310)는,
일측이 상기 밸브 유닛(200)이 결합되고 다른 일측이 상기 링크부(330)와 연결되는 제1 본체 블록(311) 및
상기 제1 본체 블록(311)의 양측에 결합되고 상기 가이드 홈(430)을 따라 이동하는 제1 가이드 부재(312)를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method of claim 1,
The first main body 310,
A first body block 311 having one side coupled to the valve unit 200 and the other side connected to the link unit 330;
And a first guide member (312) coupled to both sides of the first body block (311) and moving along the guide groove (430).

제4항에 있어서,
상기 제2 본체부(320)는,
일측이 상기 구동 유닛(500)이 결합되고 다른 일측이 상기 링크부(330)와 연결되는 제2 본체 블록(321) 및
상기 제2 본체 블록(321)의 양측에 결합되고 상기 가이드 홈(430)을 따라 이동하는 제2 가이드 부재(322)를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브5. The method of claim 4,
The second main body 320,
A second body block 321 having one side coupled to the driving unit 500 and the other side connected to the link unit 330;
And a second guide member 322 coupled to both sides of the second body block 321 and moving along the guide groove 430.

제5항에 있어서,
상기 제1 본체 블록(311)은,
일측에 돌출부(313)가 형성되고 상기 돌출부(313)에 상기 링크부(330)가 결합되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method of claim 5,
The first body block 311 is,
Protruding portion (313) is formed on one side and the gate valve, characterized in that the link portion (330) is coupled to the protruding portion (313).

제6항에 있어서,
상기 돌출부(313)는 일측이 일정한 곡률반경을 가지는 경사면(314)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method according to claim 6,
The protrusion 313 is a gate valve, characterized in that formed on one side of the inclined surface (314) having a constant radius of curvature.

제7항에 있어서,
상기 가압부(340)는,
상기 제2 본체 블록(320)에 결합되는 가압부 본체(341) 및 상기 가압부 본체(341)에 회전 가능하게 결합되는 가압부재(342)를 포함하고,
상기 가압부재(342)가 상기 돌출부(313)의 상기 경사면(314)을 가압함으로써 상기 밸브 유닛(200)을 작동시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method of claim 7, wherein
The pressing unit 340,
And a pressing part body 341 coupled to the second body block 320 and a pressing member 342 rotatably coupled to the pressing part body 341.
And the pressure member (342) operates the valve unit (200) by pressing the inclined surface (314) of the protrusion (313).

제1항에 있어서,
상기 링크부(330)는 상기 제2 본체부(320)와 접촉하는 접촉부(333)를 가지고 상기 접촉부(333)는 상기 제2 본체부(320)의 접촉면과 대응되는 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method of claim 1,
The link portion 330 has a contact portion 333 in contact with the second body portion 320 and the contact portion 333 has a shape corresponding to the contact surface of the second body portion 320. Gate valve.

제2항에 있어서,
상기 가이드 유닛(400)은,
상기 가이드 홈(430)이 형성되는 제1 가이드부(410) 및 일측이 상기 밸브 하우징(110)에 결합되고 다른 일측이 상기 제1 가이드부(410)와 결합되며 상기 제1 가이드부(410)에 형성된 가이드 홈(430)에서 연장되는 끝단(421)이 형성되는 제2 가이드부(420)를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method of claim 2,
The guide unit 400,
The first guide part 410 and one side of which the guide groove 430 is formed are coupled to the valve housing 110, and the other side thereof is coupled to the first guide part 410 and the first guide part 410. And a second guide part (420) having an end portion (421) extending from the guide groove (430) formed in the gate valve.

제3항에 있어서,
상기 제1 가이드 홈(431)의 일단, 상기 제2 가이드 홈(432)의 일단 또는 상기 제3 가이드 홈(433)의 일단 중 적어도 하나는 교체가 가능한 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.The method of claim 3,
At least one of one end of the first guide groove (431), one end of the second guide groove (432) or one end of the third guide groove (433) is made of a replaceable member.