KR20130045175A - Device with levitation and transportation - Google Patents

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KR20130045175A
KR20130045175A KR1020120113586A KR20120113586A KR20130045175A KR 20130045175 A KR20130045175 A KR 20130045175A KR 1020120113586 A KR1020120113586 A KR 1020120113586A KR 20120113586 A KR20120113586 A KR 20120113586A KR 20130045175 A KR20130045175 A KR 20130045175A
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KR
South Korea
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valve
differential pressure
substrate
main pipe
floating
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Application number
KR1020120113586A
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Korean (ko)
Inventor
켄지 하마카와
토시히로 모리
Original Assignee
도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A levitating and transferring apparatus is provided to transfer a substrate with a preset levitation height by quickly responding to the change of a levitation environment. CONSTITUTION: A levitation stage includes a surface on which a plurality of outlets(11) and absorption holes(12) are arranged in a substrate transfer direction. A main pipe(13) is connected to an absorption force supply unit(30). A branch pipe(15) is connected to the main pipe and each absorption hole. A differential pressure damper(20) is installed in the main pipe and includes a manifold(21) and a valve(22) to connect the main pipe to the outside. The valve is opened or closed by an external force due to the differential pressure between the main pipe and the outside which affects the value. [Reference numerals] (AA) Substrate transferring direction

Description

부상 반송 장치{DEVICE WITH LEVITATION AND TRANSPORTATION}Injury Return Device {DEVICE WITH LEVITATION AND TRANSPORTATION}

본 발명은 압축 공기 등의 기체를 분출하여 기판을 부상(浮上)시킨 상태로 반송(搬送)을 행하는 부상 반송 장치에 관한 것이다.This invention relates to the floating conveyance apparatus which conveys in the state which floated the gas, such as compressed air, and floated the board | substrate.

액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에는, 기판 상에 레지스트액이 도포된 것(도포 기판이라고 칭한다)이 사용되고 있다. 이 도포 기판은, 기판 상에 레지스트액이나 약액(藥液) 등의 도포액을 균일하게 도포하는 도포 장치에 의하여 형성되어 있다. In flat panel displays, such as a liquid crystal display and a plasma display, what apply | coated the resist liquid on the board | substrate (referred to as a coating board | substrate) is used. This application | coating board | substrate is formed with the application | coating device which apply | coats coating liquids, such as a resist liquid and chemical liquid, uniformly on a board | substrate.

도포 장치의 개략도를 도 13에 도시한다. 도포 장치(80)는, 기판(W)을 반송하는 반송 장치(81)와, 기판에 도포액을 도포하는 도포부(82)를 가지고 있다. 도포부(82)는, 반송 장치(81)에 의한 기판(W)의 반송 방향과 수직인 방향으로 연장된 슬릿을 가지는 구금(口金)을 구비하고, 기판(W)을 소정 속도로 반송하면서 이 슬릿으로부터 도포액을 토출하여, 기판(W) 상에 도포막을 형성한다. A schematic diagram of the coating device is shown in FIG. The coating apparatus 80 has the conveying apparatus 81 which conveys the board | substrate W, and the coating part 82 which apply | coats a coating liquid to a board | substrate. The coating part 82 is provided with the detention which has a slit extended in the direction perpendicular | vertical to the conveyance direction of the board | substrate W by the conveying apparatus 81, and conveys this board | substrate W at a predetermined speed | rate. The coating liquid is discharged from the slit to form a coating film on the substrate (W).

이 때, 도포 동작 중에 기판(W)에 이물이 부착하는 것을 막고 싶은 경우, 반송 장치(81)에는, 기체를 분출하여 그 압력으로 기판(W)을 부상시켜, 비접촉 상태로 기판(W)의 반송을 행하는 부상 반송 장치가 이용되는 것이 있다. At this time, in the case where it is desired to prevent foreign matter from adhering to the substrate W during the coating operation, the carrier device 81 blows off the gas and floats the substrate W at the pressure, thereby bringing the substrate W into a non-contact state. Some floating conveying apparatus which conveys may be used.

이 부상 반송 장치의 일례를 도 14에 도시한다. 이 부상 반송 장치(91)는, 기체를 분출하는 분출구(92) 외에 기체를 흡인하는 흡인구(93)를 가지고 있다. 그리고, 기판(W)을 부상시키는 데에 즈음하여 분출구(92)로부터 기체를 분출하는 것과 동시에 각 흡인구(93)로부터 기판(W)을 흡인하는 것에 의하여, 기체의 분출만을 행하여 기판(W)을 부상시킨 경우와 비교하여, 부상한 기판(W)의 휨을 억제하여 평면도를 유지할 수 있고, 또한, 기판(W)의 부상 높이를 정밀하게 제어할 수 있다. An example of this floating conveying apparatus is shown in FIG. This floating conveying apparatus 91 has the suction port 93 which sucks a gas other than the blowing port 92 which blows gas. Then, when the substrate W is floated, the gas is ejected from the ejection port 92 and the substrate W is sucked from each of the suction ports 93 so that only the gas is ejected to perform the substrate W. In comparison with the case where the surface of the surface is floated, the warpage of the surface of the substrate W can be suppressed and the flatness can be maintained, and the height of the surface of the substrate W can be precisely controlled.

한편, 도 14에 도시한 바와 같은 부상 반송 장치(91)에서는, 각 흡인구(93)에 흡인력을 부여하는 흡인력 공급 수단(94)으로부터의 출력이 일정한 경우여도, 기판(W)이 어느 위치에 있는지에 따라 흡인력이 변화한다고 하는 문제가 있다. 그 구체예를 도 15에 도시한다. 도 15(a)와 같이 부상 반송 장치(91)의 상방(上方)에 기판(W)이 존재하는 부분이 적은 경우는, 기판(W)에 상방이 차폐(遮蔽)되는 흡인구(93)의 수가 적고, 기체를 흡인하여도 리크(leak)가 크기 때문에, 도 15(a) 그래프에 V1로 도시하는 바와 같이, 기판(W)을 흡인하고 있는 흡인구(93)의 흡인력은 작다. 한편, 도 15(b)와 같이 부상 반송 장치(91)의 상방에 기판(W)이 존재하는 부분이 많아지면, 리크가 적어져, 그것에 수반하여, 도 15(b) 그래프에 V2로 도시하는 바와 같이, 기판(W)을 흡인하고 있는 흡인구(93)의 흡인력이 커진다. 그 결과, 기판(W)이 부상 반송 장치(91)에 달라붙거나 기판(W)의 단부(端部)가 부상 반송 장치(91)와 충돌하거나 할 우려가 있다. On the other hand, in the floating conveying apparatus 91 as shown in FIG. 14, even if the output from the suction force supply means 94 which gives a suction force to each suction port 93 is constant, the board | substrate W may be located in what position. There exists a problem that a suction force changes with presence. The specific example is shown in FIG. As shown in FIG. 15A, when there are few portions where the substrate W exists above the floating carrier device 91, the suction port 93 of which the upper side is shielded from the substrate W is shielded. Since the number is small and the leak is large even when the gas is sucked, the suction force of the suction port 93 suctioning the substrate W is small as shown by V1 in the graph of FIG. On the other hand, when there are many parts in which the board | substrate W exists above the floating conveying apparatus 91 like FIG.15 (b), there will be a little leak, and with that, it shows with V2 on the graph of FIG.15 (b). As described above, the suction force of the suction port 93 that sucks the substrate W increases. As a result, there exists a possibility that the board | substrate W may stick to the floating conveying apparatus 91, or the edge part of the board | substrate W may collide with the floating conveying apparatus 91.

이 흡인력의 변화를 억제하는 수단으로서, 예를 들어, 하기 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같이, 흡인구와 흡인력 공급 수단과의 사이에 전기 제어 밸브를 설치하고, 압력 센서로 계측한 흡인구 내의 압력값에 따라 제어 장치로부터 당해 밸브의 개도(開度)를 조절하는 것에 의하여, 흡인력이 설정값으로 되도록 하는 것이 있다.As a means for suppressing the change of the suction force, for example, as shown in Patent Document 1 below, an electric control valve is provided between the suction port and the suction force supply means, and the pressure value in the suction port measured by the pressure sensor is used. Accordingly, the suction force may be set to a set value by adjusting the opening degree of the valve from the control device.

일본국 공개특허공보 특개2007-88201호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-88201

그러나, 상기 특허 문헌 1에 기재된 부상 반송 장치에서는, 흡인력의 변화에 제어가 따라잡지 못하여, 흡인력을 일정하게 할 수 없는 경우가 있다고 하는 문제가 있었다. 구체적으로는, 밸브를 전기 제어하고, 목적하는 개도로 하기 위해서는, 압력 센서로 계측한 압력값을 제어 장치로 보내는 시간, 그 압력값에 기초하여 제어 장치가 적정한 개도를 계산하는 시간, 계산된 개폐도로 되도록 제어 장치가 밸브를 동작시키는 시간 등을 포함한 응답 시간이 필요하게 되는 것에 대하여, 기판(W)의 반송 속도가 빨라지면, 이 응답 시간이 경과할 때까지 흡인력이 변화하는 경우가 있다. 즉, 응답 지연이 생기고, 그 경우, 응답 시간을 지나 조절이 완료된 밸브의 개도는 이미 적절한 개도가 아니게 되어 있어, 그 결과, 정확한 흡인력 제어를 할 수 없게 된다. However, in the floating conveying apparatus of the said patent document 1, there existed a problem that control could not catch up with the change of suction force, and suction force could not be made constant. Specifically, in order to electrically control the valve and to achieve the desired opening, the time for sending the pressure value measured by the pressure sensor to the control device, the time for the control device to calculate the appropriate opening degree based on the pressure value, the calculated opening and closing When the conveyance speed of the board | substrate W becomes fast, about the response time including the time which a control apparatus operates a valve, etc. so that it may return, the suction force may change until this response time passes. That is, a response delay occurs, and in that case, the opening degree of the valve whose adjustment is completed after the response time is not already an appropriate opening degree, and as a result, accurate suction force control cannot be performed.

특히, 도 13에 도시한 바와 같은 도포 장치에서는, 도포부(82)로부터 기판(W)에 도포액을 균일하게 도포하기 위하여 도포부(82)와 기판(W)과의 거리를 일정하게 유지하는 것, 즉, 기판(W)의 부상 높이를 일정하게 유지하는 것이 중요하고, 이와 같이 반송 장치(81)가 정확한 흡인력 제어를 하지 못하여, 기판(W)의 부상 높이가 불안정하게 되면, 도포 얼룩을 일으킬 우려가 있다. In particular, in the coating device as shown in FIG. 13, in order to uniformly apply the coating liquid from the coating portion 82 to the substrate W, the distance between the coating portion 82 and the substrate W is kept constant. That is, it is important to keep the floating height of the substrate W constant, and thus, if the conveying device 81 fails to accurately control the suction force and the floating height of the substrate W becomes unstable, unevenness of coating It may cause.

나아가, 기판(W)과 반송 장치(81)가 접촉할 우려가 있고, 그것에 따라 기판(W)의 이면(裏面)에 상처가 나거나, 기판(W)이나 반송 장치(81)의 일부가 벗겨져 이물이 발생하거나, 기판(W)에 정전기가 생겨 이물의 부착이나 내부 회로가 파괴될 가능성이 있다. Furthermore, the board | substrate W and the conveying apparatus 81 may contact, and the back surface of the board | substrate W may be damaged by this, or a part of the board | substrate W and the conveying apparatus 81 may come off, and a foreign material may be exfoliated. This may occur, or static electricity may be generated on the substrate W, which may cause adhesion of foreign matter and internal circuit breakage.

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점에 감안하여 이루어진 것이며, 기판의 반송에 수반하는 부상 환경의 변화에 신속하게 응답하여, 기판을 일정한 부상 높이로 반송할 수 있는 부상 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems of the prior art as described above, and provides a floating conveying apparatus capable of conveying a substrate at a constant floating height in response to changes in the floating environment accompanying the conveying of the substrate. It is aimed.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 부상 반송 장치는, 기판을 부상시켜 반송하는 부상 반송 장치이고, 기체를 분출하는 분출구와 기체를 흡인하는 흡인구가 기판이 반송되는 방향으로 복수개씩 배열된 표면을 가지고, 기체의 분출 및 흡인에 의하여 기판을 소정의 높이로 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 흡인구에 흡인력을 공급하는 흡인력 공급 수단과, 상기 흡인력 공급 수단과 연통(連通)하는 주 배관과, 상기 주 배관과 연통하고, 각각의 상기 흡인구와 연통하는 분기 배관과, 상기 주 배관의 도중에 설치된 차압 댐퍼(damper)를 구비하고, 상기 차압 댐퍼는, 상기 주 배관 내와 외기를 연통하는 경로 및 당해 경로를 차단하는 밸브를 가지고, 상기 밸브는, 상기 주 배관 내와 외기와의 차압이 당해 밸브에 미치는 외력에 의하여 개폐하는 동작을 취하며, 상기 차압의 변화에 따라 상기 밸브가 동작하여 개도가 변화하는 것에 의하여, 소정의 상기 차압을 보지(保持)하는 것을 특징으로 하고 있다. In order to solve the said subject, the floating conveyance apparatus of this invention is a floating conveying apparatus which floats and conveys a board | substrate, and has the surface in which the ejection opening which blows off gas, and the suction opening which draws in gas is arranged in the direction by which a board | substrate is conveyed. A floating stage which floats the substrate to a predetermined height by blowing and sucking gas, suction force supply means for supplying suction force to the suction port, main pipe in communication with the suction force supply means, and the main A branch pipe communicating with the pipe and communicating with each of the suction ports, and a differential pressure damper provided in the middle of the main pipe, wherein the differential pressure damper communicates with a path communicating with the outside air in the main pipe and the path. It has a valve | bulb which cuts off, The said valve takes an operation which opens and closes by the external force which the differential pressure between the inside of the said main pipe and external air exerts on the said valve. The valve is operated in accordance with the change in the differential pressure, so that the predetermined differential pressure is retained by changing the opening degree.

상기 부상 반송 장치에 의하면, 흡인력 공급 수단과 연통하는 주 배관의 도중에 차압 댐퍼가 설치되고, 그 차압 댐퍼의 밸브가 주 배관 내와 외기와의 차압이 당해 밸브에 미치는 외력에 의하여 개폐하는 동작을 취하는 것에 의하여, 제어에 의하여 밸브가 동작하는 경우와 비교하여, 차압의 변화에 의하여 직접적으로 밸브가 동작한다. 따라서, 기판의 부상 반송과 같이 즉시 흡인구의 흡인력이 변화하는 경우여도 응답이 늦어지지 않게 밸브가 신속하게 동작하는 것이 가능하고, 흡인력을 소정의 값으로 보지하여, 기판을 일정한 부상 높이로 반송할 수 있다. According to the above-mentioned floating conveying apparatus, a differential pressure damper is provided in the middle of the main pipe which communicates with a suction force supply means, and the valve of the differential pressure damper performs the operation which opens and closes by the external force which the pressure difference between the main pipe and the outside air to the said valve has. As a result, compared with the case where the valve is operated by the control, the valve is directly operated by the change of the differential pressure. Therefore, even if the suction force of the suction port immediately changes, such as the floating conveyance of the substrate, the valve can be operated quickly so that the response is not slowed down. The suction force is held at a predetermined value, and the substrate can be conveyed at a constant floating height. have.

또한, 그 외의 형태로서, 기판을 부상시켜 반송하는 부상 반송 장치이고, 기체를 분출하는 분출구가 기판이 반송되는 방향으로 복수개 배열된 표면을 가지고, 기체의 분출에 의하여 기판을 소정의 높이로 부상시키는 부상 스테이지와, 상기 분출구에 기체를 공급하는 기체 공급 수단과, 상기 기체 공급 수단과 연통하는 주 배관과, 상기 주 배관과 연통하고, 각각의 상기 분출구와 연통하는 분기 배관과, 상기 주 배관의 도중에 설치된 차압 댐퍼를 구비하고, 상기 차압 댐퍼는, 상기 주 배관 내와 외기를 연통하는 경로 및 당해 경로를 차단하는 밸브를 가지고, 상기 밸브는, 상기 주 배관 내와 외기와의 차압이 당해 밸브에 미치는 외력에 의하여 개폐하는 동작을 취하며, 상기 차압의 변화에 따라 상기 밸브가 동작하여 개도가 변화하는 것에 의하여, 소정의 상기 차압을 보지하는 것을 특징이라고 하여도 무방하다. In addition, another aspect is a floating conveying apparatus which floats and conveys a substrate, and has a surface in which a plurality of ejection ports for ejecting gas have a plurality of surfaces arranged in the direction in which the substrate is conveyed, thereby causing the substrate to float to a predetermined height by ejecting the gas. A floating stage, a gas supply means for supplying gas to the jet port, a main pipe in communication with the gas supply means, a branch pipe in communication with the main pipe, and in communication with each of the jet ports, in the middle of the main pipe And a differential pressure damper, wherein the differential pressure damper has a path that communicates with the outside air in the main pipe and a valve for blocking the path. The valve has a differential pressure between the inside of the main pipe and the outside air to the valve. By opening and closing by an external force, the valve is operated in accordance with the change in the differential pressure to change the opening degree, predetermined But it may be as characterized in that the differential pressure seen.

상기 부상 반송 장치에 의하면, 기체 공급 수단과 연통하는 주 배관의 도중에 차압 댐퍼가 설치되고, 그 차압 댐퍼의 밸브가 주 배관 내와 외기와의 차압이 당해 밸브에 미치는 외력에 의하여 개폐하는 동작을 취하는 것에 의하여, 상기의 흡인력의 경우와 마찬가지로, 분출하는 기체의 압력을 소정의 값으로 보지할 수 있기 때문에, 기판을 일정한 부상 높이로 반송할 수 있다. According to the floating conveying apparatus, a differential pressure damper is provided in the middle of the main pipe communicating with the gas supply means, and the valve of the differential pressure damper performs an operation of opening and closing the valve by the external force of the pressure difference between the inside of the main pipe and the outside air to the valve. Thereby, since the pressure of the gas to eject can be hold | maintained at a predetermined value similarly to the case of said suction force, a board | substrate can be conveyed by a constant floating height.

또한, 상기 차압 댐퍼는, 상기 밸브의 동작 범위를 소정의 범위로 제한하는 스토퍼(stopper)를 가지면 된다. The differential pressure damper may have a stopper for limiting the operation range of the valve to a predetermined range.

이와 같이 밸브의 동작 범위를 소정의 범위로 제한하는 스토퍼를 가지는 것에 의하여, 흡인력의 급격한 변화가 있었던 경우에 밸브가 너무 열리거나, 혹은 너무 닫히는, 이른바 오버 슈트(over shoot)하는 것을 막을 수 있기 때문에, 주 배관 내의 압력이 불안정하게 되는 것을 막아, 안정된 흡인력을 보지하는 것이 가능하다. By having a stopper for limiting the operation range of the valve to a predetermined range in this way, it is possible to prevent the so-called overshoot, which is too open or too close when there is a sudden change in suction force. It is possible to prevent the pressure in the main pipe from becoming unstable and to maintain a stable suction force.

또한, 상기 차압 댐퍼는, 상기 밸브의 동작에 대한 저항 수단을 가지고, 상기 밸브의 동작 속도를 억제하여도 무방하다. Moreover, the said differential pressure damper has a resistance means with respect to the operation | movement of the said valve, and may suppress the operation | movement speed of the said valve.

이와 같이, 밸브의 동작에 대한 저항 수단을 가지고, 상기 밸브의 동작 속도를 억제하는 것에 의하여, 흡인력의 급격한 변화가 있었던 경우에서도, 밸브의 동작 속도가 억제되고 있기 때문에, 밸브가 오버 슈트하기 어려워진다. 또한, 주 배관 내와 외기와의 차압의 미소한 변화에 밸브가 과잉으로 반응하는 것도 막아, 그 결과, 밸브가 미진동을 일으키는 것을 막는 것도 가능하다.As described above, the valve is difficult to overshoot because the operating speed of the valve is suppressed even when there is a sudden change in suction force by having the resistance against the operation of the valve and suppressing the operating speed of the valve. . In addition, it is also possible to prevent the valve from excessively reacting to a slight change in the differential pressure between the main pipe and the outside air, and as a result, it is possible to prevent the valve from causing micro-vibration.

본 발명의 부상 반송 장치에 의하면, 기판의 반송에 수반하는 부상 환경의 변화에 신속하게 응답하여, 기판을 일정한 부상 높이로 반송할 수 있다.According to the floating conveyance apparatus of this invention, a board | substrate can be conveyed at a constant floating height in response to the change of the floating environment accompanying conveyance of a board | substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 있어서의 부상 반송 장치의 개략도이다.
도 2는 본 실시예에 있어서의 부상 스테이지의 개략도이다.
도 3은 본 실시예에 있어서의 차압 댐퍼의 개략도이다.
도 4는 본 실시예에 있어서의 흡인력의 변화를 나타내는 그래프이다.
도 5는 다른 실시예에 있어서의 부상 스테이지의 개략도이다.
도 6은 다른 실시예에 있어서의 차압 댐퍼의 개략도이다.
도 7은 다른 실시예에 있어서의 분출력의 변화를 나타내는 그래프이다.
도 8은 다른 실시예에 있어서의 부상 스테이지의 개략도이다.
도 9는 다른 실시예에 있어서의 부상 스테이지의 개략도이다.
도 10은 다른 실시예에 있어서의 부상 스테이지의 개략도이다.
도 11은 다른 실시예에 있어서의 차압 댐퍼의 개략도이다.
도 12는 다른 실시예에 있어서의 부상 스테이지의 개략도이다.
도 13은 반송 장치를 가진 도포 장치의 개략도이다.
도 14는 종래의 부상 반송 장치의 개략도이다.
도 15는 종래의 부상 반송 장치를 이용한 기판 반송의 일례의 개략도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram of the floating conveyance apparatus in one Embodiment of this invention.
2 is a schematic diagram of the floating stage in this embodiment.
3 is a schematic diagram of the differential pressure damper in the present embodiment.
4 is a graph showing a change in suction force in the present embodiment.
5 is a schematic diagram of a floating stage in another embodiment.
6 is a schematic view of a differential pressure damper in another embodiment.
7 is a graph showing a change in power output in another embodiment.
8 is a schematic diagram of a floating stage in another embodiment.
9 is a schematic diagram of a floating stage in another embodiment.
10 is a schematic diagram of a floating stage in another embodiment.
11 is a schematic diagram of a differential pressure damper in another embodiment.
12 is a schematic diagram of a floating stage in another embodiment.
It is a schematic diagram of the coating device with a conveying apparatus.
14 is a schematic view of a conventional floating conveying apparatus.
It is a schematic diagram of an example of board | substrate conveyance using the conventional floating conveyance apparatus.

본 발명에 관련되는 실시예를 도면을 이용하여 설명한다. Embodiments related to the present invention will be described with reference to the drawings.

본 발명의 일 실시예에 있어서의 부상 반송 장치를 도 1에 도시한다. 부상 반송 장치(1)는, 부상 스테이지(2) 및 반송 수단(3)을 가지고 있고, 부상 스테이지(2)에 의하여 기판(W)을 부상시켜, 이 기판(W)의 단부를 반송 수단(3)이 파지(把持)하고, 이 상태에서 반송 수단(3)이 일 방향으로 이동하는 것에 의하여, 기판(W)의 반송을 행한다. The floating conveyance apparatus in one Example of this invention is shown in FIG. The floating conveying apparatus 1 has the floating stage 2 and the conveying means 3, and raises the board | substrate W by the floating stage 2, and conveys the edge part of this board | substrate W. The conveying means 3 ) Is held and the substrate W is conveyed by moving the conveying means 3 in one direction in this state.

부상 스테이지(2)는, 그 표면으로부터 기체의 분출을 행하고, 그 분출한 기체의 압력에 의하여 기판(W)을 부상시키는 것이며, 상세는 후술한다. 또한, 부상한 기판(W)의 평면도를 유지하기 위하여, 기체의 흡인도 동시에 행하고 있다. The floating stage 2 ejects gas from the surface, and raises the board | substrate W by the pressure of the ejected gas, The detail is mentioned later. In addition, in order to maintain the top view of the floating substrate W, suction of the gas is also performed at the same time.

반송 수단(3)은, 기판(W)을 반송하기 위하여 기판(W)을 파지하는 기구이며, 기판(W)의 이면을 흡착하는 흡착 블록, 기판(W)을 사이에 두고 파지하는 클럼핑(clumping) 기구 등을 들 수 있다. 본 실시예에서는, 반송 수단(3)은 기판(W)의 이면의 단부를 흡착하는 흡착 블록이다. The conveying means 3 is a mechanism which grips the board | substrate W in order to convey the board | substrate W, and the adsorption block which adsorbs the back surface of the board | substrate W, and the clamping which hold | maintains the board | substrate W between them ( clumping) and the like. In this embodiment, the conveying means 3 is an adsorption block which adsorb | sucks the edge part of the back surface of the board | substrate W. As shown in FIG.

또한, 반송 수단(3)은, 리니어 스테이지 등의 직동(直動) 기구에 탑재되어 있고, 이 직동 기구가 동작하는 것에 의하여 반송 수단(3)은 일 방향으로 이동할 수 있다. 여기서, 기판(W)을 파지한 상태로 반송 수단(3)이 이동하는 것에 의하여, 기판(W)을 반송하는 것이 가능하다. 덧붙여, 이후의 설명에서는, 반송 수단(3)이 기판(W)을 반송하는 방향을 X축 방향, 수평면 상에서 X축 방향과 직교하는 방향을 Y축 방향으로 하고, 이것들과 직교하는 방향을 Z축 방향으로 하여, 설명을 진행한다. Moreover, the conveying means 3 is mounted in linear motion mechanisms, such as a linear stage, and the conveyance means 3 can move to one direction by this linear motion mechanism operating. Here, it is possible to convey the board | substrate W by the conveying means 3 moving in the state which hold | gripped the board | substrate W. In addition, in the following description, the direction which conveys the board | substrate W conveys the board | substrate W is made into the direction orthogonal to the X-axis direction on an X-axis direction, and a Y-axis direction, and the direction orthogonal to these is a Z-axis. In the direction, the description proceeds.

다음으로, 본 실시예에 있어서의 부상 스테이지(2)를 도 2에 도시한다. Next, the floating stage 2 in this embodiment is shown in FIG.

부상 스테이지(2)는, 부상판(10), 차압 댐퍼(20) 및 흡인력 공급 수단(30)을 가지고 있다. The floating stage 2 has a floating plate 10, a differential pressure damper 20, and a suction force supply means 30.

부상판(10)은, 본 실시예에서는, 표면에 분출구(11) 및 흡인구(12)를 가지는 평판(平板)이다. 이 부상판(10)은, 1매만으로 부상 스테이지(2)를 형성하여도 무방하고, 복수매를 배열하여 부상 스테이지(2)를 형성하여도 무방하다. In the present embodiment, the floating plate 10 is a flat plate having a jet port 11 and a suction port 12 on its surface. The floating plate 10 may form the floating stage 2 by only one sheet, or may form the floating stage 2 by arranging a plurality of sheets.

기판 반송 방향(X축 방향)으로 긴 1매의 부상판(10)을 설치한 경우, 부상판(10) 상의 기판(W)의 전면(前面)을 균등한 압력으로 부상시키는 것이 용이하기 때문에, 높은 정도(精度)의 부상량으로 기판(W)을 부상시키는 것이 가능하다. 한편, X축 방향으로 짧은 복수매의 부상판(10)을 적당한 간격을 마련하여 배열한 경우, 1매의 부상판(10)을 설치한 경우와 비교하여 기판(W)을 소정 거리만큼 부상 반송시키기 위하여 필요한 부상판(10)의 면적을 억제할 수 있기 때문에, 저비용으로 부상 스테이지(2)를 형성할 수 있다. 또한, 긴 부상판(10)을 일품물로 제작하는 것에 비하여 널리 유통되고 있는 사이즈의 부상판(10)을 배열하여 형성할 수 있는 것도, 비용면에서 효과적이다. In the case where one long floating plate 10 is provided in the substrate conveyance direction (X-axis direction), it is easy to float the front surface of the substrate W on the floating plate 10 at an equal pressure. It is possible to float the substrate W with a high degree of floating amount. On the other hand, when a plurality of floating plates 10 arranged in the X-axis direction are arranged at appropriate intervals, the substrate W is floated and conveyed by a predetermined distance as compared with the case where one floating plate 10 is provided. Since the area of the floating plate 10 necessary for making it possible to be suppressed can be suppressed, the floating stage 2 can be formed at low cost. In addition, it is also effective in terms of being able to arrange and form the floating plate 10 of a size widely distributed as compared with manufacturing the long floating plate 10 as a single article.

따라서, 필요로 하는 부상 정도에 따라, 부상판(10)의 배치 방법을 골라 사용하는 것이 바람직하다. Therefore, it is preferable to select and use the arrangement | positioning method of the floating plate 10 according to the degree of injury required.

예를 들어, 도 13에 도시한 도포 장치(80)에서는, 도포부(82)의 직하(直下)에서는, 1매의 긴 부상판(10)을 가지는 부상 스테이지를 설치하고, 그 전후에서 도포부(82)에 기판(W)을 반입 및 반출하는 개소에서는, 복수의 짧은 부상판(10)이 간격을 마련하여 배치된 부상 스테이지를 설치하면 된다. For example, in the coating device 80 shown in FIG. 13, the floating stage which has one long floating plate 10 is provided directly under the application | coating part 82, and the application | coating part is before and after that. In the place where the board | substrate W is carried in and carried out at 82, what is necessary is just to provide the floating stage by which several short floating board 10 arrange | positioned at intervals.

도 2에서는, 복수매의 부상판(10)을 X축 방향으로 배열한 예를 도시하고 있다. 다만, 그것에만 한정하지 않고, 부상판(10)을 Y축 방향으로 배열하여도 무방하고, 또한, X축 방향이나 Y축 방향과 비스듬히 교차하도록 하는 배열로 하여도 상관없다. 덧붙여, 어느 경우로 하여도, 후술대로, 분출구(11) 및 흡인구(12)가 X축 방향으로 배열된 형태를 취할 필요가 있다. 2 shows an example in which a plurality of floating plates 10 are arranged in the X-axis direction. However, the present invention is not limited thereto, and the floating plate 10 may be arranged in the Y-axis direction and may be arranged in such a manner as to intersect the X-axis direction or the Y-axis direction at an angle. In addition, in any case, it is necessary to take the form which the jet nozzle 11 and the suction port 12 arrange | positioned in the X-axis direction as mentioned later.

분출구(11)는, 도시하지 않는 기체 공급 수단으로부터 공급된 기체를 분출하는, 부상판(10)의 표면에 설치된 개구(開口)이며, 흡인구(12)는, 후술의 흡인력 공급 수단(30)에 의하여 흡인력이 부여되어, 부상 스테이지(2) 상의 기체를 흡인하는, 부상판(10)의 표면에 설치된 개구이다. The blower outlet 11 is an opening provided in the surface of the floating board 10 which blows off the gas supplied from the gas supply means not shown, and the suction port 12 is the suction force supply means 30 mentioned later. It is an opening provided in the surface of the floating board 10 by which a suction force is provided and the gas on the floating stage 2 is sucked.

1매 혹은 복수의 부상판(10)이 배열되어 형성된 부상 스테이지(2)는, X축 방향으로 분출구(11) 및 흡인구(12)가 배열된 형태를 취한다. 이것에 의하여, 기판(W)이 부상 스테이지(2) 상의 어느 위치에 있어도, 그 때의 기판(W)의 존재 위치에 있는 분출구(11) 및 흡인구(12)에 있어서의 기체의 분출 및 흡인에 의하여 부상 높이를 제어하여, 기판(W)을 부상시킬 수 있다. The floating stage 2 formed by arranging one or a plurality of floating plates 10 has a form in which the ejection opening 11 and the suction opening 12 are arranged in the X-axis direction. Thereby, even if the board | substrate W is in any position on the floating stage 2, the jet and the suction of the gas in the blowing port 11 and the suction port 12 which exist in the presence position of the board | substrate W at that time are By controlling the height of the lift, the substrate W can be floated.

흡인력 공급 수단(30)은, 진공 펌프, 블로워(blower)라고 하는 배기 장치이고, 일정한 출력으로 배기를 행한다. The suction force supply means 30 is an evacuation apparatus called a vacuum pump and a blower, and exhausts by a constant output.

흡인력 공급 수단(30)은 주 배관(13)과 접속되어 있고, 주 배관(13)의 반대단에서는 배관은 복수의 분기 배관(15)으로 분기되며, 이러한 분기 배관(15)은 각 흡인구(12)와 접속되어 있다. 이와 같이, 배관을 이용하여 흡인력 공급 수단(30)과 각 흡인구(12)를 연통시켜, 흡인력 공급 수단(30)을 동작시키는 것에 의하여, 각 흡인구(12)에 있어서 흡인력이 발생한다. The suction force supply means 30 is connected to the main pipe 13, and at the opposite end of the main pipe 13, the pipe is branched into a plurality of branch pipes 15, and such a branch pipe 15 is formed at each suction port ( 12) is connected. In this way, by attracting the suction force supply means 30 and each suction port 12 using a pipe, and operating the suction force supply means 30, the suction force is generated in each suction port 12.

또한, 주 배관(13)으로부터 분기 배관(15)으로 분기하는 것에 즈음하여, 도시대로 복수의 접속구를 가지는 관상(管狀)의 매니폴드(manifold, 14)를 이용하여도 무방하다. 주 배관(13) 및 각 분기 배관(15)의 단부를 매니폴드(14)에 접속하는 것에 의하여, 간단하게 배관을 분기할 수 있다. In addition, in the case of branching from the main pipe 13 to the branch pipe 15, a tubular manifold 14 having a plurality of connection ports may be used as shown. By connecting the ends of the main pipe 13 and the branch pipes 15 to the manifold 14, the pipes can be easily branched.

차압 댐퍼(20)는, 주 배관(13)의 도중에 설치되어 있고, 주 배관(13)의 내부와 외기와의 차압을 소정의 값으로 보지한다. The differential pressure damper 20 is provided in the middle of the main pipe 13, and holds the differential pressure between the inside of the main pipe 13 and the outside air at a predetermined value.

본 실시예에 있어서의 차압 댐퍼(20)의 구성을 도 3에 도시한다. The structure of the differential pressure damper 20 in a present Example is shown in FIG.

차압 댐퍼(20)는, 매니폴드(21), 밸브(22) 및 축(23)을 가지고 있고, 매니폴드(21) 내에 설치된 밸브(22)가 축(23)을 중심으로 회전하여, 매니폴드(21)의 개구에 대한 밸브(22)의 개도가 변화하는 것에 의하여, 주 배관(13)의 내부와 외기와의 차압을 소정의 값으로 보지하는 동작을 취한다. The differential pressure damper 20 has a manifold 21, a valve 22, and a shaft 23, and the valve 22 provided in the manifold 21 rotates about the shaft 23, so that the manifold By changing the opening degree of the valve 22 with respect to the opening of 21, the operation | movement which hold | maintains the differential pressure between the inside of the main piping 13 and external air to a predetermined value is taken.

매니폴드(21)는, 편단(片端)이 닫히고, 편단이 개구로 되어 있는 관이며, 관벽의 2개소에 접속구(27)가 관벽을 관통하여 설치되고, 각각의 접속구(27)에서 주 배관(13)이 접속되어 있다. 이것에 의하여, 주 배관(13)의 경로의 도중에 매니폴드(21)가 있고, 매니폴드(21)의 개구에서 외기와 연통하는 형태를 취한다. 또한, 매니폴드(21)는, 후술의 축(23)을 통하기 위한 구멍이 관벽을 관통하여 설치되어 있다. The manifold 21 is a tube in which one end is closed and one end is an opening, and a connection port 27 is provided through two pipe walls at two positions of the pipe wall, and the main pipe ( 13) is connected. Thereby, the manifold 21 exists in the middle of the path | route of the main pipe 13, and the form which communicates with outside air in the opening of the manifold 21 is taken. In the manifold 21, a hole for passing through the shaft 23 described later penetrates the pipe wall.

밸브(22)는 매니폴드(21)의 개구의 형상과 동등하거나, 혹은 약간 작은 형상을 가진 평판이다. The valve 22 is a flat plate having a shape that is equivalent to or slightly smaller than the shape of the opening of the manifold 21.

축(23)은 원기둥형의 봉이며, 수평 방향으로, 매니폴드(21)를 관통하여 설치되어 있다. 여기서, 매니폴드(21)의 개구 내에 밸브(22)가 들어간 상태로 축(23)에 밸브(22)를 고정하는 것에 의하여, 주 배관(13)이 외기와 연통하는 경로를 밸브(22)가 차단하는 형태를 취한다. The shaft 23 is a cylindrical rod and is provided through the manifold 21 in the horizontal direction. Here, by fixing the valve 22 to the shaft 23 in a state in which the valve 22 enters the opening of the manifold 21, the valve 22 passes through the main pipe 13 in communication with the outside air. Take the form of blocking.

여기서, 축(23)이 자신의 중심축을 중심으로 하여 회전 동작하는 것에 의하여, 밸브(22)도 회전한다. 이것에 의하여, 매니폴드(21)의 개구에 대한 밸브(22)의 개도가 변화하고, 주 배관(13)이 외기와 연통하는 경로의 차단량이 변화한다. 덧붙여, 축(23)이 흔들리지 않고 회전하도록, 축(23)의 직경에 따른 베어링(28)을 매니폴드(21)에 취부하고, 이 베어링(28)과 매니폴드(21)의 관통 구멍을 축(23)이 통과하도록 하면 된다. Here, the valve 22 also rotates by rotating the shaft 23 about its central axis. Thereby, the opening degree of the valve 22 with respect to the opening of the manifold 21 changes, and the interruption | blocking amount of the path | route which the main pipe 13 communicates with outside air changes. In addition, the bearing 28 according to the diameter of the shaft 23 is mounted on the manifold 21 so that the shaft 23 rotates without shaking, and the through-holes of the bearing 28 and the manifold 21 are shafted. What is necessary is just to let 23 pass.

또한, 밸브(22)는, 자신의 중심보다도 상방의 위치에서 축(23)에 고정되어 있다. 이것에 의하여, 밸브(22)가 외력을 받지 않는 상태인 경우에 넘어지는 일 없이, 밸브(22)의 자중(自重)에 의하여, 예를 들어 연직인 자세로 안정되게 정지한다. The valve 22 is fixed to the shaft 23 at a position above the center of the valve 22. As a result, the valve 22 stops stably in a vertical posture, for example, by its own weight, without falling down when the valve 22 is not subjected to an external force.

또한, 축(23)에는, 축(23)과 직교하도록 축(29)이 취부되어 있고, 축(29)에는 추(24)가 취부되어 있다. 이것에 의하여, 추(24) 및 축(29)에 의한 모멘트가 축(23)에 더하여진다. In addition, the shaft 29 is attached to the shaft 23 so as to be orthogonal to the shaft 23, and the weight 24 is attached to the shaft 29. Thereby, the moment by the weight 24 and the shaft 29 is added to the shaft 23.

여기서, 축(29)을 따라 추(24)의 위치를 변경하는 것, 즉, 추(24)와 축(23)과의 거리를 변경하는 것에 의하여, 추(24)를 갈아 끼우는 것 없이 축(23)에 부여하는 모멘트의 조절이 가능하다. Here, by changing the position of the weight 24 along the axis 29, that is, by changing the distance between the weight 24 and the axis 23, the shaft 24 is not replaced. 23) The moment can be adjusted.

또한, 매니폴드(21)에는, 밸브(22)와 간섭하는 위치에 스토퍼(25)가 설치되어 있고, 밸브(22)가 취할 수 있는 개도의 범위가 제한되어 있다. Moreover, the stopper 25 is provided in the position which interferes with the valve 22 in the manifold 21, and the range of the opening degree which the valve 22 can take is limited.

또한, 축(23)에는, 축(23)의 회전 운동에 대한 저항으로 될 수 있는 저항 수단(26)이 취부되어 있다. 이 저항 수단(26)은, 축(23)의 회전 속도를 억제할 수 있는 것이며, 오일의 점성 저항에 의하여 회전 운동에 제동력을 부여하는 로터리 댐퍼(rotary damper), 고무의 접동(摺動, 접촉하여 미끄러져 움직임) 저항에 의하여 회전 운동에 제동력을 주는 프릭션 댐퍼(friction damper) 등을 들 수 있다. In addition, the shaft 23 is provided with a resistance means 26 which can serve as a resistance to the rotational movement of the shaft 23. This resistance means 26 is capable of suppressing the rotational speed of the shaft 23, and a rotary damper for applying a braking force to the rotational motion by the viscous resistance of the oil, the sliding contact of the rubber Friction dampers and the like that give a braking force to the rotational movement by the sliding resistance).

다음으로, 본 실시예에 있어서의 차압 댐퍼(20)의 동작에 관하여 도 3의 화살표 방향으로부터 보여지는 도면을 이용하여 설명한다. Next, operation | movement of the differential pressure damper 20 in this Example is demonstrated using drawing shown from the arrow direction of FIG.

흡인력 공급 수단(30)이 동작하여 주 배관(13)의 내부와 외기와의 사이에 차압이 생긴 경우, 기압이 높은 쪽으로부터 낮은 쪽으로 밸브(22)를 누르는 외력, 즉, 외기 측으로부터 주 배관(13) 측으로 밸브(22)를 누르는 외력이 밸브(22)에 가하여진다(도 3 화살표 방향으로부터 보여지는 도면 중의 (a)의 화살표 참조). When the suction force supply means 30 operates to generate a differential pressure between the inside of the main pipe 13 and the outside air, an external force that presses the valve 22 from the higher air pressure to the lower air, that is, from the outside air side to the main pipe ( The external force which presses the valve 22 to 13) side is applied to the valve 22 (refer the arrow of (a) in the figure seen from the arrow direction of FIG. 3).

이 외력이, 밸브(22)가 중력에 의하여 원래의 자세로 되돌아오려고 하는 힘보다도 큰 경우, 그 외력에 의하여 밸브(22)는 작동되어 회전하여, 매니폴드(21)의 개구에 대하여 열린 상태로 된다(도 3 화살표 방향으로부터 보여지는 도면 중의 (b)의 화살표 참조). 그 때문에, 주 배관(13)의 내부와 외기가 리크하여 외기가 주 배관(13)으로 흘러들고(도 3 화살표 방향으로부터 보여지는 도면 중의 (c)의 화살표 참조), 주 배관(13)의 내부와 외기와의 사이의 차압이 작아지기 때문에, 밸브(22)에 가하여지는 외력은 작아진다. 또한, 밸브(22)의 개도가 커지는 만큼, 리크량은 커진다. When the external force is greater than the force that the valve 22 tries to return to the original posture by gravity, the valve 22 is operated and rotated by the external force to open the opening of the manifold 21. (See the arrow of (b) in the figure seen from the arrow direction of FIG. 3). Therefore, the inside of the main pipe 13 and the outside air leak and the outside air flows into the main pipe 13 (refer to the arrow in (c) in the figure shown from the arrow direction in FIG. 3), so that the inside of the main pipe 13 Since the differential pressure between the air and the outside air becomes small, the external force applied to the valve 22 becomes small. In addition, as the opening degree of the valve 22 increases, the leak amount increases.

이 리크에 의하여 밸브(22)에 가하여지는 외력이 밸브(22)가 원래의 자세로 되돌아오려고 하는 힘보다도 작아지면, 밸브(22)는 닫히는 방향으로 움직인다. 이 때, 밸브(22)가 완전히 닫힐 때까지 밸브(22)에 가하여지는 외력과 밸브(22)가 원래의 자세로 되돌아오려고 하는 힘이 균형이 잡히는 밸브(22)의 개도가 존재하면, 밸브(22)는 그 개도로 정지한다. 이 때의 주 배관(13) 내의 압력이, 부상 스테이지(2)의 흡인구(12)에 있어서의 흡인력과 동일해진다. When the external force applied to the valve 22 by this leak becomes smaller than the force which the valve 22 tries to return to an original attitude, the valve 22 moves to a closing direction. At this time, if there is an opening degree of the valve 22 in which the external force applied to the valve 22 and the force that the valve 22 tries to return to its original position are balanced until the valve 22 is completely closed, the valve ( 22 stops at that opening. The pressure in the main pipe 13 at this time becomes the same as the suction force in the suction port 12 of the floating stage 2.

여기서, 밸브(22)가 원래의 자세로 되돌아오려고 하는 힘은, 밸브(22)의 자중에 의한 힘과 추(24) 및 축(29)이 축(23)에 부여하는 모멘트에 의한 것의 합으로 구하여지고, 전술의 추(24)에 의하여 조절이 가능하다. 따라서, 이 추(24)의 조절에 의하여, 흡인력 공급 수단(30)이 동작하고 있는 상태에 있어서의 밸브(22)의 개도를 조절할 수 있다. Here, the force that the valve 22 tries to return to its original position is the sum of the force due to the weight of the valve 22 and the moment that the weight 24 and the shaft 29 impart to the shaft 23. It is obtained and can be adjusted by the weight 24 described above. Therefore, by adjusting this weight 24, the opening degree of the valve 22 in the state in which the suction force supply means 30 is operating can be adjusted.

이 때, 외력에 대하여 밸브(22)가 원래의 자세로 되돌아오려고 하는 힘이 너무 크면, 밸브(22)에 어느 정도의 외력이 가하여질 때까지 밸브가 완전히 닫힌 상태로 되어, 작은 차압의 변화가 생겨도 밸브가 열리지 않을 우려가 있다. 한편, 밸브(22)가 원래의 자세로 되돌아오려고 하는 힘이 너무 작으면, 밸브(22)가 열린 상태로 균형이 잡혀 정지하지만, 차압의 변화에 의한 밸브(22)의 개도의 변화의 정도가 커져, 조금의 차압의 변화로 밸브(22)가 너무 열려 매니폴드(21)와 간섭할 우려가 있다. At this time, if the force that the valve 22 tries to return to the original posture with respect to the external force is too large, the valve is completely closed until a certain external force is applied to the valve 22, so that a small change in the differential pressure occurs. There is a fear that the valve will not open even if it occurs. On the other hand, if the force that the valve 22 tries to return to the original position is too small, the valve 22 is balanced and stopped in the open state, but the degree of change in the opening degree of the valve 22 due to the change in the differential pressure It becomes large and there exists a possibility that the valve 22 may open too much and interfere with the manifold 21 by the slight change of a differential pressure.

그래서, 밸브(22)가 외력과 균형이 잡혀 정지하고 있는 경우에, 예를 들어 10도 이하 등, 밸브(22)가 약간 열려 있는 상태이면, 그것으로부터 작은 차압의 변화가 생겨도 밸브(22)의 개도가 변화하고, 또한 밸브(22)의 개도의 변화의 정도를 작게 할 수 있다. 따라서, 부상 스테이지(2) 상에 기판(W)이 없는 조건으로 흡인력 공급 수단(30)을 동작시켜 흡인구(12)에서 적절한 흡인력이 얻어지고 있을 때에, 밸브(22)가 이와 같이 약간 열린 상태로 되도록, 흡인력 공급 수단(30)의 출력, 밸브(22)의 중량 및 추(24)의 수와 위치를 조절하는 것이 바람직하다. Therefore, in the case where the valve 22 is in a state of being balanced with an external force and stopped, for example, when the valve 22 is slightly open, such as 10 degrees or less, even if a small differential pressure change occurs therefrom, The opening degree changes, and the degree of change of the opening degree of the valve 22 can be made small. Therefore, when the suction force supply means 30 is operated on the floating stage 2 without the substrate W, and the proper suction force is obtained from the suction port 12, the valve 22 is slightly opened in this manner. It is preferable to adjust the output of the suction force supply means 30, the weight of the valve 22, and the number and position of the weights 24 so as to be.

다음으로, 흡인력 공급 수단(30)이 동작하여, 이미 밸브(22)를 사이에 둔 내외에 차압이 생기고 있는 상태에 있어서, 부상 스테이지(2) 상을 기판(W)이 통과할 때와 같이, 그 차압이 잠시 동안만 증가한 경우, 그 증가에 수반하여 밸브(22)에 가하여지는 외력이 커지기 때문에, 그 외력에 의하여 즉시 밸브(22)의 개도가 커진다. 그 때문에 리크량이 늘어나, 외기가 주 배관(13)으로 들어가 차압이 작아진다. 이와 같이, 차압의 변화를 상쇄하는 동작이 행하여져 원래의 차압으로 되돌아오는 것에 의하여, 차압이 일정하게 유지된다. Next, in the state where the suction force supply means 30 operates and the differential pressure is generated inside and outside with the valve 22 interposed therebetween, as when the substrate W passes on the floating stage 2, When the differential pressure only increases for a while, since the external force applied to the valve 22 increases with the increase, the opening degree of the valve 22 immediately increases due to the external force. Therefore, the leak amount increases, and the outside air enters the main pipe 13, and the differential pressure decreases. In this way, the operation for canceling the change in the differential pressure is performed and the differential pressure is kept constant by returning to the original differential pressure.

반대로 그 차압이 잠시 동안만 감소한 경우, 그 감소에 수반하여 밸브(22)에 가하여지는 외력이 작아지기 때문에, 그 외력에 의하여 즉시 밸브(22)의 개도가 작아진다. 그 때문에 리크량이 줄어, 차압이 커져도 원래의 차압으로 되돌아와, 차압이 일정하게 유지된다. On the contrary, when the differential pressure decreases only for a while, since the external force applied to the valve 22 is reduced with the decrease, the opening degree of the valve 22 is immediately reduced by the external force. Therefore, even if the leak amount decreases and the differential pressure increases, the flow returns to the original differential pressure, and the differential pressure is kept constant.

이 일련의 동작은, 밸브(22)를 사이에 둔 내외의 차압의 변화가 직접적으로 밸브(22)의 개도에 영향을 미치기 때문에, 예를 들어 주 배관(13)의 내부의 압력을 압력계로 측정하고, 그 값에 따라 밸브(22)의 개도를 변화시킨다는 것과 같이 제어를 통하여 전기적으로 밸브(22)의 개도를 조절하는 기구였던 경우와 비교하여, 밸브(22)가 신속하게 동작하는 것이 가능하고, 밸브(22)를 사이에 둔 내외의 차압이 단시간에 변동하는 경우는, 제어로 밸브(22)를 조절하는 것보다도 안정된 차압의 유지가 가능해진다. In this series of operations, since the change in the differential pressure inside and outside the valve 22 directly affects the opening degree of the valve 22, for example, the pressure inside the main pipe 13 is measured by a pressure gauge. The valve 22 can be operated quickly, as compared with the case where the opening degree of the valve 22 is electrically controlled through control, such as changing the opening degree of the valve 22 according to the value. When the differential pressure inside and outside the valve 22 fluctuates in a short time, it becomes possible to maintain a stable differential pressure rather than adjusting the valve 22 by control.

여기서, 기판(W)이 부상 스테이지(2) 상을 고속으로 통과할 때와 같이, 밸브(22)를 사이에 둔 내외의 차압의 변화가 급격한 경우, 차압의 변화가 느린 경우에 비하여 밸브(22)에 순간적으로 가하여지는 외력이 커지기 때문에, 밸브(22)가 힘차게 너무 열릴 우려가 있다. 이 때, 밸브(22)는 본래 그 차압의 변화량에서 도달할 수 있는 밸브(22)의 개도를 넘어 버린다(오버 슈트한다). 이와 같이 상정한 개도를 넘으면, 이번은 차압이 너무 작아지기 때문에, 그것에 의하여 밸브(22)가 힘차게 닫혀, 또한 오버 슈트를 일으킬 우려가 있다. Here, in the case where the change in the pressure difference between the inside and the outside of the valve 22 is rapid, such as when the substrate W passes through the floating stage 2 at high speed, the valve 22 may be slower than the case where the change in the pressure difference is slow. Since the external force exerted instantaneously) increases, the valve 22 may open too strongly. At this time, the valve 22 overshoots (overshoots) the opening degree of the valve 22 which can be originally reached at the amount of change in the differential pressure. If the estimated opening degree is exceeded in this way, the differential pressure becomes too small this time, and thereby the valve 22 is strongly closed, thereby causing an overshoot.

이와 같이 오버 슈트가 발생하면, 주 배관(13)의 내부의 압력이 불안정하게 되기 때문에, 부상 스테이지(2)의 흡인구(12)에 있어서의 흡인력이 불안정하게 되어, 기판(W)의 부상 높이를 일정하게 유지할 수 없게 된다. When the overshoot occurs in this way, the pressure inside the main pipe 13 becomes unstable, so that the suction force at the suction port 12 of the floating stage 2 becomes unstable, so that the floating height of the substrate W is increased. Cannot be kept constant.

그래서, 본 실시예에서는, 이 오버 슈트의 동작을 막기 위하여, 스토퍼(25)가 설치되어 있다. 즉, 기판(W)의 반송 동작에 있어서 취할 수 있는 상기 차압의 변화량에 따른 밸브(22)의 개도의 범위 내에서 밸브(22)의 개도가 변화할 수 있도록, 스토퍼(25)의 위치를 설정하여, 그 범위를 넘은 밸브(22)의 동작을 저지하면 된다. Therefore, in this embodiment, the stopper 25 is provided in order to prevent the operation of this overshoot. That is, the position of the stopper 25 is set so that the opening degree of the valve 22 can be changed within the range of the opening degree of the valve 22 according to the change amount of the differential pressure that can be taken in the conveyance operation of the substrate W. The operation of the valve 22 beyond the range may be prevented.

또한, 오버 슈트의 동작을 막기 위해서는, 밸브(22)의 동작 속도를 억제하는 것도 유효하다. 그래서, 본 실시예에서는, 밸브(22)의 동작 속도, 즉 축(23)의 회전 속도를 억제하기 위하여, 저항 수단(26)이 축(23)에 취부되어 있다. In addition, in order to prevent the operation of the overshoot, it is also effective to suppress the operation speed of the valve 22. Therefore, in this embodiment, the resistance means 26 is attached to the shaft 23 in order to suppress the operation speed of the valve 22, that is, the rotation speed of the shaft 23.

또한, 이 저항 수단(26)이 설치되어 적당한 저항력이 축(23)의 회전 동작에 부여되고 있는 것에 의하여, 주 배관(13) 내와 외기와의 차압의 미소한 변화에 밸브(22)가 과잉으로 반응하여 동작하는 것도 막을 수도 있다. 그 결과, 흡인력 공급 수단(30)의 동작 중, 밸브(22)가 미진동하는 것을 막는 것이 가능하다. In addition, since the resistance means 26 is provided and a suitable resistance force is applied to the rotational operation of the shaft 23, the valve 22 is excessive in the slight change in the differential pressure between the main pipe 13 and the outside air. It can also be prevented from reacting. As a result, it is possible to prevent the valve 22 from vibrating fine during the operation of the suction force supply means 30.

도 4에, 본 실시예와 같이 흡인의 배관에 차압 댐퍼를 설치한 경우에 있어서의 흡인력의 변화를 나타내는 그래프를 도시한다. 4, the graph which shows the change of the suction force in the case where a differential pressure damper is provided in the piping of suction like a present Example is shown.

차압 댐퍼(20)가 설치되지 않았던 경우는, 전술대로, 기판(W)의 반송이 진행되어 부상 스테이지(2)의 흡인구(12)를 차폐하는 수가 증가하여, 흡인구(12)에 있어서의 리크가 적어지는 것에 따라, 도 4의 원형 플롯이 나타내는 대로 기판(W)을 흡인하고 있는 흡인구(12)의 흡인력이 커지고 있었다. 그것에 대하여, 차압 댐퍼(20)가 설치된 경우는, 차압 댐퍼(20)의 밸브(22)의 개도가 변화하여 주 배관(13) 내와 외기와의 차압을 소정의 값으로 보지하는 동작을 하기 위하여, 도 4의 능형(菱形) 플롯이 나타내는 대로, 차폐되는 흡인구(12)의 수가 증가하여도 소정의 흡인력을 보지하는 것이 가능하다. When the differential pressure damper 20 is not provided, as mentioned above, the conveyance of the board | substrate W advances and the number which shields the suction port 12 of the floating stage 2 increases, and the suction port 12 As the leak decreased, the suction force of the suction port 12 sucking the substrate W increased as indicated by the circular plot of FIG. 4. On the other hand, in the case where the differential pressure damper 20 is provided, the opening degree of the valve 22 of the differential pressure damper 20 is changed so as to perform the operation of holding the differential pressure between the main pipe 13 and the outside air at a predetermined value. As shown by the ridge plot of FIG. 4, even if the number of the suction ports 12 to be shielded increases, it is possible to hold a predetermined suction force.

또한, 기판(W)의 반송 속도가 빠르고, 기판(W)이 흡인구(12)를 차폐하는 상황의 변화가 급격한 경우, 즉 주 배관(13) 내와 외기와의 차압의 변화가 급격했던 경우여도, 스토퍼(25) 및 저항 수단(26)에 의하여 오버 슈트하는 것 없이 안정되게 소정의 흡인력을 보지하는 것이 가능하고, 제어에 의한 밸브(22)의 개도 조절의 경우보다도 양호하게 소정의 흡인력을 보지할 수 있다. Moreover, when the conveyance speed of the board | substrate W is fast and the change of the situation which the board | substrate W shields the suction opening 12 is abrupt, ie, the change of the differential pressure between the inside of the main pipe 13 and external air is abrupt. Even if it stops overshooting by the stopper 25 and the resistance means 26, it is possible to hold | maintain predetermined | prescribed suction force stably, and the predetermined | prescribed suction force is more favorable than the case of adjustment of the opening degree of the valve 22 by control. I can see it.

다음으로, 차압 댐퍼를 부상 스테이지(2)의 분출구(11) 측의 배관에 적용한 형태를 도 5에 도시한다. Next, the form which applied the differential pressure damper to the piping of the ejection opening 11 side of the floating stage 2 is shown in FIG.

기체 공급 수단(31)은 블로워 등이며, 외부로부터 받아들인 압축 공기, 질소 등의 기체를 일정한 출력으로 하류에 공급한다. The gas supply means 31 is a blower etc., and supplies gas, such as compressed air and nitrogen which were taken in from the exterior, downstream by a constant output.

기체 공급 수단(31)은 주 배관(33)과 접속되어 있고, 주 배관(33)의 반대단에서는 배관은 복수의 분기 배관(35)으로 분기되며, 이러한 분기 배관(35)은 각 분출구(11)와 접속되어 있다. 덧붙여, 도 5에 도시하는 대로, 매니폴드(34)를 이용하여 주 배관(33)으로부터 각 분기 배관(35)으로의 분기를 구성하여도 무방하다. The gas supply means 31 is connected to the main pipe 33, and at the opposite end of the main pipe 33, the pipe is branched into a plurality of branch pipes 35, and such branch pipes 35 are each ejection openings 11. ) Is connected. In addition, as shown in FIG. 5, the branch from the main piping 33 to each branch piping 35 may be comprised using the manifold 34. As shown in FIG.

이와 같이, 배관을 이용하여 기체 공급 수단(31)과 각 분출구(11)를 연통시켜, 기체 공급 수단(31)을 동작시키는 것에 의하여, 각 분출구(11)에 있어서 기체가 분출된다. In this manner, the gas is blown out at each jet port 11 by communicating the gas supply means 31 and the respective jet ports 11 by using a pipe to operate the gas supply means 31.

차압 댐퍼(40)의 상세한 구성을 도 6에 도시한다. The detailed structure of the differential pressure damper 40 is shown in FIG.

차압 댐퍼(40)는 주 배관(33)의 도중에 설치되어 있고, 전술의 흡인구(12) 측의 배관에 설치한 경우의 구성과 마찬가지로, 매니폴드(41), 밸브(42), 축(43)을 가지며, 주 배관(33)의 내부와 외기와의 차압을 소정의 값으로 보지한다. 또한, 전술의 차압 댐퍼(20)와 마찬가지로, 밸브(42)의 개도를 조절하기 위한 추(44)와, 밸브(42)의 오버 슈트를 막기 위한 스토퍼(45) 및 저항 수단(46)을 가지고 있다. The differential pressure damper 40 is provided in the middle of the main pipe 33, and the manifold 41, the valve 42, and the shaft 43 are similar to the configuration in the case where the differential pressure damper 40 is installed in the pipe on the suction port 12 side described above. ), The pressure difference between the inside of the main pipe 33 and the outside air is held at a predetermined value. In addition, similar to the differential pressure damper 20 described above, the valve 44 has a weight 44 for adjusting the opening degree of the valve 42, a stopper 45 and a resistance means 46 for preventing the overshoot of the valve 42. have.

덧붙여, 추(44)의 취부 위치는, 밸브(42)가 외기 측으로 열리는 것을 상정하여, 흡인 배관에 차압 댐퍼(20)를 설치하는 경우와 비교하여, 밸브(42)를 사이에 두고 반대 측의 위치로 하고 있다. In addition, the mounting position of the weight 44 assumes that the valve 42 opens to the outside air side, compared with the case where the differential pressure damper 20 is provided in the suction pipe, I am in position.

다음으로, 이 때의 차압 댐퍼(40)의 동작에 관하여, 도 6의 화살표 방향으로부터 보여지는 도면을 이용하여 설명한다. Next, operation | movement of the differential pressure damper 40 at this time is demonstrated using drawing shown from the arrow direction of FIG.

부상 스테이지(2) 상에 기판(W)이 반송되어, 분출구(11) 상에 기판(W)이 존재하면, 분출구(11) 상방의 기체의 흐름이 기판(W)에 저해되기 때문에, 각 분출구(11)에 있어서의 기압(분출력)은 높아지는 경향이 있다. When the board | substrate W is conveyed on the floating stage 2, and the board | substrate W exists on the ejection opening 11, since the flow of the gas above the ejection opening 11 will be inhibited by the board | substrate W, each ejection opening Atmospheric pressure (partial output) in (11) tends to be high.

그 때, 주 배관(33) 내의 기압이 높아져 외기와의 차압이 커지기 때문에, 주 배관(33) 측으로부터 외기 측으로 밸브(42)를 누르는 외력이 밸브(42)에 가하여져(도 6 화살표 방향으로부터 보여지는 도면 중의 (a)의 화살표 참조), 밸브(42)는 외기 측으로 열린다(도 6 화살표 방향으로부터 보여지는 도면 중의 (b)의 화살표 참조). 이 동작에 의하여, 주 배관(33) 내의 기체가 외기 측으로 흐르게 되어(도 6 화살표 방향으로부터 보여지는 도면 중의 (c)의 화살표 참조), 차압의 변화가 상쇄되기 때문에, 소정의 차압을 보지할 수 있다. At that time, since the air pressure in the main pipe 33 increases and the pressure difference between the outside air increases, an external force that pushes the valve 42 from the main pipe 33 side to the outside air side is applied to the valve 42 (from the arrow direction in FIG. 6). See the arrow of (a) in the figure shown), The valve 42 opens to the outside air side (refer the arrow of (b) in the figure seen from the arrow direction of FIG. 6). By this operation, the gas in the main pipe 33 flows to the outside air side (refer to the arrow in (c) in the figure shown from the arrow direction in FIG. 6), and the change in the differential pressure is canceled, so that a predetermined differential pressure can be held. have.

따라서, 도 7에 도시하는 바와 같이 각 분출구(11)에 있어서의 분출력을 일정하게 유지하는 것이 가능하고, 부상 높이가 안정된 기판(W)의 부상 반송이 가능하다. Therefore, as shown in FIG. 7, it is possible to keep the output of output at each jet port 11 constant, and to carry-up the conveyance of the board | substrate W with which the float height is stable.

또한, 이 차압 댐퍼(40)는, 도 8에 도시하는 바와 같은, 흡인구(12)가 없고, 분출구(11)만을 가지는 부상 스테이지(2)에도 적용 가능하고, 이 경우도, 상기대로, 부상 높이가 안정된 기판(W)의 부상 반송이 가능하다. In addition, this differential pressure damper 40 is also applicable to the floating stage 2 which does not have the suction port 12 and has only the jet port 11, as shown in FIG. Floating conveyance of the board | substrate W of which height was stabilized is possible.

또한, 도 2에서 도시한 바와 같은, 흡인 배관에 차압 댐퍼(20)를 설치한 구성과, 도 5에서 도시한 바와 같은, 분출 배관에 차압 댐퍼(40)를 설치한 구성을 조합하여, 도 9에 도시하는 바와 같은 부상 스테이지(2)를 구성하여도 무방하다. In addition, the structure which provided the differential pressure damper 20 in the suction piping as shown in FIG. 2, and the structure which provided the differential pressure damper 40 in the blowing piping as shown in FIG. The floating stage 2 as shown in the figure may be comprised.

이상 설명한 부상 반송 장치에 의하여, 기판의 반송에 수반하는 부상 환경의 변화에 신속하게 응답하여, 기판을 일정한 부상 높이로 반송하는 것이 가능하다. By the above-mentioned floating conveying apparatus, it is possible to quickly convey a board | substrate to a constant floating height in response to the change of the floating environment accompanying conveyance of a board | substrate.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이 본 실시예에서는 복수매의 부상판(10)을 배열하고 있지만, 전술대로, 도 10에 도시하는 바와 같이 1매의 부상판(10)으로 부상 스테이지(2)를 형성하여도 무방하다. 또한, 이 경우도, 전술과 같이 차압 댐퍼를 분출구(11) 측만, 혹은 흡인구(12) 측 및 분출구(11) 측의 양방(兩方)에 설치하여도 무방하다. 또한, 흡인구(12)가 없고, 분출구(11)만을 부상판(10)이 가지며, 분출 배관에 차압 댐퍼가 설치되어도 무방하다. In addition, as shown in FIG. 2, in the present embodiment, a plurality of floating plates 10 are arranged. As described above, the floating stage 2 is formed by one floating plate 10 as shown in FIG. It may be formed. Also in this case, the differential pressure damper may be provided only at the ejection opening 11 side or at both the suction opening 12 side and the ejection opening 11 side as described above. In addition, there is no suction port 12, only the ejection port 11 may have the floating plate 10, and a differential pressure damper may be provided in the ejection pipe.

또한, 전술의 설명에서는, 차압 댐퍼(20)는 도 3에 도시한 바와 같이 밸브(22)가 축(23)을 중심으로 회전하여 개도가 변화하는 구성이었지만, 도 11이 도시하는 바와 같이, 수직 방향으로 경사를 가지는 축(23)을 설치하고, 그 축(23)을 따라 밸브(22)가 경사 방향으로 동작하여 개도가 변화하는 것에 의하여, 주 배관(13) 내와 외기와의 차압을 소정의 값으로 보지하는 구성이어도 무방하다. In the above description, the differential pressure damper 20 is configured such that the valve 22 rotates about the shaft 23 to change the opening degree as shown in FIG. 3, but as shown in FIG. 11, the differential pressure damper 20 is vertical. The shaft 23 having an inclination in the direction, and the valve 22 moves along the axis 23 in the inclined direction to change the opening degree, thereby determining the differential pressure between the main pipe 13 and the outside air. The configuration held by the value of may be sufficient.

또한, 전술의 설명에서는, 차압 댐퍼(20)는 1개만 가지는 구성을 취하고 있지만, 밸브(22)가 열린 상태에서 충분한 흡인력 혹은 분출력을 확보하기 위하여, 또는, 장치 내의 배관의 취급 상황 등의 요인에 의하여, 예를 들어 도 12(a) 및 도 12(b)와 같이 복수의 차압 댐퍼(20)를 가지는 구성이어도 무방하다. 이 때, 기판(W)을 안정되게 반송하기 위하여, 각 차압 댐퍼(20)가 통하는 주 배관(13)의 압력이 동등하게 되는 것이 바람직하다.In addition, in the above-mentioned description, although the structure of having only one differential pressure damper 20 is taken, in order to ensure sufficient suction force or partial output in the state which valve 22 was opened, or factors, such as the handling situation of the piping in an apparatus, etc. By this, for example, a configuration having a plurality of differential pressure dampers 20 as shown in Figs. 12 (a) and 12 (b) may be used. At this time, in order to convey the board | substrate W stably, it is preferable that the pressure of the main pipe 13 which each differential pressure damper 20 passes through is equal.

1 : 부상 반송 장치 2 : 부상 스테이지
3 : 반송 수단 10 : 부상판
11 : 분출구 12 : 흡인구
13 : 주 배관 14 : 매니폴드
15 : 분기 배관 20 : 차압 댐퍼
21 : 매니폴드 22 : 밸브
23 : 축 24 : 추
25 : 스토퍼 26 : 저항 수단
27 : 접속구 28 : 베어링
29 : 축 30 : 흡인력 공급 수단
31 : 기체 공급 수단 33 : 주 배관
34 : 매니폴드 35 : 분기 배관
40 : 차압 댐퍼 41 : 매니폴드
42 : 밸브 43 : 축
44 : 추 45 : 스토퍼
46 : 저항 수단 80 : 도포 장치
81 : 반송 장치 82 : 도포부
91 : 부상 반송 장치 92 : 분출구
93 : 흡인구 94 : 흡인력 공급 수단
W : 기판1: Injury conveying device 2: Injury stage
3: conveying means 10: floating plate
11: ejection port 12: suction port
13: main piping 14: manifold
15: branch piping 20: differential pressure damper
21: Manifold 22: Valve
23: axis 24: weight
25: stopper 26: resistance means
27: connection port 28: bearing
29 axis 30 suction force supply means
31 gas supply means 33 main pipe
34: manifold 35: branch piping
40: differential pressure damper 41: manifold
42: valve 43: shaft
44: weight 45: stopper
46: resistance means 80: coating device
81: conveying device 82: coating part
91: floating conveying device 92: spout
93: suction port 94: suction force supply means
W: substrate

Claims (4)

기판을 부상(浮上)시켜 반송(搬送)하는 부상 반송 장치이고,
기체를 분출하는 분출구와 기체를 흡인하는 흡인구가 기판이 반송되는 방향으로 복수개씩 배열된 표면을 가지고, 기체의 분출 및 흡인에 의하여 기판을 소정의 높이로 부상시키는 부상 스테이지와,
상기 흡인구에 흡인력을 공급하는 흡인력 공급 수단과,
상기 흡인력 공급 수단과 연통(連通)하는 주 배관과,
상기 주 배관과 연통하고, 각각의 상기 흡인구와 연통하는 분기 배관과,
상기 주 배관의 도중에 설치된 차압 댐퍼(damper)
를 구비하고,
상기 차압 댐퍼는, 상기 주 배관 내와 외기(外氣)를 연통하는 경로 및 당해 경로를 차단하는 밸브를 가지고, 상기 밸브는, 상기 주 배관 내와 외기와의 차압이 당해 밸브에 미치는 외력에 의하여 개폐하는 동작을 취하며, 상기 차압의 변화에 따라 상기 밸브가 동작하여 개도(開度)가 변화하는 것에 의하여, 소정의 상기 차압을 보지(保持)하는 것을 특징으로 하는, 부상 반송 장치. A floating conveying device which floats and conveys a board | substrate,
A flotation stage for ejecting gas and a suction port for sucking gas, the surface having a plurality of surfaces arranged in a direction in which the substrate is conveyed, and causing the substrate to rise to a predetermined height by ejecting and sucking gas;
Suction force supply means for supplying a suction force to the suction port;
A main pipe communicating with the suction force supply means,
A branch pipe in communication with the main pipe and in communication with each suction port;
Differential pressure damper installed in the middle of the main pipe
And,
The differential pressure damper has a path for communicating the inside of the main pipe with external air and a valve for blocking the path. A floating conveying device, characterized in that the valve is held in accordance with a change in the differential pressure, and the predetermined opening is held by changing the opening degree. 기판을 부상시켜 반송하는 부상 반송 장치이고,
기체를 분출하는 분출구가 기판이 반송되는 방향으로 복수개 배열된 표면을 가지고, 기체의 분출에 의하여 기판을 소정의 높이로 부상시키는 부상 스테이지와,
상기 분출구에 기체를 공급하는 기체 공급 수단과,
상기 기체 공급 수단과 연통하는 주 배관과,
상기 주 배관과 연통하고, 각각의 상기 분출구와 연통하는 분기 배관과,
상기 주 배관의 도중에 설치된 차압 댐퍼
를 구비하고,
상기 차압 댐퍼는, 상기 주 배관 내와 외기를 연통하는 경로 및 당해 경로를 차단하는 밸브를 가지고, 상기 밸브는, 상기 주 배관 내와 외기와의 차압이 당해 밸브에 미치는 외력에 의하여 개폐하는 동작을 취하며, 상기 차압의 변화에 따라 상기 밸브가 동작하여 개도가 변화하는 것에 의하여, 소정의 상기 차압을 보지하는 것을 특징으로 하는, 부상 반송 장치. A floating conveying device which floats and conveys a board | substrate,
A floating stage which has a plurality of ejection openings for ejecting a gas having a plurality of surfaces arranged in a direction in which the substrate is conveyed, and floats the substrate to a predetermined height by ejecting the gas;
Gas supply means for supplying gas to the jet port,
A main pipe communicating with the gas supply means,
A branch pipe in communication with the main pipe and in communication with each of the jet holes;
Differential pressure damper installed in the middle of the main pipe
And,
The said differential pressure damper has a path | route which communicates the inside of main pipe with external air, and the valve | bulb which cut | disconnects the said path | route, The said valve performs the operation which opens and closes by the external force which the pressure difference between the main pipe and external air exerts on the said valve. And holding the predetermined differential pressure by operating the valve in accordance with the change in the differential pressure to change the opening degree. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 차압 댐퍼는, 상기 밸브의 동작 범위를 소정의 범위로 제한하는 스토퍼(stopper)를 가지는 것을 특징으로 하는, 부상 반송 장치. The method according to claim 1 or 2,
The said differential pressure damper has a stopper which limits the operation range of the said valve to a predetermined range, The floating conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 차압 댐퍼는, 상기 밸브의 동작에 대한 저항 수단을 가지고, 상기 밸브의 동작 속도를 억제하는 것을 특징으로 하는, 부상 반송 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The said differential pressure damper has resistance means with respect to the operation | movement of the said valve, and suppresses the operation | movement speed of the said valve, The float conveyance apparatus characterized by the above-mentioned.
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