KR20120112914A - 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징 - Google Patents

커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징 Download PDF

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Abstract

본 발명은 필터를 수용하며 개방부를 구비하는 본체와, 본체의 개방부를 커버하는 커버를 포함하되, 커버 내부에 인입 유로와 인출 유로를 일체형으로 형성함으로써, 커버의 전체 외관을 소형으로 제조할 수 있으며, 이에 따라, 전체 부피를 많이 차지하지 않게 되어, 좁은 공간에서도 용이하게 설치할 수 있고, 별도의 복잡한 고정부재를 사용하지 않고서도 커버를 견고하게 고정시킬 수 있도록 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징에 관한 것이다.

Description

커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징{Filter Housing Having Fluid Pathway in Cover}
본 발명은 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유로를 커버 내부에 일체형으로 형성하여 커버의 전체 외관을 소형으로 제조할 수 있도록 하고, 좁은 공간에서도 사용이 가능하도록 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징에 관한 것이다.
일반적으로 필터 하우징은 물에 포함된 각종 입자상의 이물질이나 세균, 냄새 등을 깨끗하게 정화하기 위한 것으로, 이를 위하여 물에 포함된 녹이나 흙, 먼지 등의 입자상 오염물을 깨끗하게 정화할 수 있도록 하는 정수기용 필터나, 경수를 연수로 바꾸어 주는 연수기용 이온교환수지필터 등을 구비하고 있다.
또한, 최근에는 반도체 기판을 세정하는 세정액을 필터링하는 기판 세정용 필터를 필터 하우징에 구비하여, 세정액에 존재하는 오염물질을 께끗하게 필터링 하기도 한다. 이하에서는 반도체 세정작업에 사용되는 세정액을 필터링하는 필터 하우징에 대하여 설명하기로 한다.
반도체 소자가 고밀도, 고집적화, 고성능화됨에 따라, 기판 표면에 잔류하는 파티클(Particle) 등의 각종 오염물은 소자의 특성과 생산 수율에 많은 영향을 미치게 되므로, 반도체 제조 공정에서, 기판 표면에 부착된 각종 오염 물질을 제거하는 세정 작업은 매우 중요한 공정이다.
현재 반도체 제조 공정에서 사용되는 기판 세정 방법은 건식 세정(Dry Cleaning)과 습식 세정(Wet Cleaning)으로 크게 나누어지며, 습식 세정은 약액 중에 기판을 침적시켜 화학적 용해 등에 의해서 오염 물질을 제거하는 배스(Bath) 타입의 방식과, 스핀 척 위에 기판을 놓고 기판을 회전시키는 동안 기판의 표면에 약액을 공급하여 오염물질을 제거하는 스핀(Spin) 타입의 방식으로 나누어진다. 이중, 배스 타입의 방식은 세정액 탱크에 기판상에 잔존하는 이물질을 세정하기 위한 초순수 또는 초순수와 각종 세정약품이 혼합된 혼합액 등의 세정액이 저장되고, 저장된 세정액은 노줄을 통하여 기판 표면에 분사된다. 그리고 세정액에 존재하는 오염물질로 인하여 기판이 오염되는 것을 방지하기 위하여 세정액 탱크에는 세정액을 필터링하도록 필터 하우징이 구비된다.
도 1은 종래 필터 하우징을 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 필터(300)가 수용되는 본체(200)와, 상기 본체(200)의 하부에 결합되는 커버(100)를 포함하여 구성된다. 필터(300)는 오염된 물, 세정액 등을 깨끗하게 필터링 하는 것으로, 그 내부에는 길이방향으로 내측공(미도시)이 관통되며, 상기 내측공의 상단은 커버(100)의 후술하는 배출공(미도시)과 연결되어 있다. 커버(100)는 본체(200)를 커버하도록 형성되며, 그 중앙에는 상기 배출공이 관통 형성되고, 그 외측에는 입수공(미도시)이 관통 형성된다. 그리고 상기 배출공과 상기 입수공에는 외부로부터 관이 용이하게 연결되도록 각각 배출 앨보(120)와 입수 앨보(110)가 형성된다.
그리고 세정액 등의 유체가 커버(100)의 입수 앨보(110)를 통하여 본체(200) 내부 즉, 본체(200) 내면과 필터(300) 사이로 입수되면, 그 수압에 의해서 필터(300)의 외측에서 필터(300)의 상기 내측공으로 필터링 되면서 모이게 되고, 필터링된 유체는 커버(100)의 배출 앨보(120)를 통하여 외부로 배출되게 된다.
그런데 이러한 종래 필터 하우징은 커버(100)에 입수 앨보(110)와 배출 앨보(120)가 커버(100)의 외측으로 돌출 형성되다 보니, 커버의 전체 외관이 돌출되는 앨보(110, 120)의 길이만큼 커지게 되어, 좁은 공간에서는 사용이 불가능한 문제점이 있다.
또한, 종래 필터 하우징을 고정시키기 위해서는 유볼트 등의 별도의 고정부재(미도시)를 사용하여 앨보(110, 120)들을 지면에 고정시켜야 하므로, 고정 작업이 까다로우며, 상기 고정부재로 인하여 복잡한 작업 환경이 더욱 복잡해지는 문제점이 있다.
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 커버의 전체 외관을 소형으로 제조하도록 유로를 커버 내부에 형성하여, 좁은 공간에서도 사용이 가능하도록 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 제공하도록 하는 데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 별도의 복잡한 고정부재를 사용하지 않고 커버를 고정시키도록 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 제공하도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 길이방향을 따라 내측공이 형성되며, 길이방향 일측에 결합부가 돌출 형성되는 필터; 상기 필터가 수용되며, 길이방향 일측으로 개방되도록 개방부가 구비되는 본체; 및 상기 개방부에 결합되며 상기 필터의 상기 결합부가 수용되도록 그 내면에 형성되는 수용부와, 유체가 상기 본체 내부로 인입 또는 인출되도록 그 내부에 형성되는 유로부를 구비하는 커버를 포함하고, 상기 유로부는: 일측은 상기 커버의 내면에서 상기 본체의 내면과 상기 필터 사이에 위치되고, 타측은 상기 커버 내부를 관통하여 상기 커버의 일 측방으로 위치되는 인입 유로; 및 일측은 상기 커버의 상기 수용부에서 상기 필터의 상기 내측공과 대향되도록 위치되고, 타측은 상기 커버 내부를 관통하여 상기 커버의 타 측방으로 위치되는 인출 유로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 구비한다.
또한, 상기 결합부의 외주연에 오링이 끼워지는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 구비한다.
또한, 상기 본체의 길이방향 타측에 드레인부가 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 구비한다.
또한, 상기 본체와 상기 커버의 결합을 위한 클램프(Clamp)가 구비되는 것을 특징으로 하는 정수기용 필터 하우징을 구비한다.
또한, 상기 커버의 외면에서 상기 인입 유로 또는 상기 인출 유로 방향으로 관통 형성되는 드레인부가 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 구비한다.
또한, 상기 커버의 외면에 외부와의 결합을 위한 고정부가 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 구비한다.
또한, 상기 커버의 외면에서 양 측방으로 지지부가 돌출 형성되고, 상기 지지부에 상기 고정부가 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 구비한다.
본 발명에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징은 인입 유로와 인출 유로를 커버 내부에 일체형으로 구비함으로써, 커버의 전체 외관을 소형으로 제조할 수 있으며, 이에 따라, 전체 부피를 많이 차지하지 않게 되어, 좁은 공간에서도 용이하게 사용할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징은 지지부의 결합부에 결합프레임이 나사 결합되므로, 별도의 복잡한 고정부재를 사용하지 않고 커버를 견고하게 고정시키는 효과가 있다.
도 1은 종래 필터 하우징을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 분해하여 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징의 단면을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징의 커버를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징의 다양한 설치 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징을 분해하여 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징의 단면을 도시한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징은 필터(10), 본체(20), 커버(30) 및 클램프(40)를 포함하여 구성된다.
필터(10)는 오염된 물이나 세정액 등을 깨끗하게 필터링 하는 것으로, 길이방향으로 길게 형성되되, 길이방향 내부를 따라 내측공(12)이 관통 형성된다. 그리고 필터(10)의 길이방향 하단부에서 내측공(12)의 외주연을 따라 결합부(14)가 돌출 연장형성되어, 상부체(10)의 후술하는 수용부(32)에 수용 및 결합된다.
본체(20)는 필터(10)가 수용되도록 내부가 길게 형성되며, 그 길이방향 하단부에 필터(10)가 삽입되도록 개방부(22)가 구비된다. 그리고 본체(20)의 그 길이빙향 상단부에는 드레인부(24)가 관통 형성되어, 필요에 따라 본체(20) 내부에 수용되는 세정액, 불순물 등을 외부로 배출한다. 그리고 상기 드레인부(24)에는 드레인부(24)를 개폐시키는 드레인 밸브(미도시)가 장착될 수 있다.
커버(30)는 본체(20)의 개방부(22)를 커버(30)하도록 형성되며, 커버(30)에서 필터(10)의 결합부(14)와 대응되는 내면에는 필터(10)의 결합부(14)가 수용되도록 수용부(32)가 형성된다. 그리고 커버(30)의 수용부(32)에 필터(10)의 결합부(14)가 삽입되면서 수용되고, 이때, 필터(10)의 결합부(14) 외주연에는 고무 재질의 오링(O-Ring)(15)이 끼워져서, 필터(10)와 커버(30)가 수밀하게 결합된다.
그리고 커버(30) 내부에는 본체(20) 내부로 세정액 등의 유체가 인입 및 배출되도록 양측이 개방되는 유로부 즉, 인입 유로(34)와 인출 유로(36)가 구비된다. 인입 유로(34)는 외부의 유체가 본체(20) 내부로 인입되는 통로로서, 양측이 개방되되 그 일측은 커버(30)의 내면에서 본체(20)의 내면과 필터(10) 외면 사이에 위치되고, 그 타측은 커버(30) 내부를 관통 및 절곡되어 커버(30) 외면의 일 측방에 위치된다. 인출 유로(36)는 본체(20) 내부의 유체, 상세하게는 필터(10)에 의하여 필터링 되어 필터(10)의 내측공(12)으로 모인 유체가 본체(20) 외부로 배출되는 통로로서, 양측이 개방되되, 그 일측은 필터(10)의 내면에서 필터(10)의 내측공(12)과 대향되도록 위치되고, 그 타측은 커버(30) 내부를 관통 및 절곡되어 커버(30) 외면의 타 측방에 위치된다. 그리고 세정액 등의 유체가 인입 유로(34)를 통하여 본체(20) 내부로 인입되면, 그 수압에 의하여 필터(10)를 통과하여 필터링된 후, 필터(10)의 내측공(12)으로 모이게 되고, 이어서 필터(10)의 인출 유로(36)를 통하여 본체(20) 외부로 배출된다.
이처럼, 본 발명은 인입 유로(34)와 인출 유로(36)를 커버 외부에 돌출 형성시키지 않고, 커버(30) 내부에 일체형으로 구비함으로써, 커버(30) 외부에 별다른 구성요소가 돌출되지 않아, 커버(30)의 전체 외관을 소형으로 제조할 수 있으며, 이에 따라, 전체 부피를 많이 차지하지 않게 되어, 좁은 공간에서도 용이하게 사용할 수 있는 장점이 있다.
클램프(Clamp)(40)는 통상적인 고정용 공구로서, 본 발명의 일 실시예에서는 복잡한 나사 결합 대신에, 보다 용이한 체결 구조를 갖기 위해 클램프(40)를 사용하여, 이들 본체(20)와 커버(30)를 결합시킬 수 있다. 물론, 기존의 나사산(미도시)에 의한 나사 결합도 가능하며, 이는 필요에 따라 선택 가능하다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징의 커버를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 하우징의 커버(30)는 그 외면에 제 1 드레인부(38a), 제 2 드레인부(38b) 및 지지부(39)를 더 포함한다.
제 1 드레인부(38a)는 커버(30)의 외면에서 인입 유로(34) 방향으로 관통 형성되고, 제 2 드레인부(38b)는 커버(30)의 외면에서 인출 유로(36) 방향으로 관통 형성된다. 그리고 제 1, 2 드레인부(38a, 38b)에는 댐퍼 또는 밸브가 구비되어, 제 1, 2 유로로 흐르는 유체의 일부를 제 1, 2 드레인부(38a, 38b)롤 통하여 외부로 배출시킬 수 있도록 구성된다.
지지부(39)는 커버(30)가 지면에서 수직 상방으로 세워지거나 천장에서 수직 하방으로 매달려 설치될 때, 커버(30)를 안정적으로 지지하기 위한 것으로, 커버(30)의 외면에서 양 측방으로 돌출 형성된다. 그리고 지지부(39)에서 지면 또는 천장과 대응되는 위치에는 나사홈 형상의 고정부(39a)가 형성되어, 커버(30)가 지면 또는 천장과 견고하게 나사 결합된다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징의 다양한 설치 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 6의 (a)를 참조하면, 본 발명의 필터 하우징이 지면에 설치된 상태를 도시한 것으로, 지면을 따라 길이방향으로 긴 결합프레임(50)이 고정된다. 그 후, 결합프레임(50)에 커버(30)의 지지부(39)가 위치되고, 이때, 지지부(39)의 고정부(39a)에 결합프레임(50)을 관통하는 볼트(55)가 나사 결합되어, 커버(30)가 결합프레임(50)에 견고하게 고정된다. 한편, 본 발명의 일 실시예에서 필터 하우징은 다수 개로 구성되며, 이들 필터 하우징을 상호 연결시키기 위하여, 인입 유로(34)와 인출 유로(36)가 튜브(T)에 의하여 상호 연결된다.
도 6의 (b)를 참조하면, 본 발명의 필터 하우징이 천장에 설치된 상태를 도시한 것으로, 천장을 따라 길이방향으로 긴 결합프레임(50)이 고정된다. 그 후, 결합프레임(50)에 커버(30)의 지지부(39)가 위치되고, 이때, 지지부(39)의 고정부(39a)에 결합프레임(50)을 관통하는 볼트(55)가 나사 결합되어, 커버(30)가 결합프레임(50)에 견고하게 고정된다. 그리고 인입 유로(34)와 인출 유로(36)에 튜브(T)가 끼워져서, 다수 개의 필터 하우징이 상호 연결된다.
이처럼 본 발명의 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징은 지지부(39)의 고정부(39a)에 결합프레임(50)이 나사 결합되므로, 별도의 복잡한 고정부재를 사용하지 않고서도 커버(30)를 견고하게 고정시키는 장점이 있다.
본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
10: 필터 12: 내측공
14: 결합부 15: 오링
20: 본체 22: 개방부
24: 드레인부 30: 커버
32: 수용부 34: 인입 유로
36: 인출 유로 38a: 제 1 드레인부
38b: 제 2 드레인부 39: 지지부
39a: 고정부 40: 클램프

Claims (7)

  1. 길이방향을 따라 내측공이 형성되며, 길이방향 일측에 결합부가 돌출 형성되는 필터;
    상기 필터가 수용되며, 길이방향 일측으로 개방되도록 개방부가 구비되는 본체; 및
    상기 개방부에 결합되며 상기 필터의 상기 결합부가 수용되도록 그 내면에 형성되는 수용부와, 유체가 상기 본체 내부로 인입 또는 인출되도록 그 내부에 형성되는 유로부를 구비하는 커버를 포함하고,
    상기 유로부는:
    일측은 상기 커버의 내면에서 상기 본체의 내면과 상기 필터 사이에 위치되고, 타측은 상기 커버 내부를 관통하여 상기 커버의 일 측방으로 위치되는 인입 유로; 및
    일측은 상기 커버의 상기 수용부에서 상기 필터의 상기 내측공과 대향되도록 위치되고, 타측은 상기 커버 내부를 관통하여 상기 커버의 타 측방으로 위치되는 인출 유로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 결합부의 외주연에 오링이 끼워지는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체의 길이방향 타측에 드레인부가 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체와 상기 커버의 결합을 위한 클램프(Clamp)가 구비되는 것을 특징으로 하는 정수기용 필터 하우징.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버의 외면에서 상기 인입 유로 또는 상기 인출 유로 방향으로 관통 형성되는 드레인부가 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버의 외면에 외부와의 결합을 위한 고정부가 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 커버의 외면에서 양 측방으로 지지부가 돌출 형성되고, 상기 지지부에 상기 고정부가 형성되는 것을 특징으로 하는 커버 내에 일체형 유로를 갖는 필터 하우징.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190003139U (ko) * 2018-06-14 2019-12-24 모션하이테크 주식회사 필터 하우징 조립체
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