KR20120109878A - Substrate imprint apparatus - Google Patents

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KR20120109878A
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김종완
김준탁
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이종관
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주식회사 디엠에스
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Abstract

PURPOSE: An imprinting apparatus is provided to simply and rapidly fix a stamp by generating magnetic force so that the stamp sticks to a support stand by attractive force in the imprinting operation. CONSTITUTION: A stage(2) is placed inside a chamber case(C). A loading plane(L) is formed at one side of the stage. A stamp(4) comprises an imprint plane(F) corresponding to a substrate(G). A support stand(6) supports the stamp. The support stand supports into plate shape corresponding to the stamp. A magnetic force fixing unit generates magnetic force between the support stand and the stamp. The magnetic force fixing unit comprises a first fixing unit and a second fixing unit. The first fixing unit is arranged on the support stand and comprises a magnet member. The second fixing unit is arranged on the stamp and comprises a magnetic body corresponding to the magnet member.

Description

임프린트 장치{substrate imprint apparatus}Imprint apparatus {substrate imprint apparatus}

본 발명은 각종 미세패턴을 형성하는 임프린트(imprint) 작업에 사용되는 임프린트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an imprint apparatus used for an imprint job for forming various fine patterns.

평판표시소자용 기판 제조시 기능성 패턴들을 기판 측에 형성하는 방법 중에는 임프린트(imprint) 작업 방식이 널리 알려져 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION An imprint operation method is widely known among methods for forming functional patterns on a substrate side in manufacturing a substrate for a flat panel display device.

상기 임프린트 작업은, 평판형의 스템프(stamp)를 구비한 임프린트 장치를 이용하여 스템프와, 기판을 서로 합착하는 과정을 거치면서 진행된다.The imprint operation is performed while the stamp and the substrate are bonded to each other by using an imprint apparatus having a flat stamp.

즉, 약액층이 도포된 기판이 임프린트 장치의 스테이지 측에 놓여진 상태로 스템프와 평행하게 합착하고, 기판과 스템프가 합착된 상태로 경화(예: UV경화)한 다음, 기판으로부터 스템프를 분리하는 공정들을 거치면서 기판 측에 각종 기능성 패턴들을 임프린트 방식으로 패터닝하는 것이다.In other words, the process in which the substrate on which the chemical liquid layer is applied is bonded in parallel with the stamp while being placed on the stage side of the imprint apparatus, and the substrate and the stamp are cured (eg UV curing) in the bonded state, and then the stamp is separated from the substrate. Through this process, various functional patterns on the substrate side are patterned by imprint method.

이러한 임프린트 작업을 진행할 때 기판은 평판형의 스테이지 위에 올려진 상태로 배치되고, 스템프는 상기 스테이지 위쪽에 뜬 상태로 배치되므로 특히 상기 스템프를 기판과 대응하는 상태로 안정적으로 잡아주는 것이 매우 중요하다.When the imprint operation is performed, the substrate is placed on the flat stage, and the stamp is placed above the stage, so it is particularly important to stably hold the stamp in a state corresponding to the substrate.

상기 스템프를 잡아주는 방법으로는 진공흡착기로 잡아주는 방법이 있지만, 이러한 진공 흡착 고정 구조는 예를 들어, 임프린트 작업 중에 합착면의 기포를 챔버 내부에서 진공 분위기로 제거할 때 자칫 압력차이가 발생(감소)하면 스템프를 잡을 수 없는 상태가 될 수 있으므로 근래에는 대부분 정전척(ESC)을 사용하여 잡아주는 방법이 널리 사용된다.There is a method of holding the stamp by a vacuum adsorber, but such a vacuum adsorption fixing structure may cause pressure differences, for example, when removing bubbles from the bonding surface into a vacuum atmosphere during the imprint operation. If you can reduce the state of the stamp can not be caught, so most of the recent catch using an electrostatic chuck (ESC) is widely used.

즉, 정전척 측에 통상의 방법으로 전기를 인가할 때 발생하는 정전기를 이용하여 스템프의 일면을 기판과 합착 가능한 상태로 잡아주는 것이다.That is, by using the static electricity generated when applying electricity to the electrostatic chuck side in a conventional manner to hold one surface of the stamp in a state capable of bonding with the substrate.

하지만, 상기와 같이 정전척을 이용하여 기판을 잡아주는 방식은, 대부분의 정전척들이 고가이므로 제작 및 유지 보수에 과다한 비용이 소요된다.However, the method of holding the substrate by using the electrostatic chuck as described above, since most of the electrostatic chuck is expensive, excessive costs are required for manufacturing and maintenance.

그리고, 정전척은 초기 구동시 반드시 고압(高壓)의 전기를 인가해야 하므로 작업장 내에 안전 사고의 위험이 있으며, 고장이 잦은 문제가 있다.In addition, since the electrostatic chuck must be applied with high voltage during initial driving, there is a risk of safety accident in the workplace, and there are frequent problems.

특히 정전척은 정전기를 사용하기 때문에 크기(면적)에 비하여 큰 고정력을 확보하기 어려우므로 가격 대비 만족할 만한 구동 효율을 기대할 없고, 점차 사이즈가 대면적화 되어 가는 기판 제조 공정에 적극적으로 대응할 수 없다.In particular, since the electrostatic chuck uses static electricity, it is difficult to secure a large holding force compared to the size (area), and therefore, it is impossible to expect a satisfactory driving efficiency for the price, and cannot actively cope with the substrate manufacturing process, which is gradually increasing in size.

더욱이, 정전척을 사용하면, 초기에 스템프를 잡아주기 위한 별도의 보조 고정장치(진공흡착장치)를 추가로 구비해야 하므로 작동이 번거로울 뿐만 아니라, 구조가 복잡하고 장치의 소형화를 구현하기 어렵다.Moreover, when the electrostatic chuck is used, an additional auxiliary fixing device (vacuum adsorption device) for initially holding the stamp is additionally not only troublesome to operate, but also complicated in structure and difficult to realize the miniaturization of the device.

또한, 상기 정전척들은 기판과 스템프를 합착한 상태로 열 또는 자외선으로 경화하는 작업을 진행할 때 열화 현상이 쉽게 발생하면서 변형이나 오작동을 초래할 수도 있다. In addition, the electrostatic chucks may easily cause deterioration and deformation or malfunction when the substrate and the stamp are bonded to each other by heat or ultraviolet rays.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,The present invention has been made to solve the conventional problems as described above,

본 발명의 목적은, 자기력(磁氣力)으로 스템프를 간편하게 잡아준 상태로 임프린트 작업을 진행할 수 있는 임프린트 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide an imprint apparatus capable of performing an imprint operation in a state in which a stamp is easily held by a magnetic force.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,In order to realize the object of the present invention as described above,

기판이 놓여지는 로딩면을 구비한 스테이지;A stage having a loading surface on which the substrate is placed;

상기 기판과 합착되기 위한 임프린트면을 구비한 스템프를 상기 스테이지 위쪽에서 합착 가능한 상태로 지지할 수 있도록 배치되는 지지대;A support disposed to support a stamp having an imprint surface to be adhered to the substrate in a state in which the stamp can be adhered thereon;

상기 지지대와 상기 스템프 사이에 자기력(磁氣力)을 발생하여 상기 지지대 측에 상기 스템프의 일면을 잡아줄 수 있도록 형성된 자력고정수단;Magnetic fixing means formed to generate a magnetic force between the support and the stamp to hold one surface of the stamp on the support side;

을 포함하는 임프린트 장치를 제공한다.It provides an imprint apparatus comprising a.

이와 같은 본 발명은 자기력(磁氣力)을 이용한 고정 방식으로 스템프를 지지대 측에 잡아 줄 수 있도록 형성된 자력고정수단을 구비하고 있으므로 임프린트 작업시 스템프가 인력(引力)에 의해 지지대 측에 달라붙도록 자기력(磁氣力)을 발생하여 기판과 합착 가능한 상태로 상기 스템프를 간편하고 신속하게 고정할 수 있다.The present invention has a magnetic force fixing means formed to hold the stamp to the support side in a fixed manner using a magnetic force, so the magnetic force is fixed to the support side by the attraction force during imprinting. The stamp can be easily and quickly fixed in a state where it can be generated and bonded to the substrate.

특히, 상기와 같이 자력고정수단을 이용하여 스템프를 잡아주는 고정 방식은, 예를 들어, 임프린트 작업이 진행되는 작업 공간(챔버)이 진공 분위기인 상태에서도 자기력의 발생 및 작용이 안정적으로 이루어질 수 있으므로 한층 향상된 작동성을 확보할 수 있다.In particular, the fixing method for holding the stamp using the magnetic fixing means as described above, for example, since the magnetic force generation and action can be made stable even in a state where the working space (chamber) in which the imprint operation is carried out in a vacuum atmosphere Further improved operability can be obtained.

또한, 자기력에 의한 고정 방식은, 예를 들어, 종래와 같이 정전척의 정전기로 잡아주는 방식과 비교할 때 크기(면적)에 비하여 비교적 큰 고정력(인력)을 발생할 수 있으므로 작동안전성을 더 높일 수 있다.In addition, the fixing method by the magnetic force, for example, compared to the method of holding the electrostatic chuck of the electrostatic chuck as compared to the size (area) as compared to the size (area) can generate a relatively large fixing force (human force) can further increase the operational safety.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 세부 구조 및 바람직한 작용을 설명하기 위한 도면들이다.1 is a view schematically showing the overall structure of an imprint apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 to 4 are views for explaining the detailed structure and the preferred operation of the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.The embodiments of the present invention will be described by those skilled in the art to which the present invention is applicable.

따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.Therefore, the embodiments of the present invention can be modified into various other forms, so that the claims of the present invention are not limited by the embodiments described below.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2 내지 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 바람직한 작용을 설명하기 위한 도면들로서, 도면 부호 G는 기판을 지칭하고, 도면 부호 2는 기판(G)이 놓여지는 스테이지를 지칭한다.1 is a view schematically showing the overall structure of an imprint apparatus according to an embodiment of the present invention, Figures 2 to 4 are views for explaining the preferred operation of the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention, Reference numeral G denotes a substrate and reference numeral 2 denotes a stage on which the substrate G is placed.

상기 스테이지(2)는 일면에 로딩면(L)을 구비하고 도 1에서와 같은 챔버케이스(C) 내부의 챔버(C1) 바닥면에서 상기 로딩면(L)이 위쪽을 향하도록 놓여진 상태로 설치될 수 있다.The stage 2 has a loading surface L on one surface and is installed with the loading surface L facing upward on the bottom surface of the chamber C1 inside the chamber case C as shown in FIG. 1. Can be.

즉, 상기 스테이지(2)는 상기 챔버케이스(C) 내부에 배치되어 외부와 차단된 상태로 기판(G)이 놓여질 수 있도록 제공된다.That is, the stage 2 is provided in the chamber case C so that the substrate G can be placed in a state of being blocked from the outside.

상기 스테이지(2) 측에 놓여지는 기판(G)은 통상의 방법으로 약액층(G1, 예: 레진)이 일면에 도포 상태로 제공되며, 이 약액층(G1)이 위쪽을 향하는 상태로 도 1에서와 같이 상기 스테이지(4)의 로딩면(L) 상에 놓여진다.The substrate G placed on the side of the stage 2 is provided with a chemical liquid layer G1 (for example, a resin) coated on one surface in a conventional manner, and the chemical liquid layer G1 faces upwardly in FIG. 1. As in the above is placed on the loading surface (L) of the stage (4).

그리고, 상기 챔버케이스(C)는 일면이 각각 개방된 두 개의 케이스로 구성되며, 도면에는 나타내지 않았지만 별도의 구동원(예: 스크류 잭)에 의해 상,하 방향으로 움직이면서 개방면이 마주하는 상태로 서로 결합하거나, 분리되면서 챔버(C1)를 형성할 수 있는 구조로 이루어질 수 있다.In addition, the chamber case (C) is composed of two cases each of which one surface is open, although not shown in the figure by moving the up and down direction by a separate drive source (for example, screw jack) while the open surfaces face each other It may be made of a structure that can form a chamber (C1) while being coupled or separated.

또한, 상기 챔버케이스(C)는 도면에는 나타내지 않았지만 진공펌프와 연결되어 이 진공펌프의 구동에 의해 챔버(C1) 분위기가 진공압 또는, 대기압 상태로 전환될 수 있도록 형성된다.In addition, although not shown in the drawing, the chamber case C is connected to a vacuum pump so that the atmosphere of the chamber C1 may be converted into a vacuum pressure or an atmospheric pressure state by driving the vacuum pump.

이러한 챔버케이스(C) 구조는 해당 분야에서 이미 널리 알려지고 사용하는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.The chamber case (C) structure is already well known and used in the art, so a detailed description thereof will be omitted.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 기판(G)과 합착되기 위한 스템프(4)가 상기 챔버케이스(C) 내부에 제공되며, 상기 스템프(4)를 기판(G)과 합착 가능한 상태로 지지하기 위한 지지대(6)를 포함하여 이루어진다.In the imprint apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention, a stamp 4 to be bonded to the substrate G is provided inside the chamber case C, and the stamp 4 may be attached to the substrate G. It comprises a support (6) for supporting in a state.

상기 스템프(4)는 기판(G)과 대응하는 임프린트면(F)을 일면에 구비하고, 타면은 백플레이트(미도시)가 부착된 통상의 구조로 이루어진다.The stamp 4 has an imprint surface F corresponding to the substrate G on one surface, and the other surface has a conventional structure having a back plate (not shown) attached thereto.

상기 스템프(4)는 상기 챔버케이스(C) 내부에서 도 1에서와 같이 상기 임프린트면(F)이 상기 스테이지(2) 상에 놓여진 기판(G)의 약액층(G1)과 마주하도록 배치된다, 상기 임프린트면(F)은 이미 잘 알려진 바와 같이 단차, 경사면 등을 구비하여 위치에 따라 다른 높이값 내지 두께값을 가지므로 합착에 의해 기판(G)의 약액층(G1)과 접촉될 때 약액층(G1)의 두께가 위치에 따라 달라질 수 있으므로 이후 경화 과정을 통해 약액층(G1)이 경화되는 경우 노광 공정을 대체하는 패터닝(patterning)이 가능하다.The stamp 4 is disposed in the chamber case C such that the imprint surface F faces the chemical liquid layer G1 of the substrate G on the stage 2, as shown in FIG. 1. The imprint surface F has a step height, an inclined surface, etc., as is well known, and thus has a height value to a thickness value depending on the position, and thus the chemical liquid layer when contacted with the chemical liquid layer G1 of the substrate G by bonding. Since the thickness of the (G1) may vary depending on the position, when the chemical layer G1 is cured through a curing process, patterning may be substituted to replace the exposure process.

상기 지지대(6)는 상기 스템프(4)의 위쪽에서 이 스템프(4)의 윗면을 지지할 수 있도록 형성된다.The support 6 is formed to support the upper surface of the stamp 4 above the stamp 4.

상기 지지대(6)는 예를 들어, 상기 스템프(4)와 대응하는 판상의 형태로 형성될 수 있으며, 상기 스템프(4)를 잡아주기 위한 지지면(K)을 일면에 구비하고, 이 지지면(K)이 상기 스템프(4)의 윗면과 마주하는 상태로 상기 챔버케이스(C) 내측에 배치될 수 있다.The support 6 may be formed, for example, in the form of a plate corresponding to the stamp 4, and has a support surface K for holding the stamp 4 on one surface thereof, and this support surface (K) may be disposed inside the chamber case (C) in a state facing the upper surface of the stamp (4).

그리고, 상기한 스테이지(2) 및 지지대(6) 중에서 어느 하나는 상,하 방향으로 움직이면서 기판(G)과 스템프()가 서로 합착될 수 있도록 셋팅되며, 본 실시 예에서는 상기 지지대(6)가 상,하 방향으로 움직이도록 셋팅된 것을 일예로 설명한다.And, any one of the stage (2) and the support (6) is set so that the substrate (G) and the stamp () can be bonded to each other while moving in the up and down direction, in this embodiment the support (6) is It is described as an example that it is set to move in the up and down directions.

즉, 상기 지지대(6)는 예를 들어, 도 1에서와 같이 통상의 스크류 잭(screw jack)과 같은 이송장치(M)와 연결되어 이 이송장치(M)의 작동에 의해 상기 챔버케이스(C) 내측에서 상기 스테이지(2)를 향하여 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅될 수 있다.That is, the support 6 is connected to a transfer device M such as a conventional screw jack, for example, as shown in FIG. 1, and the chamber case C is operated by the operation of the transfer device M. FIG. It may be set to move in the up and down direction toward the stage 2 from the inside.

그러면, 상기 지지대(6)가 아래쪽으로 이동될 때 상기 스템프(4)가 기판(G)과 서로 면(面) 접촉 상태로 합착이 이루어질 수 있다.Then, when the support 6 is moved downward, the stamp 4 may be bonded to the substrate G in a surface contact state with each other.

한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 상기 스템프()와 지지대(6) 사이에서 자기력(磁氣力)을 발생하여 상기 지지대(6) 측에 상기 스템프(4)를 안정적으로 잡아줄 수 있도록 형성된 자력고정수단(8)을 포함하여 이루어진다.On the other hand, the imprint apparatus according to an embodiment of the present invention, by generating a magnetic force between the stamp (6) and the support (6) to hold the stamp (4) on the support 6 side stably It comprises a magnetic fixing means (8) formed to give.

상기 자력고정수단(8)은, 상기 지지대(6) 측에서 상기 스템프(4)를 잡아당기는 방향 즉, 인력(引力)이 작용하는 상태로 자기력을 발생할 수 있도록 형성된다.The magnetic force fixing means 8 is formed so as to generate a magnetic force in a direction in which the stamp 4 is pulled from the support 6 side, that is, a state of attraction.

다시 도 1을 참조하면, 상기 자력고정수단(8)은, 자기력(磁氣力)을 발생하는 자석부재(A1)들로 구성되는 제1고정부(A)와, 이 제1 고정부(A)의 자석부재(A1)들과 대응하는 자성체(B1)로 구성되는 제2 고정부(B)를 포함하여 이루어질 수 있다.Referring again to FIG. 1, the magnetic force fixing means 8 includes a first fixing portion A consisting of magnet members A1 for generating magnetic force, and the first fixing portion A. FIG. It may include a second fixing portion (B) consisting of a magnetic body (B1) corresponding to the magnet members (A1) of the.

상기 제1 고정부(A) 및 제2 고정부(B)는 상기 스템프(4) 또는 지지대(6) 측에서 서로 대응하는 상태로 제공된다.The first fixing portion A and the second fixing portion B are provided in a state corresponding to each other on the side of the stamp 4 or the support 6.

즉, 상기 제1 고정부(A)는 상기 지지대(6)의 지지면(K) 측에 복수 개의 자석부재(A1)들이 설치된 구조로 제공될 수 있다.That is, the first fixing part A may be provided in a structure in which a plurality of magnet members A1 are installed on the support surface K side of the support 6.

상기 자석부재(A1)들은 전자석을 사용할 수 있으며, 도면에는 나타내지 않았지만 별도의 콘트롤부와 연결되어 통상의 방법으로 전기를 인가받아서 작동이 이루어지도록 셋팅될 수 있다.The magnet members A1 may use electromagnets, and although not shown in the drawing, the magnet members A1 may be connected to a separate control unit and may be set to operate by receiving electricity in a conventional manner.

상기 자석부재(A1)들은 상기 지지대(6)의 지지면(K) 측에서 평면을 이루는 안정적인 상태로 상기 스템프(4)를 잡아줄 수 있도록 배열된다.The magnet members A1 are arranged to hold the stamp 4 in a stable state forming a plane on the support surface K side of the support 6.

예를 들어, 도 2에서와 같이 상기 지지대(6)의 지지면(K) 측에서 상기 스템프(4)의 가장자리와 대응하도록 복수 개의 지점에 설치될 수 있다.For example, as shown in Figure 2 may be provided at a plurality of points on the support surface (K) side of the support 6 to correspond to the edge of the stamp (4).

상기 자석부재(A1)들은 상기한 배열 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 상기 스템프(4)가 기판(G)과 균일하게 합착될 수 있도록 가장자리는 물론이거니와 안쪽면을 안정적으로 잡아줄 수 있는 배열로 상기 지지대(6) 측에 설치될 수 있다.The magnet members A1 are not shown in the drawings in addition to the above arrangement, but the support 4 may be arranged in an arrangement capable of stably holding the inner surface and the edge thereof so that the stamp 4 may be uniformly bonded to the substrate G. 6) can be installed on the side.

그리고, 상기 제2 고정부(B)는 상기 제1 고정부(A)의 자석부재(A1)들과 대응하도록 상기 스템프(4) 측에 상기 자성체(B1)들이 설치된 구조로 제공될 수 있다.The second fixing part B may be provided in a structure in which the magnetic bodies B1 are installed on the stamp 4 side to correspond to the magnet members A1 of the first fixing part A.

상기 자성체(B1)는 상기 스템프(4)의 윗면에 예를 들어 철(Fe)이나 니켈(Ni)과 같은 자성물질들을 통상의 방법으로 증착하거나, 부착하여 형성할 수 있다.The magnetic body B1 may be formed on the upper surface of the stamp 4 by depositing or attaching magnetic materials such as iron (Fe) or nickel (Ni) in a conventional manner.

상기 자성체(B1)들은 도 2에서와 같이 상기 스템프(4)의 가장자리 측에서 상기 제1 고정부(A)의 자석부재(A1)들과 대응하도록 복수 개가 설치될 수 있다.As shown in FIG. 2, a plurality of the magnetic bodies B1 may be installed to correspond to the magnet members A1 of the first fixing part A at the edge side of the stamp 4.

특히, 상기와 같이 자성체(B1)들이 상기 스템프(4)의 가장자리 측에 배치되면 예를 들어, 기판(G)과 스템프(4)를 합착한 상태에서 통상의 방법으로 경화 작업을 진행할 때 상기 자성체(B1)들에 의해 열 또는 자외선이 차단되면서 경화 불량이 발생하는 현상을 방지할 수 있다.In particular, when the magnetic material (B1) is disposed on the edge side of the stamp 4 as described above, for example, when the hardening operation in a conventional manner in the state in which the substrate (G) and the stamp (4) bonded to the magnetic material Heat or ultraviolet rays are blocked by the (B1) to prevent the phenomenon that the curing failure occurs.

그리고, 상기한 자석부재(A1) 및 자성체(B1)는, 자기력이 발생할 때 서로 잡아당기는 방향으로 인력(引力)이 작용하도록 셋팅된다.Then, the magnet member (A1) and the magnetic body (B1) is set so that the attraction force in the direction of pulling each other when the magnetic force is generated.

즉, 상기 자석부재(A1) 측에서 자기력이 발생할 때 상기 자성체(B1)가 자성(磁性)을 띠면서 상기 자석부재(A1) 측에 달라붙을 수 있도록 형성된다.That is, when the magnetic force is generated on the magnet member A1 side, the magnetic body B1 is formed to be able to stick to the magnet member A1 side while being magnetic.

이와 같은 자석부재(A1) 및 자성체(B1)의 작용에 의하면, 상기 지지대(6)와 스템프(4) 사이에서 자기력을 발생할 때 상기 자성체(B1)가 상기 자석부재(A1) 측에 달라붙으면서 상기 스템프(4)가 상기 지지대(6) 측에 부착 고정되도록 할 수 있다.According to the action of the magnet member A1 and the magnetic body B1, the magnetic body B1 sticks to the magnet member A1 side when a magnetic force is generated between the support 6 and the stamp 4. The stamp 4 may be attached and fixed to the support 6 side.

그러므로, 상기한 자석부재(A1) 및 자성체(B1)는, 자기력에 의해 상기 스템프(4)가 상기 지지대(6) 측에 간편하게 고정될 수 있도록 잡아주는 역할을 한다.Therefore, the magnet member A1 and the magnetic body B1 serve to hold the stamp 4 to be easily fixed to the support 6 side by a magnetic force.

다음으로 상기한 자력고정수단(8)의 바람직한 작용을 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.Next, a preferable operation of the above-described magnetic force fixing means 8 will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

도 3에서와 같이 지지대(6)와 스템프(4)가 분리된 상태에서 상기 제1 고정부(A)의 자석부재(A1)로 자기력이 발생하면, 상기 제2 고정부(B)의 자성체(B1)들이 상기 자석부재(A1) 측으로 이동하려는 인력이 작용하게 된다.As shown in FIG. 3, when magnetic force is generated by the magnet member A1 of the first fixing part A in a state in which the support 6 and the stamp 4 are separated, the magnetic body of the second fixing part B B1) is an attraction force to move to the magnet member (A1) side.

그러면, 상기 제2 고정부(B)의 자성체(B1)들이 인력에 의해 상기 자석부재(A1)들 측에 각각 달라붙게 되므로 상기 스템프(4)는 도 4에서와 같이 상기 지지대(6)의 지지면(K) 측에 평면을 이루는 상태로 부착 고정될 수 있다.Then, the magnetic body (B1) of the second fixing portion (B) is attached to the magnet member (A1) side by the attraction force, respectively, so that the stamp (4) is supported by the support (6) as shown in FIG. It may be attached and fixed in a state forming a plane on the surface (K) side.

그러므로, 상기와 같은 제1 고정부(A) 및 제2 고정부(B)의 작용에 의해 상기 스템프(4)를 상기 지지대(6) 측에 신속하고 안정적으로 고정할 수 있다.Therefore, the stamp 4 can be quickly and stably fixed to the support 6 side by the action of the first fixing part A and the second fixing part B as described above.

그리고, 도면에는 나타내지 않았지만 상기와 같이 지지대(6)로 스템프(4)를 잡아준 상태에서 상기 지지대(6)를 아래쪽으로 이동시키면서 기판(G)과 합착하는 방식으로 임프린트 작업을 진행하면된다.Although not shown in the drawings, the imprint operation may be performed by bonding the substrate G while moving the support 6 downward while the stamp 4 is held by the support 6 as described above.

이처럼 임프린트 작업을 진행할 때 특히, 자기력(磁氣力)을 이용하여 스템프(4)를 지지대(6) 측에 고정하는 방식은, 예를 들어, 종래와 같이 정전척(정전기)으로 고정하는 방식과 비교할 때, 가격이 저렴하고, 제작 및 유지보수가 용이할 뿐만 아니라, 한층 향상된 고정력을 확보할 수 있다.In this way, in the imprint operation, the method of fixing the stamp 4 to the support 6 side using magnetic force, in particular, can be compared with, for example, the method of fixing with an electrostatic chuck (electrostatic) as in the prior art. At the same time, the price is low, the production and maintenance are easy, and the fixing force can be further improved.

그리고, 전자석으로 구성되는 자석부재(A1)들은 정전척과 같이 초기 구동시 고압의 전기를 사용하지 않아도 작동이 원활하게 이루어질 수 있으므로 한층 향상된 구동성을 확보할 수도 있다.In addition, the magnet members A1 composed of electromagnets may be smoothly operated without using high voltage electricity during initial driving, such as an electrostatic chuck, thereby further improving driving performance.

또한, 상기 자석부재(A1)에서 발생하는 자기력은 예를 들어, 임프린트 작업이 진행되는 챔버케이스(C) 내부 압력이 진공압 또는 대기압 분위기로 변화되더라도 자력(磁力)이 항상 균일하게 유지되는 것으로 알려져 있으므로 한층 향상된 작동 안전성을 확보할 수 있다.In addition, the magnetic force generated in the magnet member (A1) is known, for example, even if the pressure inside the chamber case (C) in which the imprint operation is changed to a vacuum or atmospheric pressure atmosphere is known to always maintain a uniform force As a result, improved operation safety can be obtained.

2: 스테이지 4: 스템프 6: 지지대
8: 자력고정수단 A: 제1 고정부 B: 제2 고정부
G: 기판 A1: 자석부재 B1: 자성체2: stage 4: stamp 6: support
8: Magnetic fixing means A: first fixing portion B: second fixing portion
G: Substrate A1: Magnet Member B1: Magnetic Body

Claims (6)

기판이 놓여지는 로딩면을 구비한 스테이지;
상기 기판과 합착되기 위한 임프린트면을 구비한 스템프를 상기 스테이지 위쪽에서 합착 가능한 상태로 지지할 수 있도록 배치되는 지지대;
상기 지지대와 상기 스템프 사이에 자기력(磁氣力)을 발생하여 상기 지지대 측에 상기 스템프의 일면을 잡아줄 수 있도록 형성된 자력고정수단;
을 포함하는 임프린트 장치.A stage having a loading surface on which the substrate is placed;
A support disposed to support a stamp having an imprint surface to be adhered to the substrate in a state in which the stamp can be adhered thereon;
Magnetic fixing means formed to generate a magnetic force between the support and the stamp to hold one surface of the stamp on the support side;
Imprint apparatus comprising a. 청구항 1에 있어서,
상기 지지대는,
상기 스템프 면적과 대응하는 지지면을 구비하고, 상기 지지면이 상기 임프린트면의 반대면과 마주하는 상태로 상기 스템프 위쪽에 배치되는 임프린트 장치.The method according to claim 1,
[0028]
And a support surface corresponding to the stamp area, wherein the support surface is disposed above the stamp with the support surface facing the opposite surface of the imprint surface. 청구항 1에 있어서,
상기 자력고정수단은,
자석부재를 구비하고 상기 지지대 측에 배치되는 제1 고정부와, 상기 제1 고정부의 자석부재와 대응하는 자성체를 구비하고 상기 스템프 측에 배치되는 제2 고정부를 포함하며,
상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부는,
상기 지지대와 상기 스템프가 서로 부착되는 방향으로 인력(引力)이 작용하는 상태로 자기력을 발생할 수 있도록 셋팅되는 임프린트 장치.The method according to claim 1,
The magnetic fixing means,
A first fixing part including a magnet member and disposed on the support side, and a second fixing part disposed on the stamp side and having a magnetic material corresponding to the magnet member of the first fixing part,
The first fixing part and the second fixing part,
And an imprint apparatus that is set to generate a magnetic force in a state in which attraction force acts in a direction in which the support and the stamp are attached to each other. 청구항 3에 있어서,
상기 자석부재는,
전자석을 사용하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.The method according to claim 3,
The magnet member,
An imprint apparatus using an electromagnet. 청구항 3에 있어서,
상기 자성체는,
철 또는 니켈을 증착하거나, 부착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.The method according to claim 3,
The magnetic body may include:
An imprint apparatus characterized by depositing or attaching iron or nickel. 청구항 3에 있어서,
상기 자석부재 및 상기 자성체들은,
상기 지지대 및 상기 스템프의 가장자리가 자기력에 의해 서로 달라붙을 수 있도록 셋팅되는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.The method according to claim 3,
The magnet member and the magnetic body,
Imprint apparatus, characterized in that the support and the edge of the stamp is set to stick to each other by a magnetic force.
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