KR20120065228A - Metal halide lamp and apparatus for lighting the same - Google Patents

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KR20120065228A
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노리치카 기무라
겐지 스즈키
시게루 사이토
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A metal halide lamp and a metal halide lamp lighting device are provided to maintain illumination high by controlling loss of Fe and to expand lifetime of the metal halide lamp by maintaining a reasonable halogen cycle for a long time. CONSTITUTION: A light emitting tube(1) is composed of quartz glass. A pair of electrodes(2) is faced inside the light emitting tube. The pair of electrodes is composed of tungsten. A metal film(3) is composed of molybdenum which is sealed to a seal unit(1a) of both sides of the light emitting tube. The pair of electrodes is electrically connected with an external lead through the metal film. The atomic weight ratio Fe/Tl of iron and thallium is a range of 15 to 25. The atomic weight ratio Fe/Bi of iron and bismuth is a range of 2 to 4.

Description

메탈할라이드 램프 및 메탈할라이드 램프 점등 장치{METAL HALIDE LAMP AND APPARATUS FOR LIGHTING THE SAME}Metal halide lamp and metal halide lamp lighting device {METAL HALIDE LAMP AND APPARATUS FOR LIGHTING THE SAME}

본 발명은, 메탈할라이드 램프 및 메탈할라이드 램프 점등 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a metal halide lamp and a metal halide lamp lighting device.

액정 디스플레이 패널의 제조 공정에 있어서 유리 기판을 맞붙일 때, 유리 기판과 유리 기판의 사이에 도포된 시일제를 경화시키기 위한 자외선 광원으로서 메탈할라이드 램프가 적합하게 이용되고 있다. 이러한 제조 공정에 있어서는, 봉형상의 메탈할라이드 램프와 그 배면에 배치된 반사 미러를 구비한 점등 장치가 사용된다.When joining a glass substrate in the manufacturing process of a liquid crystal display panel, the metal halide lamp is used suitably as an ultraviolet light source for hardening the sealing compound apply | coated between a glass substrate and a glass substrate. In this manufacturing process, the lighting device provided with the rod-shaped metal halide lamp and the reflection mirror arrange | positioned at the back is used.

도 6에 이 장치를 도시한다. 램프 하우스(60) 내에 메탈할라이드 램프(61)가 배치된다. 메탈할라이드 램프(61)의 상방에는 반사 미러(62)가 배치되어 있고, 램프로부터의 방사광은 하방에 설치된 워크(W)에 조사된다. 워크(W)는 상술한 것처럼 유리 기판(63)과 유리 기판(64)의 사이에 시일제(65)가 도포된 것이다.This apparatus is shown in FIG. In the lamp house 60 a metal halide lamp 61 is arranged. The reflecting mirror 62 is arrange | positioned above the metal halide lamp 61, and the radiated light from a lamp is irradiated to the workpiece | work W provided below. As described above, the workpiece W is coated with a sealing agent 65 between the glass substrate 63 and the glass substrate 64.

이러한 용도에 있어서는 시일제(65)의 특성에 유래하여 파장 300?400㎚역의 자외선 조사가 요구되고 있고, 상기 파장대에 있어서 양호한 광 방사가 얻어지는 철을 발광관 내부에 봉입한 메탈할라이드 램프(61)가 적합하게 사용되고 있다.In such a use, the metal halide lamp 61 which enclosed the inside of the light emitting tube with iron which the radiation of the wavelength 300-400 nm is calculated | required derived from the characteristic of the sealing compound 65, and the favorable light emission is obtained in the said wavelength band is 61. ) Is suitably used.

이 메탈할라이드 램프에 있어서는 발광관의 내벽에 철이 부착되어 박막을 형성하고, 서서히 관의 투과율이 저하하여 소정의 발광 특성을 얻을 수 없게 된다고 하는 현상을 일으키는 것이 알려져 있고, 그 대책으로서 철과 함께 탈륨이나 비스무트 등의 금속을 동시에 봉입함으로써, 철과 발광관(즉 석영 유리)의 반응을 억제한다고 하는 기술이 채용된다. 이러한 메탈할라이드 램프에 의하면, 원하는 영역의 파장대의 광을 긴 사용 수명으로 방사할 수 있다.In this metal halide lamp, it is known that iron adheres to the inner wall of the light emitting tube to form a thin film, which causes the phenomenon that the tube's transmittance gradually decreases to obtain a predetermined light emission property. By simultaneously encapsulating a metal such as bismuth or bismuth, a technique of suppressing a reaction between iron and a light tube (that is, quartz glass) is employed. According to such a metal halide lamp, light of a wavelength band of a desired area can be radiated with a long service life.

특허 문헌 1에 철을 봉입한 메탈할라이드 램프가 개시되어 있다. 이 문헌에 기재된 메탈할라이드 램프에서는, 수은과, 희가스와, 철과, 할로겐과 함께 탈륨, 비스무트가 봉입되어 있고, 발광관 내벽 1㎠당 부하는 25W/㎠를 초과하고 58W/㎠ 이하에서 점등되는 메탈할라이드 램프이며, 상기 봉입물 중, 비스무트의 탈륨에 대한 그램 원자수비 Bi/Tl이 1/8?5/1로 되어 있다. 또한, 상기 봉입물 중, 탈륨과 비스무트의 그램 원자수의 합은, 발광관 내 용적 1㎤당 2×10－8?2.5×10－7로 되어 있다. 또한, 철, 탈륨 및 비스무트의 총 원자량에 대한 할로겐의 총 원자량은 1.0?1.4이다.Patent Literature 1 discloses a metal halide lamp in which iron is enclosed. In the metal halide lamp described in this document, thallium and bismuth are sealed together with mercury, rare gas, iron, and halogen, and the load per 1 cm 2 of the light-emitting tube is lit at 58 W / cm 2 or less in excess of 25 W / cm 2. It is a metal halide lamp, and the gram atomic ratio Bi / Tl with respect to thallium of bismuth is 1/8-5/1 in the said enclosure. The sum of the number of gram atoms of thallium and bismuth in the inclusions is 2 × 10 −8 to 2.5 × 10 −7 per 1 cm 3 of volume in the light emitting tube. In addition, the total atomic weight of halogen is 1.0-1.4 with respect to the total atomic weight of iron, thallium, and bismuth.

이하에, 보다 구체적으로 특허 문헌 1에 기재된 메탈할라이드 램프의 사양의 일예를 든다.Below, an example of the specification of the metal halide lamp of patent document 1 is mentioned more specifically.

메탈할라이드 램프는, 정격 소비 전력 7kW, 발광관의 내경이 22㎜, 전극간 거리 250㎜이며, 봉입물은, 금속 수은 260mg, 옥화수은 9.1mg, 철 1.3mg, 옥화탈륨 1.2mg, 옥화비스무트 2.9mg, 크세논 가스 2.13×104Pa(160torr)로 되어 있다. 즉 이 메탈할라이드 램프에 있어서는, 비스무트의 탈륨에 대한 그램 원자수비 Bi/Tl은 1.33이며, 철과 탈륨의 원자량비 Fe/Tl은 6.4, 철과 비스무트의 원자량비 Fe/Bi는 4.7로 되어 있다. 또한, 발광관 내벽 1㎠당 부하는 41W/㎠이며, 발광관 내 용적 1㎤당 탈륨과 비스무트의 그램 원자수의 합은, 8.5×10－8이다.The metal halide lamp has a rated power consumption of 7 kW, an inner diameter of the light tube of 22 mm, and a distance of 250 mm between electrodes. The inclusions include 260 mg of metallic mercury, 9.1 mg of mercury alkoxide, 1.3 mg of iron, 1.2 mg of thallium oxide, and bismuth oxide 2.9. mg, xenon gas, and 2.13 x 10 4 Pa (160 torr). Namely, in this metal halide lamp, the gram atomic ratio Bi / Tl to thallium of bismuth is 1.33, the atomic weight ratio Fe / Tl of iron and thallium is 6.4, and the atomic weight ratio Fe / Bi of iron and bismuth is 4.7. The load per 1 cm 2 of the light emitting tube inner wall was 41 W / cm 2, and the sum of thallium and the number of gram atoms of bismuth per 1 cm 3 of the volume of the light emitting tube was 8.5 × 10 −8 .

일본국 특허공개 평 6－275234호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 6-275234 일본국 특허공개 2006－035436호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-30336 일본국 특허공개 2009－05964호 공보Japanese Patent Publication No. 2009-05964

최근, 상술한 액정 디스플레이 패널의 제조 공정에서는, 제조 시에 걸리는 전력량을 낮게 억제하는 것을 목적으로 하여, 메탈할라이드 램프의 입력 전력을 워크 조사 시와 비조사 시의 사이에서 전환하고, 피조사 시의 전력을 낮게 하도록 하여 행하고 있다. 예를 들면, 1개의 워크를 처리하기 위해, 워크에 대하여 수십초간, 비교적 높은 전력으로 램프를 점등하고, 그 후 조사가 종료한 워크를 이동하여 다음의 워크가 반송되어 올때까지, 수십초간은 광의 조사를 차단하여 비교적 낮은 전력으로 전환하여 점등한다.Recently, in the above-described manufacturing process of the liquid crystal display panel, the input power of the metal halide lamp is switched between the work irradiation and the non-irradiation for the purpose of suppressing the amount of power consumed at the time of manufacture, This is done by lowering the power. For example, in order to process one workpiece, the lamp is turned on at a relatively high power for several ten seconds for the workpiece, after which the workpiece has been irradiated and then moved to the next workpiece until the next workpiece is returned. It turns off and turns on to a relatively low power.

또한, 여기서 말하는 「비교적 높은 전력」이란 정격 소비 전력의 약 80% 이상이며, 「비교적 낮은 전력」이란 정격 소비 전력에 대해서 약 50% 이하가 되는 전력이다.In addition, "relatively high power" here is about 80% or more of rated power consumption, and "relatively low power" is power which becomes about 50% or less with respect to rated power consumption.

이러한, 말하자면 의사적 간헐 점등을 행함으로써, 메탈할라이드 램프를 전력 절약으로 구동시킴과 동시에, 램프를 ON/OFF하여 전환하는 것보다도 램프의 시동성을 신속하게 행하여, 다수의 워크를 연속적으로 처리하는 것을 실현하고 있다.In other words, the pseudo intermittent lighting causes the metal halide lamp to be driven with power saving, and the lamp can be started more quickly than the ON / OFF switch to switch the lamp, so that a plurality of workpieces can be processed continuously. It is realized.

또한, 상기 메탈할라이드 램프에 있어서는, 램프의 점등 시간의 경과에 따른 조도의 저하를 보충하는 목적으로, 상기한 비교적 높은 전력의 수치를 서서히 높게 하여, 워크면에 있어서의 조도를 일정화하는 것을 실현하고 있다. 이 때문에, 램프의 수명 말기에 가깝게 되면 입력 전력이 한층 더 높아져, 램프로서는 매우 가혹한 점등 상태를 피할수 없게 된다.In addition, in the metal halide lamp, the above-described relatively high electric power is gradually raised to compensate for the decrease in illuminance caused by the lapse of the lighting time of the lamp, and the illuminance on the workpiece surface is realized. Doing. For this reason, when the lamp is near the end of its life, the input power is further increased, which makes it impossible to avoid a very severe lighting condition.

이러한 점등 방법을 채용한 결과, 종래의 점등 방법의 램프에 비해 메탈할라이드 램프의 조도 저하는 한층 더 현저하게 되어, 램프의 사용 수명이 반감할수록 짧아진다.As a result of adopting such a lighting method, the illuminance of the metal halide lamp is further reduced as compared with the lamp of the conventional lighting method, and becomes shorter as the service life of the lamp is halved.

발명자들은 이러한 단수명화가 발생하는 점에 대해서 검토했다.The inventors examined the occurrence of such short life.

램프가 조기에 조도 저하가 일어난다고 하는 문제는 이하의 모드에서 발생한다.The problem that the lamp is degraded early in illumination occurs in the following modes.

우선, 램프의 수명 특성은, 상술한 점등 방법에 추가하여 냉각 조건도 관련되어 있고, 냉각 조건이 불안정하면 수명에 큰 편차가 생긴다. 구체적으로는 워크에 광을 조사하는 광 조사 장치에 있어서는, 저전력 시에 있어서 반송 중의 워크에 대한 광을 차단하기 위해 반사 미러를 겸하는 셔터 기구에 의해 광을 차광하는 수단이 채용된다. 예를 들면, 도 5와 같이 램프(10)의 주위에 미러를 겸하는 셔터(12)를 구비하고 있고 (a) 조사 시, (b) 피조사 시와 같이, 개폐 동작이 행해진다.First of all, in addition to the lighting method described above, the lamp life characteristics are related to the cooling conditions, and if the cooling conditions are unstable, a large deviation occurs in the life. Specifically, in the light irradiation apparatus which irradiates light to a workpiece | work, the means which light-shields the light by the shutter mechanism which serves as a reflection mirror is employ | adopted in order to interrupt | block the light with respect to the workpiece | work in conveyance at the time of low power. For example, a shutter 12 serving as a mirror is provided around the lamp 10 as shown in FIG. 5, and the opening and closing operation is performed as in (a) irradiation and (b) irradiation.

한편으로, 램프 온도의 일정화를 도모하는 목적으로, 전력치를 전환함과 동시에 냉각용 블로어(도시하지 않음)의 회전수를 바꿈으로써 조정하고자 하는데, 블로어는 램프의 상부에 있고, 셔터가 닫혀짐으로써 램프의 전체 길이에 걸쳐 온도 조정이 매우 어려운 상황이 된다. 특히 이런 종류의 장치에서는, 다수의 램프를 다수 늘어세워 배치하여 면 조사를 실현하고 있고, 램프 배치(중앙과 가장자리부)나 셔터의 개폐 동작 및 그 외의 요인에 의해 램프에 온도 불균일이 발생하기 쉽다. 이러한 온도 불균일에 의해, 램프 온도가 적정 범위로부터 벗어나면 램프에 동작 이상이 일어나게 된다.On the other hand, for the purpose of achieving a constant lamp temperature, the power is switched and the number of rotations of the cooling blower (not shown) is adjusted at the same time. The blower is located at the top of the lamp, and the shutter is closed. This makes the adjustment of temperature very difficult over the entire length of the lamp. In particular, in this type of device, a large number of lamps are arranged in a row to realize surface irradiation, and temperature irregularities are likely to occur in the lamps due to lamp arrangement (center and edge), shutter opening and closing operations, and other factors. . Due to this temperature nonuniformity, when the lamp temperature is out of an appropriate range, an abnormal operation occurs in the lamp.

구체적으로는, 과냉각의 경우는 할로겐화물인 옥화물의 증기압이 저하하여 램프의 동작 이상이 일어나고, 과열의 경우는 할로겐화물인 옥화물과 석영 유리의 반응이 생기기 쉬워져 옥화물이 소실된다.Specifically, in the case of supercooling, the vapor pressure of the halides of halides decreases, causing abnormal operation of the lamp. In the case of overheating, reactions between halides of quartz and halides tend to occur, and the oxides are lost.

이러한 상황은, 액정 패널이 대형화됨에 따라 램프의 발광 길이(전극간 거리)가 길고, 발광관의 전체 길이도 또한 길어지므로, 램프의 온도 제어의 곤란성이 증가되는 원인이 되고 있어 심각하다.This situation is serious because, as the liquid crystal panel becomes larger, the light emission length (interelectrode distance) of the lamp becomes longer and the overall length of the light emitting tube also becomes longer, thereby causing an increase in the difficulty of temperature control of the lamp.

여기서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 램프의 점등 상태를 비교적 높은 전력과 비교적 낮은 전력의 사이에서 간헐적으로 점등하고, 그 결과, 램프 온도에 편차가 발생한 경우라도 사용 수명이 긴 메탈할라이드 램프를 제공하는 것을 목적으로 한다.Here, the problem to be solved by the present invention is to intermittently illuminate the lighting state of the lamp between a relatively high power and a relatively low power, and as a result, a metal halide lamp having a long service life even when a deviation occurs in the lamp temperature. It aims to provide.

본 발명자 들은, 메탈할라이드 램프를 구형파 전압, 전류를 공급하는 전원을 이용하여 점등함으로써, 메탈할라이드 램프의 길이 방향에 있어서의 축방향의 발광 분포 상태를 균일화할 수 있는 것을 발견하고, 나아가, 봉입물의 양을 종래(특허 문헌 1)의 것으로부터 더욱 최적화할 수 있는 가능성을 포함하고 있다고 생각하여, 냉각 조건의 불균일성에 좌우되지 않는, 종래의 메탈할라이드 램프와는 다른 봉입물의 최적 범위에 대해서 검증하는 것을 시도했다.The inventors found that by igniting a metal halide lamp using a power supply for supplying a square wave voltage and a current, it was found that the luminescence distribution state in the axial direction in the longitudinal direction of the metal halide lamp could be made uniform. Considering that the amount includes the possibility of further optimizing from the conventional (Patent Document 1), verifying the optimum range of the inclusions different from the conventional metal halide lamp, which does not depend on the nonuniformity of the cooling conditions. Tried.

이 결과, 본 발명자들은, 비스무트(Bi)가, 램프에 온도 변화가 발생한 경우에도, 아크의 상태를 변화시키기 어렵게 하는 물질이라는 것을 발견했다. Bi는 메탈할라이드 램프의 온도 조건이 바뀐 경우에도, Fe와 발광관의 반응을 억제할 수 있다. 즉, Fe에 대한 Bi 첨가량을 증대시킴으로써, Fe와 석영의 반응을 억제하고, 조도 유지율을 늘릴 수 있게 된다. 한편으로, Bi는 과잉으로 많이 넣으면 전극 끊김이나 발광 효율의 저하를 초래하게 되므로, 이러한 부작용이 표면화하지 않는 적정한 영역을 선택할 필요가 있다.As a result, the inventors found that bismuth Bi is a substance which makes it difficult to change the state of the arc even when a temperature change occurs in the lamp. Bi can suppress the reaction between Fe and the light emitting tube even when the temperature condition of the metal halide lamp is changed. That is, by increasing the amount of Bi added to Fe, the reaction between Fe and quartz can be suppressed and the roughness retention can be increased. On the other hand, when Bi is excessively added, it causes electrode breakage and deterioration in luminous efficiency. Therefore, it is necessary to select an appropriate region where such side effects do not surface.

또한, 적절한 조건으로는, 철, 탈륨 및 비스무트의 총 원자량(ΣM)에 대한 할로겐의 총 원자량(ΣX), 즉 ΣX/ΣM를, 1.6?2.0의 범위로 한다. 이와 같이, 봉입량을 많게 함으로써, 램프의 과열 상태가 발생한 경우에 소실되는 옥화물이 있다고 해도, 적정한 할로겐 사이클을 장기간에 걸쳐 유지하여, 램프의 장수명화를 실현할 수 있다.Moreover, as appropriate conditions, the total atomic weight (? X) of halogen with respect to the total atomic weight (? M) of iron, thallium, and bismuth, that is,? X /? M, is in the range of 1.6 to 2.0. In this way, by increasing the amount of encapsulation, even if there is an oxide that is lost when an overheated state of the lamp occurs, an appropriate halogen cycle can be maintained for a long time, thereby realizing the life of the lamp.

이상의 지견에 의해, 본 발명에 있어서는, 하기 구성을 구비한 메탈할라이드 램프 및 메탈할라이드 램프 점등 장치로 한다.In view of the above, in the present invention, a metal halide lamp and a metal halide lamp lighting device having the following configurations are assumed.

(1) 제1의 발명에 관련된 메탈할라이드 램프는, 석영 유리로 이루어지는 발광관의 내부에, 한쌍의 전극이 대향 배치되고, 수은, 희가스, 철, 탈륨 및 비스무트가 봉입되고, 또한 적어도 옥소를 포함하는 할로겐이 봉입되어 이루어지는 메탈할라이드 램프에 있어서,(1) In the metal halide lamp according to the first aspect of the invention, a pair of electrodes are disposed to face each other in a light emitting tube made of quartz glass, and mercury, rare gas, iron, thallium, and bismuth are sealed, and at least oxo is included. In a metal halide lamp in which halogen is sealed,

철과 탈륨의 원자량비 Fe/Tl이 15?25의 범위,The atomic ratio Fe / Tl of iron and thallium is in the range of 15 to 25,

철과 비스무트의 원자량비 Fe/Bi가 2?4의 범위,The atomic ratio Fe / Bi of iron and bismuth is in the range of 2 to 4,

비스무트와 탈륨의 원자량비 Bi/Tl이 5?10의 범위인 것을 특징으로 한다.The atomic weight ratio Bi / Tl of bismuth and thallium is in the range of 5 to 10.

(2) 제2의 발명에 관련된 메탈할라이드 램프는, 상기 제1의 메탈할라이드 램프에 있어서,(2) The metal halide lamp according to the second invention, in the first metal halide lamp,

할로겐의 총 원자량(ΣX)과, 철, 탈륨 및 비스무트의 총 원자량(ΣM)의 비, ΣX/ΣM가 1.6?2.0의 범위인 것을 특징으로 한다.The ratio of the total atomic weight (? X) of halogen to the total atomic weight (? M) of iron, thallium and bismuth, and? X /? M are in the range of 1.6 to 2.0.

(3) 또한 본원 발명에 관련된 메탈할라이드 램프 점등 장치에 있어서는, (3) In the metal halide lamp lighting device according to the present invention,

상기 제1의 발명 또는 제2의 발명에 관련된 메탈할라이드 램프와, 이 메탈할라이드 램프에 대해서 전력을 공급하는 급전 장치를 구비하여 이루어지는 메탈할라이드 램프 점등 장치로서,A metal halide lamp lighting device comprising the metal halide lamp according to the first invention or the second invention, and a power feeding device for supplying electric power to the metal halide lamp.

상기 급전 장치는, 정상 전력 점등 모드와, 상기 정상 전력 점등 모드보다도 낮은 전력으로 전류를 공급하는 전력 절약 점등 모드를 구비하는 것이며, 상기 메탈할라이드 램프에 구형파 전류 공급하는 것을 특징으로 한다.The power feeding device includes a normal power lighting mode and a power saving lighting mode for supplying a current at a lower power than the normal power lighting mode, and the square wave current is supplied to the metal halide lamp.

(1) 상기 본원 제1의 발명에 관련된 메탈할라이드 램프에 의하면, Tl 및 Bi의 금속을, Fe에 의한 발광관의 흑화 현상을 억제하는 금속으로서, Bi를 주체로 하는 비율로 전환함으로써, 메탈할라이드 램프의 온도가 과냉각 상태?과열 상태의 어느 쪽에 대해서나 내성을 유지할 수 있어, Fe의 손실을 억제하여 조도를 높은 상태로 유지할 수 있게 된다.(1) According to the metal halide lamp according to the first aspect of the present application, the metal halide is converted into a metal halide by converting the metals of Tl and Bi to a ratio mainly composed of Bi as a metal which suppresses the blackening phenomenon of the light emitting tube by Fe. The resistance of the lamp can be maintained in either the supercooled state or the superheated state, and the loss of Fe can be suppressed to maintain the illuminance in a high state.

(2) 또한, 본원 제2의 발명에 관련된 메탈할라이드 램프에 의하면, 금속에 대한 할로겐의 봉입량 비율이 크기 때문에, 램프의 과열 상태가 발생한 경우에 소실되는 옥화물이 있다고 해도, 적정한 할로겐 사이클을 장기간에 걸쳐 유지할 수 있어 램프의 장수명화를 실현할 수 있다.(2) In addition, according to the metal halide lamp according to the second invention of the present application, since the ratio of the amount of halogen to metal is large, an appropriate halogen cycle can be performed for a long time even if there is an oxide that is lost when the lamp is overheated. It can hold | maintain over and can realize long life of a lamp.

(3) 또한, 본원 제3의 발명에 관련된 메탈할라이드 램프 점등 장치에 의하면, 구형파 전류, 전압을 공급함으로써, 종래의 메탈할라이드 램프에 비해, 할로겐에 있어서의, 철, 탈륨 및 비스무트의 총 합에 대한 봉입량을 높게 함으로써 온도 변화에 의한 문제점을 해소할 수 있다.(3) In addition, according to the metal halide lamp lighting device according to the third invention of the present application, by supplying a square wave current and a voltage, the total sum of iron, thallium, and bismuth in halogen is compared with a conventional metal halide lamp. By increasing the amount of encapsulation, the problem caused by temperature change can be solved.

도 1은 본원에 관련된 메탈할라이드 램프를 나타내는 관축 방향 단면도이다.
도 2는 메탈할라이드 램프의 점등 장치를 설명하는 회로도이다.
도 3은 실험의 결과를 나타내는 표이다.
도 4는 실험의 결과를 나타내는 표이다.
도 5는 액정 패널 제조에 관련된 광 조사 장치의 셔터 개폐 상태를 설명하는 도면이다.
도 6은 액정 디스플레이 패널의 제조 공정에 사용되는 메탈할라이드 램프 점등 장치의 설명도이다.1 is a axial cross-sectional view showing a metal halide lamp according to the present application.
2 is a circuit diagram illustrating a lighting device of a metal halide lamp.
3 is a table showing the results of experiments.
4 is a table showing the results of experiments.
It is a figure explaining the shutter opening / closing state of the light irradiation apparatus which concerns on liquid crystal panel manufacture.
It is explanatory drawing of the metal halide lamp lighting apparatus used for the manufacturing process of a liquid crystal display panel.

이하, 본 발명의 실시의 형태를 실시예에 의거하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on an Example.

도 1은, 본 발명에 관련된 메탈할라이드 램프의 기본적인 구성을 나타내는 관축 방향으로 절단한 단면도이다. 동 도면에 도시하는 바와같이, 메탈할라이드 램프(이하, 램프라고도 한다)(10)는, 석영 유리로 이루어지는 발광관(1) 내의 양단에, 텅스텐으로 이루어지는 한쌍의 전극(2)이 서로 관축 방향으로 대향하도록 배치되고, 발광관(1)의 양단의 시일부(1a)에 실링된 몰리브덴으로 이루어지는 금속박(3)을 통하여, 전극(2)과 외부 리드(4)가 전기적으로 접속되어 있다. 이 램프의 발광관 내벽 1㎠당 부하는 35?125W/㎠(80?280W/cm)이다. 발광관의 전체 길이는 약 600?800㎜이며, 전극간 거리는 약 550?750㎜로 된다.1: is sectional drawing cut | disconnected in the tube axis direction which shows the basic structure of the metal halide lamp which concerns on this invention. As shown in the figure, a metal halide lamp (hereinafter also referred to as a lamp) 10 has a pair of electrodes 2 made of tungsten at both ends in a light emitting tube 1 made of quartz glass in the tube axis direction. The electrode 2 and the external lead 4 are electrically connected to each other via a metal foil 3 made of molybdenum which is disposed to face each other and is sealed to the seal portions 1a at both ends of the light emitting tube 1. The load per 1 cm 2 of the light emitting tube inner wall is 35 to 125 W / cm 2 (80 to 280 W / cm). The total length of the light emitting tube is about 600-800 mm, and the distance between electrodes is about 550-750 mm.

이 메탈할라이드 램프에는, 발광관의 내부에 금속 수은, 옥화 수은, 철, 옥화 탈륨, 옥화 비스무트, 및, 희가스로서 크세논 가스가 봉입된다. 또한, 상기한 옥화물에 추가하여, 브롬화 수은, 옥화철을 동시에 봉입해도 된다.The metal halide lamp is filled with xenon gas as metal mercury, mercury iodide, iron, thallium iodide, bismuth oxide, and a rare gas. In addition to the above-mentioned oxides, mercury bromide and iron iodide may be enclosed simultaneously.

철은 주요 발광인 파장 300?400㎚의 범위의 자외광을 얻기 위해서 봉입되는 필수 발광 물질이다.Iron is an essential luminescent material encapsulated in order to obtain ultraviolet light in the range of 300-400 nm which is a main light emission.

탈륨은 동 영역에 있어서 발광을 얻음과 더불어, 철과 동시에 봉입됨으로써, 발광관을 구성하는 석영 유리와 철이 반응하는 것을 억제하고, 따라서 발광관의 흑화를 억제한다고 하는 역할을 담당한다.The thallium obtains light emission in the copper region and is sealed at the same time as iron, thereby suppressing the reaction between the quartz glass constituting the light emitting tube and iron, thereby suppressing blackening of the light emitting tube.

비스무트도 또한 철과 동시에 봉입됨으로써 철과 발광관의 반응을 억제하고, 탈륨과 마찬가지로 발광관의 흑화를 억제한다. 특히 비스무트는 메탈할라이드 램프의 점등 상태에 따라, 고입력과 저입력을 소정의 시간에서 전환하여 점등하고, 또한, 냉각 조건이 일정화하지 않는 상황, 바꾸어 말하면 과열과 과냉각이 번갈아 반복되어 사용되는 매우 가혹한 상태 하에서 아크의 상태를 안정화시켜 방전 공간 내부를 철과 발광관이 반응하기 어려운 상태로 유지한다.Bismuth is also encapsulated at the same time as iron, thereby suppressing the reaction between iron and the light emitting tube and suppressing blackening of the light emitting tube like thallium. In particular, bismuth turns on and off the high input and low input at a predetermined time according to the lighting state of the metal halide lamp, and is used when the cooling conditions are not constant, in other words, overheating and supercooling are alternately used. Under severe conditions, the state of the arc is stabilized to maintain the interior of the discharge space in a state where iron and the light tube are difficult to react.

특히, 철(Fe)과 탈륨(Tl)의 원자량비, Fe/Tl을 15?25의 범위로 하고, 철(Fe)과 비스무트(Bi)의 원자량비, Fe/Bi를 2?4의 범위로 한다. 그리고, 비스무트(Bi)와 탈륨(Tl)의 원자량비, 즉 Bi/Tl을 5?10으로 하고, 철에 대한 비스무트의 봉입 비율을 종래의 메탈할라이드 램프에 비해 증대시킴으로써, 비스무트의 아크 안정화를 도모하고 있다. 한편, Bi는 과잉으로 넣으면 전극 끊김이나 발광 효율의 저하를 초래하게 되므로, Fe/Bi를 4이하, Bi/Tl을 10이하로 함으로써, 이러한 부작용이 표면화하지 않도록 하고 있다.In particular, the atomic ratio of iron (Fe) and thallium (Tl), Fe / Tl is in the range of 15 to 25, the atomic ratio of iron (Fe) and bismuth (Bi), and Fe / Bi is in the range of 2 to 4. do. In addition, the atomic ratio of bismuth (Bi) and thallium (Tl), namely Bi / Tl, is set to 5 to 10, and the ratio of bismuth to iron is increased compared to conventional metal halide lamps, thereby achieving bismuth arc stabilization. Doing. On the other hand, when Bi is excessively added, electrode breakage and light emission efficiency are lowered. Therefore, Fe / Bi is 4 or less and Bi / Tl is 10 or less, so that these side effects are not surfaced.

또한, 발광관 내부에 봉입되는 할로겐으로는, 적어도 옥소가 봉입되고, 바람직하게는 옥소와 함께 브롬이 봉입된다. 옥소(또는 옥소와 브롬)의 총 할로겐 원자량(ΣX)은, 철, 탈륨 및 비스무트의 원자량을 합한 총 원자량(ΣM)과 비교했을 때, ΣX/ΣM가 1.6?2.0의 범위인 것이 바람직하다.As the halogen encapsulated inside the light emitting tube, at least oxo is sealed, and bromine is preferably sealed together with oxo. When the total halogen atomic amount (ΣX) of oxo (or oxo and bromine) is compared with the total atomic amount (ΣM) of the sum of the atomic amounts of iron, thallium and bismuth, it is preferable that ΣX / ΣM is in the range of 1.6 to 2.0.

이러한 할로겐의 총량을 구비함으로써 금속에 대한 할로겐의 봉입량이 비교적 커지고, 램프의 과열 상태가 발생한 경우에 소실되는 옥화물이 있다고 해도 적정한 할로겐 사이클을 장기간에 걸쳐 유지할 수 있으므로, 메탈할라이드 램프의 장수명화를 실현할 수 있다.By providing the total amount of halogen, the amount of halogen to metal is relatively large, and even if there is an oxide that is lost when the lamp is overheated, an appropriate halogen cycle can be maintained over a long period of time, thereby achieving a longer life of the metal halide lamp. Can be.

도 2는 본 발명에 관련된 메탈할라이드 램프의 점등 장치의 일예를 나타내는 회로 블록도이다.2 is a circuit block diagram showing an example of a lighting device of a metal halide lamp according to the present invention.

동 도면에 있어서, 교류 전원(21)은 그 출력측이 승압 정류 회로(22)에 접속되어 있다. 승압 정류 회로(22)는 예를 들면 입력측이 교류 전원(21)에 접속된 승압 트랜스(T1), 정류 다이오드(D1), 평활 콘덴서(C1)에 의해 구성되는 정류 회로이며, 교류 전류를 직류 전압으로 변환하여 출력한다.In the same figure, the output side of the AC power supply 21 is connected to the boost rectification circuit 22. The booster rectifier circuit 22 is a rectifier circuit composed of, for example, a boost transformer T1, a rectifier diode D1, and a smoothing capacitor C1 whose input side is connected to an AC power supply 21, and converts an AC current into a DC voltage. Convert to and print it out.

그 후, 이 직류 전압은, 코일(L3), 스위칭 소자(S1), 정류 다이오드(D2), 평활 콘덴서(C2)에 의해 구성된 승압 초퍼 회로에서 승압되어, 극성 반전 회로(23)에 평활화된 직류 전류를 출력한다.Then, this DC voltage is boosted by a boost chopper circuit constituted by the coil L3, the switching element S1, the rectifier diode D2, and the smoothing capacitor C2, and smoothed by the polarity inversion circuit 23. Output the current.

승압 초퍼 회로의 스위칭 소자(S1)(예를 들면 IGBT, FET)에는, 제어 회로(24)가 접속되어 있고, 이 스위칭 소자(S1)의 스위칭 주파수 및 ON/OFF 기간을 변화시킴으로써, 원하는 전압을 공급할 수 있다.The control circuit 24 is connected to the switching element S1 (for example, IGBT and FET) of the boost chopper circuit, and the desired voltage is changed by changing the switching frequency and the ON / OFF period of the switching element S1. Can supply

이에 따라, 투입 전력의 전환이 가능해지고, 제어 회로(24)로부터의 신호에 의해, 메탈할라이드 램프(10)의 구동 상태를, 워크에 대한 조사 모드와, 워크 반송시의 대기 모드의 2개의 모드로 전환 가능하게 하고 있다.As a result, switching of the input power becomes possible, and the signal from the control circuit 24 enables the driving state of the metal halide lamp 10 to be divided into two modes: an irradiation mode for the workpiece and a standby mode during the workpiece conveyance. It is possible to switch to.

승압 정류 회로(22)의 출력측에 접속된 극성 반전 회로(23)는, 예를 들면 브릿지 회로로 이루어지는 인버터 회로로 이루어지고, 브릿지형상으로 접속된, IGBT, FET 등의 스위칭 소자(Q1?Q4)로 구성되어 있다. 극성 반전 회로(23)의 스위칭 소자(Q1?Q4)의 ON/OFF 제어는, 제어 회로(25)에 포함되는 드라이버 회로에 의해 구동된다.The polarity inverting circuit 23 connected to the output side of the boost rectifying circuit 22 is, for example, an inverter circuit composed of a bridge circuit, and is connected in a bridge shape to switching elements Q1 to Q4 such as IGBT and FET. Consists of The ON / OFF control of the switching elements Q1 to Q4 of the polarity inversion circuit 23 is driven by a driver circuit included in the control circuit 25.

극성 반전은, 스위칭 소자(Q1 및 Q4)의 구동 신호인 극성 반전 회로 구동 신호(X)와, 스위칭 소자(Q2 및 Q3)의 구동 신호인 극성 반전 회로 구동 신호(Y)가 번갈아 ON/OFF를 반복하는 동작에 의해, 구형파 교류 전압이 메탈할라이드 램프(10)에 공급된다.The polarity inversion turns ON / OFF alternately between the polarity inversion circuit drive signal X which is the drive signal of the switching elements Q1 and Q4, and the polarity inversion circuit drive signal Y which is the drive signal of the switching elements Q2 and Q3. By the repeated operation, the square wave AC voltage is supplied to the metal halide lamp 10.

램프의 시동 동작은, 램프에 직렬로 접속된 스타터 코일(L2)에, 스타터 회로(26)로부터 펄스 전압이 인가되고, 램프에 봉입된 가스를 절연 파괴함으로써 행해진다.The starting operation of the lamp is performed by applying a pulse voltage from the starter circuit 26 to the starter coil L2 connected in series with the lamp, and insulating and destroying the gas enclosed in the lamp.

여기서, 먼저 도시한 도 5를 참조하여 메탈할라이드 램프 점등 장치의 점등 상황을 설명하면, 도 5(a) 조사 시, (b) 피조사시와 같이, 미러는 개폐 동작이 행해진다. 도 5(a)의 조사 모드에 있어서, 예를 들면 정격 전력의 80% 이상의 전력이 공급되어 점등되고, 이 상태가 약 1분간 계속되면, 램프의 투입 전력이 전환되어, 정격 소비 전력의 40?60% 정도로 낮추어진다. 동시에, 도 5(b)에 도시하는 바와같이 미러가 닫히고, 반송되는 워크가 소정 위치에 설치될 때까지 이 상태가 유지된다. 미러가 닫힌 상태는 예를 들면 30?50초간이다.Here, with reference to FIG. 5 shown first, the lighting situation of the metal halide lamp lighting apparatus is demonstrated. As shown in (a) irradiation of FIG. 5 and (b) irradiation, the mirror is opened and closed. In the irradiation mode of Fig. 5A, for example, when 80% or more of the rated power is supplied and turned on, and this state continues for about 1 minute, the input power of the lamp is switched to 40? Of the rated power consumption. Down to 60%. At the same time, as shown in Fig. 5B, the mirror is closed and this state is maintained until the workpiece to be conveyed is installed at a predetermined position. The closed state of the mirror is, for example, 30-50 seconds.

이와 같이, 미러의 개폐에 따른 냉각 상태의 변화, 램프의 투입 전력의 증감이 동시에 일어나, 메탈할라이드 램프는, 아크가 안정화하기 어려운 상황이 형성되는데, 발광관 내부에 실링한 탈륨 및 비스무트의 작용에 의해 철과 발광관의 반응이 억제되어, 램프의 장수명화가 도모된다.As described above, a change in the cooling state due to the opening and closing of the mirror and an increase and decrease of the input power of the lamp occur at the same time. Thus, a metal halide lamp has a situation in which an arc is difficult to stabilize. As a result, the reaction between the iron and the light emitting tube is suppressed and the life of the lamp can be extended.

이하, 본 발명의 실시예를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

［실시예］EXAMPLE

도 1의 구성에 의거하여, 철과 탈륨의 원자량비 Fe/Tl, 철과 비스무트의 원자량비 Fe/Bi, Bi/Tl의 원자량비를 다르게 하여 봉입한 메탈할라이드 램프를 다수 제작했다. 이하에 램프의 사양을 기재한다.Based on the structure of FIG. 1, many metal halide lamps encapsulated with different atomic weight ratios Fe / Tl of iron and thallium, atomic weight ratios Fe / Bi and Bi / Tl of iron and bismuth were produced. The specification of a lamp is described below.

발광관：석영 유리, 전체 길이 730㎜(베이스간 거리), 외경 φ26.1㎜, 내경 22.5㎜, 발광 길이(전극간 거리) 600㎜, 램프 입력 17000W(280(W/cm)×60(cm))Light emitting tube: Quartz glass, 730mm in total length (distance between bases), outer diameter φ 26.1mm, inner diameter 22.5mm, luminescence length (distance between electrodes) 600mm, lamp input 17000W (280 (W / cm) * 60 (cm) ))

전극：텅스텐Electrode: Tungsten

봉입 물질：수은(Hg), 철(Fe), 옥소(I), 탈륨(Tl), 비스무트(Bi)를 소정의 비율로 봉입했다. 수은(Hg)의 봉입량은 0.54?0.80mg/㎤이고 철(Fe)의 봉입량은 0.02mg/㎤였다.Encapsulation material: Mercury (Hg), iron (Fe), oxo (I), thallium (Tl), and bismuth (Bi) were enclosed in a predetermined ratio. The loading amount of mercury (Hg) was 0.54-0.80 mg / cm 3 and the loading amount of iron (Fe) was 0.02 mg / cm 3.

또한 본 실시예에 있어서는 Fe/Tl이 15?25의 범위, Fe/Bi가 2?4의 범위가 되도록 조정하여, Bi/Tl비가 상이한 다양한 램프를 제작했다. 봉입물 및 봉입량으로는, 옥화탈륨(TlI)을 0.001?0.009mg/㎤의 범위로 하고, 옥화 비스무트(BiI3)를 0.001?0.11mg/㎤의 범위로 했다.In addition, in the present Example, it adjusted so that Fe / Tl might be in the range of 15-25, and Fe / Bi might be in the range of 2-4, and produced the various lamp from which Bi / Tl ratio differs. As the inclusions and the amount of inclusions, thallium oxide (TlI) was in the range of 0.001 to 0.009 mg / cm 3, and bismuth oxide (BiI 3 ) was in the range of 0.001 to 0.11 mg / cm 3.

［비교예］[Comparative example]

또한 비교예로서 발광관 및 전극의 사양에 대해서는 상기 실시예와 동일하게 하고, 봉입물의 봉입 비율만을 하기 종래 기술의 비율로 변경한 비교예에 관련된 메탈할라이드 램프를 제작했다.Moreover, about the specification of a light emitting tube and an electrode as a comparative example, it carried out similarly to the said Example, and produced the metal halide lamp which concerns on the comparative example which changed only the sealing ratio of the enclosure to the ratio of the following prior art.

봉입 조성은, 수은(Hg)이 130mg, 철(Fe)이 5.5mg, 옥화 수은(HgI2)이 23mg, 브롬화 수은(HgBr2)이 1mg, 옥화 탈륨(TlI)이 2mg, 옥화 비스무트(BiI3)가 1mg, 크세논 가스(Xe)가 50mmHg였다.Encapsulating composition, mercury (Hg) is 130mg, iron (Fe) is 5.5mg, mercury iodide (HgI 2) is 23mg, mercury bromide (HgBr 2) is 1mg, thallium iodide (TlI) is 2mg, bismuth iodide (BiI 3 ) Was 1 mg, and xenon gas (Xe) was 50 mmHg.

상기 실시예에 관련된 메탈할라이드 램프를, 먼저 설명한 스위칭 전원을 이용하여, 구형파 전류로서 전력을 공급하고, 정격 소비 전력에 대해서 A. 고전력시가 100%, B. 저전력시가 28%라는 비로, A. 55초?B. 35초로 전력치를 전환하는 간헐 점등에 의해 램프를 점등했다.The metal halide lamp according to the above embodiment is supplied with a square wave current using the switching power supply described above, and A is 100% at high power and B. 28% at low power with respect to rated power consumption. 55 seconds? The lamp was turned on by intermittent lighting to switch the electric power value to 35 seconds.

그 후, 1시간마다 점등(에이징) 후의 램프의 발광 효율과 전극의 마모 상태를 검증했다. 또한 1000h 점등 후의 조도 유지율을 검증했다. 이 결과를 정리하여 도 3(표 1)에 게재한다.Thereafter, the luminous efficiency of the lamp after lighting (aging) and the wear state of the electrode were verified every hour. Moreover, illuminance retention after 1000h lighting was verified. These results are summarized and published in FIG. 3 (Table 1).

［발광 효율］[Luminescence efficiency]

발광 효율은 비교예에 관련된 메탈할라이드 램프를 동일한 점등 방법으로 점등하여 수명 시험을 행했을 때의 발광 효율을 기준으로 하여, 발광 효율이 동일한 정도의 것은 ○, 효율이 현저하게 저하한 것은 ×로 했다. 효율이 상승된 경우는 특히 ◎로 했다.The luminous efficiency was determined based on the luminous efficiency when the metal halide lamp according to the comparative example was lit by the same lighting method and the life test was performed. . When efficiency increased, it was set as (circle) especially.

［전극의 손모 상태］[Electrode wear state]

전극의 손모 상태는 하기의 기준에 의거해 시각 관찰로 평가한 것이다.The wear state of the electrode was evaluated by visual observation based on the following criteria.

○는 손모가 없거나 또는 적어 발광관에 대한 전극 물질 비산에 의한 부착이 거의 없는 것, ×는 손모가 커 발광관에 대한 전극 물질의 비산에 의한 부착이 심하게 발생한 것이다.(Circle) shows little or no hair loss, and there is little adhesion by the electrode material scattering to a light emitting tube, and x is a large hair loss, and attachment by the scattering of electrode material to a light emitting tube severely occurred.

［조도 유지율］[Illuminance maintenance rate]

조도 유지율의 평가에 있어서는 하기의 기준에 의해 기호를 붙였다.In evaluation of roughness retention rate, the symbol was attached according to the following criteria.

초기 조도에 대하여 90% 이상의 조도를 유지하고 있는 경우는 ◎, 초기 조도에 대하여 70% 이상의 조도를 유지하고 있는 경우는 ○, 초기 조도에 대하여 70% 미만의 경우는 ×로 했다.(Circle) when roughness 90% or more is maintained with respect to initial roughness, (circle) when 70% or more of roughness is maintained with respect to initial roughness, (circle) and less than 70% with respect to initial roughness was made into x.

상기 결과로부터 명백한 바와같이, Bi/Tl비가 5?10인 메탈할라이드 램프에 의하면, 상기 각 항목에 관해서 모두 양호하게 기능하는 것을 확인할 수 있었다.As apparent from the above results, the metal halide lamp having a Bi / Tl ratio of 5 to 10 confirmed that all of the above items functioned well.

또한, Bi/T1비가 5?10인 메탈할라이드 램프 중에서, 할로겐의 총 원자량(ΣX)과, 철, 탈륨 및 비스무트의 총 원자량(ΣM)의 비, ΣX/ΣM로 표준화하여, 발광관에 대한 부착물의 상태, 전극 표면의 손모 상태, 수명 특성의 3개 관점으로부터 평가를 행했다. 발광관의 부착물의 상태는 램프 점등 후 1000h 경과후의 부착물의 상태이며, ◎는 거의 없는, ○은 조금 확인되었지만 사용에 지장이 없는 정도, ×는 부착물이 많아 조도에 영향이 생긴 것이다. 또한 전극의 손모 상태는 ○은 손모가 없거나 또는 적어 발광관에 대한 전극 물질 비산에 의한 부착이 거의 없는 것, ×는 손모가 커 발광관에 대한 전극 물질의 비산에 의한 부착이 심하게 발생한 것이다. 램프 수명 특성은, 조도 유지율이 70%가 되는 시점을 램프 수명으로 하고, 이것이 1500h 이상인 것을 ◎, 1000h 이상인 것을 ○, 1000h 미만을 ×로 했다.In addition, among metal halide lamps having a Bi / T1 ratio of 5 to 10, the ratio of the total atomic weight of halogen (ΣX), the total atomic weight of iron, thallium and bismuth (ΣM), and ΣX / ΣM was normalized to be attached to the light emitting tube. It evaluated from three viewpoints of the state of a, the wear state of the electrode surface, and a lifetime characteristic. The state of the deposit of the light-emitting tube is the state of the deposit after 1000h elapses after the lamp is turned on, and 없는 is little, but little is confirmed, but there is no problem in use. In addition, the hand-worn state of the electrode has no or little hairlessness, so that there is almost no adhesion by scattering of the electrode material to the light emitting tube, and x indicates that the hand is large and the adhesion by scattering of the electrode material to the light emitting tube is severely generated. The lamp life characteristics set the lamp life at the time when the illuminance retention rate became 70%, and the 인 and 1000h or more were defined as h and 1000h or more, which was 1500 h or more.

도 4의 표 2에 이 결과를 나타낸다.This result is shown in Table 2 of FIG.

이 결과로부터 명백한 바와같이, 할로겐의 총 원자량(ΣX)과, 철, 탈륨 및 비스무트의 총 원자량(ΣM)의 비 ΣX/ΣM가 1.6?2.0의 범위인 메탈할라이드 램프에 의하면, 발광관의 오염, 전극의 손모 상태 및 수명 특성의 모든 항목에 있어서 양호한 결과를 나타내는 것이 판명되었다.As is apparent from this result, according to the metal halide lamp in which the ratio ΣX / ΣM of the total atomic weight of halogen (ΣX) and the total atomic weight of iron, thallium and bismuth (ΣM) is in the range of 1.6 to 2.0, contamination of the light emitting tube, It turned out that all the items of the wear-out state and the lifetime characteristic of an electrode show favorable result.

10: 메탈할라이드 램프 1: 발광관
1a: 실링부 2: 전극
3: 금속박 4: 외부 리드봉10: metal halide lamp 1: light emitting tube
1a: sealing portion 2: electrode
3: metal foil 4: outer lead rod

Claims (3)

석영 유리로 이루어지는 발광관의 내부에, 한쌍의 전극이 대향 배치되고, 수은, 희가스, 철, 탈륨 및 비스무트가 봉입되며, 적어도 옥소를 포함하는 할로겐이 더 봉입되어 이루어지는 메탈할라이드 램프에 있어서,
철, 탈륨 및 비스무트가,
철과 탈륨의 원자량비 Fe/Tl이 15?25의 범위,
철과 비스무트의 원자량비 Fe/Bi가 2?4의 범위,
비스무트와 탈륨의 원자량비 Bi/Tl이 5?10의 범위인 것을 특징으로 하는 메탈할라이드 램프.In a metal halide lamp in which a pair of electrodes are opposed to each other in a light emitting tube made of quartz glass, mercury, rare gas, iron, thallium, and bismuth are encapsulated, and at least halogen containing oxo is further encapsulated.
Iron, thallium and bismuth,
The atomic ratio Fe / Tl of iron and thallium is in the range of 15 to 25,
The atomic ratio Fe / Bi of iron and bismuth is in the range of 2 to 4,
A metal halide lamp characterized in that the atomic ratio Bi / Tl of bismuth and thallium is in the range of 5 to 10. 청구항 1에 있어서,
할로겐의 총 원자량(ΣX)과, 철, 탈륨 및 비스무트의 총 원자량(ΣM)의 비 ΣX/ΣM가 1.6?2.0의 범위인 것을 특징으로 하는 메탈할라이드 램프.The method according to claim 1,
A metal halide lamp, wherein the ratio ΣX / ΣM of the total atomic weight (ΣX) of halogen and the total atomic weight (ΣM) of iron, thallium, and bismuth is in the range of 1.6 to 2.0. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 메탈할라이드 램프와,
이 메탈할라이드 램프에 대해서 전력을 공급하는 급전 장치를 구비하여 이루어지는 메탈할라이드 램프 점등 장치로서,
상기 급전 장치는, 정상(定常) 전력 점등 모드와, 상기 정상 전력 점등 모드보다도 낮은 전력으로 전류를 공급하는 전력 절약 점등 모드를 구비하는 것이며,
상기 메탈할라이드 램프에 구형파 전류를 공급하는 것임을 특징으로 하는 메탈할라이드 램프 점등 장치.The metal halide lamp of Claim 1 or 2,
A metal halide lamp lighting device comprising a power feeding device for supplying electric power to this metal halide lamp,
The power feeding device includes a normal power lighting mode and a power saving lighting mode for supplying a current at a lower power than the normal power lighting mode.
Metal halide lamp lighting device, characterized in that for supplying a square wave current to the metal halide lamp.
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