KR20120065069A - A buffer-type pumping device and method of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same - Google Patents

A buffer-type pumping device and method of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same Download PDF

Info

Publication number
KR20120065069A
KR20120065069A KR1020100126393A KR20100126393A KR20120065069A KR 20120065069 A KR20120065069 A KR 20120065069A KR 1020100126393 A KR1020100126393 A KR 1020100126393A KR 20100126393 A KR20100126393 A KR 20100126393A KR 20120065069 A KR20120065069 A KR 20120065069A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical liquid
housing member
buffer
space
dead center
Prior art date
Application number
KR1020100126393A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101168943B1 (en
Inventor
김정교
Original Assignee
주식회사 나래나노텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 나래나노텍 filed Critical 주식회사 나래나노텍
Priority to KR1020100126393A priority Critical patent/KR101168943B1/en
Publication of KR20120065069A publication Critical patent/KR20120065069A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101168943B1 publication Critical patent/KR101168943B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
    • H01L21/0274—Photolithographic processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/001—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work incorporating means for heating or cooling the liquid or other fluent material
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2041—Exposure; Apparatus therefor in the presence of a fluid, e.g. immersion; using fluid cooling means
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2041—Exposure; Apparatus therefor in the presence of a fluid, e.g. immersion; using fluid cooling means
    • G03F7/2043—Exposure; Apparatus therefor in the presence of a fluid, e.g. immersion; using fluid cooling means with the production of a chemical active agent from a fluid, e.g. an etching agent; with meterial deposition from the fluid phase, e.g. contamination resists

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

PURPOSE: A buffer type liquid pumping device, a buffer type liquid pumping method, and a liquid supplying device including the same are provided to minimize influence of a sudden pressure variation by additionally forming a buffer space between an outlet and an inner space of a liquid housing member. CONSTITUTION: A liquid housing member(302) includes a first base member. A buffer housing member(304) is formed on the upper side of the liquid housing member. A connection housing member(307) connects the liquid housing member and the buffer housing member. A liquid supply inlet(310) is connected to a liquid tank which receives liquid. A liquid outlet(319) is connected to a nozzle device which discharges and sprays the liquid.

Description

버퍼형 약액 펌핑 장치 및 방법, 및 이를 구비한 약액 공급 장치{A Buffer-Type Pumping Device and Method of Chemical Liquids and A Feeding Device of Chemical Liquids Having the Same} Buffer-type pumping device and method of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same}

본 발명은 버퍼형 약액 펌핑 장치 및 방법, 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a buffer type chemical liquid pumping device and method, and a chemical liquid supply device having the same.

좀 더 구체적으로, 본 발명은 약액 하우징 부재의 내부 공간과 약액이 토출되는 토출구 사이에 버퍼 공간을 추가로 제공하여 벨로우즈의 튐 현상에 의한 급격한 압력 변동에 의한 영향을 최소화 또는 제거함으로써, 글래스와 같은 기재(基材) 상에 약액의 정량 토출이 가능하고, 내부 공간 내에서 발생되는 기포가 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 상당히 감소되며, 내부 공간 내에서 발생되는 리플이 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 최소화되거나 제거되어, 최종 제품의 품질이 향상되고, 대면적화 및 고정세화 기판의 제조 시 정밀한 약액 도포량의 제어가 가능한 개선된 약액 펌핑 장치 및 방법, 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 관한 것이다. More specifically, the present invention further provides a buffer space between the internal space of the chemical liquid housing member and the discharge port through which the chemical liquid is discharged, thereby minimizing or eliminating the effect of sudden pressure fluctuations caused by the bellows spalling phenomenon. It is possible to quantitatively discharge the chemical liquid onto the substrate, greatly reduce the possibility of bubbles generated in the interior space into the buffer space, and minimize the possibility of ripples generated in the interior space into the buffer space. An improved chemical liquid pumping device and method, and a chemical liquid supply device having the same, can be removed or removed, thereby improving the quality of the final product and allowing precise control of the amount of chemical liquid applied in manufacturing a large area and a high-definition substrate.

일반적으로, 반도체 웨이퍼, 자기 디스크, 다층 배선기판, PDP, LCD 또는 OLED를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재 상에 포토 레지스트액, 스피니언 글라스액(Spinion glass solution), 폴리이미드 수지액(Polyimide solution), 순수(pure water), 현상액, 에칭액, 유기 용제, 및 도액(coating liquids) 등과 같은 화학 약액(이하 "약액"이라 함)을 공급하여야 한다. 이러한 약액을 공급하기 위해서는 탄성변형이 가능한 튜브와 아코디언 형상의 벨로우즈를 구비한 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치가 사용된다.Generally, in order to manufacture a semiconductor wafer, a magnetic disk, a multilayer wiring board, a PDP, an LCD, or an OLED, a photoresist liquid, a spinion glass solution, a polyimide resin solution on a substrate such as glass Chemical chemicals (hereinafter referred to as "chemical liquids"), such as pure water, developer, etching solution, organic solvent, and coating liquids. In order to supply such a chemical liquid, a chemical liquid pumping device having an elastically deformable tube and an accordion-shaped bellows and a chemical liquid supply device having the same are used.

상술한 종래 기술의 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치는 2001년 12월 12일자로 "약액공급 장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원번호 제 10-2001-0078429호 출원되어, 2003년 6월 25일자로 공개된 대한민국 공개특허 제 2003-0048515호(이하 "공개특허 제515호"라 함)에 구체적으로 예시되어 있다. The above-described conventional chemical liquid pumping device and a chemical liquid supplying device having the same are filed with the Korean Patent Application No. 10-2001-0078429 in the name of the invention "drug solution supplying device" as of December 12, 2001, It is specifically illustrated in Republic of Korea Patent Publication No. 2003-0048515 (hereinafter referred to as "Open Patent No. 515") published on May 25.

도 1은 상술한 공개특허 제515호에 개시된 종래 기술의 약액 공급 장치의 일부 정단면도이다. 1 is a partial front cross-sectional view of a conventional chemical liquid supply apparatus disclosed in the aforementioned Patent No. 515.

도 1을 참조하면, 종래 기술의 약액 공급 장치(100)는 펌프부(11)와 펌프 구동부(12)를 구비한다. 펌프부(11)는 탄성부재에 의해 형성되어 직경 방향으로 탄성팽창 수축이 가능한 가요성 튜브(13), 및 가요성 튜브(13) 외측에 배치되며, 탄성부재에 의해 형성되고, 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈(14)를 구비하고 있다. 가요성 튜브(13)의 양쪽 단부에는 어댑터부(15,16)가 부착되고, 일측 어댑터부(15)에는 공급 유로(17)가 접속되고, 이 공급 유로(17)는 약액을 수용하는 약액 탱크(18)에 접속되어 있다. 타측 어댑터부(16)에는 토출 유로(19)가 접속되고, 이 토출 유로(19)는 약액을 토출 및 도포하는 노즐 장치(20)에 접속되어 있다. 공급 유로(17)에는 공급 유로(17)를 개폐하기 위한 공급측 개폐밸브(21)가 설치되며, 토출 유로(19)에는 토출 유로(19)를 개폐하기 위한 토출측 개폐밸브(22)가 설치되어 있다. 각각의 개폐밸브(21, 22)로서 전기신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 공기압에 의해 작동하는 에어 동작 밸브(air operate valve) 또는 체크 밸브(check valves)가 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1, the conventional chemical liquid supply apparatus 100 includes a pump unit 11 and a pump driving unit 12. The pump portion 11 is formed by an elastic member and is disposed outside the flexible tube 13 and the flexible tube 13 capable of elastic expansion and contraction in the radial direction, and is formed by the elastic member and elastic in the axial direction. The bellows 14 which can be deformed is provided. Adapter portions 15 and 16 are attached to both ends of the flexible tube 13, and a supply flow passage 17 is connected to one adapter portion 15, and the supply flow passage 17 is a chemical liquid tank containing chemical liquid. It is connected to (18). A discharge flow passage 19 is connected to the other adapter 16, and the discharge flow passage 19 is connected to a nozzle device 20 for discharging and applying the chemical liquid. The supply flow opening / closing valve 21 for opening and closing the supply flow passage 17 is provided in the supply flow passage 17, and the discharge flow opening / closing valve 22 for opening and closing the discharge flow passage 19 is provided in the discharge flow passage 19. . As each open / close valve 21 and 22, a solenoid valve actuated by an electric signal, an air operate valve actuated by air pressure or check valves may be used.

한편, 벨로우즈(14)는 축방향 중앙부의 작동 디스크부(23), 작동 디스크부(23)에 일체로 형성되며 제 1 유효직경(d)을 갖는 소형 벨로우즈부(24), 상기 작동 디스크부(23)를 통하여 상기 소형 벨로우즈부(24)와 일체로 형성되고, 소형 벨로우즈부(24)의 유효직경(d) 보다도 큰 내경의 제 2 유효직경(D)을 갖는 대형 벨로우즈부(25)를 구비한다. 즉, 대형 벨로우즈부(25)는 소형 벨로우즈부(24) 보다 큰 단면적을 갖는다. 여기서, 제 1 및 제 2 유효직경(d,D)은 소형 벨로우즈부(24)와 대형 벨로우즈부(25)의 팽창 및 수축 시에 각각의 벨로우즈(24, 25)의 평균 내경을 의미한다. 가요성 튜브(13)와 벨로우즈(14) 사이의 공간이 펌프실(42)을 구성하며, 이 펌프실(42) 내에는 액체 등의 비압축성매체인 간접액(43)이 충전되어 있다. 따라서, 벨로우즈(14)를 중앙 부분의 작동 디스크부(23)에서 축방향으로 탄성 변형하면, 벨로우즈(14)의 전체 길이는 변하지 않으며, 소형 벨로우즈부(24)와 대형 벨로우즈부(25)의 내측 체적이 변화하게 된다. 이러한 방식으로 간접액(43)을 통해 가요성 튜브(13)가 직경방향으로 팽창 또는 수축함으로써 가요성 튜브(13)는 펌프 동작을 하게 된다.On the other hand, the bellows 14 is formed integrally with the working disk portion 23, the working disk portion 23 of the axial center portion, the small bellows portion 24 having the first effective diameter (d), the working disk portion ( 23 is formed integrally with the small bellows portion 24 and has a large bellows portion 25 having a second effective diameter D having an inner diameter larger than the effective diameter d of the small bellows portion 24. do. That is, the large bellows portion 25 has a larger cross-sectional area than the small bellows portion 24. Here, the first and second effective diameters d and D refer to the average inner diameters of the bellows 24 and 25 at the time of expansion and contraction of the small bellows portion 24 and the large bellows portion 25. The space between the flexible tube 13 and the bellows 14 constitutes the pump chamber 42, and the pump chamber 42 is filled with an indirect liquid 43 which is an incompressible medium such as liquid. Therefore, when the bellows 14 is elastically deformed in the axial direction in the working disk portion 23 in the center portion, the overall length of the bellows 14 does not change, and the inner side of the small bellows portion 24 and the large bellows portion 25 is not changed. The volume will change. In this way, the flexible tube 13 expands or contracts in the radial direction through the indirect liquid 43, thereby causing the flexible tube 13 to pump.

그러나, 상술한 종래 기술의 약액 공급 장치(100)는 1) 압력 변화에 따른 가요성 튜브(13)의 체적 변화량을 정밀하게 제어하는 것이 어려워 약액의 정밀한 정량 도포가 어렵다; 2) 수지 재질의 벨로우즈(14)는 좌우 평탄도를 매우 정밀하게 조정하기 위해 장시간의 설치 시간이 요구된다; 3) 구조가 복잡하다; 4) 약액의 공급시 약액의 가요성 튜브(13) 내에서의 이동 속도가 일정하지 않아 바람직하지 않은 리플(ripples) 및 그에 따른 기포가 발생할 가능성이 높다; 5) 약액 공급 장치(100)의 유지 보수가 복잡하고, 시간이 많이 걸린다; 및 6) 수명으로 짧다는 등의 문제점을 갖는다. However, the above-described conventional chemical liquid supply device 100 is difficult to precisely control the volume change amount of the flexible tube 13 according to the pressure change, it is difficult to precisely quantitative application of the chemical liquid; 2) The resin bellows 14 requires a long installation time to adjust the flatness of the left and right very precisely; 3) the structure is complex; 4) The rate of movement of the chemical liquid in the flexible tube 13 at the time of supply of the chemical liquid is not constant, which is likely to cause undesirable ripples and consequent bubbles; 5) Maintenance of the chemical liquid supply device 100 is complicated and time consuming; And 6) short lifespan.

상술한 문제점을 해결하기 위한 방안의 하나가 본 출원인에 의해 2009년 8월 4일자에 "개선된 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제 10-2009-0071724호로 출원되어, 2010년 3월 12일자로 대한민국 특허 제 0948629호(이하 "629 특허"라 합니다)에 상세히 개시되어 있다.One of the methods for solving the above-mentioned problems is the Korean Patent Application No. 10-2009-0071724 in the name of the invention "improved chemical pumping device and a chemical liquid supply device having the same" dated August 4, 2009 by the applicant And filed in Korean Patent No. 0948629 (hereinafter referred to as "629 patent") on March 12, 2010.

좀 더 구체적으로, 도 2는 629 특허에 개시된 종래 기술에 따른 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치의 단면도가 도시되어 있다.More specifically, FIG. 2 shows a cross-sectional view of a chemical liquid pumping device and a chemical liquid supply device having the same according to the prior art disclosed in the 629 patent.

도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 약액 공급 장치(200)는 약액 펌핑 장치(211), 및 상기 약액 펌핑 장치(211)에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치(211)를 구동하는 구동부재(212)를 포함한다.2, the chemical liquid supply device 200 according to the related art is connected to a chemical liquid pumping device 211 and the chemical liquid pumping device 211, and a driving member 212 driving the chemical liquid pumping device 211. ).

도 2에 도시된 종래 기술에 따른 약액 펌핑 장치(211) 및 이를 포함한 약액 공급 장치(200)에서는, 벨로우즈(214)의 상부에 피스톤(217b)이 일체로 형성되고, 구동 모터(228)가에 의해 피스톤 로드(217a)를 통해 피스톤(217b)과 벨로우즈(214)가 왕복 이동하면, 벨로우즈(214)는 축방향을 따라 신장 및 수축되지만 약액과는 직접 접촉되지 않는 비접촉 방식으로 약액의 펌핑 동작이 이루어진다. 이 경우, 벨로우즈(214)는 예를 들어 테플론 계열 수지와 같은 수지 재질로 형성된다.In the chemical liquid pumping device 211 and the chemical liquid supply device 200 including the same according to the related art shown in FIG. 2, the piston 217b is integrally formed on the upper portion of the bellows 214, and the driving motor 228 is applied to the chemical liquid pumping device 211. When the piston 217b and the bellows 214 reciprocate through the piston rod 217a, the bellows 214 expands and contracts along the axial direction, and the pumping operation of the chemical liquid is performed in a non-contact manner in which it does not directly contact the chemical liquid. Is done. In this case, the bellows 214 is formed of a resin material such as, for example, Teflon-based resin.

상술한 도 2에 도시된 종래 기술에 따른 약액 펌핑 장치(211) 및 이를 포함한 약액 공급 장치(200)는 도 1에 도시된 종래 기술의 약액 펌핑 장치(111) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(100)의 문제점을 해결할 수 있지만, 다음과 같은 문제점이 발생한다.The above-described chemical liquid pumping device 211 according to the prior art shown in FIG. 2 and the chemical liquid supply device 200 including the same include the chemical liquid pumping device 111 and the chemical liquid supply device 100 having the same. Problem can be solved, but the following problem occurs.

1. 벨로우즈(214)가 테플론 계열 수지와 같은 수지 재질로 형성되므로, 벨로우즈(214)가 왕복 운동을 위한 전진 및 후진 동작시 튀는 현상이 발생한다. 이러한 벨로우즈(214)의 튐 현상이 발생하면, 상부 하우징 부재(202) 및 하부 하우징 부재(204)로 구성되는 약액 하우징(202/204)의 내부 공간(203) 내에서 펌핑 압력의 급격한 변동이 발생한다. 약액 하우징(202/204)의 내부 공간(203) 내의 급격한 압력 변동은 토출구(219)를 통해 노즐 장치(220)로 공급되어 토출되는 약액의 토출 동작에 직접적으로 반영되어 토출되는 약액의 토출량의 정확성을 잃게 된다. 그 결과, 약액의 정량 토출이 어렵거나 불가능해진다. 1. Since the bellows 214 is formed of a resin material such as Teflon-based resin, the bellows 214 may bounce when the forward and backward motions for the reciprocating motion occur. When the bellows 214 occurs, a sudden change in the pumping pressure occurs in the internal space 203 of the chemical housing 202/204 composed of the upper housing member 202 and the lower housing member 204. do. The rapid pressure fluctuation in the internal space 203 of the chemical liquid housing 202/204 is directly reflected in the discharge operation of the chemical liquid supplied and discharged through the discharge port 219 to the nozzle device 220, and thus the accuracy of the discharge amount of the chemical liquid discharged. Will lose. As a result, quantitative discharge of the chemical liquid becomes difficult or impossible.

2. 벨로우즈(214)의 튐 현상이 발생하면 약액에 기포를 발생시킬 수 있다. 발생된 기포는 벨로우즈(214)의 주름 내에 잔류하여 약액의 펌핑 압력에 영향을 미치게 되어 약액의 정밀 도포가 어려워진다. 2. If the bellows (214) of the phenomenon occurs can cause bubbles in the chemical liquid. The generated bubbles remain in the wrinkles of the bellows 214 and affect the pumping pressure of the chemical liquid, making it difficult to apply the chemical liquid precisely.

3. 벨로우즈(214)의 튐 현상이 발생하면, 약액의 유입 및 토출시 리플(ripple)이 발생할 가능성이 높아진다. 이러한 리플은 최종 제품((예를 들어, PDP, LCD, 또는 OLED와 같은 평판 디스플레이)의 표면 상에 얼룩(즉, 불균일한 약액 도포 두께)을 형성하여 불량 또는 고장의 원인이 된다. 3. If the bellows 214 is jammed, there is a high possibility that ripple occurs in the inflow and outflow of the chemical liquid. These ripples create stains (i.e., uneven chemical coating thickness) on the surface of the final product (e.g., flat panel displays such as PDPs, LCDs, or OLEDs), causing defects or failures.

4. 상술한 1 내지 3의 문제점은 예를 들어 대면적화 및 고정세화 기판의 제조에 요구되는 정밀한 약액 도포량의 제어를 어렵게 한다. 4. The problems of 1 to 3 described above make it difficult to control the precise chemical liquid application amount required for the production of large area and high resolution substrates, for example.

대한민국 공개특허 제 2003-0048515호Republic of Korea Patent Publication No. 2003-0048515 대한민국 특허 제 0948629호Republic of Korea Patent No. 0948629

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 약액 하우징 부재의 내부 공간과 약액이 토출되는 토출구 사이에 버퍼 공간을 추가로 제공하여 벨로우즈의 튐 현상에 의한 급격한 압력 변동에 의한 영향을 최소화 또는 제거함으로써, 글래스와 같은 기재(基材) 상에 약액의 정량 토출이 가능하고, 내부 공간 내에서 발생되는 기포가 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 상당히 감소되며, 내부 공간 내에서 발생되는 리플이 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 최소화되거나 제거되어, 최종 제품의 품질이 향상되고, 대면적화 및 고정세화 기판의 제조 시 정밀한 약액 도포량의 제어가 가능한 개선된 약액 펌핑 장치 및 방법, 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, to further provide a buffer space between the internal space of the chemical liquid housing member and the discharge port through which the chemical liquid is discharged to minimize the effect of the sudden pressure fluctuations caused by the bellows 튐 phenomenon Or by eliminating it, it is possible to quantitatively discharge the chemical liquid onto a substrate such as glass, and the possibility that air bubbles generated in the internal space flow into the buffer space is considerably reduced, and the ripple generated in the internal space is buffered. Improved chemical liquid pumping device and method for minimizing or eliminating the possibility of entering into the space, improving the quality of the final product, and precisely controlling the amount of chemical liquid applied during the manufacture of large-area and high-definition substrates, and a chemical liquid supply device having the same It is to provide.

본 발명의 제 1 특징에 따른 버퍼형 약액 펌핑 장치는 내부 공간이 형성되며, 제 1 베이스 부재를 구비하는 약액 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재의 상부에 제공되며, 버퍼 공간을 구비하는 버퍼 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재 및 상기 버퍼 하우징 부재를 연결하며, 폭이 좁은 연결 공간을 구비하는 연결 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재의 하부 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 상기 버퍼 하우징 부재의 상부에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구; 상기 내부 공간에 제공되며, 상기 내부 공간의 상사점 및 하사점 사이에서 왕복 이동하는 피스톤; 상기 피스톤과 일체로 연결되는 벨로우즈; 및 상기 벨로우즈의 하부에 일체로 연결되는 제 2 베이스 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.A buffer type chemical liquid pumping device according to a first aspect of the present invention includes an internal space having a chemical liquid housing member including a first base member; A buffer housing member provided on the chemical liquid housing member and having a buffer space; A connection housing member connecting the chemical liquid housing member and the buffer housing member and having a narrow connection space; A chemical liquid supply inlet provided at a lower side of the chemical liquid housing member and connected to a chemical liquid tank containing the chemical liquid; A chemical liquid discharge port provided on an upper portion of the buffer housing member and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical liquid; A piston provided in the inner space and reciprocating between a top dead center and a bottom dead center of the inner space; A bellows integrally connected with the piston; And a second base member integrally connected to a lower portion of the bellows.

본 발명의 제 2 특징에 따른 약액 공급 장치는 내부 공간이 형성되며, 제 1 베이스 부재를 구비하는 약액 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재의 상부에 제공되며, 버퍼 공간을 구비하는 버퍼 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재 및 상기 버퍼 하우징 부재를 연결하며, 폭이 좁은 연결 공간을 구비하는 연결 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재의 하부 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 상기 버퍼 하우징 부재의 상부에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구; 상기 내부 공간에 제공되며, 상기 내부 공간의 상사점 및 하사점 사이에서 왕복 이동하는 피스톤; 상기 피스톤과 일체로 연결되는 벨로우즈; 상기 벨로우즈의 하부에 일체로 연결되는 제 2 베이스 부재를 포함하는 버퍼형 약액 펌핑 장치, 및 상기 약액 펌핑 장치에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치를 구동하는 구동부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supply apparatus, wherein an internal space is formed and a chemical liquid housing member includes a first base member; A buffer housing member provided on the chemical liquid housing member and having a buffer space; A connection housing member connecting the chemical liquid housing member and the buffer housing member and having a narrow connection space; A chemical liquid supply inlet provided at a lower side of the chemical liquid housing member and connected to a chemical liquid tank containing the chemical liquid; A chemical liquid discharge port provided on an upper portion of the buffer housing member and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical liquid; A piston provided in the inner space and reciprocating between a top dead center and a bottom dead center of the inner space; A bellows integrally connected with the piston; And a buffer type chemical liquid pumping device including a second base member integrally connected to a lower portion of the bellows, and a driving member connected to the chemical liquid pumping device and driving the chemical liquid pumping device.

본 발명의 제 3 특징에 따른 약액 펌핑 방법은 a) 벨로우즈와 일체로 연결된 피스톤을 약액 하우징 부재 내에 형성되며, 상부가 깔대기 형상을 갖는 내부 공간의 상사점에서 하사점으로 이동시켜 약액을 상기 약액 하우징 부재 내로 유입시키는 단계; 및 b) 상기 피스톤을 상기 하사점에서 상기 상사점으로 이동시켜 상기 약액을 상기 약액 하우징 부재와 연결 하우징 부재에 의해 연결되는 버퍼 하우징 부재 내에 형성되고, 하부가 깔대기 형상을 가지며, 상기 연결 하우징 부재 내에 형성된 폭이 좁은 연결 공간에 의해 상기 내부 공간과 연결되는 버퍼 공간 내로 공급하는 단계를 포함하고, 상기 피스톤이 상기 상사점 및 상기 하사점 사이에서 왕복 이동하면서 상기 내부 공간 내에서 발생하는 급격한 압력 변화가 상기 내부 공간의 상부 및 상기 버퍼 공간의 하부의 상기 깔대기 형상, 및 상기 폭이 좁은 연결 공간의 구조에 의해 흡수되는 것을 특징으로 한다.In the chemical liquid pumping method according to the third aspect of the present invention, a) a piston connected integrally with the bellows is formed in the chemical liquid housing member, and the chemical liquid is moved to the bottom dead center at the top dead center of the internal space having an upper funnel shape. Introducing into the member; And b) moving the piston from the bottom dead center to the top dead center so that the chemical liquid is formed in a buffer housing member connected by the chemical liquid housing member and the connection housing member, the lower portion having a funnel shape, and in the connection housing member. And supplying into the buffer space connected to the internal space by the formed narrow connection space, wherein the sudden pressure change occurring in the internal space while the piston reciprocates between the top dead center and the bottom dead center. It is characterized by being absorbed by the structure of the funnel shape of the upper portion of the interior space and the lower portion of the buffer space, and the narrow connection space.

상술한 본 발명에 따른 버퍼형 약액 펌핑 장치 및 방법, 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.By using the buffer type chemical liquid pumping device and method according to the present invention, and the chemical liquid supply apparatus having the same, the following advantages are achieved.

1. 벨로우즈가 왕복 운동시 튀는 현상에 의해 발생되는 펌핑 압력의 급격한 변동이 약액 하우징 부재 내에 형성된 내부 공간의 상부 및 버퍼 공간의 하부의 깔대기 형상, 및 폭이 좁은 연결 공간의 구조에 의해 흡수된다. 따라서, 급격한 압력 변동의 영향이 버퍼 공간 내에서 최소화되거나 제거되므로 약액의 정량 토출이 용이해진다.1. Rapid fluctuations in the pumping pressure caused by the bellows bouncing during reciprocating motion are absorbed by the funnel shape of the upper part of the inner space formed in the chemical liquid housing member and the lower part of the buffer space, and the structure of the narrow connection space. Therefore, the quantitative discharge of the chemical liquid is facilitated because the influence of the sudden pressure fluctuation is minimized or eliminated in the buffer space.

2. 벨로우즈의 튐 현상에 의해 발생되는 기포가 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 상당히 감소된다. 따라서, 약액의 펌핑 압력이 일정하게 유지되어 추가로 약액의 정밀 도포가 용이해진다.2. The likelihood of air bubbles generated by the bellows swelling entering the buffer space is significantly reduced. Therefore, the pumping pressure of the chemical liquid is kept constant, further facilitating the precise application of the chemical liquid.

3. 벨로우즈의 튐 현상에 의해 발생되는 약액의 리플(ripple)이 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 최소화되거나 제거된다. 따라서, 최종 제품의 불량 또는 고장 가능성이 최소화되어 품질이 현저하게 향상된다. 3. The possibility that the ripple of the chemical liquid caused by the bellows swelling is minimized or eliminated into the buffer space. Therefore, the possibility of defect or failure of the final product is minimized and the quality is remarkably improved.

4. 상술한 1 내지 3의 효과로 인하여 대면적화 및 고정세화 기판의 제조에 요구되는 정밀한 약액 도포량의 제어가 용이해진다.4. Due to the effects of 1 to 3 described above, it is easy to control the precise chemical liquid application amount required for the production of large area and high resolution substrates.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.

도 1은 종래 기술의 약액 공급 장치의 일부 정단면도이다.
도 2는 또 다른 종래 기술에 따른 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼형 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 펌핑 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.1 is a partial front cross-sectional view of a conventional chemical liquid supply apparatus.
2 is a cross-sectional view of another chemical liquid pumping device and a chemical liquid supply device having the same according to the related art.
3 is a cross-sectional view showing a buffer type chemical liquid pumping device and a chemical liquid supplying device including the same according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a chemical liquid pumping method according to an embodiment of the present invention.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 기술한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to embodiments and drawings of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼형 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a buffer type chemical liquid pumping device and a chemical liquid supplying device including the same according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(300)는 약액 펌핑 장치(311), 및 상기 약액 펌핑 장치(311)에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치(311)를 구동하는 구동부재(312)를 포함한다. 이하에서는 약액 펌핑 장치(311) 및 약액 펌핑 장치(311)를 구동하는 구동부재(312)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Referring to FIG. 3, the chemical liquid supply device 300 according to an embodiment of the present invention is connected to the chemical liquid pumping device 311 and the chemical liquid pumping device 311, and drives the chemical liquid pumping device 311. And a driving member 312. Hereinafter, specific configurations and operations of the chemical liquid pumping device 311 and the driving member 312 for driving the chemical liquid pumping device 311 will be described in detail.

다시 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 펌핑 장치(311)는 약액 하우징 부재(304)를 포함한다. 약액 하우징 부재(304)는 연결 하우징 부재(307)에 의해 버퍼 공간(305)을 구비하는 버퍼 하우징 부재(302)와 연결된다. 연결 하우징 부재(307)의 내부는 버퍼 하우징 부재(302)의 버퍼 공간(305)과 약액 하우징 부재(304)의 내부 공간(303)을 연결하는 폭이 좁은 연결 공간(309)이 형성되어 있다.Referring back to FIG. 3, the chemical liquid pumping device 311 according to an embodiment of the present invention includes a chemical liquid housing member 304. The chemical liquid housing member 304 is connected to the buffer housing member 302 having the buffer space 305 by the connecting housing member 307. Inside the connection housing member 307, a narrow connection space 309 is formed to connect the buffer space 305 of the buffer housing member 302 and the internal space 303 of the chemical liquid housing member 304.

또한, 연결 공간(309)과 연결되는 버퍼 공간(3050)의 하부 및 내부 공간(303)의 상부는 각각 깔대기 형상을 갖는 것이 바람직하다. In addition, the lower portion of the buffer space 3050 and the upper portion of the inner space 303 connected to the connection space 309 preferably have a funnel shape.

또한, 연결 하우징 부재(307)의 상부와 버퍼 하우징 부재(302)의 하부는 제 1 클램프(306a) 또는 볼트 및 너트와 같은 제 1 체결부재(미도시)에 의해 기밀 상태로 결합되고, 연결 하우징 부재(307)의 하부와 약액 하우징 부재(304)의 상부는 제 2 클램프(306b) 또는 볼트 및 너트와 같은 제 2 체결부재(미도시)에 의해 기밀 상태로 결합된다. 즉 도 3에 도시된 버퍼 하우징 부재(302), 연결 하우징 부재(307), 및 약액 하우징 부재(304)는 각각이 개별적으로 제공되는 분리형 하우징으로 구현된다. 대안적으로, 버퍼 하우징 부재(302), 연결 하우징 부재(307), 및 약액 하우징 부재(304)는 그 전체가 하나의 일체형 하우징으로 구현될 수 있다.In addition, the upper portion of the connecting housing member 307 and the lower portion of the buffer housing member 302 are joined in an airtight state by a first clamping member (not shown) such as the first clamp 306a or the bolt and nut, and the connecting housing. The bottom of the member 307 and the top of the chemical housing member 304 are joined in an airtight state by a second clamp 306b or a second fastening member (not shown) such as bolts and nuts. That is, the buffer housing member 302, the connecting housing member 307, and the chemical liquid housing member 304 shown in FIG. 3 are each implemented as a detachable housing each provided separately. Alternatively, the buffer housing member 302, the connection housing member 307, and the chemical liquid housing member 304 may be embodied in one integral housing as a whole.

또한, 약액 하우징 부재(304)의 하부 일측에는 약액이 공급되는 공급 유입구(310)가 제공되고, 공급 유입구(310)는 약액을 수용하는 약액 탱크(318)에 연결된다. 버퍼 하우징 부재(302)의 상부에는 약액이 토출되는 토출구(319)가 제공되고, 토출구(319)는 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치(320)에 연결된다. 공급 유입구(310)와 약액 탱크(318) 사이에는 공급 유입구(310)를 개폐하기 위한 공급 개폐밸브(321)가 제공되며, 토출구(319)와 노즐 장치(320) 사이에는 토출구(319)를 개폐하기 위한 토출 개폐밸브(322)가 제공된다. 공급 개폐밸브(321) 및 토출 개폐밸브(322)는 선택 사양으로 반드시 사용되어야 하는 것은 아니다. 또한, 공급 개폐밸브(321) 및 토출 개폐밸브(322)는 각각 전기신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 공기압에 의해 작동하는 에어 동작 밸브(air operate valve) 또는 체크 밸브(check valves)가 사용될 수 있다.In addition, a lower portion of the chemical housing member 304 is provided with a supply inlet 310 for supplying a chemical liquid, and the supply inlet 310 is connected to a chemical liquid tank 318 containing the chemical liquid. An upper portion of the buffer housing member 302 is provided with a discharge port 319 through which the chemical liquid is discharged, and the discharge hole 319 is connected to a nozzle device 320 for discharging and applying the chemical liquid. A supply opening / closing valve 321 is provided between the supply inlet 310 and the chemical liquid tank 318 to open and close the supply inlet 310, and open and close the discharge port 319 between the discharge port 319 and the nozzle device 320. A discharge opening / closing valve 322 is provided. The supply shutoff valve 321 and the discharge shutoff valve 322 are not necessarily used as an option. In addition, the supply opening / closing valve 321 and the discharge opening / closing valve 322 may each be a solenoid valve operated by an electric signal, an air operate valve or check valves operated by pneumatic pressure. .

또한, 버퍼 하우징 부재(302)의 상부 일측에는 선택 사양으로 환기 부재(ventilation element: 330)가 제공될 수 있다. 환기 부재(330)는 약액 교체시 또는 약액 펌핑 장치(311)의 세정 시에 주입될 수 있는 기체(예를 들어 공기 등)와 같은 가스(gas)를 배출시키도록 설계된 것이다. 그러나, 환기 부재(330)는 버퍼 하우징 부재(302)의 상부에 형성되는 대신 예를 들어 토출구(319)와 노즐 장치(320) 사이의 소정 위치에 형성될 수도 있다.In addition, an optional ventilation element 330 may be provided on an upper side of the buffer housing member 302. The ventilation member 330 is designed to discharge a gas such as a gas (for example, air) that can be injected during chemical liquid replacement or cleaning of the chemical liquid pumping device 311. However, the ventilation member 330 may be formed at, for example, a predetermined position between the discharge port 319 and the nozzle device 320 instead of being formed on the upper portion of the buffer housing member 302.

또한, 본 발명에 따른 약액 펌핑 장치(311)는 상기 약액 하우징 부재(304) 내에서 이동 가능한 피스톤(317b); 상기 피스톤(317b)과 일체로 연결되는 벨로우즈(314); 및 상기 벨로우즈(314)의 하부에 일체로 연결되는 제 2 베이스 부재(314a)를 포함한다. 제 2 베이스 부재(314a) 상에는 복수의 체결 구멍(315)이 제공된다. 약액 하우징 부재(304)의 제 1 베이스 부재(304a)와 제 2 베이스 부재(314a)는 복수의 체결 구멍(315)을 통해 복수의 체결 부재(예를 들어 볼트와 너트 등)(미도시)에 의해 후술하는 프레임(350)의 상부(350a)에 착탈 가능하게 고정된다. 이러한 방식으로 제 1 베이스 부재(304a)와 제 2 베이스 부재(314a)는 약액 하우징 부재(304)의 내부 공간(303)을 기밀 상태로 유지한다. 여기서, 피스톤(317b), 벨로우즈(314), 및 제 2 베이스 부재(314a)는 예를 들어 수지 재질로 일체로 형성되는 것이 바람직하다. 여기서, 수지 재질은 구체적으로 폴리에스테르 수지, 테플론 계열 수지, 및 테플론 계열 수지를 함유한 폴리에스테르 수지 중 어느 하나일 수 있다.In addition, the chemical liquid pumping device 311 according to the present invention includes a piston 317b movable within the chemical liquid housing member 304; A bellows 314 connected integrally with the piston 317b; And a second base member 314a integrally connected to a lower portion of the bellows 314. A plurality of fastening holes 315 are provided on the second base member 314a. The first base member 304a and the second base member 314a of the chemical housing member 304 are connected to a plurality of fastening members (for example, bolts and nuts, etc.) (not shown) through the plurality of fastening holes 315. This is detachably fixed to the upper portion 350a of the frame 350 to be described later. In this manner, the first base member 304a and the second base member 314a keep the inner space 303 of the chemical liquid housing member 304 in an airtight state. Here, the piston 317b, the bellows 314, and the second base member 314a are preferably formed integrally with a resin material, for example. Here, the resin material may specifically be any one of a polyester resin, a Teflon-based resin, and a polyester resin containing a Teflon-based resin.

한편, 구동부재(312)는 프레임(350), 상기 프레임(350) 내에서 이동 가능한 피스톤 로드(317a), 및 상기 프레임(350)에 착탈 가능하게 고정 장착되며, 상기 피스톤 로드(317a)를 구동시키는 구동 모터(328)로 구성된다. 피스톤 로드(317a)의 상부는 피스톤(317b)의 하부와 연결된다.Meanwhile, the driving member 312 is fixedly mounted to the frame 350, the piston rod 317a movable in the frame 350, and detachably attached to the frame 350, and drives the piston rod 317a. It consists of a drive motor 328. The upper portion of the piston rod 317a is connected with the lower portion of the piston 317b.

상술한 구동부재(312)는 프레임(350)의 일측에 제공되는 선형 이동 부재(360)를 추가로 포함할 수 있다. 선형 이동 부재(360)는 프레임(350)의 일측에 고정 장착되는 리니어 가이드 부재(352); 상기 리니어 가이드 부재(352) 상에 제공되는 선형 이송 부재(354); 및 상기 선형 이송 부재(354)와 상기 피스톤 로드(317a)를 고정 방식으로 연결하는 연결부재(356)로 이루어진다. 이러한 선형 이동 부재(360)는 구동 모터(328)에 의해 피스톤 로드(317a)와 연결된 피스톤(317b)을 약액 하우징 부재(304)의 내부 공간(303) 내에서 직선 운동을 할 수 있도록 안내하는 기능을 제공한다.The driving member 312 described above may further include a linear moving member 360 provided on one side of the frame 350. The linear moving member 360 may include a linear guide member 352 fixedly mounted to one side of the frame 350; A linear conveying member 354 provided on the linear guide member 352; And a connecting member 356 connecting the linear transfer member 354 and the piston rod 317a in a fixed manner. The linear moving member 360 guides the piston 317b connected to the piston rod 317a by the drive motor 328 to linearly move within the internal space 303 of the chemical housing member 304. To provide.

다시 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 약액 공급 장치(300)의 실시예에서는, 버퍼형 약액 펌핑 장치(311)에 의해 약액이 공급될 때, 도 2를 참조하여 기술한 바와 같이 벨로우즈(314)가 왕복 운동을 위한 전진 및 후진 동작시 튐 현상이 발생하여 약액 하우징(304)의 내부 공간(303) 내에서 펌핑 압력의 급격한 변동이 발생할 수 있다. 그러나, 이러한 펌핑 압력의 급격한 변동은 내부 공간(303)의 상부 및 버퍼 공간(305)의 하부의 깔대기 형상, 및 좁은 폭을 갖는 연결 공간(309)의 구조에 의해 흡수된다. 따라서, 벨로우즈(314)의 튐 현상에 의해 펌핑 압력의 급격한 변동이 발생하더라도 버퍼 공간(305) 내에서 최소화되거나 제거되므로, 이러한 펌핑 압력의 급격한 변동의 영향이 노즐 장치(320)에서의 약액의 토출 동작에 실질적으로 미치지 않게 되어 약액의 정량 토출이 가능해진다.Referring again to FIG. 3, in the embodiment of the chemical liquid supply device 300 according to the present invention, when the chemical liquid is supplied by the buffer type chemical liquid pumping device 311, the bellows 314 as described with reference to FIG. 2. In the forward and reverse motions for the reciprocating motion, a) may occur and a sudden change in the pumping pressure may occur in the internal space 303 of the chemical liquid housing 304. However, this sudden fluctuation in the pumping pressure is absorbed by the structure of the connection space 309 having a narrow width and a funnel shape at the top of the interior space 303 and the bottom of the buffer space 305. Therefore, even if a sudden fluctuation in the pumping pressure occurs due to the swelling of the bellows 314, since it is minimized or eliminated in the buffer space 305, the influence of the sudden fluctuation in the pumping pressure is discharged of the chemical liquid from the nozzle device 320. Substantially short of the operation, the quantitative discharge of the chemical liquid becomes possible.

또한, 벨로우즈(314)의 튐 현상에 의해 기포가 발생하더라도, 기포가 내부 공간(303)의 상부 및 버퍼 공간(305)의 하부의 깔대기 형상, 및 좁은 폭을 갖는 연결 공간(309)의 구조로 인하여 버퍼 공간(305) 내로 유입될 가능성이 상당히 감소된다. 따라서, 약액 하우징 부재(304) 내의 내부 공간(303)에서 기포가 발생하더라도 버퍼 공간(305) 내에서의 약액의 펌핑 압력에 미치는 영향이 크게 감소되므로 약액의 정밀 도포가 용이해진다.In addition, even if bubbles are generated by the bellows 314 phenomenon, the bubbles are formed in the structure of the connection space 309 having the funnel shape at the upper portion of the internal space 303 and the lower portion of the buffer space 305 and the narrow width. This greatly reduces the likelihood of entering the buffer space 305. Therefore, even if bubbles are generated in the internal space 303 in the chemical housing member 304, the influence on the pumping pressure of the chemical liquid in the buffer space 305 is greatly reduced, thereby facilitating precise application of the chemical liquid.

나아가, 벨로우즈(314)의 튐 현상에 의해 약액의 유입시 리플(ripple)이 발생하더라도, 이러한 리플이 내부 공간(303)의 상부 및 버퍼 공간(305)의 하부의 깔대기 형상, 및 좁은 폭을 갖는 연결 공간(309)의 구조로 인하여 버퍼 공간(305) 내로 유입될 가능성이 최소화되거나 제거된다. 따라서, 약액 하우징 부재(304) 내의 내부 공간(303)에서 리플이 발생하더라도 버퍼 공간(305) 내로 유입될 가능성이 최소화되거나 제거되므로 약액의 펌핑 압력에 실질적으로 영향을 미치지 못하여 최종 제품(예를 들어, PDP, LCD, 또는 OLED와 같은 평판 디스플레이)의 표면 상에 얼룩 발생 가능성 및 그에 따른 최종 제품의 불량 또는 고장 발생 가능성이 현저하게 줄어든다. Furthermore, although ripple occurs when the chemical liquid is introduced by the bellows 314, the ripple has a funnel shape at the top of the internal space 303 and a bottom of the buffer space 305, and a narrow width. Due to the structure of the connection space 309, the possibility of entering into the buffer space 305 is minimized or eliminated. Therefore, even if a ripple occurs in the internal space 303 in the chemical housing member 304, the possibility of entering into the buffer space 305 is minimized or eliminated, so that it does not substantially affect the pumping pressure of the chemical liquid and thus the final product (for example, , The likelihood of spotting on the surface of a flat panel display such as a PDP, LCD, or OLED, and the likelihood of failure or failure of the final product is significantly reduced.

도 4는 본 발명에 따른 약액 펌핑 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.4 is a flowchart illustrating a chemical liquid pumping method according to the present invention.

도 4를 도 3과 함께 참조하면, 본 발명에 따른 약액 펌핑 방법(400)은 a) 벨로우즈(314)와 일체로 연결된 피스톤(317b)을 약액 하우징 부재(304) 내에 형성되며, 상부가 깔대기 형상을 갖는 내부 공간(303)의 상사점에서 하사점으로 이동시켜 약액을 상기 약액 하우징 부재(304) 내로 유입시키는 단계(410); 및 b) 상기 피스톤(317b)을 상기 하사점에서 상기 상사점으로 이동시켜 상기 약액을 상기 약액 하우징 부재(304)와 연결 하우징 부재(307)에 의해 연결되는 버퍼 하우징 부재(302) 내에 형성되고, 하부가 깔대기 형상을 가지며, 상기 연결 하우징 부재(307) 내에 형성된 폭이 좁은 연결 공간(309)에 의해 상기 내부 공간(303)과 연결되는 버퍼 공간(305) 내로 공급하는 단계(420)를 포함하고, 상기 피스톤(317b)이 상기 상사점 및 상기 하사점 사이에서 왕복 이동하면서 상기 내부 공간(303) 내에서 발생하는 급격한 압력 변화가 상기 내부 공간(303)의 상부 및 상기 버퍼 공간(305)의 하부의 상기 깔대기 형상, 및 상기 폭이 좁은 연결 공간(309)의 구조에 의해 흡수되는 것을 특징으로 한다.Referring to FIG. 4 together with FIG. 3, the chemical liquid pumping method 400 according to the present invention includes a) a piston 317b integrally connected with the bellows 314 is formed in the chemical liquid housing member 304 and has a funnel shape. Moving (410) the chemical into the chemical housing member (304) by moving from the top dead center of the internal space (303) having a bottom dead center; And b) moving the piston 317b from the bottom dead center to the top dead center to form the chemical liquid in the buffer housing member 302 connected by the chemical housing member 304 and the connection housing member 307, Supplying 420 into a buffer space 305 having a funnel shape and connected to the interior space 303 by a narrow connection space 309 formed in the connection housing member 307; The sudden change in pressure occurring in the internal space 303 while the piston 317b reciprocates between the top dead center and the bottom dead center causes an upper portion of the inner space 303 and a lower portion of the buffer space 305. The funnel shape of the, and characterized in that absorbed by the structure of the narrow connection space 309.

또한, 본 발명에 따른 약액 펌핑 방법(400)은 c) 상기 a) 단계 및 상기 b) 단계를 반복하는 단계(430)를 추가로 포함한다.In addition, the chemical liquid pumping method 400 according to the present invention further includes c) repeating step a) and step b) (430).

상술한 본 발명에 따른 약액 펌핑 방법(400)에서, 상기 피스톤(317b)이 상기 상사점 및 상기 하사점 사이에서 왕복 이동하면서 상기 내부 공간(303) 내에서 발생하는 기포가 상기 내부 공간(303)의 상부 및 상기 버퍼 공간(305)의 하부의 상기 깔대기 형상, 및 상기 폭이 좁은 연결 공간(309)의 구조로 인하여 상기 버퍼 공간(305)내로 유입될 가능성이 감소되는 것을 특징으로 한다.In the above-described chemical liquid pumping method 400 according to the present invention, bubbles generated in the internal space 303 are reciprocated between the upper and lower dead centers of the piston 317b and the internal space 303. Due to the shape of the funnel of the upper portion and the lower portion of the buffer space 305 and the structure of the narrow connection space 309, the possibility of entering into the buffer space 305 is reduced.

또한, 상술한 본 발명에 따른 약액 펌핑 방법(400)에서, 상기 피스톤(317b)이 상기 상사점 및 상기 하사점 사이에서 왕복 이동하면서 상기 내부 공간(303) 내에서 발생하는 리플이 상기 내부 공간(303)의 상부 및 상기 버퍼 공간(305)의 하부의 상기 깔대기 형상, 및 상기 폭이 좁은 연결 공간(309)의 구조로 인하여 상기 버퍼 공간(305) 내로 유입될 가능성이 최소화되거나 제거되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the chemical liquid pumping method 400 according to the present invention, the ripple generated in the internal space 303 while the piston 317b reciprocates between the top dead center and the bottom dead center, the internal space ( The possibility of entering into the buffer space 305 is minimized or eliminated due to the funnel shape of the upper portion of the 303 and the lower portion of the buffer space 305 and the structure of the narrow connection space 309. do.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.

11: 펌프부 12: 펌프 구동부 13: 가요성 튜브
14,214,314: 벨로우즈 15,16: 어댑터부 17: 공급 유로 18,318: 약액 탱크
19: 토출 유로 20,320: 노즐 장치 21,22,321,322: 개폐밸브
23: 작동 디스크부 24: 소형 벨로우즈부 25: 대형 벨로우즈부
42: 펌프실 43,370: 간접액 100,200,300: 약액 공급 장치
211,311: 약액 펌핑 장치 212,312: 구동부재 217a,317a: 피스톤 로드
217b,317b: 피스톤 302: 버퍼 하우징 부재 303: 내부 공간
304: 약액 하우징 부재 304a; 제 1 베이스 부재 305: 버퍼 공간
306a,306b; 클램프 307: 연결 하우징 부재 309: 연결 공간
310: 공급 유입구 314a; 제 2 고정 부재 314: 벨로우즈
315; 체결 구멍 319: 토출구 328: 구동 모터
330: 환기 부재 350: 프레임 352: 리니어 가이드 부재
354: 선형 이송 부재 356: 연결부재 360: 선형 이동 부재11: Pump part 12: Pump drive part 13: Flexible tube
14,214,314: Bellows 15,16: Adapter 17: Supply flow path 18,318: Chemical tank
19: discharge flow path 20,320: nozzle apparatus 21,22,321,322: on-off valve
23: working disk portion 24: small bellows portion 25: large bellows portion
42: pump chamber 43,370: indirect liquid 100,200,300: chemical liquid supply device
211, 311: chemical liquid pumping device 212, 312: drive member 217a, 317a: piston rod
217b and 317b: piston 302: buffer housing member 303: inner space
304: chemical liquid housing member 304a; First base member 305: buffer space
306a, 306b; Clamp 307: connection housing member 309: connection space
310: feed inlet 314a; Second fixing member 314: bellows
315; Fastening hole 319: discharge port 328: drive motor
330: Ventilation member 350: Frame 352: Linear guide member
354: linear transfer member 356: connecting member 360: linear moving member

Claims (18)

버퍼형 약액 펌핑 장치에 있어서,
내부 공간이 형성되며, 제 1 베이스 부재를 구비하는 약액 하우징 부재;
상기 약액 하우징 부재의 상부에 제공되며, 버퍼 공간을 구비하는 버퍼 하우징 부재;
상기 약액 하우징 부재 및 상기 버퍼 하우징 부재를 연결하며, 폭이 좁은 연결 공간을 구비하는 연결 하우징 부재;
상기 약액 하우징 부재의 하부 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구;
상기 버퍼 하우징 부재의 상부에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구;
상기 내부 공간에 제공되며, 상기 내부 공간의 상사점 및 하사점 사이에서 왕복 이동하는 피스톤;
상기 피스톤과 일체로 연결되는 벨로우즈; 및
상기 벨로우즈의 하부에 일체로 연결되는 제 2 베이스 부재
를 포함하는
버퍼형 약액 펌핑 장치.In the buffer type chemical pumping device,
An inner space is formed and a chemical liquid housing member having a first base member;
A buffer housing member provided on the chemical liquid housing member and having a buffer space;
A connection housing member connecting the chemical liquid housing member and the buffer housing member and having a narrow connection space;
A chemical liquid supply inlet provided at a lower side of the chemical liquid housing member and connected to a chemical liquid tank containing the chemical liquid;
A chemical liquid discharge port provided on an upper portion of the buffer housing member and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical liquid;
A piston provided in the inner space and reciprocating between a top dead center and a bottom dead center of the inner space;
A bellows integrally connected with the piston; And
A second base member integrally connected to a lower portion of the bellows
Containing
Buffer type chemical pumping device. 제 1항에 있어서,
상기 내부 공간의 상부 및 상기 버퍼 공간의 하부는 각각 깔대기 형상을 갖는 버퍼형 약액 펌핑 장치.The method of claim 1,
The upper portion of the inner space and the lower portion of the buffer space each buffer type chemical pumping device having a funnel shape. 제 1항에 있어서,
상기 약액 하우징 부재, 상기 연결 하우징 부재, 및 상기 버퍼 하우징 부재는 하나의 일체형 하우징으로 구현되거나, 또는 상기 약액 하우징 부재 및 상기 연결 하우징 부재와 상기 연결 하우징 부재 및 상기 버퍼 하우징 부재를 각각 기밀 상태로 결합하는 클램프 또는 체결 부재로 구성되는 분리형 하우징으로 구현되는 버퍼형 약액 펌핑 장치.The method of claim 1,
The chemical liquid housing member, the connection housing member, and the buffer housing member are embodied as one unitary housing, or the chemical liquid housing member and the connection housing member and the connection housing member and the buffer housing member are respectively sealed in an airtight state. A buffer type chemical liquid pumping device implemented as a detachable housing composed of a clamp or a fastening member. 제 1항에 있어서,
상기 약액 공급 유입구는 공급 개폐밸브를 구비하고,
상기 약액 토출구는 토출 개폐밸브를 구비하는
버퍼형 약액 펌핑 장치.The method of claim 1,
The chemical liquid supply inlet has a supply opening and closing valve,
The chemical liquid discharge port is provided with a discharge opening and closing valve
Buffer type chemical pumping device. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 베이스 부재와 상기 제 2 베이스 부재는 상기 내부 공간을 기밀 상태로 유지하도록 체결되며,
상기 피스톤, 상기 벨로우즈, 및 상기 제 2 베이스 부재는 수지 재질로 이루어지는
버퍼형 약액 펌핑 장치.The method according to any one of claims 1 to 4,
The first base member and the second base member are fastened to keep the internal space in an airtight state,
The piston, the bellows, and the second base member are made of a resin material
Buffer type chemical pumping device. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 약액 펌핑 장치는 상기 버퍼 하우징 부재의 상부 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 버퍼형 약액 펌핑 장치.The method according to any one of claims 1 to 4,
The chemical liquid pumping device is provided on top of the buffer housing member or between the chemical liquid discharge port and the nozzle device, and further comprises a ventilation element for discharging gas. 약액 공급 장치에 있어서,
내부 공간이 형성되며, 제 1 베이스 부재를 구비하는 약액 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재의 상부에 제공되며, 버퍼 공간을 구비하는 버퍼 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재 및 상기 버퍼 하우징 부재를 연결하며, 폭이 좁은 연결 공간을 구비하는 연결 하우징 부재; 상기 약액 하우징 부재의 하부 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 공급 유입구; 상기 버퍼 하우징 부재의 상부에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구; 상기 내부 공간에 제공되며, 상기 내부 공간의 상사점 및 하사점 사이에서 왕복 이동하는 피스톤; 상기 피스톤과 일체로 연결되는 벨로우즈; 상기 벨로우즈의 하부에 인체로 연결되는 제 2 베이스 부재를 포함하는 버퍼형 약액 펌핑 장치; 및
상기 약액 펌핑 장치에 연결되며, 상기 약액 펌핑 장치를 구동하는 구동부재
를 포함하는
약액 공급 장치.In the chemical liquid supply device,
An inner space is formed and a chemical liquid housing member having a first base member; A buffer housing member provided on the chemical liquid housing member and having a buffer space; A connection housing member connecting the chemical liquid housing member and the buffer housing member and having a narrow connection space; A chemical liquid supply inlet provided at a lower side of the chemical liquid housing member and connected to a chemical liquid tank containing the chemical liquid; A chemical liquid discharge port provided on an upper portion of the buffer housing member and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical liquid; A piston provided in the inner space and reciprocating between a top dead center and a bottom dead center of the inner space; A bellows integrally connected with the piston; A buffer type chemical pumping device including a second base member connected to a body under the bellows; And
A driving member connected to the chemical liquid pumping device and driving the chemical liquid pumping device
Containing
Chemical liquid supply device. 제 7항에 있어서,
상기 내부 공간의 상부 및 상기 버퍼 공간의 하부는 각각 깔대기 형상을 갖는 약액 공급 장치.8. The method of claim 7,
The upper portion of the inner space and the lower portion of the buffer space each has a funnel supply device. 제 7항에 있어서,
상기 약액 공급 유입구는 공급 개폐밸브를 구비하고,
상기 약액 토출구는 토출 개폐밸브를 구비하는
약액 공급 장치.8. The method of claim 7,
The chemical liquid supply inlet has a supply opening and closing valve,
The chemical liquid discharge port is provided with a discharge opening and closing valve
Chemical liquid supply device. 제 7항에 있어서,
상기 구동부재는
프레임;
상기 프레임 내에서 이동 가능한 피스톤 로드; 및
상기 프레임에 착탈 가능하게 고정 장착되며, 상기 피스톤 로드를 구동시키는 구동 모터
로 구성되고,
상기 제 1 베이스 부재와 상기 제 2 베이스 부재는 복수의 체결 부재에 의해 상기 프레임의 상부에 체결되며,
상기 피스톤 로드는 상기 피스톤과 연결되는
약액 공급 장치.8. The method of claim 7,
The drive member is
frame;
A piston rod movable within the frame; And
A drive motor detachably fixed to the frame and driving the piston rod.
≪ / RTI >
The first base member and the second base member are fastened to the upper portion of the frame by a plurality of fastening members,
The piston rod is connected to the piston
Chemical liquid supply device. 제 10항에 있어서,
상기 구동부재는
상기 프레임의 일측에 제공되는 선형 이동 부재를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.The method of claim 10,
The drive member is
The chemical liquid supply apparatus further comprises a linear moving member provided on one side of the frame. 제 11항에 있어서,
상기 선형 이동 부재는
상기 프레임의 일측에 고정 장착되는 리니어 가이드 부재;
상기 리니어 가이드 부재 상에 제공되는 선형 이송 부재; 및
상기 선형 이송 부재와 상기 피스톤 로드를 고정 방식으로 연결하는 연결부재
로 이루어지는
약액 공급 장치.12. The method of claim 11,
The linear moving member
A linear guide member fixedly mounted to one side of the frame;
A linear conveying member provided on the linear guide member; And
Connecting member for connecting the linear transfer member and the piston rod in a fixed manner
Made up of
Chemical liquid supply device. 제 7항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 피스톤, 상기 벨로우즈, 및 상기 제 2 베이스 부재는 수지 재질로 이루어지는 약액 공급 장치.The method according to any one of claims 7 to 12,
The piston, the bellows, and the second base member is a chemical liquid supply device made of a resin material. 제 7항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 약액 공급 장치는 상기 버퍼 하우징 부재의 상부 또는 상기 약액 토출구와 상기 노즐 장치 사이에 제공되며, 가스(gas)를 배출시키기 위한 환기 부재(ventilation element)를 추가로 포함하는 약액 공급 장치.The method according to any one of claims 7 to 12,
The chemical liquid supply device is provided above the buffer housing member or between the chemical liquid discharge port and the nozzle device, and further comprises a ventilation element for discharging gas. 약액 펌핑 방법에 있어서,
a) 벨로우즈와 일체로 연결된 피스톤을 약액 하우징 부재 내에 형성되며, 상부가 깔대기 형상을 갖는 내부 공간의 상사점에서 하사점으로 이동시켜 약액을 상기 약액 하우징 부재 내로 유입시키는 단계; 및
b) 상기 피스톤을 상기 하사점에서 상기 상사점으로 이동시켜 상기 약액을 상기 약액 하우징 부재와 연결 하우징 부재에 의해 연결되는 버퍼 하우징 부재 내에 형성되고, 하부가 깔대기 형상을 가지며, 상기 연결 하우징 부재 내에 형성된 폭이 좁은 연결 공간에 의해 상기 내부 공간과 연결되는 버퍼 공간 내로 공급하는 단계
를 포함하고,
상기 피스톤이 상기 상사점 및 상기 하사점 사이에서 왕복 이동하면서 상기 내부 공간 내에서 발생하는 급격한 압력 변화가 상기 내부 공간의 상부 및 상기 버퍼 공간의 하부의 상기 깔대기 형상, 및 상기 폭이 좁은 연결 공간의 구조에 의해 흡수되는
약액 펌핑 방법.In the chemical liquid pumping method,
a) a piston connected integrally with the bellows is formed in the chemical liquid housing member, and the chemical liquid is introduced into the chemical liquid housing member by moving from a top dead center of the internal space having a funnel shape to a bottom dead center; And
b) the piston is moved from the bottom dead center to the top dead center so that the chemical liquid is formed in the buffer housing member connected by the chemical liquid housing member and the connection housing member, the lower portion has a funnel shape, and is formed in the connection housing member. Supplying into a buffer space connected to the internal space by a narrow connection space
Including,
As the piston reciprocates between the top dead center and the bottom dead center, a sudden pressure change occurring in the inner space is caused by the funnel shape at the top of the inner space and the bottom of the buffer space, and the narrow connection space. Absorbed by the structure
Chemical liquid pumping method. 제 15항에 있어서,
상기 약액 펌핑 방법은 c) 상기 a) 단계 및 상기 b) 단계를 반복하는 단계를 추가로 포함하는 약액 펌핑 방법.16. The method of claim 15,
The chemical liquid pumping method further comprises c) repeating the steps a) and b). 제 15항 또는 제 16항에 있어서,
상기 피스톤이 상기 상사점 및 상기 하사점 사이에서 왕복 이동하면서 상기 내부 공간 내에서 발생하는 기포가 상기 내부 공간의 상부 및 상기 버퍼 공간의 하부의 상기 깔대기 형상, 및 상기 폭이 좁은 연결 공간의 구조로 인하여 상기 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 감소되는 약액 펌핑 방법.17. The method according to claim 15 or 16,
Bubbles generated in the inner space as the piston reciprocates between the top dead center and the bottom dead center are formed in the funnel shape at the upper portion of the inner space and the lower portion of the buffer space, and in the structure of the narrow connecting space. The chemical liquid pumping method is reduced due to the possibility of entering into the buffer space. 제 15항 또는 제 16항에 있어서,
상기 피스톤이 상기 상사점 및 상기 하사점 사이에서 왕복 이동하면서 상기 내부 공간 내에서 발생하는 리플이 상기 내부 공간의 상부 및 상기 버퍼 공간의 하부의 상기 깔대기 형상, 및 상기 폭이 좁은 연결 공간의 구조로 인하여 상기 버퍼 공간 내로 유입될 가능성이 최소화되거나 제거되는 약액 펌핑 방법.17. The method according to claim 15 or 16,
As the piston reciprocates between the top dead center and the bottom dead center, the ripple generated in the inner space is formed in the funnel shape of the upper portion of the inner space and the lower portion of the buffer space, and the narrow connection space. The chemical liquid pumping method is minimized or eliminated due to the possibility of entering into the buffer space.
KR1020100126393A 2010-12-10 2010-12-10 A Buffer-Type Pumping Device and Method of Chemical Liquids and A Feeding Device of Chemical Liquids Having the Same KR101168943B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100126393A KR101168943B1 (en) 2010-12-10 2010-12-10 A Buffer-Type Pumping Device and Method of Chemical Liquids and A Feeding Device of Chemical Liquids Having the Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100126393A KR101168943B1 (en) 2010-12-10 2010-12-10 A Buffer-Type Pumping Device and Method of Chemical Liquids and A Feeding Device of Chemical Liquids Having the Same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120065069A true KR20120065069A (en) 2012-06-20
KR101168943B1 KR101168943B1 (en) 2012-08-01

Family

ID=46684967

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100126393A KR101168943B1 (en) 2010-12-10 2010-12-10 A Buffer-Type Pumping Device and Method of Chemical Liquids and A Feeding Device of Chemical Liquids Having the Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101168943B1 (en)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100447076B1 (en) 2002-04-18 2004-09-04 주식회사 나래기술 pump for supplying photo resist
KR100901884B1 (en) 2008-01-25 2009-06-09 주식회사 나래나노텍 A pumping device of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same
KR100948629B1 (en) 2009-08-04 2010-03-18 주식회사 나래나노텍 An improved pumping device of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR101168943B1 (en) 2012-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10204777B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
US8535021B2 (en) Precision pump with multiple heads
US7090725B2 (en) Mouthpiece and device and method for applying coating fluid
KR101485618B1 (en) Coating apparatus
JP5085733B2 (en) Precision pump with multi-head
KR100948629B1 (en) An improved pumping device of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same
US8602750B2 (en) Liquid supply device
KR100901884B1 (en) A pumping device of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same
US11333142B2 (en) Tube body and pumping device
JP2008008232A (en) Metering liquid pump and chemical liquid applicator using the same
KR101168943B1 (en) A Buffer-Type Pumping Device and Method of Chemical Liquids and A Feeding Device of Chemical Liquids Having the Same
KR101147167B1 (en) An improved pumping device and method of chemical liquids and a feeding device of chemical liquids having the same
US20090016903A1 (en) Precision Pump With Multiple Heads
JP2004281640A (en) Substrate treating device and liquid supply device
US20080041488A1 (en) Fluid dispensing system for semiconductor manufacturing processes with self-cleaning dispense valve
JP2009049228A (en) Pump and substrate treating device
TWI767187B (en) Pumps and Coating Equipment
US20220048063A1 (en) Plural material dispensing system
US20140146119A1 (en) Substrate printing device and substrate printing method
KR20210105524A (en) Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same
JP2015086980A (en) Fluid control valve and container cleaning device
WO2021194819A1 (en) Dispensing unit having fixed flexible diaphragm seal
KR101746830B1 (en) An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same
JP2009178694A (en) Liquid body discharge apparatus
JP2011092836A (en) Coating apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150721

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160721

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170712

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180703

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190709

Year of fee payment: 8