KR20120060348A - Apparatus for repairing a substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate repairing device is provided to automatically align each substrate for a stage unit and properly align locations of support pins according to the size of each substrate, thereby preventing bending of each substrate. CONSTITUTION: A substrate inspecting/repairing unit(103) can move in X/Y axis direction in a gantry unit(100). A stage unit(120) is installed in the gantry unit. The substrate is loaded on the stage unit. A backlight unit is installed in the gantry unit. A location of the backlight unit is synchronized with a location of the substrate inspecting/repairing unit. The backlight unit illuminates the substrate.

Description

기판 수리 장치{APPARATUS FOR REPAIRING A SUBSTRATE}Board repair apparatus {APPARATUS FOR REPAIRING A SUBSTRATE}

본 발명은 기판 수리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 사이즈의 기판을 적재하여 기판의 불량을 검사하고 수리할 수 있는 기판 수리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate repair apparatus, and more particularly, to a substrate repair apparatus capable of inspecting and repairing a defect of a substrate by loading substrates of various sizes.

평판 디스플레이는 투명한 기판 사이에 매트릭스 형태로 배열되는 다수개의 화소가 형성된 평판 표시 패널을 포함한다. 평판 표시 패널의 화소는 전기 배선인 다수개의 데이터 라인과 게이트 라인에 인가되는 전기 신호에 의해 구동된다.The flat panel display includes a flat panel display panel in which a plurality of pixels are arranged in a matrix form between transparent substrates. The pixels of the flat panel display panel are driven by electrical signals applied to a plurality of data lines and gate lines, which are electrical wiring lines.

일 예로, 액정 표시 장치는 비디오 신호에 따라 액정의 광 투과율을 조절하여 이미지를 디스플레이한다. 이를 위하여, 액정 표시 장치는 매트릭스 형태로 배열된 셀들을 구비하는 액정 표시 패널과 비디오 신호에 따라 각 셀의 광 투과율을 제어하는 구동회로를 포함한다.For example, the liquid crystal display displays an image by adjusting the light transmittance of the liquid crystal according to the video signal. To this end, the liquid crystal display includes a liquid crystal display panel having cells arranged in a matrix form and a driving circuit for controlling light transmittance of each cell according to a video signal.

액정 표시 패널을 생산하는 업체에서 액정 표시 패널의 불량 여부를 판정하는 기준은 액정 표시 패널에 포함된 불량 셀의 개수이다. 불량 셀은 휘점 셀과 암점 셀로 나눌 수 있는데, 통상적으로 허용되는 휘점 셀의 개수가 암점 셀의 개수보다 엄격하다. 이러한 이유 때문에 휘점 셀을 암점화 하여 액정표시패널의 수율을 높이는 것이 가능하다. 예를 들어, 휘점 셀은 전혀 허용되지 않고 암점 셀은 1개까지 허용될 경우에 하나의 휘점 셀을 갖는 액정 표시 패널에서 휘점 셀을 암점 셀로 바꾸면 액정 표시 패널은 정상 패널이 될 수 있다.The standard for determining whether a liquid crystal display panel is defective in a company producing a liquid crystal display panel is the number of defective cells included in the liquid crystal display panel. A bad cell can be divided into a bright point cell and a dark point cell. In general, the allowable number of bright point cells is stricter than the number of dark point cells. For this reason, it is possible to increase the yield of the liquid crystal display panel by darkening the bright point cell. For example, when no bright spot cell is allowed at all and up to one dark spot cell is allowed, the liquid crystal display panel may be a normal panel when the bright spot cell is replaced with a dark spot cell in a liquid crystal display panel having one bright spot cell.

액정 표시 패널의 결함을 수리하는 장치는 갠트리부, 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부, 및 X/Y 축으로 이동하면서 스테이지 상의 기판을 검사하고 동시에 수리하는 기판 검사/수리부를 포함한다.The apparatus for repairing a defect of the liquid crystal display panel includes a gantry portion, a stage portion on which the substrate is loaded and fixed, and a substrate inspection / repair portion for inspecting and simultaneously repairing the substrate on the stage while moving in the X / Y axis.

그러나, 종래의 액정 표시 패널의 결함을 수리하는 장치는 스테이지부에 대한 각 기판의 얼라인먼트를 중앙으로 맞추어야 작업이 가능했기 때문에 작업 중인 사이즈와 다른 사이즈의 기판이 스테이지부 상에 로딩될 때, 스테이지부에 대한 기판의 얼라인먼트를 다시 수행해야 하는 작업 공정이 추가되며, 기판을 스테이지부 상에 로딩하는 지지핀의 위치가 다양한 사이즈의 기판의 크기에 맞게 배열되지 못하여 기판의 휨이 발생되는 문제점이 있었다.However, in the conventional apparatus for repairing defects of the liquid crystal display panel, it is possible to work by centering the alignment of each substrate with respect to the stage portion, so that when a substrate having a size different from the working size is loaded on the stage portion, the stage portion There is a problem that the work process that needs to perform the alignment of the substrate for the re-added, the support pin for loading the substrate on the stage portion is not arranged to match the size of the substrate of various sizes, there is a problem that the bending of the substrate occurs.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 다양한 사이즈의 기판이 스테이지부에 로딩될 때 스테이지부에 대한 각 기판의 얼라인먼트가 자동으로 수행되고, 기판의 사이즈에 따라 지지핀의 위치가 적합하게 배열되어 기판의 휨을 방지할 수 있는 기판 수리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, the alignment of each substrate with respect to the stage portion is automatically performed when the substrate of various sizes is loaded on the stage portion, the support pin according to the size of the substrate It is an object of the present invention to provide a substrate repair apparatus that can be properly arranged so as to prevent warpage of the substrate.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 수리 장치는 기판의 검사/수리부(103)가 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리부(100); 상기 갠트리부(100)에 설치되고 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부(120); 상기 갠트리부(100)에 설치되고 상기 검사/수리부(103)와 위치가 동기화되어 기판을 조명하는 백라이트부(140); 및 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되며 기판을 로딩받아 상기 스테이지부(120) 상에 안착시키는 기판 지지부(150)를 포함하고, 상기 스테이지부(120)는 기판의 일측 모서리가 고정된 상태에서 기판의 사이즈에 따라 X/Y 축 방향으로 이동하여 기판의 반대측 모서리를 고정시키는 클램프 수단(125, 126)을 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the apparatus for repairing a substrate according to the present invention includes a gantry portion 100 in which an inspection / repair portion 103 of the substrate is movable in the X / Y axis direction; A stage unit 120 installed on the gantry unit 100 and loaded with a substrate; A backlight unit 140 installed on the gantry unit 100 to synchronize a position with the inspection / repair unit 103 to illuminate a substrate; And a substrate support part 150 installed below the stage part 120 and receiving a substrate and seating the substrate on the stage part 120, wherein the stage part 120 has one side edge of the substrate fixed thereto. According to the size of the substrate may include a clamp means (125, 126) for moving in the X / Y axis direction to fix the opposite edge of the substrate.

상기 스테이지부(120)는 사각 형상으로 설치되며 2개의 기판을 로딩받을 수 있도록 구성될 수 있다.The stage unit 120 may be installed in a rectangular shape and configured to receive two substrates.

상기 스테이지부(120)는 사각 형상의 고정 프레임(123)을 포함하고, 상기 클램프 수단(125, 126)은 상기 고정 프레임(123)의 모서리측에 설치되고 기판의 모서리를 지지하여 기판의 위치를 고정하고 직각으로 배치되는 고정 클램프(125); 상기 고정 클램프(125)에 대향하고 직각으로 배치되어 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가변 클램프(126); 및 상기 고정 프레임(123)에 설치되고 기판이 안착되는 기판 지지판(130)을 포함할 수 있다.The stage unit 120 includes a fixed frame 123 having a rectangular shape, and the clamp means 125 and 126 are installed at the corners of the fixed frame 123 and support the edges of the substrate to position the substrate. A fixed clamp 125 fixed and disposed at a right angle; A variable clamp 126 disposed opposite to the fixed clamp 125 and disposed at a right angle to be movable in the X / Y axis direction; And a substrate support plate 130 installed on the fixing frame 123 and on which the substrate is mounted.

상기 가변 클램프(126)는 기판에 점 접촉하는 롤러를 구비하여 직각으로 배치되는 제1 가변 클램프(126a)와 제2 가변 클램프(126b)를 포함할 수 있다.The variable clamp 126 may include a first variable clamp 126a and a second variable clamp 126b disposed at right angles with rollers in point contact with the substrate.

상기 기판 지지판(130)은 기판을 흡착하는 진공이 제공되는 흡착공(131)과, 상기 흡착공(131)과 X축 방향으로 교대로 배치되며 상기 기판 지지부(150)의 상하 이동을 허용하는 관통공(132)을 포함하며, 상기 관통공(132)은 기판 지지판(130) 상에 2열로 양측에 배치될 수 있다.The substrate support plate 130 is provided with a suction hole 131 provided with a vacuum for adsorbing the substrate, and the suction hole 131 is alternately disposed in the X-axis direction to allow vertical movement of the substrate support part 150. It includes a ball 132, the through hole 132 may be disposed on both sides in two rows on the substrate support plate 130.

상기 기판 지지부(150)와 상기 흡착공(131)은 기판의 면적에 따라 선택적으로 작동될 수 있다.The substrate support part 150 and the suction hole 131 may be selectively operated according to the area of the substrate.

상기 백라이트부(140)는 스테이지부(120)의 하부에 설치되며, 빛을 조사하는 광원(145)이 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 X/Y 이동 스테이지(141)를 포함할 수 있다.The backlight unit 140 may include an X / Y moving stage 141 that is installed below the stage unit 120 and in which the light source 145 for irradiating light is movable to move in the X / Y axis direction. have.

상기 기판 지지부(150)는 기판의 사이즈의 따라 선택적으로 상승되어 기판을 지지하는 다수의 기판 지지핀(151); 상기 기판 지지핀(151)이 통과하는 관통공(132)이 형성되는 상부 플레이트(152); 상기 상부 플레이트(152)의 하부에 배치되고, 상기 기판 지지핀(151)이 상면부에 설치되며, 상하로 이동되게 구동되는 상하 이동판(153); 상기 상부 플레이트(152)에 대면하게 상기 갠트리부(100) 상에 설치되는 하부 플레이트(156); 및 상기 하부 플레이트(156)의 모서리측에 설치되어 상기 상부 플레이트(152)를 지지하고 상기 상하 이동판(153)이 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 지지 가이드(157)를 포함할 수 있다.The substrate support part 150 may include a plurality of substrate support pins 151 which are selectively raised according to the size of the substrate to support the substrate; An upper plate 152 through which a through hole 132 through which the substrate support pin 151 passes is formed; A vertical movement plate 153 disposed below the upper plate 152 and installed on the upper surface portion of the substrate support pin 151 to be driven to move up and down; A lower plate 156 installed on the gantry part 100 to face the upper plate 152; And a support guide 157 installed at a corner of the lower plate 156 to support the upper plate 152 and to allow the vertical movement plate 153 to slide.

상기 기판 지지핀(151)은 2열로 12개가 설치되며, 이중 4개가 독립적으로 상승 가능하도록 구성될 수 있다.Twelve substrate support pins 151 may be installed in two rows, and four of them may be independently liftable.

상기 상하 이동판(153) 상에는 일부의 상기 기판 지지핀(151)을 상하로 이동시킬 수 있는 서브 이동판(163)이 설치되고, 상기 서브 이동판(163) 상의 좌측에는 독립적으로 승강 가능한 4개의 제1 기판 지지핀(161)이 2열로 설치되며, 우측에는 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 8개의 제2 기판 지지핀(152)이 2열로 설치되고, 상기 제2 기판 지지핀(152)은 상기 서브 이동판(163)이 상하로 이동 가능하게 슬라이드 결합되고 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 고정 이동판(164) 상에 설치될 수 있다. On the vertical moving plate 153, a sub moving plate 163 capable of moving a part of the substrate support pins 151 up and down is provided, and on the left side of the sub moving plate 163, four independent movable members are provided. The first substrate support pins 161 are installed in two rows, and on the right side, eight second substrate support pins 152 which are elevated together with the vertical moving plate 153 are installed in two rows, and the second substrate support pins ( The 152 may be installed on the fixed moving plate 164 to which the sub moving plate 163 is slidably movable up and down and lifted together with the up and down moving plate 153.

상기 기판 지지판(130)은 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 상부 플레이트(152)에는 상기 기판 지지핀(151)이 측방으로 이동될 수 있도록 긴 원형의 관통공(132)이 형성될 수 있다.The substrate support plate 130 is installed to be movable in the Y-axis direction, and the upper plate 152 may be formed with a long circular through hole 132 to move the substrate support pin 151 laterally. have.

상술한 바와 같은 본 발명에 따른 기판 수리 장치는 다양한 사이즈의 기판이 스테이지부에 로딩될 때 스테이지부에 대한 각 기판의 얼라인먼트가 자동으로 수행되고, 기판의 사이즈에 따라 지지핀의 위치가 적합하게 배열되어 다양한 사이즈의 기판을 스테이지부 상에 자동으로 로딩시킬 수 있고, 기판 지지핀이 측방으로 이동하여 상부 플레이트의 측부에 가깝게 배치되어 기판의 지지되지 않는 마진과 지지되는 무게의 편중을 줄임으로써 기판의 휨 현상을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In the substrate repair apparatus according to the present invention as described above, when substrates of various sizes are loaded into the stage unit, alignment of each substrate to the stage unit is automatically performed, and the positions of the support pins are appropriately arranged according to the size of the substrate. Substrates of various sizes can be automatically loaded onto the stage, and the substrate support pins are moved laterally and placed close to the sides of the top plate to reduce the unsupported margin of the substrate and the weight of the supported weight. The effect which can prevent a warpage phenomenon can be obtained.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수리 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 스테이지부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 백라이트부의 사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 지지부의 사시도이다.
도 5는 도 4의 기판 지지부의 제1, 2 기판 지지핀의 리프트 업 상태의 측면도이다.
도 6은 도 4의 기판 지지부의 제1 기판 지지핀의 리프트 다운 상태의 측면도이다.
도 7은 도 5의 정면도이다.
도 8은 도 6의 정면도이다.1 is a perspective view of a substrate repair apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the stage part of FIG. 1. FIG.
3 is a perspective view of the backlight unit of FIG. 1.
4 is a perspective view of the substrate support of FIG. 1.
5 is a side view of the lift-up state of the first and second substrate support pins of the substrate support of FIG. 4.
6 is a side view of the lifted-down state of the first substrate support pin of the substrate support of FIG. 4.
7 is a front view of FIG. 5.
8 is a front view of FIG. 6.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.DETAILED DESCRIPTION The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that show, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description, therefore, is not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if properly described, is defined only by the appended claims, along with the full range of equivalents to which such claims are entitled. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several aspects, and length, area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수리 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate repair apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수리 장치는 기판의 검사/수리부(103)가 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리부(100), 갠트리부(100)에 설치되고 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부(120), 갠트리부(100)에 설치되고 검사/수리부(103)와 동기화되어 기판을 조명하는 백라이트부(140), 및 스테이지부(120)의 하부에 설치되며 기판을 로딩받아 스테이지부(120) 상에 안착시키는 기판 지지부(150)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the apparatus for repairing a substrate according to an embodiment of the present invention includes a gantry part 100 and a gantry part 100 in which an inspection / repair part 103 of the substrate is movable in the X / Y axis direction. The stage unit 120 installed on the substrate and the substrate is loaded and fixed, the backlight unit 140 installed on the gantry unit 100 and synchronized with the inspection / repair unit 103 to illuminate the substrate, and the stage unit 120. It may include a substrate support portion 150 installed in the lower portion and receiving the substrate and seated on the stage portion 120.

갠트리부(100)는 기판의 검사/수리부(103)가 이동가능하도록 X축 레일(105)과 Y축 레일(106)을 구비할 수 있다.The gantry part 100 may include an X-axis rail 105 and a Y-axis rail 106 to move the inspection / repair portion 103 of the substrate.

X축 레일(105)은 정반(107)의 양측부에 설치되며, Y축 레일(106)은 X축 레일(105) 상에 이동가능하게 구속되는 이동체(108)에 설치될 수 있다.The X-axis rails 105 are installed at both sides of the surface plate 107, and the Y-axis rails 106 may be installed at the movable body 108 that is movably constrained on the X-axis rails 105.

이동체(108)는 정반(107)의 Y축 방향을 따라 형성되어 X축 방향을 따라 이동될 수 있다.  The movable body 108 may be formed along the Y-axis direction of the surface plate 107 to move along the X-axis direction.

이동체(108)의 이동수단은 통상적으로 X/Y 축 방향의 이동을 위한 각각의 모터(미도시)와 리드 스크류(미도시)의 조합을 포함할 수 있다.The moving means of the moving body 108 may typically include a combination of a respective motor (not shown) and a lead screw (not shown) for movement in the X / Y axis direction.

정반(107)의 저면에는 진동을 감쇠하는 다수의 로드댐퍼(109)가 설치될 수 있다.A plurality of road dampers 109 may be installed on the bottom of the surface plate 107 to damp vibrations.

갠트리부(100)의 후방에는 스테이지부(120) 상에 안착되는 기판을 흡착하여 고정하기 위한 공압부(110)가 설치될 수 있다.A pneumatic part 110 may be installed at the rear of the gantry part 100 to absorb and fix the substrate seated on the stage part 120.

도 2는 도 1의 스테이지부(120)의 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view of the stage unit 120 of FIG. 1.

도 2를 참조하면, 스테이지부(120)는 사각형상으로 설치되며, 양측으로 나누어져 2개의 기판을 한 번에 로딩받을 수 있도록 구성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the stage unit 120 may be installed in a quadrangular shape and divided into both sides so that two substrates may be loaded at a time.

즉, 정반(107) 상에는 동일하게 구성된 제1, 2 스테이지부(121, 122)가 구성될 수 있다.That is, on the surface plate 107, the first and second stage units 121 and 122 configured in the same manner may be configured.

스테이지부(120)는 틀을 제공하고 두 부분으로 평면이 나누어진 사각 형상의 고정 프레임(123)과, 고정 프레임(123)의 모서리 측에 설치되고 기판의 모서리를 지지하여 기판의 위치를 고정하고 직각으로 배치된 고정 클램프(125)와, 고정 클램프(125)에 대향하게 직각으로 배치되어 이동 가능하게 구성되는 가변 클램프(126)와, 기판이 안착되는 기판 지지판(130)을 포함할 수 있다.The stage unit 120 is provided with a frame, and the fixed frame 123 of the square shape divided into two parts, and is installed on the corner side of the fixing frame 123 to support the edge of the substrate to fix the position of the substrate The fixed clamp 125 may be disposed at a right angle, the variable clamp 126 may be disposed to be movable at a right angle to the fixed clamp 125, and the substrate support plate 130 may be mounted on the substrate.

고정 클램프(125)와 가변 클램프(126)에 의해 형성되는 직사각형 면적은 기판 지지판(130) 상에서 가변 클램프(126)의 이동에 의해 조절될 수 있다.The rectangular area formed by the fixed clamp 125 and the variable clamp 126 may be adjusted by the movement of the variable clamp 126 on the substrate support plate 130.

고정 클램프(125)와 가변 클램프(126)의 직사각형 면적은 기판의 사이즈에 해당된다.The rectangular areas of the fixed clamp 125 and the variable clamp 126 correspond to the size of the substrate.

즉, 스테이지부(120)는 로딩되는 다양한 사이즈의 기판의 면적에 따라 가변 클램프(126)가 자동적으로 조절되어 기판이 고정될 수 있다.That is, the stage part 120 may automatically adjust the variable clamp 126 according to the area of the substrate of various sizes to be loaded to fix the substrate.

가변 클램프(126)는 기판에 점 접촉하는 롤러(R)를 구비한 제1 가변 클램프(126a)와 제2 가변 클램프(126b)를 포함한다.The variable clamp 126 includes a first variable clamp 126a and a second variable clamp 126b having a roller R in point contact with the substrate.

제1 가변 클램프(126a)는 클램프 레일(127)을 따라 이동 가능하게 구성된다.The first variable clamp 126a is configured to be movable along the clamp rail 127.

제2 가변 클램프(126b)도 제1 가변 클램프(126a)의 클램프 레일(127)에 대해 직각으로 배치되는 레일(미도시)을 따라 이동가능하게 구성될 수 있다.The second variable clamp 126b may also be configured to be movable along a rail (not shown) disposed at a right angle with respect to the clamp rail 127 of the first variable clamp 126a.

가변 클램프(126)도 모터(미도시)와 리드 스크류(미도시)의 조합에 의해 이동될 수 있다.The variable clamp 126 may also be moved by a combination of a motor (not shown) and a lead screw (not shown).

기판 지지판(130) 상에 도시된 각각의 직사각형 라인(a, b, c, d)은 로딩되는 사이즈에 따른 가상의 기판을 도시한 것이다.Each rectangular line a, b, c, d shown on the substrate support plate 130 illustrates a virtual substrate according to the size loaded.

기판 지지판(130)은 기판을 흡착하는 진공이 제공되는 흡착공(131)과, 흡착공(131)과 X축 방향으로 교대로 배치되며 기판을 지지하기 위한 기판 지지부(150)의 상하 이동을 허용하는 관통공(132)을 포함할 수 있다.The substrate support plate 130 is alternately disposed in the X-axis direction with the adsorption holes 131 provided with a vacuum that adsorbs the substrate, and allows the substrate support 150 to move up and down to support the substrate. It may include a through hole 132 to.

관통공(132)은 기판 지지핀(151)이 기판의 사이즈에 따라 기판을 지지하여 받을 수 있도록 기판 지지판(130) 상에 2열로 양측에 배치될 수 있다.The through holes 132 may be disposed at both sides in two rows on the substrate support plate 130 so that the substrate support pins 151 may support the substrate according to the size of the substrate.

스테이지부(120) 상에 기판을 로딩시키는 로봇 암(미도시)에 대한 간섭을 방지하기 위해서 기판 지지핀(151)은 하나의 스테이지부(120)에서 2열로 설치되고, 로봇 암(미도시)은 2열의 기판 지지핀(151) 사이로 출입할 수 있다.In order to prevent interference with the robot arm (not shown) that loads the substrate on the stage unit 120, the substrate support pins 151 are installed in two rows in one stage unit 120, and the robot arms (not shown). Silver may enter and exit between two rows of substrate support pins 151.

기판 지지핀(151)과 흡착공(131)은 기판의 면적에 따라 선택적으로 작동되게 구성될 수 있다.The substrate support pin 151 and the suction hole 131 may be configured to be selectively operated according to the area of the substrate.

고정 프레임(123)의 변부를 따라서는 정반(107)에 고정 프레임(123)을 지지하기 위한 고정대(135)가 구비될 수 있다.Along the sides of the fixing frame 123 may be provided with a fixing stand 135 for supporting the fixing frame 123 on the surface plate 107.

도 3은 도 1의 백라이트부(140)의 사시도이다.3 is a perspective view of the backlight unit 140 of FIG. 1.

도 3을 참조하면, 백라이트부(140)는 각 스테이지부(120)의 하부에 설치되며, 빛을 조사하는 광원(145)이 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 X/Y 이동 스테이지(141)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the backlight unit 140 is installed below each stage unit 120, and an X / Y moving stage in which a light source 145 for irradiating light is movable to move in the X / Y axis direction ( 141).

X/Y 이동 스테이지(141)는 모터(146, 147)와 스크류 조합에 의해 X/Y 축 좌표이동을 제공하는 통상적인 평면 이동수단이다.The X / Y movement stage 141 is a conventional planar movement means for providing X / Y axis coordinate movement by the combination of the motors 146, 147 and the screw.

광원(145)은 기판의 저면에서 기판의 화소를 향해 빛을 조사하는 LED를 포함할 수 있다.The light source 145 may include an LED that irradiates light toward the pixels of the substrate from the bottom of the substrate.

광원(145)은 LED 뿐만 아니라 빛을 제공할 수 있는 다양한 구성을 포함할 수 있다.Light source 145 may include various configurations that can provide light as well as LEDs.

광원(145)은 기판의 검사/수리부(103)의 위치와 동기화되어 X/Y 축 방향으로 이동되면서 기판의 화소를 조명할 수 있으며, 검사/수리부(103)는 광원(145)의 빛에 의해 밝혀진 화소를 촬영하여 불량을 검색 및 검사하고, 레이저를 조사하여 수리할 수 있다.The light source 145 may illuminate the pixel of the substrate while being moved in the X / Y axis direction in synchronization with the position of the inspection / repair unit 103 of the substrate, and the inspection / repair unit 103 may emit light of the light source 145. By photographing the pixels revealed by the defect can be detected and inspected, the laser can be irradiated and repaired.

도 4는 도 1의 기판 지지부(150)의 사시도이다.4 is a perspective view of the substrate support 150 of FIG. 1.

도 5는 도 4의 기판 지지부(150)의 제1, 2 기판 지지핀(161, 162)의 리프트 업 상태의 측면도이다.5 is a side view of the lift-up state of the first and second substrate support pins 161 and 162 of the substrate support part 150 of FIG. 4.

도 6은 도 4의 기판 지지부(150)의 제1 기판 지지핀(161)의 리프트 다운 상태의 측면도이다.FIG. 6 is a side view of the lifted-down state of the first substrate support pin 161 of the substrate support part 150 of FIG. 4.

도 7은 도 5의 정면도이다.7 is a front view of FIG. 5.

도 8은 도 6의 정면도이다.8 is a front view of FIG. 6.

도 1과 도 4 및 도 5를 참조하면, 기판 지지부(150)는 상하로 이동하며 기판을 지지하는 다수의 기판 지지핀(151), 기판 지지핀(151)이 통과하는 상부 플레이트(152), 기판 지지핀(151)이 상면부에 설치되는 상하 이동판(153), 상하 이동판(153)을 이동시키는 구동모터(154)와 볼 스크류(155), 상부 플레이트(152)에 대면하게 정반(107) 상에 설치되는 하부 플레이트(156), 하부 플레이트(156)의 모서리측에 설치되어 상부 플레이트(152)를 지지하고 상하 이동판(153)이 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 지지 가이드(157)를 포함할 수 있다.1, 4, and 5, the substrate support part 150 moves up and down and supports a plurality of substrate support pins 151 for supporting the substrate, an upper plate 152 through which the substrate support pins 151 pass, The substrate support pin 151 faces the drive motor 154, the ball screw 155, and the upper plate 152 to move the up and down moving plate 153 and the up and down moving plate 153 installed on the upper surface portion. The support plate 157 is installed on the lower plate 156, the lower side of the lower plate 156 is installed on the 107 to support the upper plate 152 and the upper and lower movable plates 153 are slidably movable. It may include.

기판 지지핀(151)은 대형 기판의 로딩시에는 전체가 상방으로 이동하여 기판을 지지하며, 소형 기판의 로딩 시에는 일부가 독립적으로 상승하여 기판을 지지할 수 있다.The substrate support pin 151 may move upward when the large substrate is loaded to support the substrate, and when the small substrate is loaded, a portion thereof may be independently raised to support the substrate.

일 예로, 도 6을 참조하면, 기판 지지핀(151)은 12개 중 4개가 상승하여 4개로 이루어진 면적에 해당하는 소형 기판을 지지할 수 있다.For example, referring to FIG. 6, the substrate support pin 151 may support a small substrate corresponding to an area of four by rising four out of twelve.

기판 지지핀(151)은 소형 기판의 지지를 위해 일부만 독립적으로 승하강시킬 수 있는 구동 체계를 가질 수 있다.The substrate support pin 151 may have a driving system capable of raising and lowering a portion independently for supporting a small substrate.

즉, 상하 이동판(153) 상에는 일부의 기판 지지핀(151)을 상하로 이동시킬 수 있는 서브 이동판(163)이 설치될 수 있다.That is, the sub moving plate 163 may be installed on the vertical moving plate 153 to move some of the substrate support pins 151 up and down.

서브 이동판(163) 상의 좌측에는 독립적으로 승강 가능한 4개의 제1 기판 지지핀(161)이 설치되며, 우측에는 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 8개의 제2 기판 지지핀(152)이 설치될 수 있다.Four first substrate support pins 161 which are independently liftable are installed on the left side of the sub moving plate 163, and eight second substrate support pins 152 that are lifted together with the vertical movement plate 153 are provided on the right side. Can be installed.

제2 기판 지지핀(152)은 서브 이동판(163)이 상하로 이동가능하게 슬라이드 결합되는 고정 이동판(164) 상에 설치될 수 있다.The second substrate support pin 152 may be installed on the fixed moving plate 164 to which the sub moving plate 163 is slidably movable up and down.

고정 이동판(164)은 상하 이동판(153) 상에 설치되어 상하 이동판(153)과 함께 승강되게 구성된다.The fixed moving plate 164 is installed on the vertical moving plate 153 and configured to move up and down together with the vertical moving plate 153.

다시, 도 7과 도 8을 참조하면, 도 7은 제1, 2 기판 지지핀(151)이 대형 기판을 지지할 때 위치 상태를 나타내며, 도 8은 제1 기판 지지핀(161)이 소형 기판을 지지할 때 위치 상태를 나타낸다.Referring again to FIGS. 7 and 8, FIG. 7 illustrates a position state when the first and second substrate support pins 151 support the large substrate, and FIG. 8 illustrates that the first substrate support pins 161 are the small substrates. It indicates the position status when supporting.

도 7과 도 8을 비교하면, 제1 기판 지지핀(161)이 상부 플레이트(152)의 좌측 부분으로 이동 가능함을 알 수 있다. 7 and 8, it can be seen that the first substrate support pin 161 is movable to the left portion of the upper plate 152.

즉, 도 1의 기판 지지부(150)가 소형 기판을 지지할 때, 제1 기판 지지핀(161)은 스테이지부(120)에서 좌측으로 이동하여 상부 플레이트(152)의 좌측 부분에 가깝게 배치되고(거리 d가 d'로 변화됨), 기판의 지지되지 않는 마진과 지지되는 무게의 편중을 줄임으로써 기판의 휨 현상을 방지할 수 있다.That is, when the substrate support part 150 of FIG. 1 supports the small substrate, the first substrate support pin 161 moves to the left side of the stage part 120 and is disposed close to the left part of the upper plate 152 ( Distance d is changed to d '), thereby reducing the deflection of the unsupported margin of the substrate and the supported weight, thereby preventing warpage of the substrate.

이때, 제1 기판 지지핀(161)의 측방 이동은 제1 기판 지지핀(161)이 설치되는 서브 이동판(163)의 이동에 의해서 가능하다.In this case, the lateral movement of the first substrate support pin 161 is possible by the movement of the sub moving plate 163 on which the first substrate support pin 161 is installed.

상부 플레이트(152)에는 기판 지지핀(151)이 측방으로 이동될 수 있도록 긴 원형의 관통공(132)이 형성될 수 있다.A long circular through hole 132 may be formed in the upper plate 152 so that the substrate support pin 151 may move laterally.

도 2를 참조하면, 상부 플레이트(152)는 기판 지지판(130)의 저면에 배치되며, 상부 플레이트(152)의 관통공(132)은 기판 지지판(130)의 관통공(132)과 동일하게 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the upper plate 152 is disposed on the bottom surface of the substrate support plate 130, and the through hole 132 of the upper plate 152 is formed in the same manner as the through hole 132 of the substrate support plate 130. Can be.

서브 이동판(163)에는 좌우 이동수단(165)이 구비될 수 있다.The sub moving plate 163 may be provided with left and right moving means 165.

좌우 이동수단(165)은 서브 이동판(163)이 미끄럼 이동되는 레일(166), 모터(167), 및 리드 스크류(미도시)의 조합을 포함할 수 있다.The left and right movement means 165 may include a combination of a rail 166, a motor 167, and a lead screw (not shown) in which the sub moving plate 163 is slid.

도 7과 도 8에서 체인형상으로 도시된 구성은 모터를 구동시키기 위한 전선이 유동적으로 배치되는 슈트 조립체(168)이다.The configuration shown in chains in FIGS. 7 and 8 is the chute assembly 168 in which the wires for driving the motors are fluidly disposed.

한편, 기판의 검사/수리부(103)는 기판의 불량 화소를 검색하는 광학 영상부와 광학 영상부에 의해 검색된 컬러 필터의 불량 화소를 레이저에 의해 가열하여 검게 변화시키는 레이저 조사부를 포함할 수 있다.The inspection / repair unit 103 of the substrate may include an optical imaging unit for searching for defective pixels of the substrate and a laser irradiation unit for heating the defective pixels of the color filter retrieved by the optical imaging unit by using a laser to change the black. .

불량 화소는 구동되지 않으므로 평판 디스플레이에서 흰색의 점으로 눈에 띄게 되지만, 레이저에 의해 가열되어 검게 변색됨으로써 눈의 띄지 않게 될 수 있다.Since the bad pixels are not driven, they are noticeable as white spots on the flat panel display, but they may become invisible by being heated by a laser and discolored black.

기판의 검사/수리부(103)는 레이저에 의해 컬러 필터를 검게 변화시키는 기능을 갖는 구성으로만 한정되지 않으며, 언급한 바와 같은 컬러 필터의 결함뿐만 아니라 기판의 결함을 수정하기 위한 다양한 기능을 가질 수 있다.The inspection / repair portion 103 of the substrate is not limited to the configuration having the function of changing the color filter black by a laser, and has various functions for correcting the defect of the substrate as well as the defect of the color filter as mentioned above. Can be.

기판의 검사/수리부(103)에 의한 기판의 불량 화소에 대한 검색, 검사, 및 수리과정은 통상적으로 알려진 기판의 검사/수리과정의 방법이 채택될 수 있다.Searching, inspection, and repair of defective pixels of the substrate by the inspection / repair portion 103 of the substrate may employ a commonly known method of inspection / repair of the substrate.

또한, 갠트리부(100)의 이동체(108), 스테이지부(120)의 가변 클램프(126), 백라이트의 광원(145), 기판 지지부(150)의 기판 지지핀(151)의 X/Y축 방향 또는 상하이동 등을 위한 구성은 일 예로 제시한 모터나 리드 스크류 또는 볼 스크류에 의해 한정되는 것은 아니며, 동일한 방향으로 이동과 위치의 정밀도 및 제어의 편리성을 제공할 수 있는 다양한 구동 요소가 사용될 수 있다.The moving body 108 of the gantry part 100, the variable clamp 126 of the stage part 120, the light source 145 of the backlight, and the X / Y axis direction of the substrate support pin 151 of the substrate support part 150. Or, the structure for the shanghai, etc. is not limited to the motor, the lead screw or the ball screw presented as an example, various driving elements that can provide the precision of the movement and position and the convenience of control in the same direction can be used. have.

다른 예로서, 리니어 모터, 공압 실린더, 벨트, 풀리 등이 사용될 수 있다.As another example, a linear motor, pneumatic cylinder, belt, pulley, or the like can be used.

한편, 본 발명의 기판 수리 장치는 액정 표시 패널의 휘점 셀 리페어 분야에 한정되게 채용되는 것은 아니며, 예를 들어 유기 발광 표시 패널의 리페어 분야, 레이저 CVD 분야 등 레이저를 이용하여 기판을 수리, 또는 처리하는 모든 분야에 채용할 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the substrate repair apparatus of the present invention is not limited to the bright cell repair field of the liquid crystal display panel. For example, the substrate repair apparatus repairs or processes the substrate using a laser such as a repair field of an organic light emitting display panel or a laser CVD field. Of course, it can be employed in all fields.

상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술 사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.The drawings of the embodiments of the present invention described above are omitted in detail, and are schematically illustrated so as to easily identify parts belonging to the technical idea of the present invention. In addition, the embodiments are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but are merely a reference for understanding the technical matters included in the claims of the present invention.

100: 갠트리부 103: 검사/수리부
105: X축 레일 106: Y축 레일
107: 정반 108: 이동체
109: 로드댐퍼 110: 공압부
120: 스테이지부 121, 122: 제1, 2 스테이지부
123: 고정 프레임 125: 고정 클램프
126: 가변 클램프 126a: 제1 가변 클램프
126b: 제2 가변 클램프 127: 클램프 레일
130: 기판 지지판 131: 흡착공
132: 관통공 135: 고정대
140: 백라이트부 141: X/Y 이동 스테이지
145: 광원 150: 기판 지지부
151: 기판 지지핀 152: 상부 플레이트
153: 상하 이동판 154: 구동모터
155: 볼 스크류 156: 하부 플레이트
157: 지지 가이드 161: 제1 기판 지지핀
162: 제2 기판 지지핀 163: 서브 이동판
164: 고정 이동판 165: 좌우 이동수단
168: 슈트 조립체100: gantry portion 103: inspection / repair unit
105: X axis rail 106: Y axis rail
107: surface plate 108: moving object
109: road damper 110: pneumatic part
120: stage portion 121, 122: first and second stage portions
123: fixed frame 125: fixed clamp
126: variable clamp 126a: first variable clamp
126b: second variable clamp 127: clamp rail
130: substrate support plate 131: adsorption holes
132: through hole 135: fixing table
140: backlight 141: X / Y moving stage
145: light source 150: substrate support
151: substrate support pin 152: upper plate
153: vertical moving plate 154: drive motor
155: ball screw 156: lower plate
157: support guide 161: first substrate support pin
162: second substrate support pin 163: sub moving plate
164: fixed moving plate 165: left and right moving means
168: chute assembly

Claims (11)

기판의 검사/수리부(103)가 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리부(100);
상기 갠트리부(100)에 설치되고 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부(120);
상기 갠트리부(100)에 설치되고 상기 검사/수리부(103)와 위치가 동기화되어 기판을 조명하는 백라이트부(140); 및
상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되며 기판을 로딩받아 상기 스테이지부(120) 상에 안착시키는 기판 지지부(150)를 포함하고,
상기 스테이지부(120)는 기판의 일측 모서리가 고정된 상태에서 기판의 사이즈에 따라 X/Y 축 방향으로 이동하여 기판의 반대측 모서리를 고정시키는 클램프 수단(125, 126);
을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.A gantry portion 100 in which the inspection / repair portion 103 of the substrate is installed to be movable in the X / Y axis direction;
A stage unit 120 installed on the gantry unit 100 and loaded with a substrate;
A backlight unit 140 installed on the gantry unit 100 to synchronize a position with the inspection / repair unit 103 to illuminate a substrate; And
It is installed on the lower portion of the stage unit 120 and includes a substrate support unit 150 for receiving a substrate and seated on the stage unit 120,
The stage unit 120 includes a clamp means (125, 126) for fixing the opposite edge of the substrate to move in the X / Y axis direction according to the size of the substrate in a state that one side of the substrate is fixed;
Substrate repair apparatus comprising a. 제1항에 있어서,
상기 스테이지부(120)는 사각 형상으로 설치되며 2개의 기판을 로딩받을 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The stage unit 120 is installed in a rectangular shape and the substrate repair apparatus, characterized in that configured to receive the two substrates loaded. 제1항에 있어서,
상기 스테이지부(120)는 사각 형상의 고정 프레임(123)을 포함하고,
상기 클램프 수단(125, 126)은 상기 고정 프레임(123)의 모서리측에 설치되고 기판의 모서리를 지지하여 기판의 위치를 고정하고 직각으로 배치되는 고정 클램프(125);
상기 고정 클램프(125)에 대향하게 직각으로 배치되어 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가변 클램프(126); 및
상기 고정 프레임(123)에 설치되고 기판이 안착되는 기판 지지판(130);
을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The stage unit 120 includes a square fixed frame 123,
The clamp means (125, 126) is installed on the corner side of the fixing frame 123, the fixing clamp 125 for supporting the edge of the substrate to fix the position of the substrate and disposed at right angles;
A variable clamp 126 disposed perpendicularly to the fixed clamp 125 to be movable in the X / Y-axis direction; And
A substrate support plate 130 installed on the fixing frame 123 and seated on the substrate;
Substrate repair apparatus comprising a. 제3항에 있어서,
상기 가변 클램프(126)는 기판에 점 접촉하는 롤러를 구비하여 직각으로 배치되는 제1 가변 클램프(126a)(126)와 제2 가변 클램프(126b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 3,
The variable clamp (126) includes a first variable clamp (126a) and a second variable clamp (126b) disposed at right angles with rollers in point contact with the substrate. 제3항에 있어서,
상기 기판 지지판(130)은 기판을 흡착하는 진공이 제공되는 흡착공(131)과, 상기 흡착공(131)과 X축 방향으로 교대로 배치되며 상기 기판 지지부(150)의 상하 이동을 허용하는 관통공(132)을 포함하며, 상기 관통공(132)은 상기 기판 지지판(130) 상에 2열로 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 3,
The substrate support plate 130 is provided with a suction hole 131 provided with a vacuum for adsorbing the substrate, and the suction hole 131 is alternately disposed in the X-axis direction to allow vertical movement of the substrate support part 150. And a hole (132), wherein the through hole (132) is disposed on both sides of the substrate support plate (130) in two rows. 제5항에 있어서,
상기 기판 지지부(150)와 상기 흡착공(131)은 기판의 면적에 따라 선택적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 5,
The substrate support unit 150 and the suction hole 131 is selectively operated according to the area of the substrate. 제1항에 있어서,
상기 백라이트부(140)는 스테이지부(120)의 하부에 설치되며, 빛을 조사하는 광원(145)이 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 X/Y 이동 스테이지(141)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The backlight unit 140 is installed below the stage unit 120, the light source 145 for irradiating light includes an X / Y moving stage 141 is installed to be movable in the X / Y axis direction Board repair apparatus characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 기판 지지부(150)는 기판의 사이즈의 따라 선택적으로 상승되어 기판을 지지하는 다수의 기판 지지핀(151);
상기 기판 지지핀(151)이 통과하는 관통공(132)이 형성되는 상부 플레이트(152);
상기 상부 플레이트(152)의 하부에 배치되고, 상기 기판 지지핀(151)이 상면부에 설치되며, 상하로 이동되게 구동되는 상하 이동판(153);
상기 상부 플레이트(152)에 대면하게 상기 갠트리부 상에 설치되는 하부 플레이트(156); 및
상기 하부 플레이트(156)의 모서리측에 설치되어 상기 상부 플레이트(152)를 지지하고 상기 상하 이동판(153)이 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 지지 가이드(157);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The substrate support part 150 may include a plurality of substrate support pins 151 which are selectively raised according to the size of the substrate to support the substrate;
An upper plate 152 through which a through hole 132 through which the substrate support pin 151 passes is formed;
A vertical movement plate 153 disposed below the upper plate 152 and installed on the upper surface portion of the substrate support pin 151 to be driven to move up and down;
A lower plate 156 installed on the gantry portion facing the upper plate 152; And
A support guide 157 installed at a corner of the lower plate 156 to support the upper plate 152 and to allow the vertical movement plate 153 to be slidable;
Substrate repair apparatus comprising a. 제8항에 있어서,
상기 기판 지지핀(151)은 2열로 12개가 설치되며, 이 중 4개가 독립적으로 상승 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 8,
The board support pins 151 are provided in two rows of 12, substrate repair apparatus, characterized in that four of them are configured to be independently liftable. 제8항에 있어서,
상기 상하 이동판(153) 상에는 일부의 상기 기판 지지핀(151)을 상하로 이동시킬 수 있는 서브 이동판(163)이 설치되고, 상기 서브 이동판(163) 상의 좌측에는 독립적으로 승강 가능한 4개의 제1 기판 지지핀(161)이 2열로 설치되며, 우측에는 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 8개의 제2 기판 지지핀(152)이 2열로 설치되고, 상기 제2 기판 지지핀(152)은 상기 서브 이동판(163)이 상하로 이동 가능하게 슬라이드 결합되고 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 고정 이동판(164) 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 8,
On the vertical moving plate 153, a sub moving plate 163 capable of moving a part of the substrate support pins 151 up and down is provided, and on the left side of the sub moving plate 163, four independent movable members are provided. The first substrate support pins 161 are installed in two rows, and on the right side, eight second substrate support pins 152 which are elevated together with the vertical moving plate 153 are installed in two rows, and the second substrate support pins ( 152 is a substrate repair apparatus, characterized in that the sub-moving plate (163) is slidably coupled to move up and down and installed on a fixed moving plate (164) which is elevated with the vertical moving plate (153). 제8항에 있어서,
상기 기판 지지판(130)은 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 상부 플레이트(152)에는 상기 기판 지지핀(151)이 측방으로 이동될 수 있게 긴 원형의 관통공(132)이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 8,
The substrate support plate 130 is installed to be movable in the Y-axis direction, the upper plate 152 is formed with a long circular through hole 132 so that the substrate support pin 151 can be moved laterally Board repair apparatus characterized in that.
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