KR20120060348A - Apparatus for repairing a substrate - Google Patents
Apparatus for repairing a substrate Download PDFInfo
- Publication number
- KR20120060348A KR20120060348A KR1020100121803A KR20100121803A KR20120060348A KR 20120060348 A KR20120060348 A KR 20120060348A KR 1020100121803 A KR1020100121803 A KR 1020100121803A KR 20100121803 A KR20100121803 A KR 20100121803A KR 20120060348 A KR20120060348 A KR 20120060348A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- substrate support
- plate
- unit
- stage
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/54—Arrangements for reducing warping-twist
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 기판 수리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 사이즈의 기판을 적재하여 기판의 불량을 검사하고 수리할 수 있는 기판 수리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate repair apparatus, and more particularly, to a substrate repair apparatus capable of inspecting and repairing a defect of a substrate by loading substrates of various sizes.
평판 디스플레이는 투명한 기판 사이에 매트릭스 형태로 배열되는 다수개의 화소가 형성된 평판 표시 패널을 포함한다. 평판 표시 패널의 화소는 전기 배선인 다수개의 데이터 라인과 게이트 라인에 인가되는 전기 신호에 의해 구동된다.The flat panel display includes a flat panel display panel in which a plurality of pixels are arranged in a matrix form between transparent substrates. The pixels of the flat panel display panel are driven by electrical signals applied to a plurality of data lines and gate lines, which are electrical wiring lines.
일 예로, 액정 표시 장치는 비디오 신호에 따라 액정의 광 투과율을 조절하여 이미지를 디스플레이한다. 이를 위하여, 액정 표시 장치는 매트릭스 형태로 배열된 셀들을 구비하는 액정 표시 패널과 비디오 신호에 따라 각 셀의 광 투과율을 제어하는 구동회로를 포함한다.For example, the liquid crystal display displays an image by adjusting the light transmittance of the liquid crystal according to the video signal. To this end, the liquid crystal display includes a liquid crystal display panel having cells arranged in a matrix form and a driving circuit for controlling light transmittance of each cell according to a video signal.
액정 표시 패널을 생산하는 업체에서 액정 표시 패널의 불량 여부를 판정하는 기준은 액정 표시 패널에 포함된 불량 셀의 개수이다. 불량 셀은 휘점 셀과 암점 셀로 나눌 수 있는데, 통상적으로 허용되는 휘점 셀의 개수가 암점 셀의 개수보다 엄격하다. 이러한 이유 때문에 휘점 셀을 암점화 하여 액정표시패널의 수율을 높이는 것이 가능하다. 예를 들어, 휘점 셀은 전혀 허용되지 않고 암점 셀은 1개까지 허용될 경우에 하나의 휘점 셀을 갖는 액정 표시 패널에서 휘점 셀을 암점 셀로 바꾸면 액정 표시 패널은 정상 패널이 될 수 있다.The standard for determining whether a liquid crystal display panel is defective in a company producing a liquid crystal display panel is the number of defective cells included in the liquid crystal display panel. A bad cell can be divided into a bright point cell and a dark point cell. In general, the allowable number of bright point cells is stricter than the number of dark point cells. For this reason, it is possible to increase the yield of the liquid crystal display panel by darkening the bright point cell. For example, when no bright spot cell is allowed at all and up to one dark spot cell is allowed, the liquid crystal display panel may be a normal panel when the bright spot cell is replaced with a dark spot cell in a liquid crystal display panel having one bright spot cell.
액정 표시 패널의 결함을 수리하는 장치는 갠트리부, 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부, 및 X/Y 축으로 이동하면서 스테이지 상의 기판을 검사하고 동시에 수리하는 기판 검사/수리부를 포함한다.The apparatus for repairing a defect of the liquid crystal display panel includes a gantry portion, a stage portion on which the substrate is loaded and fixed, and a substrate inspection / repair portion for inspecting and simultaneously repairing the substrate on the stage while moving in the X / Y axis.
그러나, 종래의 액정 표시 패널의 결함을 수리하는 장치는 스테이지부에 대한 각 기판의 얼라인먼트를 중앙으로 맞추어야 작업이 가능했기 때문에 작업 중인 사이즈와 다른 사이즈의 기판이 스테이지부 상에 로딩될 때, 스테이지부에 대한 기판의 얼라인먼트를 다시 수행해야 하는 작업 공정이 추가되며, 기판을 스테이지부 상에 로딩하는 지지핀의 위치가 다양한 사이즈의 기판의 크기에 맞게 배열되지 못하여 기판의 휨이 발생되는 문제점이 있었다.However, in the conventional apparatus for repairing defects of the liquid crystal display panel, it is possible to work by centering the alignment of each substrate with respect to the stage portion, so that when a substrate having a size different from the working size is loaded on the stage portion, the stage portion There is a problem that the work process that needs to perform the alignment of the substrate for the re-added, the support pin for loading the substrate on the stage portion is not arranged to match the size of the substrate of various sizes, there is a problem that the bending of the substrate occurs.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 다양한 사이즈의 기판이 스테이지부에 로딩될 때 스테이지부에 대한 각 기판의 얼라인먼트가 자동으로 수행되고, 기판의 사이즈에 따라 지지핀의 위치가 적합하게 배열되어 기판의 휨을 방지할 수 있는 기판 수리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, the alignment of each substrate with respect to the stage portion is automatically performed when the substrate of various sizes is loaded on the stage portion, the support pin according to the size of the substrate It is an object of the present invention to provide a substrate repair apparatus that can be properly arranged so as to prevent warpage of the substrate.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 수리 장치는 기판의 검사/수리부(103)가 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리부(100); 상기 갠트리부(100)에 설치되고 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부(120); 상기 갠트리부(100)에 설치되고 상기 검사/수리부(103)와 위치가 동기화되어 기판을 조명하는 백라이트부(140); 및 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되며 기판을 로딩받아 상기 스테이지부(120) 상에 안착시키는 기판 지지부(150)를 포함하고, 상기 스테이지부(120)는 기판의 일측 모서리가 고정된 상태에서 기판의 사이즈에 따라 X/Y 축 방향으로 이동하여 기판의 반대측 모서리를 고정시키는 클램프 수단(125, 126)을 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, the apparatus for repairing a substrate according to the present invention includes a
상기 스테이지부(120)는 사각 형상으로 설치되며 2개의 기판을 로딩받을 수 있도록 구성될 수 있다.The
상기 스테이지부(120)는 사각 형상의 고정 프레임(123)을 포함하고, 상기 클램프 수단(125, 126)은 상기 고정 프레임(123)의 모서리측에 설치되고 기판의 모서리를 지지하여 기판의 위치를 고정하고 직각으로 배치되는 고정 클램프(125); 상기 고정 클램프(125)에 대향하고 직각으로 배치되어 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가변 클램프(126); 및 상기 고정 프레임(123)에 설치되고 기판이 안착되는 기판 지지판(130)을 포함할 수 있다.The
상기 가변 클램프(126)는 기판에 점 접촉하는 롤러를 구비하여 직각으로 배치되는 제1 가변 클램프(126a)와 제2 가변 클램프(126b)를 포함할 수 있다.The
상기 기판 지지판(130)은 기판을 흡착하는 진공이 제공되는 흡착공(131)과, 상기 흡착공(131)과 X축 방향으로 교대로 배치되며 상기 기판 지지부(150)의 상하 이동을 허용하는 관통공(132)을 포함하며, 상기 관통공(132)은 기판 지지판(130) 상에 2열로 양측에 배치될 수 있다.The
상기 기판 지지부(150)와 상기 흡착공(131)은 기판의 면적에 따라 선택적으로 작동될 수 있다.The substrate support
상기 백라이트부(140)는 스테이지부(120)의 하부에 설치되며, 빛을 조사하는 광원(145)이 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 X/Y 이동 스테이지(141)를 포함할 수 있다.The
상기 기판 지지부(150)는 기판의 사이즈의 따라 선택적으로 상승되어 기판을 지지하는 다수의 기판 지지핀(151); 상기 기판 지지핀(151)이 통과하는 관통공(132)이 형성되는 상부 플레이트(152); 상기 상부 플레이트(152)의 하부에 배치되고, 상기 기판 지지핀(151)이 상면부에 설치되며, 상하로 이동되게 구동되는 상하 이동판(153); 상기 상부 플레이트(152)에 대면하게 상기 갠트리부(100) 상에 설치되는 하부 플레이트(156); 및 상기 하부 플레이트(156)의 모서리측에 설치되어 상기 상부 플레이트(152)를 지지하고 상기 상하 이동판(153)이 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 지지 가이드(157)를 포함할 수 있다.The
상기 기판 지지핀(151)은 2열로 12개가 설치되며, 이중 4개가 독립적으로 상승 가능하도록 구성될 수 있다.Twelve
상기 상하 이동판(153) 상에는 일부의 상기 기판 지지핀(151)을 상하로 이동시킬 수 있는 서브 이동판(163)이 설치되고, 상기 서브 이동판(163) 상의 좌측에는 독립적으로 승강 가능한 4개의 제1 기판 지지핀(161)이 2열로 설치되며, 우측에는 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 8개의 제2 기판 지지핀(152)이 2열로 설치되고, 상기 제2 기판 지지핀(152)은 상기 서브 이동판(163)이 상하로 이동 가능하게 슬라이드 결합되고 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 고정 이동판(164) 상에 설치될 수 있다. On the vertical moving
상기 기판 지지판(130)은 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 상부 플레이트(152)에는 상기 기판 지지핀(151)이 측방으로 이동될 수 있도록 긴 원형의 관통공(132)이 형성될 수 있다.The
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 기판 수리 장치는 다양한 사이즈의 기판이 스테이지부에 로딩될 때 스테이지부에 대한 각 기판의 얼라인먼트가 자동으로 수행되고, 기판의 사이즈에 따라 지지핀의 위치가 적합하게 배열되어 다양한 사이즈의 기판을 스테이지부 상에 자동으로 로딩시킬 수 있고, 기판 지지핀이 측방으로 이동하여 상부 플레이트의 측부에 가깝게 배치되어 기판의 지지되지 않는 마진과 지지되는 무게의 편중을 줄임으로써 기판의 휨 현상을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In the substrate repair apparatus according to the present invention as described above, when substrates of various sizes are loaded into the stage unit, alignment of each substrate to the stage unit is automatically performed, and the positions of the support pins are appropriately arranged according to the size of the substrate. Substrates of various sizes can be automatically loaded onto the stage, and the substrate support pins are moved laterally and placed close to the sides of the top plate to reduce the unsupported margin of the substrate and the weight of the supported weight. The effect which can prevent a warpage phenomenon can be obtained.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수리 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 스테이지부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 백라이트부의 사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 지지부의 사시도이다.
도 5는 도 4의 기판 지지부의 제1, 2 기판 지지핀의 리프트 업 상태의 측면도이다.
도 6은 도 4의 기판 지지부의 제1 기판 지지핀의 리프트 다운 상태의 측면도이다.
도 7은 도 5의 정면도이다.
도 8은 도 6의 정면도이다.1 is a perspective view of a substrate repair apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the stage part of FIG. 1. FIG.
3 is a perspective view of the backlight unit of FIG. 1.
4 is a perspective view of the substrate support of FIG. 1.
5 is a side view of the lift-up state of the first and second substrate support pins of the substrate support of FIG. 4.
6 is a side view of the lifted-down state of the first substrate support pin of the substrate support of FIG. 4.
7 is a front view of FIG. 5.
8 is a front view of FIG. 6.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.DETAILED DESCRIPTION The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that show, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are different but need not be mutually exclusive. For example, certain features, structures, and characteristics described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with an embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description, therefore, is not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if properly described, is defined only by the appended claims, along with the full range of equivalents to which such claims are entitled. In the drawings, like reference numerals refer to the same or similar functions throughout the several aspects, and length, area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수리 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate repair apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수리 장치는 기판의 검사/수리부(103)가 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리부(100), 갠트리부(100)에 설치되고 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부(120), 갠트리부(100)에 설치되고 검사/수리부(103)와 동기화되어 기판을 조명하는 백라이트부(140), 및 스테이지부(120)의 하부에 설치되며 기판을 로딩받아 스테이지부(120) 상에 안착시키는 기판 지지부(150)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the apparatus for repairing a substrate according to an embodiment of the present invention includes a
갠트리부(100)는 기판의 검사/수리부(103)가 이동가능하도록 X축 레일(105)과 Y축 레일(106)을 구비할 수 있다.The
X축 레일(105)은 정반(107)의 양측부에 설치되며, Y축 레일(106)은 X축 레일(105) 상에 이동가능하게 구속되는 이동체(108)에 설치될 수 있다.The
이동체(108)는 정반(107)의 Y축 방향을 따라 형성되어 X축 방향을 따라 이동될 수 있다. The
이동체(108)의 이동수단은 통상적으로 X/Y 축 방향의 이동을 위한 각각의 모터(미도시)와 리드 스크류(미도시)의 조합을 포함할 수 있다.The moving means of the moving
정반(107)의 저면에는 진동을 감쇠하는 다수의 로드댐퍼(109)가 설치될 수 있다.A plurality of
갠트리부(100)의 후방에는 스테이지부(120) 상에 안착되는 기판을 흡착하여 고정하기 위한 공압부(110)가 설치될 수 있다.A
도 2는 도 1의 스테이지부(120)의 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view of the
도 2를 참조하면, 스테이지부(120)는 사각형상으로 설치되며, 양측으로 나누어져 2개의 기판을 한 번에 로딩받을 수 있도록 구성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the
즉, 정반(107) 상에는 동일하게 구성된 제1, 2 스테이지부(121, 122)가 구성될 수 있다.That is, on the
스테이지부(120)는 틀을 제공하고 두 부분으로 평면이 나누어진 사각 형상의 고정 프레임(123)과, 고정 프레임(123)의 모서리 측에 설치되고 기판의 모서리를 지지하여 기판의 위치를 고정하고 직각으로 배치된 고정 클램프(125)와, 고정 클램프(125)에 대향하게 직각으로 배치되어 이동 가능하게 구성되는 가변 클램프(126)와, 기판이 안착되는 기판 지지판(130)을 포함할 수 있다.The
고정 클램프(125)와 가변 클램프(126)에 의해 형성되는 직사각형 면적은 기판 지지판(130) 상에서 가변 클램프(126)의 이동에 의해 조절될 수 있다.The rectangular area formed by the fixed
고정 클램프(125)와 가변 클램프(126)의 직사각형 면적은 기판의 사이즈에 해당된다.The rectangular areas of the fixed
즉, 스테이지부(120)는 로딩되는 다양한 사이즈의 기판의 면적에 따라 가변 클램프(126)가 자동적으로 조절되어 기판이 고정될 수 있다.That is, the
가변 클램프(126)는 기판에 점 접촉하는 롤러(R)를 구비한 제1 가변 클램프(126a)와 제2 가변 클램프(126b)를 포함한다.The
제1 가변 클램프(126a)는 클램프 레일(127)을 따라 이동 가능하게 구성된다.The first
제2 가변 클램프(126b)도 제1 가변 클램프(126a)의 클램프 레일(127)에 대해 직각으로 배치되는 레일(미도시)을 따라 이동가능하게 구성될 수 있다.The second variable clamp 126b may also be configured to be movable along a rail (not shown) disposed at a right angle with respect to the
가변 클램프(126)도 모터(미도시)와 리드 스크류(미도시)의 조합에 의해 이동될 수 있다.The
기판 지지판(130) 상에 도시된 각각의 직사각형 라인(a, b, c, d)은 로딩되는 사이즈에 따른 가상의 기판을 도시한 것이다.Each rectangular line a, b, c, d shown on the
기판 지지판(130)은 기판을 흡착하는 진공이 제공되는 흡착공(131)과, 흡착공(131)과 X축 방향으로 교대로 배치되며 기판을 지지하기 위한 기판 지지부(150)의 상하 이동을 허용하는 관통공(132)을 포함할 수 있다.The
관통공(132)은 기판 지지핀(151)이 기판의 사이즈에 따라 기판을 지지하여 받을 수 있도록 기판 지지판(130) 상에 2열로 양측에 배치될 수 있다.The through
스테이지부(120) 상에 기판을 로딩시키는 로봇 암(미도시)에 대한 간섭을 방지하기 위해서 기판 지지핀(151)은 하나의 스테이지부(120)에서 2열로 설치되고, 로봇 암(미도시)은 2열의 기판 지지핀(151) 사이로 출입할 수 있다.In order to prevent interference with the robot arm (not shown) that loads the substrate on the
기판 지지핀(151)과 흡착공(131)은 기판의 면적에 따라 선택적으로 작동되게 구성될 수 있다.The
고정 프레임(123)의 변부를 따라서는 정반(107)에 고정 프레임(123)을 지지하기 위한 고정대(135)가 구비될 수 있다.Along the sides of the fixing
도 3은 도 1의 백라이트부(140)의 사시도이다.3 is a perspective view of the
도 3을 참조하면, 백라이트부(140)는 각 스테이지부(120)의 하부에 설치되며, 빛을 조사하는 광원(145)이 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 X/Y 이동 스테이지(141)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the
X/Y 이동 스테이지(141)는 모터(146, 147)와 스크류 조합에 의해 X/Y 축 좌표이동을 제공하는 통상적인 평면 이동수단이다.The X /
광원(145)은 기판의 저면에서 기판의 화소를 향해 빛을 조사하는 LED를 포함할 수 있다.The
광원(145)은 LED 뿐만 아니라 빛을 제공할 수 있는 다양한 구성을 포함할 수 있다.
광원(145)은 기판의 검사/수리부(103)의 위치와 동기화되어 X/Y 축 방향으로 이동되면서 기판의 화소를 조명할 수 있으며, 검사/수리부(103)는 광원(145)의 빛에 의해 밝혀진 화소를 촬영하여 불량을 검색 및 검사하고, 레이저를 조사하여 수리할 수 있다.The
도 4는 도 1의 기판 지지부(150)의 사시도이다.4 is a perspective view of the
도 5는 도 4의 기판 지지부(150)의 제1, 2 기판 지지핀(161, 162)의 리프트 업 상태의 측면도이다.5 is a side view of the lift-up state of the first and second substrate support pins 161 and 162 of the
도 6은 도 4의 기판 지지부(150)의 제1 기판 지지핀(161)의 리프트 다운 상태의 측면도이다.FIG. 6 is a side view of the lifted-down state of the first
도 7은 도 5의 정면도이다.7 is a front view of FIG. 5.
도 8은 도 6의 정면도이다.8 is a front view of FIG. 6.
도 1과 도 4 및 도 5를 참조하면, 기판 지지부(150)는 상하로 이동하며 기판을 지지하는 다수의 기판 지지핀(151), 기판 지지핀(151)이 통과하는 상부 플레이트(152), 기판 지지핀(151)이 상면부에 설치되는 상하 이동판(153), 상하 이동판(153)을 이동시키는 구동모터(154)와 볼 스크류(155), 상부 플레이트(152)에 대면하게 정반(107) 상에 설치되는 하부 플레이트(156), 하부 플레이트(156)의 모서리측에 설치되어 상부 플레이트(152)를 지지하고 상하 이동판(153)이 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 지지 가이드(157)를 포함할 수 있다.1, 4, and 5, the
기판 지지핀(151)은 대형 기판의 로딩시에는 전체가 상방으로 이동하여 기판을 지지하며, 소형 기판의 로딩 시에는 일부가 독립적으로 상승하여 기판을 지지할 수 있다.The
일 예로, 도 6을 참조하면, 기판 지지핀(151)은 12개 중 4개가 상승하여 4개로 이루어진 면적에 해당하는 소형 기판을 지지할 수 있다.For example, referring to FIG. 6, the
기판 지지핀(151)은 소형 기판의 지지를 위해 일부만 독립적으로 승하강시킬 수 있는 구동 체계를 가질 수 있다.The
즉, 상하 이동판(153) 상에는 일부의 기판 지지핀(151)을 상하로 이동시킬 수 있는 서브 이동판(163)이 설치될 수 있다.That is, the
서브 이동판(163) 상의 좌측에는 독립적으로 승강 가능한 4개의 제1 기판 지지핀(161)이 설치되며, 우측에는 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 8개의 제2 기판 지지핀(152)이 설치될 수 있다.Four first substrate support pins 161 which are independently liftable are installed on the left side of the
제2 기판 지지핀(152)은 서브 이동판(163)이 상하로 이동가능하게 슬라이드 결합되는 고정 이동판(164) 상에 설치될 수 있다.The second
고정 이동판(164)은 상하 이동판(153) 상에 설치되어 상하 이동판(153)과 함께 승강되게 구성된다.The fixed moving
다시, 도 7과 도 8을 참조하면, 도 7은 제1, 2 기판 지지핀(151)이 대형 기판을 지지할 때 위치 상태를 나타내며, 도 8은 제1 기판 지지핀(161)이 소형 기판을 지지할 때 위치 상태를 나타낸다.Referring again to FIGS. 7 and 8, FIG. 7 illustrates a position state when the first and second substrate support pins 151 support the large substrate, and FIG. 8 illustrates that the first substrate support pins 161 are the small substrates. It indicates the position status when supporting.
도 7과 도 8을 비교하면, 제1 기판 지지핀(161)이 상부 플레이트(152)의 좌측 부분으로 이동 가능함을 알 수 있다. 7 and 8, it can be seen that the first
즉, 도 1의 기판 지지부(150)가 소형 기판을 지지할 때, 제1 기판 지지핀(161)은 스테이지부(120)에서 좌측으로 이동하여 상부 플레이트(152)의 좌측 부분에 가깝게 배치되고(거리 d가 d'로 변화됨), 기판의 지지되지 않는 마진과 지지되는 무게의 편중을 줄임으로써 기판의 휨 현상을 방지할 수 있다.That is, when the
이때, 제1 기판 지지핀(161)의 측방 이동은 제1 기판 지지핀(161)이 설치되는 서브 이동판(163)의 이동에 의해서 가능하다.In this case, the lateral movement of the first
상부 플레이트(152)에는 기판 지지핀(151)이 측방으로 이동될 수 있도록 긴 원형의 관통공(132)이 형성될 수 있다.A long circular through
도 2를 참조하면, 상부 플레이트(152)는 기판 지지판(130)의 저면에 배치되며, 상부 플레이트(152)의 관통공(132)은 기판 지지판(130)의 관통공(132)과 동일하게 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the
서브 이동판(163)에는 좌우 이동수단(165)이 구비될 수 있다.The
좌우 이동수단(165)은 서브 이동판(163)이 미끄럼 이동되는 레일(166), 모터(167), 및 리드 스크류(미도시)의 조합을 포함할 수 있다.The left and right movement means 165 may include a combination of a
도 7과 도 8에서 체인형상으로 도시된 구성은 모터를 구동시키기 위한 전선이 유동적으로 배치되는 슈트 조립체(168)이다.The configuration shown in chains in FIGS. 7 and 8 is the
한편, 기판의 검사/수리부(103)는 기판의 불량 화소를 검색하는 광학 영상부와 광학 영상부에 의해 검색된 컬러 필터의 불량 화소를 레이저에 의해 가열하여 검게 변화시키는 레이저 조사부를 포함할 수 있다.The inspection /
불량 화소는 구동되지 않으므로 평판 디스플레이에서 흰색의 점으로 눈에 띄게 되지만, 레이저에 의해 가열되어 검게 변색됨으로써 눈의 띄지 않게 될 수 있다.Since the bad pixels are not driven, they are noticeable as white spots on the flat panel display, but they may become invisible by being heated by a laser and discolored black.
기판의 검사/수리부(103)는 레이저에 의해 컬러 필터를 검게 변화시키는 기능을 갖는 구성으로만 한정되지 않으며, 언급한 바와 같은 컬러 필터의 결함뿐만 아니라 기판의 결함을 수정하기 위한 다양한 기능을 가질 수 있다.The inspection /
기판의 검사/수리부(103)에 의한 기판의 불량 화소에 대한 검색, 검사, 및 수리과정은 통상적으로 알려진 기판의 검사/수리과정의 방법이 채택될 수 있다.Searching, inspection, and repair of defective pixels of the substrate by the inspection /
또한, 갠트리부(100)의 이동체(108), 스테이지부(120)의 가변 클램프(126), 백라이트의 광원(145), 기판 지지부(150)의 기판 지지핀(151)의 X/Y축 방향 또는 상하이동 등을 위한 구성은 일 예로 제시한 모터나 리드 스크류 또는 볼 스크류에 의해 한정되는 것은 아니며, 동일한 방향으로 이동과 위치의 정밀도 및 제어의 편리성을 제공할 수 있는 다양한 구동 요소가 사용될 수 있다.The moving
다른 예로서, 리니어 모터, 공압 실린더, 벨트, 풀리 등이 사용될 수 있다.As another example, a linear motor, pneumatic cylinder, belt, pulley, or the like can be used.
한편, 본 발명의 기판 수리 장치는 액정 표시 패널의 휘점 셀 리페어 분야에 한정되게 채용되는 것은 아니며, 예를 들어 유기 발광 표시 패널의 리페어 분야, 레이저 CVD 분야 등 레이저를 이용하여 기판을 수리, 또는 처리하는 모든 분야에 채용할 수 있음은 물론이다.Meanwhile, the substrate repair apparatus of the present invention is not limited to the bright cell repair field of the liquid crystal display panel. For example, the substrate repair apparatus repairs or processes the substrate using a laser such as a repair field of an organic light emitting display panel or a laser CVD field. Of course, it can be employed in all fields.
상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략한 것으로서, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술 사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.The drawings of the embodiments of the present invention described above are omitted in detail, and are schematically illustrated so as to easily identify parts belonging to the technical idea of the present invention. In addition, the embodiments are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but are merely a reference for understanding the technical matters included in the claims of the present invention.
100: 갠트리부 103: 검사/수리부
105: X축 레일 106: Y축 레일
107: 정반 108: 이동체
109: 로드댐퍼 110: 공압부
120: 스테이지부 121, 122: 제1, 2 스테이지부
123: 고정 프레임 125: 고정 클램프
126: 가변 클램프 126a: 제1 가변 클램프
126b: 제2 가변 클램프 127: 클램프 레일
130: 기판 지지판 131: 흡착공
132: 관통공 135: 고정대
140: 백라이트부 141: X/Y 이동 스테이지
145: 광원 150: 기판 지지부
151: 기판 지지핀 152: 상부 플레이트
153: 상하 이동판 154: 구동모터
155: 볼 스크류 156: 하부 플레이트
157: 지지 가이드 161: 제1 기판 지지핀
162: 제2 기판 지지핀 163: 서브 이동판
164: 고정 이동판 165: 좌우 이동수단
168: 슈트 조립체100: gantry portion 103: inspection / repair unit
105: X axis rail 106: Y axis rail
107: surface plate 108: moving object
109: road damper 110: pneumatic part
120:
123: fixed frame 125: fixed clamp
126:
126b: second variable clamp 127: clamp rail
130: substrate support plate 131: adsorption holes
132: through hole 135: fixing table
140: backlight 141: X / Y moving stage
145: light source 150: substrate support
151: substrate support pin 152: upper plate
153: vertical moving plate 154: drive motor
155: ball screw 156: lower plate
157: support guide 161: first substrate support pin
162: second substrate support pin 163: sub moving plate
164: fixed moving plate 165: left and right moving means
168: chute assembly
Claims (11)
상기 갠트리부(100)에 설치되고 기판이 로딩되어 고정되는 스테이지부(120);
상기 갠트리부(100)에 설치되고 상기 검사/수리부(103)와 위치가 동기화되어 기판을 조명하는 백라이트부(140); 및
상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되며 기판을 로딩받아 상기 스테이지부(120) 상에 안착시키는 기판 지지부(150)를 포함하고,
상기 스테이지부(120)는 기판의 일측 모서리가 고정된 상태에서 기판의 사이즈에 따라 X/Y 축 방향으로 이동하여 기판의 반대측 모서리를 고정시키는 클램프 수단(125, 126);
을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.A gantry portion 100 in which the inspection / repair portion 103 of the substrate is installed to be movable in the X / Y axis direction;
A stage unit 120 installed on the gantry unit 100 and loaded with a substrate;
A backlight unit 140 installed on the gantry unit 100 to synchronize a position with the inspection / repair unit 103 to illuminate a substrate; And
It is installed on the lower portion of the stage unit 120 and includes a substrate support unit 150 for receiving a substrate and seated on the stage unit 120,
The stage unit 120 includes a clamp means (125, 126) for fixing the opposite edge of the substrate to move in the X / Y axis direction according to the size of the substrate in a state that one side of the substrate is fixed;
Substrate repair apparatus comprising a.
상기 스테이지부(120)는 사각 형상으로 설치되며 2개의 기판을 로딩받을 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The stage unit 120 is installed in a rectangular shape and the substrate repair apparatus, characterized in that configured to receive the two substrates loaded.
상기 스테이지부(120)는 사각 형상의 고정 프레임(123)을 포함하고,
상기 클램프 수단(125, 126)은 상기 고정 프레임(123)의 모서리측에 설치되고 기판의 모서리를 지지하여 기판의 위치를 고정하고 직각으로 배치되는 고정 클램프(125);
상기 고정 클램프(125)에 대향하게 직각으로 배치되어 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되는 가변 클램프(126); 및
상기 고정 프레임(123)에 설치되고 기판이 안착되는 기판 지지판(130);
을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The stage unit 120 includes a square fixed frame 123,
The clamp means (125, 126) is installed on the corner side of the fixing frame 123, the fixing clamp 125 for supporting the edge of the substrate to fix the position of the substrate and disposed at right angles;
A variable clamp 126 disposed perpendicularly to the fixed clamp 125 to be movable in the X / Y-axis direction; And
A substrate support plate 130 installed on the fixing frame 123 and seated on the substrate;
Substrate repair apparatus comprising a.
상기 가변 클램프(126)는 기판에 점 접촉하는 롤러를 구비하여 직각으로 배치되는 제1 가변 클램프(126a)(126)와 제2 가변 클램프(126b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 3,
The variable clamp (126) includes a first variable clamp (126a) and a second variable clamp (126b) disposed at right angles with rollers in point contact with the substrate.
상기 기판 지지판(130)은 기판을 흡착하는 진공이 제공되는 흡착공(131)과, 상기 흡착공(131)과 X축 방향으로 교대로 배치되며 상기 기판 지지부(150)의 상하 이동을 허용하는 관통공(132)을 포함하며, 상기 관통공(132)은 상기 기판 지지판(130) 상에 2열로 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 3,
The substrate support plate 130 is provided with a suction hole 131 provided with a vacuum for adsorbing the substrate, and the suction hole 131 is alternately disposed in the X-axis direction to allow vertical movement of the substrate support part 150. And a hole (132), wherein the through hole (132) is disposed on both sides of the substrate support plate (130) in two rows.
상기 기판 지지부(150)와 상기 흡착공(131)은 기판의 면적에 따라 선택적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 5,
The substrate support unit 150 and the suction hole 131 is selectively operated according to the area of the substrate.
상기 백라이트부(140)는 스테이지부(120)의 하부에 설치되며, 빛을 조사하는 광원(145)이 X/Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 X/Y 이동 스테이지(141)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The backlight unit 140 is installed below the stage unit 120, the light source 145 for irradiating light includes an X / Y moving stage 141 is installed to be movable in the X / Y axis direction Board repair apparatus characterized in that.
상기 기판 지지부(150)는 기판의 사이즈의 따라 선택적으로 상승되어 기판을 지지하는 다수의 기판 지지핀(151);
상기 기판 지지핀(151)이 통과하는 관통공(132)이 형성되는 상부 플레이트(152);
상기 상부 플레이트(152)의 하부에 배치되고, 상기 기판 지지핀(151)이 상면부에 설치되며, 상하로 이동되게 구동되는 상하 이동판(153);
상기 상부 플레이트(152)에 대면하게 상기 갠트리부 상에 설치되는 하부 플레이트(156); 및
상기 하부 플레이트(156)의 모서리측에 설치되어 상기 상부 플레이트(152)를 지지하고 상기 상하 이동판(153)이 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 지지 가이드(157);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 1,
The substrate support part 150 may include a plurality of substrate support pins 151 which are selectively raised according to the size of the substrate to support the substrate;
An upper plate 152 through which a through hole 132 through which the substrate support pin 151 passes is formed;
A vertical movement plate 153 disposed below the upper plate 152 and installed on the upper surface portion of the substrate support pin 151 to be driven to move up and down;
A lower plate 156 installed on the gantry portion facing the upper plate 152; And
A support guide 157 installed at a corner of the lower plate 156 to support the upper plate 152 and to allow the vertical movement plate 153 to be slidable;
Substrate repair apparatus comprising a.
상기 기판 지지핀(151)은 2열로 12개가 설치되며, 이 중 4개가 독립적으로 상승 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 8,
The board support pins 151 are provided in two rows of 12, substrate repair apparatus, characterized in that four of them are configured to be independently liftable.
상기 상하 이동판(153) 상에는 일부의 상기 기판 지지핀(151)을 상하로 이동시킬 수 있는 서브 이동판(163)이 설치되고, 상기 서브 이동판(163) 상의 좌측에는 독립적으로 승강 가능한 4개의 제1 기판 지지핀(161)이 2열로 설치되며, 우측에는 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 8개의 제2 기판 지지핀(152)이 2열로 설치되고, 상기 제2 기판 지지핀(152)은 상기 서브 이동판(163)이 상하로 이동 가능하게 슬라이드 결합되고 상기 상하 이동판(153)과 함께 승강되는 고정 이동판(164) 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 8,
On the vertical moving plate 153, a sub moving plate 163 capable of moving a part of the substrate support pins 151 up and down is provided, and on the left side of the sub moving plate 163, four independent movable members are provided. The first substrate support pins 161 are installed in two rows, and on the right side, eight second substrate support pins 152 which are elevated together with the vertical moving plate 153 are installed in two rows, and the second substrate support pins ( 152 is a substrate repair apparatus, characterized in that the sub-moving plate (163) is slidably coupled to move up and down and installed on a fixed moving plate (164) which is elevated with the vertical moving plate (153).
상기 기판 지지판(130)은 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상기 상부 플레이트(152)에는 상기 기판 지지핀(151)이 측방으로 이동될 수 있게 긴 원형의 관통공(132)이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수리 장치.The method of claim 8,
The substrate support plate 130 is installed to be movable in the Y-axis direction, the upper plate 152 is formed with a long circular through hole 132 so that the substrate support pin 151 can be moved laterally Board repair apparatus characterized in that.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100121803A KR101172686B1 (en) | 2010-12-02 | 2010-12-02 | Apparatus for repairing a substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100121803A KR101172686B1 (en) | 2010-12-02 | 2010-12-02 | Apparatus for repairing a substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120060348A true KR20120060348A (en) | 2012-06-12 |
KR101172686B1 KR101172686B1 (en) | 2012-08-09 |
Family
ID=46611271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100121803A KR101172686B1 (en) | 2010-12-02 | 2010-12-02 | Apparatus for repairing a substrate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101172686B1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101639776B1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-14 | 참엔지니어링(주) | Composite apparatus for inspecting and repairing object to be processed |
KR101893708B1 (en) * | 2017-05-22 | 2018-08-30 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | Substrate mounting apparatus, substrate mounting method, film formation apparatus, film formation method, alignment apparatus, alignment method, and manufacturing method of electronic device |
CN109917569A (en) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Panel detection device |
KR20230000122A (en) * | 2021-06-24 | 2023-01-02 | 에이치비솔루션㈜ | An apparatus and method for inspecting a display pannel |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100654808B1 (en) | 2005-07-01 | 2006-12-08 | 삼성전자주식회사 | Panel supporting apparatus |
-
2010
- 2010-12-02 KR KR1020100121803A patent/KR101172686B1/en active IP Right Grant
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101639776B1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-14 | 참엔지니어링(주) | Composite apparatus for inspecting and repairing object to be processed |
KR101893708B1 (en) * | 2017-05-22 | 2018-08-30 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | Substrate mounting apparatus, substrate mounting method, film formation apparatus, film formation method, alignment apparatus, alignment method, and manufacturing method of electronic device |
CN109917569A (en) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Panel detection device |
KR20230000122A (en) * | 2021-06-24 | 2023-01-02 | 에이치비솔루션㈜ | An apparatus and method for inspecting a display pannel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101172686B1 (en) | 2012-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100743427B1 (en) | Apparatus for macro inspection of flat display panel | |
KR101032089B1 (en) | Inspection apparatus for flat panel display | |
KR102007718B1 (en) | Turnover type display cell test equipment and controlling method for the same | |
KR101172686B1 (en) | Apparatus for repairing a substrate | |
CN216118287U (en) | Carousel formula LCM module picture AOI check out test set | |
CN107121801A (en) | A kind of automatically controlled lighting detection method of small size LCD screen | |
KR102188565B1 (en) | Display Panel Test Device | |
CN108214416B (en) | Workbench for detecting display panel | |
KR101236286B1 (en) | Apparatus for inspecting defect of panel | |
CN210527842U (en) | Automatic material loading positioning platform of display screen | |
KR20040095036A (en) | Substrate Inspection Apparatus | |
JP2019052914A (en) | Inspection device | |
CN111897153A (en) | Shading equipment for panel detection | |
CN110849910A (en) | Automatic change defect detecting equipment | |
KR101708488B1 (en) | Auto probe inspection appratus | |
KR101949331B1 (en) | Array test apparatus | |
KR100813291B1 (en) | Apparatus for inspecting and repairing substrate | |
CN112719629B (en) | Light source follow-up cutting equipment | |
KR20180091510A (en) | Display cell test equipment | |
KR102175502B1 (en) | Hybrid Display Panel Inspection Device Capable of Aligning the Theta Axis of Both the Original Plate and the Separated Plate | |
KR101179870B1 (en) | Unit for supporting substrate and apparatus for treating substrate having the same | |
KR20120110658A (en) | Apparatus and method for testing display panel | |
JP4031491B2 (en) | Panel inspection device | |
KR100999863B1 (en) | ring light | |
KR20080013550A (en) | Device for inspecting substrate and method therefor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160729 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170803 Year of fee payment: 6 |