KR20120055215A - Electrostatic capacity type touch screen panel and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An electrostatic capacitive touch screen panel and a manufacturing method thereof are provided to extend both ends of each first connection pattern for connecting adjacent first connection patterns, thereby increasing the size of an area overlapped with the first electrode patterns. CONSTITUTION: A plurality of insulation patterns(130) are formed on a cross portion of first and second electrode rows. The insulation patterns electrically insulate first electrode rows and second electrode rows. First electrode patterns(141) are separated from the first electrode rows respectively. A first connection pattern(120) electrically connects adjacent first electrode patterns which are formed on a lower part of the first insulating layer.

Description

정전용량 방식 터치 스크린 패널 및 그 제조방법{ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE TOUCH SCREEN PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Capacitive touch screen panel and its manufacturing method {ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE TOUCH SCREEN PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 정전용량 방식 터치 스크린 패널(Touch Screen Panel) 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a capacitive touch screen panel and a method of manufacturing the same.

최근, 액정 디스플레이 장치(Liquid Crystal Display), 전계발광 디스플레이(Electroluminescent Display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 등의 디스플레이 장치는 응답속도가 빠르고, 소비전력이 낮으며, 색재현율이 뛰어나 주목받아 왔다. 이러한 디스플레이 장치들은 TV, 컴퓨터용 모니터, 노트북 컴퓨터, 휴대폰(mobile phone), 냉장고의 표시부, 개인 휴대용 정보 단말기(Personal Digital Assistant), 현금 자동 입출금기(Automated Teller Machine) 등 다양한 전자제품에 사용되어 왔다. 일반적으로, 이러한 표시장치들은 키보드, 마우스, 디지타이저(Digitizer) 등의 다양한 입력장치(Input Device)를 이용하여 사용자와의 인터페이스를 구성한다. 그러나, 키보드와 마우스 등과 같은 별도의 입력장치를 사용하는 것은 사용법을 익혀야 하고 공간을 차지하는 등의 불편을 야기하여 제품의 완성도를 높이기 어려운 면이 있었다. 따라서, 편리하면서도 간단하고 오작동을 감소시킬 수 있는 입력장치에 대한 요구가 날로 증가되고 있다. 이와 같은 요구에 따라 사용자가 손이나 펜 등으로 화면과 직접 접촉하여 정보를 입력하는 터치 스크린 패널이 제안되었다. Recently, display devices such as liquid crystal displays, electroluminescent displays, and plasma display panels have been attracting attention due to their fast response speed, low power consumption, and excellent color reproduction. . Such display devices have been used in various electronic products such as TVs, computer monitors, notebook computers, mobile phones, refrigerator displays, personal digital assistants, and automated teller machines. In general, such display devices configure an interface with a user by using various input devices such as a keyboard, a mouse, and a digitizer. However, using a separate input device such as a keyboard and a mouse has a side that is difficult to increase the completeness of the product by causing inconveniences such as learning how to use and taking up space. Thus, there is an increasing demand for an input device that is convenient, simple and can reduce malfunctions. In accordance with such a request, a touch screen panel has been proposed in which a user directly contacts a screen with a hand or a pen to input information.

터치 스크린 패널은 간단하고, 오작동이 적으며, 별도의 입력기기를 사용하지 않고도 입력이 가능할 뿐아니라 사용자가 화면에 표시되는 내용을 통해 신속하고 용이하게 조작할 수 있다는 편리성 때문에 다양한 표시장치에 적용되고 있다. The touch screen panel is simple, has fewer malfunctions, can be input without using a separate input device, and can be applied to various display devices due to the convenience that a user can operate quickly and easily through the contents displayed on the screen. It is becoming.

터치 스크린 패널은 터치된 부분을 감지하는 방식에 따라, 상판 또는 하판에 금속 전극을 형성하여 직류전압을 인가한 상태에서 터치된 위치를 저항에 따른 전압 구배로 판단하는 저항막 방식(Resistive type), 도전막에 등전위를 형성하고 터치에 따른 상하판의 전압 변화가 일어난 위치를 감지하여 터치된 부분을 감지하는 정전용량 방식(Electrostatic Capacitive type), 전자펜이 도전막을 터치함에 따라 유도되는 LC값을 읽어들여 터치된 부분을 감지하는 전자 유도 방식(Electro Magnetic type) 등으로 구별될 수 있다. The touch screen panel may include a resistive type (Resistive type) for determining a touched position as a voltage gradient according to a resistance by forming a metal electrode on the upper or lower plate and applying a DC voltage according to a method of sensing a touched portion, Electrostatic capacitive type to detect the touched part by forming the equipotential in the conductive film and detecting the position of the voltage change of the upper and lower panels according to the touch, and reading the LC value induced when the electronic pen touches the conductive film. It may be distinguished by an electromagnetic induction method (Electro Magnetic type) that detects the touched part.

이하, 도 1, 도 2 및 도 3a~도 3e를 참조하여 종래기술에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널에 대하여 설명하기로 한다. 도 1은 종래의 기술에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 터치 스크린 패널의 I-I'선을 따라 취한 단면도, 도 3a 내지 도 3e는 도 1에 도시된 터치 스크린 패널의 제조공정을 각각 도시한 단면도이다. Hereinafter, a capacitive touch screen panel according to the related art will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 3A to 3E. 1 is a plan view of a capacitive touch screen panel according to the related art, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II ′ of the touch screen panel shown in FIG. 1, and FIGS. 3A to 3E are shown in FIG. 1. It is sectional drawing which respectively shows the manufacturing process of the touch screen panel.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 정전용량 방식 터치 스크린 패널은 기판(10), 기판(10) 상에 형성되며 제 1 방향(예컨대, X축 방향)으로 나란하게 배열된 복수의 제 1 전극패턴들(40), 및 상기 제 1전극패턴들(40)과 교차하는 방향(예컨대, Y축 방향)으로 배열되는 복수의 제 2 전극패턴들(50)을 포함한다. 터치 스크린 패널은 또한 제 1 전극패턴들(40)과 제 2 전극패턴들(50)의 교차부에 형성되어 제 1 전극패턴들(40)과 제 2 전극패턴들(50)을 전기적으로 절연시키는 절연패턴들(30)과, 제 1 전극패턴들(40)과 제 2 전극패턴들(50)의 교차부에서 상기 절연패턴(30)의 하부의 기판(10) 상에 형성되어 서로 이웃하는 제 1 전극패턴들(40)을 연결하기 위한 제 1 연결패턴(20)을 포함한다.1 and 2, a conventional capacitive touch screen panel includes a plurality of first substrates formed on a substrate 10 and the substrate 10 and arranged side by side in a first direction (for example, an X-axis direction). Electrode patterns 40 and a plurality of second electrode patterns 50 are arranged in a direction crossing the first electrode patterns 40 (eg, Y-axis direction). The touch screen panel is also formed at the intersection of the first electrode patterns 40 and the second electrode patterns 50 to electrically insulate the first electrode patterns 40 and the second electrode patterns 50. The first and second insulating patterns 30 and the first electrode patterns 40 and the second electrode patterns 50 are formed on the substrate 10 under the insulating pattern 30 at the intersection of the first The first connection pattern 20 for connecting the first electrode patterns 40 is included.

그러나, 종래기술에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널은 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 연결패턴(20)과 제 2 전극패턴(50)을 절연시키기 위한 절연패턴(30)을 형성하는 과정에서 절연패턴(30)과 근접한 제 1 연결패턴(20) 양단부의 위치 A에서 기판(10)이 언더컷(undercut) 형상으로 에칭되어 제 1 전극패턴(40)이 단선되는 불량이 발생할 수 있었다. However, in the capacitive touch screen panel according to the related art, as shown in FIG. 2, in the process of forming the insulating pattern 30 for insulating the first connection pattern 20 and the second electrode pattern 50. The substrate 10 may be etched in an undercut shape at a position A of both ends of the first connection pattern 20 adjacent to the insulating pattern 30, thereby causing a defect in which the first electrode pattern 40 is disconnected.

이와 같이 절연패턴(30) 형성공정에서 절연패턴(30)과 가까운 거리에 있는 제 1 연결패턴(1)의 단부 위치에서 기판(10)이 식각가스에 의해 과식각 되어 언터컷이 형성되는 것에 대해 도 3a~도 3e를 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다. As described above, the substrate 10 is overetched by the etching gas at the end position of the first connection pattern 1 which is close to the insulating pattern 30 in the insulating pattern 30 forming process, thereby forming an undercut. This will be described in more detail with reference to FIGS. 3A to 3E.

우선, 도 3a에 도시된 바와 같이, 기판(10) 상에 스퍼터링 등의 증착공정을 통해 제 1 도전층을 형성한 후, 포토리소그래피 공정을 이용하여 제 1 도전층을 습식 식각함으로써 제 1 연결패턴(20)을 형성한다. 여기에서, 제 1 도전층을 형성하는 재료로는 ITO가 이용된다. First, as shown in FIG. 3A, a first conductive layer is formed on a substrate 10 through a deposition process such as sputtering, and then a first connection pattern is formed by wet etching the first conductive layer using a photolithography process. 20 is formed. Here, ITO is used as a material for forming the first conductive layer.

다음으로, 제 1 연결패턴(20)이 형성된 기판(10) 상에 스퍼터링 등의 증착방법을 통해 도 3b에 도시된 바와 같이 절연층(INS)을 형성한다. Next, an insulating layer INS is formed on the substrate 10 on which the first connection pattern 20 is formed as shown in FIG. 3B through a deposition method such as sputtering.

절연층(INS)이 형성된 후, 도 3c에 도시된 바와 같이 포토리소그래피 공정을 이용하여, 제 1 연결패턴(20)의 길이보다 좁은 폭을 갖는 포토레지스트 패턴(PR1)을 형성한다. 그리고, 포토레지스트 패턴(PR1)을 마스크로 이용하여 절연층(INS)을 건식 식각하면 절연층(INS)이 패터닝되어, 도 3d에 도시된 바와 같은 제 1 연결패턴(20)의 양단부와 기판이 노출되는 절연패턴(30)이 형성된다. After the insulating layer INS is formed, a photoresist pattern PR1 having a width smaller than the length of the first connection pattern 20 is formed by using a photolithography process as illustrated in FIG. 3C. When the insulating layer INS is dry-etched using the photoresist pattern PR1 as a mask, the insulating layer INS is patterned, so that both ends and the substrate of the first connection pattern 20 as shown in FIG. 3D are formed. The exposed insulating pattern 30 is formed.

그러나, 절연층(INS)을 건식 식각하는 과정에서 ITO막을 이용하여 증착된 제 1 연결패턴(20) 양단부의 하부에 있는 기판(10)의 일부분도 식각되어 도 3d에 도시된 바와 같이 기판(10)에 언더컷 부분(13)이 형성된다. 이와 같이 언더컷 부분(13)이 형성되는 이유는 제 1 연결패턴(20)을 형성하기 위해 사용되는 물질인 ITO가 건식 에칭에 반응하지 않아 절연패턴(30)의 측벽을 타고 흐른 건식식각가스 입자가 절연패턴(30)의 단부와 근접하여 형성되는 제 1 연결패턴(20)의 양단부에 대응하는 기판(10)의 위치에 부분적으로 집중되기 때문이다. However, a portion of the substrate 10 under the both ends of the first connection pattern 20 deposited using the ITO film in the process of dry etching the insulating layer INS is also etched, as shown in FIG. 3D. ), An undercut portion 13 is formed. The reason why the undercut portion 13 is formed is because the dry etching gas particles flowing through the sidewall of the insulating pattern 30 because ITO, which is a material used to form the first connection pattern 20, does not react to the dry etching. This is because the concentration is partially concentrated at the position of the substrate 10 corresponding to both ends of the first connection pattern 20 formed in close proximity to the end of the insulating pattern 30.

다음으로, 제 1 연결패턴(20)과 절연패턴(30)이 형성된 기판(10) 상에 스퍼터링 등의 공정을 통해 제 2 도전층이 전면 증착되고, 포토리소그래피 공정을 이용하여 제 2 도전층을 습식 식각함으로써 제 1 및 제 2 전극패턴들(40, 50)를 형성한다. 그러나, 제 1 연결패턴(20)의 양단부에 대응하는 기판(10)의 위치에 언더컷 부분(13)이 형성되어 있기 때문에 제 1 연결패턴(20)의 양단부가 붕괴될 수 있고, 또한 이러한 상태에서 제 2 도전층이 증착되면, 제 2 도전층이 언더컷 부분(13)에서 중력에 의해 도 3e에 도시된 바와 같이 함몰될 가능성이 높아진다. 또한, 제 2 도전층이 기판의 언더컷 부분(13)에서 함몰되면 제 1 연결패턴(20) 상부에 형성되는 이웃하는 제 1 전극패턴들(40)이 기판 상의 영역 A에서 제 1 연결패턴(20)과 전기적으로 접촉하지 못하게 될 가능성이 높아진다. 이와 같이 제 1 전극패턴들(40)이 기판 상의 영역 A에서 제 1 연결패턴(20)과 전기적으로 접촉하지 못하게되면, 터치가 이루어 지더라도 터치위치를 정확하게 인식할 수 없으므로 이를 방지하기 위한 대책의 필요성이 대두되었다.
Next, a second conductive layer is entirely deposited on the substrate 10 on which the first connection pattern 20 and the insulating pattern 30 are formed by sputtering or the like, and the second conductive layer is formed using a photolithography process. By wet etching, the first and second electrode patterns 40 and 50 are formed. However, since the undercut portion 13 is formed at the position of the substrate 10 corresponding to both ends of the first connection pattern 20, both ends of the first connection pattern 20 may collapse, and in this state, When the second conductive layer is deposited, there is a high possibility that the second conductive layer is recessed by gravity in the undercut portion 13 as shown in Fig. 3E. In addition, when the second conductive layer is recessed in the undercut portion 13 of the substrate, neighboring first electrode patterns 40 formed on the first connection pattern 20 are formed in the first connection pattern 20 in the region A on the substrate. ) Will increase the chance of electrical contact. As described above, when the first electrode patterns 40 are not electrically contacted with the first connection pattern 20 in the area A on the substrate, even though the touch is made, the touch position may not be recognized accurately. Necessity arose.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 서로 이웃하는 제 1 전극패턴들을 연결하기 위한 제 1 연결패턴의 양단부를 연장시켜 제 1 전극패턴과 중첩되는 면적을 증가시킴으로써 기판 언더컷에 의해 제 1 전극패턴과 제 1 연결패턴의 접촉불량을 방지할 수 있는 터치 스크린 패널 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problem, and extends both ends of the first connection pattern for connecting the adjacent first electrode patterns to increase the area overlapping the first electrode pattern. The present invention provides a touch screen panel and a method of manufacturing the same, which can prevent contact failure between the first electrode pattern and the first connection pattern.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널은 기판; 상기 기판 상에 제 1 방향으로 배열되는 복수의 제 1 전극열들; 상기 제 1 전극열들과 교차하도록 제 2 방향으로 배열되는 복수의 제 2 전극열들; 상기 제 1 전극열들과 상기 제 2 전극열들의 교차부에 형성되어 상기 복수의 제 1 전극열들과 상기 복수의 제 2 전극열들을 전기적으로 절연시키는 복수의 절연패턴들; 상기 복수의 제 1 전극열들의 각각은 서로 분리되도록 형성되는 복수의 제 1 전극패턴들과, 상기 제 1 절연층의 하부에 형성되어 이웃하는 상기 제 1 전극패턴들을 전기적으로 접속시키는 제 1 연결패턴을 포함하고, 상기 복수의 제 2 전극열들의 각각은 복수의 제 2 전극패턴들을 포함하며, 상기 제 1 연결패턴은 직선부와 상기 직선부로부터 연장되어 상기 직선부가 지향하는 방향과 다른 방향으로 연장되는 연장부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the capacitive touch screen panel according to an embodiment of the present invention is a substrate; A plurality of first electrode rows arranged in a first direction on the substrate; A plurality of second electrode rows arranged in a second direction to intersect the first electrode rows; A plurality of insulating patterns formed at an intersection of the first electrode rows and the second electrode rows to electrically insulate the plurality of first electrode rows and the plurality of second electrode rows; Each of the plurality of first electrode strings may include a plurality of first electrode patterns formed to be separated from each other, and a first connection pattern formed under the first insulating layer to electrically connect the adjacent first electrode patterns. Each of the plurality of second electrode strings includes a plurality of second electrode patterns, and the first connection pattern extends from a straight portion and the straight portion to extend in a direction different from the direction in which the straight portion is directed. Characterized in that it comprises an extension.

상기 구성에서, 상기 제 1 연결패턴의 연장부는 상기 직선부의 양단부 또는 양단부의 측면부로부터 원형, 타원형, 사각형, 다각형 및 지그재그 중의 하나 또는 이들이 결합된 형태로 각각 연장되어 형성되도록 구성되는 것을 특징으로 한다. In the above configuration, the extension portion of the first connection pattern is characterized in that configured to extend from one end of the straight portion or both side portions of the both ends of one of circular, elliptical, square, polygonal and zigzag form or a combination thereof.

또한, 제 1 연결패턴의 직선부의 적어도 일부와 상기 연장부는 절연패턴과 비중첩부를 갖는 것을 특징으로 한다. In addition, at least a portion of the straight portion of the first connection pattern and the extension portion may be characterized by having an insulation pattern and a non-overlapping portion.

또한, 제 1 연결패턴은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, CuOx, Cr 중의 어느 하나를 포함하는 제 1 층과, 상기 제 1 층 상에 형성되며 ITO 및 IZO 중의 어느 하나를 포함하는 제 2 층을 포함하는 복층구조로 형성되는 것을 특징으로 한다. The first connection pattern may include a first layer including any one of Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, CuOx, and Cr, and a second layer formed on the first layer and including any one of ITO and IZO. It is characterized by being formed in a multilayer structure including a layer.

또한, 제 1 연결패턴의 직선부의 일부와 상기 제 1 연결패턴의 연장부는 상기 제 1 전극패턴과 직접 접촉되는 것을 특징으로 한다.In addition, a portion of the straight portion of the first connection pattern and an extension of the first connection pattern may be in direct contact with the first electrode pattern.

또한, 제 1 전극패턴과 상기 제 2 전극패턴은 상기 기판의 동일면 상에 형성되는 것을 특징으로 한다. In addition, the first electrode pattern and the second electrode pattern is characterized in that formed on the same surface of the substrate.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 제조방법은 기판의 전면 상에 제 1 도전층을 형성하고, 상기 제 1 도전층을 패터닝하여 복수의 제 1 연결패턴들을 형성하는 제 1 공정; 상기 제 1 도전성 패턴이 형성된 상기 기판의 전면 상에 절연층을 형성하고, 상기 제 1 연결패턴의 중앙부와 중첩되며 양단부를 노출시키는 절연패턴을 형성하는 제 2 공정; 및 상기 절연패턴이 형성된 기판의 전면 상에 제 2 도전층을 형성하고, 상기 제 2 도전층을 패터닝하여 제 1 방향으로 평행하게 배열되는 복수의 제 1 전극열들과, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 평행하게 배열되는 복수의 제 2 전극열들을 포함하는 제 2 도전성 패턴을 형성하는 제 3 공정을 포함하며, 상기 제 1 연결패턴은 직선부와 상기 직선부로부터 연장되어 상기 직선부가 지향하는 방향과 다른 방향으로 연장되는 연장부를 포함하고, 상기 복수의 제 1 전극열들의 각각은 서로 분리된 복수의 제 1 전극패턴들을 포함하고, 서로 인접한 상기 제 1 전극패턴들은 상기 제 1 연결패턴의 상기 직선부의 일부 및 상기 연장부와 직접 접촉하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a capacitive touch screen panel according to an embodiment of the present invention is to form a first conductive layer on the front surface of the substrate, by patterning the first conductive layer a plurality of first connection A first process of forming patterns; A second step of forming an insulating layer on an entire surface of the substrate on which the first conductive pattern is formed, and forming an insulating pattern overlapping a central portion of the first connection pattern and exposing both ends; And forming a second conductive layer on the entire surface of the substrate on which the insulating pattern is formed, and patterning the second conductive layer to cross the first electrode rows arranged in parallel in the first direction. And a third process of forming a second conductive pattern including a plurality of second electrode lines arranged in parallel in a second direction, wherein the first connection pattern extends from a straight portion and the straight portion, An extension part extending in a direction different from a direction, wherein each of the plurality of first electrode rows includes a plurality of first electrode patterns separated from each other, and the first electrode patterns adjacent to each other are connected to the first connection pattern; Characterized in that it is in direct contact with a portion of the straight portion and the extension.

또한, 상기 방법에서 제 2 공정은 상기 기판 상에 형성된 상기 절연층 상에 상기 제 1 연결패턴의 중앙부와 중첩되도록 상기 제 1 연결패턴의 길이보다 작은 폭을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 상기 절연층을 건식 식각하여 상기 제 1 연결패턴 직선부와 중첩되고, 상기 1 연결패턴의 연장부는 노출시키는 절연패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
In addition, in the method, the second process may include forming a photoresist pattern having a width smaller than a length of the first connection pattern on the insulating layer formed on the substrate so as to overlap a central portion of the first connection pattern; And dry-etching the insulating layer using the photoresist pattern as a mask to form an insulating pattern overlapping the straight line portion of the first connection pattern and exposing the extension portion of the first connection pattern. .

본 발명의 정전용량 방식 터치 스크린 패널 및 그 제조방법에 따르면, 서로 인접한 제 1 전극패턴들을 연결하기 위한 제 1 연결패턴을 직선부와 직선부로부터 연장되는 연장부를 갖도록 형성함으로써 제 1 전극패턴과 제 1 연결패턴의 중첩면적을 증가시키고 있다. 따라서, 절연패턴 형성시 기판에 언더컷이 발생하더라도 상기 중첩면적의 증가로 인해 제 1 전극패턴과 제 1 연결패턴 사이의 전기적 경로가 확보되므로, 언더컷에 의한 접촉불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
According to the capacitive touch screen panel of the present invention and a method of manufacturing the same, the first electrode pattern and the first electrode pattern are formed by forming a first connection pattern for connecting the first electrode patterns adjacent to each other to have a straight portion and an extension portion extending from the straight portion. 1 The overlapping area of the connection pattern is increased. Therefore, even when an undercut is generated in the substrate when the insulation pattern is formed, an electrical path between the first electrode pattern and the first connection pattern is secured due to the increase in the overlap area, thereby preventing contact failure caused by the undercut.

도 1은 종래의 기술에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 평면도,
도 2는 도 1에 도시된 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 I-I'선, II-II'선 및 III-III'을 따라 취한 단면도,
도 3a 내지 도 3e는 도 1에 도시된 종래의 기술에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 제조 공정을 도시한 단면도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 평면도,
도 5a는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 R부분을 확대 도시한 단면도,
도 5b는 제 5a에 도시된 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 II-II'선을 따라 취한 단면도,
도 6a는 제 1 마스크 공정에 의해 형성되는 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 제 1 연결패턴을 도시한 평면도,
도 6b는 제 1 마스크 공정에 의해 형성되는 정전용량 방식 터치 스크린 패널제 1 연결패턴을 도시한 단면도,
도 7a는 제 2 마스크 공정에 의해 제 1 연결패턴의 일부와 중첩되도록 형성되는 절연패턴을 도시한 평면도,
도 7b 내지 도 7d는 도 7a에 도시된 절연패턴을 형성하기 위한 제 2 마스크 공정을 도시한 단면도,
도 8a는 제 3 마스크 공정에 의해 형성되는 제 1 및 제 2 전극패턴을 도시한 평면도, 도 8b는 제 3 마스크 공정에 의해 형성되는 제 1 및 제 2 전극패턴을 도시한 단면도.
1 is a plan view of a capacitive touch screen panel according to the related art,
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along lines II ′, II-II ′, and III-III ′ of the capacitive touch screen panel shown in FIG. 1;
3A to 3E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a capacitive touch screen panel according to the related art shown in FIG. 1;
4 is a plan view of a capacitive touch screen panel according to an embodiment of the present invention;
5A is an enlarged cross-sectional view of an R portion of a capacitive touch screen panel according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4;
5B is a cross-sectional view taken along the line II-II 'of the capacitive touch screen panel shown in FIG. 5A;
6A is a plan view illustrating a first connection pattern of a capacitive touch screen panel formed by a first mask process;
6B is a cross-sectional view illustrating a first connection pattern of a capacitive touch screen panel formed by a first mask process;
7A is a plan view illustrating an insulating pattern formed to overlap a part of the first connection pattern by a second mask process;
7B to 7D are cross-sectional views illustrating a second mask process for forming the insulating pattern shown in FIG. 7A;
8A is a plan view showing first and second electrode patterns formed by a third mask process, and FIG. 8B is a cross-sectional view showing first and second electrode patterns formed by a third mask process.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals denote like elements throughout the specification.

도 4, 도 5a 및 도 5b를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 터치 스크린 패널에 대해 설명하기로 한다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 평면도이고, 도 5a는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 R부분을 확대 도시한 단면도이며, 도 5b는 제 5a에 도시된 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 II-II'선을 따라 취한 단면도이다. A touch screen panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4, 5A, and 5B. 4 is a plan view of a capacitive touch screen panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 5A is an enlarged cross-sectional view of a portion R of the capacitive touch screen panel according to the exemplary embodiment of the present invention shown in FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the line II-II 'of the capacitive touch screen panel shown in FIG. 5A.

도 4, 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널은 기판(100), 기판(100) 상에 형성되며 제 1 방향(예컨대, X축 방향 또는 Y축 방향)으로 나란하게 배열된 복수의 제 1 전극열(140), 및 상기 복수의 제 1 전극열(140)과 교차하는 방향(예컨대, Y축 방향 또는 X축방향)으로 배열되는 복수의 제 2 전극열들(150)을 포함한다. 본 발명의 터치 스크린 패널은 또한 제 1 전극열(140)과 제 2 전극열(150)의 교차부에 형성되어 제 1 전극열(140)과 제 2 전극열(150)을 전기적으로 절연시키는 복수의 절연패턴들(130)을 포함한다. 4, 5A and 5B, the capacitive touch screen panel according to the embodiment of the present invention is formed on the substrate 100 and the substrate 100 and has a first direction (eg, X-axis direction or Y). A plurality of first electrode rows 140 arranged side by side in the axial direction, and a plurality of first electrodes arranged in a direction intersecting with the plurality of first electrode rows 140 (eg, in the Y-axis direction or the X-axis direction). 2 electrode columns 150. The touch screen panel of the present invention is also formed at the intersection of the first electrode string 140 and the second electrode string 150 to electrically insulate the first electrode string 140 and the second electrode string 150. Insulating patterns 130.

복수의 제 1 전극열(140)의 각각은 삼각형, 사각형, 마름모꼴, 다각형 등으로 형성된 복수의 제 1 전극패턴들(141)과, 절연패턴(130)의 하부에 형성되어 서로 이웃하는 제 1 전극패턴들(141)을 연결하는 제 1 연결패턴들(120)을 포함한다. Each of the plurality of first electrode strings 140 includes a plurality of first electrode patterns 141 formed of a triangle, a quadrangle, a diamond, a polygon, and the like, and a first electrode formed under the insulating pattern 130 and neighboring each other. First connection patterns 120 connecting the patterns 141 are included.

복수의 제 2 전극열(150)의 각각 또한 제 1 전극패턴들(141)과 유사한 삼각형, 사각형, 마름모꼴, 다각형 등으로 형성된 복수의 제 2 전극패턴들(151)과, 서로 이웃하는 제 2 전극패턴들(151)을 연결하는 복수의 제 2 전극패턴 연결부(153)을 포함한다. Each of the plurality of second electrode lines 150 and the plurality of second electrode patterns 151 formed of a triangle, a quadrangle, a rhombus, a polygon, and the like similar to the first electrode patterns 141 and the second electrodes adjacent to each other It includes a plurality of second electrode pattern connecting portion 153 connecting the patterns 151.

여기에서, 제 1 연결패턴들(120)의 각각은 제 1 전극열(140)과 제 2 전극열(150)의 교차부에서 상기 절연패턴(130)의 하부의 기판(100) 상에 형성되어 서로 이웃하는 제 1 전극패턴들(141)을 연결하지만, 제 2 전극패턴 연결부(153)는 제 2 전극패턴들(151)과 일체로 형성되며, 기판(100) 상부의 절연패턴(130) 상에 형성된다는 점에서 서로 차이가 있다. Here, each of the first connection patterns 120 is formed on the substrate 100 below the insulating pattern 130 at the intersection of the first electrode string 140 and the second electrode string 150. The first electrode patterns 141 which are adjacent to each other are connected to each other, but the second electrode pattern connection part 153 is integrally formed with the second electrode patterns 151 and is formed on the insulating pattern 130 on the substrate 100. Are different from each other in that they are formed at.

또한, 제 1 연결패턴(120)은 직선부(120a)와, 상기 직선부(120a)의 양단부로 부터 직선부(120a)가 향하는 방향과 다른 방향으로 연장되는 연장부(120b)를 구비한다. 도 6a에 도시된 본 발명의 실시예에서는 연장부(120b)가 직선부(120a)의 양단부로 부터 연장되어 직각형태로 구부러진 수평부와 수직부들로 이루어지는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 연장부(120b)는 직선부(120a)의 양단부 또는 양단부 쪽의 측부로 부터 원형, 타원형, 사각형, 다각형의 형태 또는 지그재그 형태로 연장되도록 구성될 수도 있다. In addition, the first connection pattern 120 includes a straight portion 120a and an extension portion 120b extending from a distal end of the straight portion 120a in a direction different from that of the straight portion 120a. In the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 6A, the extension part 120b extends from both ends of the straight part 120a and is formed of horizontal parts and vertical parts bent in a right angle, but the present invention is limited thereto. The extension part 120b may be configured to extend in a circular, elliptical, rectangular, polygonal, or zigzag form from both ends or sides of the straight part 120a.

이와 같이 제 1 연결패턴(120)의 연장부(120b)를 직선부(120a)가 향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 연장시켜 형성하면, 절연패턴(130)의 단부로부터 기판(100)과 단차를 이루는 제 1 연결패턴(120)의 단부 까지의 거리를 길게 연장할 수 있고, 특히 연장부(120b)가 굴곡부를 여러 곳에 가지는 경우 제 1 연결패턴(120)이 1자형으로 형성되는 경우에 비해 동일 거리에서 제 1 전극패턴(141)과 접촉되는 면적을 늘릴 수 있다.In this way, when the extension part 120b of the first connection pattern 120 is formed to extend in a direction different from the direction in which the straight part 120a is directed, the stepped portion of the first connection pattern 120 and the substrate 100 are separated from the end of the insulating pattern 130. It is possible to extend the distance to the end of the first connecting pattern 120 to form a long, in particular, when the extension portion 120b has a plurality of bent portions in the same as compared to the case where the first connection pattern 120 is formed in a single shape An area in contact with the first electrode pattern 141 may be increased at a distance.

따라서, 절연패턴(130) 형성공정에서 제 1 연결패턴(120)과 기판(100) 사이의 단차에 의해 제 1 연결패턴(120)의 테두리 부분에 대응하는 기판(100)의 위치에서 언더컷이 발생한다 하더라도, 제 1 전극패턴(141)과 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a)의 접촉면적의 증가로 인해 제 1 연결패턴(120)과 제 1 전극패턴들(141)의 접촉 성공율이 훨씬 향상된다. 즉, 상술한 본원 발명의 구성에 의하면 종래의 1자형 제 1 연결패턴과 기판 간의 단차 및 절연패턴과 제 1 연결패턴 단부의 짧은 거리로 인해 제 1 연결패턴의 양단부에 발생하는 기판 언더컷에 의한 제 1 전극패턴과 제 1 연결패턴 간의 접촉불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다. Therefore, an undercut occurs at the position of the substrate 100 corresponding to the edge of the first connection pattern 120 due to the step between the first connection pattern 120 and the substrate 100 in the insulating pattern 130 forming process. However, the contact success rate between the first connection pattern 120 and the first electrode patterns 141 is increased due to an increase in the contact area between the first electrode pattern 141 and the straight portion 120a of the first connection pattern 120. This is much improved. That is, according to the above-described configuration of the present invention, due to the step between the first one-shaped first connection pattern and the substrate and the short circuit between the insulating pattern and the end of the first connection pattern, the first and second substrates are formed by undercuts generated at both ends of the first connection pattern. Contact failure between the first electrode pattern and the first connection pattern may be prevented from occurring.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 터치 스크린 패널에서는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 절연패턴(130)의 양측으로 제 1 연결패턴(120)의 양단부에 위치하는 직선부(120a)의 일부와 연장부(120b)가 노출되고, 제 1 전극패턴(141)이 이들 직선부(120a)와 연장부(120b) 상에 형성되기 때문에, 서로 이웃하는 제 1 전극패턴들(141)은 제 1 연결패턴(120)과 여러 위치에서 전기적으로 서로 접속되게 되어 접촉면적이 증가된다. 또한 제 1 연결패턴(120)과 제 2 전극패턴 연결부(153) 사이에 형성되는 절연패턴(130)은 제 1 연결패턴(120)의 폭보다 넓게 형성되므로, 서로 중첩되는 제 1 연결패턴(120)과 제 2 전극패턴 연결부(153)가 전기적으로 접촉되지 않게 된다. Meanwhile, in the touch screen panel according to the exemplary embodiment of the present invention, as illustrated in FIGS. 5A and 5B, a part of the straight portion 120a positioned at both ends of the first connection pattern 120 on both sides of the insulating pattern 130. And the extension part 120b are exposed, and since the first electrode pattern 141 is formed on the straight part 120a and the extension part 120b, the first electrode patterns 141 neighboring each other are firstly formed. The contact area 120 is electrically connected to each other at various positions, thereby increasing the contact area. In addition, since the insulating pattern 130 formed between the first connection pattern 120 and the second electrode pattern connection part 153 is formed wider than the width of the first connection pattern 120, the first connection pattern 120 overlapping each other. ) And the second electrode pattern connection part 153 are not electrically contacted.

또한, 제 1 전극패턴(141)은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 일단부가 절연패턴(130)을 통해 노출된 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a) 및 연장부(120b)와, 절연패턴(130)의 측면 및 상면 일부 상에 형성된다. 이때, 절연패턴(130)의 상면 상에 형성되는 제 1 연결패턴(120)의 단부는 제 2 전극패턴 연결부(153)와 접촉되지 않도록 형성되어야 한다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 제 1 전극패턴(141)의 상기 일단부는 절연패턴(130)외측으로 노출된 제 1 연결패턴(120) 상에만 형성될 수도 있다. 그러나, 제 1 전극패턴(141)의 단부가 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a) 및 연장부(120b)와, 절연패턴(130)의 측면 및 상면 일부 상에까지 형성되면, 절연패턴(130)의 측벽으로부터 상면까지의 길이에 대응하는 공정마진이 추가로 확보되게 된다. 따라서, 마스크 공정을 이용하여 제 1 및 제 2 전극패턴들(141, 151)을 형성할 때 마스크의 미스얼라인먼트가 발생하더라도 제 1 전극패턴들(141)과 제 1 연결패턴(120) 사이의 전기적 연결이 적절히 확보될 수 있는 이점이 있다.In addition, as illustrated in FIGS. 5A and 5B, the first electrode pattern 141 has a straight portion 120a and an extension portion 120b of the first connection pattern 120 having one end exposed through the insulating pattern 130. ) And a portion of the side surface and the upper surface of the insulating pattern 130. In this case, an end portion of the first connection pattern 120 formed on the top surface of the insulating pattern 130 should not be in contact with the second electrode pattern connection part 153. However, the present invention is not limited thereto. For example, one end of the first electrode pattern 141 may be formed only on the first connection pattern 120 exposed to the outside of the insulating pattern 130. However, when the end portion of the first electrode pattern 141 is formed on the straight portion 120a and the extension portion 120b of the first connection pattern 120 and on part of the side surface and the upper surface of the insulation pattern 130, the insulation pattern is formed. A process margin corresponding to the length from the sidewall of the 130 to the upper surface is further secured. Therefore, even when misalignment of the mask occurs when the first and second electrode patterns 141 and 151 are formed by using a mask process, the electrical connection between the first electrode patterns 141 and the first connection pattern 120 may occur. There is an advantage that the connection can be secured properly.

한편, 본 발명의 실시예에서는 제 1 연결패턴(120)이 단층구조인 경우를 예로들어 설명하였으나, 제 1 연결패턴(120)은 기판 상에 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, CuOx, Cr 중의 어느 하나를 포함하는 금속층으로 형성되는 하부층과 상기 하부층상에 ITO 및 IZO 중의 어느 하나를 포함하는 투명 도전층으로 형성되는 상부층으로 된 복층구조로 구성할 수도 있다. Meanwhile, in the exemplary embodiment of the present invention, the case in which the first connection pattern 120 is a single layer structure has been described as an example. It may also be composed of a multilayer structure consisting of a lower layer formed of a metal layer comprising any one of the above and an upper layer formed of a transparent conductive layer containing any one of ITO and IZO on the lower layer.

이하, 도 6a 내지 도 8b를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 제조방법에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing a capacitive touch screen panel according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6A to 8B.

우선, 도 6a 및 도 6b를 참조하여 터치 스크린 패널의 제 1 연결패턴(120)을 형성하기 위한 제 1 마스크 공정에 대해 설명하기로 한다. 도 6a는 제 1 마스크 공정에 의해 형성되는 정전용량 방식 터치 스크린 패널의 제 1 연결패턴을 도시한 평면도이고, 도 6b는 제 1 마스크 공정에 의해 형성되는 정전용량 방식 터치 스크린 패널제 1 연결패턴을 도시한 단면도이다. First, a first mask process for forming the first connection pattern 120 of the touch screen panel will be described with reference to FIGS. 6A and 6B. 6A is a plan view illustrating a first connection pattern of a capacitive touch screen panel formed by a first mask process, and FIG. 6B illustrates a first connection pattern of a capacitive touch screen panel formed by a first mask process. It is sectional drawing.

도 6a를 참조하면, 기판(100) 상에 스퍼터링 등의 증착공정을 통해 제 1 도전층을 형성한 후, 포토리소그래피 공정을 이용하여 제 1 도전층을 노광 및 현상하고, 습식 식각함으로써 기판(100)에 복수의 제 1 연결패턴들(120)를 형성한다(도 6a 및 도 6b에는 편의상 하나의 제 1 연결패턴만을 도시함). 여기에서, 제 1 도전층을 형성하는 재료로는 ITO 또는 IZO가 이용된다. 도 6의 실시예에서는 제 1 연결패턴(120)이 단일층 구조로 형성되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 제 1 연결패턴(120)은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, CuOx, Cr 중의 어느 하나를 포함하는 하부층, 상기 하부층 상에 형성되며 ITO 및 IZO 중의 어느 하나를 포함하는 상부층을 포함하는 복층구조로 형성될 수도 있다.Referring to FIG. 6A, after the first conductive layer is formed on the substrate 100 through a deposition process such as sputtering, the substrate 100 may be exposed and developed using a photolithography process and wet-etched. ) To form a plurality of first connection patterns 120 (only one first connection pattern is shown in FIGS. 6A and 6B for convenience). Here, ITO or IZO is used as a material for forming the first conductive layer. In the embodiment of FIG. 6, the case in which the first connection pattern 120 is formed as a single layer structure has been described as an example, but the first connection pattern 120 may be any one of Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, CuOx, and Cr. It may be formed in a multilayer structure including a lower layer including one, an upper layer formed on the lower layer and including any one of ITO and IZO.

또한, 제 1 연결패턴(120)은 직선부(120a)와, 상기 직선부(120a)의 양단부로 부터 직선부(120a)가 향하는 방향과 다른 방향으로 연장되는 연장부(120b)를 구비한다. 도 6a에 도시된 본 발명의 실시예에서는 연장부(120b)가 직선부(120a)로 직각형태로 구부러진 수평부와 수직부들로 이루어지는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 연장부(120b)는 직선부(120a)의 양단부 또는 양단부의 측면으로부터 원형, 타원형, 사각형, 다각형 및 지그재그 중의 하나 또는 이들이 결합된 형태로 각각 연장되어 구성될 수도 있다. In addition, the first connection pattern 120 includes a straight portion 120a and an extension portion 120b extending from a distal end of the straight portion 120a in a direction different from that of the straight portion 120a. In the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 6A, the extension part 120b is illustrated as being made up of a horizontal part and a vertical part bent at a right angle to the straight part 120a, but the present invention is not limited thereto. 120b may extend from one or both ends of the straight portion 120a in the form of a circle, an ellipse, a rectangle, a polygon, and a zigzag, or a combination thereof.

이와 같이 제 1 연결패턴(120)의 연장부(120b)를 직선부(120a)가 향하는 방향과 다른 방향을 향하도록 연장시켜 형성하면, 절연패턴(130)의 단부로부터 기판(100)과 단차를 이루는 제 1 연결패턴(120)의 단부 까지의 거리를 길게 연장할 수 있고, 특히 연장부(120b)가 굴곡부를 여러 곳에 가지는 경우 제 1 연결패턴이 1자형으로 형성되는 경우에 비해 동일 거리에서 제 1 전극패턴(141)과 제 1 연결패턴(120)이 접촉되는 면적을 늘릴 수 있다. In this way, when the extension part 120b of the first connection pattern 120 is formed to extend in a direction different from the direction in which the straight part 120a is directed, the stepped portion of the first connection pattern 120 and the substrate 100 are separated from the end of the insulating pattern 130. It is possible to extend the distance to the end of the first connection pattern 120 to form a long, in particular, when the extension portion 120b has a plurality of bent portions in the first distance at the same distance than when the first connection pattern is formed in a single shape An area in which the first electrode pattern 141 and the first connection pattern 120 contact each other may be increased.

따라서, 절연패턴(130) 형성공정에서 제 1 연결패턴(120)과 기판(100) 사이의 단차에 의해 제 1 연결패턴(120)의 테두리부에 대응하는 기판(100) 상에 언더컷이 발생한다 하더라도 제 1 전극패턴(141)과 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a) 사이의 접촉면적의 증가로 인해 제 1 연결패턴(120)과 제 1 전극패턴들(141)의 접촉 성공율이 훨씬 향상된다. 즉, 상술한 본원 발명의 구성에 의하면 종래의 1자형 제 1 연결패턴과 기판 간의 단차 및 절연패턴과 제 1 연결패턴 단부의 짧은 거리로 인해 제 1 연결패턴의 양단부에 발생하는 기판 언더컷에 의한 제 1 전극패턴과 제 1 연결패턴 간의 접촉불량을 방지할 수 있게 된다. Therefore, an undercut occurs on the substrate 100 corresponding to the edge of the first connection pattern 120 due to the step between the first connection pattern 120 and the substrate 100 in the process of forming the insulating pattern 130. However, due to an increase in the contact area between the first electrode pattern 141 and the straight portion 120a of the first connection pattern 120, the contact success rate between the first connection pattern 120 and the first electrode patterns 141 is increased. Is much improved. That is, according to the above-described configuration of the present invention, due to the step between the first one-shaped first connection pattern and the substrate and the short circuit between the insulating pattern and the end of the first connection pattern, the first and second substrates are formed by undercuts generated at both ends of the first connection pattern. The contact failure between the first electrode pattern and the first connection pattern can be prevented.

다음으로, 도 7a 및 도 7b를 참조하여 터치 스크린 패널의 절연패턴(130)을 형성하기 위한 제 2 마스크 공정에 대해 설명하기로 한다. 도 7a는 제 2 마스크 공정에 의해 제 1 연결패턴(120)의 일부와 중첩되도록 형성되는 절연패턴(130)을 도시한 평면도이고, 도 7b 내지 도 7d는 도 7a에 도시된 절연패턴(130)을 형성하기 위한 제 2 마스크 공정을 도시한 단면도이다. Next, a second mask process for forming the insulating pattern 130 of the touch screen panel will be described with reference to FIGS. 7A and 7B. FIG. 7A is a plan view illustrating an insulating pattern 130 formed to overlap a part of the first connection pattern 120 by a second mask process, and FIGS. 7B to 7D illustrate the insulating pattern 130 shown in FIG. 7A. It is sectional drawing which shows the 2nd mask process for forming this.

제 1 연결패턴(120)이 형성된 기판(100) 상에 스퍼터링 등의 증착방법을 통해 도 7b에 도시된 바와 같이 절연층(INS)을 형성한다. 절연층(INS)의 재료로는 질화 실리콘(SiNx), 산화 실리콘 등의 무기 절연물질이 바람직하지만, 포토아크릴 등의 유기 절연물질이 이용될 수도 있다. The insulating layer INS is formed on the substrate 100 on which the first connection pattern 120 is formed as shown in FIG. 7B through a deposition method such as sputtering. As the material of the insulating layer INS, an inorganic insulating material such as silicon nitride (SiNx) or silicon oxide is preferable, but an organic insulating material such as photoacryl may be used.

기판(100) 상에 절연층(INS)이 형성된 후, 포토리소그래피 공정을 이용하여, 도 7c에 도시된 바와 같이 제 1 연결패턴(120)의 중앙부와 중첩되도록 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a)의 길이보다 작은 폭을 갖는 포토레지스트 패턴(PR)을 형성한다. After the insulating layer INS is formed on the substrate 100, a straight line of the first connection pattern 120 is formed to overlap the central portion of the first connection pattern 120 using a photolithography process as shown in FIG. 7C. The photoresist pattern PR having a width smaller than the length of the portion 120a is formed.

그리고, 도 7d에 도시된 바와 같이 포토레지스트 패턴(PR)을 마스크로 이용하여 절연층(INS)을 건식 식각하면 절연층(INS)이 패터닝되어, 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a)의 중앙부와 중첩되며, 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a)의 일부와 연장부(120b)를 노출시키는 절연패턴(130)이 형성되게 된다. As shown in FIG. 7D, when the insulating layer INS is dry-etched using the photoresist pattern PR as a mask, the insulating layer INS is patterned to form a straight portion 120a of the first connection pattern 120. Insulation pattern 130 overlapping with the central portion of the), exposing a portion of the straight portion (120a) of the first connection pattern 120 and the extension portion (120b) is formed.

다음으로, 도 8a 및 도 8b를 참조하여 터치 스크린 패널의 제 1 전극패턴(141), 제 2 전극패턴(151) 및 제 2 전극패턴 연결부(153)을 형성하기 위한 제 3 마스크 공정에 대해 설명하기로 한다. Next, a third mask process for forming the first electrode pattern 141, the second electrode pattern 151, and the second electrode pattern connector 153 of the touch screen panel will be described with reference to FIGS. 8A and 8B. Let's do it.

제 1 연결패턴(120)과 절연패턴(130)이 형성된 기판(100) 상에 스퍼터링 등의 공정을 통해 제 2 도전층을 전면 증착한다. 제 2 도전층의 재료로서는 ITO 또는 IZO가 이용될 수 있다. 그리고, 포토리소그래피 공정을 이용하여 제 2 도전층을 습식 식각함으로써 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같은 제 1 및 제 2 전극패턴들(141, 151) 및 제 2 전극패턴 연결부(153)를 형성한다. The second conductive layer is entirely deposited on the substrate 100 on which the first connection pattern 120 and the insulating pattern 130 are formed through sputtering or the like. ITO or IZO may be used as the material of the second conductive layer. The first and second electrode patterns 141 and 151 and the second electrode pattern connection part 153 as shown in FIGS. 8A and 8B are formed by wet etching the second conductive layer using a photolithography process. do.

한편, 절연패턴(130)을 형성하는 제 2 마스크 공정에서, 절연층(INS)을 형성하기 위해 공급되는 식각가스 입자는 노출된 기판(100)과 제 1 연결패턴(120)과 충돌하며, 제 1 연결패턴(120)과 기판(100) 간의 단차에 때문에 절연패턴(130) 외측으로 노출되는 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a) 및 연장부(120b)의 테두리 부분에 대응하는 기판(100)의 위치에 국부적으로 집중될 수 있다. 그러나, 제 1 연결패턴(120)의 연장부(120b)의 테두리 부분은 각각 다른 방향을 향해 형성되어 있으므로 비록 연장부(120b)의 테두리 부분에 대응하는 기판(100)의 위치에 언더컷이 발생한다 하더라도 제 1 전극패턴(141)과 제 1 연결패턴(120)의 직선부(120a) 및 연장부(120b)가 중첩되는 모든 부분에서 제 1 연결패턴(120)과 제 1 전극패턴(141) 사이의 전기적인 접촉에서 불량이 발생하는 것은 아니므로 제 1 전극패턴(141)과 제 1 연결패턴(120) 간의 전기적 경로가 확보될 수 있게 되어 터치 성능의 저하를 초래하지 않게 된다. Meanwhile, in the second mask process of forming the insulating pattern 130, the etching gas particles supplied to form the insulating layer INS collide with the exposed substrate 100 and the first connection pattern 120. 1 The substrate corresponding to the edge portion of the straight portion 120a and the extension portion 120b of the first connection pattern 120 exposed to the outside of the insulating pattern 130 due to the step between the connection pattern 120 and the substrate 100. It may be localized at the location of 100. However, since the edge portions of the extension portions 120b of the first connection pattern 120 are formed in different directions, undercuts occur at positions of the substrate 100 corresponding to the edge portions of the extension portions 120b. Even if the first electrode pattern 141 and the first connection pattern 120 overlaps the first connection pattern 120 and the first electrode pattern 141 in all portions where the straight portion 120a and the extension portion 120b overlap. Since a defect does not occur in the electrical contact of the electrical path between the first electrode pattern 141 and the first connection pattern 120 can be secured so as not to deteriorate the touch performance.

상술한 본 발명의 정전용량식 터치 스크린 패널 및 그 제조방법에 따르면, 제 1 연결패턴(120)이 직선부(120a)와 상기 직선부(120a)가 지향하는 방향과 다른 방향으로 연장되는 연장부(120b)를 구비하므로, 제 1 전극패턴(141)과 제 1 연결패턴(120)의 중첩면적이 증가된다. 따라서, 절연패턴(130) 형성시 기판(100)에 언더컷이 발생하고, 그 후에 제 1 전극패턴(141)을 형성하더라도 상기 중첩면적의 증가로 인해 제 1 전극패턴(141)과 제 1 연결패턴(120) 사이의 전기적 경로가 확보되므로, 언더컷에 의한 터치 스크린 패널의 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다. According to the capacitive touch screen panel of the present invention and a method of manufacturing the same, an extension part in which the first connection pattern 120 extends in a direction different from the direction in which the straight part 120a and the straight part 120a are directed Since 120b is provided, an overlapping area of the first electrode pattern 141 and the first connection pattern 120 is increased. Therefore, even when the undercut is generated in the substrate 100 when the insulating pattern 130 is formed, and after the first electrode pattern 141 is formed, the first electrode pattern 141 and the first connection pattern are increased due to the increase in the overlapping area. Since the electrical path between the 120 is secured, there is an effect that can prevent the failure of the touch screen panel due to the undercut.

본 발명의 실시예에 따른 터치 스크린 패널은 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display, FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP), 전계발광 표시장치(Electroluminescence Device, EL), 전기영동 표시장치 등을 포함하는 표시장치에 적용될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 실시예들에 따른 터치 스크린 패널의 기판은 상기 표시장치의 기판으로서 사용될 수 있다. The touch screen panel according to an embodiment of the present invention is a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), an electroluminescent display ( It can be applied to a display device including an electroluminescence device (EL), an electrophoretic display device. In this case, the substrate of the touch screen panel according to the embodiments of the present invention may be used as the substrate of the display device.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

100 : 기판 120 : 제 1 연결패턴
120a : 직선부 120b : 연장부
130 : 절연패턴 140 : 제 1 전극열
141 : 제 1 전극패턴 150 : 제 2 전극열
151 : 제 2 전극패턴 153 : 제 2 전극패턴 연결부 100: substrate 120: first connection pattern
120a: straight portion 120b: extension portion
130: insulating pattern 140: first electrode string
141: first electrode pattern 150: second electrode string
151: second electrode pattern 153: second electrode pattern connection portion

Claims (10)

기판;
상기 기판 상에 제 1 방향으로 배열되는 복수의 제 1 전극열들;
상기 제 1 전극열들과 교차하도록 제 2 방향으로 배열되는 복수의 제 2 전극열들;
상기 제 1 전극열들과 상기 제 2 전극열들의 교차부에 형성되어 상기 복수의 제 1 전극열들과 상기 복수의 제 2 전극열들을 전기적으로 절연시키는 복수의 절연패턴들;
상기 복수의 제 1 전극열들의 각각은 서로 분리되도록 형성되는 복수의 제 1 전극패턴들과, 상기 제 1 절연층의 하부에 형성되어 이웃하는 상기 제 1 전극패턴들을 전기적으로 접속시키는 제 1 연결패턴을 포함하고,
상기 복수의 제 2 전극열들의 각각은 복수의 제 2 전극패턴들을 포함하며,
상기 제 1 연결패턴은 직선부와 상기 직선부로부터 연장되어 상기 직선부가 지향하는 방향과 다른 방향으로 연장되는 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
Board;
A plurality of first electrode rows arranged in a first direction on the substrate;
A plurality of second electrode rows arranged in a second direction to intersect the first electrode rows;
A plurality of insulating patterns formed at an intersection of the first electrode rows and the second electrode rows to electrically insulate the plurality of first electrode rows and the plurality of second electrode rows;
Each of the plurality of first electrode strings may include a plurality of first electrode patterns formed to be separated from each other, and a first connection pattern formed under the first insulating layer to electrically connect the adjacent first electrode patterns. Including,
Each of the plurality of second electrode strings includes a plurality of second electrode patterns.
The first connection pattern may include a straight portion and an extension portion extending from the straight portion and extending in a direction different from the direction in which the straight portion is directed.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 연결패턴의 연장부는 상기 직선부의 양단부로부터 원형, 타원형, 사각형, 다각형 및 지그재그 중의 하나 또는 이들이 결합된 형태로 각각 연장되어형성되는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
The method of claim 1,
The extension part of the first connection pattern is a touch screen panel, characterized in that extending from one end of the straight portion, one of circular, elliptical, square, polygonal and zigzag or in the form of a combination thereof.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 연결패턴의 연장부는 상기 직선부의 양단부의 측면부로부터 원형, 타원형, 사각형, 다각형 및 지그재그 중의 하나 또는 이들이 결합된 형태로 각각 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
The method of claim 1,
The extension portion of the first connection pattern is a touch screen panel, characterized in that formed from the side of the both ends of the straight portion of the circular, elliptical, square, polygonal and zigzag or in the form of a combination thereof.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 연결패턴의 직선부의 적어도 일부와 상기 연장부는 절연패턴과 비중첩부를 갖는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
The method of claim 1,
At least a portion of the straight portion of the first connection pattern and the extension portion have an insulation pattern and a non-overlapping portion.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 연결패턴은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, CuOx, Cr 중의 어느 하나를 포함하는 제 1 층과, 상기 제 1 층 상에 형성되며 ITO 및 IZO 중의 어느 하나를 포함하는 제 2 층을 포함하는 복층구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
The method of claim 1,
The first connection pattern may include a first layer including any one of Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, CuOx, and Cr, and a second layer formed on the first layer and including any one of ITO and IZO. Touch screen panel, characterized in that formed in a multi-layer structure comprising a.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 연결패턴의 직선부의 일부와 상기 제 1 연결패턴의 연장부는 상기 제 1 전극패턴과 직접 접촉되는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
The method of claim 1,
A portion of the straight portion of the first connection pattern and an extension of the first connection pattern are in direct contact with the first electrode pattern.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극패턴과 상기 제 2 전극패턴은 상기 기판의 동일면 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
The method of claim 1,
The first electrode pattern and the second electrode pattern is formed on the same surface of the substrate, the touch screen panel.
기판의 전면 상에 제 1 도전층을 형성하고, 상기 제 1 도전층을 패터닝하여 복수의 제 1 연결패턴들을 형성하는 제 1 단계;
상기 제 1 도전성 패턴이 형성된 상기 기판의 전면 상에 절연층을 형성하고, 상기 제 1 연결패턴의 중앙부와 중첩되며 양단부를 노출시키는 절연패턴을 형성하는 제 2 단계; 및
상기 절연패턴이 형성된 기판의 전면 상에 제 2 도전층을 형성하고, 상기 제 2 도전층을 패터닝하여 제 1 방향으로 평행하게 배열되는 복수의 제 1 전극열들과, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 평행하게 배열되는 복수의 제 2 전극열들을 포함하는 제 2 도전성 패턴을 형성하는 제 3 단계를 포함하며,
상기 제 1 연결패턴은 직선부와 상기 직선부로부터 연장되어 상기 직선부가 지향하는 방향과 다른 방향으로 연장되는 연장부를 포함하고,
상기 복수의 제 1 전극열들의 각각은 서로 분리된 복수의 제 1 전극패턴들을 포함하고, 서로 인접한 상기 제 1 전극패턴들은 상기 제 1 연결패턴의 상기 직선부의 일부 및 상기 연장부와 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
Forming a first conductive layer on the entire surface of the substrate and patterning the first conductive layer to form a plurality of first connection patterns;
A second step of forming an insulating layer on an entire surface of the substrate on which the first conductive pattern is formed, and forming an insulating pattern overlapping a central portion of the first connection pattern and exposing both ends; And
Forming a second conductive layer on the entire surface of the substrate on which the insulating pattern is formed, and patterning the second conductive layer to cross the first direction with a plurality of first electrode rows arranged in parallel in a first direction; A third step of forming a second conductive pattern comprising a plurality of second electrode rows arranged in parallel in a second direction,
The first connection pattern includes a straight portion and an extension portion extending from the straight portion and extending in a direction different from the direction in which the straight portion is directed.
Each of the plurality of first electrode strings includes a plurality of first electrode patterns separated from each other, and the first electrode patterns adjacent to each other directly contact a portion of the straight portion of the first connection pattern and the extension part. Method of manufacturing a touch screen panel characterized in that.
제 8 항에 있어서,
상기 제 2 공정은,
상기 기판 상에 형성된 상기 절연층 상에 상기 제 1 연결패턴의 중앙부와 중첩되도록 상기 제 1 연결패턴의 길이보다 작은 폭을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 상기 절연층을 건식 식각하여 상기 제 1 연결패턴 직선부와 중첩되고, 상기 1 연결패턴의 연장부는 노출시키는 절연패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
The method of claim 8,
The second step,
Forming a photoresist pattern on the insulating layer formed on the substrate, the photoresist pattern having a width smaller than the length of the first connection pattern so as to overlap a central portion of the first connection pattern; And
And dry etching the insulating layer using the photoresist pattern as a mask to form an insulating pattern overlapping the first connection pattern straight part and exposing the extension part of the first connection pattern. Method of manufacturing a screen panel.
제 8 항에 있어서,
상기 제 1 연결패턴의 연장부는 상기 직선부의 양단부로부터 원형, 타원형, 사각형, 다각형 및 지그재그 중의 하나 또는 이들이 결합된 형태로 각각 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
The method of claim 8,
The extension part of the first connection pattern is a method of manufacturing a touch screen panel, characterized in that extending from one end of the straight portion, one of circular, elliptical, square, polygonal and zigzag or in the form of a combination thereof.
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