KR20120030070A - 미처리 케이블 단부 동축 커넥터 - Google Patents

미처리 케이블 단부 동축 커넥터 Download PDF

Info

Publication number
KR20120030070A
KR20120030070A KR1020117028672A KR20117028672A KR20120030070A KR 20120030070 A KR20120030070 A KR 20120030070A KR 1020117028672 A KR1020117028672 A KR 1020117028672A KR 20117028672 A KR20117028672 A KR 20117028672A KR 20120030070 A KR20120030070 A KR 20120030070A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
coupling
connector
cable
coaxial
grip ring
Prior art date
Application number
KR1020117028672A
Other languages
English (en)
Inventor
나히드 이슬람
알 콕스
Original Assignee
앤드류 엘엘씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 앤드류 엘엘씨 filed Critical 앤드류 엘엘씨
Publication of KR20120030070A publication Critical patent/KR20120030070A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R9/00Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, e.g. terminal strips or terminal blocks; Terminals or binding posts mounted upon a base or in a case; Bases therefor
    • H01R9/03Connectors arranged to contact a plurality of the conductors of a multiconductor cable, e.g. tapping connections
    • H01R9/05Connectors arranged to contact a plurality of the conductors of a multiconductor cable, e.g. tapping connections for coaxial cables
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R24/00Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure
    • H01R24/38Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts
    • H01R24/40Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts specially adapted for high frequency
    • H01R24/56Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts specially adapted for high frequency specially adapted to a specific shape of cables, e.g. corrugated cables, twisted pair cables, cables with two screens or hollow cables
    • H01R24/564Corrugated cables
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R24/00Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure
    • H01R24/38Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts
    • H01R24/40Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts specially adapted for high frequency
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R9/00Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, e.g. terminal strips or terminal blocks; Terminals or binding posts mounted upon a base or in a case; Bases therefor
    • H01R9/03Connectors arranged to contact a plurality of the conductors of a multiconductor cable, e.g. tapping connections
    • H01R9/05Connectors arranged to contact a plurality of the conductors of a multiconductor cable, e.g. tapping connections for coaxial cables
    • H01R9/0521Connection to outer conductor by action of a nut
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/46Bases; Cases
    • H01R13/52Dustproof, splashproof, drip-proof, waterproof, or flameproof cases
    • H01R13/5205Sealing means between cable and housing, e.g. grommet
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/648Protective earth or shield arrangements on coupling devices, e.g. anti-static shielding  
    • H01R13/658High frequency shielding arrangements, e.g. against EMI [Electro-Magnetic Interference] or EMP [Electro-Magnetic Pulse]
    • H01R13/6581Shield structure
    • H01R13/6582Shield structure with resilient means for engaging mating connector
    • H01R13/6583Shield structure with resilient means for engaging mating connector with separate conductive resilient members between mating shield members
    • H01R13/6584Shield structure with resilient means for engaging mating connector with separate conductive resilient members between mating shield members formed by conductive elastomeric members, e.g. flat gaskets or O-rings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R2103/00Two poles

Landscapes

  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)

Abstract

동축 커넥터는 압착 측벽의 직경이 증가한다. 그립 링은 커플링 바디 보어내에 안치되고, 커넥터 단부를 향해 연장하는 다수의 커플링 스프링 핑거를 포함한다. 커플링 스프링 핑거의 내경은 그립면을 가지며 커플링 스프링 핑거의 커넥터 단부에는 내향 돌출 케이블 스톱이 제공된다. 커넥터 바디와 커플링 바디는 나사를 통해서 함께 커플링되며, 그립 링은 압착 측벽에 대항해 상기 커플링 스프링 핑거를 박아 넣고, 외부 도체의 외경이 케이블 스톱에 인접한 커플링 바디 보어내에 안치될 때, 압착력을 발생하도록, 나사를 따라서 상기 커플링 바디의 축선방향 전진을 위해 치수설정되어 있다.

Description

미처리 케이블 단부 동축 커넥터{UNPREPARED CABLE END COAXIAL CONNECTOR}
본 발명은 동축 케이블의 전기 커넥터에 관한 것이다. 특히 본 발명은 외경이 미처리 케이블 단부를 가지는 동축 케이블에 적합한 전기-기계 상호접속을 그립핑하는 외부 도체를 갖은 동축 커넥터에 관한 것이다.
예를 들어 제목이 "포지티브 클램핑 너트 부착물을 가진 동축 케이블"이고 발명자가 레리 부엔즈이고, 2010년 9월 21일자로 특허허여된 미국 특허 제6,793,529(여기에 참조로 사용됨)에 공지된 바와 같은 포지티브 스톱형 동축 케이블은 나사 상호 접속을 위해 구성된 커넥터 바디와 백 너트(back nut)를 가진다. 커넥터 바디와 백 너트가 함께 나사결합되면, 동축 케이블의 외부 도체의 플레어된 선단 에지(flared leading edge)는 고정식 전기-기계 상호접속으로 커넥터 바디와 커플링 바디사이에 클립된다. 알맞은 나사결합 완성을 나타내고 과죄임으로부터 커넥터 및/또는 동축 케이블의 손상을 피하기 위해서, 커넥터 바디와 백 바디 사이의 포지티브 스톱을 적용할 수 있으며, 이 경우에 백 바디와 커넥터 바디 사이의 나사결합은 알맞은 량의 죄임이 도달되는 것을 설치자에게 명확하게 신호하는, 소망의 최대 죄임 압착/토크력이 발생하는 특정 축선 위치에 바닥에서 놓인다. 커넥터 및/또는 외부 도체 치수의 제작시 변화 및/또는 열 팽창 사이클링을 허용하기 위해서, 압착 요소는 외부 도체, 백 바디 및/또는 커넥터 바디의 내부 접촉면사이에 삽입된다. 압착 요소는 통상적으로, 압착 요소에 대한 손실 및/또는 손상 위험을 발생하는, 설치전에 동축 커넥터에 느슨하게 제공된다.
종래 포지티브형 동축 커넥터 디자인은 통상적으로 커넥터 바디, 외부 도체의 선단에지 및 백 너트사이의 클램프 기계 상호접속을 용이하게 하도록 외부 도체의 플레링(flaring)을 필요로 한다. 설치전에, 동축 케이블은 클램프 형태 상호 접속을 위해 특별히 외부 도체의 내경으로부터 절연재료 및/또는 접착제를 제거 처리해야만 한다. 이런 케이블 단부 처리는 통상적으로 각 설치자가 특정 케이블 절연 코닝/스트립 툴을 사용하게 만든다.
현 시장 경향은 전통적인 구리재 동축 케이블을 알루미늄재 동축 케이블로 대체하여, 재료 비용을 절약하고 동축 케이블의 단위 길이당 중량을 낮추는 것이다. 또한, 부드러운 벽 외부 도체 케이블은 주름진 외부 도체 동축 케이블 구성과 비교해서 고유의 재료비와 케이블 중량의 장점을 제공한다.
알루미늄은 구리에 비해서 냉간가공 성질(굽힘)을 포함하는 낮은 기계적 강도를 가진다. 알루미늄은 크리프(creep)에 민감하고 굽힘, 당김 및/또는 비트림에 의한 극한 접촉압을 가지는 단일 접촉점(single contact)에서 약해질 수 있다.
부드러운 벽 케이블은 주름진 케이블에 비해서 가요성이 낮다; 그러나 주름진 동축 케이블에서 작업하는데 익숙한 사용자는 부드러운 벽 케이블의 낮은 굽힘성을 인식하지 못할 것이다. 부적절한 굽힘 반경을 적용하려고 하는 사용자는 종래 동축 케이블과 케이블 상호접속에 과스트레스를 줄 수 있다.
동축 케이블과 커넥터 산업내의 경쟁자들은 전기 성능을 개선하고 제작, 재료 및 설치 비용을 낮추는데 주로 관심이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이러한 종래 기술의 결점들을 극복하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 명세서의 일부분으로 사용되고 구성되는 첨부 도면은 상술한 본 발명의 일반적인 개념과 함께, 본 발명의 실시예을 도시하며, 아래의 상세한 설명은 본 발명의 원리를 설명하고자 한다.
분명하게, 다른 실시예의 유사한 요소들은 동일한 부호를 사용하고, 다른 도면에서의 약간의 부호는 특별히 각 도면에서 생략될 수 있다.
도 1은 동축 커넥터의 제1실시예의 90도 절단 측면도로, 동축 케이블이 삽입되어 커플링 바디를 커넥터 바디에 커플링할 준비가 되어 있음.
도 2는 그립 링의 사시도.
도 3은 도 2의 90도 절단 측면도.
도 4는 동축 케이블에 부착된 도 1의 동축 커넥터의 90도 절단 측면도.
도 5는 도 4의 확대도.
도 6은 동축 케이블에 부착된, 동축 커넥터의 제2실시예의 90도 절단 측면도.
도 7은 도 6의 확대도.
도 8은 커플링 바디와 여기에 장착된 스프링 접점을 가진, 그립 링의 제2실시예의 사시도.
도 9는 도 8의 절단 측면도.
도 10은 동축 케이블에 부착된, 동축 커넥터의 제3실시예의 90도 절단 측면도.
도 11은 도 10의 확대도.
도 12는 그립 링의 제3실시예의 사시도.
도 13은 도 12의 절단 측면도.
도 14는 동축 케이블에 부착된, 동축 커넥터의 제4실시예의 90도 절단 측면도.
도 15는 도 14의 확대도.
도 16은 그립 링의 제2실시예의 사시도.
도 17은 도 16의 절단 측면도.
도 18은 동축 케이블에 부착된, 동축 커넥터의 제5실시예의 90도 절단 측면도.
도 19는 도 18의 확대도.
도 20은 동축 케이블에 부착된, 동축 커넥터의 제6실시예의 90도 절단 측면도.
도 21는 도 20의 확대도.
도 22은 그립 링의 제6실시예의 사시도.
도 23은 도 22의 절단 측면도.
도 24는 변경 그립 링의 사시도.
도 25는 도 24의 90도 절단 측면도.
이 기술 분야의 숙련된 자는 커넥터 단부(1)와 케이블 단부(3)가 동축 커넥터의 다양한 요소 사이의 접촉 상호 관계 및/또는 길이방향 위치를 명확하게 하기 위해서 여기서 사용되고 있음을 알 수 있다. 동축 커넥터(5) 길이방향 축선을 따른 인접 요소와 관련된 정확한 위치에 더해서, 각 개별 요소는 커넥터 단부측과 케이블 단부측, 즉 각 동축 커넥터(5)의 케이블 단부(3)와 커넥터 단부(1)와 직면하는 각 요소의 측면들을 가진다.
도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 동축 커넥터의 제1실시예는 커넥터 바디 보어(9)가 제공된 커넥터 바디(7)를 포함한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 커넥터 바디 보어(9)내에 제공된 압착 측벽(41)은 케이블 단부(3)를 향해 증가하는 직경을 가진다. 커플링 바디 보어(21)가 제공된 커플링 바디(19)는 커넥터 바디(7)에 나사(47)를 통해서 커플링된다.
도 2와 도 3에 도시한, 그립 링(23)은 커플링 바디 보어(21)내에 안치되어 있다. 그립 링(23)은 그립 링(23)의 케이블 단부(3)에서 내향 돌출 커플링 스톱(15)에 인접할 때까지 외부 도체(17)의 단부를 수용하도록 치수설정되어 있다.
그립 링(23)은 커넥터 단부(1)를 향해 연장하는 다수의 커플링 스프링 핑거(31)를 가지며, 커플링 스프링 핑거(31)의 내경에는 그립면(33)이 형성되어 있다. 그립면(33)은 다수의 환형 바브(35, annular barb)로서 형성될 수 있으며, 예를 들어, 각각의 바브(35)에는 커넥터 단부측에 스톱면(37)과 케이블 단부측에 삽입면(39)이 제공되며, 스톱면(37)은 길이방향 축선에 수직으로 제공되며 삽입면(39)은 커넥터 단부(1)를 향해 각형성되어 있다. 이로써, 외부 도체(17)는 커플링 스프링 핑거(31)를 외향으로 펴지게 하고, 커넥터 단부(1)를 향해 바브(35)의 각형성된 삽입면(39)를 지나서 슬라이드시켜서 삽입될 수 있지만, 스톱면(37)은 케이블 단부(3)를 향한 이동이 시작된다면 외부 도체(17)의 외경면을 잡아서 그립할 것이다. 변경적으로, 그립면(33)은 예를 들어, 나선형 나사로서 형성될 수 있다.
압착 바디(25), 예를 들어 나선형 코일 스프링은 커플링 스프링 핑거(31)의 외경에, 상향 돌출 압착 바디 슐더(43)과 커플링 바디(19)의 압착면(26) 사이에 안착된다. 와셔(57)는 압착 바디(25)와 압착면(26) 사이에 제공될 수 있어서, 커플링 바디(19)와 커넥터 바디(7)의 나사결합 동안 폴링(fouling)을 감소한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 그립 링(23)은 커플링 바디 보어(21)의 환형 유지 그로브(29)내에 안치된 그립 링(23)의 케이블 단부(3)에 있는 외향 돌출 커플링 슐더(27)에 의해 커플링 바디(19)에 유지 커플링될 수 있다.
커넥터 바디(7)와 커플링 바디(19)가 함께 나사결합하면, 압착면(26)은 압착 바디(25)를 압착 바디 슐더(43)로 이로써 압착 측벽(41)에 대항해 커플링 스프링 핑거(32)로 박혀지고, 외부 도체(17)의 외경이 케이블 스톱(15)에 인접하는 커플링 바디 보어(21)내에 안치될 때 방사 내향으로 압착력을 발생시킨다.
외부 도체(17)의 외경으로 박혀지는 그립면(33)과 균일한 원주 방사 내향 압착력은 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이 외부 도체(17)와 커넥터 바디(7) 사이의 고정 전기기계 상호연결을 제공한다.
커플링 슐더(27)와 커플링 바디(19)의 유지 그로브(29) 사이의 축선방향 여유는 그립 링(23)의 케이블 단부(3)와 커플링 바디 보어(21)의 내향 돌출 가스켓 슐더(51)사이에 안치된 가스켓(49)을 압축하는데 이용될 수 있다. 이로써, 외부 도체(17)는 비압착된 상태로 가스켓(49)을 통해서 쉽게 삽입될 수 있으며, 그리고 커플링 바디(19)가 커넥터 바디(7)를 향해 전진되면, 그립 링(23)은 유지 그로브(29)의 케이블 단부(3)를 향해 박혀지고, 가스켓 슐더(51)에 대항해 가스켓(49)을 압착하여, 가스켓을 방사내향으로 변형시켜서 외부 도체(17)의 외경과 고정 밀봉 결합한다(도 5).
커플링 스프링 핑거(31)의 방사 내향 이동에 의해 발생된 방사 내향 압착력은 커넥터 바디(7)를 향한 커플링 바디(19)의 추가의 이동(나사결합)을 방지함으로써 소정의 최대 토크에서 압착력을 멈추게 하는, 커플링 바디(19)와 커넥터 바디(7)사이의 면 대 면 포지티브 스톱(45)(도 4)의 적용으로 제한될 수 있다. 이 때에 소망의 최대 토크를 발생하는 것으로 알려진, 커플링 바디(19)와 커넥터 바디(7) 사이의 특정 미리선택된 축선방향 위치설정이 도달하게 된다.
커넥터 바디(7)와 커플링 바디(19)(도 1) 사이의 나사결합은 다수의 상호 이격된 나사(47), 예를 들어 4개의 상호 이격된 나사선으로서 적용될 수 있다. 나사 피치를 증가해서, 나사결합된 상호접속의 강도 특성을 크게 감소하지 않고, 커넥터 바디(7)와 포지티브 스톱(45) 결합으로 커플링 바디(19)를 전진시키는데 필요한 회전수를 크게 감소한다.
추가의 실시예에서, 예를 들어 도 6 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 외부 도체 단부에 인접한, 외부 도체(17)의 외경과 그립 링(23) 사이의 원주의 균일성은 커플링 스프링 핑거(31)의 내경내에 제공된 스프링 접점 그로브(13)내에 안치된 스프링 접점, 예를 들어 나선형 코일 스프링을 추가함으로써 IMD 및/또는 RF 누설의 감소를 보강시킬 수 있다. 스프링 접점은 외부 도체의 외경에 대해서 편향하도록 치수설정되어 있다.
이 기술 분야의 숙련된 자는 그립 링 구성을 예를 들어 도 10 및 도 13에 도시한 바와 같이, 변경 실시예에서 거꾸로 할 수 있음을 알 수 있으며, 따라서 커플링 스프링 핑거는 케이블 단부(3)를 향해 직경이 감소하는 커플링 바디(9)의 압착 측벽(41)과의 접촉으로 커넥터 바디(7)를 향한 커플링 바디(19)의 축선방향 이동 동안, 방사 내향으로 편향된 상태로, 케이블 단부(3)를 향해 연장한다. 압착 측벽(41)은 유지 그로브(29)의 바닥으로써 제공된다.
그립 링(23)은 하나의 기계 요소로서 설명되어 있다. 변경적으로, 예를 들어 도 14 내지 도 19에 도시한 바와 같이, 그립 링(23)은 스탬핑 및 롤링 제작 기술을 사용해서 효과적으로 형성될 수 있다. 도 16 및 도 17에 도시한 바와 같이, 상호 이격된 커플링 스프링 핑거 구성은 케이블 단부(3)와 커넥터 단부(1) 양쪽을 향해 연장하는 커플링 스프링 핑거(31)에 적용한다. 이로써, 압착 측벽(41)은 케이블 단부에서의 커플링 바디 보어(21)과 케넉터 단부에서의 커넥터 바디 보어 양쪽에서 그립 링(23)의 콘택트 포인트로 이용될 수 있다.
그립 링(23)의 U 굽힘으로서 형성된 커플링 슐더(27)가 그립 링(23)의 재료 특성에 좌우되므로, 압착 바디(25)의 기능은 예를 들어 도 18 및 도 19에서 설명한 바와 같이 그립 링(23)과 통합될 수 있다.
커플링 바디(19)가 커넥터 바디 위로 나사결합되는 실시예는, 예를 들어 도 20 내지 도 23에 도시한 바와 같이, 또한 이용될 수 있다. 그립 링(23)은 동축 케이블의 자켓(59)을 또한 안치시켜서 그립 링(23)에 분포시켜, 외부 도체(17)와 자켓(59) 양쪽을 결합하도록 배치되어 있다.
스탬프되고 롤링된 형태의 그립 링(23)이 적용되는 경우에, 그립면(33)은 예를 들어 도 16과 도 17에 도시한 바와 같이, 환형 바브(barb) 구성으로, 재료를 통해서 부분적으로 스탬프함으로 또는 변경적으로 예를 들어 도 24와 도 25에 도시한 바와 같이 넓은 베이스로부터 커넥터 단부(1)에서의 스톱면(37)까지 상승하는 삽입면(39)을 가진 다수의 웨지 형상으로서 효과적으로 형성될 수 있다.
상술한 실시예가 부드러운 벽 단단한 외부 도체 케이블에 특히 적합할 지라도, 이들은 또한 다른 단단한 외부 도체 구성, 예를 들면 환형 주름진 단단한 외부 도체에 적용될 수 있다. 여기서, 동축 케이블은 단부를 주름 피크에서 절단함으로써 준비되며, 밀봉 가스켓을 압착시키기 위한 주름 피크를 나타내고 외부 도체의 선단에지가 그립 링 리브(slip ring lip)에 대해서 안치될 수 있도록 동축 케이블을 위치시킨다.
이 기술 분야의 숙련된 자는 커플링 바디(19)에 그립 링(23)을 예비 부착하여, 그립 링(23)과 커플링 바디(19) 사이에 보호된 압착 바디(25)는 조립 및/또는 부적절한 조립 전에 커넥터의 개별 요소들을 느슨하게 하는 기회를 크게 감소함을 알 수 있다.
전술한 설명에서는 알려진 등가물을 가진 비율(ratio), 완전체(integer) 또는 부품을 참고로 하였으며, 이런 등가물은 개별적으로 설명한 것 처럼 사용되어 있다.
본 발명을 그의 실시예들의 설명에 의해 나타내었고, 상기 실시예들은 상당히 구체적으로 설명되었지만, 출원인의 의도는, 이러한 구체예로 첨부된 특허청구의 범위를 어떠한 방식으로 한정 또는 제한하려는 것은 아니다. 다른 장점들 및 변형들이 당업자들에 의해 즉각적으로 나타날 것이다. 따라서, 본 발명은 그의 광의의 양태들에서 특정의 구체예들, 대표적인 장치, 방법들, 및 도시되어 설명된 예시적인 예들로 제한되지 않는다. 그러므로, 출원인의 일반적인 발명의 개념의 정신 또는 범위에서 벗어나지 않고, 이러한 구체예로부터 새로운 발전이 이루어질 수 있다. 또한, 첨부된 특허청구의 범위에 의해 정의된 바와 같은 본 발명의 범위 또는 정신에서 벗어나지 않는 개선들 및/또는 변형들이 이루어질 수 있음을 이해하기 바란다.
1: 커넥터 단부
3: 케이블 단부
5: 동축 커넥터
7: 커넥터 바디
9: 커넥터 바디 보어
11: 스프링 접점
13: 스프링 접점 그로브
15: 케이블 스톱
17: 외부 도체
19: 커플링 바디
21: 커플링 바디 보어
23: 그립 링
25: 압착 바디
26 : 압착면
27: 커플링 슐더
29: 유지 그로브
31: 커플링 스프링 핑거
33: 그립면
35: 바브
37: 스톱면
39: 삽입면
41: 압착 측면
43: 압착 바디 슐더
45: 포지티브 스톱
47: 나사
49: 가스켓
51: 가스켓 슐더
57:와셔
59: 자켓

Claims (20)

  1. 외부 도체를 갖은 동축 케이블에 사용하기 위한 동축 커넥터로서,
    커넥터 바디 보어가 제공된 커넥터 바디;
    커플링 바디 보어가 제공된 커플링 바디;
    상기 커넥터 바디의 케이블 단부를 향해 직경이 증가하는 커넥터 바디 보어의 압착 측벽;
    상기 커플링 바디 보어내에 안치되고, 커넥터 단부를 향해 연장하는 다수의 커플링 스프링 핑거와, 그립면이 제공된 상기 커플링 스프링 핑거의 내경과, 상기 커플링 스프링 핑거의 커넥터 단부에 제공된 내향 돌출 케이블 스톱을 포함하는 그립 링;
    상기 커플링 바디의 압착면과 상기 커플링 스프링 핑거의 상향 돌출 압착 바디 슐더 사이의 그립 링의 외경상에 안치된 환형 압착 바디를 포함하며,
    상기 커넥터 바디와 상기 커플링 바디는 나사를 통해서 함께 커플링되며,
    상기 그립 링은 압축 슐더에 대항해 압착 바디를 그리고 상기 압착 측벽에 대항해 상기 커플링 스프링 핑거를 박아 넣고, 외부 도체의 외경이 케이블 스톱에 인접한 커플링 바디 보어내에 안치될 때, 압착력을 발생하도록, 나사를 따라서 상기 커플링 바디의 축선방향 전진을 위해 치수설정되어 있는 동축 커넥터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 커넥터 바디를 향해 커플링 바디의 추가의 이동을 방지함으로써 소정의 최대 토크에서 압착력을 스톱하는 커플링 바디와 커넥터 바디사이의 면 대 면 포지티브 스톱을 더 포함하는 동축 케이블.
  3. 제1항에 있어서, 상기 그립 링은 상기 그립 링의 케이블 단부에서 외향 돌출 커플링 슐더에 의해 상기 커넥터 바디 보어내에 유지되며, 상기 커플링 슐더는 상기 커플링 바디의 환형 유지 그로브내에 안치되는 동축 케이블.
  4. 제1항에 있어서, 상기 커플링 스프링 핑거의 내경내에 제공된 스프링 접점 그로브내에 안치된 스프링 접점을 더 포함하며,
    상기 스프링 접점은 상기 외부 도체의 외경에 결합하도록 치수설정되어 있는 동축 케이블.
  5. 제1항에 있어서, 상기 그립면은 다수의 환형 바브인 동축 케이블.
  6. 제1항에 있어서, 상기 환형 바브는 커넥터 단부에 스톱면과 케이블 단부에 삽입면을 가지며, 상기 스톱면은 길이방향 축선에 수직으로 제공되며 상기 삽입면의 직경은 커넥터 단부를 향해 증가하는 동축 케이블.
  7. 제1항에 있어서, 상기 압착면과 상기 압착 바디사이에 와셔를 더 포함하는 는 나선 코일 스프링 링인 동축 케이블.
  8. 제1항에 있어서, 상기 압착 바디는 나선 코일 스프링 링인 동축 케이블.
  9. 제1항에 있어서, 상기 그립 링의 케이블 단부와 상기 커플링 바디 보어의 내향 돌출 밀봉 가스켓 슐더 사이에 안치된 밀봉 가스켓을 더 포함하는 동축 케이블.
  10. 외부 도체를 갖은 동축 케이블에 사용하기 위한 동축 커넥터로서,
    커넥터 바디 보어가 제공된 커넥터 바디;
    커플링 바디 보어가 제공된 커플링 바디;
    상기 커넥터 바디의 케이블 단부를 향해 직경이 감소하는 커넥터 바디 보어의 압착 측벽;
    상기 커플링 바디 보어내에 안치되고, 커넥터 단부를 향해 연장하는 다수의 커플링 스프링 핑거와, 그립면이 제공된 상기 커플링 스프링 핑거의 내경과, 상기 커플링 스프링 핑거의 커넥터 단부에 제공된 내향 돌출 케이블 스톱을 포함하는 그립 링을 포함하며,
    상기 커넥터 바디와 상기 커플링 바디는 나사를 통해서 함께 커플링되며,
    상기 그립 링은 상기 커플링 스프링 핑거에 대항해 상기 압착 측벽을 박아 넣고, 외부 도체의 외경이 케이블 스톱에 인접한 커플링 바디 보어내에 안치될 때, 압착력을 발생하도록, 나사를 따라서 상기 커플링 바디의 축선방향 전진을 위해 치수설정되어 있는 동축 커넥터.
  11. 제10항에 있어서, 상기 커넥터 바디를 향해 클램프 너트의 추가의 이동을 방지함으로써 소정의 최대 토크에서 압착력을 스톱하는 클램프 너트와 커넥터 바디사이의 면 대 면 포지티브 스톱을 더 포함하는 동축 케이블.
  12. 제10항에 있어서, 상기 그립 링은 상기 커플링 바디의 환형 유지 그로브내에 안치된 케이블 단부에서의 외향 돌출 슐더에 의해 상기 커넥터 바디 보어내에 유지되며, 상기 압착 측벽은 상기 유지 그로브의 바닥으로서 제공되는 동축 케이블.
  13. 제10항에 있어서, 상기 커플링 스프링 핑거의 상향 돌출 압착 바디 슐더와 상기 커플링 바디의 압착면 사이의 그립 링의 외경상에 안치된 환형 압착 바디를 더 포함하는 동축 케이블.
  14. 제13항에 있어서, 상기 압착면과 상기 압착 바디 사이에 와셔를 더 포함하는 동축 케이블.
  15. 외부 도체를 갖은 동축 케이블에 사용하기 위한 동축 커넥터로서,
    커넥터 바디 보어가 제공된 커넥터 바디;
    커플링 바디 보어가 제공된 커플링 바디;
    상기 커넥터 바디의 케이블 단부를 향해 직경이 감소하는 커넥터 바디 보어의 압착 측벽;
    상기 커플링 바디 보어내에 안치되고, 커넥터 단부와 케이블 단부를 향해 연장하는 커플링 스프링 핑거를 형성하도록 커넥터 단부와 케이블 단부로부터 연장ㅎ하는 다수의 슬롯과, 그립면이 제공된 상기 커플링 스프링 핑거의 내경과, 상기 커넥터 단부에 제공된 내향 돌출 케이블 스톱을 포함하는 그립 링을 포함하며,
    상기 커넥터 바디와 상기 커플링 바디는 나사를 통해서 함께 커플링되며,
    상기 그립 링은 상기 커플링 스프링 핑거에 대항해 상기 압착 측벽을 박아 넣고, 외부 도체의 외경이 케이블 스톱에 인접한 커플링 바디 보어내에 안치될 때, 압착력을 발생하도록, 나사를 따라서 상기 커플링 바디의 축선방향 전진을 위해 치수설정되어 있는 동축 커넥터.
  16. 제15항에 있어서, 상기 케이블 단부를 향해 연장하는 커플링 스프링 핑거와 상기 커넥터 바디를 향해 연장하는 커플링 스프링 핑거는 서로 얽히여 있는 동축 케이블.
  17. 제15항에 있어서, 상기 커플링 스프링 핑거의 상향 돌출 압착 바디 슐더와 상기 커플링 바디의 압착면 사이의 그립 링의 외경상에 안치된 환형 압착 바디를 더 포함하는 동축 케이블.
  18. 제17항에 있어서, 상기 압착면과 상기 압착 바디 사이에 와셔를 더 포함하는 동축 케이블.
  19. 제15항에 있어서, 상기 커넥터 바디를 향해 클램프 너트의 추가의 이동을 방지함으로써 소정의 최대 토크에서 압착력을 스톱하는 클램프 너트와 커넥터 바디사이의 면 대 면 포지티브 스톱을 더 포함하는 동축 케이블.
  20. 제15항에 있어서, 상기 케이블 단부를 향해 직경이 증가하는 커넥터 바디의 압착 측벽을 더 포함하며, 상기 그립 링은 축선방향 전진 동안 커넥터 바디의 상기 압착 측벽과 접촉하고 또한 외부 도체의 외경이 케이블 스톱에 인접한 커플링 바디 보어내에 안치될 때, 방사 내향으로 압착력을 가하는 동축 케이블.
KR1020117028672A 2009-06-05 2010-06-04 미처리 케이블 단부 동축 커넥터 KR20120030070A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18457309P 2009-06-05 2009-06-05
US61/184,573 2009-06-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20120030070A true KR20120030070A (ko) 2012-03-27

Family

ID=43298194

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117028673A KR20120030071A (ko) 2009-06-05 2010-06-04 슬립 링 접점 동축 케이블
KR1020117028672A KR20120030070A (ko) 2009-06-05 2010-06-04 미처리 케이블 단부 동축 커넥터
KR1020117028670A KR20120026521A (ko) 2009-06-05 2010-06-04 클램프 및 그립 동축 케이블
KR1020117028671A KR20120030069A (ko) 2009-06-05 2010-06-04 동축 커넥터 상호접속 캡

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117028673A KR20120030071A (ko) 2009-06-05 2010-06-04 슬립 링 접점 동축 케이블

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117028670A KR20120026521A (ko) 2009-06-05 2010-06-04 클램프 및 그립 동축 케이블
KR1020117028671A KR20120030069A (ko) 2009-06-05 2010-06-04 동축 커넥터 상호접속 캡

Country Status (6)

Country Link
US (4) US8678858B2 (ko)
EP (4) EP2438652A1 (ko)
KR (4) KR20120030071A (ko)
CN (4) CN102449851A (ko)
BR (4) BRPI1015143A2 (ko)
WO (4) WO2010141890A1 (ko)

Families Citing this family (341)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7114990B2 (en) 2005-01-25 2006-10-03 Corning Gilbert Incorporated Coaxial cable connector with grounding member
US8460031B2 (en) * 2008-11-05 2013-06-11 Andrew Llc Coaxial connector with cable diameter adapting seal assembly and interconnection method
US9394608B2 (en) 2009-04-06 2016-07-19 Asm America, Inc. Semiconductor processing reactor and components thereof
CN102449851A (zh) * 2009-06-05 2012-05-09 安德鲁有限责任公司 电缆端未准备好的同轴连接器
US8802201B2 (en) 2009-08-14 2014-08-12 Asm America, Inc. Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species
TWI549386B (zh) 2010-04-13 2016-09-11 康寧吉伯特公司 具有防止進入及改良接地之同軸連接器
DE102010014981A1 (de) * 2010-04-14 2011-10-20 Pfisterer Kontaktsysteme Gmbh Vorrichtung zum elektrischen Verbinden eines Kabels, insbesondere Steckverbindungsteil
US8758053B2 (en) * 2010-06-07 2014-06-24 Andrew Llc Low PIM coaxial connector
US8888526B2 (en) * 2010-08-10 2014-11-18 Corning Gilbert, Inc. Coaxial cable connector with radio frequency interference and grounding shield
TWI558022B (zh) 2010-10-27 2016-11-11 康寧吉伯特公司 具有耦合器和固持及釋放機制的推入固定式纜線連接器
US8365404B2 (en) 2010-11-22 2013-02-05 Andrew Llc Method for ultrasonic welding a coaxial cable to a coaxial connector
US8302296B2 (en) * 2010-11-22 2012-11-06 Andrew, Llc Friction weld coaxial connector and interconnection method
US8887388B2 (en) 2010-11-22 2014-11-18 Andrew Llc Method for interconnecting a coaxial connector with a solid outer conductor coaxial cable
US8479383B2 (en) 2010-11-22 2013-07-09 Andrew Llc Friction weld coaxial connector and interconnection method
US8366481B2 (en) 2011-03-30 2013-02-05 John Mezzalingua Associates, Inc. Continuity maintaining biasing member
WO2012138644A2 (en) 2011-04-05 2012-10-11 Belden Inc. Locking and sealing connector
US9312155B2 (en) 2011-06-06 2016-04-12 Asm Japan K.K. High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules
US20130012064A1 (en) * 2011-07-07 2013-01-10 John Mezzalingua Associates, Inc. Connector for clamping a coaxial cable
US10854498B2 (en) 2011-07-15 2020-12-01 Asm Ip Holding B.V. Wafer-supporting device and method for producing same
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
US9190744B2 (en) 2011-09-14 2015-11-17 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector with radio frequency interference and grounding shield
US20130072057A1 (en) 2011-09-15 2013-03-21 Donald Andrew Burris Coaxial cable connector with integral radio frequency interference and grounding shield
US9017481B1 (en) 2011-10-28 2015-04-28 Asm America, Inc. Process feed management for semiconductor substrate processing
US9039445B2 (en) 2011-12-27 2015-05-26 Perfectvision Manufacturing, Inc. Body circuit connector
CN103187664A (zh) * 2011-12-27 2013-07-03 鸿富锦精密工业(武汉)有限公司 具有屏蔽结构的电连接器及其制造方法
US8968025B2 (en) * 2011-12-27 2015-03-03 Glen David Shaw Coupling continuity connector
US8636541B2 (en) * 2011-12-27 2014-01-28 Perfectvision Manufacturing, Inc. Enhanced coaxial connector continuity
US9136654B2 (en) 2012-01-05 2015-09-15 Corning Gilbert, Inc. Quick mount connector for a coaxial cable
US9017102B2 (en) * 2012-02-06 2015-04-28 John Mezzalingua Associates, LLC Port assembly connector for engaging a coaxial cable and an outer conductor
US9407016B2 (en) 2012-02-22 2016-08-02 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector with integral continuity contacting portion
CN102593620B (zh) * 2012-03-26 2014-11-19 安德鲁公司 快速自锁螺纹耦合接口连接器机构
US9464790B2 (en) * 2012-05-08 2016-10-11 Cooper Technologies Company Systems, methods, and devices for providing rotatable light modules and hinged mount in a luminaire
JP6439235B2 (ja) * 2012-08-10 2018-12-19 カシオ計算機株式会社 情報報知装置、情報報知方法及びプログラム
US10714315B2 (en) 2012-10-12 2020-07-14 Asm Ip Holdings B.V. Semiconductor reaction chamber showerhead
US9287659B2 (en) 2012-10-16 2016-03-15 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector with integral RFI protection
US8986044B2 (en) * 2012-10-26 2015-03-24 Corning Gilbert Inc. Quick mount connector for a coaxial cable
US8876553B2 (en) * 2012-11-08 2014-11-04 Yueh-Chiung Lu Aluminum tube coaxial cable connector
US9425548B2 (en) 2012-11-09 2016-08-23 Commscope Technologies Llc Resilient coaxial connector interface and method of manufacture
US9147963B2 (en) 2012-11-29 2015-09-29 Corning Gilbert Inc. Hardline coaxial connector with a locking ferrule
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
US9153911B2 (en) 2013-02-19 2015-10-06 Corning Gilbert Inc. Coaxial cable continuity connector
US9172154B2 (en) 2013-03-15 2015-10-27 Corning Gilbert Inc. Coaxial cable connector with integral RFI protection
US10290958B2 (en) 2013-04-29 2019-05-14 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector with integral RFI protection and biasing ring
CA2913134C (en) 2013-05-20 2024-02-06 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector with integral rfi protection
US9548557B2 (en) 2013-06-26 2017-01-17 Corning Optical Communications LLC Connector assemblies and methods of manufacture
CN103337765A (zh) * 2013-07-16 2013-10-02 镇江中信电子有限公司 一种置入式密封连接器的制作方法
GB2516504B (en) * 2013-07-25 2017-08-30 Prysmian Cables & Systems Ltd Conductor connectors for power cables
EP3031100A1 (en) * 2013-08-09 2016-06-15 Corning Optical Communications RF LLC Post-less coaxial cable connector with formable outer conductor
DE102013015574A1 (de) * 2013-09-20 2015-03-26 Phoenix Contact Gmbh & Co. Kg Kontaktfederring und Steckverbinder
US9048599B2 (en) 2013-10-28 2015-06-02 Corning Gilbert Inc. Coaxial cable connector having a gripping member with a notch and disposed inside a shell
US10683571B2 (en) 2014-02-25 2020-06-16 Asm Ip Holding B.V. Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same
TWM480800U (zh) * 2014-03-07 2014-06-21 Chant Sincere Co Ltd 插頭連接器
US10167557B2 (en) 2014-03-18 2019-01-01 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same
US11015245B2 (en) 2014-03-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof
GB201405132D0 (en) * 2014-03-21 2014-05-07 Indian Ocean Medical Inc Fixation apparatus
US10858737B2 (en) 2014-07-28 2020-12-08 Asm Ip Holding B.V. Showerhead assembly and components thereof
US9890456B2 (en) 2014-08-21 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method and system for in situ formation of gas-phase compounds
WO2016040363A1 (en) * 2014-09-08 2016-03-17 Pct International, Inc. Tool-less coaxial cable connector
EP3195420B1 (en) * 2014-09-11 2020-07-15 CommScope Technologies LLC Coaxial cable and connector assembly
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
WO2016073309A1 (en) 2014-11-03 2016-05-12 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector with integral rfi protection
US10033122B2 (en) 2015-02-20 2018-07-24 Corning Optical Communications Rf Llc Cable or conduit connector with jacket retention feature
US9590287B2 (en) 2015-02-20 2017-03-07 Corning Optical Communications Rf Llc Surge protected coaxial termination
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
US9866035B2 (en) 2015-03-27 2018-01-09 Irobot Corporation Rotatable coupling
CN106159552B (zh) * 2015-04-14 2020-07-28 康普技术有限责任公司 具有快速锁定和分离机构的同轴连接器
CN107735910B (zh) * 2015-05-01 2021-07-06 康普技术有限责任公司 用来阻止与不正确的连接器配合的同轴电缆连接器接口
US10458018B2 (en) 2015-06-26 2019-10-29 Asm Ip Holding B.V. Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same
CN104953300A (zh) * 2015-06-30 2015-09-30 常州易泽科通信科技有限公司 多配内导体射频连接器
US10600673B2 (en) 2015-07-07 2020-03-24 Asm Ip Holding B.V. Magnetic susceptor to baseplate seal
US10211547B2 (en) * 2015-09-03 2019-02-19 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector
CN105552649B (zh) * 2015-09-29 2018-11-13 中航光电科技股份有限公司 一种屏蔽结构及使用该屏蔽结构的连接器
US10211308B2 (en) 2015-10-21 2019-02-19 Asm Ip Holding B.V. NbMC layers
US9525220B1 (en) 2015-11-25 2016-12-20 Corning Optical Communications LLC Coaxial cable connector
JP6453747B2 (ja) * 2015-12-02 2019-01-16 矢崎総業株式会社 弾性シール部材及びコネクタ
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
US10190213B2 (en) 2016-04-21 2019-01-29 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides
US10865475B2 (en) 2016-04-21 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides and silicides
US10032628B2 (en) 2016-05-02 2018-07-24 Asm Ip Holding B.V. Source/drain performance through conformal solid state doping
US10367080B2 (en) 2016-05-02 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a germanium oxynitride film
WO2017194715A1 (en) * 2016-05-12 2017-11-16 Huber+Suhner Ag Circuit board coaxial connector
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US10714385B2 (en) 2016-07-19 2020-07-14 Asm Ip Holding B.V. Selective deposition of tungsten
KR102532607B1 (ko) 2016-07-28 2023-05-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 가공 장치 및 그 동작 방법
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9887477B1 (en) * 2016-09-22 2018-02-06 Ford Global Technologies, Llc Fused-wire cable connectors for a busbar
CN109792142B (zh) * 2016-10-17 2021-10-01 胡伯+萨那有限公司 包括滑套护线套的电缆接头
US10116096B1 (en) * 2016-10-19 2018-10-30 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Interconnect system with friction fit backshell
US10643826B2 (en) 2016-10-26 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for thermally calibrating reaction chambers
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10643904B2 (en) 2016-11-01 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures
US10229833B2 (en) 2016-11-01 2019-03-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20180068582A (ko) 2016-12-14 2018-06-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
KR20180070971A (ko) 2016-12-19 2018-06-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10269558B2 (en) 2016-12-22 2019-04-23 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US10867788B2 (en) 2016-12-28 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10655221B2 (en) 2017-02-09 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10529563B2 (en) 2017-03-29 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10594076B2 (en) * 2017-04-18 2020-03-17 Ezconn Corporation Coaxial cable connector
KR102457289B1 (ko) 2017-04-25 2022-10-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10892156B2 (en) 2017-05-08 2021-01-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
GB2563901B (en) * 2017-06-29 2022-08-10 Technetix Bv Coaxial cable connector
US10685834B2 (en) 2017-07-05 2020-06-16 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US10541333B2 (en) 2017-07-19 2020-01-21 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11018002B2 (en) 2017-07-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US10249524B2 (en) 2017-08-09 2019-04-02 Asm Ip Holding B.V. Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly
US11139191B2 (en) 2017-08-09 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
USD900036S1 (en) 2017-08-24 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Heater electrical connector and adapter
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
US11056344B2 (en) 2017-08-30 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
KR102491945B1 (ko) 2017-08-30 2023-01-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR102401446B1 (ko) 2017-08-31 2022-05-24 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR102630301B1 (ko) 2017-09-21 2024-01-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치
US10844484B2 (en) 2017-09-22 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
US10403504B2 (en) 2017-10-05 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a metallic film on a substrate
US10319588B2 (en) 2017-10-10 2019-06-11 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition
US10923344B2 (en) 2017-10-30 2021-02-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
US10910262B2 (en) 2017-11-16 2021-02-02 Asm Ip Holding B.V. Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure
KR102443047B1 (ko) 2017-11-16 2022-09-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US10797412B2 (en) 2017-11-21 2020-10-06 Amphenol Corporation High frequency electrical connector
US11022879B2 (en) 2017-11-24 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer
TWI779134B (zh) 2017-11-27 2022-10-01 荷蘭商Asm智慧財產控股私人有限公司 用於儲存晶圓匣的儲存裝置及批爐總成
JP7206265B2 (ja) 2017-11-27 2023-01-17 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. クリーン・ミニエンバイロメントを備える装置
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
JP7122116B2 (ja) * 2018-01-18 2022-08-19 株式会社フジクラ 同軸コネクタ
TWI799494B (zh) 2018-01-19 2023-04-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 沈積方法
CN111630203A (zh) 2018-01-19 2020-09-04 Asm Ip私人控股有限公司 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法
USD903477S1 (en) * 2018-01-24 2020-12-01 Asm Ip Holdings B.V. Metal clamp
US11018047B2 (en) 2018-01-25 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Hybrid lift pin
USD880437S1 (en) 2018-02-01 2020-04-07 Asm Ip Holding B.V. Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
KR102657269B1 (ko) 2018-02-14 2024-04-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 주기적 증착 공정에 의해 기판 상에 루테늄-함유 막을 증착하는 방법
US10731249B2 (en) 2018-02-15 2020-08-04 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus
US10658181B2 (en) 2018-02-20 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
US11629406B2 (en) 2018-03-09 2023-04-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate
US11114283B2 (en) 2018-03-16 2021-09-07 Asm Ip Holding B.V. Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
US11230766B2 (en) 2018-03-29 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
US11088002B2 (en) 2018-03-29 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate rack and a substrate processing system and method
KR102501472B1 (ko) 2018-03-30 2023-02-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
KR20190128558A (ko) 2018-05-08 2019-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 산화물 막을 주기적 증착 공정에 의해 증착하기 위한 방법 및 관련 소자 구조
US12025484B2 (en) 2018-05-08 2024-07-02 Asm Ip Holding B.V. Thin film forming method
KR20190129718A (ko) 2018-05-11 2019-11-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 피도핑 금속 탄화물 막을 형성하는 방법 및 관련 반도체 소자 구조
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11270899B2 (en) 2018-06-04 2022-03-08 Asm Ip Holding B.V. Wafer handling chamber with moisture reduction
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
US11286562B2 (en) 2018-06-08 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase chemical reactor and method of using same
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
WO2020003000A1 (en) 2018-06-27 2020-01-02 Asm Ip Holding B.V. Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material
TWI819010B (zh) 2018-06-27 2023-10-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於形成含金屬材料及包含含金屬材料的膜及結構之循環沉積方法
TWI751420B (zh) 2018-06-29 2022-01-01 荷蘭商Asm知識產權私人控股有限公司 薄膜沉積方法
US10612136B2 (en) 2018-06-29 2020-04-07 ASM IP Holding, B.V. Temperature-controlled flange and reactor system including same
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10767789B2 (en) 2018-07-16 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components
USD913945S1 (en) * 2018-08-01 2021-03-23 Gigalane Co., Ltd. Connector for signal transmission
US11053591B2 (en) 2018-08-06 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Multi-port gas injection system and reactor system including same
CN108777392B (zh) * 2018-08-07 2021-03-16 江苏亨鑫科技有限公司 一种可快速拆装的高可靠性射频同轴连接器
US10883175B2 (en) 2018-08-09 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein
US10829852B2 (en) 2018-08-16 2020-11-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution device for a wafer processing apparatus
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR20200030162A (ko) 2018-09-11 2020-03-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11049751B2 (en) 2018-09-14 2021-06-29 Asm Ip Holding B.V. Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith
CN110970344A (zh) 2018-10-01 2020-04-07 Asm Ip控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的***及其使用方法
US11232963B2 (en) 2018-10-03 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
US10847365B2 (en) 2018-10-11 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD
US10811256B2 (en) 2018-10-16 2020-10-20 Asm Ip Holding B.V. Method for etching a carbon-containing feature
KR102605121B1 (ko) 2018-10-19 2023-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
USD948463S1 (en) 2018-10-24 2022-04-12 Asm Ip Holding B.V. Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR20200051105A (ko) 2018-11-02 2020-05-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US11031242B2 (en) 2018-11-07 2021-06-08 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a boron doped silicon germanium film
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US10847366B2 (en) 2018-11-16 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
CA3119787A1 (en) * 2018-11-30 2020-06-04 John Mezzalingua Associates, LLC Torque limiting clamp for helical outer conductor cables
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
JP7504584B2 (ja) 2018-12-14 2024-06-24 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
TWI819180B (zh) 2019-01-17 2023-10-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
KR20200091543A (ko) 2019-01-22 2020-07-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN111524788B (zh) 2019-02-01 2023-11-24 Asm Ip私人控股有限公司 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法
JP2020136678A (ja) 2019-02-20 2020-08-31 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置
KR102626263B1 (ko) 2019-02-20 2024-01-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치
US11482533B2 (en) 2019-02-20 2022-10-25 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and methods for plug fill deposition in 3-D NAND applications
JP7509548B2 (ja) 2019-02-20 2024-07-02 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置
JP2020133004A (ja) 2019-02-22 2020-08-31 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材を処理するための基材処理装置および方法
KR20200108248A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108243A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108242A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
JP2020167398A (ja) 2019-03-28 2020-10-08 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
KR20200116855A (ko) 2019-04-01 2020-10-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
KR20200123380A (ko) 2019-04-19 2020-10-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 층 형성 방법 및 장치
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20200130118A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP2020188254A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
JP2020188255A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD935572S1 (en) 2019-05-24 2021-11-09 Asm Ip Holding B.V. Gas channel plate
USD922229S1 (en) 2019-06-05 2021-06-15 Asm Ip Holding B.V. Device for controlling a temperature of a gas supply unit
KR20200141002A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
USD944946S1 (en) 2019-06-14 2022-03-01 Asm Ip Holding B.V. Shower plate
USD931978S1 (en) 2019-06-27 2021-09-28 Asm Ip Holding B.V. Showerhead vacuum transport
KR20210005515A (ko) 2019-07-03 2021-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP7499079B2 (ja) 2019-07-09 2024-06-13 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
CN112216646A (zh) 2019-07-10 2021-01-12 Asm Ip私人控股有限公司 基板支撑组件及包括其的基板处理装置
KR20210010307A (ko) 2019-07-16 2021-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
KR20210010820A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
TWI839544B (zh) 2019-07-19 2024-04-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成形貌受控的非晶碳聚合物膜之方法
TW202113936A (zh) 2019-07-29 2021-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
CN112309900A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309899A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
US11227782B2 (en) 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
KR20210018759A (ko) 2019-08-05 2021-02-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
JP2021031769A (ja) 2019-08-21 2021-03-01 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
USD930782S1 (en) 2019-08-22 2021-09-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor
USD949319S1 (en) * 2019-08-22 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Exhaust duct
USD940837S1 (en) 2019-08-22 2022-01-11 Asm Ip Holding B.V. Electrode
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
KR20210024420A (ko) 2019-08-23 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
KR20210029090A (ko) 2019-09-04 2021-03-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR20210029663A (ko) 2019-09-05 2021-03-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
KR20210042810A (ko) 2019-10-08 2021-04-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
CN112635282A (zh) 2019-10-08 2021-04-09 Asm Ip私人控股有限公司 具有连接板的基板处理装置、基板处理方法
KR20210043460A (ko) 2019-10-10 2021-04-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체
US12009241B2 (en) 2019-10-14 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
TWI834919B (zh) 2019-10-16 2024-03-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
KR20210047808A (ko) 2019-10-21 2021-04-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
KR20210050453A (ko) 2019-10-25 2021-05-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR20210054983A (ko) 2019-11-05 2021-05-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11489300B2 (en) 2020-02-20 2022-11-01 Amphenol Corporation Coupling mechanism and connector with the same
US11509075B2 (en) 2019-11-12 2022-11-22 Amphenol Corporation High frequency electrical connector
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR20210062561A (ko) 2019-11-20 2021-05-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
EP3826114A1 (en) * 2019-11-21 2021-05-26 TE Connectivity Germany GmbH Crimp connection and crimp method for a crimp assembly with at least one retention shoulder
US11450529B2 (en) 2019-11-26 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface
CN112951697A (zh) 2019-11-26 2021-06-11 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885693A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
JP2021090042A (ja) 2019-12-02 2021-06-10 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN112992667A (zh) 2019-12-17 2021-06-18 Asm Ip私人控股有限公司 形成氮化钒层的方法和包括氮化钒层的结构
US11527403B2 (en) 2019-12-19 2022-12-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures
TW202140135A (zh) 2020-01-06 2021-11-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氣體供應總成以及閥板總成
US11993847B2 (en) 2020-01-08 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Injector
KR102675856B1 (ko) 2020-01-20 2024-06-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
TW202130846A (zh) 2020-02-03 2021-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成包括釩或銦層的結構之方法
KR20210100010A (ko) 2020-02-04 2021-08-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 대형 물품의 투과율 측정을 위한 방법 및 장치
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
TW202146715A (zh) 2020-02-17 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統
USD993182S1 (en) 2020-02-20 2023-07-25 Amphenol Corporation Electrical connector
US11715919B2 (en) 2020-02-20 2023-08-01 Amphenol Corporation Coupling mechanism and connector with the same
TW202203344A (zh) 2020-02-28 2022-01-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 專用於零件清潔的系統
KR20210116249A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
CN113394086A (zh) 2020-03-12 2021-09-14 Asm Ip私人控股有限公司 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法
KR20210124042A (ko) 2020-04-02 2021-10-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TW202146689A (zh) 2020-04-03 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法
TW202145344A (zh) 2020-04-08 2021-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
US11996289B2 (en) 2020-04-16 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
TW202140831A (zh) 2020-04-24 2021-11-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成含氮化釩層及包含該層的結構之方法
TW202146831A (zh) 2020-04-24 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法
KR20210132600A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
KR20210134226A (ko) 2020-04-29 2021-11-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고체 소스 전구체 용기
KR20210134869A (ko) 2020-05-01 2021-11-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
KR20210141379A (ko) 2020-05-13 2021-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
TW202147383A (zh) 2020-05-19 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材處理設備
KR20210145078A (ko) 2020-05-21 2021-12-01 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
TW202200837A (zh) 2020-05-22 2022-01-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基材上形成薄膜之反應系統
US11532900B2 (en) 2020-05-28 2022-12-20 Corning Optical Communications Rf Llc Coaxial cable connector assemblies having rear body retention members and methods for using the same
TW202201602A (zh) 2020-05-29 2022-01-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
TW202218133A (zh) 2020-06-24 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成含矽層之方法
TW202217953A (zh) 2020-06-30 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
KR20220006455A (ko) 2020-07-08 2022-01-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
TW202219628A (zh) 2020-07-17 2022-05-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於光微影之結構與方法
TW202204662A (zh) 2020-07-20 2022-02-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於沉積鉬層之方法及系統
KR20220027026A (ko) 2020-08-26 2022-03-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
US12009224B2 (en) 2020-09-29 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for etching metal nitrides
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
TW202217037A (zh) 2020-10-22 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
TW202235649A (zh) 2020-11-24 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充間隙之方法與相關之系統及裝置
KR20220076343A (ko) 2020-11-30 2022-06-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터
CN114639631A (zh) 2020-12-16 2022-06-17 Asm Ip私人控股有限公司 跳动和摆动测量固定装置
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
US20220216658A1 (en) * 2021-01-05 2022-07-07 CommScope Place SE Coaxial cable and connector assemblies
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
EP4092844A1 (de) * 2021-05-19 2022-11-23 Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH & Co. KG Elektrischer steckverbinder und verfahren zur montage einer elektrischen steckverbinderanordnung
CN113758605A (zh) * 2021-09-07 2021-12-07 湖南中车尚驱电气有限公司 一种转动件的温度测试装置
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate

Family Cites Families (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3764959A (en) * 1972-07-18 1973-10-09 Astrolab Universal coaxial cable connector
DE2331610A1 (de) 1973-06-20 1975-01-16 Spinner Georg Kabelstecker fuer vollisolierte koaxialkabel
US4046451A (en) * 1976-07-08 1977-09-06 Andrew Corporation Connector for coaxial cable with annularly corrugated outer conductor
NO801508L (no) * 1979-10-09 1981-04-10 Automation Ind Inc Koaksial-kontaktenhet.
US4676577A (en) * 1985-03-27 1987-06-30 John Mezzalingua Associates, Inc. Connector for coaxial cable
US4698028A (en) * 1986-09-08 1987-10-06 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Coaxial cable connector
DE3708242A1 (de) * 1987-03-13 1988-09-22 Spinner Georg Verbinder fuer eine koaxialleitung mit gewelltem aussenleiter oder einen wellrohr-hohlleiter
US5207602A (en) * 1989-06-09 1993-05-04 Raychem Corporation Feedthrough coaxial cable connector
JP3104059B2 (ja) * 1996-03-28 2000-10-30 二幸電気工業株式会社 同軸コネクター
US5775934A (en) * 1996-05-15 1998-07-07 Centerpin Technology, Inc. Coaxial cable connector
SE9800448L (sv) * 1998-02-17 1999-04-12 Teracom Components Ab Kontaktanordning för högfrekvenskablar
DE19857528C2 (de) * 1998-12-14 2002-06-20 Spinner Gmbh Elektrotech Steckverbinder für Koaxialkabel mit ringgewelltem Außenleiter
US6332808B1 (en) * 1999-09-22 2001-12-25 Mitsubishi Cable Industries, Ltd. Connector structure
US6234838B1 (en) * 1999-10-08 2001-05-22 Shen-Chia Wong Structure for a coaxial cable connector
US6796829B1 (en) * 2000-03-03 2004-09-28 Centerpin Technology, Inc. Electrical connector apparatus and method
EP1148592A1 (en) * 2000-04-17 2001-10-24 Cabel-Con A/S Connector for a coaxial cable with corrugated outer conductor
DE10100363A1 (de) * 2001-01-05 2002-08-01 Infineon Technologies Ag Ethernet-Anpaßvorrichtung
US6846988B2 (en) * 2002-01-18 2005-01-25 Adc Telecommunications, Inc. Triaxial connector including cable clamp
US7029327B2 (en) * 2002-02-04 2006-04-18 Andrew Corporation Watertight device for connecting a transmission line connector to a signal source connector
US6790081B2 (en) * 2002-05-08 2004-09-14 Corning Gilbert Inc. Sealed coaxial cable connector and related method
DE50304634D1 (de) * 2002-06-22 2006-09-28 Spinner Gmbh Elektrotech Koaxialer Steckverbinder
US7134189B2 (en) * 2002-09-12 2006-11-14 Andrew Corporation Coaxial cable connector and tool and method for connecting a coaxial cable
US6882242B2 (en) * 2003-06-19 2005-04-19 Radio Frequency Systems, Inc. Frequency selective low loss transmission line system
EP1501159A1 (en) * 2003-07-23 2005-01-26 Andrew Corporation Coaxial cable connector installable with common tools
US6994587B2 (en) 2003-07-23 2006-02-07 Andrew Corporation Coaxial cable connector installable with common tools
US6939169B2 (en) * 2003-07-28 2005-09-06 Andrew Corporation Axial compression electrical connector
US6793529B1 (en) * 2003-09-30 2004-09-21 Andrew Corporation Coaxial connector with positive stop clamping nut attachment
US6926555B2 (en) * 2003-10-09 2005-08-09 Radio Frequency Systems, Inc. Tuned radio frequency coaxial connector
US7048578B2 (en) * 2003-10-14 2006-05-23 Thomas & Betts International, Inc. Tooless coaxial connector
US7347727B2 (en) * 2004-01-23 2008-03-25 Andrew Corporation Push-on connector interface
ZA200702647B (en) 2004-11-08 2008-08-27 Huber+Suhner Ag Cable plug for a coaxial cable and method for mounting a cable plug of this type
US7077700B2 (en) * 2004-12-20 2006-07-18 Corning Gilbert Inc. Coaxial connector with back nut clamping ring
US7275957B1 (en) * 2006-03-22 2007-10-02 Andrew Corporation Axial compression electrical connector for annular corrugated coaxial cable
US7465190B2 (en) * 2006-06-29 2008-12-16 Corning Gilbert Inc. Coaxial connector and method
US20080102696A1 (en) * 2006-10-26 2008-05-01 John Mezzalingua Associates, Inc. Flexible rf seal for coax cable connector
US7435135B2 (en) * 2007-02-08 2008-10-14 Andrew Corporation Annular corrugated coaxial cable connector with polymeric spring finger nut
US7819698B2 (en) * 2007-08-22 2010-10-26 Andrew Llc Sealed inner conductor contact for coaxial cable connector
US7448906B1 (en) * 2007-08-22 2008-11-11 Andrew Llc Hollow inner conductor contact for coaxial cable connector
WO2009067132A1 (en) * 2007-11-21 2009-05-28 Corning Gilbert Inc. Coaxial cable connector for corrugated cable
US7513795B1 (en) 2007-12-17 2009-04-07 Ds Engineering, Llc Compression type coaxial cable F-connectors
US20110003507A1 (en) * 2008-08-14 2011-01-06 Andrew Llc Multi-shot Connector Assembly and Method of Manufacture
US7607942B1 (en) * 2008-08-14 2009-10-27 Andrew Llc Multi-shot coaxial connector and method of manufacture
US7837502B2 (en) * 2008-08-14 2010-11-23 Andrew Llc Multi-shot coaxial connector and method of manufacture
US7798847B2 (en) * 2008-10-07 2010-09-21 Andrew Llc Inner conductor sealing insulator for coaxial connector
US8454383B2 (en) * 2008-11-05 2013-06-04 Andrew Llc Self gauging insertion coupling coaxial connector
US7635283B1 (en) * 2008-11-24 2009-12-22 Andrew Llc Connector with retaining ring for coaxial cable and associated methods
US7731529B1 (en) * 2008-11-24 2010-06-08 Andrew Llc Connector including compressible ring for clamping a conductor of a coaxial cable and associated methods
US8047870B2 (en) * 2009-01-09 2011-11-01 Corning Gilbert Inc. Coaxial connector for corrugated cable
US7931499B2 (en) * 2009-01-28 2011-04-26 Andrew Llc Connector including flexible fingers and associated methods
US7803018B1 (en) * 2009-03-10 2010-09-28 Andrew Llc Inner conductor end contacting coaxial connector and inner conductor adapter kit
CN102405567B (zh) * 2009-04-24 2014-07-02 康宁吉伯股份有限公司 带有波纹密封件的、用于波纹电缆的同轴连接器
CN102449851A (zh) * 2009-06-05 2012-05-09 安德鲁有限责任公司 电缆端未准备好的同轴连接器
US7857661B1 (en) * 2010-02-16 2010-12-28 Andrew Llc Coaxial cable connector having jacket gripping ferrule and associated methods
US20110201232A1 (en) * 2010-02-16 2011-08-18 Andrew Llc Connector for coaxial cable having rotational joint between insulator member and center contact and associated methods
US7934954B1 (en) * 2010-04-02 2011-05-03 John Mezzalingua Associates, Inc. Coaxial cable compression connectors
US8288667B2 (en) * 2010-08-11 2012-10-16 Avc Industrial Corp. Double-packing cable and flexible conduit gland

Also Published As

Publication number Publication date
EP2438653A1 (en) 2012-04-11
KR20120026521A (ko) 2012-03-19
US8545263B2 (en) 2013-10-01
US8393919B2 (en) 2013-03-12
EP2438654A1 (en) 2012-04-11
EP2438652A1 (en) 2012-04-11
BRPI1015106A2 (pt) 2016-04-26
BRPI1015143A2 (pt) 2016-10-25
US20120064767A1 (en) 2012-03-15
CN102449853A (zh) 2012-05-09
BRPI1014737A2 (pt) 2016-04-12
US20120064764A1 (en) 2012-03-15
CN102449852A (zh) 2012-05-09
BRPI1011427A2 (pt) 2016-03-15
KR20120030071A (ko) 2012-03-27
WO2010141898A1 (en) 2010-12-09
US8678858B2 (en) 2014-03-25
WO2010141905A1 (en) 2010-12-09
WO2010141890A1 (en) 2010-12-09
CN102449851A (zh) 2012-05-09
KR20120030069A (ko) 2012-03-27
US20120064765A1 (en) 2012-03-15
WO2010141880A1 (en) 2010-12-09
CN102576947A (zh) 2012-07-11
US20120064768A1 (en) 2012-03-15
US8454384B2 (en) 2013-06-04
EP2438655A1 (en) 2012-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20120030070A (ko) 미처리 케이블 단부 동축 커넥터
FI103841B (fi) Taipuisa liitin koaksiaalikaapeleita varten, joissa on kierteispoimutettu ulkojohdin
US6817897B2 (en) End connector for coaxial cable
US8444445B2 (en) Coaxial cable connector having electrical continuity member
US6672894B2 (en) Flexible interconnect cable strain relief facility
FI112889B (fi) Koaksiaalikaapelin liitin, jossa on korrugoitu ulkojohdin
TWI624125B (zh) 具有連續性構件之同軸電纜連接器
JP2012508432A (ja) 回転防止同軸コネクタ
US9929498B2 (en) Connector assembly with torque sleeve
US10931068B2 (en) Connector having a grounding member operable in a radial direction
KR20060097671A (ko) 케이블 고정 요소를 구비하는 동축 커넥터
WO2019046517A1 (en) COAXIAL CABLE CONNECTOR WITH GROUND COUPLING NUT
US10270206B2 (en) Connector assembly with torque sleeve
US6186839B1 (en) Electrical connector
JP5794434B2 (ja) 電力ケーブルの接続方法
AU726504B3 (en) Method and apparatus for connecting an object to a device
JP2011249044A (ja) コネクタおよびコネクタ付きケーブル
WO2024095072A1 (en) Cable gland with cable gripping ferrule
EP1544947A2 (en) Plug and socket connector for flexible and rigid cables with rotary opening mechanism
EP3092686A1 (en) A connector having a continuity member operable in a radial direction

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid