KR20120028413A

KR20120028413A - 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치 및 방법

Info

Publication number: KR20120028413A
Application number: KR1020100089877A
Authority: KR
Inventors: 최은경; 윤재철; 임주헌
Original assignee: (주)메디칼어플라이언스
Priority date: 2010-09-14
Filing date: 2010-09-14
Publication date: 2012-03-23

Abstract

본 발명은 과산화수소를 이용하여 저온 플라즈마 가스의 이온화(OH^_, O라디컬)를 신속하게 유도함과 동시에 오존 가스를 설정된 온도로 가열하여 피소독물이 투입된 밀폐형 챔버로 주입시킴으로써, O라디컬 이온화 분리 시간을 크게 단축할 수 있게 되어, 피소독물의 멸균처리 효율을 극대화 할 수 있도록 한 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치 및 방법에 관한 것으로, 소독챔버; 과산화수소 저장통; 증기발생장치; 저온 플라즈마 가스를 발생하고 상기 증기발생장치로부터 제공되는 과산화수소 가스와 혼합되어, OH^_라디컬과 O라디컬을 신속하게 분리 이온화시켜 상기 소독챔버로 주입시키는 저온플라즈마 발생기; 오존을 발생시키는 오존발생기; 상기 오존발생기로부터 공급되는 오존 가스의 온도를 설정된 온도로 상승시켜 상기 소독챔버로 주입하는 고온발생부; 상기 챔버 내의 공기를 외부로 배기하여 챔버 내부를 진공 감압상태로 유지하거나 챔버 내부의 공기를 순환시키는 진공펌프; 상기 진공펌프를 통해 유출되는 챔버 내부의 공기 중에 포함된 습기를 제거하는 습도필터; 및 상기 습도필터를 통해 배출되는 공기 중에 포함된 오존을 분해하여 외부로 배출하는 오존분해기를 포함하여 포함하여 된 것이다.

Description

과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치 및 방법{STERILIZING APPARATUS USING HYDROGEN PEROXIDE, OZONE AND COLD PLASMA AND METHOD THEREFOR}

본 발명은 의료용 소독 멸균장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 과산화수소를 이용하여 저온 플라즈마 가스의 이온화(OH^_, O라디컬)를 신속하게 유도함과 동시에 오존 가스를 설정된 온도로 가열하여 피소독물이 투입된 밀폐형 챔버로 주입시킴으로써, O라디컬 이온화 분리 시간을 크게 단축할 수 있게 되어, 피소독물의 멸균처리 효율을 극대화 할 수 있도록 한 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 의료장비나 기자재를 소독 및 멸균처리하기 위해 사용되는 대표적인 방식으로는 EO(Ethylene Oxide)가스, 오존, 저온 플라즈마, 고압증기, 화학가스 등을 이용하는 방법이 있다.

또한 이들 장치들의 소독시간을 살펴보면, 고압멸균소독의 경우에는 1~3시간, EO 가스 소독의 경우에는 8~12시간이 소요되는 등 소독시간의 매우 길어, 이는 인적, 시간적 낭비는 물론 장비운용에 비효율을 초래하고 있는 실정이다.

뿐만 아니라 플라즈마가스를 이용한 의료용 기자재 소독기(과산화수소 멸균식)는 매우 고가여서 시장이 활성화되지 못하는 문제점이 있다.

또한, 의료용 기자재는 기자재별로 소독방식이 틀리기 때문에 여러 종류의 멸균기를 구비하여 소독을 수행해야 했다.

그러나 대부분의 의료 멸균기들이 고가이고 대형으로 비용문제와 공간문제가 발생하여, 소규모 병원이나 재정이 열악한 병원에서는 대부분 한 종류의 멸균기만 구입하여 사용하고 있어, 이로 인한 교차 감염이 발생됨은 물론 멸균처리가 되지 않은 채 환자에게 재사용하고 있는 실정이다.

또한 종래의 플라즈마를 이용한 소독장치는, 피소독 대상물의 내부 깊숙한 곳, 즉 관이나 파이프의 내부에는 소독가스인 저온 플라즈마나 오존이 도달하지 못하여 완전한 소독 및 멸균 작용이 이루어지지 못하고 있는 실정이었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 발명된 된 것으로, 본 발명의 목적은 과산화수소를 이용하여 저온 플라즈마 가스의 이온화(OH^_, O라디컬)를 신속하게 유도함과 동시에 오존 가스를 설정된 온도로 가열하여 피소독물이 투입된 밀폐형 챔버로 주입시킴으로써, O라디컬 이온화 분리 시간을 크게 단축할 수 있게 되어, 피소독물의 멸균처리 효율을 극대화 할 수 있도록 한 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치 및 방법을 제공하는 것에 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 피소독물이 투입되는 소독챔버와; 액체형 과산화수소를 저장하는 과산화수소 저장통과; 상기 과산화수소 저장통으로부터 제공되는 액체형 과산화수소를 증기화하여 기체로 변환시키는 증기발생장치와; 저온 플라즈마 가스를 발생하고 상기 증기발생장치로부터 제공되는 과산화수소 가스와 혼합되어, OH^_라디컬과 O라디컬을 신속하게 분리 이온화시켜 상기 소독챔버로 주입시키는 저온플라즈마 발생기와; 오존을 발생시키는 오존발생기와; 상기 오존발생기로부터 공급되는 오존 가스의 온도를 설정된 온도로 상승시켜 상기 소독챔버로 주입하는 고온발생부와; 상기 챔버 내의 공기를 외부로 배기하여 챔버 내부를 진공 감압상태로 유지하거나 챔버 내부의 공기를 순환시키는 진공펌프와; 상기 진공펌프를 통해 유출되는 챔버 내부의 공기 중에 포함된 습기를 제거하는 습도필터와; 상기 습도필터를 통해 배출되는 공기 중에 포함된 오존을 분해하여 외부로 배출하는 오존분해기를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 상기 과산화수소 저장통에 저장되는 되는 과산화수소 액체는 물 80~40중량% 및 과산화수소 20~60중량%로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 상기 챔버에는 챔버 내의 온도를 감지하는 온도감지센서와, 챔버 내의 압력을 감지하는 압력감지센서와, 챔버 내의 오존 농도를 감지하는 오존감지센서가 더 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 상기 진공펌프는 일측에 상기 챔버로 순환 연결되는 연결관에는 제2밸브가 개재되고, 타측 공기 배출관에는 제3밸브가 개재 설치된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 상기 고온발생부는 발열수단을 구비하여 된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 소독챔버를 포함하는 과산화수소 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균방법에 있어서, 의료장비나 기자재 등 피소독물을 소독 챔버 내부로 투입하고 밀폐시켜주는 제1과정과; 상기 소독 챔버 내부 공기를 배기시켜 진공 감압시켜 주는 제2과정과; 상기 챔버로 과산화수소가 혼합된 저온 플라즈마 가스와, 설정된 온도로 가열시킨 오존 가스를 주입하여 멸균 소독을 수행하는 제3과정과; 상기 제3과정의 멸균 소독과정이 완료되면 챔버 내부의 공기를 배출하고 오존을 분해하는 제4과정을 포함하여 된 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 상기 제3과정에는 소독 챔버 내부의 공기를 순환시켜 멸균 소독을 수행하는 과정이 더 포함되는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 본 발명은 과산화수소를 이용하여 오존 및 저온 플라즈마 가스의 이온화, 즉 OH^_라디컬과 O라디컬의 분리를 신속하게 유도하고, 이를 피소독물이 투입된 밀폐형 챔버로 주입시킴으로써, 피소독물의 멸균처리 효율을 극대화 할 수 있도록 효과를 제공한다.

또한 본 발명은 오존 가스를 발생시키고, 이 발생된 오존가스를 설정된 온도로 가열하여 챕버에 주입시킴으로써, O라디컬의 분리속도가 빠르게 되어 피소독물의 멸균 시간을 크게 단축할 수 있는 효과를 제공한다.

또한 본 발명은 소독 챔버 내부를 진공 감압상태로 만든 다음, 저온 플라즈마가스 및 오존가스를 투입시킴으로써, 산소 분해 능력이 배가되어 소독 및 멸균동작을 수행함으로써, 피소독 대상물인 의료장비 및 기자재의 외부는 물론 피소독 대상물의 내부 들어가기 힘든 곳까지도 침투해서 세균을 완전하게 멸균하게 되는 효과를 제공한다.

도 1은 본 발명에 따른 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치의 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균방법을 나타내는 순서도이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치의 구성도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치는,

피소독물이 투입되는 소독챔버(10)(이하 '챔버' 라고도 함)를 포함한다.

상기 소독챔버(10)는 밀폐 및 밀봉 가능한 구조로 형성되며, 전방에는 도어가 형성된다.

상기 도어에는 각종 안전장치(도아락 장치 및 도어열림 감지장치 등)가 설치되며, 상기 소독챔버(10)에는 챔버 내의 온도를 감지하는 온도감지센서(11)와, 챔버 내의 압력을 감지하는 압력감지센서(12)와, 챔버 내의 오존 농도를 감지하는 오존감지센서(13)가 설치된다.

또한, 상기 소독챔버(10)에는 액체형 과산화수소(H2O2)를 저장하는 과산화수소 저장통(20)과, 상기 과산화수소 저장통(20)으로부터 제공되는 액체형 과산화수소를 증기화하여 기체로 변환시키는 증기발생장치(30)와, 저온 플라즈마 가스를 발생하고 상기 증기발생장치(30)로부터 제공되는 과산화수소 가스와 혼합되어, OH^_라디컬과 O라디컬이 신속하게 분리되어 이온화되는 저온플라즈마 발생기(40)와, 오존(O₃)을 발생시키는 오존발생기(50)와, 상기 오존발생기(50)로부터 공급되는 오존 가스의 온도를 설정된 온도로 상승시켜 상기 소독챔버(10)로 주입하는 고온발생부(60)가 더 연결된다.

여기서 상기 과산화수소 저장통(20)에 저장되는 되는 과산화수소는 액체상태로, 물 80~40중량%와 과산화수소 20~60중량%로 구성되며, 상기 과산화수소 저장통(20)의 배출관에는 배출을 단속하기 위한 제1밸브(21)가 더 형성된다.

상기 증기발생장치(30)는 액체형태로 제공되는 과산화수소를 기체 상태로 변환하기 위한 장치로, 히터 가열 또는 초음파 진동발생 등의 수단을 통해 액체인 과산화수소를 기체로 변환시키게 된다.

상기 저온플라즈마 발생기(40)는 저온 플라즈마 가스를 발생시키는 장치로, 상기 증기발생장치(30)로부터 제공되는 과산화수소(H2O2) 가스에 의해 OH^_라디컬과 O라디컬이 신속하게 분리 이온화되어, 피소독물의 소독 멸균 효율을 크게 향상시켜주게 된다.

상기 오존발생기(50)의 가스 배출관에는 압력유지밸브(51)가 더 설치되어, 상기 오존발생기(50)로부터 유출되는 오존 가스의 압력을 일정하게 유지하게 된다.

상기 고온발생부(60)는 상기 오존발생기(50)로부터 유출되어 소독챔버(10)로 주입되는 오존(O₃) 가스의 온도를 일정한 온도로 상승시키기 위한 공기가열장치로, 열선 히터 등의 발열수단을 구비하여 내부 공기를 설정된 온도로 가열 유지한다.

이때 오존 가스의 가열온도는 100~400℃ 범위가 바람직하다.

여기서, 상기 챔버(10)로 주입되는 오존(O₃) 가스의 온도를 상기 설정된 온도로 상승시키는 이유는, 오존 가스가 열에 의해 분해되어 신속하게 O라디칼로 분리됨으로써, 챔버(10) 내에서 피소독물에 대한 소독 및 멸균시간을 크게 단축할 수 있게 된다.

만약, 이러한 고온발생부(60)가 없다면, 오존 가스가 챔버(10) 내에서 O라디컬로 분리되기까지의 반응 시간이 상당히 소요(예: 약 2시간)되는 문제점이 발생된다.

또한, 상기 챔버(10)에는 챔버 내의 공기를 외부로 배기하여 챔버 내부를 진공 감압상태로 유지하거나 챔버 내부의 공기를 순환시키는 진공펌프(70)와, 상기 진공펌프(70)를 통해 유출되는 챔버 내부의 공기 중에 포함된 습기를 제거하는 습도필터(80)와, 상기 습도필터(80)를 통해 배출되는 공기 중에 포함된 오존을 분해하여 외부로 배출하는 오존분해기(90)가 더 연결된다.

여기서, 상기 진공펌프(70)는 일측에 상기 챔버(10)로 순환 연결되는 연결관에는 제2밸브(71)가 개재되고, 타측 공기 배출관에는 제3밸브(72)가 개재 설치된다.

소독을 위한 전처리 과정으로, 상기 챔버(10) 내부를 진공 감압 상태로 유지하기 위하여, 상기 제2밸브(71)는 폐쇄하고, 제3밸브(72)는 개방한 후, 상기 진공펌프(70)를 구동하여 준다.

따라서 챔버 내부의 공기는 진공펌프(70) 및 제3밸브(72)를 통해 외부로 배기되면서 상기 챔버(10) 내부는 진공 감압상태가 된다.

여기서 상기 소독챔버(10) 내부를 진공 감압 상태로 유지하는 이유는, 챔버 내의 압력을 낮추어 줌으로써 챔버 내에 주입된 오존이 더욱 활성화 되어 소독 효율이 좋아지도록 하기 위함이다.

또한 챔버 소독 중에는 상기 제3밸브(72)를 폐쇄하고, 상기 제2밸브(71)를 개방하여 챔버 내부의 공기가 순환되도록 하여 준다.

상기 습도필터(80)는 상기 진공펌프(70)를 통해 유출되는 챔버 내부의 공기 중에 포함된 습기를 제거하기 위한 장치로, 공기 중에 포함된 습기는 제4밸브(81)를 통해 배출통으로 배출하고, 순수한 공기만 오존분해기(90)로 배출시키게 된다.

이러한 습도필터(80)는 습기를 제거하여, 다음 단에 연결된 오존분해기(90)의 오동작 및 수명 연장을 위해 사용되는 것이다.

상기 오존분해기(90)는 상기 습도필터(80)를 통해 배출되는 공기 중에 포함된 오존을 분해하여 인체에 유해한 오존이 외부로 배출되는 것을 방지하여 주게 된다.

도 2는 본 발명에 따른 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균방법을 나타내는 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균방법은,

의료장비나 기자재 등 피소독물을 챔버(10) 내부로 투입하고 밀폐시켜주는 제1과정(S10)과, 상기 챔버(10) 내부 공기를 배기시켜 진공 감압시켜 주는 제2과정(S20)과, 상기 챔버(10)로 과산화수소가 혼합된 저온 플라즈마 가스와, 설정된 온도로 가열시킨 오존 가스를 주입하여 멸균 소독을 수행하는 제3과정(S30)과, 상기 제3과정의 멸균 소독과정이 완료되면 챔버(10) 내부의 공기를 배출하고 오존을 분해하는 제4과정(S40)을 포함한다.

여기서, 상기 멸균 소독을 수행하는 제3과정(S30)에는 챔버(10) 내부의 공기를 순환시켜 멸균 소독을 수행하는 과정이 더 포함된다.

이와 같이 구성된 본 발명 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치의 동작을 설명한다.

먼저, 사용자가 챔버(10) 내에 피소독물인 의료용 기자재나 장비 등을 투입한다.(제1과정(S10))

그리고 도어를 닫고 밀폐 한 후, 미 도시된 조작 스위치를 통해 소독 시간을 설정하고 운전을 개시시켜 준다.

이와 같이 소독운전이 개시되면, 진공펌프(70)가 구동된다. 이때 제2밸브(71)는 폐쇄되고 제3밸브(72)는 개방된다.

따라서 상기 진공펌프(70)의 구동으로 챔버(10) 내부의 공기는 진공펌프(70)→제3밸브(72)→습도필터(80)→오존분해기(90)를 통해 외부로 배출되고, 상기 챔버(10) 내부는 진공 감압상태를 이루게 된다.

이후, 챔버(10)에 설치된 압력센서(12)를 통해 챔버의 압력이 설정된 압력으로 검출되면 진공펌프(70)의 구동을 중지한다.(제2과정(S20))

그리고 상기 제2과정(S20)이 종료되면, 증기발생장치(30), 저온 플라즈마발생기(40), 오존발생기(50) 및 고온발생부(60)를 구동하고, 동시에 제1밸브(21)를 개방하여 준다.

상기 제1밸브(21)의 개방으로 과산화수소 저장통(20)에 저장된 과산화수소액은 증기발생장치(30)로 유입되고 상기 증기발생장치(30)에 의해 기체화되어 과산화수소 가스를 저온플라즈마 발생기(40)로 배출하게 된다.

상기 저온플라즈마 발생기(40)는 저온 플라즈마를 생성하여 상기 챔버(10) 측으로 배출하게 되는 데, 이때 상기 과산화수소 가스를 제공받아 상기 저온 플라즈마는 O라디컬 및 OH^-라디컬로 분리 신속하게 이온화되는 과정을 수행하게 된다.

그리고 상기 저온 플라즈마 발생기(40)로부터 발생된 저온 플라즈마 가스는 챔버(10)로 유입된다.

한편, 상기 오존발생기(50)는 오존(O₃)을 생성하여 배출하게 된다.

상기 오존발생기(50)로부터 배출되는 오존 가스는 압력유지밸브(51)를 통해 일정한 압력을 유지하며, 고온발생부(60)로 인입된다.

상기 고온발생부(60)로 유입된 오존 가스는 가열되어 온도가 급상승하게 된다. 이때 오존 가스의 온도는 100~400℃ 범위가 되며, 챔버(10)로 주입된다.

그리고 이와 같이 고온발생부(60)를 통해 가열된 오존 가스는 열에 의해 분해되어 신속하게 O라디칼로 분리됨으로써, 챔버(10) 내에서 피소독물에 대한 소독 및 멸균시간을 크게 단축할 수 있게 된다.(제3과정(S30))

이와 같은 소독 동작이 개시되면, 제3밸브(72)는 폐쇄하고, 제2밸브(71)는 개방하여 상기 진공펌프(70)를 구동함으로써, 상기 챔버(10) 내부의 공기를 진공펌프(70)를 통해 순환시켜, 소독 및 멸균 효과를 가일층 향상시키게 된다.

소독운전에 대한 설정시간이 경과하면, 상기 제1밸브(21)를 폐쇄하고, 상기 증기발생장치(30), 저온플라즈마 발생기(40), 오존발생기(50) 및 고온가열부(60)의 동작을 중지시키고, 제2밸브(71)는 폐쇄하고, 제3밸브(72)는 개방한 후, 진공펌프(70) 및 오존분해기(90)를 동작시킨다.

따라서 챔버(10) 내부의 공기는 진공펌프(70)를 통해 제3밸브(72)를 거쳐 습도필터(80)로 배출되며, 상기 습도필터(80)는 상기 진공펌프(70)를 통해 유출되는 챔버 내부의 공기 중에 포함된 습기는 제4밸브(81)를 통해 배출통으로 배출하고, 순수한 공기만 오존분해기(90)로 배출시킨다.

그리고 상기 오존분해기(90)는 상기 습도필터(80)를 통해 배출되는 공기 중에 포함된 오존을 분해하여 외부로 배출하되, 챔버(10) 내부의 오존감지센서(13)를 통해 챔버 내부에 오존이 검출되지 않을 때까지 구동되도록 하여준다.(제4과정(S40))

따라서 피소독물에 대한 소독 및 멸균 동작을 종료하게 된다.

10: 챔버 11: 온도감지센서
12: 압력감지센서 13: 오존감지센서
20: 과산화수소 저장통 30: 증기발생장치
40: 저온 플라즈마 발생기 50: 오존 발생기
60: 고온가열부 70: 진공펌프
80: 습도필터 90: 오존분해기

Claims

피소독물이 투입되는 소독챔버;
액체형 과산화수소를 저장하는 과산화수소 저장통;
상기 과산화수소 저장통으로부터 제공되는 액체형 과산화수소를 증기화하여 기체로 변환시키는 증기발생장치;
저온 플라즈마 가스를 발생하고 상기 증기발생장치로부터 제공되는 과산화수소 가스와 혼합되어, OH^_라디컬과 O라디컬을 신속하게 분리 이온화시켜 상기 소독챔버로 주입시키는 저온플라즈마 발생기;
오존을 발생시키는 오존발생기;
상기 오존발생기로부터 공급되는 오존 가스의 온도를 설정된 온도로 상승시켜 상기 소독챔버로 주입하는 고온발생부;
상기 챔버 내의 공기를 외부로 배기하여 챔버 내부를 진공 감압상태로 유지하거나 챔버 내부의 공기를 순환시키는 진공펌프;
상기 진공펌프를 통해 유출되는 챔버 내부의 공기 중에 포함된 습기를 제거하는 습도필터; 및
상기 습도필터를 통해 배출되는 공기 중에 포함된 오존을 분해하여 외부로 배출하는 오존분해기를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치.
제 1 항에 있어서,
상기 과산화수소 저장통에 저장되는 되는 과산화수소 액체는 물 80~40중량% 및 과산화수소 20~60중량%로 구성된 것을 특징으로 하는 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치.
제 1 항에 있어서,
상기 챔버에는 챔버 내의 온도를 감지하는 온도감지센서와, 챔버 내의 압력을 감지하는 압력감지센서와, 챔버 내의 오존 농도를 감지하는 오존감지센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치.
제 1 항에 있어서,
상기 진공펌프는 일측에 상기 챔버로 순환 연결되는 연결관에는 제2밸브가 개재되고, 타측 공기 배출관에는 제3밸브가 개재 설치된 것을 특징으로 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치.
제 1 항에 있어서,
상기 고온발생부는 발열수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균장치.
소독챔버를 포함하는 과산화수소 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균방법에 있어서,
의료장비나 기자재 등 피소독물을 소독 챔버 내부로 투입하고 밀폐시켜주는 제1과정;
상기 소독 챔버 내부 공기를 배기시켜 진공 감압시켜 주는 제2과정;
상기 챔버로 과산화수소가 혼합된 저온 플라즈마 가스와, 설정된 온도로 가열시킨 오존 가스를 주입하여 멸균 소독을 수행하는 제3과정; 및
상기 제3과정의 멸균 소독과정이 완료되면 챔버 내부의 공기를 배출하고 오존을 분해하는 제4과정을 포함을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균방법.
제 6 항에 있어서,
상기 제3과정에는 소독 챔버 내부의 공기를 순환시켜 멸균 소독을 수행하는 과정이 더 포함되는 것을 특징으로 과산화수소, 오존 및 저온 플라즈마를 이용한 소독 멸균방법.