KR20120011913A - 미세분사노즐을 이용한 클린룸의 공조 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 클린룸에 설치되는 공조 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 클린룸의 외부에 설치되어 공기순환 기능을 제공하는 공조기; 상기 공조기로부터 클린룸으로 연장되어 공기의 순환을 위한 유로를 제공하는 서플라이 에어덕트 및 리턴 에어덕트; 및 상기 리턴 에어덕트 내에 설치되고, 물과 에어를 공급받아 물을 미세분무하는 복수개의 미세분사노즐로 이루어진 노즐 어레이;를 포함하는 클린룸의 공조 시스템을 제공한다.

Description

미세분사노즐을 이용한 클린룸의 공조 시스템{Air conditioning system of clean room using minute ejection nozzle}
본 발명은 클린룸의 공조 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 미세분사노즐을 이용한 물 분무를 통하여 클린룸 내부에 대하여 가습이나 냉각 등의 공조기능을 제공하는 클린룸의 공조 시스템에 관한 것이다.
반도체 등의 제조공정에 사용되는 클린룸은 항시 청정상태와 더불어 적정 온도 및 습도가 유지되어야 한다.
클린룸의 온도 및 습도 조절을 위해 클린룸의 내부는 연중 냉방상태가 요구되며, 이를 위해 통상적으로 클린룸에는 외기를 가열 및 가습하여 클린룸 내부로 공급하는 증기 가습식 보일러가 설치된다.
클린룸의 증기 가습 기술과 관련하여 대한민국 공개특허 제2000-0075177호에는 초순수를 가열 분무시키는 온수 가습기가 개시되어 있다. 상기 공개특허 제2000-0075177호에 따르면 초순수를 비접촉 간접가열 방식으로 가열시킨 후 노즐을 통해 분무함으로써 히터에 의한 초순수의 오염을 줄일 수 있다.
그러나, 증기 가습 방식의 공조 시스템은 증기의 생성을 위한 열원의 초기 비용과 런닝 비용이 많이 발생할 뿐만 아니라, 열원의 런닝에 따른 CO2 등으로 인한 환경오염 문제도 발생하여 이에 대한 대책이 요구되고 있다.
대안으로, 대한민국 공개특허 제2009-0031227호에는 클린룸 내의 온도 및 습도를 감지하여 규정치 이하일 경우 초미립상태의 초순수를 클린룸 내부에 직접 분무함으로써 증발잠열을 흡수하여 클린룸 내의 온도를 저하시키는 직접분무식 기화가습장치 및 습도제어방법이 개시되어 있다.
상기 대한민국 공개특허 제2009-0031227호에 따르면 수증기를 클린룸 내부에 직접 기화 가습하여 필요한 초순수량을 공급함으로써 기존의 공조 시스템에서 요구되는 가습에 필요한 가열부하를 생략하여 운전비용을 절감할 수 있다.
그러나, 상기 대한민국 공개특허 제2009-0031227호에 개시된 바와 같이 클린룸 내부에 직접 수증기를 분무하는 기술은 미처 기화되지 않은 수분이 클린룸 내부의 전기/전자 설비나 반도체 등의 제조품에 직접적으로 접촉하여 설비 고장이나 제품 불량을 유발할 수 있는 취약점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 창안된 것으로서, 가습을 위한 열원이 필요치 않으며, 클린룸 내부에 간접적으로 물을 미세 분무할 수 있는 구조를 가진 클린룸의 공조 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 클린룸의 리턴 에어덕트 내에 설치되는 노즐 어레이를 구비한 공조 시스템을 제공한다.
즉, 본 발명에 따른 클린룸의 공조 시스템은 클린룸의 외부에 설치되어 공기순환 기능을 제공하는 공조기; 상기 공조기로부터 클린룸으로 연장되어 공기의 순환을 위한 유로를 제공하는 서플라이 에어덕트 및 리턴 에어덕트; 및 상기 리턴 에어덕트 내에 설치되고, 물과 에어를 공급받아 물을 미세분무하는 복수개의 미세분사노즐로 이루어진 노즐 어레이;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐 어레이는 상기 리턴 에어덕트의 내부를 폭방향으로 가로지르는 물 공급관 및 에어 공급관에 상기 복수개의 미세분사노즐이 일정 간격으로 병렬 연결된 구조를 가지며, 상기 리턴 에어덕트의 높이방향으로 복수개가 배열될 수 있다.
상기 노즐 어레이는 상기 리턴 에어덕트의 서로 마주보는 양측벽을 관통하도록 설치되는 것이 바람직하다.
상기 클린룸의 내부에는 온도 또는 습도의 검출을 위한 모니터링 센서가 설치되고, 공조 시스템에는 상기 모니터링 센서의 출력신호에 따라 상기 노즐 어레이에 공급되는 물의 양을 비례제어하는 한편, 상기 노즐 어레이에 공급되는 에어를 온/오프 제어하는 제어부;가 더 포함될 수 있다.
상기 노즐 어레이는 상기 노즐 어레이에서 분무되는 물의 기화거리만큼 상기 공조기와 이격되는 것이 바람직하다.
바람직하게, 상기 미세분사노즐은 평균 입경 10~14㎛의 크기로 물을 분무하도록 구성될 수 있다.
본 발명은 종래의 증기 가습 방식의 공조 시스템과는 달리 가습을 위한 열원이 필요치 않으므로 에너지 절약과 환경오염 방지 효과를 제공할 수 있다.
또한, 리턴 에어덕트를 경유하여 물의 미세분무를 수행함으로써 완전히 기화된 수증기를 클린룸 내부로 공급할 수 있는 이점이 있다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술되는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 클린룸 공조 시스템의 구성도,
도 2는 도 1에서 노즐 어레이의 구성을 도시한 부분확대 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 노즐 어레이의 설치예를 도시한 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 공조 시스템의 구성도이며, 도 2는 도 1에서 리턴 에어덕트 내에 설치되는 노즐 어레이의 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 클린룸의 공조 시스템은 클린룸(1)의 외부에 설치되는 공조기(100)와, 공조기(100)와 클린룸(1)을 연결하는 서플라이 에어덕트(110) 및 리턴 에어덕트(120)와, 리턴 에어덕트(120) 내에 설치된 노즐 어레이(130)를 포함한다.
공조기(100)는 클린룸(1) 내부로 공기를 공급하는 한편, 클린룸(1) 내부로부터 배기되는 공기를 다시 클린룸(1) 내부로 공급하는 순환 기능을 제공한다. 공조기(100)로는 통상적으로 클린룸의 외부에 설치되는 공조기기가 채용될 수 있다. 필요에 따라 공조기(100)에는 히팅(Heating) 수단이나 쿨링(Cooling) 수단이 구비될 수 있다.
서플라이 에어덕트(110)는 공조기(100)로부터 클린룸(1)으로 연장되어 클린룸(1) 내부로 공기를 공급하기 위한 유로를 제공한다.
리턴 에어덕트(120)는 공조기(100)로부터 클린룸(1)으로 연장되어 클린룸(1)에서 배출되는 공기를 공조기(100)로 리턴(Return)시키는 유로를 제공한다.
노즐 어레이(130)는 리턴 에어덕트(120) 내부를 가로지르도록 설치되어 공조기(100) 방향으로 물을 미세분무하는 기능을 수행한다. 노즐 어레이(130)는 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)과, 상기 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)과 연통되는 복수개의 미세분사노즐(133)을 포함한다.
본 발명에 있어서 노즐 어레이(130)의 구성은 도면에 도시된 예에 한정되지 않고, 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)에 어레이 형태로 설치되는 복수개의 미세분사노즐(133)에 의해 물을 미세 분무하는 기능을 제공하는 한 다양한 형상이나 구조로 변형될 수 있음은 물론이다. 노즐 어레이(130)에 있어서, 미세분사노즐(133)은 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)에 착탈 가능하게 조립될 수 있으며, 대안으로 상기 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)과 일체화된 형태로 제공될 수도 있다.
미세분사노즐(133)은 에어 공급관(131)을 통해 공급되는 고압의 에어로 물을 미세분무하는 기능을 제공한다. 통상의 클린룸에 요구되는 물의 기화율이나 가습 성능 등을 고려할 때 미세분사노즐(133)의 노즐 구경은 평균 입경 10~14㎛의 크기로 물을 분무할 수 있도록 설계되는 것이 바람직하다. 이러한 미세분사노즐(133)에는 예컨대, 100~200bar의 고압 에어가 공급되는 것이 바람직하나, 본 발명이 이러한 예에 한정되지 않음은 물론이다.
도 3에 도시된 바와 같이 노즐 어레이(130)는 리턴 에어덕트(120)의 서로 마주보는 양측벽을 관통하도록 설치된다. 이러한 구성에 의하면 리턴 에어덕트(120)의 바깥에서 노즐 어레이(130)의 물 공급관(132) 및 에어 공급관(131)을 통하여 물과 에어를 편리하게 공급할 수 있다. 대안으로, 노즐 어레이(130)는 그 양단이 리턴 에어덕트(120)의 내측면에 고정되는 형태로 설치될 수도 있다.
노즐 어레이(130)는 리턴 에어덕트(120)의 높이방향으로 복수개가 일정 간격으로 배치된다. 이러한 배열 구조에 따르면 클린룸(1) 내부로 공급되는 물 분무량의 선택폭을 충분히 크게 확보할 수 있다.
비록 도면에는 도시되지 않았으나, 클린룸(1)의 내부에는 온도 또는 습도의 검출을 위한 모니터링 센서가 설치되고, 공조 시스템에는 모니터링 센서의 출력신호에 따라 노즐 어레이(130)의 동작을 제어하는 제어부가 포함된다. 제어부는 미세분사노즐(133)에 공급되는 물의 양에 대해서는 통상의 비례 제어법을 적용하고, 미세분사노즐(133)에 공급되는 에어에 대해서는 온(On)/오프(Off) 제어법을 적용하여 노즐 어레이(130)를 제어한다.
공조기(100)나 클린룸(1) 내부의 젖음 방지를 위하여 노즐 어레이(130)에서 분무된 물은 충분히 기화된 상태에서 공조기(100) 내부의 흡기 팬으로 유입되어야 한다. 이를 위해 노즐 어레이(130)는 노즐 어레이(130)에서 분무되는 물의 기화거리만큼 공조기(100)와 간격을 두고 설치된다. 여기서, 물의 기화거리는 노즐 어레이(130)에서 분무된 물의 이동속도와 물의 기화시간의 곱으로 표현될 수 있다. 상기 노즐 어레이(130)에서 분무된 물의 이동속도는 리턴 에어덕트(120)의 전방 또는 앞단에 위치하는 배기 팬과 공조기(100) 내부의 흡기 팬의 회전속도에 의해 결정된다. 상기 물의 기화시간은 물의 평균입경과 리턴 에어덕트(120)의 내부온도 및 습도에 의해 결정된다.
리턴 에어덕트(120) 내부에 있어서 노즐 어레이(130)와 공조기(100) 사이에는 먼지 등 이물질이나 습기가 공조기(100) 내부로 유입되는 것을 차단하기 염화수지필터(140)가 개재되는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성을 갖는 클린룸의 공조 시스템은 클린룸(1) 내부에서 배출되어 공조기(100)로 리턴되는 공기에 대하여 물을 미세 분무하도록 동작한다. 즉, 리턴 에어덕트(120) 내에 설치된 노즐 어레이(130)에 의해 공조기(100) 방향으로 물의 미세 분무가 수행되고, 완전히 기화된 상태로 공조기(100)에 유입된 수증기는 다시 서플라이 에어덕트(110)를 통해 클린룸(1) 내부로 공급되어 클린룸(1) 내부의 온도와 습도를 제어하는 작용을 하게 된다.
이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
1: 클린룸 100: 공조기
110: 서플라이 에어덕트 120: 리턴 에어덕트
130: 노즐 어레이 131: 에어 공급관
132: 물 공급관 133: 미세분사노즐
140: 염화수지필터

Claims (6)

  1. 클린룸에 설치되는 공조 시스템에 있어서,
    클린룸의 외부에 설치되어 공기순환 기능을 제공하는 공조기;
    상기 공조기로부터 클린룸으로 연장되어 공기의 순환을 위한 유로를 제공하는 서플라이 에어덕트 및 리턴 에어덕트; 및
    상기 리턴 에어덕트 내에 설치되고, 물과 에어를 공급받아 물을 미세분무하는 복수개의 미세분사노즐로 이루어진 노즐 어레이;를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 어레이는 상기 리턴 에어덕트의 내부를 폭방향으로 가로지르는 물 공급관 및 에어 공급관에 상기 복수개의 미세분사노즐이 일정 간격으로 병렬 연결된 구조를 가지며,
    상기 노즐 어레이가 상기 리턴 에어덕트의 높이방향으로 복수개가 배열된 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 노즐 어레이가 상기 리턴 에어덕트의 서로 마주보는 양측벽을 관통하도록 설치된 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 클린룸의 내부에는 온도 또는 습도의 검출을 위한 모니터링 센서가 설치되고,
    상기 모니터링 센서의 출력신호에 따라 상기 노즐 어레이에 공급되는 물의 양을 비례제어하는 한편, 상기 노즐 어레이에 공급되는 에어를 온/오프 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 어레이는 상기 노즐 어레이에서 분무되는 물의 기화거리만큼 상기 공조기와 이격된 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 미세분사노즐은 평균 입경 10~14㎛의 크기로 물을 분무하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 공조 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160059145A (ko) * 2014-11-18 2016-05-26 주식회사 원방테크 직접분무식 수가습 시스템
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