KR20110088943A - 3차원 형상 검사방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 3차원 형상 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 그림자 템플릿의 일 예를 도시한 개략도이다.
도 4는 비저빌리티 정보를 이용하여 그림자 맵을 생성하는 방법의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 5는 도 2에서 소자의 정보를 획득하는 방법의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 6은 타겟 소자가 그림자 템플릿에 대응하는 소자인지를 비교하는 방법의 일 실시예를 설명하기 위한 개념도이다.
200 : 영상 촬영부 300 : 제1 조명부
400 : 제2 조명부 500 : 영상 획득부
600 : 모듈 제어부 700 : 중앙 제어부
900 : 그림자 템플릿 910 : 소자
920 : 타겟 소자 ROI : 검사 영역
Claims (8)
- 소정의 소자의 그림자를 추상화한 그림자 템플릿을 생성하는 단계;
복수의 방향으로 격자이미지 광을 측정 대상물에 조사하여 상기 측정 대상물의 각 픽셀별 그림자 정보를 획득하는 단계;
복수의 방향으로부터 촬영된 상기 각 픽셀별 그림자 정보를 머징(merging)하여 그림자 맵(map)을 생성하는 단계; 및
상기 측정 대상물의 상기 그림자 맵과 상기 그림자 템플릿을 비교하여, 상기 측정 대상물에서 상기 그림자 템플릿에 대응하는 상기 소자의 정보를 획득하는 단계를 포함하는 3차원 형상 검사방법. - 제1항에 있어서,
복수의 방향으로 격자이미지 광을 측정 대상물에 조사하여 상기 측정 대상물의 각 픽셀별 비저빌리티(visibility) 정보를 획득하는 단계를 더 포함하고,
상기 그림자 맵을 생성하는 단계는,
각 픽셀별로 상기 그림자 정보에 따른 예비 그림자 맵을 생성하는 단계;
상기 예비 그림자 맵에서 상기 비저빌리티 정보를 이용하여 상기 소자 부분을 제외하는 단계; 및
상기 소자 부분이 제외된 그립자 맵을 확정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 검사방법. - 제1항에 있어서, 상기 측정 대상물에서 상기 그림자 템플릿에 대응하는 상기 소자의 정보를 획득하는 단계는,
상기 그림자 템플릿에 대응하는 상기 소자가 상기 측정 대상물에 존재하는지 여부를 판단하는 단계; 및
상기 소자가 상기 측정 대상물에 존재하는 경우, 상기 소자의 크기, 위치 및 회전각 정보를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 검사방법. - 제3항에 있어서, 상기 그림자 템플릿에 대응하는 상기 소자가 상기 측정 대상물에 존재하는지 여부를 판단하는 단계는,
상기 소자가 형성된 인쇄회로기판 상에 소정의 검사영역을 설정하는 단계; 및
상기 그림자 템플릿의 위치를 초기위치로부터 순차적으로 이동하면서 상기 그립자 맵과 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 검사방법. - 제4항에 있어서, 상기 그림자 템플릿의 위치를 초기위치로부터 순차적으로 이동하면서 상기 그림자 맵과 비교하는 단계는,
상기 그림자 템플릿 상에 픽셀 좌표에 따라 0, 1로 설정된 값을 상기 그립자 맵과 겹치는 부분 상에 픽셀 좌표에 따라 0, 1로 설정된 값과 서로 곱하여 곱한 값들을 서로 더하는 단계;
상기 그림자 템플릿의 위치의 순차적 이동에 따라 최대값을 나타내는 위치를 상기 소자가 존재하는 예비 위치로 정하는 단계; 및
상기 최대값이 기준값 이상이면 상기 소자가 상기 그림자 템플릿에 대응하는 소자임을 확정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 검사방법. - 제1항에 있어서, 상기 측정 대상물에서 상기 그림자 템플릿에 대응하는 상기 소자의 정보를 획득하는 단계 이후에,
상기 그림자 템플릿에 대응하는 상기 소자의 불량 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 검사방법. - 제6항에 있어서, 상기 소자는 인쇄회로기판 상에 형성된 칩(chip)을 포함하고,
상기 그림자 템플릿에 대응하는 상기 소자의 불량 여부를 판단하는 단계는,
상기 칩의 몸체인 칩 바디(body)를 추출하는 단계;
상기 칩에 대한 칩 정보로부터 상기 칩 바디에 대한 칩 바디 정보를 제거하는 단계; 및
상기 칩 바디 정보가 제거된 칩 정보로부터 상기 인쇄회로기판 상에 형성된 상기 칩의 불량 형성 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 검사방법. - 제1항에 있어서,
상기 그림자 템플릿은 상기 소자의 디멘션(dimension) 및 상기 측정 대상물에 조사되는 격자이미지 광의 조사각도를 포함하는 템플릿 결정인자에 의해 정의되고,
상기 그림자 맵과 상기 그림자 템플릿은 상기 템플릿 결정인자의 소정 허용치 이내의 범위에서 비교되는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 검사방법.
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