KR20110066102A - 점착 테이프 부착 방법 및 이것을 사용한 장치 - Google Patents

Abstract

반도체 웨이퍼에 부착된 띠 형상의 점착 테이프를 테이프 절단 기구에 의해 웨이퍼 형상으로 오려내고, 이 오려내어진 불필요 테이프를 권취 회수하는 과정에서, 테이프 양단부의 협소 부위를 안내하는 사이드 롤러의 회전각을 로터리 인코더에 의해 검출하고, 검출 결과의 실제 회전각과 미리 정한 기준 회전각을 비교하여 불필요 테이프의 협소 부위의 파단을 판별부가 판단한다.

Description

점착 테이프 부착 방법 및 이것을 사용한 장치 {METHOD OF JOINING ADHESIVE TAPE AND APPARATUS USING THE SAME}

본 발명은 표면 처리를 마친 반도체 웨이퍼의 표면에 보호용의 점착 테이프를 부착해 가는 점착 테이프 부착 방법 및 이것을 사용한 장치에 관한 것이다.

점착 테이프의 부착 장치로서, 예를 들어 다음과 같이 실시되고 있다. 우선, 원재료 롤로부터 풀어내어진 세퍼레이터를 갖는 점착 테이프로부터 세퍼레이터를 박리한다. 세퍼레이터가 박리된 점착 테이프를 척 테이블 상에 보유 지지된 반도체 웨이퍼 상에 공급한다. 부착 롤러로 점착 테이프를 가압하면서 반도체 웨이퍼의 표면에 점착 테이프를 부착해 가도록 구성되어 있다(일본 특허 공개 제2004-25438호 공보를 참조).

그러나, 상기 종래 방법에서는 다음과 같은 문제가 있다.

웨이퍼 형상으로 오려내어진 띠 형상의 점착 테이프의 양단부는, 협소한 폭만 갖는다. 따라서, 점착 테이프의 강성이 저하되어 있으므로, 테이프 권취시에 이 협소 부위에 과잉의 인장력이 작용하면 파단한다. 이 파단에 의해 테이프의 권취 에러가 발생한다고 하는 문제가 있다.

또한, 가령, 권취 에러가 발생하지 않는 경우라도, 점착 테이프가 일단 파단하면, 상류측으로부터 공급되는 점착 테이프에 느슨함 등이 발생한 상태에서 웨이퍼에 부착된다. 그 결과, 웨이퍼에 부착된 점착 테이프에 주름이 발생하는 등의 문제가 있다.

본 발명은 반도체 웨이퍼의 형상으로 오려낸 후의 불필요한 점착 테이프를 고정밀도로 권취함과 함께, 점착 테이프를 웨이퍼에 고정밀도로 부착할 수 있는 점착 테이프 부착 방법 및 이것을 사용한 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 구성을 취한다.

반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 방법이며,

상기 반도체 웨이퍼에 부착된 띠 형상의 점착 테이프를 테이프 절단 기구에 의해 웨이퍼 형상으로 절단하고,

오려내어진 점착 테이프를 권취 회수하는 과정에서, 오려낸 부위의 테이프 양단부를 안내하는 안내 롤러의 회전 상태를 검출기에 의해 검출하고, 당해 검출 결과에 기초하여 테이프 양단부의 파단을 검출한다.

이 방법에 따르면, 오려내어진 점착 테이프의 양단부의 협소 부위가 안내 롤러 부분을 통과할 때의 접촉 저항에 의해, 안내 롤러의 회전 상태가 변화한다. 이 변화에 기초하여 점착 테이프의 파단이 검출된다.

예를 들어, 안내 롤러는, 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성되어 있다.

검출기에 의해 안내 롤러의 회전각을 검출하고, 미리 설정한 기준 회전각과 실제 회전각을 비교하여, 구해지는 편차에 따라서 점착 테이프의 파단을 판별한다.

다른 방법으로서, 검출기에 의해 각 안내 롤러에 걸리는 토크를 검출하고, 미리 설정한 기준 토크와 실제 토크를 비교하여, 구해지는 편차에 따라서 점착 테이프의 파단을 판별한다.

즉, 점착 테이프가 파단되어 있지 않는 경우에 소정의 개소를 통과하는 점착 테이프는, 항상 안내 롤러와 접촉되어 있으므로, 점착 테이프의 반송에 따라서 미리 정해진 패턴의 회전을 한다. 즉, 안내 롤러의 회전각 또는 발생하는 토크는 정해진 범위의 값에 들어가도록 되어 있다. 따라서, 회전각 또는 토크의 변화를 검출하여, 미리 정한 테이프 이송의 기준 패턴과 비교함으로써 점착 테이프의 파단을 고정밀도로 검출할 수 있다.

또한, 이 방법은, 링 프레임과 반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 방법에도 적용할 수 있다.

또한, 본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 구성을 취한다.

반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치이며, 상기 장치는, 이하의 구성 요소를 포함한다.

상기 반도체 웨이퍼를 적재 보유 지지하는 보유 지지 테이블과,

상기 보유 지지 테이블에 적재 보유 지지된 반도체 웨이퍼를 향하여 띠 형상의 점착 테이프를 공급하는 점착 테이프 공급 기구와,

부착 롤러를 구비하고, 이 부착 롤러를 구름 이동시켜 점착 테이프를 상기 반도체 웨이퍼에 가압하여 부착하는 테이프 부착 기구와,

상기 점착 테이프를 웨이퍼 형상으로 절단하는 테이프 절단 기구와,

웨이퍼 형상으로 오려내어진 상기 점착 테이프를 박리하여 권취하는 테이프 박리 기구와,

상기 점착 테이프를 권취하는 과정에서, 웨이퍼 형상으로 오려내어진 테이프 양단부를 안내하는 안내 롤러와,

상기 안내 롤러의 회전 상태를 검출하는 검출기와,

상기 검출기에 의한 검출 결과에 기초하여, 상기 테이프 양단부의 파단을 판별하는 판별부.

이 구성에 따르면, 웨이퍼 형상으로 오려내어진 점착 테이프가 테이프 박리 기구로 박리된 양단부의 협소 부위가, 테이프 양단부에 배치된 안내 롤러 부분을 통과한다. 따라서, 안내 롤러를 통과하는 테이프 협소 부위의 접촉으로 변화하는 안내 롤러의 회전 상태를 검출함으로써, 테이프 협소 부위의 파단을 검출기에 의해 고정밀도로 검출할 수 있다.

상기 장치에 있어서, 안내 롤러는, 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성하고,

상기 검출기는, 상기 각 안내 롤러의 회전각을 검출하고,

상기 판별부는, 미리 설정한 기준 회전각과 실제 회전각을 비교하여, 구해지는 편차에 따라서 테이프 양단부의 파단을 판별하도록 구성하여도 된다.

또한, 상기 장치에 있어서, 안내 롤러는, 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성하고,

검출기는, 각 안내 롤러에 걸리는 토크를 검출하고,

판별부는, 미리 설정한 기준 토크와 실제 토크를 비교하여, 구해지는 편차에 따라서 테이프 양단부의 파단을 판별하도록 구성하여도 된다.

이 구성에 따르면, 상기 방법을 적절하게 실시할 수 있다.

또한, 안내 롤러가 복수개로 구성되어 있으므로, 오려내어진 점착 테이프의 협소 부위가 파단하지 않고 인장력에 의해 반송 방향으로 잡아 늘려져 테이프 원치수 폭보다도 좁아졌다고 하여도, 협소 부위가 어느 하나의 안내 롤러와 접촉한다. 즉, 협소 부위의 파단의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

여기에서, 안내 롤러는, 회전 구동축에 고정된 당해 축 방향 중앙을 향하여 굵어지는 만곡 형상으로 형성된 중앙 롤러와,

상기 중앙 롤러의 양단부에서 회전 구동축에 회전 자유롭게 배치되고, 중앙 롤러와 동일 중심을 통과하는 곡률 반경으로 이루어지는 곡률의 외주면을 갖는 사이드 롤러로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

바꾸어 말하면, 중앙 롤러의 양단부에서 회전 구동축에 회전 자유롭게 배치되고, 중앙 롤러의 만곡면과 연속하는 외측 방향으로 끝이 좁아지는 만곡면을 갖는 사이드 롤러로 구성되어 있다.

이 구성에 따르면, 웨이퍼 형상의 대략 원형으로 오려낸 띠 형상의 점착 테이프를 안내 롤러로 권취할 때, 중앙 롤러의 외형의 굵은 부분이 원형 형상의 오려낸 부분에 인입한다. 그 후, 점착 테이프의 권취와 함께 중앙의 오려낸 부분에 중앙 롤러가 인입해 가서, 테이프 외측으로 적극적으로 가압력을 가하여 점착 테이프를 폭 방향으로 잡아 늘린다.

즉, 테이프 반송 과정에서 백 텐션에 의해 길이 방향으로 인장되는 점착 테이프가, 테이프 원치수 폭보다 좁아지지 않도록 테이프 폭 방향으로 인장력을 작용시킨다. 따라서, 절단 후의 테이프 폭의 양측에 잔존하는 점착 테이프의 협소 부위는, 사이드 롤러 상에 확실하게 안내되므로, 테이프 파단을 사이드 롤러의 회전 상태로부터 고정밀도로 검출할 수 있다.

발명을 설명하기 위하여 현재의 적합하다고 생각되는 몇가지 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것이 아닌 것을 이해하기 바란다.
도 1은, 점착 테이프 부착 장치의 전체를 도시하는 사시도.
도 2는, 점착 테이프 부착 장치의 정면도.
도 3은, 박리 유닛의 확대 정면도.
도 4는, 박리 유닛의 배면도.
도 5는, 실시예 장치의 동작을 나타내는 흐름도.
도 6 내지 도 9는, 실시예 장치의 동작을 도시하는 정면도.
도 10은, 변형예 장치의 안내 롤러를 도시하는 정면도.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 설명한다.

도 1은, 점착 테이프 부착 장치의 전체 구성을 도시하는 사시도이다.

이 점착 테이프 부착 장치는, 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 「웨이퍼」라고 함)(W)를 수납한 카세트(C)가 장전되는 웨이퍼 공급/회수부(1), 로봇 아암(2)을 구비한 웨이퍼 반송 기구(3), 얼라인먼트 스테이지(얼라이너)(4), 웨이퍼(W)를 적재하여 흡착 보유 지지하는 척 테이블(5), 웨이퍼(W)를 향하여 표면 보호용의 점착 테이프(T)를 공급하는 테이프 공급부(6), 테이프 공급부(6)로부터 공급된 세퍼레이터(S)를 갖는 점착 테이프(T)로부터 세퍼레이터(S)를 박리 회수하는 세퍼레이터 회수부(7), 척 테이블(5)에서 흡착 보유 지지된 웨이퍼(W)에 점착 테이프(T)를 부착하는 부착 유닛(8), 웨이퍼(W)에 부착된 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 외형을 따라서 오려내는 테이프 절단 기구(9), 웨이퍼(W)에 부착하여 절단 처리한 후의 불필요 테이프(T')를 박리하는 박리 유닛(10), 박리 유닛(10)에 의해 박리된 불필요 테이프(T')를 권취 회수하는 테이프 회수부(11) 등이 구비되어 있다. 이하, 각 구조부 및 기구에 대하여 구체적으로 설명한다.

웨이퍼 공급/회수부(1)에는 2대의 카세트(C)가 병렬하여 적재된다. 각 카세트(C)에는, 회로 패턴면을 상향으로 한 다수매의 웨이퍼(W)가, 다단으로 수평 자세로 삽입 수납되어 있다.

웨이퍼 반송 기구(3)에 구비된 로봇 아암(2)은, 수평하게 진퇴 이동 가능하게 구성됨과 함께, 전체가 선회 및 승강 가능하게 되어 있다. 이 로봇 아암(2)의 선단에는, 말굽형을 한 진공 흡착식의 웨이퍼 보유 지지부(2a)가 구비되어 있다. 이 웨이퍼 보유 지지부(2a)는, 카세트(C)에 다단으로 수납된 웨이퍼(W)끼리의 간극에 삽입되어, 웨이퍼(W)의 이면을 흡착 보유 지지하고, 카세트(C)로부터 인출된다. 그 후, 로봇 아암(2)은, 얼라인먼트 스테이지(4), 척 테이블(5) 및 웨이퍼 공급/회수부(1)의 순으로 웨이퍼(W)를 반송하도록 되어 있다.

얼라인먼트 스테이지(4)는, 웨이퍼 반송 기구(3)에 의해 적재된 웨이퍼(W)를, 그 외주에 형성된 노치나 오리엔테이션 플랫에 기초하여 위치 정렬을 행한다.

척 테이블(5)은, 웨이퍼 반송 기구(3)로부터 이동 탑재되어 소정의 위치 정렬 자세로 적재된 웨이퍼(W)를 진공 흡착한다. 또한, 척 테이블(5)의 상면에는, 테이프 절단 기구(9)에 구비된 커터날(12)을 웨이퍼(W)의 외형을 따라서 선회시켜 점착 테이프(T)를 절단하기 위하여 커터 주행 홈(13)(도 6을 참조)이 형성되어 있다. 또한, 척 테이블(5)의 테이블 중심에는, 웨이퍼 반입 반출시에 나오고 들어가는 흡착 보유 지지부(5a)(도 2를 참조)가 설치되어 있다.

테이프 공급부(6)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 공급 보빈(14)으로부터 풀어내어진 세퍼레이터(S)를 갖는 점착 테이프(T)를 이송 롤러(15) 및 가이드 롤러(16)에 의해 권회 안내하여 나이프 에지 형상의 박리 안내 바(17)로 유도한다. 또한, 테이프 공급부(6)는, 박리 안내 바(17)의 선단 에지에서의 되접힘에 의해 점착 테이프(T)로부터 세퍼레이터(S)를 박리하고, 세퍼레이터(S)가 박리된 점착 테이프(T)를 부착 유닛(8)으로 유도한다.

이송 롤러(15)는, 핀치 롤러(19)와의 사이에 점착 테이프(T)를 끼움 지지 안내함과 함께, 모터(18)에 의해 회전 구동된다. 또한, 이송 롤러(15)는, 필요에 따라서 점착 테이프(T)를 강제적으로 송출한다.

공급 보빈(14)은, 전자기 브레이크(20)에 연동 연결되어 있다. 따라서, 적당한 회전 저항이 공급 보빈(14)에 걸려져 있으므로, 과잉의 테이프 풀어내기가 방지되어 있다.

세퍼레이터 회수부(7)는, 점착 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(S)를 권취하는 회수 보빈(21)이 구비되어 있고, 회수 보빈(21)은, 모터(22)에 의해 정역 회전으로 회전 제어된다.

부착 유닛(8)에는, 도시되지 않은 실린더에 의해 상하로 위치 변경 가능한 부착 롤러(23)가 구비되어 있다. 또한, 부착 유닛(8)은, 안내 레일(24)을 따라서 수평 이동 가능하게 지지되어 있다. 부착 유닛(8)은, 모터(25)의 정역 회전에 의해 나사 축(26)을 따라서 왕복 이동한다.

박리 유닛(10)에는, 박리 롤러(27), 모터 구동되는 송출 롤러(28), 안내 롤러(35, 36) 및 핀치 롤러(39)가 구비되어 있다. 이 박리 유닛(10) 전체가 안내 레일(24)을 따라서 수평 이동 가능하게 지지되어 있다. 박리 유닛(10)은, 모터(29)의 정역 회전에 의해 나사 축(30)을 따라서 왕복 이동한다.

안내 롤러(36)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 프레임에 고정된 지지축에 베어링을 통하여 회전 가능한 좌우 한쌍의 사이드 롤러(36a, 36b), 및 중앙에 위치하는 중앙 롤러(36c)의 3개로 구성되어 있다.

사이드 롤러(36a, 36b)의 외측 단부에는, 슬릿 원판(37)이 장착되어 있다. 또한, 슬릿 원판(37)의 회전을 검출하는 로터리 인코더(38)가 각각의 사이드 롤러(36a, 36b)측에 배치되어 있다. 로터리 인코더(38)로부터의 검출 신호는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제어 장치(41)에 송신된다.

핀치 롤러(39)는, 실린더(40)에 의해 승강한다. 즉, 핀치 롤러(39)와 송출 롤러(28)에 의해 점착 테이프(T)를 끼움 지지한다.

도 2로 되돌아가서, 테이프 회수부(11)에는 모터 구동되는 회수 보빈(31)이 구비되어 있다. 회수 보빈(31)은, 불필요 테이프(T')를 권취하는 방향으로 회전된다.

테이프 절단 기구(9)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 승강 가능한 가동대(32)의 하부에, 척 테이블(5)의 중심 상에 위치하는 종축심(X) 주위로 구동 선회 가능하게 지지 아암(33)이 장비되어 있다. 또한, 이 지지 아암(33)의 자유 단부측에 커터 유닛(34)을 구비하고 있다. 커터 유닛(34)에는, 날끝을 하향으로 한 커터날(12)이 장착되어 있다.

즉, 지지 아암(33)이, 종축심(X) 주위로 선회함으로써, 커터날(12)이 웨이퍼(W)의 외주를 따라서 주행하여, 점착 테이프(T)를 웨이퍼 형상으로 오려낸다.

이어서, 상기 실시예 장치를 사용하여 표면 보호용의 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 표면에 부착하기 위한 일련의 동작을 도 5에 나타내는 흐름도, 도 2 및 도 6 내지 도 9에 기초하여 설명한다.

부착 명령이 내려지면, 우선, 웨이퍼 반송 기구(3)에서의 로봇 아암(2)이 카세트대(12)에 적재된 카세트(C)를 향하여 이동된다. 웨이퍼 보유 지지부(2a)가 카세트(C)에 수용되어 있는 웨이퍼끼리의 간극에 삽입된다. 웨이퍼 보유 지지부(2a)는, 웨이퍼(W)를 이면으로부터 흡착 보유 지지하여 반출하고, 얼라인먼트 스테이지(4)에 이동 탑재한다.

얼라인먼트 스테이지(4)에 적재된 웨이퍼(W)는, 웨이퍼(W)의 외주에 형성되어 있는 노치나 오리엔테이션 플랫을 이용하여 위치 정렬된다. 위치 정렬을 마친 웨이퍼(W)는, 다시 로봇 아암(2)에 의해 반출되어 척 테이블(5)에 적재된다.

척 테이블(5)에 적재된 웨이퍼(W)는, 그 중심이 척 테이블(5)의 중심에 위치 정렬된 상태에서 흡착 보유 지지된다. 이때, 도 2에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(8)과 박리 유닛(10)은 좌측의 초기 위치에 있다. 또한, 테이프 절단 기구(9)의 커터날(12)은, 상방의 초기 위치에서 대기하고 있다.

박리 유닛(10)은, 실린더(40)를 작동시켜 핀치 롤러(39)를 하강시킨다. 핀치 롤러(39)와 송출 롤러(28)에 의해 점착 테이프(T)를 파지한다(스텝 S1).

이어서, 도 6에 도시한 바와 같이, 부착 롤러(23)가 하강됨과 함께 부착 유닛(8)이 전진 이동한다. 이 이동에 따라서 부착 롤러(23)가, 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)에 가압하면서 전방으로 구름 이동한다. 이때, 점착 테이프(T)가 웨이퍼(W)의 표면에 부착되어 간다(스텝 S2).

도 7에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(8)이 척 테이블(5)을 초과한 종단부 위치에 도달하면, 상방에 대기하고 있었던 커터날(12)이 하강된다. 커터날(12)은, 척 테이블(5)의 커터 주행 홈(13) 부분에서 점착 테이프(T)에 찔러진다.

커터날(12)이 소정의 절단 높이까지 하강되어 정지하면, 지지 아암(33)이 소정의 방향으로 회전된다. 이 회전에 따라서 커터날(12)이 종축심(X) 주위로 선회하고, 점착 테이프(T)가 웨이퍼 외형을 따라서 오려내어진다(스텝 S3).

테이프 절단이 종료되면, 도 8에 도시한 바와 같이, 커터날(12)은 대기 위치까지 상승된다. 동시에 박리 유닛(10)의 핀치 롤러(39)를 상승시켜 점착 테이프(T)의 파지를 해제하고, 박리 유닛(10)을 박리 작업의 종료 위치로 이동시킨다(스텝 S4).

이때, 박리 유닛(10)의 이동 속도에 동조하여 송출 롤러(28)가 구동하여, 테이프 회수부(11)를 향하여 불필요 테이프(T')를 송출한다. 이때, 불필요 테이프(T')의 점착면과의 접촉 저항에 의해 회전 가능한 안내 롤러(36)가 회전한다. 이 회전각을 로터리 인코더(38)에 의해 검출하고, 검출 신호를 제어 장치(41)에 송신한다.

제어 장치(41)의 판별부(42)가, 실험이나 시뮬레이션 등에 의해 미리 구한 소정 범위의 기준 회전각 내에 로터리 인코더(38)에 의해 검출한 실제 회전각이 들어가 있는지의 여부를 판별한다(스텝 S5).

또한, 기준 회전각은, 예를 들어 다음과 같이 하여 정한다. 대략 원형으로 오려내어진 불필요 테이프(T')의 권취 개시부터 양단부의 협소 부위가 사이드 롤러(36a, 36b)를 완전히 통과하여 다음 테이프 절단 위치에 새로운 테이프가 공급 정지될 때까지의 사이드 롤러(36a, 36b)의 회전각을 측정한다. 이 측정을 복수회 행하여 구한 평균값으로서 기준 개정각을 정한다.

다른 방법으로서, 미리 정해진 테이프 반송 경로의 거리(길이)와 절단 부위에 있는 테이프 길이로부터 이론적으로 산출하여 기준 회전각을 정한다.

판별부(42)의 결과에 있어서, 불필요 테이프(T')의 협소 부위의 파단을 판별할 수 없는 경우, 통상의 처리가 행해진다(스텝 S6으로). 즉, 테이프 부착 처리가 종료되면, 척 테이블(5)의 흡착이 해제된 후, 부착 처리를 마친 웨이퍼(W)는 흡착 보유 지지부(5a)에 보유 지지되어 테이블 상방으로 들어 올려진다. 이 웨이퍼(W)는, 로봇 아암(2)의 웨이퍼 보유 지지부(2a)에 이동 탑재되어 반출되고, 웨이퍼 공급/회수부(1)의 카세트(C)에 꽂아 회수된다.

그 후, 도 9에 도시한 바와 같이, 박리 유닛(10)과 부착 유닛(8)이 역 방향으로 이동하여 초기 위치로 복귀된다. 이때, 불필요 테이프(T')가 회수 보빈(31)에 권취됨과 함께, 소정량의 점착 테이프(T)가 테이프 공급부(6)로부터 공급된다(스텝 S7).

이상으로 1회의 점착 테이프 부착 처리가 완료되고, 이후, 소정 매수의 웨이퍼에 대하여 테이프 부착 처리가 완료될 때까지 상기 작동을 순차적으로 반복해 간다(스텝 S8).

이어서, 스텝 S5에 있어서, 실제 회전각이, 기준 회전각 내에 들어가지 않는 경우의 처리에 대하여 설명한다.

불필요 테이프(T')의 협소 부위의 파단이 검출되면, 양단부 또는 어느 부위에 파단이 발생하고 있는지를 판별한다. 즉, 사이드 롤러(36a, 36b)의 어느 소정의 회전각 내로부터 벗어나 있는지를 판별한다(스텝 S9).

어느 한쪽의 협소 부위의 파단만 검출 가능하였던 경우, 그대로 처리를 계속한다. 즉, 도 9에 도시한 바와 같이, 박리 유닛(10)과 부착 유닛(8)을 역 방향으로 이동시켜 초기 위치로 복귀시키는 과정에서, 불필요 테이프(T')가 회수 보빈(31)에 권취됨과 함께, 소정량의 새로운 점착 테이프(T)가 테이프 공급부(6)로부터 공급된다.

이때, 오려낸 부위 이후의 점착 테이프(T)가 안내 롤러(36)를 통과할 때, 다시 사이드 롤러(36a, 36b)의 회전각을 로터리 인코더(38)에 의해 검출한다(스텝 S10). 즉, 새로운 점착 테이프(T)가, 테이프 부착 부위에 정상적으로 공급되고 있는지의 여부를 검사한다. 또한, 이 판단은, 판별부(42)에 있어서, 실험 등으로 미리 정한 기준 회전각과 실제 회전각의 비교로부터 판단된다(스텝 S11).

판별부(42)에 있어서, 어느 한쪽의 협소 부위가 파단되어 있음에도 불구하고, 사이드 롤러(36a, 36b)에 따른 소정의 회전각이 검출되어, 점착 테이프(T)가 정상적으로 공급되고 있다고 판단된 경우, 그대로 통상 처리인 스텝 S6부터 스텝 S8이 반복된다.

판별부(42)에 있어서, 어느 한쪽의 협소 부위가 파단되어 있는 것에 기인하여, 점착 테이프(T)의 공급이 정상적으로 행해지지 않고 있다고 판단된 경우, 장치를 정지시킨다.

마찬가지로, 스텝 S9에서 양쪽 협소 부위의 파단이 검출된 경우, 장치를 정지시킨다.

이상에서, 상기 실시예 장치의 일련의 동작이 종료된다.

상술한 바와 같이, 안내 롤러(36) 중 사이드 롤러(36a, 36b)에 웨이퍼 형상으로 오려내어진 불필요 테이프(T')의 협소 부위를 통과시키고, 이때의 접촉 저항에 의해 회전하는 사이드 롤러(36a, 36b)의 회전각의 변화를 구함으로써, 점착 테이프(T)의 협소 부위의 파단을 고정밀도로 구할 수 있다. 따라서, 파단이 없는 적당한 텐션이 점착 테이프(T)의 전체에 부여된 상태에서 웨이퍼(W)에 부착되므로, 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)에 밀착시킬 수 있다.

또한, 부착 유닛(8) 및 박리 유닛(10)을 초기 위치로 복귀시키는 과정에서, 권취 회수되는 비절단 부위의 점착 테이프(T)가 사이드 롤러(36a, 36b)를 소정 길이만큼 통과하는지의 여부를 판단할 수 있다.

즉, 불필요 테이프(T')의 권취시에 협소 부위의 한쪽이 파단되어 있어도, 점착 테이프(T)를 테이프 부착 부위에 정상적으로 공급할 수 있는 경우에는, 테이프 부착 처리를 계속해서 행할 수 있다.

본 발명은 이하와 같은 형태로 실시하는 것도 가능하다.

(1) 상기 실시예에서는, 불필요 테이프(T')의 파단의 위치를 사이드 롤러(36a, 36b)의 회전각으로부터 판단하고 있었지만, 어느 한쪽의 파단이 검출된 시점에서 장치를 정지시켜도 된다. 또한, 부착 유닛(8) 및 박리 유닛(10)을 초기 위치로 복귀시키는 과정에서 권취 회수되는 점착 테이프(T)의 상태를 사이드 롤러(36a, 36b)에서 검출하고 있었지만, 이 검출 과정(스텝 S9부터 S11)을 생략할 수도 있다.

(2) 상기 실시예의 안내 롤러(36)는, 원통형의 것이었지만, 다음과 같은 형상이어도 된다.

예를 들어, 도 10에 도시한 바와 같이, 사이드 롤러(51a, 51b)의 양단부로부터 중앙 롤러(51c)의 길이 방향의 중앙을 향하여 굵어지는 만곡면을 갖는 안내 롤러(51)를 이용하여도 된다. 예를 들어, 사이드 롤러(51a, 51b) 및 중앙 롤러(51c)가 동일 중심을 통과하는 곡률 반경으로 이루어지는 곡률의 외주면을 갖도록 형성한다.

이 구성에 따르면, 웨이퍼 형상의 대략 원형으로 오려낸 띠 형상의 불필요 테이프(T')를 안내 롤러(51)에 의해 권취할 때, 중앙 롤러(51c)의 외형의 굵은 부분이 원형 형상의 잘라낸 부분에 인입한다. 그 후, 불필요 테이프(T')의 권취와 함께 중앙의 잘라낸 부분에 중앙 롤러(51c)가 인입해 가서, 불필요 테이프(T')의 외측에 적극적으로 가압력을 가하여 테이프 폭 방향으로 잡아 늘린다.

즉, 테이프 반송 과정에서 백 텐션에 의해 테이프 길이 방향으로 인장되는 점착 테이프(T)가, 테이프 원치수 폭보다 좁아지지 않도록 테이프 폭 방향으로 인장력을 작용시킨다. 따라서, 테이프 폭의 양측에 잔존하는 불필요 테이프(T')의 협소 부위는, 사이드 롤러(51a, 51b) 상에 확실하게 안내되므로, 테이프의 파단을 양쪽 사이드 롤러(51a, 51b)의 회전 상태로부터 고정밀도로 검출할 수 있다.

(3) 상기 실시예의 안내 롤러(36)는, 지지축을 따라서 3개로 분할된 구성이었지만, 4개 이상으로 분할된 구성이어도 된다. 또한, 테이프 폭 방향으로 작용하는 인장력에 의해 잡아 늘려져 테이프 원치수 폭보다 좁아지는 불필요 테이프(T')의 이 폭의 변화를 고려하여 다음과 같이 구성하여도 된다. 즉, 협소 부위가 통과할 수 있는 범위에 있어서, 협소 부위의 폭과 동등한 폭을 갖는 복수개의 사이드 롤러를 배치한다. 이 경우, 각 사이드 롤러에 슬릿 원판(37)을 장착하고, 슬릿 원판(37)마다 로터리 인코더(38)를 배치하는 구성으로 한다.

이 구성에 따르면, 웨이퍼(W)의 크기의 변경에 따라서, 사이드 롤러의 개수를 적절하게 변경함으로써, 장치의 세팅의 변경이 용이해진다.

(4) 상기 실시예에서는, 사이드 롤러(36a, 36b)의 회전각을 검출하고 있었지만, 양쪽 롤러(36a, 36b)의 회전 토크를 검출하고, 실제 회전 토크의 변화에 기초하여 불필요 테이프(T')의 협소 부위의 파단을 판단하여도 된다.

이 구성의 경우, 사이드 롤러(36a, 36b)의 각각에 토크 센서를 배치하고, 불필요 테이프(T') 통과시의 접촉 저항에 의해 양쪽 롤러(36a, 36b)에 걸리는 토크의 기준 토크를 미리 결정해 두고, 실측시의 실제 토크와의 비교에 의해, 편차가 발생한 경우에 불필요 테이프(T')의 협소 부위가 파단되어 있다고 판단할 수 있다.

(5) 상기 실시예에서는, 표면 보호용의 점착 테이프 부착 장치를 예로 들어 설명하였지만, 링 프레임에 지지용의 점착 테이프를 부착하는 웨이퍼 마운트 장치에도 적용할 수 있다. 즉, 링 프레임과 웨이퍼(W)에 부착한 띠 형상의 점착 테이프를 링 프레임을 따라서 원형으로 오려낸 후에, 불필요 테이프 양단부의 협소 부위의 파단을 검출하도록, 권취용의 안내 롤러에, 상기 실시예 장치와 마찬가지로 로터리 인코더, 제어 장치를 구비한 구성으로 한다.

본 발명은 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적 형태로 실시할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.

Claims (11)

1. 반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 방법이며,
   상기 반도체 웨이퍼에 부착된 띠 형상의 점착 테이프를 테이프 절단 기구에 의해 웨이퍼 형상으로 절단하는 과정과,
   오려내어진 점착 테이프를 권취 회수하는 과정에서, 오려낸 부위의 테이프 양단부를 안내하는 안내 롤러의 회전 상태를 검출기로 검출하고, 당해 검출 결과에 기초하여 테이프 양단부의 파단을 검출하는 과정을 포함하는 점착 테이프 부착 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 안내 롤러는, 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성되고,
   상기 검출기에 의해 안내 롤러의 회전각을 검출하고,
   미리 설정한 기준 회전각과 실제 회전각을 비교하여,
   구해지는 편차에 따라서 점착 테이프의 파단을 판별하는 점착 테이프 부착 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 안내 롤러는, 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성되고,
   상기 검출기에 의해 각 안내 롤러에 걸리는 토크를 검출하고,
   미리 설정한 기준 토크와 실제 토크를 비교하여,
   구해지는 편차에 따라서 점착 테이프의 파단을 판별하는 점착 테이프 부착 방법.
4. 링 프레임과 반도체 웨이퍼에 지지용의 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 방법이며,
   상기 링 프레임과 반도체 웨이퍼에 부착된 띠 형상의 점착 테이프를 테이프 절단 기구에 의해 링 프레임 형상으로 절단하는 과정과,
   오려내어진 점착 테이프를 권취 회수하는 과정에서, 오려낸 부위의 테이프 양단부를 안내하는 안내 롤러의 회전 상태를 검출기로 검출하고, 당해 검출 결과에 기초하여 테이프 양단부의 파단을 검출하는 과정을 포함하는 점착 테이프 부착 방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 안내 롤러는, 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성되고,
   상기 검출기에 의해 안내 롤러의 회전각을 검출하고,
   미리 설정한 기준 회전각과 실제 회전각을 비교하여,
   구해지는 편차에 따라서 점착 테이프의 파단을 판별하는 점착 테이프 부착 방법.
6. 제4항에 있어서, 상기 안내 롤러는, 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성되고,
   상기 검출기에 의해 각 안내 롤러에 걸리는 토크를 검출하고,
   미리 설정한 기준 토크와 실제 토크를 비교하여,
   구해지는 편차에 따라서 점착 테이프의 파단을 판별하는 점착 테이프 부착 방법.
7. 반도체 웨이퍼에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치이며,
   상기 반도체 웨이퍼를 적재 보유 지지하는 보유 지지 테이블과,
   상기 보유 지지 테이블에 적재 보유 지지된 반도체 웨이퍼를 향하여 띠 형상의 점착 테이프를 공급하는 점착 테이프 공급 기구와,
   부착 롤러를 구비하고, 이 부착 롤러를 구름 이동시켜 점착 테이프를 상기 반도체 웨이퍼에 가압하여 부착하는 테이프 부착 기구와,
   상기 점착 테이프를 웨이퍼 형상으로 절단하는 테이프 절단 기구와,
   웨이퍼 형상으로 오려내어진 상기 점착 테이프를 박리하여 권취하는 테이프 박리 기구와,
   상기 점착 테이프를 권취하는 과정에서, 웨이퍼 형상으로 오려내어진 테이프 양단부를 안내하는 안내 롤러와,
   상기 안내 롤러의 회전 상태를 검출하는 검출기와,
   상기 검출기에 의한 검출 결과에 기초하여, 상기 테이프 양단부의 파단을 판별하는 판별부를 포함하는 점착 테이프 부착 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 안내 롤러는 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성하고,
   상기 검출기는 상기 각 안내 롤러의 회전각을 검출하고,
   상기 판별부는, 미리 설정한 기준 회전각과 실제 회전각을 비교하여, 구해지는 편차에 따라서 테이프 양단부의 파단을 판별하도록 구성되어 있는 점착 테이프 부착 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 안내 롤러는, 회전 구동축에 고정되어 있고, 당해 축 방향 중앙을 향하여 굵어지는 만곡 형상으로 형성된 중앙 롤러와,
   상기 중앙 롤러의 양단부에서 회전 구동축에 회전 가능하게 배치되고, 중앙 롤러와 동일 중심을 통과하는 곡률 반경으로 이루어지는 곡률의 외주면을 갖는 사이드 롤러로 구성되어 있는 점착 테이프 부착 장치.
10. 제7항에 있어서, 상기 안내 롤러는 테이프 폭 방향으로 배치된 복수개로 구성하고,
    상기 검출기는 각 안내 롤러에 걸리는 토크를 검출하고,
    상기 판별부는, 미리 설정한 기준 토크와 실제 토크를 비교하여, 구해지는 편차에 따라서 테이프 양단부의 파단을 판별하도록 구성되어 있는 점착 테이프 부착 장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 안내 롤러는, 회전 구동축에 고정되어 있고, 당해 축 방향 중앙을 향하여 굵어지는 만곡 형상으로 형성된 중앙 롤러와,
    상기 중앙 롤러의 양단부에서 회전 구동축에 회전 가능하게 배치되고, 중앙 롤러와 동일 중심을 통과하는 곡률 반경으로 이루어지는 곡률의 외주면을 갖는 사이드 롤러로 구성되어 있는 점착 테이프 부착 장치.
    
    

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