KR20110024608A - Optical inspection apparatus and method of inspecting using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An optical inspection apparatus and an inspection method using the apparatus are provided to inspect a defect of transparent pattern on an object by using short-wave laser beams, thereby improving inspection efficiency. CONSTITUTION: An optical inspection apparatus comprises a support unit(100) in which an object is placed, a first illumination unit(501) which generates a first short-wave laser beam to illuminate the object placed on the support unit, and an imaging unit(200) which photographs the object illuminated with the first short-wave laser beam.

Description

광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법{OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF INSPECTING USING THE SAME}Optical inspection device and inspection method using the same {OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF INSPECTING USING THE SAME}

본 발명은 검사 대상물을 검사하는 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사 대상물을 촬상하여 촬상된 이미지를 통해 검사 대상물을 검사하는 광학 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting an inspection object, and more particularly, to an optical inspection apparatus for inspecting an inspection object through an image taken by capturing an inspection object and an inspection method using the same.

영상을 표시하는 평판표시장치는 컴퓨터나 휴대용 단말기 등 다양한 분야에 사용되고 있다. 이러한 평판표시장치는 사용자의 조작에 따라 이에 대응하는 정보를 영상으로 표시한다.BACKGROUND ART A flat panel display displaying an image is used in various fields such as a computer or a portable terminal. Such a flat panel display displays information corresponding thereto according to a user's operation as an image.

최근, 평판표시장치의 조작을 용이하게 하기 위해 평판표시장치에 터치 패널을 적용하여 사용자의 편리성을 향상시키고 있다.Recently, in order to facilitate the operation of the flat panel display device, a touch panel is applied to the flat panel display device to improve convenience of the user.

터치 패널은 사용자가 가압한 지점의 위치값을 생성하기 위한 좌표 시트를 포함한다. 이러한, 터치 패널은 평판표시패널의 상부에 설치되므로, 평판표시패널의 영상이 표시되는 표시영역과 대응하는 부분이 모두 투명한 재질로 이루어져야 한다. 따라서, 좌표 시트는 투명한 베이스 필름을 포함하고, 베이스 필름의 상면에는 사용자가 가압한 부분의 위치값을 생성하기 위한 도전성 투명 패턴과 은도금 패 턴이 형성된다.The touch panel includes a coordinate sheet for generating a position value of a point pressed by the user. Since the touch panel is installed on the top of the flat panel display panel, all parts corresponding to the display area on which the image of the flat panel panel is displayed should be made of a transparent material. Accordingly, the coordinate sheet includes a transparent base film, and a conductive transparent pattern and a silver plating pattern are formed on an upper surface of the base film to generate a position value of a portion pressed by the user.

투명 패턴은 평판표시패널의 표시영역과 대응하는 영역에 형성되며, 산화 인듐 주석 또는 산화 인듐 아연과 같은 재질로 이루어진다. 은도금 패턴은 표시영역을 둘러싼 주변 영역과 대응하는 영역에 형성되며, 사용자가 가압한 부분의 위치값을 생성하는 외부 장치 및 투명 패턴과 연결되거나, 회로 기판과 연결된다.The transparent pattern is formed in an area corresponding to the display area of the flat panel display panel and is made of a material such as indium tin oxide or indium zinc oxide. The silver plating pattern is formed in an area corresponding to the peripheral area surrounding the display area, and is connected to an external device and a transparent pattern for generating a position value of a portion pressed by the user, or to a circuit board.

특히, 좌표 시트는 베이스 필름과 투명 패턴이 모두 투명하므로, 프로브 검사 장치와 같은 전기 신호를 이용한 검사 장치를 통해서만 검사가 가능하고, 육안 또는 카메라를 이용한 검사를 실시할 수 없다.In particular, since both the base film and the transparent pattern are transparent, the coordinate sheet can be inspected only through an inspection apparatus using an electrical signal such as a probe inspection apparatus, and cannot be inspected by the naked eye or a camera.

본 발명의 목적은 검사 효율을 향상시킬 수 있는 광학 검사 장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an optical inspection apparatus capable of improving inspection efficiency.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 광학 검사 장치를 이용한 검사 방법을 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide an inspection method using the optical inspection apparatus described above.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 광학 검사 장치는, 지지유닛, 제1 조명 유닛, 및 촬상 유닛으로 이루어진다.An optical inspection apparatus according to one feature for realizing the above object of the present invention comprises a support unit, a first illumination unit, and an imaging unit.

지지유닛에는 검사 대상물이 안착된다. 제1 조명 유닛은 상기 지지유닛 상부에 설치되고, 단파장을 갖는 제1 광을 생성하여 상기 지지유닛에 안착된 검사 대 상물을 향해 조사한다. 촬상 유닛은 상기 제1 광이 조사되는 상기 검사 대상물을 촬상한다.The test object is seated on the support unit. The first lighting unit is installed on the support unit, and generates a first light having a short wavelength to irradiate toward the inspection target object seated on the support unit. The imaging unit picks up the inspection object to which the first light is irradiated.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 광학 검사 장치는, 지지유닛, 수직 조명 유닛, 제1 및 제2 경사 조명 유닛, 및 촬상 유닛으로 이루어진다.In addition, an optical inspection apparatus according to one feature for realizing the above object of the present invention comprises a support unit, a vertical illumination unit, first and second inclined illumination units, and an imaging unit.

지지 유닛에는 상면에 투명 패턴이 형성된 검사 대상물이 안착된다. 수직 조명 유닛은 상기 지지 유닛 상부에 설치되고, 길이 방향의 축이 상기 지지 유닛의 상면에 대해 수직하게 배치되며, 단파장을 갖는 제1 광을 생성하여 상기 지지유닛에 안착된 검사 대상물을 향해 상기 제1 광을 선형태로 조사한다. 제1 및 제2 경사 조명 유닛은 상기 수직 조명 유닛의 아래에 설치되고, 제2 광을 생성하여 상기 지지 유닛에 안착된 검사 대상물을 향해 상기 제2 광을 선형태로 조사한다. 상기 제2 광을 출사하는 상기 제1 경사 조명 유닛의 출사면과 상기 제2 경사 조명 유닛의 출사면은 상기 검사 대상물의 검사면에 대해 서로 반대 방향으로 경사지도록 배치된다. 촬상 유닛은 상기 제1 조명 유닛의 상부에 설치되고, 상기 제1 및 제2 광이 조사되는 상기 검사 대상물을 촬상한다. An inspection object with a transparent pattern formed on an upper surface thereof is mounted on the support unit. The vertical illumination unit is installed above the support unit, and a longitudinal axis thereof is disposed perpendicularly to the upper surface of the support unit, and generates a first light having a short wavelength to be directed toward the inspection object seated on the support unit. 1 Irradiate light in linear form. The first and second inclined illumination units are installed under the vertical illumination unit, and generate second light to irradiate the second light in a linear form toward an inspection object seated on the support unit. The emission surface of the first inclined illumination unit and the emission surface of the second inclined illumination unit emitting the second light are disposed to be inclined in opposite directions with respect to the inspection surface of the inspection object. An imaging unit is provided above the first illumination unit, and captures the inspection object to which the first and second light are irradiated.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 광학 검사 방법은 다음과 같다. 먼저, 투명 패턴이 형성된 검사 대상물을 향해 단파장을 갖는 제1 광을 조사하면서 상기 검사 대상물을 촬상한다. 이어, 상기 촬상된 이미지를 통해 상기 검사 대상물을 검사한다.In addition, an optical inspection method according to one feature for realizing the above object of the present invention is as follows. First, the said inspection object is imaged, irradiating the 1st light which has a short wavelength toward the inspection object in which the transparent pattern was formed. Then, the inspection object is inspected through the captured image.

이러한 광학 검사 방법은, 제2 광을 상기 검사 대상물을 향해 조사하면서 상기 검사 대상물을 촬상하고, 상기 제2 광을 조사하여 촬상한 이미지를 통해 상기 검사 대상물에 형성된 유색 패턴을 검사하는 과정을 더 포함할 수 있다.The optical inspection method further includes a process of imaging the inspection object while irradiating a second light toward the inspection object, and inspecting a colored pattern formed on the inspection object through an image photographed by irradiating the second light. can do.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 광학 검사 방법은 다음과 같다. 먼저, 투명 패턴 및 유색 패턴이 형성된 검사 대상물을 향해 단파장을 갖는 제1 광과 제2 광을 동시에 조사하면서 상기 검사 대상물을 촬상한다. 상기 촬상된 이미지를 통해 상기 검사 대상물을 검사한다.In addition, an optical inspection method according to one feature for realizing the above object of the present invention is as follows. First, the inspection object is imaged while simultaneously irradiating the first light and the second light having a short wavelength toward the inspection object on which the transparent pattern and the colored pattern are formed. The inspection object is inspected through the captured image.

상술한 본 발명에 따르면, 광학 검사 장치는 단파장의 광을 조사하여 검사 대상물을 촬상하므로, 촬상된 이미지를 이용하여 검사 대상물에 형성된 투명 패턴의 검사가 가능하고, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention described above, since the optical inspection device photographs the inspection object by irradiating light having a short wavelength, inspection of the transparent pattern formed on the inspection object using the photographed image is possible, and the inspection efficiency can be improved.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이하에서는, 본 발명의 광학 검사 장치가 검사하는 검사 대상물로 영상표시장치에 사용되는 터치 패널용 좌표 시트를 일례로 하여 설명하나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, the coordinate sheet for the touch panel used in the image display device as an inspection object to be inspected by the optical inspection device of the present invention will be described as an example, but the spirit and scope of the present invention are not limited thereto.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.1 is a side view schematically showing an optical inspection device according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 광학 검사 장치(1000)는 검사 대상물(10)이 안착되는 지지 유닛(100), 검사 대상물(10)을 촬상하는 촬상 유닛(200), 촬상 유닛(200)을 이 동시키는 이동 부재(310), 검사 대상물(10)을 향해 광을 조사하는 수직 조명 유닛(400), 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502), 및 제어유닛(700)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the optical inspection apparatus 1000 moves the support unit 100 on which the inspection object 10 is seated, the imaging unit 200 for imaging the inspection object 10, and the imaging unit 200. The moving member 310 may include a vertical illumination unit 400 for irradiating light toward the inspection object 10, first and second oblique illumination units 501 and 502, and a control unit 700.

이 실시예에 있어서, 광학 검사 장치(1000)가 검사하는 검사 대상물(10)은 터치 패널에 사용되는 ITO 필름(10)이다.In this embodiment, the inspection object 10 inspected by the optical inspection device 1000 is an ITO film 10 used for the touch panel.

이하, 도면을 참조하여 터치 패널이 적용된 평판표시장치 및 산화 인듐 주석(Indum Tin Oxide: 이하, ITO) 필름(10)의 구성에 대해 간략히 설명한다.Hereinafter, configurations of a flat panel display device to which a touch panel is applied and an indium tin oxide (ITO) film 10 will be briefly described with reference to the drawings.

도 2는 터치 패널을 구비하는 평판표시장치를 나타낸 단면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 좌표 시트를 나타낸 평면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a flat panel display device having a touch panel, and FIG. 3 is a plan view illustrating a coordinate sheet illustrated in FIG. 2.

도 2 및 도 3을 참조하면, 평판표시장치는 터치 패널(30), 터치 패널(30)의 아래에 배치된 액정표시패널(40), 및 터치 패널(30)과 연결된 위치 감지부(50)를 포함할 수 있다. 터치 패널(30)은 ITO 필름(10) 및 ITO 필름(10)의 상부에 배치된 상부 시트(20)를 포함할 수 있다. ITO 필름(10)은 사용자가 가압한 가압 지점의 위치값을 생성하기 위한 좌표 시트로서, 투명한 베이스 플레이트(11) 상면에 도전성 투명 패턴(12) 및 유색 패턴인 은도금 패턴(13)이 형성된다.2 and 3, the flat panel display device includes a touch panel 30, a liquid crystal display panel 40 disposed below the touch panel 30, and a position sensing unit 50 connected to the touch panel 30. It may include. The touch panel 30 may include an ITO film 10 and an upper sheet 20 disposed on the ITO film 10. The ITO film 10 is a coordinate sheet for generating a position value of a pressing point pressed by a user, and a conductive transparent pattern 12 and a silver plating pattern 13, which is a colored pattern, are formed on an upper surface of the transparent base plate 11.

이 실시예에 있어서, 터치 패널(30)은 투명 패턴(12)이 ITO로 이루어진 ITO 필름(10)이 좌표 시트로 제공되나, 터치 패널(30)은 ITO 이외에 산화 인듐 아연(Indum Zinc Oxide:IZO) 등 다양한 종류의 투명한 도전성 금속 재질로 이루어진 투명 패턴(12)을 구비할 수 있다.In this embodiment, the touch panel 30 is provided with an ITO film 10 having a transparent pattern 12 made of ITO as a coordinate sheet, but the touch panel 30 is made of indium zinc oxide (IZO) in addition to ITO. It may be provided with a transparent pattern 12 made of various kinds of transparent conductive metal material.

투명 패턴(12), 즉, ITO 패턴(12)은 액정표시패널(40)의 영상이 표시되는 표시 영역과 대응하는 영역에 위치한다. 이 실시예에 있어서, ITO 패턴(12)은 지그재그 형상으로 이루어지나, 격자 형상 등 다양한 형상으로 이루어질 수 있다.The transparent pattern 12, that is, the ITO pattern 12 is positioned in an area corresponding to the display area where an image of the liquid crystal display panel 40 is displayed. In this embodiment, the ITO pattern 12 is formed in a zigzag shape, but may be formed in various shapes such as a lattice shape.

은도금 패턴(13)은 액정표시패널(40)의 표시 영역을 둘러싼 주변 영역과 대응하는 영역에 위치한다. 은도금 패턴(13)은 도전성 재질로 이루어지며, 사용자가 가압한 부분의 위치값을 생성하는 위지 감지부(50) 및 투명 패턴(12)과 연결되거나, 외부의 회로 기판과 연결된다.The silver plating pattern 13 is positioned in a region corresponding to the peripheral region surrounding the display region of the liquid crystal display panel 40. The silver plating pattern 13 is made of a conductive material, and is connected to the position detecting unit 50 and the transparent pattern 12 that generate a position value of a portion pressed by the user, or to an external circuit board.

터치 패널(30)의 아래에 구비된 액정표시패널(40)은 박막 트랜지스터가 어레이 형태로 형성된 박막 트랜지스터 기판(41), 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판(42), 및 박막 트랜지스터 기판(41)과 컬러필터 기판(42)과의 사이에 개재된 액정층(43)을 포함할 수 있다. 터치 패널(30)은 이러한 액정표시패널(40) 이외에 다양한 종류의 평판표시패널에 적용될 수 있다.The liquid crystal display panel 40 provided below the touch panel 30 includes a thin film transistor substrate 41 having an array of thin film transistors, a color filter substrate 42 having a color filter, and a thin film transistor substrate 41. The liquid crystal layer 43 may be interposed between the color filter substrate 42 and the color filter substrate 42. The touch panel 30 may be applied to various types of flat panel display panels in addition to the liquid crystal display panel 40.

도 1 및 도 2를 참조하면, 광학 검사 장치(1000)는 이러한 ITO 필름(110)을 촬상하여 촬상된 이미지를 통해 ITO 패턴(12) 및 은도금 패턴(13)을 검사한다.1 and 2, the optical inspection apparatus 1000 inspects the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13 through an image captured by photographing the ITO film 110.

구체적으로, 외관 검사시 ITO 필름(10)은 지지 유닛(100) 상면에 안착되고, 지지 유닛(100)은 ITO 필름(10)이 안착되는 지지 플레이트(110)에 안착된다.In detail, during the appearance inspection, the ITO film 10 is seated on the upper surface of the support unit 100, and the support unit 100 is seated on the support plate 110 on which the ITO film 10 is seated.

도 4 는 도 1에 도시된 지지 플레이트를 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 4의 절단선 I-I'에 따른 단면도이다.4 is a plan view of the supporting plate shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 4.

도 4 및 도 5를 참조하면, 지지 플레이트(110)는 베이스 플레이트(111), 및 베이스 플레이트(111)의 상면에 형성된 코팅층(112)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 베이스 플레이트(111)는 ITO 필름(10) 보다 큰 면적을 갖는다. 코팅층(112)은 상부로부터 ITO 필름(10)을 투과하여 코팅층(12)의 상면에 입사된 광의 반사율을 최소화하기 위해 무광 처리된다.4 and 5, the support plate 110 may include a base plate 111 and a coating layer 112 formed on an upper surface of the base plate 111. Specifically, the base plate 111 has a larger area than the ITO film 10. The coating layer 112 is matted to transmit the ITO film 10 from the top to minimize the reflectance of the light incident on the upper surface of the coating layer 12.

본 발명의 일례로, 베이스 플레이트(111)는 알루미늄 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 코팅층(112)은 베이스 플레이트(111)를 연마한 후 경질 아노다이징 처리하고, 이후, 검은색으로 무광 아노다이징 처리하여 형성될 수 있다. In one example of the present invention, the base plate 111 may be made of aluminum. In addition, the coating layer 112 may be formed by polishing the base plate 111 and then hard anodizing and then matting anodizing to black.

또한, 지지 플레이트(110)는 상면에 안착된 ITO 필름(10)을 고정시키기 위해 ITO 필름(10)을 진공 흡착하는 다수의 진공홀(113)을 구비할 수 있다.In addition, the support plate 110 may include a plurality of vacuum holes 113 for vacuum adsorption of the ITO film 10 to fix the ITO film 10 seated on the upper surface.

도 1 및 도 3을 참조하면, 지지 유닛(100)의 상부에는 촬상 유닛(200)이 설치된다. 촬상 유닛(200)은 지지 유닛(100)에 안착된 검사 대상물, 즉, ITO 필름(10)을 촬상한다. 본 발명의 일례로, 촬상 유닛(200)으로 라인 스캔 카메라가 적용될 수 있다.1 and 3, an imaging unit 200 is installed above the support unit 100. The imaging unit 200 picks up the inspection object seated on the support unit 100, that is, the ITO film 10. As an example of the present invention, a line scan camera may be applied to the imaging unit 200.

촬상 유닛(200)은 촬상한 이미지를 제어 유닛(700)에 제공하고, 제어 유닛(700)은 촬상 유닛(200)으로부터 수신된 이미지를 디스플레이한다. 이에 따라, 상기 디스플레이된 이미지를 통해 ITO 필름(10)에 형성된 패턴들, 즉, ITO 패턴(12)과 은도금 패턴(13)의 단락 여부와 같은 전기적 특성 검사와, 각 패턴의 정위치 여부, 각 패턴의 형상 불량, 및 ITO 필름(10)에 이물질 부착 여부 등을 검사하는 외관 검사가 이루어진다.The imaging unit 200 provides the captured image to the control unit 700, and the control unit 700 displays the image received from the imaging unit 200. Accordingly, the electrical characteristics such as whether the patterns formed on the ITO film 10 through the displayed image, that is, the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13 are short-circuited, and whether each pattern is correctly positioned or not, Appearance inspection is performed to check the shape defect of the pattern, and whether the foreign matter adheres to the ITO film 10.

한편, 촬상 유닛(200)은 상기 이동 부재(310)에 고정 결합된다. 이동 부재(310)는 지지 유닛(100)의 상부에 설치되고, 수평 이동이 가능하다. 이에 따라, 촬상 유닛(200)은 이동 부재(310)에 의해 수평 위치가 계속 변경되면서 ITO 필 름(10)을 촬상할 수 있다.Meanwhile, the imaging unit 200 is fixedly coupled to the moving member 310. The moving member 310 is installed on the upper portion of the support unit 100, and horizontal movement is possible. Accordingly, the imaging unit 200 may image the ITO film 10 while the horizontal position is continuously changed by the moving member 310.

촬상 유닛(200)의 아래에는 수직 조명 유닛(400), 및 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 설치된다.Below the imaging unit 200, a vertical illumination unit 400 and first and second inclined illumination units 501 and 502 are installed.

이하, 도면을 참조하여, 수직 조명 유닛(400)과 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 520)의 구성에 대해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the configuration of the vertical illumination unit 400 and the first and second inclined illumination units 501 and 520 will be described in detail with reference to the drawings.

도 6은 도 1에 도시된 수직 조명 유닛과 제1 및 제2 경사 조명 유닛을 나타낸 측면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 수직 조명 유닛과 제1 및 제2 경사 조명 유닛을 나타낸 정면도이다.6 is a side view illustrating the vertical illumination unit and the first and second inclined illumination units illustrated in FIG. 1, and FIG. 7 is a front view illustrating the vertical illumination unit and the first and second inclined illumination units illustrated in FIG. 6.

도 3, 도 6 및 도 7을 참조하면, 수직 조명 유닛(400)은 지지 유닛(100)의 상부에 위치하고, 제1 광(BL)을 생성하여 지지 유닛(100)에 안착된 검사 대상물(10)에 제1 광(BL) 조사한다. 수직 조명 유닛(400)은 지지 플레이트(110)의 일변을 따라 연장되고, 상기 제1 광(BL)을 선 형태로 출사한다.3, 6, and 7, the vertical illumination unit 400 is positioned above the support unit 100, generates the first light BL, and is mounted on the support unit 100. ) Is irradiated with the first light BL. The vertical illumination unit 400 extends along one side of the support plate 110 and emits the first light BL in a line shape.

도 8은 도 6에 도시된 수직 조명 유닛을 나타낸 측면도이고, 도 9는 도 8에 도시된 제1 조명 몸체를 나타낸 단면도이며, 도 10은 도 9에 도시된 제1 조명 몸체의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.FIG. 8 is a side view showing the vertical lighting unit shown in FIG. 6, FIG. 9 is a cross-sectional view showing the first lighting body shown in FIG. 8, and FIG. 10 shows another example of the first lighting body shown in FIG. 9. It is a cross section.

도 7, 도 8 및 도 9를 참조하면, 수직 조명 유닛(400)은 외부로부터 냉각 에어가 제공되는 제1 냉각 몸체(410) 및 제1 광(BL)을 생성하는 제1 광 발생부(420)를 포함할 수 있다.7, 8, and 9, the vertical illumination unit 400 may include a first cooling body 410 provided with cooling air from the outside and a first light generator 420 that generates the first light BL. ) May be included.

구체적으로, 제1 냉각 몸체(410)는 수직 조명 유닛(400)의 가로 방향으로 연장되고, 제1 조명 몸체(420)를 냉각시킨다. 이에 따라, 수직 조명 유닛(400)은 제1 광(BL)을 발생시키는 과정에서 발생된 열로 인해 제1 조명 몸체(420)가 과열되는 것을 방지할 수 있다. 제1 냉각 몸체(410)는 이동 부재(310)의 하단부에 설치된 고정부재(320)에 고정 결합된다. 고정부재(320)는 이동 부재(310)에 결합되어 이동 부재(310)에 의해 수평 이동하며, 이에 따라, 고정부재(320)에 고정된 수직 조명 유닛(400) 또한 수평 이동된다.Specifically, the first cooling body 410 extends in the horizontal direction of the vertical lighting unit 400 and cools the first lighting body 420. Accordingly, the vertical illumination unit 400 may prevent the first illumination body 420 from overheating due to the heat generated in the process of generating the first light BL. The first cooling body 410 is fixedly coupled to the fixing member 320 installed at the lower end of the moving member 310. The fixing member 320 is coupled to the moving member 310 to move horizontally by the moving member 310, whereby the vertical illumination unit 400 fixed to the fixing member 320 is also horizontally moved.

제1 냉각 몸체(410)의 전방에는 제1 조명 몸체(420)가 설치되고, 제1 조명 몸체(420)는 촬상 유닛(200)의 바로 아래에 구비된다. 제1 조명 몸체(420)는 제1 냉각 몸체(410)의 가로 방향으로 연장되고, 지지 유닛(100)에 안착된 ITO 필름(10)을 향해 제1 광(BL)을 출사한다. 제1 조명 몸체(420)는 하우징(421), 다수의 제1 광원(422), 광 분리부재(424), 및 제1 집광 부재(425)를 포함할 수 있다.The first lighting body 420 is installed in front of the first cooling body 410, the first lighting body 420 is provided directly below the imaging unit 200. The first illumination body 420 extends in the horizontal direction of the first cooling body 410 and emits the first light BL toward the ITO film 10 seated on the support unit 100. The first lighting body 420 may include a housing 421, a plurality of first light sources 422, a light separating member 424, and a first light collecting member 425.

구체적으로, 하우징(421)은 대체로 육면체 형상을 갖고, 사각형 형상의 하부벽(421a), 하부벽(421a)과 마주하는 상부벽(421d), 하부벽(421a)과 상부벽(421d)을 연결하는 측벽들(421b, 421c)을 포함할 수 있다. 하우징(421) 안에는 다수의 제1 광원(422), 광 분리부재(424), 및 집광 부재(425)가 설치된다.Specifically, the housing 421 has a generally hexahedral shape, and connects the lower wall 421a having a rectangular shape, the upper wall 421d facing the lower wall 421a, and connecting the lower wall 421a and the upper wall 421d. Sidewalls 421b and 421c may be included. In the housing 421, a plurality of first light sources 422, a light separating member 424, and a light collecting member 425 are installed.

다수의 제1 광원(422)은 하우징(421)의 제1 냉각 몸체(410)와 인접한 측벽(421c)인 제1 측벽(421c)에 고정 설치되고, 상기 제1 광(BL)을 생성한다. 이 실시예에 있어서, 상기 제1 광원(422)으로는 발광 다이오드가 이용되나, 발광 다이오드 이외에 광을 발생시키는 다양한 광원이 사용될 수 있다.The plurality of first light sources 422 are fixed to the first sidewall 421c, which is a sidewall 421c adjacent to the first cooling body 410 of the housing 421, and generate the first light BL. In this embodiment, a light emitting diode is used as the first light source 422, but various light sources for generating light in addition to the light emitting diode may be used.

다수의 제1 광원(422)은 하우징(421)의 가로 방향을 따라 지지 유닛(100)의 상면에 대해 수평 방향으로 서로 평행하게 배치된다. 제1 광원들로부터 출사된 제1 광(BL)은 촬상 유닛(200)에 의해 촬상한 이미지에서 ITO 패턴(12)의 형상을 인지하기 용이하도록 단파장을 갖는 광으로 이루어진다. 이 실시예에 있어서, 상기 제1 광(BL)은 청색광으로 이루어질 수 있다.The plurality of first light sources 422 are disposed parallel to each other in a horizontal direction with respect to the upper surface of the support unit 100 along the horizontal direction of the housing 421. The first light BL emitted from the first light sources is made of light having a short wavelength so as to easily recognize the shape of the ITO pattern 12 in the image picked up by the imaging unit 200. In this embodiment, the first light BL may be formed of blue light.

즉, ITO 필름(10)은 좌표 패턴인 ITO 패턴(12)이 육안으로 인지하기 쉬운 색을 갖지 않고 투명하기 때문에, 백색광을 조사하여 ITO 필름(10)을 촬상할 경우, 촬상된 이미지상에서 ITO 패턴(12)을 식별할 수가 어렵다. 특히, ITO 필름(10)은 베이스 플레이트(110) 또한 투명하기 때문에, 이미지 상에서 그 식별이 더욱 어렵다. 그러나, 상기 수직 조명 유닛(400)에서 출사된 제1 광(BL)은 백색이 아닌 청색을 갖기 때문에, 상기 제1 광(BL)을 조사하여 촬상한 이미지에서는 ITO 패턴(12)의 형상이 육안으로 확인 가능하게 표시된다. 이에 따라, 광학 검사 장치(1000)는 촬상한 이미지를 통해 투명한 재질로 이루어진 패턴의 외관 검사가 가능하므로, 터치패널(30)용 ITO 패턴(12)의 광학 검사가 가능하고, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.That is, the ITO film 10 is transparent because the ITO pattern 12, which is a coordinate pattern, does not have a color that is easily perceived by the naked eye. (12) It is difficult to identify. In particular, since the ITO film 10 is also transparent to the base plate 110, its identification on the image is more difficult. However, since the first light BL emitted from the vertical illumination unit 400 has blue color instead of white color, the shape of the ITO pattern 12 is visually observed in the image photographed by irradiating the first light BL. It is displayed as possible to confirm. Accordingly, since the optical inspection apparatus 1000 may inspect the appearance of the pattern made of a transparent material through the captured image, the optical inspection apparatus 1000 may perform optical inspection of the ITO pattern 12 for the touch panel 30, thereby improving inspection efficiency. Can be.

또한, 이 실시예에 있어서, 지지 유닛(100)의 상면은 ITO 필름(10)을 투과하여 지지 유닛(100)의 상면에 입사된 광의 반사율을 최소화하기 위해 검은색으로 무광 처리되며, 이에 따라, 촬상 유닛(200)의 이미지 품질이 향상될 수 있다.In addition, in this embodiment, the top surface of the support unit 100 is matted black in order to minimize the reflectance of the light penetrating the ITO film 10 and incident on the top surface of the support unit 100, and thus, Image quality of the imaging unit 200 may be improved.

한편, 광 분리부재(424)는 하우징(421)의 제1 측벽(421c)과 마주하게 배치되고, 제1 광원들(422)과 이격되어 위치한다. 광 분리부재(424)는 제1 광원들(422)로부터 출사된 제1 광(BL)을 반사하여 제1 광(BL)이 지지 유닛(100)이 위치하는 아래를 향해 진행하도록 제1 광(BL)의 진행 방향을 변경시킨다.Meanwhile, the light separating member 424 is disposed to face the first sidewall 421c of the housing 421 and is spaced apart from the first light sources 422. The light splitting member 424 reflects the first light BL emitted from the first light sources 422 so that the first light BL travels downward toward the support unit 100. The direction of travel of BL) is changed.

구체적으로, 광 분리부재(424)는 광 분리부재(424)로 입사된 광의 방향에 따라 광을 반사하거나 투과시킬 수 있다. 즉, 광 분리부재(424)는 제1 광원들(422)으로부터 입사된 제1 광(BL)은 제1 집광 부재(425)에 입사되도록 반사하고, 제1 집광 부재(425) 측으로부터 입사된 반사광(RL)은 투과시킨다. 광 분리부재(424)를 투과한 반사광(RL)은 하우징(421) 상부벽(421d)에 형성된 홀(421e)을 통해 외부로 출사되고, 제1 조명 몸체(420)의 바로 위 위치하는 촬상 유닛(200)에 입사된다.In detail, the light separating member 424 may reflect or transmit light according to the direction of light incident on the light separating member 424. That is, the light separating member 424 reflects the first light BL incident from the first light sources 422 to be incident on the first light collecting member 425, and is incident from the side of the first light collecting member 425. The reflected light RL is transmitted. The reflected light RL transmitted through the light separation member 424 is emitted to the outside through the hole 421e formed in the upper wall 421d of the housing 421 and is positioned directly above the first illumination body 420. Incident on 200.

이 실시예에 있어서, 광 분리부재(424)로는 대각선 방향으로 미러(424a)가 구비된 빔 스프리터(Beam Spliter)가 적용될 수 있으며, 제1 광원들(422)로부터 출사된 제1 광(BL)은 광 분리부재(424)의 미러(424a)에 입사된다.In this embodiment, a beam splitter having a mirror 424a in a diagonal direction may be applied to the light splitting member 424, and the first light BL emitted from the first light sources 422 may be applied. Is incident on the mirror 424a of the light separating member 424.

도 9에 도시된 제1 조명 몸체(420)는 빔 스프리터로 이루어진 광 분리부재(424)를 구비하나, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 조명 몸체(430)는 광 분리부재(431)로 하프 미러(Half Mirror)를 구비할 수도 있다.The first lighting body 420 shown in FIG. 9 includes a light splitting member 424 made of a beam splitter, but as shown in FIG. 10, the first lighting body 430 is a light splitting member 431. A half mirror may also be provided.

제1 조명 몸체(420)는 제1 광원들(422)로부터 출사된 제1 광(BL)을 평행광으로 변환시키는 제1 평행광 변환부재(423)를 더 포함할 수 있다. 제1 평행광 변환부재(423)는 제1 광원들(422)과 광 분리부재(424)와의 사이에 개재되고, 평행광으로 변환시킨 제1 광(BL)을 광 분리부재(424) 측으로 출사한다.The first lighting body 420 may further include a first parallel light converting member 423 for converting the first light BL emitted from the first light sources 422 into parallel light. The first parallel light conversion member 423 is interposed between the first light sources 422 and the light separation member 424 and emits the first light BL converted into parallel light toward the light separation member 424. do.

또한, 제1 조명 몸체(420)는 제1 평행광 변환부재(423)로부터 출사된 제1 광(BL)을 확산시키는 확산 부재(426)를 더 포함할 수 있다. 확산 부재(426)는 제1 평행광 변환부재(423)와 광 분리부재(424)와의 사이에 개재되고, 제1 평행광 변환부재(423)로부터 입사된 제1 광(BL)을 확산시켜 광 분리부재(424)에 제공한다.In addition, the first illumination body 420 may further include a diffusion member 426 for diffusing the first light BL emitted from the first parallel light conversion member 423. The diffusion member 426 is interposed between the first parallel light conversion member 423 and the light separation member 424, and diffuses the first light BL incident from the first parallel light conversion member 423. It is provided to the separating member 424.

한편, 광 분리부재(424)의 아래에는 제1 집광 부재(425)가 구비되고, 제1 집광 부재(425)는 지지 유닛(100)에 안착된 ITO 필름(10)과 마주하게 배치된다. 제1 집광 부재(425)는 광 분리부재(424)에서 반사된 제1 광(BL)을 굴절시켜 ITO 필름(10)에 집광시킨다.Meanwhile, a first light collecting member 425 is provided below the light separating member 424, and the first light collecting member 425 is disposed to face the ITO film 10 seated on the support unit 100. The first light collecting member 425 refracts the first light BL reflected by the light separating member 424 to focus the light on the ITO film 10.

제1 집광 부재(425)는 광 분리부재(424)와 인접한 상면에 다수의 프리즘 패턴(425a)이 형성된다. 또한, 제1 집광 부재(425)의 중앙부에는 ITO(10)로부터 입사된 반사광(RL)을 투과시켜 광 분리부재(424)에 제공하기 위한 투과홀(425b)이 형성된다. 제1 집광 부재(425)의 프리즘 패턴들(425a)은 투과홀(425b)을 기준으로 서로 대칭되게 형성되며, 각 프리즘 패턴(425a)은 투과홀(425b)을 향해 위로 경사진 경사면을 갖는다.The first light collecting member 425 has a plurality of prism patterns 425a formed on an upper surface adjacent to the light separating member 424. In addition, a transmission hole 425b is formed at a central portion of the first light collecting member 425 to transmit the reflected light RL incident from the ITO 10 to the light separating member 424. The prism patterns 425a of the first light collecting member 425 are formed symmetrically with respect to the transmission hole 425b, and each prism pattern 425a has an inclined surface that is inclined upward toward the transmission hole 425b.

하우징(421)의 하부벽(421a)에는 제1 집광 부재(425)에 의해 집광된 제1 광(BL)이 ITO 필름(10)에 제공되도록 출사홀(421f)이 제공된다. 출사홀(421f)은 제1 집광 부재(425)의 아래에 위치하며, ITO 필름(10)에서 반사된 광(RL)이 출사홀(421f)을 통해 제1 집광 부재(425)에 입사된다.An emission hole 421f is provided on the lower wall 421a of the housing 421 so that the first light BL collected by the first light collecting member 425 is provided to the ITO film 10. The emission hole 421f is positioned under the first light collecting member 425, and the light RL reflected from the ITO film 10 is incident on the first light collecting member 425 through the light emitting hole 421f.

도 6 및 도 7을 참조하면, 수직 조명 유닛(400)의 아래에는 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 설치되며, 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 서로 마주하게 배치된다. 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 제2 광(WL)을 생성하여 지지 유닛(100)에 안착된 검사 대상물(10)에 제2 광(WL)을 조사한다.6 and 7, first and second inclined illumination units 501 and 502 are installed below the vertical illumination unit 400, and the first and second inclined illumination units 501 and 502 are mutually opposite. Face to face. The first and second inclined illumination units 501 and 502 generate the second light WL to irradiate the second light WL to the inspection object 10 seated on the support unit 100.

이 실시예에 있어서, 광학 검사 장치(1000)는 두 개의 경사 조명 유닛(501, 502)을 구비하나, 경사 조명 유닛(501, 502)의 개수는 검사 효율에 따라 증가하거 나 감소할 수도 있다.In this embodiment, the optical inspection apparatus 1000 includes two inclined illumination units 501 and 502, but the number of the inclined illumination units 501 and 502 may increase or decrease according to the inspection efficiency.

측면에서 볼 때, 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)의 세로 방향으로 연장된 중심축들이 서로 반대 방향으로 경사지게 배치된다. 이 실시예에 있어서, ITO 필름(10)에서 수직 조명 유닛(400)으로부터 출사된 제1 광(BL)이 입사되는 영역과 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)으로부터 출사된 제2 광(WL)이 입사되는 영역은 서로 중첩될 수 있다. 즉, 수직 조명 유닛(400)과 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 서로 동일한 영역을 향해 광(BL, WL)을 조사할 수 있다.As viewed from the side, the first and second inclined illumination units 501 and 502 are arranged such that the central axes extending in the longitudinal direction of the first and second inclined illumination units 501 and 502 are inclined in opposite directions to each other. In this embodiment, the area in which the first light BL emitted from the vertical illumination unit 400 is incident on the ITO film 10 and the second emitted from the first and second inclined illumination units 501 and 502. The areas where the light WL is incident may overlap each other. That is, the vertical illumination unit 400 and the first and second inclined illumination units 501 and 502 may emit light BL and WL toward the same area.

이 실시예에 있어서, 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 서로 동일한 구성을 갖는 다. 따라서, 이하, 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)의 구성에 대한 구체적인 설명에 있어서, 제1 경사 조명 유닛(501)에 대해 구체적으로 설명하고, 제2 경사 조명 유닛(502)의 구성에 대한 설명은 생략한다.In this embodiment, the first and second inclined illumination units 501 and 502 have the same configuration with each other. Therefore, hereinafter, in the detailed description of the configuration of the first and second inclined illumination units 501 and 502, the first inclined illumination unit 501 will be described in detail, and the The description of the configuration is omitted.

도 11은 도 6에 도시된 제1 경사 조명 유닛을 나타낸 측면도이다.FIG. 11 is a side view illustrating the first tilt lighting unit illustrated in FIG. 6.

도 6, 도 7 및 도 11을 참조하면, 제1 경사 조명 유닛(501)은 외부로부터 냉각 에어가 제공되는 제2 냉각 몸체(510) 및 제2 광(WL)을 생성하는 제2 광 발생부(520)를 포함할 수 있다.6, 7 and 11, the first inclined illumination unit 501 may include a second cooling body 510 provided with cooling air from the outside and a second light generating unit generating second light WL. 520 may include.

구체적으로, 제2 냉각 몸체(510)는 제1 경사 조명 유닛(501)의 가로 방향으로 연장되고, 제2 조명 몸체(520)를 냉각시킨다. 이에 따라, 제1 경사 조명 유닛(501)은 제2 광(WL)을 발생시키는 과정에서 발생된 열로 인해 제2 조명 몸체(520)가 과열되는 것을 방지할 수 있다.Specifically, the second cooling body 510 extends in the horizontal direction of the first inclined illumination unit 501 and cools the second illumination body 520. Accordingly, the first inclined illumination unit 501 may prevent the second illumination body 520 from being overheated due to the heat generated in the process of generating the second light WL.

제2 냉각 몸체(510)의 전방에는 제2 조명 몸체(520)가 설치된다. 제2 조명 몸체(520)는 제2 냉각 몸체(510)의 가로 방향으로 연장되고, 지지 유닛(100)에 안착된 ITO 필름(10)을 향해 제2 광(WL)을 출사한다. 제2 조명 몸체(520)는 케이스(521), 다수의 제2 광원(522), 제2 평행광 변환부재(523), 및 제2 집광 부재(524)를 포함할 수 있다.The second lighting body 520 is installed in front of the second cooling body 510. The second illumination body 520 extends in the horizontal direction of the second cooling body 510 and emits the second light WL toward the ITO film 10 seated on the support unit 100. The second lighting body 520 may include a case 521, a plurality of second light sources 522, a second parallel light conversion member 523, and a second light collecting member 524.

구체적으로, 케이스(521)은 대체로 육면체 형상을 갖고, 안에는 다수의 제2 광원(522), 및 제2 평행광 변환부재(523)가 설치된다. 케이스(521)는 내부에서 생성된 제2 광(WL)이 지지 유닛(100)에 안착된 ITO 필름(10)을 향해 출사되도록 일 측벽이 개구된다.Specifically, the case 521 generally has a hexahedral shape, and a plurality of second light sources 522 and second parallel light conversion members 523 are provided therein. The case 521 has one sidewall open so that the second light WL generated therein is emitted toward the ITO film 10 seated on the support unit 100.

다수의 제2 광원(522)은 케이스(521)의 내측벽에 설치되고, 상기 제2 광(WL)을 생성한다. 이 실시예에 있어서, 상기 제2 광원(522)으로는 발광 다이오드가 이용되나, 발광 다이오드 이외에 광을 발생시키는 다양한 광원이 사용될 수 있다.The plurality of second light sources 522 are installed on the inner wall of the case 521 and generate the second light WL. In this embodiment, a light emitting diode is used as the second light source 522, but various light sources for generating light in addition to the light emitting diode may be used.

다수의 제2 광원(522)은 케이스(521)의 가로 방향을 따라 지지 유닛(100)의 상면에 대해 수평 방향으로 서로 평행하게 배치된다. 제2 광원들(522)로부터 출사된 제2 광(WL)은 촬상 유닛(200)에 의해 촬상한 이미지에서 유색 패턴(13)인 은도금 패턴(13)의 형상을 인지하기 용이하도록 제1 광(BL)과 서로 다른 색을 가지며, 본 발명의 일례로, 상기 제2 광(WL)은 백색광으로 이루어진다.The plurality of second light sources 522 are disposed parallel to each other in the horizontal direction with respect to the upper surface of the support unit 100 along the horizontal direction of the case 521. The second light WL emitted from the second light sources 522 may be configured to easily recognize the shape of the silver plating pattern 13 that is the colored pattern 13 in the image picked up by the imaging unit 200. It has a different color from BL, and in one embodiment of the present invention, the second light WL is made of white light.

이 실시예에 있어서, 제2 광(WL)은 제1 광(BL)과 서로 다른 색을 가지나, 제1 광(BL)과 동일한 색을 갖는 광일 수도 있다.In this embodiment, the second light WL has a different color from the first light BL, but may be light having the same color as the first light BL.

제2 평행광 변환부재(523)는 제2 광원들(522)과 마주하게 배치되고, 제2 광원들(522)로부터 입사된 제2 광(WL)을 평행광으로 변환시켜 제2 집광부재(524) 측으로 출사한다.The second parallel light converting member 523 is disposed to face the second light sources 522, and converts the second light WL incident from the second light sources 522 into parallel light to convert the second light collecting member ( 524) exit.

제2 집광 부재(524)는 제2 평행광 변환부재(523)와 마주하게 배치되고, 케이스(521)의 개구된 측벽에 설치되며, 지지 유닛(100)의 상면에 대해 경사지게 배치된다. 제2 집광 부재(524)는 제2 평행광 변환부재(523)로부터 출사된 제2 광(WL)을 굴절시켜 ITO 필름(10)에 집광시킨다.The second light collecting member 524 is disposed to face the second parallel light conversion member 523, is installed on an open sidewall of the case 521, and is disposed to be inclined with respect to the upper surface of the support unit 100. The second light collecting member 524 refracts the second light WL emitted from the second parallel light conversion member 523 to focus the light on the ITO film 10.

제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 브라켓(610)에 의해 수직 조명 유닛(400)과 연결된다. 브라켓(610)의 상단부는 수직 조명 유닛(400)의 서로 마주하는 양 측벽에 결합되고, 하단부에는 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 결합된다. 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 브라켓(610)과의 결합 각도를 조절하여 지지 유닛(100) 상면에 대한 경사각을 조절할 수 있다.The first and second tilt lighting units 501 and 502 are connected to the vertical lighting unit 400 by the bracket 610. The upper end of the bracket 610 is coupled to both side walls of the vertical illumination unit 400 facing each other, and the first and second inclined illumination units 501 and 502 are coupled to the lower end. The first and second inclined illumination units 501 and 502 may adjust the inclination angle with respect to the upper surface of the support unit 100 by adjusting the coupling angle with the bracket 610.

이 실시예에 있어서, 광학 검사 장치(1000)는 검사 대상물(10)을 검사하기 위한 조명 유닛으로 수직 조명 유닛(400)과 두 개의 경사 조명 유닛(501, 502)을 구비하나, 수직 조명 유닛(400) 만을 구비할 수도 있다.In this embodiment, the optical inspection apparatus 1000 includes a vertical illumination unit 400 and two inclined illumination units 501 and 502 as an illumination unit for inspecting the inspection object 10, but the vertical illumination unit ( 400 may be provided only.

상술한 바와 같이, 광학 검사 장치(1000)는 촬상한 이미지를 통해 유색 패턴(13)뿐만 아니라 투명 패턴(12)의 외관 검사가 모두 가능하므로, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, the optical inspection apparatus 1000 may inspect the appearance of the transparent pattern 12 as well as the colored pattern 13 through the captured image, thereby improving inspection efficiency.

도 12는 도 1에 도시된 광학 검사 장치를 이용하여 ITO 필름을 검사하는 방법을 나타낸 흐름도이다.12 is a flowchart illustrating a method of inspecting an ITO film by using the optical inspection device shown in FIG. 1.

도 1, 도 6 및 도 12를 참조하면, 먼저, 검사할 ITO 필름(10)을 지지 유닛(100) 상면에 안착시킨다(단계 S110).1, 6 and 12, first, the ITO film 10 to be inspected is mounted on the upper surface of the support unit 100 (step S110).

이어, 수직 조명 유닛(400)이 이동 부재(310)에 의해 수평 이동하면서 청색광(BL)을 ITO 필름(10)을 향해 조사하고, 이와 함께, 촬상 유닛(200)이 수직 조명 유닛(400)과 함께 수평 이동하면서 ITO 필름(10)을 촬상한다. 제어 유닛(700)은 촬상 유닛(200)으로부터 청색광(BL)을 이용하여 촬상한 제1 검사 이미지를 수신 받고, 수신된 제1 검사 이미지를 통해 ITO 필름(10)에 형성된 ITO 패턴(12)을 검사한다(단계 S120).Subsequently, the vertical illumination unit 400 irradiates the blue light BL toward the ITO film 10 while horizontally moving by the moving member 310, and together with this, the imaging unit 200 is connected to the vertical illumination unit 400. The ITO film 10 is imaged while moving horizontally together. The control unit 700 receives the first inspection image captured by the blue light BL from the imaging unit 200, and receives the ITO pattern 12 formed on the ITO film 10 through the received first inspection image. To check (step S120).

또한, 광학 검사 장치(1000)가 ITO 필름(10)을 검사하는 방법은, 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 백색광(WL)을 출사하여 은도금 패턴(13)을 과정을 더 포함할 수 있다(단계 S130).In addition, in the method for the optical inspection apparatus 1000 to inspect the ITO film 10, the first and second inclined illumination units 501 and 502 emit white light WL to further process the silver plating pattern 13. It may include (step S130).

광학 검사 장치(1000)가 은도금 패턴(13)을 검사하는 과정을 살펴보면, 다음과 같다. 먼저, 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 이동 부재(310)에 의해 수평 이동하면서 백색광(WL)을 지지 유닛(100)에 안착된 ITO 필름(10)을 향해 조사하고, 이와 함께, 촬상 유닛(200)이 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)과 함께 수평 이동하면서 ITO 필름(10)을 촬상한다. 제어 유닛(700)은 촬상 유닛(200)으로부터 백색광(WL)을 이용하여 촬상한 제2 검사 이미지를 수신 받고, 수신된 제2 검사 이미지를 통해 ITO 필름(10)에 형성된 은도금 패턴(13)을 검사한다(단계 S130).Looking at the process of the optical inspection device 1000 to inspect the silver plating pattern 13, as follows. First, the first and second inclined illumination units 501 and 502 irradiate the white light WL toward the ITO film 10 seated on the support unit 100 while horizontally moving by the moving member 310. Together, the imaging unit 200 picks up the ITO film 10 while horizontally moving with the first and second tilt illumination units 501 and 502. The control unit 700 receives the second inspection image captured by the white light WL from the imaging unit 200, and receives the silver plating pattern 13 formed on the ITO film 10 through the received second inspection image. Inspect (step S130).

이 실시예에 있어서, 광학 검사 장치(1000)는 은도금 패턴(13)을 검사하기 위해 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 백색광(WL)을 출사하나, 청색광(BL) 을 출사할 수도 있다.In this embodiment, in the optical inspection apparatus 1000, the first and second inclined illumination units 501 and 502 emit white light WL, but emit blue light BL to inspect the silver plating pattern 13. You may.

또한, 이 실시예에 있어서, 광학 검사 장치(1000)는 ITO 패턴(12) 검사를 위한 이미지와 은도금 패턴(13)을 검사하기 위해 이미지를 별개로 형성하나, 단계 S120에서 생성된 ITO 패턴(12) 검사용 이미지를 이용하여 은도금 패턴(13)을 검사할 수도 있다.Also, in this embodiment, the optical inspection apparatus 1000 separately forms the image for inspecting the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13, but the ITO pattern 12 generated in step S120. The silver plating pattern 13 may be inspected using the inspection image.

상술한 바와 같이, 광학 검사 장치(1000)는 단파장의 광을 조사하여 ITO 패턴(12)을 촬상하므로, 촬상된 이미지 상에서 ITO 패턴(12)의 형상을 인지할 수 있다. 따라서, 촬상된 이미지를 이용하여 단락과 같은 ITO 패턴(12)과 은도금 패턴(13)의 전기적 특성 검사 뿐만 아니라, ITO 패턴(12) 및 은도금 패턴(13)의 형상 및 ITO 필름(10)의 이물 부착 등과 같은 외관 검사가 가능하고, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, since the optical inspection apparatus 1000 captures the ITO pattern 12 by irradiating light having a short wavelength, the shape of the ITO pattern 12 may be recognized on the captured image. Therefore, the shape of the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13 and the foreign material of the ITO film 10, as well as the electrical properties of the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13, such as a short circuit, by using the captured image. Appearance inspection such as adhesion can be performed, and inspection efficiency can be improved.

도 13a는 도 1에 도시된 수직 조명 유닛에서 청색광을 조사하여 생성된 ITO 필름의 검사 이미지 일부분을 나타낸 도면이고, 도 13b는 도 1에 도시된 제1 및 제2 경사 조명 유닛에서 백색광을 조사하여 생성된 ITO 필름의 검사 이미지 일부분을 나타낸 도면이다.FIG. 13A is a view showing a portion of an inspection image of an ITO film generated by irradiating blue light in the vertical illumination unit shown in FIG. 1, and FIG. 13B is a view showing white light in the first and second oblique illumination units shown in FIG. 1. A part of the inspection image of the produced ITO film.

도 13a 및 도 13b를 참조하면, 도 13a에 도시된 청색광을 조사하여 촬상한 검사 이미지에서는 ITO 패턴(I_ITO)이 육안으로 인지 가능하게 표시되며, 은도금 패턴(I_ML) 또한 검은색으로 표시되어 육안으로 인지 가능하다. 반면, 도 13b에 도시된 백색광을 조사하여 촬상한 검사 이미지에서는 은도금 패턴(I_ML)만 인지가 가능하고, 은도금 패턴(I_ML)을 제외한 나머지 부분은 모두 검은색으로 표시되어 ITO 패턴의 형상을 파악할 수가 없다.Referring to FIGS. 13A and 13B, in the inspection image photographed by irradiating the blue light illustrated in FIG. 13A, the ITO pattern I_ITO is visible to the naked eye, and the silver plating pattern I_ML is also displayed in black to the naked eye. It can be recognized. On the other hand, in the inspection image photographed by irradiating the white light shown in FIG. 13B, only the silver plating pattern I_ML can be recognized, and all portions except the silver plating pattern I_ML are displayed in black to determine the shape of the ITO pattern. none.

도 14는 도 12에 도시된 ITO 필름 검사 방법의 다른 실시예를 나타낸 흐름도이다.FIG. 14 is a flowchart illustrating another embodiment of the ITO film inspection method illustrated in FIG. 12.

도 1, 도 6, 및 도 14를 참조하면, 먼저, 검사할 ITO 필름(10)을 지지 유닛(100) 상면에 안착시킨다(단계 S210).1, 6, and 14, first, the ITO film 10 to be inspected is seated on the upper surface of the support unit 100 (step S210).

이어, 수직 조명 유닛(400)과 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 이동 부재(310)에 의해 수평 이동하면서 ITO 필름(10)을 동시에 광(BL, WL)을 향해 조사하고, 이와 함께, 촬상 유닛(200)이 이동 부재(310)에 의해 수평 이동하면서 ITO 필름(10)을 촬상한다(단계 S220). 여기서, 수직 조명 유닛(400)은 청색광(BL)을 출사하고, 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)은 백색광(WL)을 출사한다.Subsequently, the vertical illumination unit 400 and the first and second inclined illumination units 501 and 502 are horizontally moved by the moving member 310 to simultaneously irradiate the ITO film 10 toward the light BL and WL. At the same time, the imaging unit 200 captures the ITO film 10 while moving horizontally by the moving member 310 (step S220). Here, the vertical illumination unit 400 emits blue light BL, and the first and second inclined illumination units 501 and 502 emit white light WL.

이어, 제어 유닛(700)은 촬상 유닛(200)으로부터 촬상된 검사 이미지를 수신 받고, 수신된 검사 이미지를 통해 ITO 필름(10)에 형성된 ITO 패턴(12)과 은도금 패턴(13)을 검사한다(단계 S230).Subsequently, the control unit 700 receives the inspection image photographed from the imaging unit 200, and inspects the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13 formed on the ITO film 10 through the received inspection image ( Step S230).

이 실시예에 있어서, 광학 검사 장치(1000)는 제1 및 제2 경사 조명 유닛(501, 502)이 백색광(WL)을 출사하나, 청색광(BL)을 출사할 수도 있다.In this embodiment, in the optical inspection apparatus 1000, the first and second inclined illumination units 501 and 502 emit white light WL, but may emit blue light BL.

상술한 바와 같이, 광학 검사 장치(1000)는 단파장의 광을 조사하여 ITO 패턴(12)을 촬상하므로, 촬상된 이미지 상에서 ITO 패턴(12)의 형상을 인지할 수 있다. 따라서, 촬상된 이미지를 이용하여 단락과 같은 ITO 패턴(12)과 은도금 패턴(13)의 전기적 특성 검사 뿐만 아니라, ITO 패턴(12) 및 은도금 패턴(13)의 형상 및 ITO 필름(10)의 이물 부착 등과 같은 외관 검사가 가능하고, 검사 효율을 향상 시킬 수 있다.As described above, since the optical inspection apparatus 1000 captures the ITO pattern 12 by irradiating light having a short wavelength, the shape of the ITO pattern 12 may be recognized on the captured image. Therefore, the shape of the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13 and the foreign material of the ITO film 10, as well as the electrical properties of the ITO pattern 12 and the silver plating pattern 13, such as a short circuit, by using the captured image. Appearance inspection such as adhesion is possible, and inspection efficiency can be improved.

도 15는 청색광과 백색광을 동시에 조사하여 생성된 ITO 필름의 검사 이미지 일부분을 나타낸 도면이다.15 is a view showing a part of the inspection image of the ITO film generated by irradiating blue light and white light at the same time.

도 15를 참조하면, 청색광과 백색광을 동시에 조사하여 생성한 ITO 필름의 검사 이미지에서는 ITO 패턴(I_ITO)과 은도금 패턴(I_ML)이 육안으로 가능하게 표시되므로, 이를 통해 ITO 패턴(I_ITO)과 은도금 패턴(I_ML)의 검사가 가능하다.Referring to FIG. 15, since the ITO pattern I_ITO and the silver plating pattern I_ML are visually displayed in the inspection image of the ITO film generated by simultaneously irradiating blue light and white light, the ITO pattern I_ITO and the silver plating pattern are thus displayed. (I_ML) can be checked.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.1 is a side view schematically showing an optical inspection device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 터치 패널을 구비하는 평판표시장치를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a flat panel display device having a touch panel.

도 3은 도 2에 도시된 좌표 시트를 나타낸 평면도이다.3 is a plan view illustrating the coordinate sheet illustrated in FIG. 2.

도 4 는 도 1에 도시된 지지 플레이트를 나타낸 평면도이다.4 is a plan view of the supporting plate shown in FIG.

도 5는 도 4의 절단선 I-I'에 따른 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 4.

도 6은 도 1에 도시된 수직 조명 유닛과 제1 및 제2 경사 조명 유닛을 나타낸 측면도이다.6 is a side view illustrating the vertical illumination unit and the first and second oblique illumination units shown in FIG. 1.

도 7은 도 6에 도시된 수직 조명 유닛과 제1 및 제2 경사 조명 유닛을 나타낸 정면도이다.FIG. 7 is a front view illustrating the vertical illumination unit and the first and second inclined illumination units illustrated in FIG. 6.

도 8은 도 6에 도시된 수직 조명 유닛을 나타낸 측면도이다.FIG. 8 is a side view of the vertical lighting unit shown in FIG. 6.

도 9는 도 8에 도시된 제1 조명 몸체를 나타낸 단면도이다.9 is a cross-sectional view of the first lighting body illustrated in FIG. 8.

도 10은 도 9에 도시된 제1 조명 몸체의 다른 일례를 나타낸 단면도이다.10 is a cross-sectional view illustrating another example of the first lighting body illustrated in FIG. 9.

도 11은 도 6에 도시된 제1 경사 조명 유닛을 나타낸 측면도이다.FIG. 11 is a side view illustrating the first tilt lighting unit illustrated in FIG. 6.

도 12는 도 1에 도시된 광학 검사 장치를 이용하여 ITO 필름을 검사하는 방법을 나타낸 흐름도이다.12 is a flowchart illustrating a method of inspecting an ITO film by using the optical inspection device shown in FIG. 1.

도 13a는 도 1에 도시된 수직 조명 유닛에서 청색광을 조사하여 생성된 ITO 필름의 검사 이미지 일부분을 나타낸 도면이다.FIG. 13A is a view illustrating a portion of an inspection image of an ITO film generated by irradiating blue light in the vertical illumination unit illustrated in FIG. 1.

도 13b는 도 1에 도시된 제1 및 제2 경사 조명 유닛에서 백색광을 조사하여 생성된 ITO 필름의 검사 이미지 일부분을 나타낸 도면이다.FIG. 13B is a view illustrating a part of the inspection image of the ITO film generated by irradiating white light from the first and second oblique illumination units shown in FIG. 1.

도 14는 도 12에 도시된 ITO 필름 검사 방법의 다른 실시예를 나타낸 흐름도이다.FIG. 14 is a flowchart illustrating another embodiment of the ITO film inspection method illustrated in FIG. 12.

도 15는 청색광과 백색광을 동시에 조사하여 생성된 ITO 필름의 검사 이미지 일부분을 나타낸 도면이다.15 is a view showing a part of the inspection image of the ITO film generated by irradiating blue light and white light at the same time.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 지지 유닛 200 : 촬상 유닛100: support unit 200: imaging unit

310 : 이동 부재 400 : 수직 조명 유닛310: moving member 400: vertical lighting unit

501, 502 : 경사 조명 유닛 610 : 브라켓501, 502: oblique light unit 610: bracket

700 : 제어 유닛 1000 : 광학 검사 장치700: control unit 1000: optical inspection device

Claims (47)

검사 대상물이 안착되는 지지유닛;A support unit on which the test object is seated; 상기 지지유닛 상부에 설치되고, 단파장을 갖는 제1 광을 생성하여 상기 지지유닛에 안착된 검사 대상물을 향해 조사하는 제1 조명 유닛; 및A first illumination unit installed on the support unit and generating a first light having a short wavelength to irradiate toward the inspection object seated on the support unit; And 상기 제1 광이 조사되는 상기 검사 대상물을 촬상하는 촬상 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And an imaging unit for imaging the inspection object to which the first light is irradiated. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 광은 청색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And said first light is blue light. 제2항에 있어서, 상기 제1 조명 유닛은,The method of claim 2, wherein the first lighting unit, 상기 제1 광을 생성하는 제1 광원;A first light source for generating the first light; 상기 제1 광원의 출사면과 마주하게 배치되고, 입사되는 광의 방향에 따라 투과시키거나 반사시키는 광 분리부재; 및An optical separation member disposed to face the exit surface of the first light source and transmitting or reflecting the light according to the direction of incident light; And 상기 광 분리부재에 의해 반사된 광을 집광하여 상기 검사 대상물에 제공하고, 상기 지지 유닛에 안착된 상기 검사 대상물로부터 반사된 광을 상기 광 분리부재에 제공하는 제1 집광 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And a first light collecting member for collecting light reflected by the light separating member to provide the light to the inspection object and providing the light reflected from the inspection object seated on the support unit to the light separation member. Optical inspection device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지유닛 상부에 설치되고, 제2 광을 생성하여 상기 지지유닛에 안착된 검사 대상물을 향해 조사하는 적어도 하나의 제2 조명 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And at least one second illumination unit installed on the support unit, the second light unit generating a second light and irradiating toward the inspection object seated on the support unit. 제4항에 있어서, 상기 제2 광은 상기 제1 광과 동일한 색을 갖는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The optical inspection device according to claim 4, wherein the second light has the same color as the first light. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제2 광은 상기 제1 광과 서로 다른 색을 갖는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And the second light has a color different from that of the first light. 제6항에 있어서, 상기 제2 광은 백색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.7. An optical inspection apparatus according to claim 6, wherein said second light is white light. 제4항에 있어서The method of claim 4 상기 제1 및 제2 조명 유닛은 상기 검사 대상물에서 상기 제1 광이 조사된 영역과 상기 제2 광이 조사된 영역이 서로 중첩되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And the first and second lighting units are arranged such that the region irradiated with the first light and the region irradiated with the second light overlap each other on the inspection object. 제4항에 있어서, 상기 제2 조명 유닛은,The method of claim 4, wherein the second lighting unit, 상기 제2 광을 생성하는 제2 광원;A second light source for generating the second light; 상기 제2 광원의 출사면과 마주하게 배치되고, 상기 제2 광원으로부터 출사된 제2 광을 평행광으로 변환하여 출사하는 평행광 변환부재; 및A parallel light converting member disposed to face the emission surface of the second light source and converting the second light emitted from the second light source into parallel light and outputting the parallel light; And 상기 평행광 변환부재를 사이에 두고 상기 제2 광원과 마주하게 설치되고, 상기 평행광 변환부재로부터 출사된 제2 광을 집광하여 상기 지지 유닛에 안착된 상기 검사 대상물에 제공하는 제2 집광 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.A second light collecting member disposed to face the second light source with the parallel light converting member interposed therebetween, condensing the second light emitted from the parallel light converting member and providing the second light to the inspection object seated on the support unit; Optical inspection device comprising a. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1 조명 유닛에 고정 결합되고, 상기 제2 조명 유닛과 결합되어 상기 제2 조명 유닛을 상기 제1 조명 유닛에 고정시키는 브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And a bracket fixedly coupled to the first illumination unit and coupled to the second illumination unit to fix the second illumination unit to the first illumination unit. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 제1 조명 유닛은 상기 브라켓의 상단부에 결합 설치되고, 상기 제1 광이 출사되는 출사면이 상기 검사 대상물의 검사면에 대해 수평하게 마주하도록 배치되며,The first lighting unit is coupled to the upper end of the bracket, is disposed so that the emission surface from which the first light is emitted horizontally facing the inspection surface of the inspection object, 상기 제2 조명 유닛은 상기 브라켓의 하단부에 결합 설치되고, 상기 제2 광이 출사되는 출사면이 상기 검사 대상물의 검사면에 대해 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The second illumination unit is coupled to the lower end of the bracket, the optical inspection device, characterized in that the output surface from which the second light is emitted is disposed inclined with respect to the inspection surface of the inspection object. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 촬상 유닛 및 상기 제1 조명 유닛과 연결되고, 상기 지지 유닛 상부에서 수평 이동하여 상기 촬상 유닛과 상기 제1 조명 유닛의 수평 위치를 변경시키는 수평 이동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And a horizontal moving part connected to the imaging unit and the first lighting unit and horizontally moving above the support unit to change a horizontal position of the imaging unit and the first lighting unit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 촬상 유닛은 라인 스캔 방식 카메라인 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And the imaging unit is a line scan type camera. 제1항 내지 제13항 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 13, 상기 지지 유닛은 상기 검사 대상물이 안착되는 면이 무광 코팅 처리된 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The support unit is an optical inspection device, characterized in that the surface on which the inspection object is seated is matte coating. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 지지 유닛의 상기 검사 대상물이 안착되는 면은 검은색을 갖는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And the surface on which the test object of the support unit is seated has a black color. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 지지 유닛의 상기 검사 대상물이 안착되는 면은 검은색으로 아노다이 징(Anodizing) 처리된 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And the surface on which the test object of the support unit is seated is anodized to black. 상면에 투명 패턴이 형성된 검사 대상물이 안착되는 지지 유닛;A support unit on which an inspection object having a transparent pattern formed on an upper surface thereof is seated; 상기 지지 유닛 상부에 설치되고, 길이 방향의 축이 상기 지지 유닛의 상면에 대해 수직하게 배치되며, 단파장을 갖는 제1 광을 생성하여 상기 지지유닛에 안착된 검사 대상물을 향해 상기 제1 광을 선형태로 조사하는 수직 조명 유닛;It is installed above the support unit, the longitudinal axis is disposed perpendicular to the upper surface of the support unit, generates a first light having a short wavelength to direct the first light toward the inspection object seated on the support unit A vertical illumination unit for irradiating in the form; 상기 수직 조명 유닛의 아래에 설치되고, 제2 광을 생성하여 상기 지지 유닛에 안착된 검사 대상물을 향해 상기 제2 광을 선형태로 조사하는 제1 및 제2 경사 조명 유닛; 및First and second inclined illumination units installed under the vertical illumination unit and generating second light to irradiate the second light in a linear form toward an inspection object seated on the support unit; And 상기 제1 조명 유닛의 상부에 설치되고, 상기 제1 및 제2 광이 조사되는 상기 검사 대상물을 촬상하는 촬상 유닛을 포함하고,An imaging unit which is provided on an upper portion of the first illumination unit, and captures the inspection object to which the first and second light are irradiated; 상기 제2 광을 출사하는 상기 제1 경사 조명 유닛의 출사면과 상기 제2 경사 조명 유닛의 출사면은 상기 검사 대상물의 검사면에 대해 서로 반대 방향으로 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And an exit surface of the first inclined illumination unit emitting the second light and an exit surface of the second inclined illumination unit are arranged to be inclined in opposite directions with respect to the inspection surface of the inspection object. . 제17항에 있어서, 상기 제1 광은 청색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.18. The optical inspection device of claim 17, wherein the first light is blue light. 제18항에 있어서, 상기 제2 광은 백색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.19. An optical inspection apparatus according to claim 18, wherein said second light is white light. 제17항에 있어서The method of claim 17 상기 제1 및 제2 경사 조명 유닛은 상기 검사 대상물에서 상기 제1 경사 조명 유닛으로부터 출사된 제2 광이 입사된 영역과 상기 제2 경사 조명 유닛으로부터 출사된 제2 광이 입사된 영역이 서로 중첩되도록 배치되고,The first and second inclined illumination units overlap with each other the region where the second light emitted from the first inclined illumination unit is incident and the region where the second light emitted from the second inclined illumination unit is incident on the inspection object. Arranged to 상기 수직 조명 유닛은 상기 제1 광이 상기 제1 및 제2 경사 조명 유닛 사이를 통과하여 상기 검사 대상물에 입사되도록 배치된 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.And the vertical illumination unit is arranged such that the first light passes through the first and second inclined illumination units and is incident on the inspection object. 제17항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 17 to 20, 상기 지지 유닛은 상기 검사 대상물이 안착되는 면이 검은색으로 무광 코팅 처리된 것을 특징으로 하는 광학 검사 장치.The support unit is an optical inspection device, characterized in that the surface on which the inspection object is seated is black matte coating treatment. 투명 패턴이 형성된 검사 대상물을 향해 단파장을 갖는 제1 광을 조사하면서 상기 검사 대상물을 촬상하고, 상기 촬상된 이미지를 통해 상기 검사 대상물을 검사를 하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method, characterized in that the imaging the inspection object while irradiating the first light having a short wavelength toward the inspection object on which the transparent pattern is formed, and inspecting the inspection object through the captured image. 제22항에 있어서, 상기 제1 광은 청색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method according to claim 22, wherein the first light is blue light. 제22항에 있어서,The method of claim 22, 상기 투명 패턴은 투명한 도전성 금속 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The transparent pattern is an optical inspection method, characterized in that made of a transparent conductive metal material. 제24항에 있어서, 상기 도전성 금속 재질은 산화 인듐 주석(Indum Tin Oxide :ITO) 또는 산화 인듐 아연(Indum Zinc Oxide :IZO)로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.25. The optical inspection method according to claim 24, wherein the conductive metal material is made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO). 제24항에 있어서, 상기 촬상된 이미지를 이용한 상기 검사 대상물에 대한 검사는, 상기 투명 패턴의 단락과 같은 전기적 특성 검사를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method according to claim 24, wherein the inspection of the inspection object using the captured image includes an electrical characteristic inspection such as a short circuit of the transparent pattern. 제22항에 있어서,The method of claim 22, 제2 광을 상기 검사 대상물을 향해 조사하면서 상기 검사 대상물을 촬상하고, 상기 제2 광을 조사하여 촬상한 이미지를 통해 상기 검사 대상물에 형성된 유색 패턴을 검사를 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And imaging the inspection object while irradiating a second light toward the inspection object, and inspecting a colored pattern formed on the inspection object through the image photographed by irradiating the second light. Optical inspection method. 제27항에 있어서, 상기 제2 광은 상기 제1 광과 동일한 색을 갖는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method according to claim 27, wherein the second light has the same color as the first light. 제27항에 있어서, 상기 제2 광은 상기 제1 광과 서로 다른 색을 갖는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.29. The optical inspection method of claim 27, wherein the second light has a different color from the first light. 제29항에 있어서, 상기 제2 광은 백색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.30. The method of claim 29, wherein said second light is white light. 제27항에 있어서, 상기 유색 패턴은 도전성 금속 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method according to claim 27, wherein the colored pattern is made of a conductive metal material. 제27항에 있어서,The method of claim 27, 상기 제1 광 또는 상기 제2 광을 조사하여 촬상된 이미지를 통해 이루어지는 상기 검사 대상물에 대한 검사는, 상기 검사 대상물의 이물 부착 여부 및 상기 검사 대상물에 형성된 패턴들의 형상에 대한 검사를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The inspection of the inspection object, which is performed through the image photographed by irradiating the first light or the second light, includes inspection of whether the foreign matter is attached to the inspection object and the shape of the patterns formed on the inspection object. Optical inspection method made with. 제22항 내지 제32항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 22 to 32, 상기 검사 대상물은 투명한 베이스 플레이트 상에 상기 투명 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The inspection object is an optical inspection method, characterized in that the transparent pattern is formed on a transparent base plate. 제33항에 있어서,34. The method of claim 33, 상기 검사 대상물은 지지 유닛에 안착된 상태에서 상기 제1 광이 조사되며,The inspection object is irradiated with the first light in a state seated on the support unit, 상기 지지 유닛은 상기 검사 대상물이 안착되는 면이 무광 코팅 처리되어 제공되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The support unit is an optical inspection method, characterized in that the surface on which the inspection object is seated is provided with a matte coating treatment. 제34항에 있어서,The method of claim 34, wherein 상기 지지 유닛은 상기 검사 대상물이 안착되는 면이 검은색으로 처리되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The support unit is an optical inspection method, characterized in that the surface on which the inspection object is seated is treated in black. 투명 패턴 및 유색 패턴이 형성된 검사 대상물을 향해 단파장을 갖는 제1 광과 제2 광을 동시에 조사하면서 상기 검사 대상물을 촬상하는 단계; 및Imaging the inspection object while simultaneously irradiating a first light and a second light having a short wavelength toward the inspection object on which the transparent pattern and the colored pattern are formed; And 상기 촬상된 이미지를 통해 상기 검사 대상물을 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And inspecting the inspection object through the captured image. 제36항에 있어서, 상기 제1 광은 청색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.37. The optical inspection method of claim 36, wherein the first light is blue light. 제36항에 있어서, 상기 제2 광은 상기 제1 광과 동일한 색을 갖는 광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The optical inspection method according to claim 36, wherein the second light is light having the same color as the first light. 제36항에 있어서, 상기 제2 광은 상기 제1 광과 서로 다른 색을 갖는 광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.37. The optical inspection method according to claim 36, wherein the second light is light having a different color from the first light. 제39항에 있어서, 상기 제2 광은 백색광인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.40. The method of claim 39, wherein the second light is white light. 제36항에 있어서,The method of claim 36, 상기 검사 대상물에서 상기 제1 광이 조사되는 영역과 상기 제2 광이 조사되는 영역이 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And an area to which the first light is irradiated and an area to which the second light is irradiated overlap each other on the inspection object. 제36항에 있어서,The method of claim 36, 상기 투명 패턴은 투명한 도전성 금속 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The transparent pattern is an optical inspection method, characterized in that made of a transparent conductive metal material. 제42항에 있어서,The method of claim 42, wherein 상기 촬상된 이미지를 통해 이루어지는 상기 검사 대상물에 대한 검사는, 상기 투명 패턴 및 상기 유색 패턴 각각의 단락과 같은 상기 검사 대상물의 전기적 특성에 대한 검사를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The inspection of the inspection object made through the captured image includes an inspection of an electrical property of the inspection object such as a short circuit of each of the transparent pattern and the colored pattern. 제36항 내지 제43항 중 어느 한 항에 있어서,The method of any one of claims 36-43, wherein 상기 촬상된 이미지를 통해 이루어지는 상기 검사 대상물에 대한 검사는, 상기 검사 대상물의 이물 부착 여부 및 상기 투명 패턴 및 상기 유색 패턴의 형상에 대한 검사를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The inspection of the inspection object made through the photographed image includes an inspection of whether the foreign matter is attached to the inspection object and the shape of the transparent pattern and the colored pattern. 제44항에 있어서,The method of claim 44, 상기 검사 대상물은 투명한 베이스 플레이트 상에 상기 투명 패턴 및 상기 유색 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The inspection object is an optical inspection method, characterized in that the transparent pattern and the colored pattern is formed on a transparent base plate. 제45항에 있어서,The method of claim 45, 상기 검사 대상물은 지지 유닛에 안착된 상태에서 상기 제1 및 제2 광이 조사되며, The test object is irradiated with the first and second light in a state seated on the support unit, 상기 지지 유닛은 상기 검사 대상물이 안착되는 면이 무광 코팅 처리되어 제공되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The support unit is an optical inspection method, characterized in that the surface on which the inspection object is seated is provided with a matte coating treatment. 제46항에 있어서,47. The method of claim 46 wherein 상기 지지 유닛은 상기 검사 대상물이 안착되는 면이 검은색으로 처리되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The support unit is an optical inspection method, characterized in that the surface on which the inspection object is seated is treated in black.
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