KR20110014013A - 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 잉크젯 헤드는 외부로부터 주입된 잉크가 저장되는 매니폴드; 상기 매니폴드로부터 잉크를 전달받아 노즐을 통해 외부로 토출시키기 위한 잉크 챔버; 및 상기 매니폴드와 상기 잉크 챔버를 서로 연결하도록 형성되며, 복수개의 연결 통로를 제공하는 리스트릭터;를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 인쇄 품질을 향상시킬 수 있는 잉크젯 헤드 및 이러한 잉크젯 헤드를 제조하는 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 헤드는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 작은 노즐을 통하여 잉크가 액적의 형태로 토출되도록 하는 구조체이다.
최근 압전 방식의 잉크젯 헤드는 산업용 잉크젯 프린터에서도 사용되고 있다. 예를 들어, 인쇄회로기판(PCB) 상에 금, 은 등의 금속을 녹여 만든 잉크를 분사해 회로 패턴을 직접 형성시키거나 산업 그래픽이나 액정 디스플레이(LCD), 유기발광다이오드(OLED)의 제조, 태양전지 등에 사용된다.
일반적으로 잉크젯 프린터의 잉크젯 헤드 내에는 카트리지에서 잉크를 유입 및 유출하는 유입구와 유출구, 유입되는 잉크를 저장하는 매니폴드, 그리고 상기 매니폴드 내의 잉크를 노즐로 이동시키기 위해 엑츄에이터의 구동력을 전달하는 챔버 등이 형성된다.
그러나, 종래의 잉크젯 헤드는 상기 챔버에 인접하도록 장착되는 엑츄에이터의 진동 시 챔버 내부의 액체가 구동 파동을 발생시키며 이러한 구동 파동이 리스트릭터에 의하여 매니폴드를 향하는 압력파가 되어 매니폴드로 전달되게 된다.
따라서, 종래의 잉크젯 헤드는 이렇게 전달된 압력파에 의해서 인접한 노즐들에 악영향을 미치는 크로스토크(crosstalk) 현상이 발생되므로 불안정한 매니스커스(meniscus) 거동을 보이며, 불안정한 액적 분사가 진행되며, 챔버의 고유 주파수에 노이즈로 작용되어 인쇄 품질이 나빠지는 문제점이 있다.
본 발명은 상술된 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 엑츄에이터의 진동 시 발생되는 구동 파동에 의해 다른 노즐에 악 영향을 주는 크로스토크(crosstalk)를 방지할 수 있는 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 잉크젯 헤드는 외부로부터 주입된 잉크가 저장되는 매니폴드; 상기 매니폴드로부터 잉크를 전달받아 노즐을 통해 외부로 토출시키기 위한 잉크 챔버; 및 상기 매니폴드와 상기 잉크 챔버를 서로 연결하도록 형성되며, 복수개의 연결 통로를 제공하는 리스트릭터;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 연결 통로들은 원형으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 연결 통로들은 대칭적으로 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 잉크 챔버와 상기 매니폴드가 서로 대각선 방향에 형성되며, 상기 리스트릭터는 상기 잉크 챔버로부터 대각선 방향을 향하도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 리스트릭터는 상기 연결 통로들을 통한 잉크 토출이 상기 노즐을 통한 잉크 토출보다 2배가 되도록 형성되는 것을 특 징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 상기 연결 통로의 직경은 50㎛ 이내로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법은 잉크 챔버가 형성된 유로 플레이트를 제공하는 단계; 외부로부터 주입된 잉크가 저장되는 매니폴드 및, 상기 잉크 챔버와 상기 매니폴드를 연결하기 위한 다수의 연결 통로를 노즐 플레이트에 형성시키는 단계; 및 상기 유로 플레이트와 상기 노즐 플레이트를 서로 접착시켜서 다수의 연결 통로를 포함하는 리스트릭터를 형성시키는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법의 상기 다수의 홈을 형성시키는 단계는 에칭 공정을 통해서 함께 형성시키는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법의 상기 노즐 플레이트는 상기 매니폴드 및 상기 리스트릭터가 형성되는 중간 플레이트 및, 상기 잉크 챔버와 연결되도록 노즐이 형성되는 하부 플레이트를 접착시켜 형성시키는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법은 매니폴드와 잉크 챔버를 서로 연결하도록 형성되며, 복수개의 연결 통로를 제공하는 리스트릭터를 포함하므로 엑츄에이터의 진동 시 잉크 챔버 내부에서 발생되는 압력파를 상쇄하여 크로스토크 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법은 연결 통로 의 직경들이 작게 형성되어 매니폴드에서 잉크 챔버로 유입될 수 있는 먼지를 필터링하는 효과가 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드의 제조 방법에 관하여 도 1 내지 도 6을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다. 이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 잉크젯 헤드는 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120), 하부 플레이트(130), 압전 엑츄에이터(140) 및 리스트릭터(150)를 포함한다.
유로 플레이트(110)는 복수개의 잉크 챔버(112)가 규칙적으로 형성되며, 잉크가 유입되기 위한 잉크 도입구(116)가 마련된다. 이때, 잉크 도입구(116)는 매니폴드(122)와 직접적으로 연결되도록 제공되며, 매니폴드(122)는 리스트릭터(150)를 통해서 잉크 챔버(112)로 잉크를 공급하는 역할을 한다(화살표 방향으로).
이때, 매니폴드(122)는 하나의 큰 공간으로 형성되어 복수개의 잉크 챔버(112)에 각각 연결될 수도 있으나 이에 한정되지 않으며 각 잉크 챔버(112)에 대응되도록 복수개가 형성될 수도 있다.
잉크 도입구(116)도 마찬 가지로 하나의 매니폴드(122)에 대응해서 하나만 형성될 수 있으나, 복수개의 매니폴드(122)가 형성되는 경우에 각 매니폴드(122)에 대응하도록 복수개가 형성되는 것도 가능하다.
그리고, 잉크 챔버(112)는 압전 엑츄에이터(140)가 장착되는 위치의 하부에 마련된다. 이때, 유로 플레이트(110) 중에서 잉크 챔버(112)의 천장을 이루는 부분은 진동판(114) 역할을 하게 된다.
따라서, 잉크의 토출을 위해서 압전 엑츄에이터(140)에 구동 신호를 인가하면, 압전 엑츄에이터(140)와 함께 그 아래의 진동판(114)이 변형되면서 잉크 챔버(112)의 부피가 감소하게 된다.
이에 따른 잉크 챔버(112) 내의 압력 증가에 의해서 잉크 챔버(112) 내의 잉크는 댐퍼(126)와 노즐(132)을 통해 외부로 토출된다.
그리고, 압전 엑츄에이터(140)는 상면 및 하면에 전기적으로 연결되는 전극이 형성될 수 있으며, 압전 물질인 PZT(Lead Zirconate Titanate) 세라믹 재료로 이루어질 수 있다.
중간 플레이트(120)는 길이방향으로 길게 형성되는 매니폴드(122) 및 노즐(132)과 잉크 챔버(112)를 연결하는 댐퍼(126)를 포함할 수 있다.
매니폴드(122)는 잉크 도입구(116)로부터 잉크를 공급받아 잉크 챔버(112)로 잉크를 공급하는 데, 매니폴드(122) 및 잉크 챔버(112)는 리스트릭터(150)에 의해서 서로 연결된다.
그리고, 댐퍼(126)는 잉크 챔버(112)로부터 압전 엑츄에이터(140)에 의해서 토출되는 잉크를 전달받아 노즐(132)을 통해서 외부로 토출시킨다.
또한, 댐퍼(126)는 다단 형상으로 형성될 수 있으며, 이러한 구조에 의해서 잉크 챔버(112)로부터 받아들이는 잉크 양과 노즐(132)로 진행되는 잉크 양을 조절할 수 있게 된다.
이때, 상기 댐퍼(126)는 선택사항으로 이를 삭제할 수도 있으며, 이러한 경우는 유로 플레이트(110)와 하부 플레이트(130) 만으로도 잉크젯 헤드를 구성할 수 있다.
하부 플레이트(130)는 각 잉크 챔버(112)와 대응되도록 형성되며, 댐퍼(126)를 지나는 잉크가 외부로 토출되도록 노즐(132)을 포함한다. 그리고, 하부 플레이트(130)는 중간 플레이트(120)의 하부에 접착된다.
노즐(132)은 상기 잉크젯 헤드 내에 형성된 유로를 통해 이동하는 잉크를 액적으로 분사하게 한다.
이때, 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120) 및 하부 플레이트(130)는 반도체 직접 회로에 널리 사용되는 실리콘 기판이 사용될 수 있다. 그리고, 중간 플레이트(120) 및 하부 플레이트(130)를 접착하여 노즐 플레이트로 지칭할 수도 있다.
리스트릭터(150)는 잉크 챔버(112) 및 매니폴드(122)를 연결하며, 다수의 연결 통로(152)를 포함한다. 이때, 리스트릭터(150)는 잉크 챔버(112)의 하부로 연장되도록 형성될 수 있다. 그러나, 리스트릭터의 형성 위치는 이에 한정되지 않는다.
여기서, 리스트릭터(150)는 매니폴드(122)에 저장된 잉크가 잉크 챔버(112)로 이동될 수 있는 통로 역할을 하는데, 액적 토출을 위한 적합한 설계로는 상기 연결 통로(152)들을 통한 잉크 토출이 노즐(132)을 통한 잉크 토출보다 2배가 되도록 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 구체적으로, 연결 통로(152)의 직경은 50um이내로 설계될 수 있다.
따라서, 본 실시예는 이러한 직경으로 형성된 연결 통로(152)를 포함하는 리스트릭터(150)에 의해서 액적의 토출 성능은 유지한 체 고주파 특성이 향상되는 효과가 있다.
도 3a~ 도 3e는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 리스트릭터를 설명하기 위한 개략적인 부분 투시도이다.
도 3a 내지 도 3e를 참조하면, 리스트릭터(150)는 다수의 연결 통로(152)를 포함하는 데, 각 연결 통로(152)는 도 3a에서 도시된 바와 같이 서로 접하도록 위치하는 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 도 3b에서 도시된 바와 같이, 다수의 연결 통로(152)들이 서로 대칭적으로 위치하도록 형성될 수 있으며, 도 3c에서 도시된 바와 같이, 중간 플레이트(120)에서 한쪽으로 치우치도록 형성될 수도 있다.
그리고, 도 3d 및 도 3e에서 도시된 바와 같이, 연결 통로(152)는 2개가 형 성될 수 있으며, 그 형성 위치는 압력파 상쇄를 고려하여 설계자의 의도에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
여기서, 도 3a 내지 도3e에서 설명된 중간 플레이트(120)는 잉크 챔버(112)의 공간에 해당하는 저면 만을 도시한 것이다.
그리고, 리스트릭터(150)의 형상은 도 3에서 도시된 바와 같이, 원형일 수 있으나, 사각형이나 다각형 등과 같이 압력파 상쇄에 적합한 다양한 모양일 수 있다.
만약, 리스트릭터(150)가 큰 직경을 가진 하나의 통로로 형성된다면, 잉크 챔버(112)에 인접하도록 장착되는 엑츄에이터(140)의 진동 시에는 잉크 챔버(112) 내부의 액체가 구동 파동을 발생시키며 이러한 구동 파동이 리스트릭터(150)에 의하여 매니폴드를 향하는 압력파가 되어 매니폴드로 전달될 수 있다. 또한, 이러한 힘에 의해서 인접한 노즐(132)들에 영향을 미치는 크로스토크(crosstalk) 현상이 발생될 수 있다.
그러나, 본 실시예에 따른 잉크젯 헤드는 매니폴드(122)와 잉크 챔버(112)를 서로 연결하도록 형성되며, 복수개의 연결 통로(152)를 제공하는 리스트릭터(150)를 포함하므로 엑츄에이터의 진동 시 잉크 챔버(112) 내부에서 발생되는 압력파를 상쇄시켜 크로스토크 현상을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 잉크젯 헤드는 복수개의 연결 통로(152)의 직경이 50um이하로 작게 형성되므로 매니폴드(122)에서 잉크 챔버(112)로 유입될 수 있는 먼지를 필터링하는 효과가 있다. 그러므로, 본 실시예에서는 상기의 문제점을 해결 하여 고주파 토출 특성이 향상되며, 인쇄 품질의 향상을 도모할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 잉크젯 헤드의 제조 방법은 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120) 및 하부 플레이트(130)를 제공하는 단계를 포함한다.
이때, 중간 플레이트(120) 및 하부 플레이트(130)는 접착되어 하나의 노즐 플레이트로 지칭될 수 있다.
그리고, 잉크 챔버(112), 매니폴드(122), 댐퍼(126) 및 노즐(132) 등이 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120) 및 하부 플레이트(130)에 각각 형성될 수 있다.
이때, 상기 다수의 연결 통로(152)를 형성시키는 단계는 에칭 공정을 통해서 함께 형성시키는 것을 특징으로 할 수 있다. 그리고, 이러한 구성들이 형성될 때에 복수개의 연결 통로(152)를 가지는 리스트릭터(150)를 함께 형성시킬 수 있다. 따라서, 구성들을 별도로 형성시키는 어려움 없이 용이하게 리스트릭터(150)를 생산할 수 있으며, 그 작업 시간도 줄일 수 있다.
이때, 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120) 및 하부 플레이트(130)는 서로 접착되는 과정을 통해서 하나의 몸체로 형성될 수 있으며, 그 구조는 유로 플레이트(110)의 하부에 중간 플레이트(120)가 접착되고, 중간 플레이트(120)의 하부에는 하부 플레이트(130)가 접착되는 것이다.
따라서, 본 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법은 매니폴드(122)와 잉크 챔버(112)를 서로 연결하도록 형성되며, 복수개의 연결 통로(152)를 제공하는 리스트릭터(150)를 보다 용이하게 제조할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5를 참조하면, 잉크젯 헤드는 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120), 하부 플레이트(130), 압전 엑츄에이터(140) 및 리스트릭터(250)를 포함한다.
여기서, 본 실시예에서 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120), 하부 플레이트(130) 및 압전 엑츄에이터(140)는 실질적으로 제1 실시예와 동일하므로 그 구체적인 설명은 생략할 수 있다.
리스트릭터(250)는 잉크 챔버(112) 및 매니폴드(122)를 연결하며, 다수의 연결 통로(252)를 포함한다. 이때, 매니폴드(122)는 잉크 챔버(112)의 측면에 형성될 수 있다.
따라서, 도 5에서 도시된 바와 같이, 리스트릭터(250)는 매니폴드(122) 및 잉크 챔버(112)를 연결하기 위해서 잉크젯 헤드에서 잉크 챔버(112)로부터 측면 방향으로 형성될 수 있다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6을 참조하면, 잉크젯 헤드는 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120), 하부 플레이트(130), 압전 엑츄에이터(140) 및 리스트릭터(350)를 포함한다.
여기서, 본 실시예에서 유로 플레이트(110), 중간 플레이트(120), 하부 플레이트(130) 및 압전 엑츄에이터(140)는 실질적으로 제1 실시예와 동일하므로 그 구체적인 설명은 생략할 수 있다.
리스트릭터(350)는 잉크 챔버(112) 및 매니폴드(122)를 연결하며, 다수의 연결 통로(352)를 포함한다. 이때, 매니폴드(122)는 잉크 챔버(112)의 대각선 방향에 형성되게 된다.
따라서, 도 6에서 도시된 바와 같이, 리스트릭터(350)는 매니폴드(122) 및 잉크 챔버(112)를 연결하기 위해서 잉크젯 헤드에서 잉크 챔버(112)로부터 측면 방향으로 형성될 수 있다.
그러므로, 본 실시예에 따른 잉크젯 헤드는 매니폴드(122)와 잉크 챔버(112)를 서로 연결하도록 형성되며, 복수개의 연결 통로(252, 352)를 제공하는 리스트릭터(250, 350)를 포함하므로 엑츄에이터의 진동 시 잉크 챔버(112) 내부에서 발생되는 압력파를 상쇄하여 크로스토크 현상을 일으키는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3a~ 도 3e는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 리스트릭터를 설명하기 위한 개략적인 부분 투시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크젯 헤드를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
110.... 유로 플레이트 120.... 중간 플레이트
130.... 노즐 플레이트 140.... 압전 엑츄에이터
150, 250, 350.... 리스트릭터
152, 252, 352.... 연결 통로
Claims (9)
- 외부로부터 주입된 잉크가 저장되는 매니폴드;상기 매니폴드로부터 상기 잉크를 전달받아 노즐을 통해 외부로 토출시키기 위한 잉크 챔버; 및상기 매니폴드와 상기 잉크 챔버를 서로 연결하도록 형성되며, 복수개의 연결 통로를 제공하는 리스트릭터;를 포함하는 잉크젯 헤드.
- 제1항에 있어서,상기 연결 통로들은 원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
- 제1항에 있어서,상기 연결 통로들은 대칭적으로 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
- 제1항에 있어서,상기 잉크 챔버와 상기 매니폴드가 서로 대각선 방향에 형성되며, 상기 리스트릭터는 상기 잉크 챔버로부터 대각선 방향을 향하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
- 제1항에 있어서,상기 리스트릭터는 상기 연결 통로들을 통한 잉크 토출이 상기 노즐을 통한 잉크 토출보다 2배가 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
- 제1항에 있어서,상기 연결 통로의 직경은 50㎛ 이내로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
- 잉크 챔버가 형성된 유로 플레이트를 제공하는 단계;외부로부터 주입된 잉크가 저장되는 매니폴드 및, 상기 잉크 챔버와 상기 매니폴드를 연결하기 위한 다수의 연결 통로를 노즐 플레이트에 형성시키는 단계; 및상기 유로 플레이트와 상기 노즐 플레이트를 서로 접착시켜서 다수의 연결 통로를 포함하는 리스트릭터를 형성시키는 단계;를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조 방법.
- 제7항에 있어서,상기 다수의 연결 통로를 형성시키는 단계는 에칭 공정을 통해서 각 구성을 함께 형성시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 제조 방법.
- 제7항에 있어서,상기 노즐 플레이트는,상기 매니폴드 및 상기 리스트릭터가 형성되는 중간 플레이트 및, 상기 잉크 챔버와 연결되도록 노즐이 형성되는 하부 플레이트를 접착시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 제조 방법.
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| US7052117B2 (en) * | 2002-07-03 | 2006-05-30 | Dimatix, Inc. | Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020023197A (ja) * | 2019-11-26 | 2020-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 流路部品、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 |
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