KR20110012730A - Head cleaning unit, and chemical liquid discharging apparatus using the same - Google Patents

Head cleaning unit, and chemical liquid discharging apparatus using the same Download PDF

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KR20110012730A
KR20110012730A KR1020090070576A KR20090070576A KR20110012730A KR 20110012730 A KR20110012730 A KR 20110012730A KR 1020090070576 A KR1020090070576 A KR 1020090070576A KR 20090070576 A KR20090070576 A KR 20090070576A KR 20110012730 A KR20110012730 A KR 20110012730A
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Abstract

PURPOSE: A head cleaning unit, and a chemical liquid discharging apparatus using the same are provided to contact an external plane of a cleaning roller with a treatment liquid. CONSTITUTION: After processing solution discharging process, an inkjet head moves to an upper portion of a processing bath(510) of a head cleaning unit through first and second movement units. The inkjet head discharges the treatment liquid toward the first treatment tub in high pressure. The inkjet head moves downward so that the treatment liquid of a solution discharging surface of a nozzle unit(217) contacts a cleaning roller(520). The inkjet head maintains a narrow gap(t) from the cleaning roller. The cleaning roller removes the treatment liquid from the liquid discharging plane.

Description

헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치{HEAD CLEANING UNIT, AND CHEMICAL LIQUID DISCHARGING APPARATUS USING THE SAME}HEAD CLEANING UNIT, AND CHEMICAL LIQUID DISCHARGING APPARATUS USING THE SAME}

본 발명은 헤드 세정 유닛과 이를 구비한 처리액 토출 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액적을 토출하는 잉크젯 방식에 의해 처리액을 토출하는 헤드를 세정하는 헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a head cleaning unit and a processing liquid discharge device having the same, and more particularly, a head cleaning unit for cleaning a head for discharging the processing liquid by an inkjet method for discharging droplets, and a processing liquid discharge having the same. Relates to a device.

최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 장치, 전계 발광 장치 등으로 불리는 전기 광학 장치인 표시 장치가 널리 이용되고 있으며, 표시 장치에 의해서 풀 컬러를 표시하는 일이 많아지고 있다.In recent years, display devices which are electro-optical devices called liquid crystal devices, electroluminescent devices, and the like have been widely used in the display portions of electronic devices such as mobile phones and portable computers, and display of full colors has been increasing by display devices. .

액정 장치에 의한 풀 컬러 표시는, 예를 들어, 액정 층에 의해서 변조되는 광을 컬러 필터에 통과시킴으로써 표시된다. 그리고 컬러 필터는, 예를 들어, 유리 등에 의해 형성된 기판의 표면에 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 도트상의 각색의 필터 요소를 소위 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등이라 불리는 소정의 배열로 나란히 함에 의해서 형성된다.Full color display by a liquid crystal device is displayed by, for example, passing light modulated by the liquid crystal layer through a color filter. The color filter is, for example, a filter element of red (R), green (G), and blue (B) dots on the surface of a substrate formed of glass or the like as a so-called stripe arrangement, delta arrangement, or mosaic arrangement. Formed by side by side in a predetermined arrangement.

종래, 컬러 필터의 R, G, B 등의 각색의 필터 요소를 패터닝하는 경우, 포토리소그래피법을 사용함이 알려져 있다. 그러나, 포토리소그래피법을 사용하는 경우 에는 공정이 복잡하거나, 각색의 재료 혹은 포토레지스트 등을 다량으로 소비하므로, 코스트가 높게 되는 등의 문제가 있다.It is known that the photolithographic method is conventionally used when patterning various filter elements, such as R, G, and B of a color filter. However, in the case of using the photolithography method, the process is complicated, or a large amount of various materials, photoresist, and the like are consumed, and thus there is a problem of high cost.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 액적을 토출하는 잉크젯 방식에 의해서 필터 요소의 재료(잉크)를 도트상으로 토출함으로써, 도트상 배열의 필터 요소를 형성하는 방법이 제안되어 있다.In order to solve such a problem, the method of forming the filter element of a dot arrangement by the discharge of the material (ink) of a filter element in a dot form by the inkjet system which discharges a droplet is proposed.

본 발명은 처리액 토출 공정의 효율 및 생산성을 향상시킬 수 있는 헤드 세정 유닛과 이를 구비한 처리액 토출 장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a head cleaning unit capable of improving the efficiency and productivity of a processing liquid discharge step and a processing liquid discharge device having the same.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 헤드 세정 유닛은, 잉크젯 헤드의 액 토출면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서, 상기 액 토출면의 처리액과 접촉되도록 상기 액 토출면의 아래에 제공되는 세정 롤러; 및 상기 세정 롤러를 회전시키는 회전 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the head cleaning unit according to the present invention is provided under the liquid discharge surface to be in contact with the processing liquid of the liquid discharge surface in the head cleaning unit for cleaning the liquid discharge surface of the inkjet head. Cleaning rollers; And a rotation drive member for rotating the cleaning roller.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 처리액 토출 장치는, 기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛; 상기 기판 지지 유닛이 이동되는 경로 상에 제공되며, 그리고 상기 기판상에 처리액을 토출하는 복수 개의 잉크젯 헤드를 가지는 헤드 유닛; 상기 헤드 유닛을 상기 제 1 방향 및 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 이동시키는 이동 유닛; 및 상기 기판 지지 유닛의 일 측에 제공되며, 상기 잉크젯 헤드들의 액 토출면을 세정하는 헤드 세정 유닛을 포함하되, 상기 헤드 세정 유닛은 상기 잉크젯 헤드의 상기 액 토출면의 아래에 위치하도록 제공되며, 상기 액 토출면의 처리액과 접촉되는 세정 롤러; 및 상기 세정 롤러를 회전시키는 회전 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the treatment liquid discharge device according to the present invention includes a substrate support unit on which a substrate is placed and which is linearly movable in a first direction; A head unit provided on a path through which the substrate support unit is moved, and having a plurality of inkjet heads for discharging a processing liquid onto the substrate; A moving unit for moving the head unit in the first direction and in a second direction perpendicular to the first direction; And a head cleaning unit provided on one side of the substrate support unit, the head cleaning unit cleaning the liquid ejecting surfaces of the inkjet heads, wherein the head cleaning unit is provided below the liquid ejecting surface of the inkjet head, A cleaning roller in contact with the processing liquid of the liquid discharge surface; And a rotation drive member for rotating the cleaning roller.

본 발명에 의하면, 헤드 세정에 사용되는 와이퍼(Wiper)와 같은 소모품을 제거하여 비용을 절감할 수 있다.According to the present invention, the cost can be reduced by removing consumables such as wipers used for head cleaning.

그리고 본 발명에 의하면, 헤드의 노즐에 이물질이 삽입되는 것을 방지할 수 있다.And according to this invention, a foreign material can be prevented from being inserted into the nozzle of a head.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 헤드 세정 유닛과 이를 구비한 처리액 토출 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a head cleaning unit and a treatment liquid discharge device including the same according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible, even if shown on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

( 실시 예 )(Example)

도 1은 잉크젯 방식 처리액 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다. 도 1의 처리액 도포 설비(1)는 대상물에 잉크젯 방식으로 처리액을 도포하는 설비이다. 예를 들어, 대상물은 액정 디스플레이 패널의 컬러 필터 기판일 수 있으며, 처리액은 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다. 잉크는 컬러 필터 기판상에 격자 모양의 패턴으로 배열된 블랙마스크의 내부 영역에 도포될 수 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the structure of the inkjet type process liquid application facility. 1 is a facility for applying a treatment liquid to an object by an inkjet method. For example, the object may be a color filter substrate of a liquid crystal display panel, and the treatment liquid may be red (R), green (G), or blue (B) ink in which pigment particles are mixed in a solvent. The ink may be applied to the inner region of the black mask arranged in a lattice pattern on the color filter substrate.

도 1을 참조하면, 처리액 도포 설비(1)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 처리액 공급부(60), 그리고 제어부(70)를 포함한다. 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 처리액 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에 처리액 공급부(60)와 제어부(70)가 배치되며, 처리액 공급부(60)와 제어부(70)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 처리액 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(40)와 언로딩부(50)가 배치되며, 로딩부(40)와 언로딩부(50)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 그리고 베이크부(30)는 기판 이송부(20)의 일측에 인접하게 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1, the treatment liquid applying apparatus 1 may include a treatment liquid discharge part 10, a substrate transfer part 20, a baking part 30, a loading part 40, an unloading part 50, and a treatment liquid supply part. 60, and a control unit 70. The processing liquid discharge part 10 and the substrate transfer part 20 may be arranged in a line in the first direction I and may be adjacent to each other. The processing liquid supply unit 60 and the control unit 70 are disposed at positions facing the substrate transfer unit 20 around the processing liquid discharge unit 10, and the processing liquid supply unit 60 and the control unit 70 are in the second direction. It can be arranged in line with (II). The loading part 40 and the unloading part 50 are disposed at a position facing the processing liquid discharge part 10 with respect to the substrate transfer part 20, and the loading part 40 and the unloading part 50 are formed of a substrate. It can be arranged in two directions (II). The bake unit 30 may be disposed adjacent to one side of the substrate transfer unit 20.

여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.Here, the first direction (I) is an arrangement direction of the processing liquid discharge unit 10 and the substrate transfer unit 20, the second direction (II) is a direction perpendicular to the first direction (I) on a horizontal plane, and the third direction The direction III is a direction perpendicular to the first direction I and the second direction II.

처리액(잉크)이 도포될 기판은 로딩부(40)로 반입된다. 기판 이송부(40)는 로딩부(40)에 반입된 기판을 처리액 토출부(10)로 이송한다. 처리액 토출부(10)는 처리액 공급부(60)로부터 처리액을 공급받고, 잉크젯 방식으로 기판상에 처리액을 토출한다. 기판 이송부(20)는 처리액 토출부(10)로부터 베이크부(30)로 기판을 이송한다. 베이크부(30)는 기판을 가열하여 기판에 토출된 처리액(잉크)의 고형 성분을 제외한 나머지 액상 물질(용매)을 증발시킨다. 기판 이송부(20)는 베이크부(30)로부터 언로딩부(50)로 기판을 이송한다. 처리액이 도포된 기판은 언로딩부(50)로부터 반출된다. 그리고, 제어부(70)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 그리고 처리액 공급부(60)의 전반적인 동작을 제어한다.The substrate to which the treatment liquid (ink) is to be applied is loaded into the loading part 40. The substrate transfer part 40 transfers the substrate carried in the loading part 40 to the processing liquid discharge part 10. The processing liquid discharge unit 10 receives the processing liquid from the processing liquid supply unit 60 and discharges the processing liquid onto the substrate by an inkjet method. The substrate transfer unit 20 transfers the substrate from the processing liquid discharge unit 10 to the bake unit 30. The baking unit 30 heats the substrate to evaporate the remaining liquid substance (solvent) except for the solid component of the processing liquid (ink) discharged on the substrate. The substrate transfer unit 20 transfers the substrate from the bake unit 30 to the unloading unit 50. The substrate to which the treatment liquid is applied is carried out from the unloading part 50. In addition, the control unit 70 performs overall operations of the processing liquid discharge unit 10, the substrate transfer unit 20, the baking unit 30, the loading unit 40, the unloading unit 50, and the processing liquid supply unit 60. To control.

도 2는 도 1의 처리액 토출부(10)의 사시도이다. 도 2를 참조하면, 처리액 토출부(10)는 기판 지지 유닛(100), 헤드 유닛(200), 이동 유닛(300,400), 제 1 헤드 세정 유닛(500), 그리고 제 2 헤드 세정 유닛(600)을 포함한다.FIG. 2 is a perspective view of the processing liquid discharge part 10 of FIG. 1. Referring to FIG. 2, the processing liquid discharge part 10 may include a substrate support unit 100, a head unit 200, moving units 300 and 400, a first head cleaning unit 500, and a second head cleaning unit 600. ).

기판 지지 유닛(100)은 기판이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 모터(120)의 회전 축이 연결된다. 회전 구동 모터(120)는 지지판(110)에 놓인 기판이 기설정된 위치에 정렬되도록 지지판(110)을 회전시킨다. 회전 구동 모터(120)는 슬라이더(130)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(140)는 베이스(B)의 상면 중앙부에 제 1 방향(Ⅰ)으 로 길게 연장된다. 슬라이더(130)에는 리니어 모터(미도시)가 내장되며, 슬라이더(130)는 가이드 부재(140)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다.The substrate support unit 100 has a support plate 110 on which a substrate is placed. The support plate 110 may be a rectangular plate. The lower surface of the support plate 110 is connected to the rotation axis of the rotation drive motor 120. The rotation drive motor 120 rotates the support plate 110 so that the substrate placed on the support plate 110 is aligned at a predetermined position. The rotation drive motor 120 is installed on the upper surface of the slider 130. Guide member 140 extends in the first direction (I) in the central portion of the upper surface of the base (B). A linear motor (not shown) is built in the slider 130, and the slider 130 linearly moves in the first direction I along the guide member 140.

헤드 유닛(200)은 기판에 처리액(잉크)을 토출한다. 헤드 유닛(200)은 잉크젯 헤드들(210a, 210b)과 브라켓(220)을 포함한다. 잉크젯 헤드들(210a, 210b) 중 하나의 잉크젯 헤드(210a)는 브라켓(220)의 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 일 측면에 설치되고, 다른 하나의 잉크젯 헤드(210b)는 브라켓(220)의 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 다른 일 측면에 설치될 수 있다. 각각의 잉크젯 헤드들(210a, 210b)은 적색(R) 헤드(212), 녹색(G) 헤드(214) 및 청색(B) 헤드(216)를 가진다. 적색(R) 헤드(212), 녹색(G) 헤드(214) 및 청색(B) 헤드(216)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬로 배열될 수 있다.The head unit 200 discharges the processing liquid (ink) to the substrate. The head unit 200 includes inkjet heads 210a and 210b and a bracket 220. One inkjet head 210a of the inkjet heads 210a and 210b is installed at one side facing the first direction I of the bracket 220, and the other inkjet head 210b is disposed at the bracket 220. It may be installed on the other side facing in the first direction (I). Each of the inkjet heads 210a and 210b has a red (R) head 212, a green (G) head 214 and a blue (B) head 216. The red (R) head 212, the green (G) head 214, and the blue (B) head 216 may be arranged in a line in the second direction (II).

이동 유닛(300,400)들은 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에서 헤드 유닛(200)을 이동시킬 수 있다. 제 1 이동 유닛(300)은 헤드 유닛(200)을 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시키고, 제 2 이동 유닛(400)은 헤드 유닛(200)을 제 2 방향(Ⅱ)과 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시킬 수 있다.The moving units 300 and 400 may move the head unit 200 in the upper portion of the path in which the support plate 110 is moved. The first moving unit 300 linearly moves the head unit 200 in the first direction (I), and the second moving unit 400 moves the head unit 200 in the second direction (II) and the third direction ( Can be moved linearly.

제 2 이동 유닛(400)은 수평 지지대(410)와 슬라이더(420)를 포함한다. 수평 지지대(410)는 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 베이스(B)의 상부에 위치한다. 수평 지지대(410)에는 길이 방향을 따라 가이드 레일(412)이 제공된다. 슬라이더(420)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(420)는 가이드 레일(412)을 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 헤드 유닛(200)의 브라켓(220)이 슬라이더(420)에 연결되고, 슬라이더(420)의 직선 이동에 의해 브라켓(220)에 설치된 잉크젯 헤드들(210a,210b)이 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 한편, 슬라이더(420)에는 헤드 유닛(200)의 브라켓(220)을 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시키는 구동 부재(미도시)가 설치될 수 있다.The second moving unit 400 includes a horizontal support 410 and a slider 420. The horizontal support 410 is positioned above the base B such that the longitudinal direction thereof faces the second direction II. The horizontal support 410 is provided with a guide rail 412 along the longitudinal direction. A linear motor (not shown) may be built in the slider 420, and the slider 420 moves linearly in the second direction II along the guide rail 412. The bracket 220 of the head unit 200 is connected to the slider 420, and the inkjet heads 210a and 210b installed on the bracket 220 are moved in the second direction II by the linear movement of the slider 420. Go straight. On the other hand, the slider 420 may be provided with a driving member (not shown) for linearly moving the bracket 220 of the head unit 200 in the third direction (III).

제 1 이동 유닛(300)은 가이드 레일(310)과 슬라이더(320)를 포함한다. 가이드 레일(310)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하고, 기판 지지 유닛(100)의 가이드 부재(140)를 중심으로 베이스(B) 상면의 양측 가장자리부에 각각 설치된다. 슬라이더(320)는 리니어 모터(미도시)를 내장하고, 가이드 레일(310)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다. 제 2 이동 유닛(400)의 수평 지지대(410)의 양단이 슬라이더(320)에 각각 연결된다. 슬라이더(320)의 직선 이동에 의해 수평 지지대(410)를 포함하는 제 2 이동 유닛(400)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동되고, 제 2 이동 유닛(400)의 이동에 의해 제 2 이동 유닛(400)에 연결된 헤드 유닛(200)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다.The first moving unit 300 includes a guide rail 310 and a slider 320. The guide rail 310 has a longitudinal direction toward the first direction (I), and is provided at both side edge portions of the upper surface of the base B with respect to the guide member 140 of the substrate support unit 100. The slider 320 includes a linear motor (not shown) and linearly moves in the first direction I along the guide rail 310. Both ends of the horizontal support 410 of the second moving unit 400 are connected to the slider 320, respectively. The second moving unit 400 including the horizontal support 410 is moved in the first direction I by the linear movement of the slider 320, and the second moving unit is moved by the movement of the second moving unit 400. The head unit 200 connected to 400 is linearly moved in the first direction (I).

헤드 유닛(200)은 제 1 이동 유닛(300)과 제 2 이동 유닛(400)에 의해 제 1 방향(Ⅰ), 제 2 방향(Ⅱ) 및 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동할 수 있고, 기판이 놓이는 지지판(110)은 슬라이더(130) 및 가이드 부재(140)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동할 수 있다. 기판상에 처리액 토출시, 헤드 유닛(200)은 기설정된 위치에 고정되고, 기판이 놓이는 지지판(110)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다. 이와 달리, 기판이 놓이는 지지판(110)이 기설정된 위치에 고정되고, 헤드 유닛(200)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다.The head unit 200 may linearly move in the first direction (I), the second direction (II), and the third direction (III) by the first moving unit 300 and the second moving unit 400, and the substrate The laid support plate 110 may be linearly moved in the first direction I by the slider 130 and the guide member 140. When discharging the processing liquid onto the substrate, the head unit 200 may be fixed at a predetermined position, and the supporting plate 110 on which the substrate is placed may move in the first direction (I). Alternatively, the support plate 110 on which the substrate is placed may be fixed at a predetermined position, and the head unit 200 may be moved in the first direction (I).

제 1 및 제 2 헤드 세정 유닛(500,600)은 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면, 즉 처리액을 토출하는 노즐들이 형성된 면을 주기적으로 세정한다. 통상적으로, 1 매의 기판에 대한 처리액 토출 공정이 진행된 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면의 세정이 진행될 수 있다.The first and second head cleaning units 500 and 600 periodically clean the processing liquid discharge surfaces of the inkjet heads 210a and 210b, that is, the surfaces on which nozzles for discharging the processing liquid are formed. Typically, after the process liquid ejecting process is performed on one substrate, cleaning of the process liquid ejecting surfaces of the inkjet heads 210a and 210b may proceed.

제 1 헤드 세정 유닛(500)과 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 베이스(B) 상면의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 제공될 수 있으며, 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치될 수 있다. 잉크젯 헤드들(210a,210b)은 제 1 이동 유닛(300)과 제 2 이동 유닛(400)에 의해 제 1 및 제 2 헤드 세정 유닛(500,600)의 상부로 이동되고, 세정 공정의 진행 중 제 1 및 제 2 헤드 세정 유닛(500,600)의 상부에서 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다.The first head cleaning unit 500 and the second head cleaning unit 600 may be provided on one side of the substrate support unit 100 on the upper surface of the base B, and may be arranged in a line in the first direction (I). have. The inkjet heads 210a and 210b are moved to the top of the first and second head cleaning units 500 and 600 by the first moving unit 300 and the second moving unit 400, and the first during the cleaning process. And in the first direction I from the second head cleaning unit 500, 600.

제 1 헤드 세정 유닛(500)은 퍼징(Purging) 공정과 블레이딩(Blading) 공정을 진행하고, 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 블로팅(Blotting) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정, 블레이딩(Blading) 공정, 그리고 블로팅(Blotting) 공정은 순차적으로 진행된다. 퍼징(Purging) 공정은 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 내부에 수용된 처리액의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 블레이딩(Blading) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 비접촉 방식으로 제거하는 공정이다. 블로팅(Blotting) 공정은, 블레이딩(Blading) 공정 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 접촉 방식으로 제거하는 공정이다.The first head cleaning unit 500 performs a purging process and a blading process, and the second head cleaning unit 600 performs a blotting process. The purging process, the blading process, and the blotting process are performed sequentially. The purging process is a process of spraying a portion of the processing liquid contained in the inkjet heads 210a and 210b at a high pressure. The blading process is a process of removing the process liquid remaining on the process liquid discharge surfaces of the inkjet heads 210a and 210b in a non-contact manner after a purging process. The blotting process is a process of removing the treatment liquid remaining on the treatment liquid discharge surfaces of the inkjet heads 210a and 210b by a contact method after the blading process.

도 3은 도 2의 제 1 헤드 세정 유닛의 평면도이고, 도 4는 도 3의 제 1 헤드 세정 유닛의 측단면도이다.3 is a plan view of the first head cleaning unit of FIG. 2, and FIG. 4 is a side cross-sectional view of the first head cleaning unit of FIG. 3.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제 1 헤드 세정 유닛(500)은 퍼징(Purging) 공정과 블레이딩(Blading) 공정을 진행하기 위한 것으로, 제 1 처리조(510), 세정 롤러(520), 회전 구동 부재(530), 그리고 롤러 블레이드(540)를 포함한다.3 and 4, the first head cleaning unit 500 is for performing a purging process and a blading process, and includes a first treatment tank 510, a cleaning roller 520, A rotation drive member 530, and a roller blade 540.

제 1 처리조(510)는 상부가 개방된 통 형상을 가지며, 제 1 처리조(510)의 내측 하부에는 제 1 세정 유체가 담긴다. 제 1 세정 유체로는 솔벤트(Solvent)가 사용될 수 있다.The first treatment tank 510 has a cylindrical shape with an open upper portion, and a first cleaning fluid is contained in the inner lower portion of the first treatment tank 510. Solvent may be used as the first cleaning fluid.

세정 롤러(520)는 원통 형상을 가지며, 폴리우레탄(PO) 재질로 구비될 수 있다. 세정 롤러(520)는 길이 방향이 잉크젯 헤드(212)의 액 토출면에 제공된 복수 개의 노즐들(219)의 배열 방향을 향하도록 제공된다. 세정 롤러(520)는 외주면 하단부가 제 1 세정 유체에 잠기도록 제 1 처리조(510) 내에 수평하게 설치된다. 세정 롤러(520)의 양단에는 회전 축(522)이 각각 연결되고, 회전 축들(522)은 베어링 부재(524)에 의해 처리조(510)에 회전 가능하게 설치된다.The cleaning roller 520 has a cylindrical shape and may be made of polyurethane (PO). The cleaning roller 520 is provided such that the longitudinal direction is directed to the arrangement direction of the plurality of nozzles 219 provided on the liquid ejecting surface of the inkjet head 212. The cleaning roller 520 is horizontally installed in the first treatment tank 510 such that the lower end of the outer circumferential surface is immersed in the first cleaning fluid. Rotating shafts 522 are connected to both ends of the cleaning roller 520, and the rotating shafts 522 are rotatably installed in the treatment tank 510 by the bearing member 524.

어느 하나의 회전 축(522)에는 회전력을 제공하는 회전 구동 부재(530)가 연결된다. 회전 구동 부재(530)는 구동 모터(532)와, 구동 모터(532)에 연결된 구동 축(534)을 포함하며, 구동 축(534)은 회전 축(522)에 연결된다.One rotation shaft 522 is connected to the rotation drive member 530 that provides a rotational force. The rotation drive member 530 includes a drive motor 532 and a drive shaft 534 connected to the drive motor 532, which is connected to the rotation shaft 522.

롤러 블레이드(540)는 세정 롤러(520)의 외주면 상의 유체와 접촉되도록 세정 롤러의 일측에 근접하게 배치되며, 세정 롤러(520)와는 비접촉 상태를 유지한 다. 롤러 블레이드(540)는 세정 롤러(520)의 길이 방향으로 연장 형성될 수 있다.The roller blade 540 is disposed close to one side of the cleaning roller to be in contact with the fluid on the outer circumferential surface of the cleaning roller 520 and maintains a non-contact state with the cleaning roller 520. The roller blade 540 may extend in the longitudinal direction of the cleaning roller 520.

잉크젯 헤드(212)는, 처리액 토출 공정 후, 제 1 및 제 2 이동 유닛(도 2의 도면 참조 번호 300, 400)에 의해 제 1 헤드 세정 유닛(500)의 제 1 처리조(510) 상부로 이동된다. 잉크젯 헤드(212)는 제 1 처리조(510)를 향해 처리액을 고압으로 토출한다.(퍼징 공정)The inkjet head 212 has an upper portion of the first treatment tank 510 of the first head cleaning unit 500 by the first and second moving units (reference numerals 300 and 400 in FIG. 2) after the treatment liquid discharge process. Is moved to. The inkjet head 212 discharges the processing liquid at a high pressure toward the first processing tank 510. (Purge step)

이후, 잉크젯 헤드(212)는, 노즐부(217)의 액 토출면의 처리액이 세정 롤러(520)에 접촉되도록 아래로 이동하여, 세정 롤러(520)와의 사이에 미세한 간격(t)을 유지한다. 세정 롤러(520)는 회전 구동 부재(530)에 의해 회전되면서 노즐부(217)의 액 토출면 상의 잔류 처리액과 연속적으로 접촉하여 액 토출면으로부터 처리액을 1 차적으로 제거한다.(블레이딩 공정) 이때, 세정 롤러(520)의 외주면이 처리액과 면 접촉하므로, 종래의 블레이드의 선 접촉과 비교하여 처리액과의 접촉 면적이 증대되어 처리액의 제거 효율이 향상된다.Thereafter, the inkjet head 212 moves downward so that the processing liquid of the liquid discharge surface of the nozzle unit 217 is in contact with the cleaning roller 520, and maintains a minute gap t between the cleaning roller 520 and the cleaning roller 520. do. The cleaning roller 520 is rotated by the rotation driving member 530 and continuously contacts the remaining processing liquid on the liquid discharge surface of the nozzle unit 217 to remove the processing liquid primarily from the liquid discharge surface. Process) At this time, since the outer circumferential surface of the cleaning roller 520 is in surface contact with the processing liquid, the contact area with the processing liquid is increased as compared with the conventional line contact of the blade, thereby improving the removal efficiency of the processing liquid.

노즐부(217)의 액 토출면에서 제거된 후 세정 롤러(520)의 외주면에 부착된 비교적 큰 크기의 처리액 방울들은 롤러 블레이드(540)에 의해 세정 롤러(520)로부터 제거된다. 그리고, 롤러 블레이드(540)에 의한 처리액의 제거 후, 세정 롤러(520)의 외주면에 남아있는 비교적 작은 크기의 처리액 방울들은 제 1 처리조(510) 내의 제 1 세정 유체에 의해 제거된다.After removal from the liquid discharge surface of the nozzle unit 217, droplets of a relatively large process liquid attached to the outer circumferential surface of the cleaning roller 520 are removed from the cleaning roller 520 by the roller blade 540. After removal of the treatment liquid by the roller blade 540, droplets of relatively small size of the treatment liquid remaining on the outer circumferential surface of the cleaning roller 520 are removed by the first cleaning fluid in the first treatment tank 510.

도 5는 도 2의 제 2 헤드 세정 유닛의 측단면도이다. 그리고 도 6 및 도 7은 제 2 헤드 세정 유닛의 동작 상태를 보여주는 도면들이다.5 is a side cross-sectional view of the second head cleaning unit of FIG. 2. 6 and 7 are views illustrating an operating state of the second head cleaning unit.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 블로팅(Blotting) 공정을 진행한다. 블로팅(Blotting) 공정은, 블레이딩(Blading) 공정 후, 잉크젯 헤드(212)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 접촉 방식으로 제거하는 공정이다.5 to 7, the second head cleaning unit 600 undergoes a blotting process. A blotting process is a process of removing the process liquid remaining on the process liquid discharge surface of the inkjet head 212 by a contact method after the blading process.

제 2 헤드 세정 유닛(600)은 제 1 처리조의 일 측에 배치된 제 2 처리조(600)로 제공된다. 제 2 처리조(600)는 상부가 개방된 통 형상을 가지며, 제 2 처리조(600)의 내측 하부에는 제 2 세정 유체가 담긴다. 제 2 세정 유체로는 솔벤트(Solvent)가 사용될 수 있다.The second head cleaning unit 600 is provided to the second processing tank 600 disposed on one side of the first processing tank. The second treatment tank 600 has a cylindrical shape with an open top, and a second cleaning fluid is contained in the inner lower portion of the second treatment tank 600. Solvent may be used as the second cleaning fluid.

제 1 헤드 세정 유닛(500)에서 퍼징 공정과 블레이딩 공정이 진행된 잉크젯 헤드(212)는 제 1 이동 유닛(300)에 의해 제 2 헤드 세정 유닛(600)으로 이동되고, 제 2 이동 유닛(400)에 의해 상하 방향으로 이동하여 제 2 처리조(600) 내로 반입된다. 잉크젯 헤드(212)는 액 토출면이 제 2 세정 유체에 잠기도록 제 2 처리조(600)에 반입된다.The inkjet head 212 having the purging process and the blading process in the first head cleaning unit 500 is moved to the second head cleaning unit 600 by the first moving unit 300, and the second moving unit 400. ) Moves in the vertical direction and is carried into the second processing tank 600. The inkjet head 212 is loaded into the second processing tank 600 so that the liquid discharge surface is immersed in the second cleaning fluid.

이 상태에서, 잉크젯 헤드(212)의 처리액 저장부(211)에 연결된 압력 조절 부재(213)가 처리액 저장부(211)에 음압을 작용시키면, 음압에 의해 제 2 처리조(600)의 제 2 세정 유체(솔벤트)가 처리액 저장부(211)로 유입된다.(도 6) 이 후, 압력 조절 부재(213)는 처리액 저장부(211)에 양압을 작용시켜, 처리액 저장부(211)에 유입된 제 2 세정 유체(솔벤트)를 노즐부(217)의 노즐들(219)을 통해 제 2 처리조(600)로 배출한다.(도 7)In this state, when the pressure regulating member 213 connected to the processing liquid storage part 211 of the inkjet head 212 exerts a negative pressure on the processing liquid storage part 211, the second processing tank 600 is driven by the negative pressure. The second cleaning fluid (solvent) flows into the processing liquid storage 211. (FIG. 6) Thereafter, the pressure adjusting member 213 applies a positive pressure to the processing liquid storage 211, thereby processing liquid storage. The second cleaning fluid (solvent) introduced into the 211 is discharged to the second processing tank 600 through the nozzles 219 of the nozzle unit 217. (FIG. 7)

이와 같은 과정으로 블로팅(Blotting) 공정을 진행하여 잉크젯 헤드(212)의 액 토출면의 잔류 처리액을 제거하며, 잉크젯 헤드는 도시되지 않은 건조 가스 공급 부재에 의해 건조될 수 있다. 여기서, 설명되지 않은 도면 번호 215는 잉크젯 헤드(212)의 처리액 저장부(211)에 처리액을 공급하는 처리액 공급 부재이다.In this manner, a blotting process is performed to remove residual treatment liquid from the liquid discharge surface of the inkjet head 212, and the inkjet head may be dried by a dry gas supply member (not shown). Here, reference numeral 215, which has not been described, is a processing liquid supply member for supplying the processing liquid to the processing liquid storage unit 211 of the inkjet head 212.

종래에는, 와이퍼(Wiper)를 사용하여 블로팅(Blotting) 공정을 진행하였으나, 와이퍼의 극세사가 처리액 토출면의 노즐에 삽입되어 노즐이 막히는 문제점이 있었다. 그러나, 본 발명은 와이퍼를 대체하여 잉크젯 헤드의 처리액 저장부에 음압과 양압을 작용시켜 잔류 처리액을 제거하기 때문에, 노즐에 이물질이 삽입되는 것을 방지할 수 있다.Conventionally, a blotting process was performed using a wiper, but the microfiber of the wiper was inserted into the nozzle of the treatment liquid discharge surface, thereby causing the nozzle to be clogged. However, the present invention replaces the wiper to apply negative pressure and positive pressure to the processing liquid storage portion of the inkjet head to remove residual processing liquid, thereby preventing foreign matter from being inserted into the nozzle.

또한, 소모품으로 사용되는 와이퍼(Wiper)를 대체하므로, 이에 따른 비용을 절감할 수 있다.In addition, since the wiper is used as a consumable, it can reduce the cost.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위 에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.The drawings described below are for illustrative purposes only and are not intended to limit the scope of the invention.

도 1은 잉크젯 방식 처리액 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the structure of the inkjet type process liquid application facility.

도 2는 도 1의 처리액 토출부의 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view of the processing liquid discharge part of FIG. 1. FIG.

도 3은 도 2의 제 1 헤드 세정 유닛의 평면도이다.3 is a plan view of the first head cleaning unit of FIG. 2.

도 4는 도 3의 제 1 헤드 세정 유닛의 측단면도이다.4 is a side cross-sectional view of the first head cleaning unit of FIG. 3.

도 5는 도 2의 제 2 헤드 세정 유닛의 측단면도이다.5 is a side cross-sectional view of the second head cleaning unit of FIG. 2.

도 6 및 도 7은 제 2 헤드 세정 유닛의 동작 상태를 보여주는 도면들이다.6 and 7 are views illustrating an operating state of the second head cleaning unit.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

200: 헤드 유닛 500: 제 1 헤드 세정 유닛200: head unit 500: first head cleaning unit

510: 제 1 처리조 520: 세정 롤러510: first treatment tank 520: cleaning roller

530: 회전 구동 부재 540: 롤러 블레이드530: rotary drive member 540: roller blade

600: 제 2 헤드 세정 유닛600: second head cleaning unit

Claims (13)

잉크젯 헤드의 액 토출면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,In the head cleaning unit for cleaning the liquid discharge surface of the inkjet head, 상기 액 토출면의 처리액과 접촉되도록 상기 액 토출면의 아래에 제공되는 세정 롤러; 및A cleaning roller provided below the liquid discharge surface to be in contact with the processing liquid of the liquid discharge surface; And 상기 세정 롤러를 회전시키는 회전 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 세정 유닛.And a rotation drive member for rotating the cleaning roller. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 제 1 세정 유체가 담기는 제 1 처리조를 더 포함하며,Further comprising a first treatment tank containing the first cleaning fluid, 상기 잉크젯 헤드는 상기 액 토출면이 상기 제 1 세정 유체에 잠기도록 상기 제 1 처리조로 반입되는 것을 특징으로 하는 헤드 세정 유닛.And the ink jet head is carried into the first processing tank so that the liquid discharge surface is immersed in the first cleaning fluid. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 잉크젯 헤드의 처리액 저장부에는 압력 조절 부재가 연결되며,A pressure regulating member is connected to the treatment liquid storage part of the inkjet head, 상기 압력 조절 부재는 상기 제 1 세정 유체가 상기 처리액 저장부로 유입되도록 상기 처리액 저장부에 음압을 작용시키고, 상기 처리액 저장부에 유입된 상기 제 1 세정 유체가 배출되도록 상기 처리액 저장부에 양압을 작용시키는 것을 특징으로 하는 헤드 세정 유닛.The pressure regulating member applies a negative pressure to the processing liquid storage unit so that the first cleaning fluid flows into the processing liquid storage unit, and the processing liquid storage unit to discharge the first cleaning fluid introduced into the processing liquid storage unit. The head cleaning unit, characterized in that to act on the positive pressure. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 1 처리조의 일측에 제공되며, 제 2 세정 유체가 담긴 제 2 처리조를 더 포함하되,It is provided on one side of the first treatment tank, and further comprising a second treatment tank containing a second cleaning fluid, 상기 세정 롤러는 외주면 하단부가 상기 제 2 세정 유체에 잠기도록 상기 제 2 처리조 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 헤드 세정 유닛.And the cleaning roller is installed in the second processing tank so that the lower end of the outer circumferential surface is immersed in the second cleaning fluid. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 세정 롤러의 외주면 상의 유체와 접촉되도록 상기 세정 롤러의 일측에 근접하게 배치되는 롤러 블레이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 세정 유닛.And a roller blade disposed close to one side of the cleaning roller so as to be in contact with the fluid on the outer circumferential surface of the cleaning roller. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 세정 롤러는 길이 방향이 상기 액 토출면에 제공된 복수 개의 노즐들의 배열 방향을 향하는 원통 형상으로 제공되고,The cleaning roller is provided in a cylindrical shape in the longitudinal direction toward the arrangement direction of the plurality of nozzles provided on the liquid discharge surface, 상기 롤러 블레이드는 상기 세정 롤러의 길이 방향으로 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 헤드 세정 유닛.The roller blade is a head cleaning unit, characterized in that extending in the longitudinal direction of the cleaning roller. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1 및 제 2 세정 유체는 솔벤트(Solvent)인 것을 특징으로 하는 헤드 세정 유닛.And the first and second cleaning fluids are solvents. 기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛;A substrate support unit on which the substrate is placed and which is linearly movable in the first direction; 상기 기판 지지 유닛이 이동되는 경로 상에 제공되며, 그리고 상기 기판상에 처리액을 토출하는 복수 개의 잉크젯 헤드를 가지는 헤드 유닛;A head unit provided on a path through which the substrate support unit is moved, and having a plurality of inkjet heads for discharging a processing liquid onto the substrate; 상기 헤드 유닛을 상기 제 1 방향 및 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 이동시키는 이동 유닛; 및A moving unit for moving the head unit in the first direction and in a second direction perpendicular to the first direction; And 상기 기판 지지 유닛의 일 측에 제공되며, 상기 잉크젯 헤드들의 액 토출면을 세정하는 헤드 세정 유닛을 포함하되,A head cleaning unit provided on one side of the substrate supporting unit and cleaning the liquid discharge surface of the inkjet heads, 상기 헤드 세정 유닛은,The head cleaning unit, 상기 잉크젯 헤드의 상기 액 토출면의 아래에 위치하도록 제공되며, 상기 액 토출면의 처리액과 접촉되는 세정 롤러; 및A cleaning roller provided to be positioned below the liquid discharge surface of the inkjet head and in contact with the processing liquid of the liquid discharge surface; And 상기 세정 롤러를 회전시키는 회전 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.And a rotation drive member for rotating the cleaning roller. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 헤드 세정 유닛은,The head cleaning unit, 제 1 세정 유체가 담기는 제 1 처리조를 더 포함하며,Further comprising a first treatment tank containing the first cleaning fluid, 상기 잉크젯 헤드는 상기 액 토출면이 상기 제 1 세정 유체에 잠기도록 상기 제 1 처리조로 반입되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.And the ink jet head is carried into the first processing tank so that the liquid discharge surface is immersed in the first cleaning fluid. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 헤드 유닛은 상기 잉크젯 헤드의 처리액 저장부에 연결되는 압력 조절 부재를 더 포함하되,The head unit further includes a pressure adjusting member connected to the processing liquid storage portion of the inkjet head, 상기 압력 조절 부재는 상기 제 1 세정 유체가 상기 처리액 저장부로 유입되도록 상기 처리액 저장부에 음압을 작용시키고, 상기 처리액 저장부에 유입된 상기 제 1 세정 유체가 배출되도록 상기 처리액 저장부에 양압을 작용시키는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.The pressure regulating member applies a negative pressure to the processing liquid storage unit so that the first cleaning fluid flows into the processing liquid storage unit, and the processing liquid storage unit to discharge the first cleaning fluid introduced into the processing liquid storage unit. A positive pressure is applied to the processing liquid discharge device. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 헤드 세정 유닛은,The head cleaning unit, 상기 제 1 처리조의 일측에 제공되며, 제 2 세정 유체가 담긴 제 2 처리조를 더 포함하되,It is provided on one side of the first treatment tank, and further comprising a second treatment tank containing a second cleaning fluid, 상기 세정 롤러는 외주면 하단부가 상기 제 2 세정 유체에 잠기도록 상기 제 2 처리조 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치..And the cleaning roller is provided in the second processing tank so that the lower end of the outer circumferential surface is immersed in the second cleaning fluid. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 세정 롤러의 외주면 상의 유체와 접촉되도록 상기 세정 롤러의 일측에 근접하게 배치되는 롤러 블레이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.And a roller blade disposed close to one side of the cleaning roller so as to be in contact with the fluid on the outer circumferential surface of the cleaning roller. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 세정 롤러는 길이 방향이 상기 액 토출면에 제공된 복수 개의 노즐들의 배열 방향을 향하는 원통 형상으로 제공되고,The cleaning roller is provided in a cylindrical shape in the longitudinal direction toward the arrangement direction of the plurality of nozzles provided on the liquid discharge surface, 상기 롤러 블레이드는 상기 세정 롤러의 길이 방향으로 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 처리액 토출 장치.And the roller blade extends in the longitudinal direction of the cleaning roller.
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