KR20100130548A - 표시 장치 - Google Patents

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KR20100130548A
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tft
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준 고또
다까노리 나까야마
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가부시키가이샤 히타치 디스프레이즈
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Abstract

마더 TFT 기판으로부터의 TFT 기판의 취득 매수를 줄이지 않고, 또한 TFT 기판의 외형을 크게 하지 않고, TFT 기판의 상태에서의 검사를 가능하게 한다. 액정 표시 장치를 구동하는 단자의 외측에 검사용 단자(101)를 형성하고, 검사용 배선(102)을 그 TFT 기판(100)의 하측에 배치된 TFT 기판(100)에 형성한다. 검사용 배선(102)이 형성된 영역은, 하측의 TFT 기판(100)의 단부와 표시 영역(10)의 사이의 시일재 등이 형성된 스페이스이므로, TFT 기판(100)을 실질적으로 크게 하는 일은 없다. 또한, 검사용 배선 영역(110)을 별도 형성하여 이 부분을 버린다고 하는 일이 없으므로, 1매의 마더 TFT 기판으로부터 취득할 수 있는 TFT 기판(100)의 매수는 감소하지 않는다.

Description

표시 장치{DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치에 관한 것으로, 특히 제조 공정의 도중에, 기판에서의 배선 혹은 박막 트랜지스터의 검사를 가능하게 하여, 제조 수율을 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치에서는 화소 전극 및 박막 트랜지스터(TFT) 등이 매트릭스 형상으로 형성된 TFT 기판과, TFT 기판에 대향하여, TFT 기판의 화소 전극과 대응하는 장소에 컬러 필터 등이 형성된 대향 기판이 설치되고, TFT 기판과 대향 기판의 사이에 액정이 협지되어 있다. 그리고 액정 분자에 의한 광의 투과율을 화소마다 제어함으로써 화상을 형성하고 있다.
액정 표시 장치에서는 제조의 효율을 향상시키기 위해, 마더 TFT 기판에 복수의 TFT 기판을 형성한다. 또한, 마더 대향 기판에 복수의 대향 기판을 형성하고, 마더 TFT 기판과 마더 대향 기판을 시일재로 접착함으로써 복수의 액정 셀을 포함하는 마더 기판을 형성한다. 그리고, 복수의 액정 셀이 마더 기판으로부터 개개의 액정 셀을 스크라이빙법 등에 의해 분리한다.
TFT 기판에는, 다수의 화소마다 TFT와 화소 전극이 형성되고, 또한, 다수의 주사선, 영상 신호선 등이 형성되어 있다. 따라서, TFT, 화소 전극, 각종의 배선의 단선, 혹은 쇼트 등의 불량이 생기기 쉽다. 이와 같은 불량은, 마더 TFT 기판의 상태에서 파악할 수 있으면, 불량으로 되어 있는 셀에 대해서는, 그 후의 프로세스를 부가할 필요가 없다. 또한, 마더 TFT 기판에 많은 불량의 TFT 기판이 존재하면, 그 마더 TFT 기판 자체를 후공정으로 보낼 필요가 없다.
「특허 문헌 1」에는, TFT 기판의 상태에서, TFT 기판의 결함을 검사하는 기술이 기재되어 있다. 즉, 「특허 문헌 1」에는, 게이트 배선에 대해, 2개의 검사용 쇼트 바를 이용하고, 영상 신호선에 대해 3개의 검사 쇼트 바를 이용하고, 각 쇼트 바에 대해 다른 검사용 신호를 입력함으로써 전체 화소의 결함의 유무를 검사할 수 있다고 하는 내용이 기재되어 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2002-341377호 공보
「특허 문헌 1」에 기재된 기술에서는, 검사용의 배선으로서 주사선용으로 2개, 영상 신호선용으로 3개 사용하고 있다. 즉, TFT 기판의 상태에서 검사를 행하고자 한다면, 이들의 검사용 배선의 영역을 마더 TFT 기판에 형성해 둘 필요가 있다. 검사의 내용에도 의하지만, 검사용 배선이 많아지고, 검사 배선용의 영역이 커지면, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판을 형성할 수 있는 매수가 적어지고, 이것은, 액정 표시 패널의 제조 코스트의 상승을 가져온다.
액정 표시 장치에는, TFT를 poly-Si로 형성하는 타입과 a-Si로 형성하는 타입이 있다. TFT를 poly-Si로 형성하는 타입은 LTPS(Low Temperature poly-Si) 타입의 TFT라고 부르고 있다. LTPS에서는, TFT 기판에서, 표시 영역 밖에 구동 회로를 형성할 수 있으므로, 이 구동 회로를 이용하여 화소 결함이나 배선의 단선, 쇼트 등의 결함을 검출할 수 있다. 구체적으로는, LTPS 타입의 TFT에서는, 화소에 형성된 축적 용량의 크기를 측정함으로써, 화소 결함, 배선 결함을 검출하고 있다. 따라서, LTPS 타입의 TFT에서는, 검사용 배선 영역의 문제가 생기지 않고 TFT 기판의 상태에서 결함의 검사를 행할 수 있다.
한편, TFT에 a-Si를 이용한 경우에도, TV 등의 대형의 액정 표시 패널의 경우는, 각 화소가 크므로, 여러 가지의 검사용의 배선이나 검사용의 단자를 설치하지 않아도, 화소나 배선의 결함을 검사하는 것이 가능하다. 즉, 대형의 TFT 기판에서는, 전체 화소를 ON 상태로 한 후에, 예를 들면, 표시 영역에 전자 빔을 주사하고, 각 화소의 표면의 전위를 검사함으로써 화소나 배선의 결함을 검출하는 것이 행해지고 있다. 다른 방법은, 전자 빔을 주사하는 대신에, TFT 기판의 표시 영역의 표면에 액정 팩을 배치함으로써 화소 결함을 검출하는 것이 행해지고 있다.
그러나, a-Si 타입의 TFT를 이용한 액정 표시 패널에서, 중소형의 액정 표시 패널의 경우는, 각 화소의 사이즈가 작으므로, 상기한 바와 같은 대형의 액정 표시 패널에서 이용하는 검사 방법을 적용할 수 없다. 그러면, TFT 기판의 상태에서 검사하기 위한 배선이나 단자가 필요하게 된다. 이와 같은 검사를 위한 배선이나 단자는, TFT 기판의 상태에서 검사를 하지 않으면, 필요 없는 것이다. 검사를 위한 배선이나 단자의 면적이 커지면, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판의 취득 매수가 적어진다고 하는 문제가 생긴다.
본 발명의 과제는, 이상과 같은 문제점을 해결하여, TFT 기판의 상태에서 검사를 가능하게 함과 동시에, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판의 취득 매수를 감소시키지 않는 구성을 실현하는 것이다.
본 발명은 상기 문제를 극복하는 것이며, 구체적인 수단은 다음과 같다.
(1) 화소 전극과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열되고, 공통 배선을 갖는 표시 영역과, 단자부를 갖는 TFT 기판과, 상기 TFT 기판에 대향하여 배치된 대향 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 액정 표시 장치로서, 상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에는, 상기 주사선, 상기 영상 신호선, 및, 상기 공통 배선과는 접속하고 있지 않은 복수의 배선이, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
(2) 상기 복수의 배선은 플로트인 것을 특징으로 하는 (1)에 기재된 액정 표시 장치.
(3) 상기 복수의 배선은 다른 액정 표시 장치의 TFT 기판의 검사에 이용된 것인 것을 특징으로 하는 (1)에 기재된 액정 표시 장치.
(4) 화소 전극과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열된 표시 영역과, 단자부를 갖는 TFT 기판과, 상기 TFT 기판에 대향하여 배치된 대향 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 액정 표시 장치로서, 상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에서, 상기 주사선 또는 상기 영상 신호선과는 접속하고 있지 않은 복수의 배선이 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되고, 상기 복수의 배선은 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 상기 표시 영역과의 사이에 형성되어 있고, 상기 복수의 배선으로부터 상기 대향하는 변까지 연장되는 인출 배선을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
(5) 상기 복수의 배선은 상기 시일재의 하층에 절연막을 개재하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 (4)에 기재된 액정 표시 장치.
(6) 화소 전극과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열되고, 공통 배선을 갖는 표시 영역과, 단자부를 갖는 TFT 기판과, 상기 TFT 기판에 대향하여 배치된 대향 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 액정 표시 장치로서, 상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 상기 검사용 단자 사이에는, 상기 검사용 단자와 접속한 제1 복수의 배선이 상기 변과 평행하게 배치되고, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에는, 상기 주사선, 상기 영상 신호선, 및, 상기 공통 배선과는 접속하고 있지 않은 제2 복수의 배선이 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
(7) 상기 제1 복수의 배선과 상기 제2 복수의 배선은 상기 TFT 기판의 검사에 사용된 것인 것을 특징으로 하는 (6)에 기재된 액정 표시 장치.
(8) 유기 EL 발광층과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열된 표시 영역과, 단자부를 갖는 소자 기판과, 상기 소자 기판에 대향하여 배치된 밀봉 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 유기 EL 표시 장치로서, 상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에는, 상기 주사선 또는 상기 영상 신호선과는 접속하고 있지 않은 복수의 배선이, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 표시 장치.
본 발명에 따르면, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판의 취득수를 감소시키지 않고, 또한, 개개의 TFT 기판의 외형을 크게 하지 않고, 마더 TFT 기판의 상태에서, 쇼트, 단선 등의 결함을 검사할 수 있다. 따라서, 결함을 갖는 기판에 대해서는, 후공정에서 가공을 가할 필요가 없으므로, 액정 표시 장치의 제조 효율을 향상시킬 수 있다. 유기 EL 표시 장치의 소자 기판에서도 마찬가지이다.
도 1은 실시예 1의 액정 표시 장치의 TFT 기판에서의 배선도.
도 2는 실시예 1의 마더 TFT 기판에서의 TFT 기판과 검사용 배선의 배치도.
도 3은 실시예 1의 마더 TFT 기판에서의 TFT 기판과 검사 배선 영역의 배치도.
도 4는 실시예 2의 액정 표시 장치의 TFT 기판에서의 배선도.
도 5는 실시예 1의 마더 TFT 기판에서의 TFT 기판과 검사 배선 영역의 배치도.
도 6은 본 발명이 적용되는 액정 표시 장치의 평면도.
도 7은 본 발명을 적용하지 않는 액정 표시 장치의 TFT 기판에서의 배선도.
도 8은 본 발명을 적용하지 않는 마더 TFT 기판에서의 TFT 기판과 검사용 배선의 배치도.
도 9는 본 발명을 적용하지 않는 마더 TFT 기판에서의 TFT 기판과 검사 배선 영역의 배치도.
도 10은 TFT 기판 검사용 배선을 갖지 않는 경우의 마더 TFT 기판에서의 TFT 기판의 배치도.
본 발명의 구체적인 실시예를 설명하기 전에, 본 발명이 적용되는 액정 표시 장치, 및, 본 발명을 적용하지 않는 경우의 문제점에 대해서 설명한다.
도 6은 본 발명이 적용되는 액정 표시 장치의 예이다. 도 6은 예를 들면, DSC(Digital Still Camera) 등에 사용되는 액정 표시 장치로서, 소형이고, 또한, 표시 영역이 가로로 길고, 단자부가 횡방향으로 배치되어 있는 타입의 액정 표시 장치이다. 도 6은, 본 발명이 적용되는 액정 표시 장치의 예이며, 이 외에, 예를 들면, 휴대 전화 등에 사용되는 표시 영역이 세로로 길고, 단자부가 아래 방향으로 형성되어 있는 액정 표시 장치에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있는 것은 물론이다.
도 6에서, TFT 기판(100) 위에 대향 기판(200)이 설치되어 있다. TFT 기판(100)과 대향 기판(200)의 사이에 액정층이 협지되어 있다. TFT 기판(100)과 대향 기판(200)과는 주변에 형성된 시일재(15)에 의해 접착하고 있다.
도 6에서는, 액정 표시 장치의 내부에 액정을 적하(떨어뜨림)함으로써 봉입하는 방식이므로, 액정의 봉입 구멍은 형성되어 있지 않다. TFT 기판(100)은 대향 기판(200)보다도 크게 형성되어 있고, TFT 기판(100)이 대향 기판(200)보다도 커져 있는 부분에는, 액정 표시 패널에 전원, 영상 신호, 주사 신호 등을 공급하기 위한 단자부(150)가 형성되어 있다.
또한, 단자부(150)에는, 주사선, 영상 신호선 등을 구동하기 위한 IC 드라이버(50)가 설치되어 있다. IC 드라이버(50)는 3개의 영역으로 분리되어 있고, 중앙에는 영상 신호 구동 회로(52)가 설치되고, 양옆에는 주사 신호 구동 회로(51)가 설치되어 있다.
도 6의 표시 영역(10)에서, 횡방향으로는 도시하지 않은 주사선이 연장되고, 종방향으로 배열되어 있다. 또한, 종방향으로는 도시하지 않은 영상 신호선이 연장되고, 횡방향으로 배열되어 있다. 주사선은 주사선 인출선(31)에 의해, IC 드라이버(50)의 주사 신호 구동 회로(51)와 접속하고 있다. 도 6에서, 표시 영역(10)을 액정 표시 장치의 중앙에 배치하기 위해, 영상 신호선 인출선(41)은 표시 영역(10)의 상하에 배치되고, 이 때문에, IC 드라이버(50)에는, 영상 신호 구동 회로(51)가 양옆에 설치되어 있다. 한편 주사선과 IC 드라이버(50)를 접속하는 주사 신호선 인출선(31)은 화면 중앙에 모아져 있다. 주사선 인출선(31)은 IC 드라이버(50)의 중앙부에 배치되어 있는 주사 신호 회로(51)와 접속한다.
도 6에서, 표시 영역(10)의 단부로부터 시일재(15)의 내측 단부까지의 간격은 1㎜ 정도이며, 시일재(15)의 폭은, 작은 경우, 1㎜ 정도이다. 따라서, 표시 영역(10)의 단부로부터 시일재(15)의 외측 단부까지의 거리는 2㎜ 정도이다. 또한, 표시 영역(10)의 단부로부터 시일재(15)의 외측 단부까지의 영역은 액연 영역이라고 부르고 있다.
도 6에서, 단자부(150)에는, IC 드라이버(50)나 액정 표시 장치를 구동하는 구동용 단자 등 외에, 검사용 단자(101)가 후에 설명하는 검사용 스위치를 개재하여, 구동용 단자와 접속하고 있다. 또한, 검사용 단자(101)는, 도 6에 도시한 액정 표시 장치의 외측에 형성되는 검사용 배선 및 검사용 외부 단자와 접속하고 있다. 이 검사용 단자(101)는 TFT 기판의 상태에서 액정 표시 패널의 검사를 가능하게 하기 위함이다.
도 7은, 도 6에서의 TFT 기판(100)의 배선을 도시하는 평면도이다. 도 8은 도 7에 도시한 TFT 기판(100)이 마더 TFT 기판(1000)에 배열된 상태를 도시하는 평면도이다. 도 7은 도 6에 대해 90도 회전한 상태로 기재되어 있다. 도 6과 같이, 제품의 상태에서는 횡방향이어도, 제조 공정에서는, 도 8과 같이 종방향의 쪽이 만들기 쉬운 경우도 있다. 또한, 본 발명의 설명도 액정 표시 패널을 마더 TFT 기판(1000)에 종방향 배치한 쪽이 알기 쉬우므로, 이와 같은 배치로 하고 있다.
도 7은 TFT 기판(100)이 마더 TFT 기판(1000)으로부터 개개로 분리되기 전의 상태를 도시하는 평면도이다. 도 7은, 배선이나 단자부(150)의 상태를 알기 쉽게 하기 위해, 이들의 부분을 확대하여 기재하고 있다. 도 7에서, 절단선(120)의 내측이 개개의 TFT 기판(100)으로 된다.
TFT 기판(100)의 내측에는, 표시 영역(10)이 형성되어 있고, 표시 영역(10)에는 영상 신호선(40)이 횡방향으로 연장되고, 종방향으로 배열되어 있다. 또한, 주사선(30)이 종방향으로 연장되고, 횡방향으로 배열되어 있다. 도 6과는 종횡이 반대로 되어 있다. 영상 신호선(40)은 영상 신호선 인출선(41)을 개재하여 영상 신호선용 단자(401)와 접속하고 있다. 주사선(30)은 주사선 인출선(31)을 개재하여 주사선용 단자(301)와 접속하고 있다.
도 7에서, 횡방향으로 연장되는 영상 신호선(40)과 종방향으로 연장되는 주사선(30)으로 둘러싸여진 영역이 화소로 되어 있다. 도 7에 도시한 바와 같이, 화소는 TFT와 액정을 나타내는 용량으로 구성되어 있다. 화소 중의 TFT의 드레인 전극은 영상 신호선(40)과 접속하고, 소스 전극은 화소 전극과 접속한다. 액정층은, 화소 전극과 공통 전극 사이에 협지되고, 도 7에서는, 용량으로서 도시되어 있다.
도 7에서, 주사선용 단자(301)는 중앙부에 배치되고, 영상 신호선용 단자(401)는 주사선용 단자(301)의 좌우로 분류되어 배치되어 있다. 주사선용 단자군(301)과 영상 신호선용 단자군(401)과의 사이에는 공통 배선(60)이 형성되어 있다. 공통 배선(60)은, 표시 영역(10) 및 단자를 둘러싸고 TFT 기판(100)의 주변을 주회(周回)하고 있다. TFT 기판(100) 내를 실드하여, 전위를 안정시키기 위해서이다. 공통 배선용 단자(601)는 공통 배선(60)의 바로 외측에 형성되어 있다.
주사선용 단자(301) 및 영상 신호선용 단자(401)의 하측에는, 검사용 단자(101)가 배치되어 있다. 검사용 단자(101)의 검사 항목은 한정되어 있으므로, 영상 신호선용 단자(401) 혹은 주사선용 단자(301)와 같이 많은 단자는 필요로 하지 않는다. 도 6에서는, 검사용 단자(101)는 12개 형성되어 있다. 검사용 단자(101)는, 검사용 스위치(103)에 의해 주사선용 단자(301) 혹은 영상 신호선용 단자(401)로 분리되어 있다.
검사용 스위치(103)는, 도 7에 도시한 바와 같이, TFT에 의해 형성되어 있다. 검사용 단자(101)의 가장 우측의 단자 TG는 검사용 스위치(103)의 TFT의 게이트 배선과 접속하고 있다. 따라서, 단자 TG에 인가하는 전압에 의해 검사용 스위치(103)를 ON, OFF시킬 수 있다. 또한, 단자 TG로부터 공급되는 게이트 전압은, 모든 주사선용 단자(301) 및 영상 신호선용 단자(401)와, 검사용 단자(101)와의 사이의 검사용 스위치(103)에 대해 동시에 유효로 된다.
도 7에서, 검사용 단자(101)는 12개 있지만, 1개는 검사용 스위치(103)의 게이트 전극과 접속하는 단자 TG이며, 4개는 주사선용 단자(301)와 접속하고, 6개는 영상 신호선용 단자(401)와 접속하고, 1개는 공통 배선(60)과 접속하고 있다. 도 6의 검사용 단자(101)를 TFT 기판(100)의 제조 공정의 단계에서 사용하는 것은, TFT 기판(100) 1개씩 검사로 되므로, 능률이 나쁘다. 따라서, 각 검사용 단자(101)는, TFT 기판(100)의 외측에 형성되는 검사용 배선(102)에 접속하고, 검사용 배선(102)으로부터 횡방향으로 배열되어 있는 TFT 기판(100) 전부를 동시에 검사한다. 또한, 도 7에서, TFT 기판(100)은 절단선(120)을 따라서 스크라이빙 등에 의해, 마더 TFT 기판(1000)으로부터 개개의 TFT 기판(100)으로 분리된다.
도 8은 도 7에 도시한 TFT 기판(100)이 1매의 마더 TFT 기판(1000)에 형성되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다. 도 8의 우측 아래에는, 마더 TFT 기판(1000)의 방향을 확인하기 위한 오리엔테이션 플랫(1100)이 형성되어 있다. 도 8에서, TFT 기판(100) 내의 배선은 생략되어 있다. TFT 기판(100) 내의 검사용 단자(101)로서 12개 표시되어 있고, D1∼D6이 영상 신호선(40)과 접속하는 검사용 단자(101)이며, G1∼G3은 주사선(30)과 접속하는 검사용 단자(101)이며, COM은 공통 배선(60)과 접속하는 검사용 단자(101)이며, TG는 검사용 스위치(103)의 게이트와 접속하는 검사용 단자(101)이다.
도 8에 도시한 바와 같이, 마더 TFT 기판(1000)에는, TFT 기판(100)과, TFT 기판(100)을 검사하기 위한 검사 배선 영역(110)이 형성되어 있다. 검사 배선 영역(110) 내에 형성되어 있는 검사용 배선(102)의 수는 9개이다. 마더 TFT 기판(1000)의 양단에는 검사용 배선(102)에 전압을 공급하기 위한 검사용 외부 단자(104)가 형성되어 있다. TFT 기판(100)의 검사는 검사용 외부 단자(104)를 이용하여 행해진다.
마더 TFT 기판(1000)이 완성되고, 별도 형성된 마더 TFT 기판(1000)과 접합되어 마더 기판이 완성된 후, 절단선(120)을 따라서 개개의 액정 셀로 분리된다. 이 때, 검사 배선 영역(110)은 버려지게 된다. 즉, 검사 배선 영역(110)을 형성함으로써, 마더 TFT 기판(1000) 1매당의 TFT 기판(100)의 취득 매수가 줄어들게 된다.
도 9에 이 모양을 도시한다. 도 9에서, 마더 TFT 기판(1000)에는 횡방향으로 9개, 종방향으로 A∼F까지의 7개의 TFT 기판(100)이 형성되어 있다. 따라서, 1매의 마더 TFT 기판(1000)으로부터 63개의 TFT 기판(100)을 취득할 수 있다. 상측 TFT 기판(100)과 하측 TFT 기판(100) 사이에는 검사 배선 영역(110)이 형성되어 있다. 예를 들면, 1AT에는 TFT 기판(1A)의 검사용 배선(102)이 형성되고, 1BT에는 TFT 기판(1B)의 검사용 배선(102)이 형성되어 있다.
한편, 마더 TFT 기판(1000)에서의 TFT 기판(100)의 검사를 행하지 않는 경우는, 검사용 배선(102)은 필요 없다. 따라서, 도 10에 도시한 바와 같이 보다 많은 TFT 기판(100)을 1매의 마더 TFT 기판(1000)으로부터 취득할 수 있다. 예를 들면, 도 10에서, TFT 기판(100)의 크기가 도 9와 동일하다고 한 경우, 1매의 마더 TFT 기판(1000)으로부터 취득할 수 있는 TFT 기판(100)의 수는 72매로 된다.
이하의 실시예에 나타낸 본 발명에 따르면, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판(100)의 취득 매수를 줄이지 않고, 마더 TFT 기판의 상태에서 TFT 기판(100)의 검사를 가능하게 할 수 있다.
<실시예 1>
도 1은, 본 발명의 액정 표시 장치에서의 TFT 기판(100)의 평면도이다. 도 1은 모식도이며, 단자부(150) 및 검사 배선 영역(110)은 확대하여 기재되어 있다. 도 1에서, 도 7과 동일한 구성은 설명을 생략한다. 도 1도 도 7과 마찬가지로, 액정 표시 장치로 하여 제품으로 된 경우는, 도 6에 도시한 바와 같이 횡방향으로 사용된다. 도 2는 마더 TFT 기판(1000)에 도 1에 도시한 TFT 기판(100)이 배치된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 1에서, 절단선(120)으로 둘러싸여진 TFT 기판(100)의 아래 방향에는 그 TFT 기판(100)용의 검사용 배선(102)이 형성되어 있다. 즉, 검사 배선 영역(110)은 하나 아래의 TFT 기판(100)에 형성되어 있다. 또한, 도 1에서, 그 TFT 기판(100)의 상측에는, 하나 위에 형성되어 있는 TFT 기판(100)의 검사용 배선(102)이 형성되어 있다. 즉, 본 실시예에서는, 검사 배선 영역(110)은 그 TFT 기판(100)에 형성되는 것이 아니라, 하나 아래의 TFT 기판(100)에 형성되어 있다.
TFT 기판(100)에서의 검사는 마더 TFT 기판(1000)의 상태에서 검사되므로, 검사용 배선(102)은 도통하고 있는 한 검사에 지장은 없다. 한편, 마더 기판이 완성된 후, 개개의 TFT 기판(100)은 마더 TFT 기판(1000)으로부터 절단선(120)을 따라서 분리된다. 그러면, 검사용 배선(102)은 절단선(120)에 의해 분단되어 기능하지 않게 되지만, 이미, 검사용 배선(102)은 역할을 끝냈으므로, 문제는 없다. 개개의 액정 셀의 검사를 하는 경우는, TFT 기판(100)의 단자부(150)에 형성된 검사용 단자(101)를 사용하면 된다.
또한, 개개의 TFT 기판(100)으로 절단된 후, 그 기판에 남은 다른 TFT 기판(100)을 검사하기 위한 검사용 배선(102)은, 일반적으로는, 그 TFT 기판(100)의 주사선(30) 혹은 영상 신호선(40)과는 접속하고 있지 않고, 플로트로 되어 있다. 또한, 검사용 배선(102)은, TFT 기판 상에 형성되는 공통 배선(60)과도 접속하지 않고 있다. 또한, TFT 기판에는 공통 배선을 형성하지 않는 구성도 있지만, 그 경우는, 검사용 배선은 공통 배선에는 접속되지 않는다. 또한, 검사용 배선(102)으로부터는, 상기 다른 TFT 기판과의 접속을 얻기 위해 인출 배선이 TFT 기판 단부를 향하여 설치되어 있다. 이 인출 배선은, 검사용 단자와 교차하기 때문에, 검사용 배선과는 다른 층에 설치된 도전층에 의해 형성된다.
도 6에 도시한 본 발명이 사용되는 액정 표시 장치에서, 우측의 짧은 변이 도 1에 도시한 TFT 기판(100)의 상측의 짧은 변에 상당한다. 도 6에서, 표시 영역(10)의 상하의 시일부에는, 주사선 인출선(31)이 연장되어 있고, 스페이스가 한정되어 있으므로, 시일재(15) 밑에까지 주사선 인출선(31)이 형성되어 있다. 그러나, 도 6에서의 우측의 짧은 변에는 주사선 인출선(31)은 존재하고 있지 않다.
본 발명에서는, 도 6에서의 우측의 짧은 변에서의 시일재(15)의 하부에 검사용 배선(102)을 배치함으로써, 검사용 배선(102)의 스페이스를 확보하고 있다. 즉, 종래는 사용되고 있지 않았던, 도 6에서의 우측의 짧은 변의 시일재(15)의 하측을 이용함으로써, TFT 기판(100)의 외형을 크게 하지 않고, 검사용 배선(102)을 형성할 수 있다. 또한, 도 6에서의 우측의 짧은 변은 도 1에서의 TFT 기판(100)의 상측의 짧은 변이다.
도 1에서, 검사 배선 영역(110)은 과장되어 크게 표시하고 있지만, 실제로는, 3㎜ 이하로 할 수 있다. 도 6에서, 표시 영역(10)의 외측 단부로부터 TFT 기판(100)의 단부까지의 액연 영역은 2㎜ 이상이므로, 검사 배선 영역(110)은, 마더 TFT 기판(1000)에서, 하나 하측에 배치된 TFT 기판(100)의 액연부에 거의 수용할 수 있다.
도 2는, 이와 같이 TFT 기판(100)을 배치한 마더 TFT 기판(1000)의 평면도이다. 도 2는, 모식도이며, 검사용 단자(101), 검사용 배선(102), 검사용 외부 단자(104) 등을 크게 표시하고, TFT 기판(100)의 표시 영역(10) 및 구동 배선 등은 생략하고 있다. 도 2에서, 도 8과 마찬가지로, TFT 기판(100) 내의 검사용 단자(101)로서 12개 표시되어 있고, D1∼D6이 영상 신호선(40)과 접속하는 검사용 단자(101)이며, G1∼G3은 주사선(30)과 접속하는 검사용 단자(101)이며, COM은 공통 배선(60)과 접속하는 검사용 단자(101)이며, TG는 검사용 스위치(103)의 게이트와 접속하는 검사용 단자(101)이다.
도 2에서, 특정한 TFT 기판(100)을 검사하기 위한 검사 배선 영역(110)은, 하나 하측에 배치된 TFT 기판(100)의 상측에 형성되어 있다. 이 부분은 하나 하측의 TFT 기판(100)에서의 액연부에 상당하는 부분이다. 도 2에서, 가장 아래의 행에 배열되어 있는 TFT 기판(100)의 검사용 배선(102)은 TFT 기판(100) 밖에 형성된다. 검사 배선 영역(110) 내에 형성되어 있는 검사용 배선(102)의 수는 9개이다. 마더 TFT 기판(1000)의 양단에는 검사용 배선(102)에 전압을 공급하기 위한 검사용 외부 단자(104)가 형성되어 있다. TFT 기판(100)의 검사는 검사용 외부 단자(104)를 이용하여 행해진다.
즉, 본 발명에서는, 검사용 배선(102)은 하나 하측의 TFT 기판(100)에 형성되므로, 검사용 배선(102) 영역을 버릴 필요가 없고, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판(100)의 취득 매수를 줄이지 않아도 된다. 또한, 하나 위의 TFT 기판(100)의 검사용 배선(102)은 그 TFT 기판(100)의 액연부에 형성되므로, TFT 기판(100)의 사이즈가 커지는 일도 없다.
도 3은, 도 2와 같이 TFT 기판(100)을 배치한 경우의 마더 TFT 기판(1000)에서의 TFT 기판(100)과 검사 배선 영역(110)을 표시한 것이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 검사 배선 영역(110)은 가장 아래의 행에 배치되어 있는 TFT 기판(100)을 제외하고, 하측의 TFT 기판(100)에 형성되어 있으므로, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판(100)의 취득 매수는 도 10에 도시한 TFT 기판(100)의 검사용 배선(102)이 없는 경우와 동일한 매수로 된다.
<실시예 2>
실시예 1은, 마더 TFT 기판(1000)에서, 검사용 배선(102)을 하나 아래의 TFT 기판(100)에 모두 형성하는 구성이다. 그러나, 하나 아래의 TFT 기판(100)의 대응하는 액연부가 모든 검사용 배선(102)을 수용할 수 없는 경우가 있다. 이와 같은 경우는, 검사용 배선(102)의 일부를 그 TFT 기판(100)의 절단선(120) 위 혹은 근처에 형성하여도 된다.
TFT 기판(100)을 마더 TFT 기판(1000)으로부터 분리할 때는, 예를 들면, 스크라이빙을 행하고, 그 후, 충격을 가하여 글래스 기판을 파단한다. 이와 같은 경우, 시일재(15)에 아주 가까운 곳을 스크라이브하고, 충격 파단(이후 스크라이빙이라고 함)하고자 하면, 시일재(15)에 의한 응력에 의해 파단면이 불규칙하게 된다. 따라서, 절단선(120) 부근에는 아무것도 형성하지 못하고, 데드 스페이스로 된다. 이 데드 스페이스는 그 TFT 기판(100)의 단자부(150) 단부에도 생겼다.
본 실시예에서는, 이 데드 스페이스로 되어 있는 스크라이빙 부분에 검사용 배선(102)을 배치한다. 본 실시예를 도 4에 도시한다. 도 4는 마더 TFT 기판(1000)에 형성되어 있는 TFT 기판(100)의 평면도이다. 도 4에서, 검사용 배선(102)은 검사용 단자(101)의 가까운 곳에 배치되어 있다. 그리고, 9개의 검사용 배선(102) 중, 4개는 그 TFT 기판(100)에 수용되어 있고, 나머지 5개의 검사용 배선(102)은 바로 아래의 TFT 기판(100)에 수용되어 있다.
검사용 배선(102)의 일부는 절단선(120) 즉, 스크라이빙 영역에 배치되어 있다. 이 영역에 배치된 검사용 배선(102)은 스크라이빙에 의해 소실되지만, 스크라이빙 시에는, 이미 TFT 기판(100)의 검사는 종료되어 있으므로, 문제는 없다.
도 4에서, 상기 TFT 기판(100)의 상방에는, 그 TFT 기판(100)의 하나 위의 TFT 기판(100)의 검사용 배선(102) 중의 5개분이, 그 TFT 기판(100)의 하방에는, 그 TFT 기판(100)의 검사용 배선(102) 중의 4개분이 배치되어 있다. 도 4에서, 검사용 배선(102)의 위치 및 TFT 기판(100)의 외형을 결정하는 절단선(120)을 제외하고는, 도 1과 마찬가지이므로, 설명을 생략한다.
개개의 TFT 기판(100)으로 절단된 후, 그 TFT 기판(100)에 남은 TFT 기판(100) 검사용 배선(102)은, 검사용 스위치(103)를 개재하여 검사 단자와 접속하고 있다. 그러나, 검사용 스위치(103)는 이 상태에서는 OFF로 되어 있으므로, 검사용 배선(102)에 의한 영향은 없다. 한편, 그 TFT 기판(100)에 남은, 다른 TFT 기판(100)을 검사하기 위한 검사용 배선(102)은, 주사선(30) 혹은 영상 신호선(40) 등과는 접속하고 있지 않고, 일반적으로는 플로트로 되어 있다.
도 5는, 본 실시예에서의 마더 TFT 기판(1000)에서의 TFT 기판(100)과 검사 배선 영역(110)의 배치를 도시하는 것이다. 그 TFT 기판(100)의 검사 배선 영역(110)은, 그 검사 배선 영역(110)과, 하나 아래의 TFT 기판(100)과의 양방에 배치되어 있다. 예를 들면, 도 5에서, TFT 기판(1A)의 검사 배선 영역(1AT)은, TFT 기판(1A)의 하측과 TFT 기판(1B)의 상측에 배치되어 있다. 도 5에서 1매의 마더 TFT 기판(1000)으로부터 취득할 수 있는 TFT 기판(100)의 수는 TFT 기판(100) 검사용의 검사용 배선(102)이 없는 경우와 마찬가지이다.
이와 같이, 본 실시예에 따르면, 검사용 배선(102)의 배치를 스크라이빙 영역에도 형성하고 있으므로, TFT 기판(100)에서의 스페이스를 보다 효율적으로 이용할 수 있다. 따라서, TFT 기판(100)의 외형을 크게 하지 않고, 또한, 마더 TFT 기판 1매당의 TFT 기판(100)의 취득수를, TFT 기판 검사를 행하지 않는 경우와 마찬가지의 수로 할 수 있다.
<실시예 3>
실시예 1 및 실시예 2에서는, 액정 표시 장치에 대해서 설명하였다. 본 발명은, 액정 표시 장치뿐만 아니라, 유기 EL 표시 장치에도 적용할 수 있다. 유기 EL 표시 장치는, 소자 기판과 밀봉 기판으로 구성되어 있다. 소자 기판의 표시 영역에는, 구동용 TFT와 스위치용 TFT, 및 유기 EL 발광층으로 이루어지는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되어 있다. 또한, 주사선이 제1 방향으로 연장되고, 제1 방향과 직각인 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열되어 있다. 또한 유기 EL 발광층에 전류를 공급하는 전원선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열되어 있다.
소자 기판에 형성된 유기 EL 발광층은, 수분에 의해 특성이 열화되므로, 유기 EL층이 형성된 소자 기판의 면을 밀봉 기판에 의해 밀봉하여, 보호한다. 밀봉 기판의 주변에는 밀봉재가 형성되고, 밀봉재에 의해 소자 기판과 밀봉 기판을 접착한다.
소자 기판은 밀봉 기판보다도 크게 형성되고, 소자 기판이 밀봉 기판보다도 커져 있는 부분은 단자부로 되어 있다. 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되어 있다. 이와 같이, 유기 EL 표시 장치의 소자 기판은 액정 표시 장치에서의 TFT 기판과 유사한 구성으로 되어 있다.
제조의 능률을 향상시키기 위해, 유기 EL 표시 장치에서도 마더 소자 기판에 복수의 소자 기판을 형성하고, 마더 밀봉 기판에 복수의 밀봉 기판을 형성하는 것도 액정 표시 장치의 경우와 마찬가지이다. 따라서, 마더 소자 기판의 상태에서, 소자 기판에서의 단선, 쇼트 등의 결함을 검출할 수 있으면, 제조의 효율을 대폭 향상시킬 수 있다. 즉, 그 결함을 갖는 소자 기판에는 후공정을 가할 필요가 없어진다. 또한, 결함이 많은 소자 기판은 후공정으로 보내는 것을 중지할 수 있다.
유기 EL 표시 장치에서의 소자 기판에 상기의 실시예 1 혹은 실시예 2 등으로 설명한 구성을 적용함으로써, 소자 기판의 외형을 크게 하지 않고, 또한, 마더 소자 기판 1매당의 소자 기판의 취득수를 줄이지 않고, TFT 기판의 검사 단자 혹은 검사용 배선을 형성할 수 있다.
10 : 표시 영역
15 : 시일재
30 : 주사선
31 : 주사선 인출선
40 : 영상 신호선
41 : 영상 신호선 인출선
50 : IC 드라이버
51 : 주사 신호 구동 회로
52 : 영상 신호 구동 회로
60 : 공통 배선
100 : TFT 기판
101 : 검사용 단자
102 : 검사용 배선
103 : 검사용 스위치
104 : 검사용 외부 단자
110 : 검사 배선 영역
120 : 절단선
150 : 단자부
200 : 대향 기판
201 : 대향 전극
301 : 주사선용 단자
401 : 영상 신호선용 단자
601 : 공통 배선용 단자
1000 : 마더 TFT 기판
1100 : 오리엔테이션 플랫

Claims (8)

  1. 화소 전극과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열되고, 공통 배선을 갖는 표시 영역과, 단자부를 갖는 TFT 기판과, 상기 TFT 기판에 대향하여 배치된 대향 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 액정 표시 장치로서,
    상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에는, 상기 주사선, 상기 영상 신호선, 및, 상기 공통 배선과는 접속하고 있지 않은 복수의 배선이, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 배선은 플로트인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 배선은 다른 액정 표시 장치의 TFT 기판의 검사에 이용된 것인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  4. 화소 전극과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열된 표시 영역과, 단자부를 갖는 TFT 기판과, 상기 TFT 기판에 대향하여 배치된 대향 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 액정 표시 장치로서,
    상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에서, 상기 주사선 또는 상기 영상 신호선과는 접속하고 있지 않은 복수의 배선이 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되고, 상기 복수의 배선은 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 상기 표시 영역과의 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 배선은 상기 시일재의 하층에 절연막을 개재하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  6. 화소 전극과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열된 표시 영역과, 단자부를 갖는 TFT 기판과, 상기 TFT 기판에 대향하여 배치된 대향 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 액정 표시 장치로서,
    상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 상기 검사용 단자 사이에는, 상기 검사용 단자와 접속한 제1 복수의 배선이 상기 변과 평행하게 배치되고,
    상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에는, 상기 주사선 또는 상기 영상 신호선과는 접속하고 있지 않은 제2 복수의 배선이 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되고, 상기 복수의 배선으로부터 상기 대향하는 변까지 연장하는 인출 배선을 갖고 있는 있는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 복수의 배선과 상기 제2 복수의 배선은 상기 TFT 기판의 검사에 사용된 것인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  8. 유기 EL 발광층과 TFT를 갖는 화소가 매트릭스 형상으로 형성되고, 주사선이 제1 방향으로 연장되어 제2 방향으로 배열되고, 영상 신호선이 제2 방향으로 연장되어 제1 방향으로 배열되고, 공통 배선을 갖는 표시 영역과, 단자부를 갖는 소자 기판과, 상기 소자 기판에 대향하여 배치된 밀봉 기판이 주변부에 형성된 시일재에 의해 접착한 유기 EL 표시 장치로서,
    상기 단자부에는, 구동용 단자와 검사용 단자가 형성되고, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변의 측에는, 상기 주사선, 상기 영상 신호선, 및, 상기 공통 배선과는 접속하고 있지 않은 복수의 배선이, 상기 단자부가 형성된 변과 대향하는 변과 평행하게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 표시 장치.
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