KR20100130160A - 검사용 치구 및 검사용 접촉자 - Google Patents

Abstract

(과제)
본 발명은, 기판의 미세화 및 복잡화에 대응할 수 있고, 부품수를 감소시키는 간소화한 구조의 4단자 측정을 가능하게 하는 접촉자를 구비하는 검사용 치구의 제공을 과제로 한다.
(해결수단)
피검사물과 검사장치를 전기적으로 접속하는 검사용 치구로서, 상기 검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부와, 일단이 검사부에 압접되어 타단이 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와, 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 검사부에 압접되어 타단이 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 설치되고, 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 한다.

Description

검사용 치구 및 검사용 접촉자{INSPECTION FIXTURE, INSPECTION PROBE}

본 발명은, 피검사물인 검사대상부 상에 미리 설정되는 검사점과 이 검사를 실시하는 검사장치를 전기적으로 접속하는 검사용 치구에 관한 것으로서, 특히 4단자 측정(4端子測定)을 용이하게 측정 가능하게 하는 검사용 접촉자와 이 접촉자를 사용하는 검사용 치구에 관한 것이다.

본 발명의 검사용 치구는, 피검사물이 구비하는 검사대상부에, 검사장치로부터 전력 또는 전기신호를 소정의 검사위치로 공급함과 아울러 검사대상부로부터 전기신호를 검출함으로써, 검사대상부의 전기적 특성을 검출하거나, 동작시험을 하거나 하는 것을 가능하게 한다.

이러한 피검사물이라 함은, 예를 들면 프린트 배선기판(print 配線基板), 플렉시블 기판(flexible 基板), 세라믹 다층배선기판(ceramic 多層配線基板), 액정 디스플레이(液晶 display)나 플라즈마 디스플레이용(plasma display用)의 전극판(電極板) 및 반도체 패키지용(半導體 package用)의 패키지 기판(package 基板)이나 필름 캐리어(film carrier) 등 다양한 기판이나, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)나 반도체 칩(半導體 chip)이나 CSP(Chip size package) 등의 반도체 장치(半導體 裝置)를 예시할 수 있다.

본 명세서에서는, 이러한 상기한 피검사물을 총칭하여 「피검사물」이라고 하고, 피검사물에 형성되는 검사대상부를 「검사부」라고 부른다. 또, 검사부에는 이 검사부의 전기적 특성을 실제로 검사하기 위한 검사점이 설정되어, 이 검사점에 접촉자를 압접시킴으로써 검사부의 전기적 특성이 검출된다.

종래에, 피검사물의 한 실시예인 회로기판에는 복수의 배선이 형성되어 있다. 이 배선은, 회로기판 상에 탑재되는 전기·전자부품이 원하는 기능을 구비하도록, 전력을 공급하거나 전기신호를 흐르게 하기 위해서 형성되어 있다. 이 때문에 배선의 불량은, 회로기판의 동작불량으로 이어진다는 것이 알려져 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 회로기판이나 반도체 장치 등의 피검사물에 형성되는 배선과 같은 대상부의 양부를 판정하는 검사장치의 발명이 다수 제안되어 있다.

이러한 검사장치는, 예를 들면 피검사물이 되는 기판 상에 형성되는 배선의 양부를 판단하기 위해서, 배선 상에 미리 설정되는 복수의 검사점과, 각각에 접속되는 복수의 접촉자(프로브)를 구비하는 검사용 치구를 사용하여 검사가 실시된다.

이러한 검사용 치구는, 접촉자의 일단이 배선(검사부) 상의 검사점에 압접되고, 그 타단이 기판검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부에 압접된다. 그리고 이 검사용 치구를 통하여, 기판검사장치로부터 배선의 전기적 특성을 측정하기 위한 전류나 전압을 공급함과 아울러 배선으로부터의 전기적 신호를 기판검사장치로 송신하게 된다.

최근의 기술의 진보에 의하여 반도체 장치가 작아지거나, 기판이 작아지거나 함에 따라, 기판 상의 배선도 보다 미세하고 또한 복잡하게 형성되고 있다. 이러한 기판의 배선의 미세화 및 복잡화가 진행됨에 따라서, 검사용 치구가 구비하는 접촉자도 접촉자 자체의 세선화(細線化), 접촉자간의 협피치화(狹pitch化)나 다핀화(多pin化)나 간소화가 요구되고 있다.

특히, 미세화 및 복잡화된 피검사물의 대상부를 측정하는 경우에는, 대상부가 접촉자와 접촉하였을 경우에 발생하는 접촉 저항치의 영향이 크기 때문에 4단자 측정법이 실시된다. 이 4단자 측정법에서는, 검사점에 전력공급용과 전기신호 검출용의 전기적으로 독립된 2개의 접촉자를 배치할 필요가 있다. 이 때문에 통상보다도 세선화된 접촉자가 요구된다.

여기에서 예를 들면 특허문헌1에 개시되어 있는 검사용 치구의 접촉자에서는, 통부재의 제1전극부와, 이 제1전극부 내부와 절연되어서 그 내부에 배치되는 제2전극부를 구비하여 이루어지고, 검사점에 대하여 제1전극부와 제2전극부가 동시에 접촉하도록 형성되어 있다.

그러나 특허문헌1에 개시되어 있는 검사용 치구에서는, 권선을 사용한 코일 스프링에 의하여 형성되기 때문에 권선의 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 외경이 100μｍ 이하의 권선 코일 스프링을 형성하여 검사용 치구로서 조립하는 것은 극히 곤란하다. 가령 형성할 수 있다고 하더라도, 제조비용의 문제로부터 2∼4000개의 접촉자를 구비하는 검사용 치구에 이용하는 것은 너무 고가가 되기 때문에 현실적이지 않다는 문제점을 구비하고 있었다.

일본국 공개특허 특개2005-249447호 공보

본 발명은, 기판의 미세화 및 복잡화에 대응할 수 있을 뿐만 아니라, 부품수를 감소시킨 간소화한 구조의 4단자 측정용의 접촉자를 구비하는 검사용 치구를 제공한다.

청구항1에 기재되어 있는 발명은, 검사대상이 되는 검사부를 구비하는 피검사물과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치를 전기적으로 접속하는 검사용 치구로서, 상기 검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부를 복수 구비하는 접속 전극체와, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와, 상기 제1통체와 전기적으로 비접촉이고 또한 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와, 상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 일단을 상기 검사점으로 안내하는 제1안내 구멍을 구비하는 제1판상부재와, 상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 타단을 상기 전극부로 안내하는 제2안내 구멍을 구비하고, 상기 제1판상부재와 소정의 간격을 두고 배치되는 제2판상부재와, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구를 제공한다.

청구항2의 발명은, 상기 제1통체와 제2통체는, 니켈을 주성분으로 하는 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.

청구항3의 발명은, 상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되어, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항1 또는 2에 기재되어 있는 검사용 치구를 제공한다.

청구항4에 기재되어 있는 발명은, 상기 검사용 치구는, 상기 중간부를 관통시켜 안내하는 제3안내 구멍을 구비하는 제3판상부재를 구비하고, 상기 제3판상부재는, 병렬 배치되는 3장의 판부를 구비하고, 중간에 배치되는 하나의 판부가 다른 판부에 대하여 면방향으로 변위하여 상기 제3안내 구멍을 정렬위치로부터 벗어난 위치에 배치함으로써, 상기 중간부를 협지하는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 3 중의 어느 하나에 기재된 검사용 치구를 제공한다.

청구항5에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고, 상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 대략 동축으로 수용하고, 상기 제1안내 구멍은, 상기 제3통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 상부 구멍과, 상기 제1안내 상부 구멍과 통하도록 연결되고, 상기 제3통체의 외경보다도 작고 제1통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 하부 구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 3 중의 어느 하나에 기재된 검사용 치구를 제공한다.

청구항6에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 2개의 신축부와, 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 청구항1 내지 5 중의 어느 하나에 기재된 검사용 치구를 제공한다.

청구항7에 기재되어 있는 발명은, 검사대상이 되는 검사부를 구비하는 피검사물과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치의 전극부를 전기적으로 접속하는 검사용 치구에 사용되는 검사용 접촉자(檢査用接觸子)로서, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와, 상기 제1통체와 전기적으로 비접촉이고 또한 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고, 상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자를 제공한다.

청구항8에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체와 제2통체는, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항7에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.

청구항9에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되고, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항7 또는 청구항8에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.

청구항10에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고, 상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 대략 동축으로 수용함과 아울러 제1통체보다도 짧은 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 청구항7에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.

청구항11에 기재되어 있는 발명은, 상기 제1통체의 2개의 신축부와, 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 청구항7에 기재된 검사용 접촉자를 제공한다.

청구항1 또는 청구항7에 기재되어 있는 발명에 의하면, 검사용 치구의 접촉자 또는 검사용 접촉자가, 도전성의 제1통체와 이 제1통체 내부에 수용되는 도전성의 제2통체에 의하여 2개의 단자가 일방의 통체의 내부에 수용되므로, 종래의 4단자 측정용의 프로브에 비하여 협피치(狹pitch)로 대응할 수 있다. 또한 2개의 접촉자가 일체형의 통부재로 형성되기 때문에 부품수를 감소시켜 간소화 할 수 있다. 또 또한 2개의 접촉자는 각각 중간부를 사이에 두고 2개의 신축부가 형성되어 있으므로, 일방의 신축부는 검사점으로부터의 압력에 따라 슬라이딩 하고, 타방의 신축부는 전극부로부터의 압력에 따라 슬라이딩 하기 때문에, 각 신축부가 독립적으로 기능을 할 수 있다.

청구항2 또는 청구항8의 발명에 의하면, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되어 있기 때문에, 도전성이 있고 용이하게 도금을 할 수 있고, 스프링 성능도 확보할 수 있다.

청구항3 또는 청구항9의 발명에 의하면, 접촉자가 상기 접촉자의 중앙에 대하여 대칭이 되는 형상을 구비하고 있으므로 지지체에 장착하기 쉽고, 접촉자의 중간부를 지지하는 제3판상부재를 설치함으로써 용이하게 접촉자를 지지체가 지지할 수 있다.

청구항5 또는 청구항10에 기재되어 있는 발명에 의하면, 제1통체의 외측에 제3통체가 형성되므로 이 제3통체를 판상부재와의 결합부로 이용할 수 있게 된다.

청구항6에 또는 청구항11 기재되어 있는 발명에 의하면, 제1통체의 신축부와 제2통체의 신축부가 인접하는 위치에 배치되지 않으므로, 상호 영향을 받는 일이 없이 기능할 수 있다.

도1은 본 발명에 관한 검사용 치구의 한 실시예를 나타내는 개략적인 구성도다.
도2는 본 발명의 제1실시예의 접촉자(제1접촉자)의 개략적인 단면도다.
도3은 제1접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다.
도4는 제1접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도5는 제1접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도6은 본 발명의 제2실시예의 접촉자(제2접촉자)의 개략적인 단면도다.
도7은 제2접촉자를 구성하는 제1통체, 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다.
도8은 제2접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도9는 제2접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도10은 본 발명의 제3실시예의 접촉자(제3접촉자)의 개략적인 단면도다.
도11은 제3접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다.
도12는 제3접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도13은 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도14는 본 발명의 제4실시예의 접촉자(제4접촉자)의 개략적인 단면도다.
도15는 제4접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다.
도16은 제4접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도17은 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다.
도18은 제5접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.
도19는 제6접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다.

본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명한다. 도1은, 본 발명에 관한 검사용 치구의 한 실시예를 나타내는 개략적인 구성도다. 본 발명에 관한 검사용 치구(1)는, 복수의 접촉자(2), 이들 접촉자(2)를 바늘 모양으로 지지하는 지지체(3), 이 지지체(3)를 지지함과 아울러 접촉자(2)와 접촉하여 도통상태가 되는 전극부(41)(도5 참조)를 구비하는 접속 전극체(4), 전극부(41)로부터 전기적으로 접속되어서 연장되는 도선부(5)를 구비하여 이루어진다.

또, 도1에서는, 복수의 접촉자(2)로서 3개의 접촉자가 도시됨과 아울러 각각에 대응되는 3개의 도선부(5)가 나타나 있지만, 이들은 3개에 한정되는 것이 아니라, 검사대상의 기판에 설정되는 검사점에 따라 결정할 수 있다.

본 발명의 주요한 특징은, 2개의 도전성의 통모양 부재를, 일방의 통모양 부재를 타방의 통모양 부재 내부에 수용하여 1개의 접촉자로서 사용함으로써, 4단자 측정을 실시하는 것을 가능하게 하고 있다는 점이다. 이 때문에 본 발명의 특징적 구성을 구비하는 접촉자에 대하여 상세하게 설명한다.

또한 이렇게 구성함으로써 접촉자를 지지하는 지지체의 안내 구멍을 형성하는 수를 감소할 수 있다.

본 발명에 관한 제1실시예의 접촉자에 대하여 설명한다. 도2는, 본 발명의 제1실시예의 접촉자(제1접촉자)의 개략적인 단면도이며, 도3은, 제1접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다.

이 제1접촉자(21)는 제1통체(211)와 제2통체(212)를 구비하고 있고, 제1통체(211)의 내부에 제2통체(212)를 수용하여 형성되어 있다(도2 참조).

제1통체(211)는 소정의 길이를 구비함과 아울러 도전성의 재료로 형성된다. 이 제1통체(211)는, 양단 개구부(兩端開口部)를 구비하는 중공 모양의 원기둥 형상인 통모양으로 형성된다. 제1통체(211)는, 그 일단부가 검사점에 접촉하고, 타단부가 전극부(41)(제1전극부(411))에 접촉함으로써 검사점과 전극부의 전기적 접속을 하게 한다.

이러한 제1통체(211)는, 외측 선단부(211a), 외측 제1신축부(21lb), 외측 중간부(211c), 외측 제2신축부(211d)와 외측 후단부(211e)의 부위를 구비하여 이루어진다. 이들의 부위(211a∼211e)는, 동일한 통부재로 형성되기 때문에 동일한 외경과 내경을 구비하고 있다.

외측 선단부(211a)는 후술하는 전극부(41)에 접촉한다. 외측 선단부(211a)는, 후술하는 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)의 내부를 관통하여 지지되어 소정의 제1전극부(411)로 안내된다.

외측 후단부(211e)는, 검사부 상에 설정되는 검사점에 접촉한다. 외측 후단부(211e)는, 후술하는 제1판상부재(31)의 제1안내 구멍(311)의 내부를 관통하여 지지되어서, 소정의 검사점으로 안내된다.

외측 제1신축부(21lb)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 외측 제1신축부(21lb)가 구비하는 탄성력은, 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적절하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.

외측 제2신축부(211d)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 외측 제2신축부(211d)가 구비하는 탄성력은, 외측 제1신축부(21lb)와 같이 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적당하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.

외측 중간부(211c)는 제1통체(211)의 대략 중앙에 형성된다. 이 외측 중간부(211c)는, 후술하는 제2통체(212)의 내측 중간부(212c)와 전기적으로 절연되어 고정된다. 이 외측 중간부(211c)는, 그 일단이 외측 제1신축부(21lb)와 통하도록 연결되고, 그 타단이 외측 제2신축부(211d)와 통하도록 연결된다. 또, 도3(a)에 나타내는 외측 중간부(211c)는, 내측으로 만곡(彎曲)하는 외측 오목부(211f)가 나타나 있지만, 이 외측 오목부(211f)는, 제2통체(212)를 제1통체(211) 내부에 수용하였을 경우에, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위하여 형성된 것으로서, 제1통체(211)에 미리 형성되어 있는 것은 아니다. 또한 이 외측 오목부(211f)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위하여, 외측(제1통체(211))으로부터 내측(제2통체212)으로 가압(코킹)을 함으로써 고정하는 경우에 형성되는 것이다. 이 제1 및 제2통체의 고정방법은, 이 코킹에 한정되지 않고 레이저 용접, 아크 용접이나 접착제 등의 다른 고정방법을 사용하여도 좋다.

외측 선단부(211a)의 일단은 제1전극부(411)와 접촉되지만, 그 타단은 외측 제1신축부(21lb)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 제1신축부(21lb)의 타단은 외측 중간부(211c)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 중간부(211c)의 타단은 외측 제2신축부(211d)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 제2신축부(211d)의 타단은 외측 후단부(211e)의 일단과 통하도록 연결되고, 외측 후단부(211e)의 타단은 검사점에 접촉된다.

제1통체(211)는 하나의 도전성의 통모양 부재에 의하여 형성할 수 있고, 예를 들면 외경 40∼250μm, 내경 30∼240μm, 두께 5∼50μm로 형성된다. 이러한 치수로 형성함으로써 미세화 및 복잡화된 기판의 배선이나 반도체 장치 등의 피검사물에 대하여도, 간소화한 구조의 검사장치로서 대응할 수 있다.

제1통체(211)는, 도3(a)에 나타나 있는 바와 같이 그 중심에 대하여 점대칭 또는 선대칭이 되도록 각 부위가 배치되어 형성되어 있다. 이것은, 이렇게 대칭형상이 되도록 형성됨으로써 후술하는 검사용 치구(1)의 지지체(3)에 장착할 때에, 접촉자(2)의 상하의 구별 없이 취급할 수 있기 때문이다.

제1통체(211)는, 그 일단이 검사점에 접촉하고 그 타단이 전극부에 접촉하여, 이 제1통체(211)를 통하여 검사점과 전극부의 전기적 도통을 도모하기 위해서 제1통체(211)는 도전성의 재료로 형성된다. 이러한 재료로서는, 도전성을 구비하는 재료이면 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 니켈이나 니켈 합금이나 팔라듐 합금을 예시할 수 있다.

이러한 제1통체(211)는, 상기한 바와 같이 도전성을 구비하는 재료로 형성되게 되지만, 피검사물의 미세화 및 복잡화에 따라 접촉자(2) 자체도 세선화 하여 형성하여야만 한다. 특히, 지지판에 대하여 직각방향으로 신축하기 위해서는, 접촉자(2) 자체에 신축기능을 구비하도록 형성하여야만 하지만, 종래의 권선을 사용한 코일 스프링과 같은 부위를 형성하여서는 권선 자체의 지름의 크기에 의존하게 되어, 권선의 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 외경이 100μｍ 이하의 코일 스프링을 형성하는 것은 극히 곤란했다. 가령 형성할 수 있다고 하여도, 조립성이나 제조비용의 문제로부터 2∼4000개의 접촉자를 구비하는 검사용 치구에 이용하는 것은 너무 고가가 되므로, 현실적이지 않다는 문제점을 구비하고 있었다.

그러나 본원 발명에서는 하기의 같은 제조방법을 이용함으로써 보다 저렴하고 또한 용이하게 미세한 접촉자를 제조할 수 있다. 이 제조방법으로서는, 하기의 같은 2개의 제조방법을 개시할 수 있다.

[제법예1]

(1)우선, 제1통체(211)의 중공부를 형성하는 심선(도면에는 나타내지 않는다)을 준비한다. 또, 이 심선은, 제1통체(211)의 내경을 규정하는 원하는 굵기(예를 들면 지름30μm)의 ＳＵＳ선을 사용한다.

(2)계속하여 심선(ＳＵＳ선)에 포토레지스트 피막을 도포하여 이 심선의 원주면을 덮는다. 상기 포토레지스트의 원하는 부분을 노광·현상·가열 처리하여 나선 모양의 마스크를 형성한다. 이 때에, 예를 들면 심선을 중심축을 따라 회전시켜, 레이저에 의하여 노광하여 나선 모양의 마스크를 형성하도록 할 수 있다. 본 발명의 제1통체(211)를 형성하기 위해서는, 2개의 신축부(외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d))가 소정의 거리(외측 중간부(211c)의 길이분의 거리)를 구비하여 형성되게 된다.

(3)계속하여 이 심선에 니켈 도금을 실시한다. 이 때에, 심선이 도전성이기 때문에 포토레지스트 마스크가 형성되어 있지 않은 장소는 니켈 도금 된다.

(4)계속하여 포토레지스트 마스크를 제거하고 심선을 뽑아내어, 원하는 길이로 통체를 절단하여 제1통체(211)를 형성한다. 심선을 완전하게 뽑아내기 전에 통체를 절단하더라도 좋은 것은 말할 필요도 없다.

또한 제1통체(211)는 하기의 방법으로 제조할 수도 있다.

[제법예2]

우선, 상기와 같은 제1통체(211)의 중공부를 형성하는 심선(도면에는 나타내지 않는다)을 준비한다.

이러한 심선에 니켈을 원하는 두께로 도금하여 심선의 원주면에 니켈 도금층을 형성한다.

(2)다음에 이 니켈 도금층의 표면에 포토레지스트를 도포한다. 상기 포토레지스트의 원하는 부분을 노광·현상·가열 처리하여 나선 모양의 마스크를 형성한다. 이 때에, 예를 들면 심선을 중심축을 따라 회전시켜, 레이저에 의하여 노광하여 나선 모양의 마스크를 형성하도록 할 수 있다. 본 발명의 제1통체(211)를 형성하기 위해서는, 2개의 신축부(외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d))가 소정의 거리(외측 중간부(211c)의 길이분의 거리)를 구비하여 형성되게 된다.

(3)계속하여 니켈 도금을 에칭 제거한다. 이 때에, 포토레지스트 마스크가 형성되어 있지 않은 장소의 니켈 도금이 제거된다.

(4)계속하여 포토레지스트 마스크를 제거하고 심선을 뽑아내어, 원하는 길이로 통체를 절단하여 제1통체(211)를 형성한다. 심선을 완전하게 뽑아내기 전에 통체를 절단하더라도 좋은 것은 말할 필요도 없다.

종래의 권선을 사용한 코일 스프링 방식은 권선재료의 지름에 의존하게 되어, 상기 지름의 4배정도보다 작은 지름을 구비하는 코일의 형성이 곤란하여, 100μｍ 이하의 코일 스프링을 형성하는 것이 극히 곤란했다. 상기한 제법에 의한 본 발명의 제1통체(211)는, 심선을 니켈 도금하여 원하는 형상을 형성한 후에, 심선을 뽑아냄으로써 제조하기 때문에 종래의 권선을 사용한 코일 스프링 방식의 것보다도, 스프링 재료의 두께를 얇게 할 수 있음과 아울러 미세한 외경 및 내경을 고정밀도로 일괄 제조할 수 있다.

다음에 제1접촉자(21)를 형성하는 제2통체(212)에 대하여 설명한다(도3(b) 참조). 이 제2통체(212)는 소정의 길이를 구비함과 아울러 도전성의 재료로 형성된다. 이 제2통체(212)는, 양단 개구부를 구비하는 중공 모양의 원기둥 형상인 통모양으로 형성된다. 제2통체(212)는, 그 일단부가 검사점에 접촉하고 타단부가 전극부(41)(제2전극부(412))에 접촉함으로써 검사점과 전극부의 전기적 접속을 이루게 한다. 이 제2통체(212)가 제1통체(211)와 가장 다른 점은, 제1통체(211) 내에 제2통체(212)가 수용되기 때문에 제2통체(212)의 외경은 제1통체(211)의 내경보다도 약간 작게 형성된다는 점이다.

이러한 제2통체(212)는, 내측 선단부(212a), 내측 제1신축부(212b), 내측 중간부(212c), 내측 제2신축부(212d)와 내측 후단부(212e)의 부위를 구비하여 이루어진다. 이들의 부위(211a∼211e)는 동일한 통부재로 형성되기 때문에 동일한 외경과 내경을 구비하고 있다.

내측 선단부(212a)는 후술하는 제2전극부(412)에 접촉한다. 내측 선단부(212a)는, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)의 내부공간을 이동한다. 또, 외측 선단부(211a)가 제2안내 구멍(321)에 의하여 제1전극부(411)로 안내되기 때문에 내측 선단부(212a)도 제2전극부(412)로 안내된다.

내측 후단부(212e)는 검사부 상에 설정되는 검사점에 접촉한다. 내측 후단부(212e)는 제1통체(211)의 내측 후단부(211e)의 내부공간을 이동한다. 또, 외측 후단부(211e)가 제1안내 구멍(311)에 의하여 검사점으로 안내되기 때문에 내측 후단부(212e)도 검사점으로 안내된다.

내측 제1신축부(212b)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 내측 제1신축부(212b)가 구비하는 탄성력은, 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적절하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.

내측 제2신축부(212d)는, 통부재의 벽부를 따르는 나선 모양의 절단부를 형성함으로써 통부재의 장축방향으로 신축하는 코일 스프링 형상으로 형성되어 있다. 또, 이 내측 제2신축부(212d)가 구비하는 탄성력은, 내측 제1신축부(212b)와 같이 나선 모양의 절단부의 폭이나 길이를 적절하게 조정함으로써 그 탄성력의 강도를 변경할 수 있다.

내측 중간부(212c)는 제2통체(212)의 대략 중앙에 형성된다. 이 내측 중간부(212c)는, 상기 제1통체(211)의 외측 중간부(211c)와 전기적으로 절연되어 고정된다. 이 내측 중간부(212c)는, 그 일단이 내측 제1신축부(212b)와 통하도록 연결되고, 그 타단이 내측 제2신축부(212d)와 통하도록 연결된다. 또, 도3(b)에 나타내는 내측 중간부(212c)는 내측으로 만곡하는 내측 오목부(212f)가 나타나 있지만, 이 내측 오목부(212f)는, 제2통체(212)를 제1통체(211) 내부에 수용하였을 경우에, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위하여 형성된 것으로서, 제2통체(212)에 미리 형성되어 있는 것이 아니다. 또한 이 내측 오목부(212f)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위해서, 외측(제1통체(211))부터 내측(제2통체212)로 가압(코킹)을 함으로써 고정하였을 경우에 형성되는 것이다. 이 제1 및 제2통체의 고정방법은 이러한 코킹에 한정되지 않고, 레이저 용접, 아크 용접이나 접착제 등의 다른 고정방법을 사용해도 좋다.

내측 선단부(212a)의 일단은 제2전극부(412)와 접촉되지만, 그 타단은 내측 제1신축부(212b)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 제1신축부(212b)의 타단은 내측 중간부(212c)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 중간부(212c)의 타단은 내측 제2신축부(212d)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 제2신축부(212d)의 타단은 내측 후단부(212e)의 일단과 통하도록 연결되고, 내측 후단부(212e)의 타단은 검사점에 접촉된다.

제2통체(212)는, 1개의 도전성의 통모양 부재에 의하여 형성할 수 있고, 예를 들면 외경 20∼220μm, 내경 10∼200μm, 두께 5∼50μm로 형성된다. 이러한 치수로 형성함으로써 미세화 및 복잡화된 기판의 배선이나 반도체 장치 등의 피검사물에 대하여도, 간소화된 구조의 검사장치로서 대응할 수 있다.

제2통체(212)는, 도3(b)에 나타나 있는 바와 같이 그 중심에 대하여 점대칭 또는 선대칭이 되도록 각 부위가 배치되어 형성되어 있다. 이것은, 이렇게 대칭형상이 되도록 형성됨으로써 후술하는 검사용 치구(1)의 지지체(3)에 장착할 때에, 접촉자(2)의 상하의 구별이 없이 취급하는 것이 가능하기 때문이다.

제2통체(212)는, 그 일단이 검사점에 접촉하고, 그 타단이 전극부에 접촉하여, 이 제2통체(212)를 통하여 검사점과 전극부의 전기적 도통을 도모하기 위해서 제2통체(212)는 도전성의 재료로 형성된다. 이러한 재료로서는, 도전성을 구비하는 재료이면 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 니켈이나 니켈 합금이나 팔라듐 합금을 예시할 수 있다. 이 제2통체(212)의 제조방법은, 상기의 제1통체(211)의 경우와 동일하기 때문에 그 설명을 생략한다.

제1접촉자(21)는, 제1통체(211)의 내부에 제2통체(212)를 수용하여 배치하기 때문에, 도3(b)에 나타나 있는 바와 같이, 제2통체(212)의 외측 가장자리에는 절연피막(212g)을 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 절연피막(212g)은, 예를 들면 폴리이미드나 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)이나 에폭시 수지를 이용할 수 있다. 이 절연피막(212g)의 두께는 예를 들면 1∼5μm로 형성된다.

이러한 절연피막(212g)은, 도2의 실시예에 있어서 제2통체(212)의 외측 가장자리에 형성되어 있지만, 제1통체(211)의 내측 가장자리에 형성할 수도 있다. 또, 제1통체(211)의 내측 가장자리에 절연피막을 형성하는 경우에는, 제1통체(211)에 각 신축부가 형성되고 심선을 뽑아내어 통모양이 형성된 후에 형성되게 된다.

제2통체(212)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이 제1통체(211)의 양 개구단으로부터 돌출하도록 배치될 수도 있고, 제2통체(212)가 전혀 돌출하지 않도록 배치할 수도 있다. 제1통체(211)와 제2통체(212)는 어느 것이나 2개의 신축부를 구비하고 있기 때문에, 평면적으로 어느 하나가 돌출하려고 하더라도, 검사점 또는 전극부로부터 가압될 때에 신축부가 충분하게 수축함으로써 제1통체(211)와 제2통체(212)의 양방이 접촉할 수 있다.

도4는, 제1접촉자(21)가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 검사용 치구(1)는, 제1접촉자(21)를 지지하기 위한 지지체(3)를 구비하고 있다. 이 지지체(3)는, 제1판상부재(31)와 제2판상부재(32)를 구비하여 이루어진다.

제1판상부재(31)는, 제1접촉자(21)의 일단을 검사점으로 안내하기 위한 제1안내 구멍(311)을 구비한다. 제1안내 구멍(311)은 제1통체(211)의 외경보다도 약간 크게 형성되어 있다. 또, 이 제1판상부재(31)의 두께는 특별하게 한정되지 않지만, 외측 후단부(211e)의 길이보다도 짧게 형성되는 것이 바람직하다. 이것은, 외측 후단부(211e)가 제1안내 구멍(311)을 따라 확실하게 슬라이딩 할 수 있기 때문이다.

제2판상부재(32)는, 제1판상부재(31)와 소정의 간격을 두고 배치됨과 아울러 제1접촉자(21)의 타단을 전극부(41)로 안내하기 위한 제2안내 구멍(321)을 구비한다. 제2안내 구멍(321)은, 제1통체(211)의 외경보다도 약간 크게 형성되어 있다. 또, 이 제2판상부재(32)의 두께는 특별하게 한정되지 않지만, 외측 선단부(211a)의 길이보다도 짧게 형성되는 것이 바람직하다. 이것은, 외측 선단부(211a)가 제2안내 구멍(321)을 따라 확실하게 슬라이딩 할 수 있기 때문에다.

제1안내 구멍(311)과 제2안내 구멍(321)로부터는, 제1접촉자(21)가 각각 외측으로 돌출하도록 배치된다.

제1접촉자(21)를 사용하는 경우에는, 도4에 나타내는 제3판상부재(33)를 사용하는 것이 바람직하다. 이 제3판상부재(33)는, 소정의 간격을 두고 병렬 배치되는 상판부(331), 중판부(332)와 하판부(333)를 구비하여 이루어진다. 이들의 판상부는, 제1접촉자(21)를 관통시켜 삽입시키기 위한 제3안내 구멍(334)을 구비하여 이루어진다. 제3판상부재(33)는, 제3판상부재(33)의 제3안내 구멍(334)이 제1안내 구멍(311)과 제2안내 구멍(321)과 직선상으로 배치된다.

이러한 제3판상부재(33)의 중판부(332)는, 다른 판부(상판부(331)와 하판부(333))에 대하여 면방향으로 변위한다. 이 때문에 제3안내 구멍(334)은, 중판부(332)가 변위하기 이전에는 제1접촉자(21)가 용이하게 관통할 수 있지만, 중판부(332)가 변위하면 제1접촉자(21)의 외측 중간부(211c)를 중판부(332)가 가압하여 제1접촉자(21)를 지지할 수 있다. 이렇게 하여 제1접촉자(21)를 지지체(3)에 고정하고 있다.

도5는 제1접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 검사용 치구(1)의 접속 전극체(4)는, 각 제1접촉자(21)에 대응하는 전극부(41)가 형성되어 있다. 이 전극부(41)는, 제1통체(211)와 접촉하여 도통상태가 되는 제1전극부(411)와, 제2통체(212)와 접촉하여 도통상태가 되는 제2전극부(412)를 구비하여 이루어진다. 또, 접속 전극체(4)는 절연재료로 형성된다.

도5에 나타내는 전극부(41)에서는, 제1전극부(411)와 제2전극부(412)는 구리 도선으로 형성되고, 각각의 단면이 각 통체의 단부와 접촉하도록 형성되어 있다. 또한 도5에서는, 제1전극부(411)와 제2전극부(412)가, 각각의 통체와 접촉함과 아울러 가장 먼 위치가 되도록 배치되어 있다.

도5에 나타내는 제1실시예에서는 제1통체(211)와 제2통체(212)가 각각의 중간부에서 고정됨과 아울러 제3판상부재(33)의 중판부(332)가 평면방향으로 변위함으로써 제1접촉자(21)와 착탈하도록 지지하고 있다. 또한 제1실시예에서는 지지체(3)에 제1접촉자(21)를 지지시켜서 접속 전극체(4)에 부착하는 경우에는, 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(21lb)가 압축되어서 가압상태로 장착된다. 이렇게 장착됨으로써, 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)는 끊임없이 각각의 전극부(41)를 가압하게 되어, 검사점과 제1접촉자(21)의 접촉상태에 관계없이 제1접촉자(21)와 전극부(41)의 접촉 저항치를 극히 안정시킬 수 있게 된다.

이상이 제1실시예의 검사용 치구의 설명이다.

다음에 제2실시예의 검사용 치구(1')에 대하여 설명한다. 도6은, 본 발명의 제2실시예의 접촉자(제2접촉자)의 개략적인 단면도이며, 도7은, 제2접촉자를 구성하는 제1통체, 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다. 또, 제2실시예의 검사용 치구와 제1실시예의 검사용 치구가 동일한 구성인 경우에는, 동일한 부호를 붙이는 동시에 설명을 생략한다.

제2실시예의 제2접촉자(22)는, 제1통체(211)와, 제2통체(212)와 제3통체(223)를 구비하여 이루어진다. 이 제2접촉자(22)의 제1통체(211)와 제2통체(212)는, 제1접촉자(21)의 제1통체(211)와 제2통체(212)와 동일한 구성을 구비하고 있으므로 그 설명을 생략한다.

제3통체(223)는, 제1통체(211)(및 제2통체(212))를 내부에 동축이 되도록 수용한다. 이 때문에 제3통체(223)는, 제1통체(211)의 외경보다도 약간 큰 내경을 구비하도록 형성되어 있다. 이 제3통체(223)는, 양단이 개구하는 통모양으로 형성되어 이루어지고, 양단 개구로부터 제1통체(211)와 제2통체(212)가 연장되어서 배치된다(도6 참조).

제3통체(223)는 제1통체(211)(제2통체(212)를 포함한다)와 고정되기 위한 고정 오목부(223a)를 구비하고 있다. 이 고정 오목부(223a)는 미리 형성되어 있는 것이 아니라, 제1통체(211)를 그 내부에 수용하여 배치한 후에 형성되게 된다. 이 고정 오목부(223a)의 형성방법의 상세한 것은 후술한다.

제3통체(223)는, 도전성 재료로 형성되어도 비도전성 재료로 형성되어도 좋지만, 인접하는 다른 제2접촉자(22)와 전기적으로 비접촉이 되도록, 도전성 재료로 형성되는 경우에는 그 가장자리를 필요에 따라 절연 피복한다. 또, 이 제3통체(223)를 제조하는 방법으로서 제1 및 제2통체를 제조하는 방법을 이용할 수 있다.

제2접촉자(22)는, 제1통체(211)에 제2통체(212)가 수용되고, 그 후에 제3통체(223)가 이 제1통체(211)를 그 내부에 수용한다. 그리고 고정 오목부(223a)는, 제3통체(223)의 외측으로부터 내측으로 가압(코킹)을 함으로써 고정하였을 경우에 형성되는 것이다. 이 제1 및 제2통체의 고정방법은, 이러한 코킹에 한정되지 않고, 레이저 용접, 아크 용접이나 접착제 등의 다른 고정방법을 사용하여도 좋다. 또, 제1 내지 제3통체 모두가 배치되고 나서 모든 통체를 고정하도록 형성하더라도 좋고, 우선 제1통체와 제2통체를 고정한 후에 제3통체를 고정하더라도 좋다.

도8은 제2접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 제2실시예의 검사용 치구는, 제1판상부재(34)와 제2판상부재(32)를 구비하여 이루어진다. 제2판상부재(32)는, 제1실시예의 검사용 치구와 동일한 구성이므로 설명을 생략한다.

이러한 제1판상부재(34)는 제2접촉자(22)를 검사점으로 안내하는 제1안내 구멍(341)을 구비하고 있다. 이 제1안내 구멍(341)은, 제1안내 상부 구멍(34a)과 제1안내 하부 구멍(34b)을 구비하여 이루어진다. 이 제1안내 상부 구멍(34a)은, 제3통체(223)의 외경보다도 약간 큰 지름을 구비하도록 형성된다.

제1안내 하부 구멍(34b)은, 제1통체(211)의 외경보다도 약간 크고 또한 제3통체(223)의 외경보다도 작은 지름을 구비하도록 형성된다. 이렇게 제1안내 구멍(341)이 2개의 서로 다른 지름의 구멍에 의하여 형성됨으로써, 제2접촉자(22)가 제3통체(223)와 제1통체(211)의 단차에 의하여 결합된다.

도9는, 제2접촉자(22)를 사용한 검사용 치구(1')의 개략적인 구성도다. 제2접촉자(22)는, 지지체(3)에 장착되는 경우에는 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)로부터 삽입되고, 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)으로 안내된다. 이 때에, 제2접촉자(22)는, 제1안내 구멍(341) 내부에 있어서 지름이 서로 다른 경계에 제3통체(223)가 결합된다.

지지체(3)에 제2접촉자(22)를 지지시킨 후에 제2접촉자(22)의 일단이 전극부(41)를 가압하도록, 제2판상부재(32)를 접속 전극체(4)와 접촉시킨다. 이 때에, 제2접촉자(22)의 제1통체(211)와 제2통체(212) 각각이 제1전극부(41a)와 제2전극부(4lb)에 압접되기 때문에 각각의 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)가 수축하여 가압상태가 되고, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)와 제2통체(212)의 내측 선단부(212a)가 검사점에 접촉하는가에 관계 없이 정상적으로 각각의 전극부(41)에 접촉한다. 또한 타방측에 배치되는 내측 및 외측 제2신축부(211d, 212d)는 본래의 길이의 상태에서 검사대기의 상태로 되고, 실제의 검사 시에 있어서만 이들의 신축부가 슬라이딩 하게 된다.

이상이 제2실시예의 검사용 치구의 설명이다.

다음에 제3실시예의 검사용 치구(1'')에 대하여 설명한다. 도10은, 본 발명의 제3실시예의 접촉자(제3접촉자(23))의 개략적인 단면도다. 도11은, 제3접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고 있다. 또, 제3실시예의 검사용 치구와 제1실시예 또는 제2실시예의 검사용 치구가 동일한 구성인 경우에는, 동일한 부호를 붙이는 동시에 설명을 생략한다.

제3실시예의 검사용 치구(1'')의 주요한 특징은, 제3접촉자(23)의 제1통체(211)의 외측 가장자리에 절연피복(211g)을 형성한 점과, 제2통체(212)의 외측 가장자리에 절연피복(212g)을 형성한 점에 있다.

제3접촉자(23)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 구비하여 이루어진다. 제3접촉자(23)의 제1통체(211)와 제2통체(212)의 기본구성은, 제1접촉자(21)와 동일하기 때문에 설명을 생략하고, 구성이 다른 점을 설명한다. 제1통체(211)의 외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d)는, 제2통체(212)의 내측 제1신축부(212b)와 내측 제2신축부(212d)와, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하지 않는 위치에 배치된다(도10참조). 이렇게 각각의 신축부가 제3접촉자(23)의 장축방향을 따라 교대로 배치됨으로써, 각각의 신축부가 슬라이딩 하여도 서로 접촉하는 일이 없다.

제1통체(211)는, 외측 선단부(211a), 외측 중간부(211c)와 외측 후단부(211e)의 외측 가장자리에는 절연피복(211g)이 형성되어 있다. 이 절연피복(211g)은 소정의 두께를 구비하여 형성되고, 예를 들면 5∼20μm로 형성된다. 특히, 외측 후단부(211e)의 가장자리에 형성되는 절연피복(211g)은, 제2실시예의 검사용 치구(1')의 제3통체(223)와 마찬가지로 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)에 결합된다.

도11(a)에 예시되어 있는 제1통체(211)의 절연피복(211g)은, 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정하기 위한 외측 오목부(211f)의 부위에는 형성되어 있지 않다. 이것은, 제1통체(211)의 외측으로부터 가압하는 경우에, 더 확실하게 제1통체(211)와 제2통체(212)를 고정시키기 위하여 절연피복을 형성하지 않고 있다.

제2통체(212)는, 내측 선단부(212a), 내측 중간부(212c)와 내측 후단부(212e)의 외측 가장자리에 절연피복(212g)이 형성되어 있다. 이 절연피복(212g)은 소정의 두께를 구비하여 형성되고, 예를 들면 1∼10μm로 형성된다. 제2통체(212)의 상기 각 부위에 절연피복(212g)이 형성됨으로써 제1통체(211)의 각 신축부의 슬라이딩 방향을 제2접촉자(23)의 장축방향에 안정적으로 제한할 수 있다.

도12는, 제3접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 이 도12에 나타나 있는 바와 같이, 제2실시예의 제2접촉자와 마찬가지로 제1판상부재(34)가 구비하는 제1안내 구멍(341)이 지름이 서로 다른 2개의 구멍부(제1안내 상부 구멍(34a)과 제1안내 하부 구멍(34b))에 의하여, 외측 후단부(211e)에 형성되는 절연피복(211g)과 제1통체(211)의 단차에 의하여 제3접촉자(23)가 결합된다.

도13은 제3접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 제3실시예의 검사용 치구(1'')는 제2실시예의 검사용 치구(1')와 마찬가지로, 제3접촉자(23)가 지지체(3)에 장착되는 경우에는, 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)로부터 삽입되고, 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)으로 안내된다. 이 때에, 제3접촉자(23)는, 제1안내 구멍(341) 내부의 지름이 서로 다른 경계에 절연피복(211g)이 결합된다.

지지체(3)에 제3접촉자(23)를 지지시킨 후에, 제3접촉자(23)의 일단이 전극부(41)를 가압하도록, 제2판상부재(32)를 접속 전극체(4)와 접촉시킨다. 이 때에, 제3접촉자(23)의 제1통체(211)와 제2통체(212) 각각이 제1전극부(41a)와 제2전극부(4lb)에 압접되기 때문에 각각의 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)가 수축하여 가압상태가 되고, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)와 제2통체(212)의 내측 선단부(212a)가 검사점에 접촉하는가에 관계 없이 정상적으로 각각의 전극부(41)에 접촉한다. 또한 타방측에 배치되는 내측 및 외측 제2신축부(211d, 212d)는 본래의 길이의 상태에서 검사대기의 상태가 되고, 실제의 검사시에 있어서만 이들의 신축부가 슬라이딩 하게 된다.

이상이 제3실시예의 검사용 치구의 설명이다.

다음에 제4실시예의 검사용 치구의 설명을 한다. 도14는, 본 발명의 제4실시예의 접촉자(제4접촉자)의 개략적인 단면도다. 도15는, 제4접촉자를 구성하는 제1통체와 제2통체와 제3통체의 분해 단면도를 나타내는 도면으로서, (a)는 제1통체를 나타내고, (b)는 제2통체를 나타내고, (c)는 제3통체를 나타내고 있다.

제4실시예의 제4접촉자(24)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)와 제3통체(223)를 구비하여 이루어지고, 제2실시예의 제2접촉자(22)와 유사하다. 제4접촉자(24)와 제2접촉자(22)가 다른 점은, 제2접촉자(22)의 각 신축부가 인접위치에 배치되어 있는 것에 대하여(도6 참조), 제4접촉자는 인접위치에 배치되어 있는 신축부를 구비하지 않고 있다는 점이다.

도16은, 제4접촉자가 지지체에 부착된 상태를 나타내는 단면도다. 도17은, 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 이 도16에 나타나 있는 바와 같이 제2실시예의 제2접촉자와 마찬가지로, 제1판상부재(34)가 구비하는 제1안내 구멍(341)이 지름이 서로 다른 2개의 구멍부(제1안내 상부 구멍(34a)과 제1안내 하부 구멍(34b))에 의하여 제4접촉자(24)의 제3통체(223)와 제1통체(211)의 단차에 의하여 제4접촉자(24)가 결합된다.

도17은 제4접촉자를 사용한 검사용 치구의 개략적인 구성도다. 제4실시예의 검사용 치구(1''')는 제2실시예의 검사용 치구(1')와 마찬가지로, 제4접촉자(24)가 지지체(3)에 장착되는 경우에는, 제2판상부재(32)의 제2안내 구멍(321)로부터 삽입되고 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)으로 안내된다. 이 때에, 제4접촉자(24)는, 제1안내 구멍(341) 내부에 있어서 지름이 서로 다른 경계에 제3통체(223)가 결합된다.

지지체(3)에 제4접촉자(24)를 지지시킨 후에, 제4접촉자(24)의 일단이 전극부(41)를 가압하도록 제2판상부재(32)를 접속 전극체(4)와 접촉시킨다. 이 때에, 제4접촉자(23)의 제1통체(211)와 제2통체(212) 각각이 제1전극부(41a)와 제2전극부(4lb)에 압접되기 때문에 각각의 외측 제1신축부(21lb)와 내측 제1신축부(212b)가 수축하여 가압상태가 되고, 제1통체(211)의 외측 선단부(211a)와 제2통체(212)의 내측 선단부(212a)가 검사점에 접촉하는가에 관계 없이 정상적으로 각각의 전극부(41)에 접촉한다. 또한 타방측에 배치되는 내측 및 외측 제2신축부(211d, 212d)는 본래의 길이의 상태에서 검사대기의 상태가 되고, 실제의 검사시에 있어서만 이들의 신축부가 슬라이딩 하게 된다.

이상이 제4실시예의 검사용 치구의 설명이다.

제5실시예의 검사용 치구에 대하여 설명한다. 도18은, 본 발명의 제5실시예의 접촉자(제5접촉자(25))가 지지체에 지지되는 상태를 나타내는 개략적인 단면도다. 또, 제5실시예의 검사용 치구(또는 제5접촉자(25))와 제3실시예의 검사용 치구(또는 제3접촉자(23))가 동일한 구성인 경우에는, 동일한 부호를 붙이는 동시에 설명을 생략한다.

제5실시예의 검사용 치구(도면에는 나타내지 않는다)의 주요한 특징은, 제5접촉자(25)의 제1통체(211)의 외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d)가 제5접촉자(25)의 신축부 중에서 가장 외측에 배치되는 것, 제2통체(212)의 내측 제1신축부와 내측 제2신축부를 각각 2개 설치하고 있다는 점이다.

제5접촉자(25)는 제1통체(211)와 제2통체(212)를 구비하여 이루어진다. 제5접촉자(25)의 제1통체(211)와 제2통체(212)의 기본구성은, 제3접촉자(23)와 동일하기 때문에 설명을 생략하고, 다른 구성에 대하여 설명한다. 제1통체(211)의 외측 제1신축부(21lb)와 외측 제2신축부(211d)는, 제2통체(212)의 내측 제1신축부(212b1, 212b2)와 내측 제2신축부(212d1, 212d2)와, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하지 않는 위치에 배치된다(도18 참조). 이렇게 각각의 신축부가 제5접촉자(25)의 장축방향을 따라 인접하지 않는 위치에 배치됨으로써, 각각의 신축부가 슬라이딩 하여도 서로 접촉하는 일이 없다.

제2통체(212)는, 내측 제1신축부와 내측 제2신축부를 각각 구비하고 있지만, 이 제5접촉자(25)의 실시예에서는 내측 제1신축부를 2개의 신축부(212b1, 212b2)로 형성하고, 내측 제2신축부를 2개의 신축부(212d1, 212d2)로 형성하고 있다. 또, 2개의 신축부의 사이에는 소정의 간격을 구비하기 위한 통부가 형성되고 있고, 이 통부의 외측 가장자리에는 절연피복이 형성되어 있다. 이렇게 제1신축부나 제2신축부를 복수 형성함으로써 내측에 배치되는 제2통체(212)가 휘는 것을 억제할 수 있다.

제5접촉자(25)는, 외측 선단부(211a), 외측 중간부(211c)와 외측 후단부(211e)의 외측 가장자리에 절연피복(211g)이 형성되어 있다. 외측 후단부(211e)의 가장자리에 형성되는 절연피복(211g)은, 제2실시예의 검사용 치구(1')의 제3통체(223)과 마찬가지로 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)에 결합된다.

이상이, 제5실시예의 검사용 치구의 제5접촉자의 구성의 설명이다.

제6실시예의 검사용 치구의 설명을 한다. 도19는, 본 발명의 제6실시예의 접촉자(제6접촉자)의 개략적인 단면도다.

제6실시예의 제6접촉자(26)는, 제1통체(211)와 제2통체(212)와 제3통체(223)를 구비하여 이루어지고, 제4실시예의 제4접촉자(24)와 유사하다. 이 제6접촉자(26)와 제4접촉자(24)가 다른 점은, 제6접촉자(26)의 제2통체(212)에 형성되는 내측 제1신축부(212b)와 내측 제2신축부(212d)가 각각 2개의 신축부에 의하여 형성되어 있다는 점이다. 또, 제6접촉자(26)의 각 신축부는, 제5접촉자(25)와 마찬가지로 신축부가 인접위치에 배치되지 않도록 설정되어 있다.

제6접촉자(26)에서는, 제3통부(223)가 제1판상부재(34)의 제1안내 구멍(341)에 결합되어, 제6접촉자(26)가 지지체(3)로부터 빠지는 것을 방지하고 있다.

이상이 제6실시예의 검사용 치구에 사용되는 제6접촉자의 설명이다.

본 명세서에서는, 전극부(41)로서 구리 도선의 단면이 각 제1통체와 제2통체의 일부에 접촉하도록 각각 배치했지만, 이 전극부(41)는 제1통체나 제2통체와 같은 단면을 구비하도록 형성하여 배치할 수도 있다.

또한 절연피막(211g)은, 양 선단부를 제외하고 신축부의 표면에도 피복하도록 형성하여도 좋다. 또한 본 발명에 관하여 설명하기 위한 도면에 기재되어 있는 양 신축부는 오른쪽으로 감기로 형성되어 있지만, 제1통체와 제2통체에서 역방향의 감기 방법이 되도록 설정할 수도 있다.

1 검사용 치구
2 접촉자
211 제1통체
212 제2통체
31 제1판 상부
311 제1안내 구멍
32 제2판상부재
321 제2안내 구멍
41 전극부

Claims (11)

1. 검사대상이 되는 검사부(檢査部)를 구비하는 피검사물(被檢査物)과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치(檢査裝置)를 전기적으로 접속하는 검사용 치구(檢査用治具)로서,
   상기 검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부(電極部)를 복수 구비하는 접속 전극체(接續電極體)와,
   일단(一端)이 상기 검사부에 압접(壓接)됨과 아울러 타단(他端)이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체(第1筒體)와,
   상기 제1통체와 전기적으로 비접촉(非接觸)이고 또한 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와,
   상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 일단을 상기 검사점으로 안내하는 제1안내 구멍을 구비하는 제1판상부재(第1板狀部材)와,
   상기 제1통체와 상기 제2통체의 각각의 타단을 상기 전극부로 안내하는 제2안내 구멍을 구비하고, 상기 제1판상부재와 소정의 간격을 두고 배치되는 제2판상부재와,
   상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부(筒壁部)의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되고 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고,
   상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1통체와 제2통체는, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되고, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
   
4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,
   상기 검사용 치구는, 상기 중간부를 관통시켜 안내하는 제3안내 구멍을 구비하는 제3판상부재를 구비하고,
   상기 제3판상부재는 병렬 배치되는 3장의 판부(板部)를 구비하고,
   중간에 배치되는 하나의 판부가 다른 판부에 대하여 면방향(面方向)으로 변위(變位)하여 상기 제3안내 구멍을 정렬위치로부터 벗어난 위치에 배치함으로써, 상기 중간부를 협지하는 것을
   특징으로 하는 검사용 치구.
   
5. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고,
   상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 대략 동축으로 수용하고,
   상기 제1안내 구멍은,
   상기 제3통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 상부 구멍과,
   상기 제1안내 상부 구멍과 통하도록 연결되고 상기 제3통체의 외경보다도 작고 또한 제1통체의 외경보다도 큰 지름을 구비하는 제1안내 하부 구멍을
   구비하는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
   
6. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1통체의 2개의 신축부와 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 검사용 치구.
   
7. 검사대상이 되는 검사부를 구비하는 피검사물과, 상기 검사부의 전기적 특성을 검사하는 검사장치의 전극부를 전기적으로 접속하는 검사용 치구에 사용되는 검사용 접촉자(檢査用接觸子)로서,
   일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제1통체와,
   상기 제1통체와 전기적으로 비접촉이고 또한 상기 제1통체 내에 대략 동축으로 배치되고, 일단이 상기 검사부에 압접됨과 아울러 타단이 상기 전극부에 압접되는 도전성의 통모양의 제2통체와,
   상기 제1통체와 상기 제2통체는, 통벽부의 나선 모양의 절단부에 의하여 형성되는 장축방향으로 신축하는 2개의 신축부가 중간부를 사이에 두고 형성되고,
   상기 제1통체와 상기 제2통체는, 각각의 중간부에 있어서 상기 제1통체와 상기 제2통체가 고정되는 것을
   특징으로 하는 검사용 접촉자.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1통체와 제2통체는, 니켈 또는 니켈 합금에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자.
   
9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
   상기 제1통체의 형상이, 상기 제1통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되고, 또한 상기 제2통체의 형상이, 상기 제2통체의 중앙에 대하여 대략 대칭이 되는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자.
   
10. 제7항에 있어서,
    상기 제1통체의 외경보다도 큰 내경을 구비하는 통모양의 제3통체가 형성되고,
    상기 제3통체가, 상기 제3통체 내에 상기 제1통체를 대략 동축으로 수용함과 아울러 제1통체보다도 짧은 길이로 형성되는 것을
    특징으로 하는 검사용 접촉자.
    
11. 제7항에 있어서,
    상기 제1통체의 2개의 신축부와, 상기 제2통체의 2개의 신축부는, 평면에서 볼 때에 있어서 인접하는 위치에 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 검사용 접촉자.

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