KR20100101436A - Fine deposition mask providing block unit to block dummy slit unit, the manufacturing method of organic light emitting device using the same mask, and the organic light emitting device which is manufactured by the same method - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A fine deposition mask with a blocking unit blocking a dummy slit unit, a manufacturing method of an organic luminous element using the same, an organic luminous element thereby are provided to stably supply power to an organic luminous element. CONSTITUTION: A fine deposition mask with a blocking unit blocking a dummy slit unit is composed of a first mask(110) and a second mask(120). The first mask comprises multiple deposition slit units(111) and multiple dummy slit units(112). The deposition slit units have multiple opened slits(121a,121b,121c). The second mask is contiguous to the first mask and has multiple blocking units(122a,122b,122c,122d).

Description

더미 슬릿부를 차단하는 차단부를 구비한 고정세 증착 마스크, 상기 고정세 증착 마스크를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 제조된 유기 발광 소자{Fine deposition mask providing block unit to block dummy slit unit, the manufacturing method of organic light emitting device using the same mask, and the organic light emitting device which is manufactured by the same method} A high definition deposition mask having a blocking portion blocking the dummy slit portion, a method of manufacturing an organic light emitting device using the high definition deposition mask, and an organic light emitting device manufactured by the manufacturing method unit, the manufacturing method of organic light emitting device using the same mask, and the organic light emitting device which is manufactured by the same method}

본 발명은 더미 슬릿부를 차단하는 차단부를 구비한 고정세 증착 마스크, 상기 고정세 증착 마스크를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 제조된 유기 발광 소자에 관한 것이다. The present invention relates to a high definition deposition mask having a blocking portion for blocking a dummy slit portion, a method of manufacturing an organic light emitting device using the high definition deposition mask, and an organic light emitting device manufactured by the manufacturing method.

자발광 소자인 유기 발광 소자는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점으로 차세대 평판 표시 장치로서 주목받고 있다. 이와 같은 유기 발광 소자는, 기판 상에 애노드 전극과 캐소드 전극, 그리고 두 전극 사이의 유기 발광층을 포함하는 유기막층을 구비함으로써 형성된다. The organic light emitting device, which is a self-luminous device, has attracted attention as a next-generation flat panel display due to its wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed. Such an organic light emitting element is formed by providing an organic film layer including an anode electrode, a cathode electrode, and an organic light emitting layer between two electrodes on a substrate.

유기 발광 소자의 발광 영역을 형성하는 유기 발광층은, 수분에 취약하여 통상적인 포토리소그라피 방법으로 유기막층을 형성하는 것은 어렵기 때문에 증착 방법 등을 이용하여 형성되는데, 주로 발광 영역에 대응하는 소정의 패턴을 구비한 고정세 마스크(fine mask)가 사용된다. The organic light emitting layer that forms the light emitting region of the organic light emitting element is formed by using a vapor deposition method because it is vulnerable to moisture and difficult to form the organic film layer by a conventional photolithography method. A fine mask with? Is used.

도 1은 유기 발광 소자의 유기 발광층을 증착하기 위한 종래의 고정세 증착 마스크의 패턴을 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ를 상세히 도시한 도면이며, 도 3은 도 1의 고정세 증착 마스크를 이용하여 기판 상에 형성된 유기 발광 소자의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다. 1 is a plan view schematically showing a pattern of a conventional high-definition deposition mask for depositing an organic light emitting layer of an organic light emitting device, FIG. 2 is a view showing detail II of FIG. 1, and FIG. 3 is fixed of FIG. 1. A plan view schematically showing a part of an organic light emitting element formed on a substrate using three deposition masks.

상기 도면들을 참조하면, 종래의 고정세 증착 마스크(10)는 기판(20) 상에 형성된 복수 개의 단위 유기 발광 소자(20A, 20B,..)의 발광 영역(21) 및 더미 픽셀 영역(22)에 대응하는, 복수 개의 단위 마스크 개구부(10A, 10B, 10C,...)를 구비한다. Referring to the drawings, the conventional high definition deposition mask 10 includes a light emitting area 21 and a dummy pixel area 22 of a plurality of unit organic light emitting devices 20A, 20B, .. formed on the substrate 20. Corresponding to the plurality of unit mask openings 10A, 10B, 10C,...

고정세 증착 마스크(10)의 각 단위 마스크 개구부(10A, 10B, 10C,...)는 유기 발광 소자(20A, 20B,..)의 발광 영역(21)에 적어도 하나의 유기 발광층을 성막 할 수 있는 복수 개의 성막 슬릿을 구비한 성막 슬릿부(11)와, 성막 슬릿부(11)의 외곽부에 유기 발광 소자의 더미(dummy) 픽셀 영역(22)에 대응하는 복수 개의 더미 슬릿을 구비한 더미 슬릿부(12)를 구비한다. Each unit mask opening 10A, 10B, 10C,... Of the high definition deposition mask 10 may form at least one organic light emitting layer in the light emitting region 21 of the organic light emitting element 20A, 20B, ... A film forming slit 11 having a plurality of film forming slits, and a plurality of dummy slits corresponding to the dummy pixel region 22 of the organic light emitting element at an outer portion of the film forming slit 11. The dummy slit part 12 is provided.

유기 발광 소자의 해상도 증가에 따라, 유기 발광층(21)의 증착 공정 시에 각 컬러(R,G,B)별로 재료를 특정 픽셀에 도포하기 위해 사용되는 고정세 증착 마스크(10)의 리브(Rib) 폭은 점차 작아져야 하며, 그 산포 또한 지속적인 감소가 요구 된다. 이때 산포의 대부분이 단위 마스크 개구부(10A, 10B, 10C,...)의 외곽부에 집중되므로 성막 슬릿부(11) 외곽부에 더미 슬릿부(12)를 형성함으로써 실제 발광 영역에 대응되는 단위 마스크 개구부(10A, 10B, 10C,...)의 치수 산포를 감소시킨다. 또한 고정세 증착 마스크(10)의 인장 용접시에 발생하는 응력 집중에 의한 고정세 증착 마스크(10)의 변형을 상쇄하기 위해서도 이와 같은 더미 슬릿부(21)의 형성이 필요하다. As the resolution of the organic light emitting diode increases, ribs of the high-definition deposition mask 10 used to apply a material to a specific pixel for each color (R, G, B) during the deposition process of the organic light emitting layer 21. The width should be gradually smaller and the spread also needs to be continuously reduced. At this time, since most of the dispersion is concentrated on the outer portion of the unit mask openings 10A, 10B, 10C, ..., the unit corresponding to the actual light emitting area is formed by forming the dummy slit portion 12 on the outer portion of the deposition slit portion 11. Reduce the dimensional spread of the mask openings 10A, 10B, 10C, ... Moreover, in order to cancel the deformation | transformation of the high definition deposition mask 10 by the stress concentration which arises at the time of the tensile welding of the high definition deposition mask 10, formation of such a dummy slit part 21 is necessary.

이와 같은 고정세 증착 마스크(10)를 이용하여 형성된 각 유기 발광 소자는, 유기 발광층(21)과 더미 픽셀 영역(22) 상에 공통 전극으로서 캐소드 전극(23)이 형성되는데, 이때 캐소드 전극(23)은 더미 픽셀 영역(22) 외곽부의 캐소드 컨택 영역(23a)에서, 절연막(미도시)을 사이에 두고 캐소드 전극(23) 하부에 형성되어 캐소드 전극(23)에 전원을 공급하는 전극 전원 공급 라인(미도시)에 컨택홀(contact hole)(미도시)을 통하여 전기적으로 접촉한다. In each organic light emitting device formed using the high-definition deposition mask 10 as described above, a cathode electrode 23 is formed as a common electrode on the organic light emitting layer 21 and the dummy pixel region 22, wherein the cathode electrode 23 is formed. ) Is an electrode power supply line formed under the cathode electrode 23 with an insulating film (not shown) interposed therebetween in the cathode contact region 23a outside the dummy pixel region 22 to supply power to the cathode electrode 23. Electrical contact is made to a contact hole (not shown) with a contact hole (not shown).

한편, 유기 발광 소자 제작 시, 데드 스페이스(dead space)(D)의 축소에 대한 요구가 커짐에 따라, 안정적인 소자 발광을 위한 캐소드 컨택 영역(23a)의 확보가 점차 어려워지고 있다. Meanwhile, when the organic light emitting device is manufactured, as the demand for reduction of the dead space D increases, securing of the cathode contact region 23a for stable device light emission becomes increasingly difficult.

그런데, 이와 같은 데드 스페이스(dead space) 축소에 대한 요구를 충족시키기 위하여, 유기 발광 소자의 실제 발광 영역 이외의 패널 외곽의 마진을 축소하게 되면, 고정세 증착 마스크(10)의 설계 시 더미 슬릿부(12)가 배치될 수 있는 공간에 대한 제한이 발생한다. 이렇게 되면, 전술한 바와 같이 고정세 증착 마스크(10)의 리브(Rib) 폭의 산포 및 인장 용접 시에 발생할 수 있는 마스크(10) 변형을 막 기에 충분한 더미 슬릿부(12)가 확보되진 못함에 따라, 고정세 증착 마스크(10)의 불량 및 이로 제작한 유기 발광 소자의 불량이 야기될 수 있다. However, in order to satisfy such a demand for dead space reduction, when the margin of the outside of the panel other than the actual light emitting area of the organic light emitting device is reduced, the dummy slit part in the design of the high definition deposition mask 10 is performed. There is a restriction on the space in which 12 can be placed. In this case, as described above, sufficient dummy slit portions 12 are not secured to prevent the spread of the rib width of the high-definition deposition mask 10 and the deformation of the mask 10 that may occur during tensile welding. Accordingly, a defect of the high definition deposition mask 10 and a defect of the organic light emitting device manufactured therefrom may be caused.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 더미 슬릿부를 차단하는 차단부를 구비한 고정세 증착 마스크, 상기 고정세 증착 마스크를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 제조된 유기 발광 소자를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is to solve various problems including the above problems, a high-definition deposition mask having a blocking portion for blocking the dummy slit portion, a method of manufacturing an organic light emitting device using the high-definition deposition mask, and the manufacturing method It is an object to provide an organic light-emitting device manufactured by.

본 발명은, 유기 발광 소자의 유기 발광층의 패턴을 형성하기 위한 고정세 증착 마스크로서, 상기 유기 발광층의 발광 영역의 패턴을 형성하는 복수 개의 개구 슬릿을 구비한, 복수 개의 성막 슬릿부와, 상기 성막 슬릿부의 외곽에 형성된 적어도 하나의 개구 슬릿을 구비한, 복수 개의 더미 슬릿부를 구비한 제 1 마스크; 및 상기 제 1 마스크에 인접되어 배치되며, 상기 더미 슬릿부가 형성된 길이 방향을 따라, 상기 복수 개의 더미 슬릿부에 대응되는 영역을 차단하는 복수 개의 차단부를 구비한 제 2 마스크;를 포함하는 고정세 증착 마스크를 제공한다.The present invention is a high-definition deposition mask for forming a pattern of an organic light emitting layer of an organic light emitting device, comprising: a plurality of film forming slit portions having a plurality of opening slits forming a pattern of a light emitting region of the organic light emitting layer, and the film forming A first mask having a plurality of dummy slits having at least one opening slit formed outside the slit; And a second mask disposed adjacent to the first mask and having a plurality of blocking portions to block regions corresponding to the plurality of dummy slit portions along a length direction in which the dummy slit portions are formed. Provide a mask.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제 2 마스크의 복수 개의 차단부는 인접한 더미 슬릿부 사이의 영역을 더 차단할 수 있다.According to another feature of the present invention, the plurality of blocking portions of the second mask may further block an area between adjacent dummy slit portions.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제 2 마스크의 복수 개의 차단부는 서로 분리되어 형성된 막대(stick) 모양일 수 있다.According to another feature of the invention, the plurality of blocking portions of the second mask may be a stick shape formed separated from each other.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제 2 마스크는, 상기 제 1 마스크의 복수 개의 성막 슬릿부에 대응되는 영역에 형성된 복수 개의 개구부를 더 포함하 고, 상기 제 2 마스크의 개구부와 차단부는 일체로 형성될 수 있다.According to another feature of the invention, the second mask further comprises a plurality of openings formed in a region corresponding to the plurality of film forming slit portions of the first mask, the opening and the blocking portion of the second mask is integral It can be formed as.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제 1 마스크의 더미 슬릿부의 슬릿의 개수는 조절 가능할 수 있다.According to another feature of the invention, the number of slits in the dummy slit portion of the first mask may be adjustable.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 복수 개의 더미 슬릿부 사이의 간격(W)은 조절 가능할 수 있다.According to another feature of the invention, the spacing (W) between the plurality of dummy slit portion may be adjustable.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 고정세 증착 마스크는 금속 마스크일 수 있다.According to another feature of the invention, the high definition deposition mask may be a metal mask.

또한 , 본 발명은 전술한 고정세 증착 마스크를 이용하여 유기 발광 소자의 유기 발광층을 형성하는 방법으로서, 상기 마스크 프레임에 고정하여 마스크 프레임 조립체를 형성하는 단계; 상기 마스크 프레임 조립체를 유기 발광 소자 형성용 기판에 인접시키는 단계; 및 상기 기판에 유기 발광물질을 증착하는 단계;를 포함하는 유기 발광 소자 제조 방법을 제공한다.In addition, the present invention provides a method for forming an organic light emitting layer of the organic light emitting device using the above-described high-definition deposition mask, the method comprising: forming a mask frame assembly by fixing to the mask frame; Adjoining the mask frame assembly to a substrate for forming an organic light emitting element; And depositing an organic light emitting material on the substrate.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 고정세 증착 마스크의 제 2 마스크는, 제 1 마스크를 사이에 두고 상기 기판에 대향되는 방향에 배치될 수 있다.According to still another feature of the present invention, the second mask of the high definition deposition mask may be disposed in a direction opposite to the substrate with the first mask therebetween.

또한, 본 발명은 전술한 유기 발광 소자의 제조 방법에 의해 제조된 유기 발광 소자로서, 유기 발광층의 외곽에 직접 인접한 영역에, 공통 전극 접촉 영역이 구비된 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자를 제공한다.In addition, the present invention provides an organic light emitting device manufactured by the method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the common electrode contact region is provided in a region directly adjacent to the outer side of the organic light emitting layer.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 공통 전극은 캐소드 전극일 수 있다. According to another feature of the invention, the common electrode may be a cathode electrode.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 첫째, 차단부에 의해 더미 슬릿부를 통한 유기 발광 물질의 증착이 차단되므로, 종래의 더미 픽셀 영역을 공통 전극 컨택 영역으로 전용할 수 있어 공통 전극 컨택 영역이 확대된다. 따라서 유기 발광 소자에 안정적인 전원을 공급할 수 있어 유기 발광 소자의 품질을 향상시킬 수 있다. According to the present invention as described above, first, since the deposition of the organic light emitting material through the dummy slit is blocked by the blocking portion, the conventional dummy pixel region can be converted to the common electrode contact region, thereby expanding the common electrode contact region. Therefore, it is possible to supply a stable power to the organic light emitting device can improve the quality of the organic light emitting device.

둘째, 제 1 마스크의 더미 슬릿부를 유지하거나 늘릴 수 있기 때문에 단위 마스크부의 외곽에 집중되는 개구의 치수 산포를 완화할 수 있다. Second, since the dummy slit portion of the first mask can be retained or extended, it is possible to alleviate the dimensional dispersion of the opening concentrated in the outer portion of the unit mask portion.

셋째, 공통 전극 컨택 영역을 유지하는 경우에는 제 1 마스크의 인접하는 더미 슬릿부 사이의 간격을 줄임으로써 데드 스페이스를 줄일 수 있다. Third, when maintaining the common electrode contact region, dead space can be reduced by reducing the distance between adjacent dummy slit portions of the first mask.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제 1 마스크 및 제 2 마스크를 포함한 고정세 증착 마스크의 개략적인 사시도 이고, 도 5는 제 2 마스크의 변형 예를 도시한 도면이고, 도 6은 유기 발광 소자 형성용 기판에 고정세 증착 마스크를 이용하여 증착하는 모습을 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 7 및 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 고정세 증착 마스크를 이용하여 기판 상에 형성된 유기 발광 소자의 일부를 개략적으로 도시한 평면도들이다. 4 is a schematic perspective view of a high-definition deposition mask including a first mask and a second mask according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 5 is a view showing a modified example of the second mask, and FIG. 6 is an organic light emitting diode. 7 is a cross-sectional view schematically illustrating a deposition method using a high definition deposition mask on a device forming substrate, and FIGS. 7 and 8 are organic light emitting devices formed on a substrate using a high definition deposition mask according to a preferred embodiment of the present invention. Are plan views schematically showing a part of?

상기 도면들을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 고정세 증착 마스크(100)는 서로 상하의 관계로 배치된 제 1 마스크(110) 및 제 2 마스크(120)를 구비한다. Referring to the drawings, the high-definition deposition mask 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a first mask 110 and a second mask 120 disposed in a vertical relationship with each other.

제 1 마스크(110)는 유기 발광 소자의 패턴을 형성하는 복수 개의 단위 마스크부(110A, 110B, 110C,..)를 구비한다. 각 단위 마스크부(110A, 110B, 110C,..)는 유기 발광 소자의 유기 발광층(210)의 발광 영역의 패턴을 형성하는 복수 개의 개구 슬릿을 구비하는 복수 개의 성막 슬릿부(111)와, 성막 슬릿부의 외곽부에 형성되고 적어도 하나의 개구 슬릿을 구비하는 복수 개의 더미 슬릿부(112)를 포함한다. The first mask 110 includes a plurality of unit mask parts 110A, 110B, 110C, .. which form a pattern of the organic light emitting device. Each of the unit mask parts 110A, 110B, 110C, .. is formed with a plurality of film forming slits 111 including a plurality of opening slits forming a pattern of light emitting regions of the organic light emitting layer 210 of the organic light emitting element, and film forming. And a plurality of dummy slits 112 formed at an outer portion of the slit part and having at least one opening slit.

한편, 상기 도면들에는 제 1 마스크(110)에 구비된 단위 마스크부(110A, 110B, 110C,..)의 개수가 9개로 도시되어 있지만, 이는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 예시로서 본 발명은 상기 도면에 도시된 단위 마스크부의 개수나 위치에 제한받는 것은 아니다. Meanwhile, although the number of unit mask parts 110A, 110B, 110C, .. provided in the first mask 110 is illustrated as nine in the drawings, this is an example to help understanding of the present invention. Is not limited to the number or position of the unit mask portion shown in the figure.

제 2 마스크(120)는 제 1 마스크(110)에 인접하여 배치되며, 제 1 마스크(110)의 성막 슬릿부(111)에 대응되는 영역에 형성된 개구부(121)와, 더미 슬릿부(112)가 형성된 길이 방향을 따라 더미 슬릿부(112)에 대응되는 영역을 차단하는 차단부(122)를 구비한다. The second mask 120 is disposed adjacent to the first mask 110, and has an opening 121 and a dummy slit 112 formed in an area corresponding to the deposition slit 111 of the first mask 110. Is provided with a blocking unit 122 for blocking an area corresponding to the dummy slit 112 along the longitudinal direction.

도 4를 참조하면, 제 2 마스크(120)의 개구부(121)와 차단부(122)는, 제 1 마스크(110)의 복수 개의 성막 슬릿부(111) 및 더미 슬릿부(112)의 위치에 대응되도록, 복수 개의 개구부(121a, 121b, 121c) 및 차단부(122a, 122b, 122c, 122d)를 구비하며, 이들 개구부121a, 121b, 121c)와 차단부(122a, 122b, 122c, 122d)는 일 체로 형성된 하나의 마스크를 이룬다. Referring to FIG. 4, the opening 121 and the blocking portion 122 of the second mask 120 are positioned at the positions of the plurality of film forming slit portions 111 and the dummy slit portion 112 of the first mask 110. Correspondingly, a plurality of openings 121a, 121b, 121c and blocking portions 122a, 122b, 122c, 122d are provided, and these openings 121a, 121b, 121c and blocking portions 122a, 122b, 122c, 122d are It forms one mask formed in one piece.

다만, 도 4에 도시된 제 2 마스크(120)의 형상은 본 발명의 일 실시 예로 도시된 것으로서 본 발명은 여기에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 5를 참조하면, 제 2 마스크(120')의 차단부(122')는 복수 개의 막대 모양의 차단 스틱(122a', 122b', 122c', 122d')이 서로 분리되어 구비되어 있다. However, the shape of the second mask 120 shown in FIG. 4 is illustrated as one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited thereto. For example, referring to FIG. 5, the blocking part 122 ′ of the second mask 120 ′ includes a plurality of bar-shaped blocking sticks 122 a ′, 122 b ′, 122 c ′, and 122 d ′ separated from each other. It is.

도 4 및 5에 도시된 제 2 마스크(120, 120')의 차단부(122, 122')는 일체로 형성되거나 또는 분리되어 형성되는 점에서 차이가 있지만, 차단부(122, 122')가 인접하는 더미 슬릿부들(112) 사이의 영역을 모두 차단하고 있다는 점에서 공통점이 있다. 따라서, 후술하겠지만 차단부(122, 122')가 더미 슬릿부(112)를 통한 유기 발광 물질의 증착을 차단하기 때문에, 유기 발광 소자의 제작에 있어서 캐소드 컨택 영역(230a)의 마진을 확대하거나 데드 스페이서(D')를 축소할 수 있는 것이다. Although the blocking portions 122 and 122 'of the second masks 120 and 120' shown in FIGS. 4 and 5 are different in that they are formed integrally or separately, the blocking portions 122 and 122 ' In common, the area between the adjacent dummy slits 112 is blocked. Therefore, as will be described later, since the blocking portions 122 and 122 'block deposition of the organic light emitting material through the dummy slit portion 112, the margin of the cathode contact region 230a may be increased or dead when manufacturing the organic light emitting diode. The spacer D 'can be reduced.

한편, 상기 실시 예들에서는 제 2 마스크(120)의 차단부(122, 122')가 인접하는 더미 슬릿부들(112) 사이의 영역을 모두 차단하고 있지만, 전술한 효과를 위해서는 제 2 마스크(120)의 차단부는 더미 슬릿부(112)가 형성된 영역에 대응되는 영역만 차단하여도 무방하다. Meanwhile, in the above embodiments, although the blocking portions 122 and 122 ′ of the second mask 120 block all of the areas between the adjacent dummy slit portions 112, the second mask 120 may be used for the above-described effect. The blocking portion of may block only the region corresponding to the region where the dummy slit portion 112 is formed.

도 6을 참조하면, 전술한 제 1 마스크(110)와 제 2 마스크(120)를 포함하는 고정세 증착 마스크(100)를 마스크 프레임(F)에 인장 및 고정한다. 이와 같이 형성된 마스크 프레임 조립체를 유기 발광 소자 형성용 기판(200)에 인접시키고, 증착 챔버(미도시)에서 유기 발광 물질(미도시)을 증착한다. 이때, 제 2 마스크(120)는 제 1 마스크(110)를 사이에 두고 유기 발광 소자 형성용 기판(200)에 대향되는 방향에 배치되는 것이 바람직하다. Referring to FIG. 6, the high definition deposition mask 100 including the first mask 110 and the second mask 120 described above is tensioned and fixed to the mask frame F. Referring to FIG. The mask frame assembly thus formed is adjacent to the substrate 200 for forming an organic light emitting element, and an organic light emitting material (not shown) is deposited in a deposition chamber (not shown). In this case, the second mask 120 may be disposed in a direction opposite to the substrate 200 for forming an organic light emitting element with the first mask 110 therebetween.

도 7을 참조하면, 도 4의 증착 마스크(100)를 이용하여, 도 6의 방법으로 기판(200) 상에 형성된 인접한 유기 발광 소자(200A, 200B)의 일부가 개략적으로 도시되어 있다. Referring to FIG. 7, a portion of adjacent organic light emitting devices 200A and 200B formed on the substrate 200 by the method of FIG. 6 using the deposition mask 100 of FIG. 4 is schematically illustrated.

유기 발광 소자(200A, 200B)는 유기 발광 물질이 증착된 유기 발광층(210)과, 상기 유기 발광층(210)을 덮도록 공통 전극(220)이 구비된다. The organic light emitting diodes 200A and 200B include an organic emission layer 210 on which an organic emission material is deposited, and a common electrode 220 to cover the organic emission layer 210.

유기 발광층(210)은 적어도 세 개의 고정세 증착 마스크(100)에 의해 컬러별로 성막된다. 상기 도면에는 세 개의 컬러(적색, 녹색, 청색)를 이용하여 성막된 발광층(210R, 210G, 210B)이 도시되어 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 유기 발광층(210)은 다른 컬러로 구성될 수 있으며, 구성되는 컬러의 개수가 다르거나 각 패턴의 크기가 다를 수 있는 등 다양한 변형이 가능함은 물론이다. The organic emission layer 210 is formed by color by at least three high definition deposition masks 100. Although the light emitting layers 210R, 210G, and 210B formed using three colors (red, green, and blue) are illustrated in the drawing, the present invention is not limited thereto. That is, the organic light emitting layer 210 may be composed of different colors, and various modifications are possible, such as the number of colors formed may be different or the size of each pattern may be different.

그리고, 유기 발광층(210)의 외곽에 직접 인접한 영역에는, 상기 공통 전극(220)이 절연막(미도시)을 사이에 두고 공통 전극(220)에 전원을 공급하는 전극 전원 공급 라인(미도시)에 컨택홀(미도시)을 통하여 전기적으로 접촉할 수 있는 공통 전극 컨택 영역(230a)이 형성된다. 이때, 상기 공통 전극(220)은 캐소드 전극으로 형성할 수 있다. In the region directly adjacent to the outer side of the organic light emitting layer 210, the common electrode 220 is connected to an electrode power supply line (not shown) that supplies power to the common electrode 220 with an insulating film (not shown) therebetween. The common electrode contact region 230a may be formed to be in electrical contact through the contact hole (not shown). In this case, the common electrode 220 may be formed as a cathode electrode.

전술한 종래의 고정세 증착 마스크(10)를 이용하여 형성된 유기 발광 소자(20A, 20B)(도 3참조)와 본 실시 예에 따른 고정세 증착 마스크(100)를 이용하여 형성된 유기 발광 소자(200A,200B) 를 비교하면, 제 2 마스크(120)의 차단부(122)에 의해 더미 슬릿부(112)를 통한 유기 발광 물질의 증착이 차단되므로, 종래의 더미 픽셀 영역(A)을 모두 공통 전극 컨택 영역(230a)으로 전용할 수 있기 때문에, 결과적으로 공통 전극 컨택 영역(23a=>230a)이 확대된다. The organic light emitting diodes 20A and 20B (see FIG. 3) formed using the conventional high definition deposition mask 10 described above and the organic light emitting diode 200A formed using the high definition deposition mask 100 according to the present embodiment. In comparison with, 200B, since the deposition of the organic light emitting material through the dummy slit 112 is blocked by the blocking portion 122 of the second mask 120, all of the conventional dummy pixel regions A are common electrodes. Since it can be dedicated to the contact region 230a, the common electrode contact region 23a => 230a is enlarged as a result.

따라서 본 실시 예에 따르면, 공통 전극 컨택 영역의 확대로 인하여 유기 발광 소자에 안정적인 전원을 공급할 수 있어 유기 발광 소자의 품질을 향상시킬 수 있다. Therefore, according to the present exemplary embodiment, stable power may be supplied to the organic light emitting diode due to the expansion of the common electrode contact region, thereby improving the quality of the organic light emitting diode.

또한, 제 1 마스크의 더미 슬릿부를 유지할 수 있기 때문에 단위 마스크부의 외곽에 집중되는 개구의 치수 산포를 완화할 수 있다. 물론, 상기 도면들에는 단위 더미 슬릿부를 구성하는 슬릿의 개수가 2개인 경우를 도시하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않음은 물론이다. 만약 슬릿의 개수를 더 늘린다면 상술한 치수 산포를 더욱 줄일 수 있음은 물론이다. In addition, since the dummy slit portion of the first mask can be retained, it is possible to alleviate the dimensional dispersion of the opening concentrated in the outer portion of the unit mask portion. Of course, in the drawings, the number of slits constituting the unit dummy slit part is illustrated as two, but the present invention is not limited thereto. If the number of slits is further increased, the above-described dimensional dispersion can be further reduced.

이하, 전술한 실시 예(도 7 참조)와 비교하여, 도 8에 도시된 유기 발광 소자를 설명한다. Hereinafter, the organic light emitting diode illustrated in FIG. 8 will be described in comparison with the above-described embodiment (see FIG. 7).

상기 도면에는 기판(200') 상에 형성된 인접한 유기 발광 소자(200A', 200B')의 일부가 개략적으로 도시되어 있다. 유기 발광 물질이 증착된 유기 발광층(210')과, 상기 유기 발광층(210')을 덮도록 공통 전극(220')이 구비되지만, 공통 전극 컨택 영역(230a)은 종래의 증착 마스크를 이용하여 형성된 유기 발광 소자(20A, 20B)의 경우와 유사하다. 그러나, 공통 전극 컨택 영역(230a)을 유지하는 대신에, 제 1 마스크(110)의 인접하는 더미 슬릿부(112) 사이의 간격(W')을 줄임으 로써 데드 스페이스(D')를 줄일 수 있다. The figure schematically shows a portion of adjacent organic light emitting elements 200A 'and 200B' formed on the substrate 200 '. The organic light emitting layer 210 'on which the organic light emitting material is deposited and the common electrode 220' are provided to cover the organic light emitting layer 210 ', but the common electrode contact region 230a is formed using a conventional deposition mask. Similar to the case of the organic light emitting elements 20A and 20B. However, instead of maintaining the common electrode contact region 230a, the dead space D ′ may be reduced by reducing the distance W ′ between the adjacent dummy slit portions 112 of the first mask 110. have.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다. While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

도 1은 유기 발광 소자의 유기 발광층을 증착하기 위한 종래의 고정세 증착 마스크의 패턴을 개략적으로 도시한 평면도이다.1 is a plan view schematically showing a pattern of a conventional high definition deposition mask for depositing an organic light emitting layer of an organic light emitting device.

도 2는 도 1의 Ⅱ를 상세히 도시한 도면이다. FIG. 2 is a detailed view of II of FIG. 1.

도 3은 도 1의 고정세 증착 마스크를 이용하여 기판 상에 형성된 유기 발광 소자의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다. 3 is a plan view schematically illustrating a portion of an organic light emitting diode formed on a substrate using the high-definition deposition mask of FIG. 1.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 제 1 마스크 및 제 2 마스크를 포함한 고정세 증착 마스크의 개략적인 사시도 이다. 4 is a schematic perspective view of a high definition deposition mask including a first mask and a second mask according to a preferred embodiment of the present invention.

도 5는 제 2 마스크의 변형 예를 도시한 도면이다. 5 is a diagram illustrating a modified example of the second mask.

도 6은 유기 발광 소자 형성용 기판에 고정세 증착 마스크를 이용하여 증착하는 모습을 개략적으로 도시한 단면도이다. FIG. 6 is a cross-sectional view schematically illustrating the deposition using a high definition deposition mask on a substrate for forming an organic light emitting device.

도 7 및 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 고정세 증착 마스크를 이용하여 기판 상에 형성된 유기 발광 소자의 일부를 개략적으로 도시한 평면도들이다. 7 and 8 are plan views schematically illustrating a portion of an organic light emitting diode formed on a substrate using a high definition deposition mask according to a preferred embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 간략한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

100: 고정세 증착 마스크 110: 제 1 마스크100: high definition deposition mask 110: first mask

110A, 110B, 110C: 단위 마스크부 111: 성막 슬릿부110A, 110B, 110C: unit mask portion 111: film forming slit portion

112: 더미 슬릿부 120: 제 2 마스크 112: dummy slit portion 120: second mask

121: 개구부 122, 122a,122b, 122c, 122d: 차단부121: openings 122, 122a, 122b, 122c, 122d: blocking portions

200, 200': 기판 210, 210': 유기 발광층 200, 200 ': substrate 210, 210': organic light emitting layer

220, 220': 공통 전극 230a, 230a': 공통 전극 컨택 영역220, 220 ': common electrode 230a, 230a': common electrode contact region

D: 데드 스페이스 F: 마스크 프레임 D: Dead Space F: Mask Frame

Claims (11)

유기 발광 소자의 유기 발광층의 패턴을 형성하기 위한 고정세 증착 마스크로서, A high definition deposition mask for forming a pattern of an organic light emitting layer of an organic light emitting element, 상기 유기 발광층의 발광 영역의 패턴을 형성하는 복수 개의 개구 슬릿을 구비한, 복수 개의 성막 슬릿부와, 상기 성막 슬릿부의 외곽에 형성된 적어도 하나의 개구 슬릿을 구비한, 복수 개의 더미 슬릿부를 구비한 제 1 마스크; 및A plurality of dummy slits having a plurality of deposition slits having a plurality of opening slits forming a pattern of a light emitting region of the organic light emitting layer and at least one opening slit formed outside of the deposition slits 1 mask; And 상기 제 1 마스크에 인접되어 배치되며, 상기 더미 슬릿부가 형성된 길이 방향을 따라, 상기 복수 개의 더미 슬릿부에 대응되는 영역을 차단하는 복수 개의 차단부를 구비한 제 2 마스크;를 포함하는 고정세 증착 마스크. A second mask disposed adjacent to the first mask, the second mask having a plurality of blocking portions to block regions corresponding to the plurality of dummy slit portions along a length direction in which the dummy slit portions are formed; . 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 2 마스크의 복수 개의 차단부는 인접한 더미 슬릿부 사이의 영역을 더 차단하는 것을 특징으로 하는 고정세 증착 마스크.And the plurality of blocking portions of the second mask further block regions between adjacent dummy slit portions. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 2 마스크의 복수 개의 차단부는 서로 분리되어 형성된 막대(stick) 모양인 것을 특징으로 하는 고정세 증착 마스크.The plurality of blocking portions of the second mask is a high-definition deposition mask, characterized in that the stick shape formed separated from each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 마스크는, 상기 제 1 마스크의 복수 개의 성막 슬릿부에 대응되는 영역에 형성된 복수 개의 개구부를 더 포함하고, 상기 제 2 마스크의 개구부와 차단부는 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 고정세 증착 마스크. The second mask further includes a plurality of openings formed in regions corresponding to the plurality of deposition slit portions of the first mask, wherein the openings and the blocking portions of the second mask are integrally formed. . 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1 마스크의 더미 슬릿부의 슬릿의 개수는 조절 가능한 것을 특징으로 하는 고정세 증착 마스크.The number of slits of the dummy slit portion of the first mask is adjustable, characterized in that the high-definition deposition mask. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 복수 개의 더미 슬릿부 사이의 간격(W)은 조절 가능한 것을 특징으로 하는 고정세 증착 마스크. The spacing W between the plurality of dummy slits is adjustable. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정세 증착 마스크는 금속 마스크인 것을 특징으로 하는 고정세 증착 마스크.The high definition deposition mask is a high definition deposition mask, characterized in that the metal mask. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 고정세 증착 마스크를 이용하여 유기 발광 소자의 유기 발광층을 형성하는 방법으로서, A method of forming an organic light emitting layer of an organic light emitting device by using the high-definition deposition mask of any one of claims 1 to 7, 상기 마스크 프레임에 고정하여 마스크 프레임 조립체를 형성하는 단계; Securing to the mask frame to form a mask frame assembly; 상기 마스크 프레임 조립체를 유기 발광 소자 형성용 기판에 인접시키는 단 계; 및Adjoining the mask frame assembly to a substrate for forming an organic light emitting element; And 상기 기판에 유기 발광물질을 증착하는 단계;를 포함하는 유기 발광 소자 제조 방법. And depositing an organic light emitting material on the substrate. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 고정세 증착 마스크의 제 2 마스크는, 제 1 마스크를 사이에 두고 상기 기판에 대향되는 방향에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자의 제조 방법. The second mask of the high-definition deposition mask is disposed in a direction opposite to the substrate with the first mask therebetween. 제 8 항 또는 제 9 항의 제조 방법에 의해 제조된 유기 발광 소자로서, An organic light emitting device manufactured by the manufacturing method of claim 8 or 9, 유기 발광층의 외곽에 직접 인접한 영역에, 공통 전극 접촉 영역이 구비된 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자. An organic light emitting device according to claim 1, wherein a common electrode contact region is provided in a region directly adjacent to an outer side of the organic emission layer. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 공통 전극은 캐소드 전극인 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자. The common electrode is a cathode, characterized in that the cathode electrode.
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