KR20100073296A - 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 승강되는 웨이퍼카세트에 적재된 웨이퍼의 돌출 여부를 감지하여 구동부의 전원을 차단해줌으로써 웨이퍼의 파손 및 손상을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서에 관한 것이다.
이를 실현하기 위한 본 발명은 측면이 개방되어 출입구가 마련되는 본체프레임과, 상기 본체프레임 내부에 웨이퍼카세트가 안착될 수 있도록 마련되는 플레이트와, 상기 플레이트를 수직방향으로 승강시키는 구동부를 포함하는 인덱서에 있어서, 상기 본체프레임의 수평 방향으로 설치되어 승강되는 웨이퍼카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하게 되는 제1감지부; 상기 본체프레임의 수직 방향으로 설치되어 상기 웨이퍼카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하게 되는 제2감지부; 상기 제1감지부 또는/및 제2감지부로부터의 감지신호를 전달받아 상기 구동부의 전원을 차단하게 되는 제어부;를 포함한다.
인덱서, 웨이퍼카세트, 웨이퍼 돌출, 감지센서, 알람

Description

웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서{Indexer for detecting wafer protrusion}
본 발명은 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 승강되는 웨이퍼카세트에 적재된 웨이퍼의 돌출 여부를 감지하여 구동부의 전원을 차단해줌으로써 웨이퍼의 파손 및 손상을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 진행하는 과정에서 해당 공정이 완료된 웨이퍼는 웨이퍼카세트와 같은 적재용기에 담겨져 이송되거나 다음 공정의 제조 장치로 공급된다. 이 경우 상기 웨이퍼카세트에서 웨이퍼를 꺼내거나 적재할 때 사용되는 장치는 각 제조 장치에 따라 다양한 형태로 구성될 수 있다.
이러한 웨이퍼의 이송을 위해 인덱서(Indexer)라 불리는 장치를 이용하여 각 제조 장치 내로 웨이퍼를 이송하게 된다.
도 1은 종래 인덱서의 내부구성을 보여주는 정면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 인덱서(100)는 측면이 개방되어 출입구가 마련되는 본체프레임(110)과, 상기 본체프레임(110) 내부에 웨이퍼카세트(120)가 안착될 수 있도록 마련되는 플레이트(130)와, 상기 플레이트(130)의 양측 수직방향으로 각각 결합되어 정역방향으로 회전되면서 플레이트(130)를 승강시키는 리드스크류(151)와 상기 리드스크류(151)의 일단에 벨트(153)를 통해 연결되어 동력을 전달하는 구동모터(155)로 이루어진 구동부(150)를 포함하여 구성된다.
그리고 상기 본체프레임(110)의 상부 수평방향에는 발광센서(161)와 수광센서(163)로 이루어진 제1감지부(160)가 구비된다. 이러한 제1감지부(160)는 플레이트(130)가 승강되는 과정에서 웨이퍼카세트(120)로부터 웨이퍼(W)의 돌출을 감지하게 되는 것으로, 제1감지부(160)에서 웨이퍼(W)의 돌출을 감지하게 되면 제어부(미도시)에서는 구동모터(155)의 전원을 차단시켜 상승하는 플레이트(130)를 정지시켜줌으로써 돌출된 웨이퍼(W)의 파손을 방지할 수 있도록 되어 있다.
이 경우 상기 제1감지부(160)가 본체프레임의 상부에 설치된 이유는 플레이트(130) 상에 안착되어 승강되는 웨이퍼카세트(120) 내에 적재된 25장의 웨이퍼(W) 모두다 상기 제1감지부(160)의 감지 범위 안에 들 수 있도록 하기 위한 구조상의 문제가 있기 때문이다.
그러나 상기와 같은 제1감지부(160)에서 상승하는 웨이퍼카세트(120)의 돌출된 웨이퍼(W)를 감지하여 구동모터(155)의 전원을 차단시키는 경우에도 상승하던 플레이트(130)의 관성력 또는 구동모터(155)의 오버런(Overrun)에 의해 돌출된 웨이퍼(W)가 본체프레임(110)에 충돌하여 파손되는 경우가 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 승강되는 웨이퍼카세트에 적재된 웨이퍼의 돌출 여부를 감지하여 구동부의 전원을 차단해줌으로써 웨이퍼의 파손 및 손상을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서를 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서는, 측면이 개방되어 출입구가 마련되는 본체프레임과, 상기 본체프레임 내부에 웨이퍼카세트가 안착될 수 있도록 마련되는 플레이트와, 상기 플레이트를 수직방향으로 승강시키는 구동부를 포함하는 인덱서에 있어서, 상기 본체프레임의 수평 방향으로 설치되어 승강되는 웨이퍼카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하게 되는 제1감지부; 상기 본체프레임의 수직 방향으로 설치되어 상기 웨이퍼카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하게 되는 제2감지부; 상기 제1감지부 또는/및 제2감지부로부터의 감지신호를 전달받아 상기 구동부의 전원을 차단하게 되는 제어부;를 포함한다.
이 경우 상기 제2감지부는 발광센서와 수광센서로 각각 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제2감지부는 상기 웨이퍼카세트의 승강 구간 전체를 감지하게 되 는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 구동부는 별도의 전원으로 제2감지부 및 제어부와 회로가 구성된 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제어부는 웨이퍼의 돌출 신호 감지시 알람 램프 또는/및 부저를 작동시키는 것을 포함한다.
이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서는, 승강되는 웨이퍼카세트에 적재된 웨이퍼의 돌출 여부를 감지하여 구동부의 전원을 차단해줌으로써 웨이퍼의 파손 및 손상을 방지할 수 있고, 장비의 효율성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
여기서, 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서의 정면도이고, 도 3은 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서의 구성도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 인덱서(1)는 측면이 개방되어 출입구가 마련되는 본체프레임(10)과, 상기 본체프레임(10) 내부에 웨이퍼카세트(11)가 안착될 수 있도록 마련되는 플레이트(13)와, 상기 플레이트(13)의 양측 수직방향으로 각각 결합되어 정역방향으로 회전되면서 플레이트(13)를 승강시키는 리드스크류(51)와 상기 리드스크류(51)의 일단에 벨트(53)를 통해 연결되어 동력을 전달하는 구동모터(55)로 이루어진 구동부(50)와, 상기 본체프레임(10)의 상부 수평 방향으로 설치되어 승강되는 웨이퍼카세트(11)로부터 돌출된 웨이퍼(W)를 감지하게 되는 제1감지부(21)의 구성은 종래와 동일하다.
이 경우 상기 웨이퍼카세트(11)가 승강되는 전 구간에 걸쳐 돌출된 웨이퍼(W)를 감지할 수 있도록 한 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서(1)는 제2감지부(23)를 포함한다.
상기 제2감지부(23)는 본체프레임(10)의 수직방향으로 설치되어 웨이퍼카세트(11)로부터 돌출된 웨이퍼(W)를 감지하게 되는 것으로, 상기 제2감지부(23)는 발광센서(23a)와 수광센서(23b)로 이루어진다. 이러한 제2감지부(23)는 웨이퍼카세트(11)의 승강 구간(H) 전체를 실시간으로 감지하게 된다.
상기 제2감지부(23)에서 감지된 신호는 제어부(30)에서 전달받게 된다. 이 경우 상기 제어부(30)는 제2감지부(23)의 감지신호에 따라 구동부(50)의 전원을 차단해주게 됨으로써 플레이트(13)의 승강을 멈추게 된다.
한편, 상기 구동부(50)는 별도의 전원으로 제2감지부(23) 및 제어부(30)와 회로를 구성하게 된다. 이 경우 상기 웨이퍼카세트(11)가 승강되는 과정에서 웨이 퍼(W)가 돌출된 경우 제어부(30)에서는 제2감지부(23)의 감지신호를 전달받아 구동부(50)의 전원을 차단하게 되고, 이러한 장비의 에러를 정확하게 파악하지 못한 작업자가 실수로 인덱서(1)의 리셋 버튼을 눌러도 장비가 재가동되지 않기 때문에 종래와 같이 구동부(50)가 다시 작동되면서 돌출된 웨이퍼(W)가 본체프레임(10)에 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있게 된다. 즉, 상기 웨이퍼카세트(11)로부터 돌출된 웨이퍼(W)를 원상태로 적재시키지 않는 한 구동부(50)의 전원은 계속 차단되게 된다.
그리고 상기 제어부(30)에서는 구동부(50)의 전원을 차단함과 아울러 알람 램프 또는/및 부저를 작동시키게 되고, 작업자는 인덱서(1) 장비에서 발생한 에러의 원인을 손쉽게 파악할 수 있게 된다.
한편, 상기 제어부(30)는 제1감지부(21) 또는 제2감지부(23)로부터 감지신호를 전달받는 경우 모두 구동부(50)의 전원을 차단하게 된다. 이 경우 상기 제1감지부(21)는 제2감지부(23)에 비해 사용빈도가 낮다. 따라서, 상기 제1감지부(21)는 제2감지부(23)의 에러 발생시 대체수단으로도 사용될 수 있다.
그러면, 이상과 같은 구성의 본 발명의 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서의 작용을 도 4를 참조하여 설명해 보기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서의 회로도이다.
우선, 릴레이(Relay) 접점 1번과 5번에 구동모터(M)의 24V가 연결되어 플레이트(13) 구동하게 되고, 제2감지부(23)에서는 웨이퍼(W)의 돌출을 감지하게 된다. 이때, 상기 제2감지부(23)에서 웨이퍼(W)의 돌출을 감지하게 되면 릴레이의 접점 13번과 14번에 DC 24V가 인가되면서 릴레이가 동작하게 되고, 평소 릴레이 접점 1번과 5번이 연결되어 있던 상태에서 릴레이 동작과 함께 접점 1번과 9번으로 연결되면서 구동모터(55)로 인가되던 전원이 차단되어 플레이트(13)의 승강이 멈추게 되고, 반면에 램프(L)에는 전원이 인가되어 알람이 발생하게 된다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.
도 1은 종래 인덱서의 구성을 보여주는 정면도,
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서의 정면도,
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서의 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서의 회로도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 인덱서 10 : 본체프레임
11 : 웨이퍼카세트 13 : 플레이트
21 : 제1감지부 23 : 제2감지부
23a : 발광센서 23b : 수광센서
30 : 제어부 50 : 구동부
51 : 리드스크류 53 : 벨트
55 : 구동모터 W : 웨이퍼
L : 램프

Claims (5)

  1. 측면이 개방되어 출입구가 마련되는 본체프레임과, 상기 본체프레임 내부에 웨이퍼카세트가 안착될 수 있도록 마련되는 플레이트와, 상기 플레이트를 수직방향으로 승강시키는 구동부를 포함하는 인덱서에 있어서,
    상기 본체프레임의 수평 방향으로 설치되어 승강되는 웨이퍼카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하게 되는 제1감지부;
    상기 본체프레임의 수직 방향으로 설치되어 상기 웨이퍼카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하게 되는 제2감지부;
    상기 제1감지부 또는/및 제2감지부로부터의 감지신호를 전달받아 상기 구동부의 전원을 차단하게 되는 제어부;를 포함하는 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제2감지부는 발광센서와 수광센서로 각각 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제2감지부는 상기 웨이퍼카세트의 승강 구간 전체를 감지하게 되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 구동부는 별도의 전원으로 제2감지부 및 제어부와 회로가 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는 웨이퍼의 돌출 신호 감지시 알람 램프 또는/및 부저를 작동시키는 것을 포함하는 웨이퍼 돌출 감지부가 구비된 인덱서.
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