KR20100067237A - Touch panel, method for manufacturing the same and liquid crystal display device using thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 터치 위치 감지를 위해 사용하는 서로 교차하는 투명 전극과 저항이 작은 금속 배선을 콘택시켜 배선 저항 감소에 의해 터치 감지력을 높이고 공정을 단순화하며 대면적 구현이 가능한 터치 패널, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 액정 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 평판 표시장치(Flat Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.In recent years, the display field for visually expressing electrical information signals has been rapidly developed as the information age has been developed, and various flat panel display devices having excellent performance of thinning, light weight, and low power consumption have been developed. Flat Display Device has been developed and is rapidly replacing the existing Cathode Ray Tube (CRT).
이 같은 평판 표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display Device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들은 공통적으로 화상을 구현하는 평판 표시패널을 필수적인 구성요소로 하는 바, 평판 표시패널은 고유의 발광 또는 편광물질층을 사이에 두고 한 쌍의 투명 절연기판을 대면 합착시킨 구성을 갖는다.Specific examples of such a flat panel display device include a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel device (PDP), a field emission display device (FED), and an electroluminescent display device. (Electro luminescence Display Device: ELD) and the like, these are commonly used as an essential component of a flat panel display panel that implements an image, a flat panel display panel has a pair of light emitting or polarizing material layer in between It has a configuration in which a transparent insulating substrate is faced and bonded together.
이중 액정 표시장치는 전계를 이용하여 액정의 광 투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 화상 표시장치는 액정셀을 가지는 표시패널과, 표시패널에 광을 조사하는 백 라이트 유닛 및 액정셀을 구동하기 위한 구동회로를 포함하여 구성된다.The dual liquid crystal display displays an image by adjusting the light transmittance of the liquid crystal using an electric field. To this end, the image display device includes a display panel having a liquid crystal cell, a backlight unit for irradiating light to the display panel, and a driving circuit for driving the liquid crystal cell.
표시패널은 복수의 게이트 라인과 복수의 데이터 라인이 교차하여 복수의 단위 화소영역이 정의 되도록 형성된다. 이때, 각 화소영역에는 서로 대향하는 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 어레이 기판과, 두 기판 사이에 일정한 셀갭 유지를 위해 위치하는 스페이서와, 그 셀갭에 채워진 액정을 구비한다.The display panel is formed such that a plurality of unit pixel regions are defined by crossing a plurality of gate lines and a plurality of data lines. In this case, each pixel area includes a thin film transistor array substrate and a color filter array substrate facing each other, a spacer positioned to maintain a constant cell gap between the two substrates, and a liquid crystal filled in the cell gap.
박막 트랜지스터 어레이 기판은 게이트 라인들 및 데이터 라인들과, 그 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차부마다 스위치소자로 형성된 박막 트랜지스터와, 액정셀 단위로 형성되어 박막 트랜지스터에 접속된 화소 전극 등과, 그들 위에 도포된 배향막으로 구성된다. 게이트 라인들과 데이터 라인들은 각각의 패드부를 통해 구동회로들로부터 신호를 공급받는다.The thin film transistor array substrate includes a gate line and a data line, a thin film transistor formed of a switch element at each intersection of the gate lines and the data lines, a pixel electrode formed of a liquid crystal cell and connected to the thin film transistor, and the like. It consists of the applied alignment film. The gate lines and the data lines receive signals from the driving circuits through the respective pad parts.
박막 트랜지스터는 게이트 라인에 공급되는 스캔신호에 응답하여 데이터 라인에 공급되는 화소 전압신호를 화소 전극에 공급한다.The thin film transistor supplies the pixel voltage signal supplied to the data line to the pixel electrode in response to the scan signal supplied to the gate line.
컬러필터 어레이 기판은 액정셀 단위로 형성된 컬러필터들과, 컬러필터들간 의 구분 및 외부광 반사를 위한 블랙 매트릭스와, 액정셀들에 공통적으로 기준전압을 공급하는 공통 전극 등과, 그들 위에 도포되는 배향막으로 구성된다.The color filter array substrate includes color filters formed in units of liquid crystal cells, a black matrix for distinguishing between color filters and reflecting external light, a common electrode for supplying a reference voltage to the liquid crystal cells in common, and an alignment layer applied thereon. It consists of.
이렇게 별도로 제작된 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 어레이 기판을 정렬한 후 서로 대향 합착한 다음 액정을 주입하고 봉입함으로써 완성하게 된다.The thin film transistor substrate and the color filter array substrate manufactured separately are aligned and then bonded to each other, and then the liquid crystal is injected and encapsulated.
이와 같이, 형성된 액정 표시 장치에, 최근 사람의 손이나 별도의 입력 수단을 통해 터치 부위를 인식하고 이에 대응하여 별도의 정보를 전달할 수 있는 터치 패널을 부가하는 요구가 늘고 있다. 현재 이러한 터치 패널은 액정 표시 장치의 외부 표면에 부착하는 형태로 적용되고 있다. As described above, there is an increasing demand for a liquid crystal display device having a touch panel capable of recognizing a touch portion through a hand of a person or a separate input means and transmitting separate information corresponding thereto. Currently, such a touch panel is applied in the form of attaching to an outer surface of a liquid crystal display.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 터치 패널 일체형 액정 표시 장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a conventional touch panel integrated liquid crystal display will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 일반적인 터치 패널 일체형 액정 표시 장치를 나타낸 개략 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view illustrating a general touch panel integrated liquid crystal display device.
도 1과 같이, 일반적인 터치 패널 일체형 액정 표시 장치는 서로 대향된 제 1, 제 2 기판(1, 2)과, 그 사이에 충진된 액정층(3)과, 상기 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 배면 각각에 부착된 제 1, 제 2 편광판(4a, 4b)을 포함하여 이루어진 액정 패널(10)과, 상기 액정 패널(10) 상에 놓여지며, 그 내부에 정전 용량 (capacitive) 방식으로 구동되는 터치 패널(20)과, 상기 터치 패널 (20)의 상부를 보호하는 커버 글래스(30)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 1, a general touch panel integrated liquid crystal display includes first and
터치 패널(20)이 액정 패널(10)의 외장 형태로 형성되기 때문에, 상기 터치 패널(20)과 상기 액정 패널(10) 사이에 제 1 점착층(15)이 요구되며, 상기 터치 패널(20)을 그 보호를 위해 형성되는 커버 글래스(30)과의 사이에 제 2 점착층(25)이 요구된다. 이 경우, 액정 패널(10)과 별도로 터치 패널(20)의 형성 공정이 요구되고, 또한, 상기 터치 패널(20)과 액정 패널(10)의 부착 공정이 요구된다.Since the
여기서, 상기 액정 패널(10)의 제 1 기판(1) 상에는, 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인(Gate) 및 데이터 라인(Data)과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 형성되는 박막 트랜지스터(TFT)와, 상기 화소 영역에는 화소 전극(미도시)이 형성되는 박막 트랜지스터 어레이가 형성된다.Here, on the
또한, 상기 제 2 기판(2) 상에는, 블랙 매트릭스층, 컬러 필터층 및 공통 전극(미도시, Vcom(인가전압))이 형성된다.Further, on the
여기서, 상기 터치 패널(20)은 그 방식에 따라 내부 구조를 달리하는데, 그 한 예로, 터치 지점에서의 정전 용량 변화로 터치를 감지하는 방식을 정전 용량 방식이라 하며, 이러한 방식의 구조는 서로 교차하는 제 1, 제 2 전극이 투명 전극으로 형성되고, 이들 전극 사이에 형성된 캐패시턴스 값에 의해 센싱이 이루어진다.Here, the
상기와 같은 종래의 터치 패널 일체형 액정 표시 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.The conventional touch panel integrated liquid crystal display has the following problems.
상기 제 1, 제 2 전극이 투명 전극으로만 이루어지는데, 이 때, 투명 전극의 저항이 크기 때문에, 제 1, 제 2 전극의 저항이 커져 실질적으로 터치가 소정 부위에서 이루어진다 하더라도 저항 값에 의해 RC 지연이 발생하여 정전용량 감지가 정상적으로 이루어지지 않게 되어 터치 오동작이 유발된다. Although the first and second electrodes are made of only transparent electrodes, since the resistance of the transparent electrodes is large, the resistances of the first and second electrodes become large, so that even if the touch is made at a predetermined portion, RC is determined by the resistance value. Delays occur and capacitive sensing is not performed normally, causing touch malfunction.
또한, 장치가 점점 대면적화되는 액정 표시 장치와 일체형으로 형성하기 위해 터치 패널도 대면적의 요구가 있는데, 대면적으로 터치 패널을 구현할 경우 종래 터치 패널과 같이, 각 전극이 투명 전극으로 이루어지면, 그 저항 값이 너무 커 RC 지연이 늘어나 이에 따라 터치의 감지가 불가능하게 되어버릴 수 있다. In addition, the touch panel also requires a large area in order to form an integrated device with an increasingly large liquid crystal display device. When the touch panel is implemented in a large area, as in the conventional touch panel, when each electrode is made of a transparent electrode, The resistance value is so large that the RC delay can increase, making touch detection impossible.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 터치 위치 감지를 위해 사용하는 서로 교차하는 투명 전극과 저항이 작은 금속 배선을 콘택시켜 배선 저항 감소에 의해 터치 감지력을 높이고 공정을 단순화하며 대면적 구현이 가능한 터치 패널, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 액정 표시 장치를 제공하는 데, 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by contacting the transparent electrode and the metal wire having a small resistance to each other used for the touch position detection to increase the touch sensing power by reducing the wiring resistance, simplify the process and large area An object of the present invention is to provide a touch panel, a method of manufacturing the same, and a liquid crystal display using the same.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 터치 패널은, 기판과, 상기 기판 상에 서로 교차하는 방향으로 형성된 제 1 금속 배선 및 제 2 금속 배선과, 상 기 제 1 금속 배선과 제 2 금속 배선의 층간에 제 1 투명 절연막 및 서로 동일층에 형성되며, 상기 제 1 금속 배선과 제 2 금속 배선에 각각 제 1 콘택홀과 제 2 콘택홀을 통해 연결된 제 1 투명 전극 및 제 2 투명 전극을 포함하여 이루어진 것에 그 특징이 있다. 여기서, 상기 1, 제 2 투명 전극과 상기 제 2 금속 배선의 층간에 제 2 투명 절연막이 더 포함될 수 있다. The touch panel of the present invention for achieving the above object, the substrate, the first metal wiring and the second metal wiring formed in the direction crossing each other on the substrate, the first metal wiring and the second metal wiring A first transparent insulating film and a first transparent insulating film formed on the same layer as each other, and having a first transparent electrode and a second transparent electrode connected to the first metal wire and the second metal wire through a first contact hole and a second contact hole, respectively; It is characterized by what is done. Here, a second transparent insulating film may be further included between the first and second transparent electrodes and the second metal wire.
이 때, 상기 제 1 금속 배선이 기판 상에 형성되고, 상기 제 2 금속 배선은 제 1 투명 절연막 상에 형성되고, 상기 제 1, 제 2 투명 전극은 상기 제 1 투명 절연막 상의 제 2 투명 절연막 상에 형성되며, 상기 제 1 콘택홀은 상기 제 1, 제 2 투명 절연막에 정의되며, 상기 제 2 콘택홀은 상기 제 2 투명 절연막에 정의될 수 있다. In this case, the first metal wiring is formed on a substrate, the second metal wiring is formed on a first transparent insulating film, and the first and second transparent electrodes are formed on a second transparent insulating film on the first transparent insulating film. The first contact hole may be defined in the first and second transparent insulating films, and the second contact hole may be defined in the second transparent insulating film.
혹은 상기 제 1, 제 2 투명 전극은 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제 1 금속 배선은 제 2 투명 절연막 상에 형성되고, 상기 제 2 금속 배선은 제 1 투명 절연막 상에 형성되며, 상기 제 1 콘택홀은 제 2 투명 절연막에 정의되며, 상기 제 2 콘택홀은 상기 제 1, 제 2 투명 절연막에 정의될 수도 있다. Alternatively, the first and second transparent electrodes are formed on the substrate, the first metal wiring is formed on a second transparent insulating film, and the second metal wiring is formed on a first transparent insulating film, and the first The contact hole may be defined in the second transparent insulating layer, and the second contact hole may be defined in the first and second transparent insulating layers.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치는, 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이와, 상기 제 2 기판 상에 형성된, 서로 교차하는 방향으로 형성된 제 1 금속 배선 및 제 2 금속 배선과, 상기 제 1 금속 배선과 제 2 금속 배선의 층간에 제 1 투명 절연막 및 서로 동일층에 형성되며, 상기 제 1 금속 배선과 제 2 금속 배선에 각각 제 1 콘택홀과 제 2 콘택홀을 통해 연결된 제 1 투명 전극 및 제 2 투명 전극 을 포함하여 이루어지는 터치 감지부와, 상기 터치 감지부 상에 형성된, 블랙 매트릭스층 및 컬러 필터층을 포함하는 컬러 필터 어레이 및 상기 박막 트랜지스터 어레이와 컬러 필터 어레이 사이에 형성된 액정층을 포함하여 이루어진 것에 또 다른 특징이 있다. In addition, the liquid crystal display device of the present invention for achieving the same object, the first substrate and the second substrate facing each other, the thin film transistor array formed on the first substrate, and the mutually formed on the second substrate A first transparent insulating film and a same layer formed between the first metal wiring and the second metal wiring, and the first metal wiring and the second metal wiring in the same direction, and the first metal wiring and the second metal wiring; A color comprising a touch sensing unit comprising a first transparent electrode and a second transparent electrode connected to the first contact hole and the second contact hole, respectively, and a black matrix layer and a color filter layer formed on the touch sensing unit, respectively. It is another feature that the filter array and the liquid crystal layer formed between the thin film transistor array and the color filter array.
상기 제 1 금속 배선과 제 2 금속 배선은 상기 블랙 매트릭스층 내에 대응되어 형성되는 것이 개구율 저하를 방지할 수 있다. The first metal wire and the second metal wire may be formed in correspondence with the black matrix layer to prevent a decrease in the aperture ratio.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 터치 패널의 제조 방법은, 기판 상에 제 1 방향의 제 1 금속 배선을 형성하는 단계와, 상기 제 1 금속 배선과의 사이에 제 1 투명 절연막을 개재하고, 상기 제 1방향과 교차하는 제 2 방향의 제 2 금속 배선을 형성하는 단계와, 상기 제 2 금속 배선과의 사이에 제 2 투명 절연막을 개재하고, 상기 제 2 투명 절연막과 제 2 투명 절연막을 선택적으로 제거하여 상기 제 1 금속 배선과 제 2 금속 배선을 소정 부분 노출하는 제 1 콘택홀과 제 2 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 제 1 콘택홀과 제 2 콘택홀을 매립하며 상기 제 2 투명 절연막 상에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와, 상기 투명 전극 물질을 증착하여 상기 제 1 콘택홀을 채우며 상기 제 1 방향으로 상기 제 1 금속 배선에 대응되어 서로 이격하여 복수개 형성된 제 1 투명 전극과, 상기 제 2 금속 배선을 완전히 덮도록 형성된 제 2 방향의 제 2 투명 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것에 그 특징이 있다. 이 때, 상기 제 1, 제 2 콘택홀을 형성하는 단계에서, 상기 제 1 금속 배선과 제 2 금속 배선의 단부를 노출시켜 패드부를 정의할 수 있다. In addition, a method for manufacturing a touch panel for achieving the same object includes the steps of forming a first metal wiring in a first direction on a substrate, and interposing a first transparent insulating film between the first metal wiring, Forming a second metal wiring in a second direction crossing the first direction, interposing a second transparent insulating film and a second transparent insulating film between a second transparent insulating film and a second transparent insulating film between the second metal wiring; Forming a first contact hole and a second contact hole to partially expose the first metal wire and the second metal wire by removing the first contact hole and the second contact hole; Depositing a transparent electrode material on the substrate; filling the first contact hole by depositing the transparent electrode material; and forming a plurality of first transparent electrodes spaced apart from each other in correspondence with the first metal wire in the first direction As comprising an electrode and forming a second transparent electrode of the second direction formed so as to completely cover the second metal interconnection has its features. In this case, in the forming of the first and second contact holes, a pad part may be defined by exposing end portions of the first metal wire and the second metal wire.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 다른 형태의 본 발명의 터치 패널의 제 조 방법은, 기판 상에 투명 전극 물질을 증착하고 이를 선택적으로 제거하여, 제 1 방향에서 복수개 분리된 제 1 투명 전극과 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 제 1 투명 전극 사이에 제 2 투명 전극을 형성하는 단계와, 상기 제 2 투명 전극과의 사이에 제 1 콘택홀을 갖는 제 1 투명 절연막을 형성하는 단계와, 상기 제 1 콘택홀을 매립하여 상기 제 2 방향으로 상기 제 2 투명 전극을 지나는 제 2 금속 배선을 형성하는 단계와, 상기 제 1 투명 절연막 상에, 제 2 투명 절연막을 형성하고, 상기 제 2 투명 절연막 및 제 1 투명 절연막을 선택적으로 제거하여 제 2 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 제 2 콘택홀을 매립하여, 상기 제 1 방향으로 상기 제 1 투명 전극들을 지나는 제 1 금속 배선을 형성하는 단계을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. In addition, another method of manufacturing a touch panel of the present invention for achieving the same object, by depositing a transparent electrode material on the substrate and selectively removing it, a plurality of first transparent electrodes separated from the first direction and the Forming a second transparent electrode between the first transparent electrodes in a second direction crossing the first direction, and forming a first transparent insulating film having a first contact hole between the second transparent electrodes; Filling the first contact hole to form a second metal wire passing through the second transparent electrode in the second direction, and forming a second transparent insulating film on the first transparent insulating film, Selectively removing the transparent insulating film and the first transparent insulating film to form a second contact hole, and filling the second contact hole to pass the first transparent electrodes in the first direction. It characterized in that it comprises a step of forming a wiring.
이 경우, 상기 제 1 금속 배선을 덮으며, 상기 제 1, 제 2 투명 전극의 단부를 노출하는 패드부를 구비한 제 3 투명 절연막을 더 형성하는 단계를 더 포함할 수도 있다. In this case, the method may further include forming a third transparent insulating layer covering the first metal wire and having a pad portion exposing end portions of the first and second transparent electrodes.
상기와 같은 본 발명의 터치 패널, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 액정 표시 장치는 다음과 같은 효과가 있다.The touch panel of the present invention, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display device using the same have the following effects.
기본적으로 정전용량 감지에는 서로 교차하는 형태의 제 1, 제 2 투명 전극을 구비하고, 상기 제 1, 제 2 투명 전극과 콘택하는 제 1, 제 2 금속 배선을 서로 다른층에 상기 제 1, 제 2 투명 전극에 비해 얇은 폭으로 형성하여, 배선 저항을 줄이며, 정전용량의 감지가 가능한 터치 패널을 구현할 수 있다. 이로써, 배선 저 항을 현저히 낮출 수 있으며, 이로써, 작은 정전 용량의 변화도 감지가 가능하며, 터치 감지력이 향상된다. Basically, capacitive sensing includes first and second transparent electrodes that cross each other, and first and second metal wires contacting the first and second transparent electrodes are disposed on different layers. By forming a thinner width than the 2 transparent electrodes, it is possible to implement a touch panel that can reduce wiring resistance and detect capacitance. As a result, the wiring resistance can be significantly lowered, whereby a small change in capacitance can be detected, and the touch sensing power is improved.
터치 패널을 액정 패널 내부에 일체형으로 형성시 터치 패널의 슬림화가 가능하며, 부착 공정의 생략으로 인해 공정 비용 및 공정 시간을 줄일 수 있어 수율 향상을 기대할 수 있다.When the touch panel is integrally formed inside the liquid crystal panel, the touch panel can be slimmed down, and the process cost and process time can be reduced due to the omission of the attaching process, thereby improving the yield.
또한, 제 1, 제 2 전극이 갖는 배선 저항의 저감에 의해 대면적으로 구현하여도 저항이 크게 증가하지 않아 대면적의 터치 감지력이 높은 터치 패널 일체형 액정 표시 장치의 구현이 가능하다.In addition, even if the large area is implemented by reducing the wiring resistance of the first and second electrodes, the resistance does not increase significantly, thereby enabling the implementation of a touch panel integrated liquid crystal display device having high touch sensing power of a large area.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 터치 패널, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 액정 표시 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a touch panel, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display device using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널을 나타낸 평면도이며, 도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d는 도 2의 I~I' 선상, Ⅱ~Ⅱ' 선상, Ⅲ~Ⅲ' 선상의, Ⅳ~Ⅳ' 선상에 따른 단면도이다.2 is a plan view illustrating a touch panel according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 3A, 3B, 3C, and 3D are lines II ', II-2', and III-III 'of FIG. 2. It is sectional drawing along line IV-IV 'line.
도 2내지 도 3d와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널은, 기판(100)과, 상기 기판(100) 상에 서로 교차하여 다른 층에 형성된 제 1 금속 배선(101) 및 제 2 금속 배선(104)과, 상기 제 1 금속 배선(101)을 덮으며 상기 제 2 금속 배선(104) 하부에 형성된 제 1 투명 절연막(103a)과, 상기 제 2 금속 배선(104) 상에 형성된 제 2 투명 절연막(106)과, 상기 제 2 투명 절연막(106) 상에 상기 제 1 금속 배선(101)과 제 2 금속 배선(104)에 각각 연결된 제 1 투명 전극(111) 및 제 2 투명 전극(112)을 포함하여 이루어진다.2 to 3D, the touch panel according to the first exemplary embodiment of the present invention may include a
여기서, 상기 제 1 투명 전극(111)과 상기 제 2 투명 전극(112)은 동일층에 동일한 투명 전극 성분으로 패터닝되며, 상기 제 2 투명 전극(112)은 상기 제 2 금속 배선(104)의 방향(세로 방향)으로 상기 제 2 금속 배선(104)보다 넓은 폭으로 형성되며, 상기 제 1 투명 전극(111)은 상기 제 2 투명 전극(112)과 이격하여, 가로 방향으로 복수개의 이격된 패턴으로 형성된다. 그리고, 상기 제 1 금속 배선(101)의 단부에 제 1 전극 패드(108a)가 형성되어 있으며, 상기 제 1 전극 패드(108a)를 통해 상기 제 1 금속 배선(101)을 통해 상기 제 1 투명 전극(111)으로 전기적 신호가 인가된다. Here, the first
여기서, 상기 제 1 금속 배선(101)과 제 1 투명 전극(111)은 상기 제 1, 제 2 투명 절연막(103a, 106)에 정의된 제 1 콘택홀(113)을 통해 연결된다. The
그리고, 상기 제 2 금속 배선(104)과 상기 제 2 투명 전극(112)은 상기 제 1 투명 절연막(106)에 정의된 제 2 콘택홀(116)을 통해 연결되고 상기 제 2 투명 전극(112)의 하측 단부로 노출된 부분(패드)로 인가된 전기적 신호가 상기 제 2 금속 배선(104) 및 제 2 투명 전극(112)으로 전달될 수 있다.In addition, the
이 때, 상기 제 1 금속 배선(101)과 제 2 투명 전극(111)은 제 1 전극으로 기능하며, 상기 제 2 금속 배선(104)과 상기 제 2 투명 전극(112)은 제 2 전극으로 기능한다. In this case, the
한편, 상기 제 1, 제 2 투명 절연막(103a, 106)은 그 노출된 부위에 패드가 정의된다. Meanwhile, pads are defined at exposed portions of the first and second transparent insulating
경우에 따라 패드는 도시된 바와 같이 제 1 전극 패드(108a) 및 제 2 투명 전극(112)의 단부와 같이, 각 전극의 단부에 정의될 수도 있으나, 한쪽 전극측의 금속 배선을 연장하여 일측 변에 패드를 한꺼번에 구성할 수도 있다. 이 경우, 패드까지 연장하여 라우팅에 이용되는 금속 배선은 상술한 설명에서의 제 1 금속 배선(101) 또는 제 2 금속 배선(104)을 이용한다.In some cases, the pad may be defined at the end of each electrode, such as the ends of the
상기 제 1 금속 배선(101) 및 제 2 금속 배선(104)은 크롬(Cr), 알루미늄 합금(Al 합금) 등의 저저항 금속으로 이루어지며, 상기 제 1, 제 2 투명 전극(111, 112)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 성분의 투명 전극으로 이루어진다. 여기서, 상기 제 1, 제 2 투명 전극(111, 112)과 콘택되는 상기 제 1, 제 2 금속 배선(101, 104)을 구비한 이유는 투명 전극 성분의 배선 저항이 크기 때문에 RC 지연이 발생하여 정전용량 감지가 정확하게 이루어지지 않기 때문에, 그 저항을 감소하기 위함이다. The
여기서, 상기 제 1 금속 배선(101) 및 제 2 금속 배선(104)은 액정 표시 장치와 일체형으로 형성시 블랙 매트릭스층에 대응되는 부위에 일치시켜, 개구율 저하를 방지한다. Here, when the
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a touch panel according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 2의 I~I' 선상에서 살펴본 공정 단면도이며, 도 5a 내지 도 5e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 2의 Ⅱ~Ⅱ'선상에서 살펴본 공정 단면도이다.4A to 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a touch panel according to a first embodiment of the present invention, taken along line II ′ of FIG. 2, and FIGS. 5A to 5E are views according to the first embodiment of the present invention. It is process sectional drawing which looked at the manufacturing method of a touch panel on the II-II 'line | wire of FIG.
먼저, 기판(100) 상에, 제 1 금속 물질을 전면 증착한 후, 상기 제 1 금속 물질 전면에 제 1 감광막을 도포하고 도 4a 및 도 5a와 같이, 이를 선택적으로 제거하여 제 1 감광막 패턴(102)을 형성한다. 상기 제 1 감광막 패턴(102)을 마스크로 이용하여 상기 제 1 금속 물질을 식각하여 제 1 금속 배선(101)을 형성한다.First, after depositing a first metal material on the entire surface of the
이어, 상기 제 1 감광막 패턴(102)을 제거한 후, 도 4b, 5b와 같이, 상기 제 1 금속 배선을 포함한 상기 기판(100) 상에 제 1 투명 절연막(103)을 증착한다.Subsequently, after the first
이어, 제 2 금속 물질을 전면 증착한 후, 상기 제 2 금속 물질 상에 제 2 감광막을 도포한 후, 이를 선택적으로 제거하여 제 2 감광막 패턴(105)을 형성한다. 이어, 상기 제 2 감광막 패턴(105)을 마스크로 이용하여 상기 제 2 금속 물질을 식각하여 상기 제 1 금속 배선(101)과 교차하는 방향의 제 2 금속 배선(104)을 형성한다. 이 경우, 상기 제 1, 제 2 금속 배선(101) 및 제 2 금속 배선(104)은 터치 패널과 일체형으로 형성된 액정 표시 장치의 블랙 매트릭스층에 한한 영역에 형성되는 것이 바람직한 것으로 상대적으로 작은 면적으로 형성하는 것이 좋다. Subsequently, after the entire surface of the second metal material is deposited, the second photoresist film is coated on the second metal material, and then selectively removed to form the second
이어, 상기 제 2 감광막 패턴(105)을 스트립하여 제거한다.Next, the
도 4c 및 도 5c와 같이, 상기 제 2 금속 배선(104)을 포함한 상기 제 1 투명 절연막(103) 상에 제 2 투명 절연막 물질(106과 동일층)을 형성한다.4C and 5C, a second transparent insulating
이어, 상기 제 2 투명 절연막 물질(106과 동일층) 상에 제 3 감광막을 도포 하고, 이를 노광 및 현상하여 제 1 콘택홀(113), 제 2 콘택홀(116)을 정의하는 제 3 감광막 패턴(107)을 형성한다. 이어, 제 3 감광막 패턴(107)을 마스크로 하여, 상기 제 2 투명 절연막 물질 및 제 1 투명 절연막(103)을 식각하여 상기 제 1 금속 배선(101)의 소정 부위를 노출하는 제 1 콘택홀(113)과 상기 제 2 금속 배선(104)의 소정 부위를 노출하는 제 2 콘택홀(116)을 갖는 제 2 투명 절연막(106) 및 제 1 투명 절연막(103a)을 형성한다. 여기서, 상기 제 1 금속 배선(101)과 상기 제 2 금속 배선(104)의 각각의 일측 단부에 부분적으로 노출된다. Subsequently, a third photoresist film is coated on the second transparent insulating
이어, 상기 제 3 감광막 패턴(107)을 제거한다.Next, the
도 4d 및 도 5d와 같이, 상기 제 1,제 2 콘택홀(113, 116)을 채우며, 상기 제 2 투명 절연막(106) 및 제 1 투명 절연막(103a) 상에 투명 전극 물질(108)을 증착한다.4D and 5D, the
이어, 상기 투명 전극 물질(108) 상에 제 4 감광막을 도포하고, 이를 노광 및 현상하여 제 4 감광막 패턴(109)을 형성한다.Subsequently, a fourth photoresist film is coated on the
도 4e 및 도 5e와 같이, 상기 제 4 감광막 패턴(109)을 마스크로 하여 상기 투명 전극 물질(108)을 식각하여 서로 이격되는 제 1 투명 전극(111) 및 제 2 투명 전극(112)과 상기 노출된 제 1 금속 배선(101)과 부분적으로 오버랩된 제 1 전극 패드(108a)를 형성한다.4E and 5E, the
여기서, 상기 제 2 투명 전극(112)은 상기 제 2 금속 배선(104)을 완전히 덮도록 상기 제 2 금속 배선(104)보다 넓은 폭으로 세로 방향으로 길게 연장되어 형성되며, 상기 제 1 투명 전극(111)은 상기 제 2 투명 전극(112)의 사이사이에 대응 되어 형성된다. Here, the second
이 경우, 상기 제 2 투명 전극(112)은 도 3c 및 도 5e와 같이, 상기 제 2 금속 배선(104)과 제 2 콘택홀(116)을 통해 연결되며, 상기 제 1 투명 전극(111)은 도 3d 및 도 4e와 같이, 상기 제 1 금속 배선(101)과 제 1 콘택홀(113)을 통해 연결된다.In this case, as shown in FIGS. 3C and 5E, the second
이어, 상기 제 4 감광막 패턴(109)을 제거한다.Next, the
여기서, 상기 제 1, 제 2 투명 절연막(103a, 106)은 동일 공정에서 패터닝이 이루어지는 것으로, 그 식각비를 동일 수준으로 유지하기 위해 동일한 재료의 투명 유기 절연막 또는 유전율이 낮은 투명 무기 절연막에서 선택하는 것이 바람직하다. Here, the first and second transparent insulating
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널을 나타낸 평면도이며, 도 7a는 도 5의 Ⅴ~Ⅴ' 선상의 구조 단면도이고, 도 7b는 도 5의 Ⅵ~Ⅵ' 선상의 구조 단면도이며, 도 7c는 도 5의 Ⅶ~Ⅶ' 선상의 구조 단면도이고, 도 7d는 도 5의 Ⅷ~Ⅷ' 선상의 구조 단면도이다.FIG. 6 is a plan view illustrating a touch panel according to a second exemplary embodiment of the present invention, FIG. 7A is a cross-sectional view taken along the line VV ′ of FIG. 5, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line VI ~ VI ′ of FIG. 5. 7C is a structural cross sectional view taken along the line 'VIII' of FIG. 5, and FIG. 7D is a structural cross-sectional view taken along the line XVIII 'of FIG. 5.
도 6 및 도 7a 내지 도 7d와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널은 기판(200)과, 상기 기판(200) 상에 서로 이격된 제 1 투명 전극(201), 제 2 투명 전극(212)과, 상기 제 1 투명 전극(201)과 제 1 콘택홀(216)을 통해 콘택되며 제 1 방향(가로 방향)으로 형성된 제 1 금속 배선(209)과 상기 제 2 투명 전극(202)과 제 2 콘택홀(215)을 통해 콘택되며 제 2 방향(세로 방향)으로 형성된 제 2 금속 배선(205)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 제 1, 제 2 투명 전극(201, 212)은 동일층에 서로 이격되어 투명 전극 성분으로 이루어지며, 이와 동일층에 제 1 금속 배선(209)의 일측 단부에 오버랩하는 제 1 전극 패드(211)이 형성된다. 6 and 7A to 7D, the touch panel according to the second embodiment of the present invention includes a
그리고, 상기 제 1, 제 2투명 전극(201, 212) 및 제 1 전극 패드(211)와, 상기 제 2 금속 배선(205)과의 사이에 제 1 투명 절연막(203)이 형성되며, 상기 제 2 금속 배선(205)과 상기 제 1 금속 배선(209) 사이에 제 2 투명 절연막(207)이 더 형성된다.In addition, a first transparent insulating
상술한 제 1 실시예와 비교하여, 본 발명의 제 2 실시예는 제 1, 제 2 투명 전극(201, 212)과 상기 제 1, 제 2 금속 배선(209, 205)의 형성 순서가 반대로 되어 있는 점 외에 대체로 유사한 구조를 갖는다고 할 수 있다.Compared with the first embodiment described above, in the second embodiment of the present invention, the order in which the first and second
상기 제 1 금속 배선(209) 및 제 2 금속 배선(205)은 액정 표시 장치와 일체형으로 형성시 블랙 매트릭스층에 대응되는 부위에 일치시키는 것이, 개구율 저하 측면에서 바람직하다.When the
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a touch panel according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 8a 내지 도 8e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 5의 Ⅴ~Ⅴ'선상에서 나타낸 공정 단면도이며, 도 9a 및 9e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 5의 Ⅵ~Ⅵ' 선상에서 나타낸 공정 단면 도이다. 8A to 8E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a touch panel according to a second embodiment of the present invention, taken along the line VV ′ of FIG. 5, and FIGS. 9A and 9E illustrate a touch according to the second embodiment of the present invention. It is a process sectional drawing which showed the manufacturing method of the panel on the VI-VI 'line | wire of FIG.
먼저, 기판(200) 상에, 투명 전극 물질을 전면에 증착한 후, 상기 투명 전극 물질 전면에 제 1 감광막을 도포하고 도 8a 및 도 9a와 같이, 이를 선택적으로 제거하여 제 1 감광막 패턴(202)을 형성한다. 상기 제 1 감광막 패턴(202)을 마스크로 이용하여 상기 투명 전극 물질을 식각하여 제 1 투명 전극(201), 제 2 투명 전극(212) 및 제 1 투명 전극(201)의 형성부 단부측에 제 1 전극 패드(211)를 형성한다.First, the transparent electrode material is deposited on the entire surface of the
이어, 상기 제 1 감광막 패턴(102)을 제거한 후, 도 8b, 9b와 같이, 상기 제 1 투명 전극(201), 제 2 투명 전극(212) 및 제 1 전극 패드(211)를 포함한 상기 기판(200) 상에 제 1 투명 절연막(203)을 증착한다.Subsequently, after removing the
이어, 상기 제 1 투명 절연막(203) 상에 제 2 감광막을 도포하고, 이를 노광 및 현상하여 제 2 감광막 패턴(204)을 형성한 후, 상기 감광막 패턴(204)을 마스크로 하여 상기 제 1 투명 절연막(203)을 식각하여 상기 제 2 투명 전극(212)을 부분적으로 노출하는 제 1 콘택홀(215)을 형성한다.Subsequently, a second photoresist film is coated on the first transparent insulating
이어, 상기 제 2 감광막 패턴(204)을 제거한다.Next, the
도 8c 및 도 9c와 같이, 상기 제 1 콘택홀(215)을 채우며 상기 제 1 투명 절연막(203) 상에 제 2 금속 물질을 전면 증착한 후, 상기 제 2 금속 물질 상에 제 3 감광막을 도포한 후, 이를 선택적으로 제거하여 제 3 감광막 패턴(206)을 형성한다. 이어, 상기 제 3 감광막 패턴(206)을 마스크로 이용하여 상기 제 2 금속 물질을 식각하여 상기 제 2 투명 전극(212)의 방향으로 상기 제 2 투명 전극(212)의 안 쪽에 대응되도록 제 2 금속 배선(205)을 형성한다. 여기서, 상기 제 2 투명 전극(212)은 상기 제 1 콘택홀(215)을 통해 상기 제 2 금속 배선(205)와 접하게 된다. 8C and 9C, after depositing a second metal material on the first transparent insulating
이어, 상기 제 3 감광막 패턴(206)을 제거한다.Next, the
도 8d 및 도 9d와 같이, 상기 제 2 금속 배선(205)을 포함한 제 1 투명 절연막(203) 전면에 제 2 투명 절연막(207)을 증착한다.8D and 9D, a second transparent insulating
이어, 상기 제 2 투명 절연막(207) 상에 제 4 감광막을 도포한 후, 이를 노광 및 현상하여 선택적으로 제거하여 제 4 감광막 패턴(208)을 형성한다.Subsequently, after applying the fourth photoresist film on the second transparent insulating
이어, 상기 제 4 감광막 패턴(208)을 마스크로 하여 상기 제 2 투명 절연막(207) 및 제 1 투명 절연막(203)을 식각하여 제 2 콘택홀(216)을 형성한다. 상기 제 2 콘택홀(216)은 상기 제 1 투명 전극(201)의 소정 부분을 노출하는 부위이다.Subsequently, the second transparent insulating
상기 제 4 감광막 패턴(208)을 제거한다.The
도 8e 및 도 9e와 같이, 상기 제 2 콘택홀(216)을 매립하여 상기 제 2 투명 절연막(207) 상에 제 1 금속 배선(209)을 형성한다. 상기 제 1 금속 배선(209)은 제 5 감광막(미도시)을 패터닝하여, 이를 마스크로 이용하여, 상기 제 2 금속 배선(205)에 교차하는 방향으로 상기 제 1, 제 2 투명 전극(211, 212)을 모두 지나가는 형상을 갖고 형성된다. 그리고, 상기 제 1 금속 배선(209)은 제 1 전극 패드(211)이 부분적으로 노출되도록 상기 제 1 전극 패드(211)와 일부분의 오버랩을 갖고 나머지 상기 제 1 전극 패드(211) 상에서 제거된다.8E and 9E, the
이어, 상기 제 1 금속 배선(209)을 포함한 제 2 투명 절연막(207) 및 상기 제 1 전극 패드(211)를 덮도록 제 3 투명 절연막을 증착한 후, 이를 선택적으로 제거하여 상기 제 1 전극 패드(211)의 일부와 상기 제 2 투명 전극(212)의 일측단부를 노출한다.Subsequently, a third transparent insulating film is deposited to cover the second transparent insulating
상술한 설명에서의 상기 제 1, 제 2 금속 배선(209, 204)은 터치 패널과 일체형으로 형성된 액정 표시 장치의 블랙 매트릭스층에 한한 영역에 형성되는 것이 바람직한 것으로 상대적으로 작은 면적으로 형성하는 것이 좋다.In the above description, the first and
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 터치 패널의 전압 신호가 인가/검출을 수행하는 연결 배선의 형성에 대해 살펴본다.Hereinafter, a description will be given of the formation of a connection line for applying / detecting the voltage signal of the touch panel of the present invention with reference to the drawings.
도 10은 본 발명의 터치 패널의 라우팅 방법을 나타낸 평면도이다.10 is a plan view illustrating a routing method of a touch panel of the present invention.
도 10과 같이, 본 발명의 터치 패널의 라우팅 방법은, 패드 영역을 기판(100)의 하측변으로 하고, 제 1 투명 전극(111)에 연결되는 제 1 전극 패드(X전극 패드)(151)를 패드 영역의 중앙 부분에 정의하고, 제 2 투명 전극(112)에 연결되는 제 2 전극 패드(Y 전극 패드)(152)를 상기 패드 영역의 양측부로 정의한다.As illustrated in FIG. 10, in the routing method of the touch panel of the present invention, the pad region is a lower side of the
여기서, 제 1 투명 전극(111) 및 제 2 투명 전극(112)의 하측 또는 상측에는 각각 제 1 투명 전극(111) 및 제 2 투명 전극(112)에 콘택된 제 1 금속 배선(101) 및 제 2 금속 배선(104)이 형성된다. 그리고, 상기 제 1 금속 배선(101) 및 상기 제 2 금속 배선(104)은 각각 제 1 전극 패드(151)를 연결하는 제 1 연결 배선(171)과, 제 2 전극 패드(152)를 연결하는 제 2 연결 배선(172)과 일체형으로 형성된다.Here, the
이 때, 상기 제 1 금속 배선(101)과 상기 제 2 금속 배선(104)은 서로 다른 층에 형성된 것으로, 상기 제 1 연결 배선(171)과 상기 제 2 연결 배선(172)은 각각 제 1 금속 배선(101)과 제 2 금속 배선(104)으로부터 연장되어 형성되는 것으로, 제 1, 제 2 금속 배선(101, 104)은 서로 다른 층에 형성되어 서로 교차하는 부분을 가질 수도 있다. In this case, the
여기서, 도시된 바와 같이, 상기 각 제 1 금속 배선(101)과 상기 제 2 금속 배선(104)은 양측이 서로 다른 패드로 연결되어 더블 라우팅(double routing)될 수도 있고, 혹은 일측만 패드측과 연결을 갖는 싱글 라우팅(single routing)될 수도 있다. 더블 라우팅으로 할 경우, 배선 저항의 감소 효과를 보다 향상시킬 수 있다. Here, as shown in the drawing, each of the
도 11은 본 발명의 터치 패널의 전극의 형상을 변경한 예를 나타낸 평면도이다.11 is a plan view showing an example in which the shape of the electrode of the touch panel of the present invention is changed.
도 11은 제 1, 제 2 전극의 형상을 서로 동일 수준의 면적을 갖는 마름모(다이아몬드)가 일 방향으로 반복하여 형성된 것으로, 상술한 바와 같이, 제 1, 제 2 금속 배선(311, 312)은 서로 교차하는 방향으로 서로 다른 층에 형성되며, 상기 제 1 금속 배선(311)과 콘택(미도시)을 갖는 제 1 투명 전극(301)은 각각이 제 1 방향(제 1 금속 배선 형성 방향)에서 이격되어 반복되어 형성되며, 상기 제 2 금속 배선(제 2 금속 배선 형성 방향)(312)과 콘택을 갖는 제 2 투명 전극(302)은 상기 제 2 금속 배선(312) 방향에서 서로 연결되어 하나의 제 2 금속 배선(312)에 대응하여 하나씩 형성된다. 이 경우, 상기 제 1, 제 2 투명 전극(301, 302)은 서로 동일층에서 형성할 수 있으며, 각각 제 1 , 제 2 금속 배선(311, 312)의 라우팅 방법 은 도 10에서 설명한 바에 따른다.FIG. 11 is a cross-section of diamonds (diamonds) having areas of the same level as that of the first and second electrodes formed in one direction. As described above, the first and
이하, 상기 본 발명의 터치 패널의 배치의 방법들을 살펴본다.Hereinafter, the method of arrangement of the touch panel of the present invention will be described.
도 12는 본 발명의 터치 패널을 부착형으로 구현한 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이다.12 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device implementing the touch panel of the present invention in an attachable type.
도 12과 같이, 도 2~3d의 구성을 갖는 기판(100) 상에 터치 어레이(서로 교차하는 제 1, 제 2 전극과 그 사이의 투명 절연막)(160)을 포함한 터치 패널(1000)을 액정 패널의 상부 기판(700)의 배면측에 형성된 편광판(850) 상에 부착할 수도 있다. 이 경우, 상기 액정 패널은 서로 대향된 상부 기판(700) 및 하부 기판(600)과 그 사이에 액정층(800)이 형성된다. 상기 터치 패널(1000)은 도 6 내지 도 7d의 구성을 가질 수도 있다.As shown in FIG. 12, the
도 13는 본 발명의 터치 패널을 상부 기판의 배면측에 위치하고 그 상부를 편광판으로 덮어 구현된 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이다.FIG. 13 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device implemented by placing the touch panel of the present invention on a rear side of an upper substrate and covering the upper portion with a polarizer.
도 13은, 본 발명의 터치 패널(700)은 액정 패널의 상부 기판(700)측과 그 기판을 함께 사용하는 경우를 나타내는 것으로, 이 경우, 터치 패널 일체형 액정 표시 장치를 형성하는 과정에서, 터치 패널용 기판을 생략할 수 있어, 공정 비용을 줄일 수 있다. 여기서, 상기 터치 패널(1000)은 상기 상부 기판(700)의 배면측에 형성되어 있으며, 상기 상부 기판 (700) 배면측에 편광판(850)이 대응되어 부착되기 전 상기 터치 패널(1000)을 더 구성한다.FIG. 13 illustrates a case in which the
도 14는 본 발명의 터치 패널을 상부 기판의 내측에 형성하여 구현한 액정 표시 장치를 나타낸 단면도이다.14 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device in which a touch panel of the present invention is formed on an inner side of an upper substrate.
도 14는 상기 상부 기판 내측에 터치 패널(1000)을 구비한 것을, 액정 패널 내부에 형성하는 것으로, 가급적 블랙 매트릭스층 층과의 일치를 위해 상기 상부 기판(700)에 위치시키는 것이 좋다. 이 경우, 상기 상부 기판(700)상에 바로 터치 어레이가 형성되는 터치 패널(1000)은 상기 상부 기판(700) 내 컬러 필터 어레이 형성 전 형성되는 것이 바람직할 수 있다. FIG. 14 illustrates that the
여기서 상기 도 14와 같이, 상부 기판(700) 상에 바로 접착제나 별도의 물질을 제외하여 터치 패널(1000)을 이루는 어레이가 형성된 것이 공정의 관점에서 가장 바람직하다고 할 수 있다. Here, as shown in FIG. 14, it may be said that an array forming the
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in Esau.
도 1은 일반적인 터치 패널 부착형 액정 표시 장치를 나타낸 개략도1 is a schematic view showing a typical touch panel attached liquid crystal display device
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널을 나타낸 평면도2 is a plan view illustrating a touch panel according to a first embodiment of the present invention.
도 3a는 도 2의 I~I' 선상의 구조 단면도3A is a structural cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 2.
도 3b는 도 2의 Ⅱ~Ⅱ' 선상의 구조 단면도3B is a structural cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG. 2.
도 3c는 도 2의 Ⅲ~Ⅲ' 선상의 구조 단면도3C is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 2.
도 3d는 도 2의 Ⅳ~Ⅳ' 선상의 구조 단면도3D is a cross-sectional view taken along line IV-IV 'of FIG.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 2의 I~I'선상에서 나타낸 공정 단면도4A to 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a touch panel according to a first embodiment of the present invention, taken along line II ′ of FIG. 2.
도 5a 및 5e는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 2의 Ⅱ~Ⅱ' 선상에서 나타낸 공정 단면도5A and 5E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a touch panel according to a first embodiment of the present invention, taken along line II-II ′ of FIG. 2.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널을 나타낸 평면도6 is a plan view illustrating a touch panel according to a second embodiment of the present invention.
도 7a는 도 5의 Ⅴ~Ⅴ' 선상의 구조 단면도FIG. 7A is a structural cross-sectional view taken along the line VV ′ of FIG. 5.
도 7b는 도 5의 Ⅵ~Ⅵ' 선상의 구조 단면도7B is a cross-sectional view taken along the line VI-VI 'of FIG. 5;
도 7c는 도 5의 Ⅶ~Ⅶ' 선상의 구조 단면도7C is a structural cross-sectional view taken along line VII-VII 'of FIG. 5.
도 7d는 도 5의 Ⅷ~Ⅷ' 선상의 구조 단면도FIG. 7D is a structural cross-sectional view taken along line VII-VII 'of FIG. 5;
도 8a 내지 도 8e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 5의 Ⅴ~Ⅴ'선상에서 나타낸 공정 단면도8A through 8E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a touch panel according to a second exemplary embodiment, taken along the line VV ′ of FIG. 5.
도 9a 및 9e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 도 5의 Ⅵ~Ⅵ' 선상에서 나타낸 공정 단면도9A and 9E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a touch panel according to a second exemplary embodiment, taken along the line VI-VI ′ of FIG. 5.
도 10은 본 발명의 터치 패널의 라우팅 방법을 나타낸 평면도10 is a plan view showing a routing method of the touch panel of the present invention.
도 11은 본 발명의 터치 패널의 전극의 형상을 변경한 예를 나타낸 평면도11 is a plan view showing an example of changing the shape of the electrode of the touch panel of the present invention.
도 12는 본 발명의 터치 패널을 부착형으로 구현한 액정 표시 장치를 나타낸 단면도12 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device implementing the touch panel of the present invention as an attachable type.
도 13은 본 발명의 터치 패널을 상부 기판의 배면측에 위치하고 그 상부를 편광판으로 덮어 구현된 액정 표시 장치를 나타낸 단면도FIG. 13 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device implemented by placing a touch panel of the present invention on a rear side of an upper substrate and covering the upper portion with a polarizer.
도 14는 본 발명의 터치 패널을 상부 기판의 내측에 형성하여 구현한 액정 표시 장치를 나타낸 단면도14 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display device in which a touch panel of the present invention is formed on an inner side of an upper substrate.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
100 : 기판 101 : 제 1 금속 배선100
103a : 제 1 투명 절연막 104 : 제 2 금속 배선103a: first transparent insulating film 104: second metal wiring
106 : 제 2 투명 절연막 108a : 제 1 전극 패드106: second transparent insulating
111: 제 1 투명 전극 112 : 제 2 투명 전극111: first transparent electrode 112: second transparent electrode
113 : 제 1 콘택홀 136 : 제 2 콘택홀113: first contact hole 136: second contact hole
200 : 기판 201 : 제 1 투명 전극200
203a: 제 1 투명 절연막 205 : 제 2 금속 배선203a: first transparent insulating film 205: second metal wiring
207 : 제 2 투명 절연막 209 : 제 1 금속 배선207: second transparent insulating film 209: first metal wiring
210 : 제 3 투명 절연막 211 : 제 1 전극 패드210: third transparent insulating film 211: first electrode pad
212 : 제 2 투명 전극 215 : 제 1 콘택홀212: second transparent electrode 215: first contact hole
216 : 제 2 콘택홀216 second contact hole
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