KR20100014841A - 세라믹 열교환 장치의 제조 방법 및 그에 따른 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 조립된 판을 갖는 세라믹 열교환기를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법은: 세라믹 판 (하나 이상의 판은 유체 회로를 가짐) 을 제조하는 단계; 서로 부착될 세라믹 판들의 면들을 폴리싱하는 단계; 및 원하는 시일링된 조립체를 제조하기 위해서 판의 폴리싱된 면들을 서로 부착하는 단계를 포함한다.

Description

세라믹 열교환 장치의 제조 방법 및 그에 따른 장치{METHOD FOR PRODUCING A CERAMIC HEAT EXCHANGER DEVICE AND RESULTING DEVICES}

본 발명은 세라믹으로 만들어진 열교환식 장치의 제조방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 세라믹으로 만들어진 열교환식 장치에 관한 것이다.

열교환기는, 대기와 열교환기를 통과하는 유체 사이 또는 열교환기를 통과하는 두 유체 사이의 열전달을 가능하게 하는 열교환기로서, 또한 화학 반응을 유발하는 열전달을 이용하는 열반응기 및 전자공학용 방열기로서 이해된다.

이러한 장치들을 구성하기 위해 세라믹 재료를 이용하는 것에 대한 관심은 다양하고 잘 알려져 있다. 주요 예로는 매우 넓은 온도 범위에서 이들 제품을 사용하는 능력, 및 내부식성이 있다.

열교환기 장치의 두 가지 주요 군이 있고, 이들의 용도 및 구성 원리는 매우 상이하다:

- 튜브 및 캘린더 (calanders) 를 구비한 장치,

- 조립판 (또는 ≪중첩층≫) 을 구비한 장치.

본 발명은 조립판을 갖는 장치의 분야에 관한 것이다.

본 발명은 특히, 중첩층으로도 알려져 있는 한 쌍의 면대면 판 (face-to- face plates) 으로 형성되고, 세라믹으로 만들어진 열교환기의 제조에 적용된다. 본 발명은 열교환기/ 열반응기/ 탄화 규소로 만들어진 방열기에 적용된다. 탄화 규소 (SiC) 의 사용은 다른 주요 세라믹 재료보다 더 넓은 범위의 내부식성, SiC 의 열적으로 우수한 전도성으로 인해 크게 향상된 교환 조건에도 공헌한다.

평평한 장치는 여러 개의 점착판으로 구성된다. 하나 이상의 판은 유체 순환 회로 (액체 또는 가스), 및 유체의 흡입 및 배출용 장치를 포함한다. 처리될 유체의 순환을 위해 하나의 스테이지가 제공되고, 그 다음 스테이지가 유체 냉각제의 순환 (가열 또는 냉각) 을 위해 제공되는 것 등을 위해 판은 교대로 배열되어 있다. 적절한 구성은 원하는 유체를 갖는 각각의 판을 제공한다.

본 발명의 적용 분야가 이들 두 분야로 한정되지 않으면서, 이들 장치의 두 적용 분야가 특히 본 발명에 의해 구해진다:

- 예를 들어 수백 리터의 교반식 대형 반응기에서 생성물들이 불연속적으로 처리되는 종래의 시스템과 대조적으로, 소량의 생성물 (수 ㎣ 또는 ㎤) 사이에서 반응 및 다른 처리들이 실시되는 일반적으로 연속적인, 화학 공정에서 이용되는 컴팩트한 장비,

- 표면 파워가 증가하는 전자식 파워 콤포넌트에 대한 냉각은 항상 더 많은 요구조건을 필요로 한다.

다양한 장치들이 종래 기술에 이미 공지되어 있다. 이들 장치의 제조시에 직면하는 주요 어려움은, 누수, 또는 상이한 유체의 혼합의 모든 위험을 제거하도록 유체 순환 회로의 만족스러운 기밀성을 생성하는 것이다. 이 유형의 장치 의 경우에는 회로 사이의 기밀성 결함이 손상된다 (redhibitory). 그러나, 이들 장치들에 적용되는 온도, 순환 유체의 압력 및 장치들이 사용되는 경우의 어느 정도의 부식 환경으로 인해 기밀성은 복합적이게 된다.

열교환기의 기밀성 문제를 해결하기 위한 가장 일반적인 해결책은 다른 분야에서와 같이, 상이한 회로를 분리하고 일반적으로 유기 물질로 만들어진 시일을 추가하는 것이다. 아직, 내온도성 (resistant to temperature) 및/또는 내부식성인 시일용 재료인 경우에만 이 해결책을 적용할 수 있어서, 그 사용이 제한된다.

가장 일반적인 해결책과 상이한 지금까지 공지된 다른 해결책이 ESK 사의 WO2006029741 (문헌 D1) 의 특허 출원에 기재되어 있다. 기술된 공정은 탄화 규소로 만드어진 판의 고온 조립 공정이다. 이 공정은 제 3 의 재료의 공헌없이 온도 및 압력의 조합된 효과에 의해 여러 개의 세라믹 판을 연결하는 것으로 구성된다. 가해지는 압력 레벨 (대략 100 MPa) 은 파손을 방지하기 위해서 판 사이의 우수한 접촉을 확실하게 부여한다. 결과로서 생긴 교환기는 모놀리식 기계적 조립체를 형성하고, 교환기의 기밀기능은 결과로서 생긴 기계적 시일에 의해 보장된다. 사실, 판의 기계적인 연결은, 온도가 1600℃ ~ 2000℃ 인 100 MPa 의 압력을 가하여 판을 함께 용접함으로써 얻어지고, 동시에 판 사이의 유체 순환과 판 사이의 기계적인 연결에 관한 기밀성에서 기인한다. 그러나, 온도 및 압력이 상승하는 공정 단계는 길고 에너지의 비용이 많이 들어서 제조 공정에 부담이 된다.

특허 출원 EP 0 362 594 인 문헌 D2 (교환기에 관련된 것이 아님) 는 폴리싱 후에 탄화 규소로 만들어진 두 개의 편을 결합하는 방법을 기재하고 있다. 편들을 결합시키기 위한 기계적 연결은, 문헌 D1 에서와 동일한 방식, 즉, 문헌 D1 과 유사한 온도 및 압력의 조건으로 편들에 높은 압력을 가하여 결합시킴으로써 얻어진다. 이 기술은 D1 에 기재되어 있는 기술과 동일한 결함을 갖는다.

사용되는 재료 및 이 유형의 장치로 얻어지는 기밀성의 본질로 인해 열교환기 유형의 장치를 제조하기 위해 지금까지 알려져 있는 모든 기술은 복잡하다. 문헌 D1 이 종래 기술과 가장 가깝다고 여겨지나, 제안된 방법은 상기 단락으로부터 명백한 바와 같이 실행하기에 복잡하고 비용이 많이 든다.

본 발명의 목적은 종래 기술의 결함을 제거하는 것이다.

열교환기 유형의 장치의 기밀성의 문제를 해결하기 위해서, 본 발명은 이런 경우에 대해 지금까지 제안된 모든 해결책과 반대되는 간단하고 비용이 많이 들지 않는 예상밖의 해결책을 제안한다. 사실, 이 해결책은 유체 회로의 판과 그와 마주하는 외부 사이의 기밀성을 보장하기 위해서 납땜 또는 제 3 의 재료의 도입 또는 결합 또는 온도 및 압력과 관련된 이용 등을 이용할 필요가 없다.

본 발명의 경우는, 우수한 기밀성을 발생시키더라도 비용이 많이 드는 것뿐만 아니라 실행하기에 복잡한 공지된 기술과는 관련이 없다.

본 발명의 경우는, 장치를 형성하는 판의 클래드부의 접착에 의해 열교환 유형의 장치의 기밀성을 보장한다는 개념을 갖는다. 두 조각 사이의 기계적인 결합은 기밀기능과는 별개이다.

본 발명의 목적은 조립된 판을 가지며 세라믹으로 만들어진 열교환기 유형의 장치를 제조하기 위한 공정이다. 본 발명에 따라, 상기 공정은 세라믹으로 만들어진 판 (판들 중 하나는 유체 회로를 포함함) 을 제조하는 단계, 서로 부착되도록 의도된 판의 면을 폴리싱하는 단계, 판의 폴리싱된 면을 서로 부착하는 단계 및 원하는 기밀한 조립체를 제조하는 단계로 구성된다.

보다 구체적으로, 본 발명의 목적은 조립된 판을 가지며 세라믹으로 만들어진 열교환기 유형의 장치의 제조를 위한 방법으로서, 이하의 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다:

1. 적어도 하나는 유체 회로를 포함하는, 세라믹으로 만들어진 적어도 두 개의 판을 제조하는 단계,

2. 서로 부착 (apply) 될 세라믹으로 만들어진 두 개의 판의 적어도 두 면을 폴리싱하는 단계,

3. 원하는 기밀한 조립체를 제조하기 위해서 두 개의 판의 폴리싱된 면을 서로 부착시키는 단계.

본 발명의 다른 목적은 상기 제조방법에 의해 얻어진 열교환기, 상기 제조방법에 의해 얻어진 열 반응기, 상기 공정에 의해 얻어진 방열기이다.

도 1 은 본 발명에 따른 열교환기 유형의 장치의 분해도를 도시한다.

도 2 는 세라믹 모듈을 형성하는, 본 발명의 제조방법에 따라 조립된, 도 1 의 두 판을 도시한다.

도 3 은 열교환기를 제조하기 위한 추가적인 판을 도시한다.

도 4 는 본 발명의 제조방법에 따라 만들어진 열교환기를 도시한다.

도 5 는 화학 반응기를 제조하기 위한 분해도에서 판의 도면을 도시한다.

도 6 은 본 발명의 제조방법에 따라 만들어진 반응기의 도면을 도시한다.

도 7 은 방열기를 제조하기 위한 판의 분해도를 도시한다.

도 8 은 본 발명의 제조방법에 따라 만들어진 방열기의 도면을 도시한다.

본 발명의 다른 특정한 특징 및 이점은 도면 및 비제한적인 예에 의해 주어지고 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명확히 판명될 것이다.

본 발명에 따르면, 도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이 세라믹으로 만들어진 두 판 (1, 2) 의 폴리싱된 두 면이 서로 마주보고 위치되어 기밀한 조립체를 형성하여서, 판들은 매끄러운 면끼리 접촉되어 접착되어 있다.

폴리싱 정도의 기능에 따라, 이 접착은 다소 강해지고 열교환기 또는 반응기 또는 방열기로서 경우와 장치의 용도의 상태에 따라 전문가에 의해 선택될 수 있다. 이 점착 (sticking) 은 유체 순환 회로의 기밀성을 보장해준다. 결과로서 얻어진 기밀성은 가해질 열 응력 또는 압력을 부여하지 않는다. 또한 전문가가 제작하기 쉽도록 해주는데, 왜냐하면 전문가는 필요에 따라 폴리싱의 정도를 채택할 수 있기 때문이다.

사실, 압력 및 기밀성의 바람직한 레벨에 따라, 원하는 기밀성을 생성하기 위해서는 간단한 기계적인 압력으로 충분하다.

더 큰 요구가 있다면, 두 개의 판을 점착하는 것은 매끄러운 면을 더 많이 점착함으로써 보장될 수 있다. 입자 또는 오염없이 점착될 표면이 충분히 매끄러울 때, 및 통상적으로 수 나노미터보다 작은 거리에서 충분히 가까이 접촉할 때, 분자 접착이 얻어진다. 이 경우에, 두 면 사이의 인력은 분자 접착을 생성하기에 충분히 높다.

분자 접착은, 처음에는, 점착될 두 면의 원자 또는 분자 사이의 전기적 상호작용의 모든 인력 (반데르발스 힘) 에 의해 유발된다. 두 면 사이의 거리가 작기 때문에 이들 인력은 모두 상당히 크다.

면의 폴리싱 후에 임의의 불순물을 제거하기 위해서 면을 화학적으로 세척한 후의 경우대로, 상온 및 상압에서 완벽한 접착이 달성될 수 있다. 그러나 점착 에너지력은, 점착 전에 실행되는 세척, 표면에 대한 수산화물의 선택적인 추가, 및 점착 이후의 열처리의 선택적인 사용에 따라 달라질 수 있다.

공정에 따라 적용되는 단계가 이제 설명될 것이다:

세라믹을 만들기 위해서 적절한 첨가물이 첨가된 서브마이크론 탄화규소 분말을 예컨대 1400 bars 에서 등압 압축 성형함으로써 생 블랭크 (raw blank) 가 얻어진다.

원하는 세라믹으로 만들어진 적어도 두 개의 판 (1, 2) 을 제조하기 위해서 이 블랭크에서 평평한 샘플이 기계가공된 후에, 진공 오븐에서 고온 (약 2100 ℃) 으로 소결된다.

그 다음, 판 (1, 2) 은 다이아몬드 연마 휠이 있는 평평한 연마기에서 보정 된다.

그 다음, 서로 마주보고 위치될 면들이 연마되고 폴리싱되어서 편평도가 150 ㎚ PV (Peak-to-Valley) 미만이 되고 거칠기가 1 ㎚ RMS (Root Mean Square) 미만이 된다.

이하의 예에서 보여질 바와 같이, 판 (1, 2) 의 다른 두 면도, 연마된 후에 폴리싱된 다른 판과 접촉할 정도로 연마되고 폴리싱될 것이다.

폴리싱 작업은 예컨대 이하의 순서에 따라 실행될 수 있다:

- 다이아몬드로 충진되거나 충진되지 않은 금속 합금 연마기 또는 회전판에서 연마됨. 다이아몬드 분말 (50 ~ 20 ㎛ 의 입자) 을 함유하거나 함유하지 않은 수계 폴리싱 유체를 이용.

- 금속 합금, 유기 폴리머 또는 텍스타일로 만들어진 회전판을 구비한 평평한 폴리셔에서 폴리싱됨. 다이아몬드 분말 (10 ~ 1 ㎛ 의 입자) 을 함유하거나 함유하지 않은 수계 폴리싱 유체를 이용.

몇몇 작업들은 서로 폴리싱 유체에 함유된 입경을 감소시켜서 요구되는 특성의 편평도 및 거칠기를 만들 수 있다.

화학적 세척 후에는, 예를 들어, 두 판 (1, 2) 이 접촉된다. 1500 N 의 전단 가공 분석 값으로는 이들 두 판을 분리할 수 없다.

그러나 열화의 위험이 없는 공구를 사용하여 판을 분리할 수는 있다.

본 발명의 이점은 다양하다:

추가적인 재료 없이, 장치의 내식성을 효과적으로 보장하면서, 사용된 세라 믹 재료와 정확히 동일하게 기밀성이 달성된다.

또한, 추가적인 재료의 결여는 추가적인 재료와 세라믹 재료 사이의 상이한 팽창 (differential dilation) 문제를 제거해준다. 종래 기술의 해결책의 경우와 마찬가지로, 이 이점은 이 범위를 한정하는 대신에 세라믹 재료의 사용가능한 최대 범위를 넘어 장치를 사용할 수 있게 해준다.

사용 조건에 따라, 장치는 필요한 모든 세척 조정을 가능하게 하면서 용이하게 해체되고 재조립될 수 있다.

사용 조건에 따라, 특정 조건 없이 시스템이 상온에서 조립될 수 있기 때문에, 전문가에게 알려진 모든 수단에 의해 원하는 반응에 요구되는 선택적인 촉매에 의해 순환 회로가 쉽게 충만 (impregnation) 될 수 있다.

3 개의 실시형태에 따른 공정의 실행이 이제 설명될 것이다.

실시예 1: 도 1 ~ 도 4 의 다이아그램에 의해 도시된 탄화규소로 만들어진 열교환기.

예컨대 1400 bars 의 등압 압축 성형에 의해 미리 가압된 블랭크에서의 기계가공에 의해 탄화규소로 된 두 개의 판 (1, 2) 이 만들어진다.

상판 (1) 은, 예컨대 ANSI 표준에 대해, 교환기를 연결하는데 필요하고 미가공품 (raw) 의 기계가공 동안에 만들어진 플랜지 (7) 를 포함한다.

가공될 유체 순환 회로 (6) 는, 목적의 적절한 실현을 위해 전문가에 의해 규정된, 하판 (2) 에서 기계가공된다.

두 개의 판 (1, 2) 은 소결되고, 보정되고, 연마된 후에 접촉될 표면에서 폴 리싱된다. 소결, 보정 및 폴리싱에 사용되는 기술은 탄화 규소로 만들어진 품목의 제조에 잘 알려져 있다.

그 다음, 판 (1, 2) 은 서로 부착되어서 접촉하고 있는 부분의 접착으로 인해 기밀성을 보장하게 된다.

이렇게 점착된 판들은 가공될 유체 회로를 포함하는 제 1 기밀 모듈 (M) 을 형성한다.

냉각 유체의 순환을 보장하도록 설계된 다른 판 (3) 은 용도에 적합한 재료로 만들어져 있다:

- 사용 조건 (유체의 성질, 압력, 온도) 이 이들 재료와 양립가능하다면 금속 또는 플라스틱 재료,

- 팽창 조정의 필요가 있다면 두 개의 메인 판과 동일한 세라믹 (예컨대 높은 사용 온도 (high usage temperature)).

판 (3) 은 냉각 유체 순환 회로 (8) 를 만들기 위해 판 (2) 과 동일한 기술로 기계가공된다.

도 1 및 도 3 에서, 판 (3) 은 세라믹을 가공하기 위한 전형적인 기술로도 만들어진다.

그 후에, 이 판 (3) 은 도 4 에 도시된 바와 같이 모듈 (M) 로 조립된다. 이 조립체는 전통적인 방법에 의해 일반적인 규칙으로 만들어질 것이다: 예를 들어, 일반적인 규칙으로서, 냉각 유체가 부식성이지 않고 온도가 공지된 재료와 양립가능한 범위의 점착 또는 결합 (9).

당연히, 도시되지 않은 종래의 구성요소들이 안전 그립 시스템 (예컨대 로드 및 스프링에 의해) 등의 열교환기, 및 적합한 케이싱의 제조를 완성하기 위해 사용될 것이다.

탄화 규소 (SIC) 로 만들어진 이 유형의 교환기는 유동량이 적은 교환기를 만드는데 특히 적합하다. 사실, 열전도성이 우수한 SiC 와 관련된 이 낮은 유동량은 상당히 짧은 반응 길이만을 필요로 하기 때문에, 통상적으로 수십 또는 수백 ㎠ 인 제한된 용적의 판이 된다. 이러한 표면적 값은 간단하고 문제가 없는 폴리싱과 상당히 양립가능하다.

실시예 2: 도 5 및 도 6 의 다이아그램에 의해 도시된 탄화 규소로 만들어진 화학 반응기.

이용된 원리는 상기의 실시예 1 과 동일하고, 한가지 차이점은 원하는 화학 반응을 일으키기 전에 두 유체를 흡입하도록 세라믹 판 (10, 20) 이 배열된다는 점이다. 판 (10) 은 연결 플랜지 (107) 를 포함한다. 판 (20) 은 유체 회로 (60) 를 포함한다. 판 (3) 및 플랜지 (30) 는 열교환기에 대하여 도 3 및 도 4 의 판 (3) 및 플랜지 (30) 와 동일한 기능을 보장한다.

이 유형의 반응기는 저 유동량을 생성하는 반응기에 특히 적합하다. 사실, 열전도성이 우수한 SiC 와 관련된 이 저유동량은 단지 짧은 반응 길이만을 필요로 하기 때문에, 통상적으로 수십 또는 수백 ㎠ 인 제한된 용적의 판이 된다. 이러한 표면적 값은 간단하고 문제가 없는 폴리싱과 상당히 양립가능하다.

실시예 3: 도 7 및 도 8 에 의해 도시된 전자부품 (전자기 구성부품의 냉각) 용 세라믹으로 만들어진 방열기.

두 개의 세라믹 판 (100 및 200) 이 예컨대 1400 bars 의 등압 압축 성형에 의해 미리 가압된 블랭크에서 (이전의 실시예에서와 같이) 기계가공되어 만들어진다.

상판 (100) 은 예를 들어 알루미나 또는 질화 알루미늄에 대한 전기 절연 세라믹으로 만들어진다.

하판 (200) 은 상판 (100) 과 동일한 세라믹으로 만들어지거나, 칼로리 배출을 이롭게 하는데 더 나은 열전도성이 필요하다면 탄화 규소로 만들어진다.

냉각 유체 순환 회로 (600) 는 용도의 적절한 실현을 위해 전문가에 의해 규정된 하판 (200) 에서 기계가공된다. 예컨대 ANSI 표준에 대해서, 판 (200) 은 또한 방열기를 연결하는데 필요한 플랜지 (207) 를 포함한다.

두 개의 판 (100, 200) 은 소결되고, 보정되고, 연마된 후에 접촉하게 될 두 면에서 폴리싱된다.

전자기 콤포넌트는 상판 (100) 에 설치되어, 방열기에서 액체 순환에 의해 냉각된다.

상기에 설명된 모든 실시형태에서, 폴리싱 처리를 받은 후에, 공정을 유지하는 선택적으로 추가 처리 (세척) 되는 세라믹 판은, 이들이 서로 부착될 때의 부착의 강도를 보여주고, 두 판 사이의 결합은 새지 않는다.

Claims (11)

1. 조립된 판을 갖는, 세라믹으로 만들어진 열교환기 유형의 장치의 제조방법으로서,

   1. 적어도 하나는 유체 회로를 포함하는, 세라믹으로 만들어진 적어도 두 개의 판을 제조하는 단계,

   2. 서로 부착될 세라믹으로 만들어진 두 개의 판의 적어도 두 면을 폴리싱하는 단계,

   3. 원하는 기밀한 조립체를 제조하기 위해서 두 개의 판의 폴리싱된 면을 서로 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 열교환기 유형의 장치의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   세라믹으로 만들어진 판의 면을 폴리싱하는 것으로 이루어진 단계가

   - 직경이 50 ~ 20 ㎛ 인 입자로부터 형성된 다이아몬드 분말을 함유한 폴리싱 유체를 사용하여 연마기에서 연마되고,

   - 직경이 10 ~ 1 ㎛ 인 입자로부터 형성된 다이아몬드 분말을 함유하는 폴리싱 유체를 사용하여 폴리셔에서 폴리싱되는 일련의 단계의 한 번 이상의 반복을 포함하여서 편평도가 150 ㎚ 미만이고 거칠기가 1 ㎚ RMS 미만이 되도록 하는 것을 특징으로 하는, 열교환기 유형의 장치의 제조방법.
3. 제 2 항에 있어서, 판을 연마하는 것으로 이루어진 작업이 다이아몬드로 충진되거나 충진되지 않은 세라믹 또는 금속 합금 회전판 연마기에서 실행되고, 상기 폴리싱 유체는 수계일 수 있고,

   - 판을 폴리싱하는 것으로 이루어진 작업은 금속 합금, 유기 폴리머 또는 텍스타일로 만들어진 회전판을 구비한 평평한 폴리셔에서 실행되고, 상기 폴리싱 유체는 수계이거나 수계가 아닌 것을 특징으로 하는, 열교환기 유형의 장치의 제조방법.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   적어도 두 개의 세라믹판을 제조하는 것으로 이루어진 작업이:

   - 원하는 세라믹을 제조하기 위해서 적절한 첨가물이 첨가된 서브마이크론 세라믹의 분말의 등압 압축 성형에 의해 생 블랭크를 제조하는 단계,

   - 세라믹으로 만들어진 판 (1, 2) 을 제조하기 위해서 이 블랭크에서 평평한 샘플을 기계가공한 후에, 진공 오븐에서 고온 (약 2100℃) 으로 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 열교환기 유형의 장치의 제조방법.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세라믹은 탄화 규소인 것을 특징으로 하는, 열교환기 유형의 장치의 제조방법.
6. 접촉 상태로의 면의 접착에 의해 조립된 판을 포함하는, 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 제조방법에 의해 얻어진 세라믹으로 만들어진 열교환기.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 판은 탄화 규소로 만들어지는 것을 특징으로 하는 열교환기.
8. 접촉 상태로의 면의 접착에 의해 조립된 판을 포함하는, 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 제조방법에 의해 얻어진 세라믹으로 만들어진 화학 반응기.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 판은 탄화 규소로 만들어지는 것을 특징으로 하는 화학 반응기.
10. 접촉 상태로의 면의 접착에 의해 조립된 판을 포함하는, 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 제조방법에 의해 얻어진 세라믹으로 만들어진 방열기.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 판은 탄화 규소 또는 탄화규소 및 다른 알루미나 또는 질화 알루미늄 중 하나로 만들어지는 것을 특징으로 하는 방열기.

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