KR20100001603A - 기판처리를 위한 클러스터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 하나의 공정챔버에서 다수의 기판을 처리하여, 생산성을 개선한 기판처리를 위한 클러스터 및 기판이송방법에 관한 것으로, 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버; 상기 이송챔버와 연결되고, 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버; 상기 이송챔버와 연결되고, 다수의 기판이 적재된 트레이를 반출입하는 로드락 챔버; 상기 트레이에 상기 다수의 기판을 적재시키고, 상기 트레이를 상기 로드락 챔버에 반출입시키는 기판이송장치;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
클러스터, 트레이, 기판이송장치

Description

기판처리를 위한 클러스터{Cluster for treatmenting substrate}
본 발명은 기판처리를 위한 클러스터에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 하나의 공정챔버에서 다수의 기판을 처리하여, 생산성을 개선한 기판처리를 위한 클러스터에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치 또는 박막 태양전지를 제조하기 위해서는 기판에 특정 물질의 박막을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 패터닝하는 식각공정 등을 거치게 되며, 이들 각 공정은 해당공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 다수의 챔버로 구성된 클러스터에서 진행된다.클러스터는 기판을 처리하기 위해서 다수의 공정챔버와, 기판을 공정챔버로 이송 또는 회송하는 이송챔버와, 기판을 일시 저장하며 이송챔버와 연결되는 로드락챔버를 포함하는 복합형 장치로 구성된다.
도 1은 종래기술에 따른 클러스터의 개략도이다. 도 1과 같이, 클러스터는 로드락챔버(20), 이송챔버(50) 및 다수의 공정챔버(30)와, 다수의 공정챔버(30)에 서 공정을 수행하기 전에 기판(60)을 예열시키기 위한 예열챔버(40)를 포함하며, 로드락챔버(20)는 다수의 기판(60)을 적재하는 기판 저장부(10)에 연결된다. 이송챔버(50)에는 로드락챔버(20), 공정챔버(30) 및 예열챔버(40) 사이에서 기판(60)을 이송하기 위해 이송챔버 로봇(52)이 설치되며, 기판 저장부(10)에는 기판(60)을 이송하기 위해 저장부 로봇(12)이 설치된다. 이때 이송챔버 로봇(52)이나 저장부 로봇(12)은 회전운동 방식이 기판(60)을 이송한다. 공정상 필요에 따라, 예열챔버(40)는 생략될 수 있고, 로드락챔버(20)나 공정챔버(30)의 개수가 달라질 수도 있다.
도 1과 같은 제 1 종래기술의 클러스터는 중앙에 이송챔버(50)를 중심으로 공정챔버(30) 및 예열챔버(40)를 배치하는 구조이며, 이송챔버(50)의 이송챔버 로봇(52)에 의해 로드락 챔버(20)와 공정챔버(30) 또는 예열챔버(40)의 사이에서 기판(60)을 이송한다. 공정챔버(30) 또는 예열챔버(40)에서는 일회의 공정에서, 하나의 기판(60)을 처리한다. 이러한 경우, 기판(60)을 처리하기 위하여, 각각 다른 공정을 진행하는 도 1과 같은 클러스터를 다수 배치하면, 장시간 소요되는 특정공정에서 병목현상이 발생하게 되어, 생산효율을 저하시키는 문제가 발생한다. 따라서, 처리되는 기판(60)의 수를 증가시키기 위해서는 추가적으로, 공정챔버(30)를 더 많이 설치하여야 한다. 그러나, 추가적인 공정챔버(30)의 설치는 보다 큰 이송챔버(50)를 필요로 하고, 또한 기판(60)의 이동거리를 증가시키는 단점이 있다. 또한, 확장된 이송챔버(50) 및 추가적 공정챔버(30)에 의해 투자비용이 증가되어, 원 가상승의 요인으로 작용한다.
상기와 같은 종래기술의 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 일회의 공정에서 다수의 기판을 처리하여 생산성을 개선한 기판처리를 위한 클러스터을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클러스터는 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버; 상기 이송챔버와 연결되고, 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버; 상기 이송챔버와 연결되고, 다수의 기판이 적재된 트레이를 반출입하는 로드락 챔버; 상기 트레이에 상기 다수의 기판을 적재시키고, 상기 트레이를 상기 로드락 챔버에 반출입시키는 기판이송장치;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 기판이송장치는 상기 다수의 기판을 공급하기 위한 다수의 제 1 롤러와, 상기 트레이를 이송시키는 다수의 제 2 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 다수의 제 2 롤러는 상기 다수의 제 1 롤러의 하부로 하강할 수 있도록, 상기 다수의 제 2 롤러 사이에 상기 다수의 제 1 롤러가 위치하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 로드락 챔버 내부에서 상기 트레이를 반출입하기 위하여, 상기 로드락 챔버의 내부에는 하나의 상기 트레이가 적재되는 1층의 다수의 제 3 롤러가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 다수의 제 3 롤러는 2층 이상으로 설치되어, 2 개 이상의 상기 트레이를 적재할 수 있는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 다수의 제 3 롤러는 상하로 이동가능한 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 트레이는 다수의 관통부를 정의하기 위한 외부 및 내부 프레임을 포함하고, 상기 다수의 관통부의 각각에 대응되는 부분과, 상기 트레이의 외곽부에 상기 다수의 제 1 롤러가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 트레이는, 외부 및 내부 프레임에 의해 정의되고, 상기 다수의 기판을 수용하기 위한 다수의 관통부; 상기 다수의 관통부의 각각의 측면에서 설치되며, 상기 다수의 기판의 각각을 정렬하기 위한 정렬부; 상기 정렬부의 하부에 설치되며, 상기 다수의 관통부의 각각의 측면에서 돌출되어 상기 다수의 기판의 각각을 지지하기 위한 지지대; 상기 지지대의 하부에 위치하며, 상기 다수의 관통부의 각각의 측면에 설치되어, 안치수단의 돌출부와 정합되는 정합부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 다수의 기판이 수용된 상기 트레이에서, 상기 다수의 기판과 상기 외부 및 내부 프레임은 동일한 평면을 유지하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 정렬부는 양경사부를 가지고, 상기 정 합부는 음경사부를 가지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 공정챔버는, 반응공간을 정의하는 하우징; 상기 하우징 내에 반응가스를 공급하는 가스 분배판; 가스 분배판과 대향하는 안치수단; 상기 안치수단 상에 위치하고, 다수의 기판을 수용하는 트레이;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 트레이는 상기 다수의 기판의 각각을 수용하는 다수의 관통부를 포함하고, 상기 안치수단은 상기 다수의 관통부의 각각과 정합되는 다수의 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 다수의 돌출부 사이의 상기 안치수단에는 상기 트레이를 안착 및 분리시키기 위한 다수의 리프트 핀이 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 클러스터에 있어서, 상기 다수의 기판의 각각의 에지 영역을 차폐하기 위하여, 상기 트레이 상에 에지 프레임을 설치하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 클러스터는 다음과 같은 효과가 있다.
일회의 공정에서 다수의 기판을 처리하여 생산성을 개선할 수 있다. 그리고, 장시간이 소요되는 공정에는 일회의 공정에서 다수의 기판을 처리할 수 있는 클러스터를 배치하여, 특정 공정에서 발생할 수 있는 병목현상을 제거할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기 로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 클러스터의 개략도이고, 도 3은 본 발명에 따른 공정챔버의 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 트레이의 사시도이고, 도 5는 도 4를 A-A'로 절단한 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 기판이송장치의 사시도이고, 도 7 내지 도 10은 본 발명에 따른 기판이송과정을 도시한 기판이송장치의 단면도이고, 도 11은 본 발명에 안치수단의 사시도이고, 도 12는 본 발명에 따른 안치수단의 단면도이고, 도 13은 본 발명에 따른 에지 프레임의 사시도이다.
도 2와 같이, 본 발명에 따른 클러스터(110)는 로드락 챔버(112), 이송챔버(114) 및 다수의 공정챔버(116)와, 다수의 공정챔버(116)에서 공정을 수행하기 전에 기판(118)을 예열시키기 위한 예열챔버(120) 및 로드락 챔버(112)에 기판(118)을 공급하기 위한 기판이송장치(122)를 포함한다. 이송챔버(118)에는 로드락챔버(112), 공정챔버(116) 및 예열챔버(120) 사이에서 기판(118)을 이송하기 위해 이송챔버 로봇(124)이 설치된다. 기판이송장치(122)는 기판(118)을 트레이(132)에 적재시키고, 트레이(132)를 로드락 챔버(112)의 내부로 이송시키는 기능을 한다.
본 발명의 클러스터는 공정을 진행하기 위한 기판보다 큰 형태로 최적화되어 있어, 클러스터의 로드락 챔버, 이송챔버 및 공정챔버가 다수의 기판을 적재할 수 있는 트레이의 수용이 가능하고, 이로 인해 다수의 기판을 일 회의 공정에 의해 처리할 수 있다. 예를 들면, 5 세대에 비하여 수 배의 크기를 가지는 8 세대 크기의 기판을 처리하는 것으로 최적화되어 있는 클러스터에서 5 세대 크기의 기판을 다수 개 처리하는 것이다. 따라서, 클러스터의 모든 챔버에서, 8 세대의 기판은 한장씩 처리되지만, 5 세대의 기판은 일 회의 공정에 의해 다수로 처리되어 생산성을 개선할 수 있다.
기판이송장치(122)는 외부로부터 기판(118)을 공급받아 트레이(132)에 적재시키는 다수의 제 1 롤러(128)과, 다수의 제 1 롤러(128)와 수직방향으로 배열되며, 트레이(132)를 로드락챔버(112)의 내부로 이송시키기 위한 다수의 제 2 롤러(130)으로 구성된다. 트레이(132)를 로드락챔버(112)의 내부로 이송하기 위하여, 로드락 챔버(112)의 내부에 다수의 제 3 롤러(164)가 설치된다. 공정상 필요에 따라, 예열챔버(120)는 생략될 수 있고, 로드락 챔버(112)나 공정챔버(116)의 개수가 달라질 수도 있다. 로드락 챔버(112)는 기판(118)의 반출입을 위하여 기판이송장치(122)와 대응되는 위치에 제 1 슬롯(162)와 이송챔버(114)와 대응되는 위치에 제 2 슬롯(180)이 설치된다. 그리고, 공정챔버(116) 및 예열챔버(120)의 각각이 이송챔버(114)와 대응되는 영역에, 기판(118)의 반출입을 위하여 제 3 슬롯(도시하지 않음)이 설치된다.
도 3과 같이, 공정챔버(116)는 반응영역을 정의하는 하우징(134)과, 상부전 극(136)과, 상부전극(136)과 대향전극으로 기능하며 트레이(132)가 안착되는 안치수단(138)과, 기판(118)의 단부를 차폐하기 위해 트레이(132) 상에 위치하는 에지 프레임(140)과, 에지 프레임(140)이 거치되는 거치대(142)와, 반응가스 및 부산물을 하우징(134)의 외부로 배출하기 위한 배기부(144)와, 상부전극(136)의 하부에 위치하며, 다수의 분사홀(146)을 포함하는 가스 분배판(148)을 포함한다. 상부전극(136)은 RF 전압으로 최대 전력을 인가하기 위해 부하 임피던스와 소스 임피던스를 정합시키는 정합회로를 통해 전압을 인가받는다.
도 4 및 도 5와 같이 트레이(132)는 외부 및 내부 프레임(150a, 150b), 기판(118)이 적재되고, 외부 및 내부 프레임(150a, 150b)에 의해 정의되며, 안치수단(136)의 돌출부(152)와 정합되는 다수의 관통부(154)를 포함한다. 다수의 관통부(154)의 측면에는 기판(118)이 적재되었을 때, 기판(118)을 정렬시키기 위한 정렬수단으로써 제 1 경사부(158)와 제 1 경사부(158)의 하부에서 기판(118)을 지지하는 지지부(160)와, 지지부(160)의 하부에서 돌출부(152)의 측면과 정합되는 제 2 경사부(162)가 형성된다.
제 1 경사부(158)는 기판(118)이 관통부(154)에 위치되면, 기판(118)이 관통부(154)의 내측면에 설치되어 있는 제 1 경사부(158)를 따라 활강하면서 기판(118)이 관통부(154)의 내부로 정렬된다. 제 1 경사부(158)은 양경사(positive slop)를 가진다. 그리고, 제 1 경사부(158)의 하부에서 수평으로 돌출된 지지부(160)가 기 판(118)을 지지한다. 양경사(positive slop)를 가지는 안치수단(138)의 돌출부(152)와 정합되기 위하여 제 2 경사부(162)는 음경사(negative slop)를 가진다. 트레이(132)의 지지부(160)에 기판(118)이 적재되면, 외부 및 내부 프레임(150a, 150b)과 기판(118)은 동일한 평면을 유지한다. 외부 및 내부 프레임(150a, 150b)과 기판(118)이 동일한 평면을 유지하여야, 트레이(132) 상에 위치한 에지 프레임(140)에 의해 기판(118)의 파손되지 않는다.
도 6과 같이, 기판이송장치(122)에서 로드락챔버(112)로 트레이(132)를 이송시키는 과정은, 로드락 챔버(112)의 내부에 설치되는 제 3 롤러(164)와 기판이송장치(122)의 제 2 롤러(130)의 구동에 의해 트레이(132)를 로드락 챔버(112)의 제 1 슬롯(162)의 외부로 반출시키고, 트레이(132)가 제 2 롤러(130) 상에 위치되면, 제 2 및 제 3 롤러(130, 164)의 구동을 중지시킨다. 트레이(132)가 적재된 제 2 롤러(130)를 제 1 롤러(128)의 하부로 하강시키고, 제 1 롤러(128)를 구동시켜, 트레이(132)의 관통부(154)와 대응되는 제 1 롤러(128) 상에 기판(118)을 위치시키고, 제 2 롤러(130)를 상승시켜, 트레이(132)에 기판(118)을 적재시킨다.
기판(118)이 적재된 트레이(132)를 로드락 챔버(112)의 내부로 이송시키고, 제 1 슬롯(162)을 닫은 후에, 로드락 챔버(112)의 내부를 진공으로 배기한 후에, 제 2 슬롯(180)을 열고, 이송챔버(114)의 이송챔버 로봇(124)을 이용하여, 트레이(132)를 이송챔버(114)를 경유하여, 공정챔버(116) 또는 예열챔버(120)으로 이송 시킨다. 로드락 챔버(112)에는 트레이(132)의 수납효율을 높이기 위하여, 제 3 롤러(164)를 2 층 이상으로 설치하여, 2 개 이상의 트레이(132)의 수납을 가능하게 할 수 있다.
2 내지 10 개를 1 군으로 한 제 1 롤러(128)는 제 1 롤러 지지봉(190)에 의해 연결되어 구동되고, 2 개 내지 10 개를 1 군으로 한 제 2 롤러(130)는 제 2 롤러 지지봉(192)에 의해 연결되고, 2 개 내지 10 개를 1 군으로 한 제 3 롤러(164)는 제 3 롤러 지지봉(194)에 연결된다.
도 7 내지 도 10을 참조하여, 트레이(132)의 이송과정을 설명하면 다음과 같다. 도 7과 같이, 제 2 및 제 3 롤러(130, 164)를 구동하여, 로드락 챔버(112)로부터 트레이(132)가 반출되고, 트레이(132)가 제 1 슬롯(162)을 완전히 벗어나는 위치에서 제 2 및 제 3 롤러(130. 164)가 구동을 중지한다. 로드락 챔버(112)로부터 트레이(132)를 반출하기 위하여, 제 2 및 제 3 롤러(130, 164)는 동일한 높이를 유지하여야 한다. 로드락 챔버(112)의 내부에 제 3 롤러(164)가 다층으로 설치되는 경우, 제 3 롤러(164)의 각각에 승하강 수단을 설치하여, 제 3 롤러(164)의 승하강에 의해, 제 2 롤러(130)와 제 3 롤러(164)의 높이를 동일하게 조절한다.
트레이(132)가 위치하는 영역에 설치되는 제 1 롤러(128)는 트레이(132)의 관통부(154)와 대응되는 영역에 형성되고, 외부 및 내부 프레임(150a, 150b)과 대 응되는 부분에는 설치되지 않는다. 외부 및 내부 프레임(150a, 150b)과 대응되는 영역에 제 1 롤러(128)가 설치되면, 제 1 롤러(128)에 의해 제 2 롤러(130) 및 트레이(132)의 승하강을 방해한다. 따라서, 제 1 롤러(128)는 외부 및 내부 프레임(150a, 150b)과 대응되는 부분에는 설치되지 않는다. 그리고, 트레이(132)가 정지하는 영역에서, 제 2 롤러(130)는 제 1 롤러(128)와 중복되지 않고, 트레이(132)의 외부 및 내부 프레임(150a, 150b)와 대응되는 영역에만 형성되고, 제 1 롤러(128)는 제 2 롤러(130)의 사이에 설치된다.
도 8과 같이, 트레이(132)가 적재되어 있는 제 2 롤러(130)가 제 1 롤러(128)의 하부로 하강한다. 관통부(154)를 포함하는 트레이(132)와 제 2 롤러(130)는 제 1 롤러(154)가 설치되지 않은 부분으로 하강하여, 제 1 롤러(128)의 하부에 위치하게 된다. 트레이(132) 및 제 2 롤러(130)가 완전히 하강하면, 제 1 롤러(128)가 구동되어, 기판(118)이 이동되기 시작한다. 본 발명에서는 트레이(132)가 격자형상으로 4 장의 기판(118)을 수용하는 형태로 제작되어 있으므로, 제 1 롤러(128)는 2 열로 설치되어 2 장의 기판(118)을 동시에 공급한다. 그리고, 트레이(132)의 각각의 관통부(154)와 대응되는 제 1 롤러(128)는 기판(118)의 정렬을 위하여 별도로 구동될 수 있다.
도 9와 같이, 제 1 롤러(128)의 구동에 의해, 트레이(132)의 관통부(154)와 대응하는 제 1 롤러(128) 상에 기판(118)이 위치되면, 트레이(132)를 적재한 제 2 롤러(130)가 제 1 롤러(128)의 상부로 상승한다. 그리고, 도 10과 같이, 제 2 롤러(130)의 상승에 의해 트레이(132)의 관통부(154)의 측면에 설치되어 있는 제 1 경사부(158)에 의해 기판(118)이 정렬되고, 기판(118)은 지지부(160)에 적재된다. 기판(118)이 적재된 트레이(132)는 제 2 및 제 3 롤러(130,164)의 구동에 의해 로드락 챔버(112)의 내부로 이송된다.
로드락 챔버(112)의 내부로 트레이(132)가 이송되면, 제 1 슬롯(162)이 닫히고, 로드락 챔버(112)의 내부를 진공으로 배기한 후에, 제 2 슬롯(180)을 열고, 도 11과 같이, 이송챔버(114)의 로봇암(156)에 의해 트레이(132)가 공정챔버(116)의 안치수단(138)에 안착된다. 이송챔버(114)에 연결되는 있는 공정챔버(116)의 제 3 슬롯(도시하지 않음)이 열리고, 로봇암(156)이 트레이(132)의 하부로 삽입되어 트레이(132)를 로드락챔버(112)에서 공정챔버(116)의 안치수단(138) 상에 위치시킨다. 트레이(132)의 관통부(154)는 안치수단(138)의 돌출부(152)와 정합되고, 돌출부(152) 상에 기판(118)이 위치하게 된다.
그리고, 트레이(132)와 안치수단(138) 사이에 로봇암(156)이 삽입될 수 있는 공간을 형성하기 위하여, 안치수단(138)에서 돌출부(152)의 사이에 리프트 핀(188)을 설치한다. 리프트 핀(188)은 안치수단(138)이 하강할 때, 공정챔버(116)의 저면에 의해 지지되어, 안치수단(138)의 상부로 리프트 핀(188)이 돌출되면서 트레이(132)를 안치수단(138)로부터 분리시키고, 트레이(132)와 안치수단(138) 사이의 공간에 로봇암(156)이 삽입되어, 트레이(132)를 이송시킨다.
도 12와 같이, 안치수단(138)이 상승하면서, 공정챔버(116)의 내부에 설치되어 있는 에지 프레임(140)과 접촉한다. 따라서, 트레이(132) 상에는 트레이(132)와 동일한 형태로 제작된 에지 프레임(140)이 위치하게 된다. 에지 프레임(140)은 관통부(154) 상에 위치한 기판(118)의 측면부를 차폐하여, 기판의 단부에 박막이 증착되는 것을 방지한다. 그리고, 에지 프레임(140)은 거치대(142)에 거치되기 위하여, 트레이(132) 보다 크게 제작된다.
도 13과 같이, 에지 프레임(140)은 트레이(132)와 동일한 형상으로 제작되며, 기판(118)의 공정영역(186)을 정의하기 위한 외부 프레임(182) 및 내부 프레임(184)로 구성된다. 공정영역(186)에 의해 기판(118)이 노출되며, 기판(118)의 에지영역은 에지 프레임(140)에 의해 차폐된다. 도 3을 참조하여 에지 프레임(140)의 위치를 설명하면, 기판(118)이 반출입될 때는 안치수단(138)이 하강하였을 때, 에지 프레임(140)은 거치대(142)에 거치상태로 있고, 안치수단(138)이 공정위치로 상승할 때, 에지 프레임(140)은 안치수단(138)과 함께 상승하여 거치대(142)로부터 분리되고, 트레이(132) 상에 위치하여 기판(118)의 에지영역을 차폐한다.
안치수단에 롤러를 설치하여 트레이를 이송시키는 것은 정확한 구동방법을 설명하여 주기 바랍니다.
도 1은 종래기술에 따른 클러스터의 개략도
도 2는 본 발명에 따른 클러스터의 개략도
도 3은 본 발명에 따른 공정챔버의 단면도
도 4는 본 발명에 따른 트레이의 사시도
도 5는 도 4를 A-A'로 절단한 단면도
도 6은 본 발명에 따른 기판이송장치의 사시도
도 7 내지 도 10은 본 발명에 따른 기판이송과정을 도시한 기판이송장치의 단면도
도 11은 본 발명에 안치수단의 사시도
도 12는 본 발명에 따른 안치수단의 단면도
도 13은 본 발명에 따른 에지 프레임의 사시도

Claims (14)

  1. 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버;
    상기 이송챔버와 연결되고, 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버;
    상기 이송챔버와 연결되고, 다수의 기판이 적재된 트레이를 반출입하는 로드락 챔버;
    상기 트레이에 상기 다수의 기판을 적재시키고, 상기 트레이를 상기 로드락 챔버에 반출입시키는 기판이송장치;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판이송장치는 상기 다수의 기판을 공급하기 위한 다수의 제 1 롤러와, 상기 트레이를 이송시키는 다수의 제 2 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 다수의 제 2 롤러는 상기 다수의 제 1 롤러의 하부로 하강할 수 있도록, 상기 다수의 제 2 롤러 사이에 상기 다수의 제 1 롤러가 위치하는 것을 특징으 로 하는 클러스터.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 로드락 챔버 내부에서 상기 트레이를 반출입하기 위하여, 상기 로드락 챔버의 내부에는 하나의 상기 트레이가 적재되는 1층의 다수의 제 3 롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 다수의 제 3 롤러는 2층 이상으로 설치되어, 2 개 이상의 상기 트레이를 적재할 수 있는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 다수의 제 3 롤러는 상하로 이동가능한 것을 특징으로 하는 클러스터.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 트레이는 다수의 관통부를 정의하기 위한 외부 및 내부 프레임을 포함 하고, 상기 다수의 관통부의 각각에 대응되는 부분과, 상기 트레이의 외곽부에 상기 다수의 제 1 롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이는,
    외부 및 내부 프레임에 의해 정의되고, 상기 다수의 기판을 수용하기 위한 다수의 관통부;
    상기 다수의 관통부의 각각의 측면에서 설치되며, 상기 다수의 기판의 각각을 정렬하기 위한 정렬부;
    상기 정렬부의 하부에 설치되며, 상기 다수의 관통부의 각각의 측면에서 돌출되어 상기 다수의 기판의 각각을 지지하기 위한 지지대;
    상기 지지대의 하부에 위치하며, 상기 다수의 관통부의 각각의 측면에 설치되어, 안치수단의 돌출부와 정합되는 정합부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 다수의 기판이 수용된 상기 트레이에서, 상기 다수의 기판과 상기 외부 및 내부 프레임은 동일한 평면을 유지하는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 정렬부는 양경사부를 가지고, 상기 정합부는 음경사부를 가지는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 공정챔버는,
    반응공간을 정의하는 하우징;
    상기 하우징 내에 반응가스를 공급하는 가스 분배판;
    가스 분배판과 대향하는 안치수단;
    상기 안치수단 상에 위치하고, 다수의 기판을 수용하는 트레이;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 트레이는 상기 다수의 기판의 각각을 수용하는 다수의 관통부를 포함하고, 상기 안치수단은 상기 다수의 관통부의 각각과 정합되는 다수의 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 다수의 돌출부 사이의 상기 안치수단에는 상기 트레이를 안착 및 분리시키기 위한 다수의 리프트 핀이 설치되는 것을 특징으로 하는 클러스터.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 다수의 기판의 각각의 에지 영역을 차폐하기 위하여, 상기 트레이 상에 에지 프레임을 설치하는 것을 특징으로 하는 클러스터.
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