KR20090130786A - 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공처리장치에서 기판을 승하강시키기 위한 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.
특히 본 발명은 기판지지대에 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과; 상기 다수개의 리프트핀들을 승강시키는 구동부를 포함하며, 상기 다수개의 리프트핀들 중 적어도 일부와 상기 구동부 사이에는 상기 리프트핀들 중 적어도 일부에 탄성력을 가하는 가압부가 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법을 개시한다.
진공처리, 기판, 리프트장치, 리프트핀, 가압, 탄성력, 검출, 불량

Description

진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법{Apparatus for Driving Lift Pin for Vacuum Processing Apparatus and Control Method for the same}
본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공처리장치에서 기판을 승하강시키기 위한 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.
진공처리장치는 진공챔버에 형성된 처리공간에서 플라즈마를 형성하여 기판지지대 위에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 진공처리공정을 수행하는 장치를 말한다.
한편 진공처리의 대상인 기판은 진공처리장치의 게이트를 통하여 기판지지대로 반송되는 반송과정, 기판지지대 상의 로딩(loading)/언로딩(unloading)과정을 거치면서 장치의 오작동이나 충격 등에 의하여 파손될 수 있다.
그런데 기판이 파손되었음에도 불구하고 이를 감지하지 못하고 기판에 대하여 진공처리를 수행하는 경우 기판의 파손된 부분에서 정전척 등이 플라즈마에 직접 노출되어 파손될 수 있으며, 파손된 정전척 등을 교체하여야 하는 문제점이 있다.
특히 진공처리 대상인 기판은 작은 외부충격에 의해서도 파손될 가능성이 매우 높은데, 로딩/언로딩과정에서 기판에 외력이 가해서 모서리 부근에서 파손되는 경우가 자주 발생하게 되며, 모서리 부근에서 파손된 기판에 의하여 정전척 등의 손상이 발생하는 문제점이 있다.
또한 기판의 크기가 큰 경우 기판이 기판지지대 상에 안착되는 과정에서 고루 펼쳐지지 못하고 일부에 주름이 발생-주로 리프트핀 부근에서 발생되는데 이는 기판이 기판지지대에 마지막으로 안착되기 때문이다-될 수 있는데, 주름이 있는 상태에도 불구하고 진공처리가 이루어지는 경우 요구되는 진공처리가 원활하게 이루어지지 못하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 기판에 가해지는 충격력을 탄성력에 의해 완충함으로써 리프트핀에 의해 기판에 가해지는 충격력을 최소화 할 수 있는 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 기판을 기판지지대에 안착시킬 때, 기판의 파손 등 기판의 상태, 기판의 안착상태를 사전에 검출하여 기판지지대의 파손이나, 기판에 대한 진공처리의 불량률을 줄일 수 있는 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법을 제공하는 데 있다.
상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 기판지지대에 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과; 상기 다수개의 리프트핀들을 승강시키는 구동부를 포함하며, 상기 다수개의 리프트핀들 중 적어도 일부와 상기 구동부 사이에는 상기 리프트핀들 중 적어도 일부에 탄성력을 가하는 가압부가 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법을 개시한다.
상기 구동부와 상기 리프트핀을 연결하는 연결부를 더 포함하고; 상기 가압부는 상기 리프트핀과 상기 연결부 사이 또는 상기 연결부와 상기 구동부 사이에 설치될 수 있다.
상기 가압부는 코일 스프링 또는 판 스프링 등이 사용될 수 있다.
상기 가압부는 상기 기판지지대의 가장자리에 설치된 리프트핀들 중 전부 또는 일부, 또는 상기 기판지지대의 모서리에 설치된 리프트핀들 중 전부 또는 일부의 리프트핀들에 설치될 수 있다.
상기 기판이 상기 기판지지대에 안착되면, 상기 가압부의 가압상태에 따라서 상기 기판의 상태 및 상기 기판의 안착상태의 정상여부를 검출하는 검출부를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 검출부는 상기 가압부의 가압상태를 검출하기 위해 마이크로스위치 또는 압력센서 또는 비접촉센서를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 리프트장치는 상기 가압부의 탄성력을 받는 리프트핀의 적어도 일부분이 삽입되는 가이드부를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 가이드부와 상기 기판지지대 중 어느 한쪽에서 나머지 한쪽을 향해 돌출 형성되어, 상기 가이드부의 유동을 방지하는 다수 개의 유동방지부를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 구동부는 상기 다수개의 리프트핀들 모두를 상하로 승강구동하거나, 복수개로 구성되며, 상기 구동부들은 각각 상기 리프트핀들 중 적어도 하나를 상하로 승강구동할 수 있다.
본 발명은 또한 상기와 같은 구성을 가지는 진공처리장치를 개시한다.
본 발명은 또한 기판을 지지하는 상기 리프트핀의 접촉부의 끝단이 기판이 없는 상태에서 상기 기판지지대에 정상적으로 안착된 기판의 저면보다 낮게 하강될 때의 상기 가압부의 위치를 대기위치라 하고, 기판이 상기 기판지지대에 정상적으 로 안착된 상태에서 상기 기판의 저면을 상기 가압부가 가압하도록 하는 상기 가압부의 위치를 검출위치라 할 때, 기판이 상기 리프트핀들에 의하여 지지된 후, 상기 리프트장치의 상기 가압부들이 상기 검출위치까지 하강하는 하강단계와; 상기 가압부의 가압상태에 따라서 상기 검출부에 의하여 상기 기판의 상태 및 상기 기판의 안착상태의 정상여부를 검출하는 검출단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치 제어방법을 개시한다.
상기 검출단계에서, 상기 검출부의 검출 결과, 상기 기판의 안착상태가 불량인 것으로 검출되면, 상기 리프트핀을 상승시켜 상기 기판을 상기 기판지지대에 다시 상승시킨 후에 상기 하강단계를 다수 수행하는 재구동단계가 수행될 수 있다.
상기 검출단계에서, 상기 검출부의 검출 결과, 상기 기판의 상태가 불량인 것으로 검출되면, 상기 기판이 반송될 수 있도록 상기 리프트핀을 상승시키는 반송단계가 수행될 수 있다.
상기 검출단계에서, 상기 검출부에 의한 검출결과, 정상이면, 상기 가압부를 상기 대기위치까지 더 하강하는 단계가 수행될 수 있다.
본 발명에 따른 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법은 리프트핀에 대하여 탄성력을 가하는 가압부를 구비함으로써, 기판에 가해지는 충격력을 가압부의 탄성력에 의해 완충함으로써 리프트핀에 의해 기판에 가해지는 충격력을 감소시켜 기판의 파손을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법은 리프트핀 에 대하여 탄성력을 가하는 가압부 및 그 가압상태를 검출하는 검출부를 구비하여, 리프트핀의 가압상태에 따라 기판의 상태 및 기판의 안착상태를 검출함으로써, 기판의 상태 및 기판의 안착상태가 정상인 경우에만 진공처리장치가 진공처리를 수행하도록 하여 진공처리 효율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
특히 기판이 파손된 경우 진공처리과정에서 기판지지대, 특히 정전척이 플라즈마에 노출되어 파손될 수 있는데, 안착된 기판의 파손여부를 감지하여 기판의 파손여부에 따라 선별적으로 진공처리를 수행하도록 함으로써 기판지지대, 특히 정전척의 파손을 방지하여 고가의 설비 파손을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한 안착된 기판에 주름이 발생되는 등 기판의 안착상태가 정상적이지 않은 경우 검출부를 통하여 그 안착상태의 검출이 가능하므로 기판의 안착상태에 따라 기판을 다시 안착시킴으로써, 기판의 안착상태 불량으로 인하여 기판에 대한 진공처리의 불량을 방지하여 진공처리의 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
이하, 본 발명에 따른 진공처리장치의 리프트장치 및 그 제어방법에 관하여 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 내부에 식각, 증착 등의 진공처리를 위한 처리공간(4A)이 형성된 진공챔버(4)와, 진공챔버(4) 내에 설치되어 기판(2)을 지지하는 기판지지대(10)를 포함하여 구성된다.
상기 진공챔버(4)는 설계조건 및 디자인에 따라서 다양한 형상 및 구조를 가지도록 제작될 수 있으며, 서로 결합되어 처리공간(4A)을 형성하는 상부하우징 및 하부하우징-또는 상부리드-을 포함하여 구성될 수 있다. 이때 진공챔버(4)의 측면에는 게이트밸브(미도시)에 의하여 개폐되며 기판의 입출을 위한 게이트(4B)가 형성된다.
그리고 상기 진공챔버(4)는 처리공간(S)에서 진공처리를 수행할 수 있는 압력조건(진공압)을 유지하기 위하여 진공펌프(미도시)와 연결되는 배기구(8), 처리공간(4A)으로 공정가스 등을 주입하기 위하여 가스공급장치와 연결되는 가스공급관(6), 플라즈마 형성을 위한 전원인가부 등 다양한 설치물들이 설치될 수 있다.
상기 전원인가부는 플라즈마 형성을 위하여 진공챔버(4)에 설치되며, 전원인가방식에 따라서 다양하게 구성될 수 있다. 일례로, 진공챔버(4) 및 처리공간(4A)으로 가스를 분사하는 샤워헤드(5)를 접지하여 상부전극으로 구성하고, 기판지지대(10)의 일부에 RF 전원을 인가하여 하부전극으로 구성할 수 있다.
상기 기판지지대(10)는 웨이퍼, LCD 패널용 유리기판과 같은 기판(1)을 지지하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 다수개의 플랜지(12)들에 의하여 지지되어 진공챔버(4)에 설치될 수 있다.
상기 기판지지대(10)는 일례로서, 정전력에 의하여 기판(2)을 흡착고정하는 정전척과, 기판(2)을 냉각시키기 위한 냉각플레이트, 하부전극 등이 설치될 수 있다.
한편 상기 기판지지대(10)는 기판(2)의 안착 및 이격을 위하여 기판(2)을 지지하여 상하로 승강이동하는 다수개의 리프트핀(30)들을 포함하는 리프트장치가 설치된다.
상기 리프트장치는 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 기판지지대(10)에 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀(30)들과, 다수개의 리프트핀(30)들을 승강시키는 구동부(40)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 리프트핀(30)은 기판지지대(10)에 상하방향으로 형성된 리프트 홀(10A)에 각각 승강 가능토록 삽입됨으로써, 기판지지대(10)에 설치되며, 기판(2)의 크기 등에 따라 개수 및 배치 등이 결정된다.
그리고 상기 리프트핀(30)은 모두 금속재질로 이루어지는 경우 플라즈마가 집중되어 기판(2)에 얼룩 등이 발생될 수 있으므로, 그 끝단인 기판(2)을 지지하는 접촉부(34)가 부도체로 구성되는 것이 바람직하다.
예를 들면, 상기 리프트핀(30)은 필요에 따라서 접촉부(34)만 부도체로 구성되고 그 나머지부분(32)은 전도체로 구성되거나, 전체가 부도체로 구성될 수 있다.
상기 구동부(40)는 리프트핀(30)들을 상하로 승강구동하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 복수 개로 구성되어 리프트핀(30)들 중 적어도 하나를 각각 상하로 구동하도록 구성되거나, 리프트핀(30)들 모두를 한꺼번에 상하로 구동할 수 있도록 하나로 구성될 수 있다.
상기 구동부(40)는 다수개의 리프트핀(30)들과 직접 결합될 수 있지만, 원활한 구동을 위해 리프트핀(30)과 연결부(45)를 통해 일체로 또는 탈착가능하게 연결될 수 있다. 상기 연결부(45)는 진공챔버(4)의 기밀을 위해 진공챔버(4)에 설치되고 상하방향으로 탄성 변형 가능한 벨로우즈(84)와 결합될 수 있다.
상기 리프트장치는 특히, 리프트장치에 의해 기판(2)을 승강 또는 하강시킬 때 기판(2)에 가해지는 충격을 완화할 수 있도록, 리프트핀(30)과 구동부(40) 사이에 설치되어 리프트핀(30)에 상측방향으로 탄성력을 가하는 가압부(50)를 포함한다.
상기 가압부(50)는 본 실시 예와 같이 리프트핀(30)의 상측방향으로 탄성 변형가능토록 설치된 코일 스프링으로 구현될 수 있다. 이 외 실시 예로써 상기 가압부(50)는 판 스프링이나 또는 유압스프링 또는 공압스프링으로 구현될 수 있으며, 이에 한정되지 않고 탄성력을 가질 수 있다면 어떠한 방법으로 구현되든 무방하다.
이때, 상기 가압부(50)는 유압스프링 또는 공압스프링 등과 선택적으로 탄성력을 가할 수 있는 경우, 리프트핀(30)에 상시 탄성력을 가할 수도 있지만, 기판(2)의 안착/분리시 또는 후술하는 바와 같이 기판(2)의 상태, 안착상태 등을 검출시에만 선택적으로 리프트핀(30)에 탄성력을 가하도록 제어될 수 있다.
상기 가압부(50)는 본 실시 예와 같이 다수개의 리프트핀(30)들 전부를 탄성력에 의해 지지토록 구성될 수 있다. 또는 이외 실시 예로써 상기 가압부(50)는 다수개의 리프트핀(30)들 중 일부에만 설치될 수 있다.
이때 상기 가압부(50)는 기판(2)이 리프트장치에 의해 상승/하강될 때 기판(2)의 가장자리가 특히 충격을 많이 받을 뿐만 아니라 후술하는 바와 같이 파손되기 쉬우므로, 적어도 기판지지대(10)의 가장자리에 설치된 일부 리프트핀(30)에 설치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 가압부(50)는 기판(2)의 가장자리 중 특히 모서리 쪽이 상대적으로 충격을 받기 쉽고 파손되기 쉬우므로 적어도 기판지지대(10)의 모서리에 설치된 일부 리프트핀(30)에만 설치되는 것이 바람직하다.
상기 가압부(50)는 리프트핀(30)에 직접 탄성력을 가할 수 있도록, 리프트핀(30)과 연결부(45) 사이에 설치될 수 있다. 물론, 상기 가압부(50)는 연결부(45)와 구동부(40) 사이에 설치되는 것도 가능하고, 상술한 바와 같이 상기 리프트핀(30)과 구동부(40)가 직접 결합되는 경우 리프트핀(30)과 구동부(40) 사이에 설치되는 것도 가능하다.
상기 가압부(50)는 리프트핀(30) 및 연결부(45) 또는 구동부(40))와 일체로 연동되고 구동부(40)의 구동력이 리프트핀(30)에 잘 전달될 수 있도록, 리프트핀(30) 및 연결부(45)와 각각 결합되는 것이 바람직하다.
나아가, 상기 리프트핀(30)이 가압부(50)의 탄성력에 의해서만 지지되면 흔들릴 수 있는바, 상기 가압부(50)의 탄성력을 받는 리프트핀(30)은 유동방지를 위하여, 가이드부(70)에 의해 상하방향으로 승강될 수 있도록 가이드되는 것이 보다 바람직하다. 상기 가이드부(70)는 연결부(45)에 고정되고 가압부(50)의 탄성력을 받는 리프트핀(30)의 적어도 일부분이 삽입 가능토록 홀(70A)이 형성되어 기판지지대(10)에 승강 가능토록 설치될 수 있다.
또한 상기 리프트핀(30)의 흔들림을 보다 확실하게 방지하기 위해, 기판지지대(10)와 가이드부(70) 중 어느 한쪽에서 나머지 한쪽을 향해 돌기처럼 돌출 형성되어, 상기 가이드부(70)의 유동을 방지하는 다수 개의 유동방지부(14)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 유동방지부(14)는 본 실시 예와 같이 상기 기판지지대(10)에 돌출 형성될 수 있다.
한편, 이외 실시 예로써 상기 유동방지부(14)는 상기 가이드부(70)에 돌출 형성될 수 있다. 또는 상기 가이드부(70)가 없는 경우, 상기 유동방지부(14)는 상기 리프트핀(30)과 상기 기판지지대(10) 중 어느 한쪽에서 나머지 한쪽을 향해 돌출 형성될 수 있다.
한편, 상기 리프트핀(30)에 의해 기판(2)에 주름(X1)이 형성되는 등 기판(2)의 안착상태가 불량하거나, 기판(2)의 파손(X2) 등 기판(2)이 불량인 상태에서 그대로 진공처리공정이 실시되면 기판(2)의 불량률이 증가하여 비용 손실이 커질 수 있다.
따라서, 상기 기판(2)의 불량률 감소를 위해, 리프트장치는 기판(2)이 기판지지대(10)에 안착되면, 가압부(50)에 의한 리프트핀(30)의 가압상태에 따라서 기판(2)의 정상여부를 검출하는 검출부(60)를 더 포함할 수 있다.
상기 검출부(60)는 리프트핀(30)의 가압상태를 검출하기 위해 마이크로스위치(micro switch)로 구현될 수 있다. 즉, 상기 기판(2)의 상태 및 기판(2)의 안착상태 검출시 마이크로스위치가 리프트핀(30) 또는 가압부(50)에 의해 스위칭되었는지 여부에 따라 검출할 수 있다.
또한 상기 검출부(60)는 상기 리프트핀(30)의 가압상태를 검출하기 위해 압력센서로 구현될 수 있다. 즉, 상기 기판(2)의 상태 및 기판(2)의 안착상태 검출시 압력센서가 리프트핀(30) 또는 가압부(50)에 의해 압력을 받았는지 또는 압력센서에 가해진 압력 정도에 따라 검출할 수 있다.
또한 상기 검출부(60)는 리프트핀(30)의 가압상태를 검출하기 위해 전류의 변화량에 따라 센싱하는 홀센서, 적외선 센서, 초음파센서 등의 센서로 구현될 수 있다.
이외에도 상기 검출부(60)는 리프트핀(30)의 가압상태를 검출할 수 있다면 어떠한 방법으로든 구현될 수 있음은 물론이다.
한편, 상기 리프트장치는 진공챔버(4)의 저면과 기판지지대(10) 사이에 설치된 플렌지(12)를 관통하도록 설치될 수 있다.
이하 상기 리프트장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판(2)이 기판지지대(10)에 안착되어 진공처리될 때에는, 리프트핀(30)은 하강된 상태로 대기한다.
이때 상기 리프트핀(30)의 접촉부(34)는 기판(2)과 접촉된 상태에 있을 때에는 가압부(50)에 탄성력에 의하여 기판(2)을 가압하여 진공처리에 영향을 줄 수 있는 바 기판(2)의 저면과 일정 거리를 유지하는 것이 바람직하다.
상기 기판(2)의 진공처리가 완료되면, 기판(2)의 반출을 위해 도 3에 도시된 바와 같이 구동부(40)에 의해 리프트핀(30)이 상승하면서 기판(2)을 기판지지대(10)로부터 들어올린다.
한편 상기 리프트핀(30)의 접촉부(34)는 기판(2)의 저면에 접촉되는데, 이때 상기 리프트핀(30)의 접촉부(34)에 의하여 가해지는 충격력은 가압부(50)의 탄성력에 의하여 완충됨으로써 기판(2)에 가해지는 충격력을 완화시킴으로서 기판(2)의 파손을 방지할 수 있게 된다.
한편 상기 기판지지대(10)로부터 상승되어 이격된 기판(2)은 반송로봇 등에 의해 게이트(4B)를 통하여 진공챔버(4) 밖으로 반출된다.
한편, 진공처리될 새로운 기판(2)이 진공챔버(4)에 인입되면, 도 3에 도시된 바와 같이 리프트핀(30)이 상승되어 인입된 기판(2)을 지지하게 된다.
이때에도 상기 리프트핀(30)의 접촉부(34)는 기판(2)의 저면에 접촉되는데, 리프트핀(30)의 접촉부(34)에 의하여 가해지는 충격력은 가압부(50)의 탄성력에 의하여 완충됨으로써 기판(2)에 가해지는 충격력을 완화시킴으로서 기판(2)의 파손을 방지할 수 있게 된다.
상기 인입된 기판(2)이 리프트핀(30)에 의해 지지되고 나면, 구동부(40)에 의해 리프트핀(30)은 하강한다.
이때 상기 리프트핀(30)을 지지하는 검출부(50)는 기판(2)의 상태 및 기판(2)의 안착상태 검출을 위해, 도 2에 도시된 바와 같이 대기위치까지 바로 하강되지 않고, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 검출위치까지만 하강하도록 제어도니다.
여기서 대기위치는 기판(2)을 지지하는 리프트핀(30)의 접촉부(34)의 끝단이 기판(2)이 없는 상태에서 기판지지대(10)에 정상적으로 안착된 기판(2)의 저면보다 낮게 하강될 때의 가압부(50)의 위치로 정의되며, 검출위치는 기판(2)이 기판지지대(10)에 정상적으로 안착된 상태에서 기판(2)의 저면을 가압부(50)가 가압하도록 하는 가압부(50)의 위치로서, 리프트핀(30)의 가압상태에 따라서 기판(2)의 상태 및 기판(2)의 안착상태를 검출할 수 있는 위치로 정의된다.
상기 검출부(50)의 검출결과, 기판(2)의 상태 및 기판(2)의 안착상태가 정상이면, 기판(2)의 진공처리를 위해 리프트핀(30)은 대기위치까지 더 하강하여 대기하는 것이 바람직하다.
반면, 상기 검출부(50)의 검출결과, 기판(2)의 상태가 불량인 것으로 검출되면, 리프트핀(30)은 기판(2)이 반출될 수 있도록 도 3에 도시된 바와 같이 다시 승강하는 것이 바람직하다.
또는 상기 검출부(50)의 검출결과, 기판(2)의 상태는 정상이나 기판(2)의 안착상태가 불량인 것으로 검출되면, 상기 리프트핀(30)은 기판(2)이 기판지지대(10)에 재안착될 수 있도록, 도 3에 도시된 바와 같이 상승하였다가 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 검출위치까지 하강하는 것이 바람직하다.
물론, 상기 기판(2)은 상기 기판지지대(10)에 재안착되면, 검출부(60)에 의해 재검출되는 것이 바람직하다.
상기 검출부(60)에 의한 검출과정을 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.
상술한 바와 같이 리프트핀(30)이 검출위치까지 하강했을 때, 도 4에 도시된 바와 같이 기판(2)의 상태 및 기판(2)의 안착상태가 정상이면, 리프트핀(30)이 가압부(50)에 의해 기판(2)을 향해 정상 수준으로 가압됨으로써, 검출부(60)에 의해 기판(2)의 상태 및 기판(2)의 안착상태가 정상인 것으로 검출된다.
반면, 상기 리프트핀(30)이 검출위치까지 하강했을 때, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 기판(2)의 상태(기판(2)의 파손 등) 및 기판(2)의 안착상태(주름의 발생 등)가 정상이 아니면, 리프트핀(30)이 가압부(50)에 의해 기판(2)을 향해 비 정상적으로 가압됨으로써, 검출부(60)에 의해 상기 기판(2)의 상태 및 상기 기판(2)의 안착상태가 비정상인 것으로 검출된다.
상기 기판(2)의 비정상적인 검출을 좀 더 세분하면, 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(2)에 주름(X1)이 형성되는 등 기판(2)의 안착상태가 불량하면, 가압부(50)의 탄성력에 의하여 리프트핀(30)이 기판지지대(10) 상측으로 돌출됨으로써 가압되지 않거나 정상 수준보다 더 약하게 가압되고, 이러한 가압상태가 검출부(60)에 의해 검출된다.
또는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 기판(2)이 파손(X2)되는 등 기판(2)의 상태가 불량하면, 상기 리프트핀(30)이 기판지지대(10)의 상측으로 많이 돌출됨으로써 리프트핀(30)이 가압부(50)에 의해 가압되지 않고, 이러한 가압상태가 상기 검출부(60)에 의해 검출된다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 진공처리장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공처리장치의 리프트장치에 의해 기판이 안착된 상태를 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2와 대응되는 도면으로서, 기판 분리 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 도 2와 대응되는 도면으로서, 기판의 검출시 기판의 상태 및 기판의 안착상태가 정상인 경우를 도시한 도면이다.
도 5는 도 2와 대응되는 도면으로서, 기판의 검출시 기판의 안착상태가 불량한 경우를 도시한 도면이다.
도 6은 도 2와 대응되는 도면으로서, 기판의 검출시 기판의 상태가 불량한 경우를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 진공처리장치의 리프트장치를 도시한 평면도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
2; 기판 4; 진공챔버
10; 기판지지대 14; 유동방지부
20; 리프트장치 30; 리프트핀
40; 구동부 45; 연결부
50; 가압부 60; 검출부
70; 가이드부

Claims (16)

  1. 기판지지대에 승강 가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과; 상기 다수개의 리프트핀들을 승강시키는 구동부를 포함하며,
    상기 다수개의 리프트핀들 중 적어도 일부와 상기 구동부 사이에는 상기 리프트핀들 중 적어도 일부에 탄성력을 가하는 가압부가 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동부와 상기 리프트핀을 연결하는 연결부를 더 포함하고;
    상기 가압부는 상기 리프트핀과 상기 연결부 사이 또는 상기 연결부와 상기 구동부 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 가압부는 코일 스프링 또는 판 스프링인 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 가압부는
    상기 기판지지대의 가장자리에 설치된 리프트핀들 중 전부 또는 일부, 또는 상기 기판지지대의 모서리에 설치된 리프트핀들 중 전부 또는 일부의 리프트핀들에 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 기판지지대에 안착되면, 상기 가압부의 가압상태에 따라서 상기 기판의 상태 및 상기 기판의 안착상태의 정상여부를 검출하는 검출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 검출부는 상기 가압부의 가압상태를 검출하기 위해 마이크로스위치 또는 압력센서 또는 비접촉센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 가압부의 탄성력을 받는 리프트핀의 적어도 일부분이 삽입되는 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 가이드부와 상기 기판지지대 중 어느 한쪽에서 나머지 한쪽을 향해 돌출 형성되어, 상기 가이드부의 유동을 방지하는 다수 개의 유동방지부를 더 포함하 는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  9. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 7 및 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 다수개의 리프트핀들 모두를 상하로 승강구동하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  10. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 7 및 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 구동부는 복수개로 구성되며, 상기 구동부들은 각각 상기 리프트핀들 중 적어도 하나를 상하로 승강구동하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치.
  11. 청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 7 및 청구항 8 중 어느 하나의 항에 따른 리프트장치를 포함하는 진공처리장치.
  12. 청구항 5에 따른 리프트장치를 포함하는 진공처리장치.
  13. 청구항 5의 진공처리장치의 리프트장치 제어방법으로서,
    기판을 지지하는 상기 리프트핀의 접촉부의 끝단이 기판이 없는 상태에서 상 기 기판지지대에 정상적으로 안착된 기판의 저면보다 낮게 하강될 때의 상기 가압부의 위치를 대기위치라 하고,
    기판이 상기 기판지지대에 정상적으로 안착된 상태에서 상기 기판의 저면을 상기 가압부가 가압하도록 하는 상기 가압부의 위치를 검출위치라 할 때,
    기판이 상기 리프트핀들에 의하여 지지된 후, 상기 리프트장치의 상기 가압부들이 상기 검출위치까지 하강하는 하강단계와;
    상기 가압부의 가압상태에 따라서 상기 검출부에 의하여 상기 기판의 상태 및 상기 기판의 안착상태의 정상여부를 검출하는 검출단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치 제어방법.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 검출단계에서, 상기 검출부의 검출 결과, 상기 기판의 안착상태가 불량인 것으로 검출되면, 상기 리프트핀을 상승시켜 상기 기판을 상기 기판지지대에 다시 상승시킨 후에 상기 하강단계를 다수 수행하는 재구동단계를 포함하는 것을 특징으로 진공처리장치의 리프트장치 제어방법.
  15. 청구항 13에 있어서,
    상기 검출단계에서, 상기 검출부의 검출 결과, 상기 기판의 상태가 불량인 것으로 검출되면, 상기 기판이 반송될 수 있도록 상기 리프트핀을 상승시키는 반송단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치 제어방법.
  16. 청구항 13 또는 청구항 14에 있어서,
    상기 검출단계에서, 상기 검출부에 의한 검출결과, 정상이면, 상기 가압부를 상기 대기위치까지 더 하강하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 리프트장치 제어방법.
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