KR20090107431A

KR20090107431A - 평면 펄스 모터, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법

Info

Publication number: KR20090107431A
Application number: KR1020090029908A
Authority: KR
Inventors: 히데오 다나까
Original assignee: 캐논 가부시끼가이샤
Priority date: 2008-04-08
Filing date: 2009-04-07
Publication date: 2009-10-13

Abstract

평면 펄스 모터는 가동자 및 고정자를 포함하며, 상기 가동자는 자성체를 포함하고 상기 고정자에 대향하는 면에 복수의 볼록부를 가지며, 상기 고정자는 상기 가동자를 구동하기 위한 복수의 자기장 발생기를 포함하며, 각각의 자기장 발생기는 복수의 빗살을 갖는 요크와, 상기 요크를 여자하는 코일을 가지며, 상기 평면 펄스 모터는 상기 복수의 자기장 발생기 중，영역들이 상기 가동자의 구동 방향을 따르는 상기 가동자의 중심선을 포함하지 않고 상기 가동자에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하지 않는, 자기장 발생기들로부터 선택된 자기장 발생기들을 동작시킴으로써 상기 가동자의 회전을 제어하는 제어부를 포함한다.

가동자, 고정자, 평면 펄스 모터, 자기장 발생기, 노광 장치

Description

평면 펄스 모터, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법{PLANAR PULSE MOTOR, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD}

본 발명은, 평면 펄스 모터, 평면 펄스 모터를 포함하는 노광 장치, 및 노광 장치를 사용하는 디바이스 제조 방법에 관한 것이다．

평면 펄스 모터는 가동자(movable element)의 병진 방향(translation direction)에서의 위치를 규제하기 위한 가이드를 요구하지 않는 특징을 갖는다. 이러한 이유 때문에, 평면 펄스 모터는, 예를 들어, 원판의 패턴을 기판에 전사하는 노광 장치에서의 기판 위치 결정 기구를 단순화시키는데 유용하다.

일본 특허공개공보 제6-121520호는 표면에 투영 빗살(teeth)을 갖는 평판 자성체로 이루어진 가동자 및 5상의 전자석들로 이루어진 고정자(stator)를 포함하는 표면 펄스 모터를 개시하고 있다. 일본 특허공개공보 제6-121520호에 기술된 표면 펄스 모터에서, 가동자는 코일을 포함하지 않으므로, 경량화가 가능하다.

일반적으로, 노광 장치는 X 방향, Y 방향, Z 방향 및 X축, Y축, Z축에 대한 회전 방향들의 총 6개의 축 방향을 따라 기판을 제어할 필요가 있다. 평면 펄스 모터에서는, 가동자를 병진시킬 때 모멘트가 인가되어 가동자가 회전하면, 가동자 를 제어할 수 없다. 일본 특허공개공보 제6-121520호는 가동자의 회전 제어의 세부사항들을 개시하지도 않고 시사하지도 않는다.

본 발명은 평면 펄스 모터에서의 가동자의 회전 제어에 유용한 기술을 제공한다.

본 발명의 양태들 중 하나는, 가동자 및 고정자를 포함하고, 상기 가동자는 자성체를 포함하고 상기 고정자에 대향하는 면에 복수의 볼록부(convex portion)를 가지며, 상기 고정자는 상기 가동자를 구동하기 위한 복수의 자기장 발생기를 포함하며, 각각의 자기장 발생기는 복수의 빗살을 갖는 요크(yoke)와, 상기 요크를 여자하는(excite) 코일을 가지며, 상기 평면 펄스 모터는 상기 복수의 자기장 발생기 중，영역들이 상기 가동자의 구동 방향을 따르는 상기 가동자의 중심선을 포함하지 않고 상기 가동자에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하지 않는, 자기장 발생기들로부터 선택된 자기장 발생기들을 동작시킴으로써 상기 가동자의 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 평면 펄스 모터를 제공한다.

본 발명의 추가의 특징들은 첨부된 도면들을 참조하는 이하의 예시적인 실시예들의 설명을 통해 명확해질 것이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다.

[제1 실시예]

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 1축 펄스 모터(리니어 펄스 모터)의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다. 제1 실시예에 따른 1축 펄스 모터는 가동자(4)와 고정자(12)를 포함한다. 가동자(4)의 그 구동 방향에서의 치수는, 일반적으로 고정자(12)의 구동 방향에서의 치수보다 작다.

가동자(4)는 자성체를 포함하며, 고정자(12)에 대향하는 면 위에, 복수의 볼록부(21)의 규칙적인 배열을 갖는다. 복수의 볼록부(21)는 적어도 가동자(4)의 구동 방향에 주기성을 갖도록 배열되어 있다. 고정자(12)는 복수의 자기장 발생기(6)의 배열을 포함하고, 정반(surface plate)으로서 구성될 수 있다. 각각의 자기장 발생기(6)는 요크(9) 및 그 요크(9)를 여자하는 코일들(8)을 포함한다. 복수의 코일(8)은 복수의 구동 회로(13)에 의해 독립적으로 구동된다. 각각의 요크(9)는 자성체를 포함하며, 가동자(4)에 대향하는 면 위에, 복수의 빗살(10)의 규칙적인 배열을 갖는다. 복수의 빗살(10)은 적어도 가동자(4)의 구동 방향에 주기성을 갖도록 배열되어 있다. 코일들(8)에 의한 요크(9)의 여자(excitation)는 고정자(12)의 빗살(10)과 가동자(4)의 볼록부들(21)을 통하는 자기 회로를 형성한다. 이 동작에 의해, 가동자(4)에 추진력이 작용하여 가동자(4)가 고정자(12)에 대하여 상대적으로 이동한다.

가동자(4)는 스테이지 또는 그 일부분으로서 구성될 수 있다. 가동자(4)는, 예를 들어, 미동 스테이지(2) 및 그 미동 스테이지(2)를 구동하는 구동 기구(3)를 탑재할 수 있다. 본 실시예에 따른 1축 펄스 모터를 노광 장치에 탑재하는 경우, 1축 펄스 모터는 기판을 위치 결정하는 기판 위치 결정 기구 또는 원판을 위치 결 정하는 원판 위치 결정 기구의 일부분으로서 구성될 수 있다. 기판 위치 결정 기구에서, 미동 스테이지(2)는, 기판(1)을 유지하는 기판 척(substrate chuck)을 탑재할 수 있다. 가동자(4)는 냉각부(11)에 의해 냉각될 수 있다. 미동 스테이지(2)를 구동하는 구동 기구(3), 냉각부(11) 등은 플렉서블 인터페이스들(flexible interfaces)(예를 들어, 플렉서블 케이블 및 플렉서블 튜브)(7)을 통해, 예를 들어, 전력 및 냉매를 공급받을 수 있다.

가동자(4)는 그것을 이동시키기 위한 여자 코일을 탑재하고 있지 않으므로, 여자 코일을 구동하는 경우 열은 발생하지 않는다. 그러나, 가동자(4)에서 발생하는 와전류(eddy current) 및 자기 히스테리시스 손실(magnetic hysteresis loss)로 인해 발생되는 열을 회수하기 위해, 가동자(4)는 바람직하게는 냉각부(11)를 포함한다. 발열량이 허용범위(tolerance) 내인 경우, 냉각부(11)는 필요하지 않다는 것에 유의한다.

레이저 간섭계 등의 계측기(5)는 가동자(4)의 위치 및 미동 스테이지(2)의 위치를 계측한다. 제어부(14)는 계측기(5)에 의해 취득된 계측 결과에 기초하여 복수의 구동 회로(13)를 제어한다. 제어부(14)는, 계측기(5)에 의해 취득된 계측 결과에 기초하여 취득된 가동자(4)의 위치와 가동자(4)의 위치 결정 목표 위치에 기초하여, 복수의 구동 회로(13)를 동작시킨다. 이 경우, 모든 자기장 발생기들(6)의 코일들(8)에 항상 전류를 공급할 수도 있다.

그럼에도 불구하고, 전력 소모를 감소시키고 발열을 억제하기 위해, 바람직하게는, 가동자(4)가 자기장 발생기(6) 위로 이동하기 직전에, 가동자(4)가 배치되 지 않는 자기장 발생기(6)의 코일들(8)에 전류를 공급한다. 자기장 발생기(6) 위에 가동자(4)를 배치할 때에 주어진 자기장 발생기(6)의 코일들(8)에 전류를 공급하면, 가동자(4)의 제어에 대하여 혼란이 발생할 수 있다. 코일들(8)의 발열량이 허용범위를 초과하면, 코일(8)을 냉각하기 위한 냉각부가 제공될 수 있다.

[제2 실시예]

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면 펄스 모터의 구성을 개략적으로 도시하는 도면들이다. 이 실시예에서도, 가동자(4)의 그 구동 방향에서의 치수는 일반적으로 고정자(12)의 구동 방향에서의 치수보다 작다.

본 실시예에서, 계측기(5)는 X 방향(제1 방향) 및 Y 방향(제2 방향)에서의 가동자(4)의 위치 및 Z축에 대한 가동자(4)의 회전 각속도(ωZ)를 계측한다. X 방향, Y 방향 및 Z 방향은 서로 직교하며, X-Y-Z 좌표계에 기초함에 유의한다. 제1 실시예에서의 제어부에 대응하는 제어부(14)는 계측기(5)에 의해 취득된 계측 결과에 기초하여 2차원 평면 내에서 가동자(4)를 구동한다.

본 실시예에 따른 평면 펄스 모터에서, 고정자(12)는 각각이 X축 방향으로 구동하는데 사용되며 빗살(10a)을 갖는 요크(9a)를 포함하는 제1 자기장 발생기(6a) 및 각각이 Y축 방향으로 구동하는데 사용되며 빗살(10b)을 갖는 요크(9b)를 포함하는 제2 자기장 발생기(6b)를 포함한다. 제1 및 제2 자기장 발생기들(6a, 6b)은 제1 실시예에 따른 자기장 발생기(6)의 구성과 유사한 구성들을 가질 수 있다. 제1 자기장 발생기(6a)의 빗살(10a)은 적어도 X축 방향으로 주기성을 갖고 배열되고, 제2 자기장 발생기(6b)의 빗살(10b)은 적어도 Y축 방향으로 주기성을 갖고 배열된다는 것에 유의한다.

본 실시예에서, 가동자(4)의 복수의 볼록부(21)는 적어도 X축 방향 및 Y축 방향으로 주기성을 갖고 배치되어 있다. 이것은 가동자(4)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 구동시키기 위해서이다. 제1 및 제2 자기장 발생기들(6a, 6b)은, 도 2a에 도시된 바와 같이, 바람직하게는 체커보드 패턴(checkerboard pattern)으로 배열되어 있다. 즉, 제1 및 제2 자기장 발생기들 중 하나를 제1 색으로 나타내어지는 부분에 배치하고, 다른 하나를 제2 색으로 나타내어지는 부분에 배치하는 것이 바람직하다.

도 3은 가동자(4)의 복수의 볼록부(21)의 배열의 예를 도시하는 도면이다. 복수의 볼록부(21)는 복수의 행 및 복수의 열의 행렬로 배열되어 있다. 볼록부들(21)을 서로 분리시키는 영역에는, 가동자(4)가 고정자(12)에 대향하는 평면을 갖도록 비자성체(16)가 채워진다. 채워지는 비자성체의 바람직한 예는 수지(resin)이다.

가동자(4)는 에어 베어링(air bearing)을 구성하는 노즐(17)을 포함한다. 가동자(4)는, 노즐(17)로부터 가동자(4)에 고압 가스를 분사시킴으로써, 고정자(12)의 가이드 면(가동자(4)에 대향하는 면) 위로 부상한다. 가동자(4)의 바람직한 부상량은 일반적으로 약 5㎛ 내지 20㎛이다. 고정자(12)에 대향하는 가동자(4)의 면 및 가동자(4)에 대향하는 고정자(12)의 면(가이드 면)은 바람직하게는, 예를 들어, 1㎛ 내지 2㎛ 정도의 평면도(flatness)를 갖는다.

도 4는 제1 및 제2 자기장 발생기들(6a, 6b)의 배열의 다른 예를 도시하는 도면이다. 이 배열예에서도, 제1 및 제2 자기장 발생기들(6a, 6b)은 체커보드 패턴으로 배열되어 있다. 도 4에 도시된 배열예에서의 가동자(4)에 대한 각각의 자기장 발생기의 크기는 도 2a에 도시된 배열예에서의 크기보다 작다.

도 6은 제1 및 제2 자기장 발생기들(6a, 6b)을 제어함으로써 가동자(4)의 위치 및 회전을 제어하는 제어계의 구성의 예를 도시하는 도면이다. 도 6에 예시된 제어계(100)는 제1 실시예에 따른 구동 회로들(13)에 대응하는 X 방향 구동 회로(13X) 및 Y 방향 구동 회로(13Y)를 포함한다. X 방향 구동 회로(13X)는 X축 방향으로 구동하기 위한 제1 자기장 발생기들(6a)의 코일들(8)로서 기능하는 X 코일 1 내지 N(8X-1 내지 8X-N)에 선택적으로 전류를 공급한다. Y 방향 구동 회로(13Y)는 Y축 방향으로 구동하기 위한 제2 자기장 발생기들(6b)의 코일들(8)로서 기능하는 Y 코일 1 내지 N(8Y-1 내지 8Y-N)에 선택적으로 전류를 공급한다.

X 방향 구동 회로(13X)는, 예를 들어, X 코일 드라이버(31), 및 제어부(14)로부터의 명령에 따라 X 코일 드라이버(31)로부터 X 코일들(8X-1 내지 8X-N)에 일대일 대응으로 전류를 공급하도록 기능하는 X 스위치들(32-1 내지 32-N)을 포함한다. Y 방향 구동 회로(13Y)는, 예를 들어, Y 코일 드라이버(41), 및 제어부(14)로부터의 명령에 따라 Y 코일 드라이버(41)로부터 Y 코일들(8Y-1 내지 8Y-N)에 일대일 대응으로 전류를 공급하도록 기능하는 Y 스위치들(42-1 내지 42-N)을 포함한다.

다음으로, 도 5를 참조하여 제어계(100)에 의한 가동자(4)의 제어를 상세하게 설명한다. 여기에서는, 평면 펄스 모터가 X 방향으로 가동자(4)를 구동하는 경우 Z축에 대한 가동자(4)의 회전(요잉(yawing))을 제어하는 경우를 일례로서 설명 한다. Z축에 대한 평면 펄스 모터의 회전은, 예를 들어, 가이드에 의해 일반적으로 규제되지 않기 때문에, 평면 펄스 모터는 그 회전의 각속도를 목표값으로 제어하는 것을 필요로 한다.

도 5를 참조하면, C는 가동자(4)의 중심을 통과하는 중심선을 나타낸다. 중심선 C는 가동자(4)의 구동 방향(예를 들어, X 방향 및 Y 방향)을 따르고, 가동자(4)의 무게 중심을 통과하도록 설계될 수 있다는 것에 유의한다. 제어부(14)에 의한 가동자(4)의 Z축에 대한 회전(요잉) 제어에서, 영역들이 중심선 C의 양 측면들을 포함하고 라벨 "B"로 표시되는 자기장 발생기들의 코일들은 통전되지 않는다. 영역들이 가동자(4)에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하고 라벨 "D"로 표시되는 자기장 발생기들의 코일들도 통전되지 않는다. 다시 말하면, 제어부(14)에 의한 가동자(4)의 Z축에 대한 회전(요잉) 제어에서, 영역들이 중심선 C를 포함하지 않고 가동자(4)에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하지 않는 자기장 발생기들로부터, 통전할 자기장 발생기를 선택한다.

결과적으로, X축 방향으로 가동자(4)를 구동하는 경우, 제어부(14)는 라벨 "A" 및 라벨 "C"로 표시된 자기장 발생기들의 코일들을 통전하도록 제어를 수행한다. 이러한 제어를 달성하기 위해, 계측기(5)에 의해 취득된 계측 결과에 기초하여 가동자(4)와 각각의 자기장 발생기 사이의 위치 관계를 실시간으로 연산한다. 다음으로, 제어부(14)는, 영역들이 가동자(4)의 구동 방향에 따른 가동자(4)의 중심선을 포함하지 않고 가동자(4)에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하지 않으며 그 구동 방향으로 가동자(4)를 구동할 수 있는, 자기장 발생기들의 코일들을 통 전한다. 영역들이 가동자(4)의 구동 방향을 따른 가동자(4)의 중심선을 포함하는 자기장 발생기들이 통전되면, 가동자(4)에 모멘트가 발생하여, 모멘트 제어를 위한 연산이 복잡해 진다. 또한, 영역들이 가동자(4)에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하는 자기장 발생기들이 통전되면, 가동자(4)에 모멘트가 발생한다. 영역들이 가동자(4)에 대향하는 영역에 완전히 벗어나 있는 자기장 발생기들의 통전은 단지 전력 소모 및 발열을 증가시킬 뿐이며, 가동자(4)의 구동에는 전혀 기여하지 않는다．

도 5를 참조하면, Y는 가동자(4)의 중심의 Y 좌표를 나타내며, a, b, c 및 d는 라벨 "A", 라벨 "B", 라벨 "C" 및 라벨 "D"로 표시된 자기장 발생기들의 Y 좌표들을 나타낸다. 가동자(4)의 무게 중심 주위로 발생될 모멘트를 M이라고 한다. 라벨 "A"로 표시된 자기장 발생기들에 의해 발생되는 추진력 중, 모멘트를 발생시키는데 필요한 힘을 Fa라고 한다. 라벨 "C"로 표시된 자기장 발생기들에 의해 발생된 추진력 중 모멘트를 발생시키는데 필요한 힘을 Fc라고 한다. 시계 방향의 모멘트를 포지티프 모멘트로 가정하면, X축 방향으로 발생된 힘 Fa 및 Fc는 포지티브 힘들이며,

이 성립한다. 또한, 모멘트를 발생시키기 위한 추진력들은, 병진 방향에 대하여 전체적으로 균형을 맞출 필요가 있으므로,

이 성립한다. 따라서, 제어부(14)는 수학식 1 및 수학식 2에 기초하여 2개의 힘들 Fa 및 Fc를 연산할 수 있다.

힘 Fa 및 Fc는 모멘트 제어만을 필요로 한다. 따라서, 라벨 "A" 또는 라벨 "C"로 표시된 자기장 발생기들에 의해 발생되어야 할 추진력은, 병진 방향에서의 가동자(4)의 구동력을 힘 Fa 또는 Fc에 가산함으로써 취득된 값을 갖는다.

라벨 "B"로 표시된 자기장 발생기의, Y 방향에서의 치수의 반을 L_coil이라고 하면, 이 자기장 발생기는,

를 만족한다. 또한, 라벨 "D"로 표시된 자기장 발생기의, 고정자(12)의 Y축 방향에서의 치수의 반을 L_stator라고 하면,

를 만족한다. 따라서, 제어부(14)는 모멘트 제어를 위한 자기장 발생기들로서,

를 만족하는 자기장 발생기들을 선택하며, 여기에서 Y_coil은 각각의 자기장 발생기의 Y 좌표이다.

이상, 가동자(4)를 X축 방향으로 구동하는 경우를 예시하였지만, 경사 방향으로 가동자(4)를 구동하는 경우에도, X 방향 구동을 위해 자기장 발생기를 사용하여 모멘트 제어를 수행할 수 있다. 이 경우, "Y"로 표시된 Y 좌표는 가동자를 구동하는 경우 시간에 따라 변화하는 변수이다. 또한, 여기에서는, 가동자의 모멘트 제어를 위해 X축 방향으로 구동하기 위한 자기장 발생기들을 사용하였지만, Y축 방향으로 구동하기 위한 자기장 발생기들을 사용하는 경우에도, 가동자의 동일한 모멘트 방향 제어를 수행할 수 있다. 또한, X축 방향 및 Y축 방향으로 구동하기 위한 자기장 발생기 모두를 사용할 수 있다.

[제3 실시예]

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 노광 장치의 개략적인 구성을 도시하는 도면이다. 본 실시예에 따른 노광 장치는, 원판(레티클 또는 마스크로도 지칭됨)(120)의 패턴을 투영 광학계(140)에 의해 기판(예를 들어, 웨이퍼 또는 글래스 플레이트)(1)에 투영하여 기판(1)을 노광하도록 구성되어 있다. 기판(1)은 감광제(photosensitive agent)로 도포되어 있고, 이 노광에 의해 원판(120)의 패턴이 기판(1)에 전사된다. 원판(120)은 원판 스테이지(130)에 의해 유지되며, 조명 광학계(110)에 의해 조명된다. 기판(1)은 위치 결정 기구(150)에 의해 위치 결정된 다.

위치 결정 기구(150)는, 예를 들어, 제2 실시예에 따라 구성될 수 있다. 보다 구체적으로는, 위치 결정 기구(150)는 제2 실시예에 따른 평면 펄스 모터를 포함하고, 기판(1)은 평면 펄스 모터의 가동자(4) 위에 배치된 기판 척에 의해 유지될 수 있다.

[디바이스 제조 방법]

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디바이스 제조 방법은, 예를 들어, 반도체 디바이스 및 액정 디바이스를 제조하는데 적절하다. 방법은, 노광 장치를 이용하여 기판에 도포된 감광제에 원판의 패턴을 전사하는 단계 및 감광제를 현상하는 단계를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들을 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예들에 제한되는 것이 아님을 이해해야 한다. 이하의 청구범위의 범주는 그러한 모든 변경들과 등가의 구조물 및 기능들을 포함하도록 최광의로 해석되어야 한다.

도 1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 1축 펄스 모터(리니어 펄스 모터)의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.

도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 1축 펄스 모터(리니어 펄스 모터)의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.

도 2a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면 펄스 모터의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.

도 2b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면 펄스 모터의 구성을 개략적으로 도시하는 도면이다.

도 3은 가동자에서의 복수의 볼록부의 배열의 예를 도시하는 도면이다.

도 4는 자기장 발생기들의 배열의 다른 예를 도시하는 도면이다.

도 5는 제어계에 의한 가동자의 제어를 예시하기 위한 도면이다.

도 6은 자기장 발생기들을 제어함으로써 가동자의 위치 및 회전을 제어하는 제어계의 구성의 예를 도시하는 블록도이다.

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 노광 장치의 개략적인 구성을 도시하는 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 기판

2: 미동 스테이지

3: 구동 기구

4: 가동자

5: 계측기

6: 자기장 발생기

12: 고정자

Claims

가동자 및 고정자를 포함하는 평면 펄스 모터로서,

상기 가동자는 자성체를 포함하고 상기 고정자에 대향하는 면에 복수의 볼록부를 가지며,

상기 고정자는 상기 가동자를 구동하기 위한 복수의 자기장 발생기를 포함하며, 각각의 자기장 발생기는 복수의 빗살을 갖는 요크(yoke)와, 상기 요크를 여자하는(excite) 코일을 가지며,

상기 평면 펄스 모터는 상기 복수의 자기장 발생기 중，영역들이 상기 가동자의 구동 방향을 따르는 상기 가동자의 중심선을 포함하지 않고 상기 가동자에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하지 않는, 자기장 발생기들로부터 선택된 자기장 발생기들을 동작시킴으로써 상기 가동자의 회전을 제어하는 제어부

를 포함하는 평면 펄스 모터.
제1항에 있어서,

상기 제어부는, 상기 복수의 자기장 발생기 중，영역들이 상기 가동자의 구동 방향을 따르는 상기 가동자의 중심선을 포함하지 않고 상기 가동자에 대향하는 영역 이외의 부분들을 포함하지 않으며 상기 구동 방향으로 상기 가동자를 구동할 수 있는, 자기장 발생기들을 동작시킴으로써 상기 가동자의 회전을 제어하는 평면 펄스 모터.
제1항에 있어서,

상기 복수의 자기장 발생기는 제1 방향으로 상기 가동자를 구동하기 위한 복수의 제1 자기장 발생기와, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 상기 가동자를 구동하기 위한 복수의 제2 자기장 발생기를 포함하고,

상기 복수의 제1 자기장 발생기와 상기 복수의 제2 자기장 발생기는 체커보드 패턴(checkerboard pattern)으로 배열되어 있는 평면 펄스 모터.
제1항에 있어서,

상기 구동 방향에서의 상기 가동자의 치수는 상기 구동 방향에서의 상기 고정자의 치수보다 작은 평면 펄스 모터.
제4항에 있어서,

상기 복수의 자기장 발생기의 코일들 중 동작시킬 코일들을, 상기 가동자의 위치에 따라 선택하는 평면 펄스 모터.
제3항에 있어서,

상기 가동자는 상기 제1 방향을 따르며 상기 가동자의 무게 중심을 통과하는 중심선을 포함하는 평면 펄스 모터.
제3항에 있어서,

상기 가동자는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따르며 상기 가동자의 무게 중심을 통과하는 중심선들을 포함하는 평면 펄스 모터.
원판의 패턴을 기판에 전사하는 노광 장치로서,

상기 기판을 위치 결정하는 위치 결정 기구; 및

상기 원판의 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영 광학계

를 포함하고,

상기 위치 결정 기구는 제1항에 정의된 평면 펄스 모터를 포함하고, 상기 기판은 상기 평면 펄스 모터의 가동자 위에 배치된 기판 척(substrate chuck)에 의해 유지되는 노광 장치.
디바이스 제조 방법으로서,

감광제로 도포된 기판을 제8항에 정의된 노광 장치에 의해 노광하는 단계; 및

상기 감광제를 현상하는 단계

를 포함하는 디바이스 제조 방법.