KR20090045347A - Conductive contactor unit - Google Patents

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KR20090045347A
KR20090045347A KR1020097005468A KR20097005468A KR20090045347A KR 20090045347 A KR20090045347 A KR 20090045347A KR 1020097005468 A KR1020097005468 A KR 1020097005468A KR 20097005468 A KR20097005468 A KR 20097005468A KR 20090045347 A KR20090045347 A KR 20090045347A
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conductive contact
conductive
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KR1020097005468A
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유카 오오야시키
다카히로 모테기
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니혼 하츠쵸 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 유닛을 제공하는 것이다. 이 목적을 위하여, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부, 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부, 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하여 상기 길이방향에 평행한 변을 긴 변으로 하는 장방형상의 개구부가 설치된 제 2 접속부를 가지는 복수의 판 형상의 도전성 접촉자와, 도전성 접촉자 홀더에 고착되고, 상기 복수의 상기 도전성 접촉자에 각각 설치된 상기 개구부를 관통하는 막대형상부재를 구비하고, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 상기 개구부의 짧은 변의 길이와 대략 같고 상기 개구부의 짧은 변의 길이보다 짧은 길이를 가지는 2변으로서 상기 개구부의 짧은 변과 평행한 2변을 짧은 변으로 하는 장방형으로부터 아래쪽에 위치하는 짧은 변의 적어도 일부를 포함하는 영역을 제거한 형상을 이룬다.The present invention provides a conductive contact unit having excellent durability. For this purpose, the first contact portion in contact with the circuit structure for outputting the inspection signal, the elastic portion extendable in the longitudinal direction, and the tip in contact with the inspection object are positioned from the central axis in the width direction than the edge end in the width direction of the elastic portion. A plurality of second connection portions having a second contact portion protruding in a direction away from each other, the second connection portion provided with a rectangular opening which connects the elastic portion and the second contact portion, penetrates in the plate thickness direction and has a long side parallel to the longitudinal direction. And a rod-shaped member secured to a plate-shaped conductive contact and a conductive contact holder and penetrating through the openings provided in the plurality of conductive contacts, respectively, wherein a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member is Two sides having a length approximately equal to the length of the short side of the opening and shorter than the length of the short side of the opening; Form a shape removing a region including a short side of at least a portion which is located downward from the oblong to the two sides parallel with the short sides of the opening in the short side.

Description

도전성 접촉자 유닛{CONDUCTIVE CONTACTOR UNIT}Conductive Contact Unit {CONDUCTIVE CONTACTOR UNIT}

본 발명은, 액정패널이나 반도체 집적회로 등의 전자부품에서의 도통상태 검사나 동작 특성 검사를 행할 때에, 그 전자부품의 전극이나 단자에 접촉하여 전기신호의 송수신을 행하는 도전성 접촉자 유닛에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a conductive contact unit which conducts electrical signal transmission and reception by contacting an electrode or a terminal of an electronic component when conducting conduction state inspection or operation characteristic inspection in an electronic component such as a liquid crystal panel or a semiconductor integrated circuit.

종래, 반도체 집적회로 등의 검사대상의 전기 특성 검사에 관한 기술분야에서, 반도체 집적회로의 접속용 전극에 대응하여 복수의 도전성 접촉자를 설치하고, 도전성 접촉자를 접속용 전극과 물리적으로 접촉시킴으로써 전기적 도통을 확보하는 기능을 가지는 도전성 접촉자 유닛에 관한 기술이 알려져 있다. 도전성 접촉자 유닛은, 복수의 도전성 접촉자와, 그 복수의 도전성 접촉자를 유지하는 도전성 접촉자 홀더를 구비한다. 이와 같은 도전성 접촉자 유닛에서는, 검사대상인 반도체집적회로 등의 미세화 경향에 따른 접속용 전극의 배열간격의 협소화에 대응하기 위한 여러가지 기술이 제안되어 있다.Background Art Conventionally, in the technical field related to the inspection of electrical characteristics of inspection targets such as semiconductor integrated circuits, a plurality of conductive contacts are provided corresponding to the connecting electrodes of the semiconductor integrated circuit, and electrical conduction is performed by physically contacting the conductive contacts with the connecting electrodes. Description of the Related Art [0002] Techniques related to conductive contact units having a function of securing a structure are known. The conductive contact unit includes a plurality of conductive contacts and a conductive contact holder holding the plurality of conductive contacts. In such a conductive contact unit, various techniques have been proposed to cope with narrowing of the arrangement intervals of the connecting electrodes according to the miniaturization tendency of the semiconductor integrated circuit to be inspected.

예를 들면, 하기 특허문헌 1에서는, 검사대상과 접촉하는 접촉부와 그 접촉부에 대하여 탄발 가세하는 탄성부를 구비하고, 판형상을 이루는 도전성 접촉자에 관한 기술이 개시되어 있다. 이 종래 기술에서는, 복수의 도전성 접촉자를 좁은 간격으로 판 두께방향으로 나열하여 배치함으로써, 검사대상의 접속용 전극의 배열 간격의 협소화에 대응하는 것을 가능하게 하고 있다. For example, Patent Literature 1 below discloses a technique for a conductive contact having a contact portion in contact with an inspection object and an elastic portion that is elastically added to the contact portion, and forming a plate shape. In this prior art, a plurality of conductive contacts are arranged side by side in the plate thickness direction at narrow intervals, thereby making it possible to cope with narrowing of the arrangement intervals of the electrodes for connection to be inspected.

[특허문헌 1][Patent Document 1]

일본국 특개2001-343397호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-343397

그러나, 상기한 도전성 접촉자 유닛으로 검사를 반복한 경우, 도전성 접촉자마다의 하중 특성에 불균일이 생기는 경우가 있었다. 이 때문에, 안정된 검사를 실시할 수 없게 될 뿐만 아니라, 경우에 따라서는 도전성 접촉자가 파손될 염려가 있어, 내구성에 문제가 있었다. However, in the case where the inspection is repeated with the conductive contact unit described above, unevenness may occur in the load characteristics for each conductive contact. For this reason, not only a stable test | inspection cannot be performed, but a conductive contactor may be damaged in some cases, and there existed a problem in durability.

본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention is made | formed in view of the above, and an object of this invention is to provide the electroconductive contact unit excellent in durability.

상기한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 형태는, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 검사대상과의 사이의 신호의 송수신을 행하는 도전성 접촉자 유닛으로서, 판형상을 이루는 도전성재료에 의하여 형성되고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부, 검사대상과 접촉하고, 이 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부 및 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하여 상기 길이방향에 평행한 변을 긴 변으로 하는 장방형상(長方形狀)의 개구부가 설치된 제 2 접속부를 가지는 복수의 도전성 접촉자와, 상기 도전성 접촉자의 길이방향의 한쪽의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출하고 있는 측의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 복수의 제 1 가이드홈 및 상기 복수의 제 1 가이드홈과 각각 대향하여 위치하고, 대향하는 상기 제 1 가이드홈에 끼워 넣어진 상기 도전성 접촉자의 다른쪽 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 복수의 제 2 가이드홈을 가지는 도전성 접촉자 홀더와, 상기 도전성 접촉자 홀더에 고착되고, 상기 복수의 도전성 접촉자에 각각 설치된 상기 개구부를 관통하는 막대형상부재를 구비하고, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 상기 개구부의 짧은 변의 길이와 대략 같고 상기 개구부의 짧은 변의 길이보다 짧은 길이를 가지는 2변으로서 상기 개구부의 짧은 변과 평행한 2변을 짧은 변으로 하는 장방형으로부터 아래쪽에 위치하는 짧은 변의 적어도 일부를 포함하는 영역을 제거함으로써 얻어지는 형상을 이루는 것을 특징으로 한다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject and achieve the objective, one form of this invention is a conductive contact unit which transmits and receives a signal between the circuit structure which outputs a test signal, and an inspection object, and forms a plate-shaped electroconductor. A first contact portion formed of a material and in contact with a circuit structure for outputting an inspection signal, an elastic portion that is stretchable in a longitudinal direction, and an inspection object, the tip of which is in contact with the edge portion in the width direction of the elastic portion; A second contact portion protruding in a direction away from the central axis in the width direction of the elastic portion, a first connecting portion connecting the elastic portion and the first contact portion, and connecting the elastic portion and the second contact portion, and penetrating in the plate thickness direction A plurality of electric conduction which has a 2nd connection part provided with the rectangular opening part which makes the side parallel to the said longitudinal direction into a long side. A plurality of first guide grooves and the plurality of first guide grooves, each of which is held at the edge end portion of the side in which the second contact portion protrudes, are held in contact with the contactor as one edge end in the longitudinal direction of the conductive contact, respectively. A conductive contact holder having a plurality of second guide grooves positioned and holding the other edge end portion of the conductive contact fitted into the opposing first guide groove, and fixed to the conductive contact holder, A rod-shaped member penetrating each of the openings provided in the conductive contact, and a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member is approximately equal to the length of the short side of the opening and has a length shorter than the length of the short side of the opening. Rectangle having two sides as short sides and parallel to the short sides of the opening as two sides. It forms a shape obtained by removing the area | region containing at least one part of the short side located below from a mold.

또, 상기 발명에서, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은 사다리꼴 형상을 이루는 것으로 하여도 된다.In the above invention, the cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member may have a trapezoidal shape.

또, 상기 발명에서, 상기 사다리꼴 형상의 단면에서의 상부 바닥의 길이와 하부 바닥의 길이의 비는 2:1로 하여도 된다.In the above invention, the ratio of the length of the upper bottom to the length of the bottom bottom in the trapezoidal cross section may be 2: 1.

또, 상기 발명에서, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 2세트의 평행한 대변을 가지는 오각 형상을 이루는 것으로 하여도 된다.Moreover, in the said invention, the cross section perpendicular | vertical to the longitudinal direction of the said rod-shaped member may make a pentagon shape which has two sets of parallel sides.

또, 상기 발명에서, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은 직각삼각 형상을 이루는 것으로 하여도 된다. Further, in the above invention, the cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member may form a right triangle shape.

또, 상기 발명에서, 상기 제 2 접촉부의 선단은, 상기 도전성 접촉자 홀더의 바깥쪽 면으로서 안쪽에 상기 제 1 가이드홈이 형성된 부분의 바깥쪽 면보다 상기 바깥쪽 면의 법선방향으로 돌출하고 있는 것으로 하여도 된다. In the above invention, the tip of the second contact portion protrudes in the normal direction of the outer surface than the outer surface of the portion where the first guide groove is formed inside as the outer surface of the conductive contact holder. You may also

본 발명에 의하면, 판형상을 이루는 도전성 재료에 의하여 형성되고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부, 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축에서 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부, 및 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하여 상기 길이방향에 평행한 변을 긴 변으로 하는 장방형상의 개구부가 설치된 제 2 접속부를 가지는 복수의 도전성 접촉자와, 상기 복수의 도전성 접촉자를 유지하는 도전성 접촉자 홀더에 고착되고, 상기 복수의 상기 도전성 접촉자에 각각 설치된 상기 개구부를 관통하는 막대형상부재를 구비하고, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 상기 개구부의 짧은 변의 길이와 대략 같고 상기 개구부의 짧은 변의 길이보다 짧은 길이를 가지는 2변으로서 상기 개구부의 짧은 변과 평행한 2변을 짧은 변으로 하는 장방형으로부터, 아래쪽에 위치하는 짧은 변의 적어도 일부를 포함하는 영역을 제거하여 얻어지는 형상을 이룸으로써, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 유닛을 제공할 수 있다. According to the present invention, the first contact portion, which is formed of a plate-like conductive material and contacts a circuit structure for outputting an inspection signal, the elastic portion that is stretchable in the longitudinal direction, and the front end that contacts the inspection object has the width of the elastic portion. A second contact portion projecting away from the central axis in the width direction of the elastic portion than the edge end portion in the direction, a first connecting portion connecting the elastic portion and the first contact portion, and connecting the elastic portion and the second contact portion, And a plurality of conductive contacts having a second connecting portion provided with a rectangular opening having a long side that penetrates in the plate thickness direction and has a side parallel to the longitudinal direction, and is attached to a conductive contact holder holding the plurality of conductive contacts, A rod-shaped member penetrating the openings provided in the plurality of conductive contacts, respectively; The cross section perpendicular to the longitudinal direction of the large upper member is two sides having a length substantially equal to the length of the short side of the opening and shorter than the length of the short side of the opening. The conductive contact unit excellent in durability can be provided by forming the shape obtained by removing the area | region containing at least one part of the short side located below from a rectangle.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도,1 is a perspective view showing a configuration of a conductive contact unit according to an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 도,2 is a diagram showing a configuration of a conductive contact according to an embodiment of the present invention;

도 3은 도전성 접촉자 홀더의 상면부의 부분 확대 사시도,3 is a partially enlarged perspective view of an upper surface portion of a conductive contact holder;

도 4는 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자 유닛의 내부 구성을 나타내는 도,4 is a diagram showing an internal configuration of a conductive contact unit according to one embodiment of the present invention;

도 5는 막대형상부재의 단면형상을 나타내는 부분 확대도,5 is a partially enlarged view showing a cross-sectional shape of a rod-shaped member;

도 6은 막대형상부재의 다른 구성예(제 2 예)를 나타내는 단면도,6 is a sectional view showing another configuration example (second example) of the rod-shaped member;

도 7은 막대형상부재의 다른 구성예(제 3 예)를 나타내는 단면도,7 is a sectional view showing another configuration example (third example) of the rod-shaped member;

도 8은 막대형상부재의 다른 구성예(제 4 예)를 나타내는 단면도이다.8 is a cross-sectional view showing another configuration example (fourth example) of the rod-shaped member.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

1 : 도전성 접촉자 유닛 2 : 도전성 접촉자1: conductive contact unit 2: conductive contact

3 : 도전성 접촉자 홀더 3a : 상면부 3: conductive contact holder 3a: upper surface part

3b, 3c : 측면부 3d : 저면부 3b, 3c: side part 3d: bottom part

4, 5, 6, 7 : 막대형상부재 21 : 제 1 접촉부 4, 5, 6, 7: bar-shaped member 21: first contact portion

22 : 제 2 접촉부 23 : 탄성부 22: second contact portion 23: elastic portion

23a : 직선부 23b : 만곡부23a: straight portion 23b: curved portion

24 : 제 1 접속부 25 : 개구부24: first connecting portion 25: opening

26 : 제 2 접속부 31 : 유지부 26: second connection part 31: holding part

32 : 고착용 구멍부 31a : 제 1 가이드홈32: fixing hole 31a: first guide groove

31b : 제 2 가이드홈 100 : 회로기판31b: second guide groove 100: circuit board

101 : 고정부재 200 : 검사대상 101: fixing member 200: inspection target

P, Q : 선단 Δ1 : 오프셋량P, Q: Tip Δ 1 : Offset amount

δ1, h : 돌출량δ 1 , h: protrusion amount

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태(이후,「실시형태」라고 한다)를 설명한다. 또한, 도면은 모식적인 것으로, 각 부분의 두께와 폭과의 관계, 각각의 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 경우도 있는 것에 유의해야 하며, 도면 상호간에서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되는 경우가 있는 것은 물론이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the best form (henceforth "embodiment") for implementing this invention with reference to an accompanying drawing is demonstrated. In addition, the drawings are schematic, and the relationship between the thickness and width of each part, the ratio of the thickness of each part, and the like may be different from the actual ones. Of course, other parts may be included.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(1)은, 검사대상인 액정패널 등의 회로구조의 도통상태 검사나 동작 특성 검사를 행하는 것으로, 판 형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자(2)와, 복수의 도전성 접촉자(2)를 수용 유지하는 도전성 접촉자 홀더(3)와, 도전성 접촉자 홀더(3)에 고착되어, 복수의 도전성 접촉자(2)를 지지하는 막대형상부재(4)를 구비한다. 1 is a perspective view showing a configuration of a conductive contact unit according to an embodiment of the present invention. The conductive contact unit 1 shown in the drawing performs conduction state inspection or operation characteristic inspection of a circuit structure such as a liquid crystal panel to be inspected, and includes a plurality of conductive contacts 2 having a plate shape, and a plurality of conductive contacts ( A conductive contact holder 3 for holding and holding 2) and a rod-shaped member 4 fixed to the conductive contact holder 3 and supporting a plurality of conductive contacts 2 are provided.

먼저, 도전성 접촉자(2)에 대하여 설명한다. 도 2는, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자(2)의 구성을 나타내는 도면이다. 이하의 설명에서는, 도 2에서의 연직방향을「도전성 접촉자(2)의 길이방향」, 도 2에서의 수평방향을「도전성 접촉자(2)의 폭방향」, 이들 길이방향 및 폭방향과 각각 직교하는 방향, 즉 지면에 수직한 방향을「도전성 접촉자(2)의 판두께 방향」이라고 각각 부르기로 한다.First, the conductive contact 2 will be described. 2 is a diagram illustrating a configuration of the conductive contact 2 according to the first embodiment. In the following description, the vertical direction in FIG. 2 is "the longitudinal direction of the conductive contact 2", and the horizontal direction in FIG. 2 is "the width direction of the conductive contact 2", and perpendicular to the longitudinal direction and the width direction, respectively. The directions to be made, that is, the direction perpendicular to the ground, will be referred to as "plate thickness directions of the conductive contact 2", respectively.

도 2에 나타내는 도전성 접촉자(2)는, 도전성재료를 사용하여 판형상을 이루도록 형성되고, 검사용 신호를 생성하는 회로구조와 검사대상과의 전기적인 접속을 확립한다. 더욱 구체적으로는, 도전성 접촉자(2)는, 검사용 회로를 포함하는 소정의 회로구조와 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부(21)와, 액정패널 등의 검사대상과 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부(22)와, 제 1 접촉부(21) 및 제 2 접촉부(22) 사이에 개재하고, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부(23)와, 제 1 접촉부(21) 및 탄성부(23)를 접속하는 제 1 접속부(24)와, 제 2 접촉부(22) 및 탄성부(23)를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하여, 길이방향과 평행한 긴 변을 가지는 장방형상의 개구부(25)가 형성된 제 2 접속부(26)를 구비한다.The conductive contact 2 shown in FIG. 2 is formed to have a plate shape using a conductive material, and establishes an electrical connection between a circuit structure for generating a test signal and an inspection object. More specifically, the conductive contact 2 includes a first contact portion 21 in physical contact with a predetermined circuit structure including an inspection circuit, and a second contact portion in physical contact with an inspection object such as a liquid crystal panel ( 22, an agent interposed between the first contact portion 21 and the second contact portion 22 and connecting the elastic portion 23 that is stretchable in the longitudinal direction, and the first contact portion 21 and the elastic portion 23. 2nd connection part in which the 1st connection part 24, the 2nd contact part 22, and the elastic part 23 were connected, penetrated in the plate | board thickness direction, and the rectangular opening part 25 which has a long side parallel to a longitudinal direction was formed. (26) is provided.

제 1 접촉부(21)는, 제 1 접속부(24)의 길이가 짧은 방향 중앙부에서 길이방향으로 돌출하도록 설치되어 있다. 또한, 제 1 접촉부(21)의 제 1 접속부(24)로부터의 돌출위치는 이것에 한정되는 것은 아니고, 접촉대상의 회로구조에 설치된 전극의 위치 등의 조건에 따라 정하면 된다.The 1st contact part 21 is provided so that the length of the 1st connection part 24 may protrude in a longitudinal direction from the center part of a short direction. The protruding position of the first contact portion 21 from the first connection portion 24 is not limited to this, but may be determined according to conditions such as the position of the electrode provided in the circuit structure to be contacted.

제 2 접촉부(22)는, 탄성부(23)의 폭방향의 가장자리 끝부보다 탄성부(23)의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하고 있다. 또한, 제 2 접촉부(22)의 형상은, 도전성 접촉자(2)의 재질이나 검사시에 도전성 접촉자(2)에 대하여 가해야 할 하중, 도전성 접촉자(2)를 수용 유지하는 도전성 접촉자 홀더(3)의 형상, 검사대상의 종류 등 여러가지 조건에 의하여 정해져야 하는 것으로, 제 2 접속부(26)의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 폭방향으로 돌출되어 있으면, 그 형상의 세부(細部)에 대해서는 적절하게 변경하는 것이 가능하다.The second contact portion 22 protrudes away from the central axis of the elastic portion 23 in the width direction than the edge portion in the width direction of the elastic portion 23. In addition, the shape of the second contact portion 22 is a material of the conductive contact 2 or the load to be applied to the conductive contact 2 at the time of inspection, the conductive contact holder (3) for holding and holding the conductive contact (2) It should be determined according to various conditions such as the shape of the shape and the type of inspection object, and if it protrudes in the width direction from the edge end of the width direction of the second connection portion 26, the details of the shape are appropriately changed. It is possible to do

탄성부(23)는, 도전성 접촉자(2)의 길이방향과 직교하여 폭방향에 평행한 복수의 직선부(23a) 및 인접하는 직선부를 접속하는 복수의 만곡부(23b)를 가지고, 길이방향을 따라 S자 형상으로 사행(蛇行)한 형상을 이루고 있다. 직선부(23a)의 선 지름은 똑같고, 만곡부(23b)의 외경 및 선 지름도 똑같다. 또한, 탄성부(23)의 만곡부(23b)의 수는, 도전성 접촉자(2)에 가해지는 하중에 따라 정해진다. The elastic portion 23 has a plurality of straight portions 23a parallel to the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the conductive contact 2 and a plurality of curved portions 23b connecting adjacent straight portions, and along the longitudinal direction. S-shaped, meandering. The line diameter of the straight portion 23a is the same, and the outer diameter and the line diameter of the curved portion 23b are also the same. The number of curved portions 23b of the elastic portion 23 is determined according to the load applied to the conductive contact 2.

다음에, 도전성 접촉자 홀더(3)에 대하여 설명한다. 도전성 접촉자 홀더(3)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 대략 직육면체 형상의 외관형상을 이루고, 상면부(3a)와 저면부(도 1에서는 도시 생략)를 관통하여 복수의 도전성 접촉자(2)를 유지하는 유지부(31)와, 유지부(31)를 거쳐 서로 대향하는 측면부(3b)의 소정 위치에 각각 형성되고, 막대형상부재(4)의 끝부를 고착하는 고착용 구멍부(32)를 가진다.Next, the conductive contact holder 3 will be described. As shown in FIG. 1, the conductive contact holder 3 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and penetrates the upper surface portion 3a and the bottom surface portion (not shown in FIG. 1) to allow the plurality of conductive contacts 2 to pass through. Fixing hole portions 32, which are formed at predetermined positions of the holding portions 31 to hold and the side portions 3b facing each other via the holding portions 31, are fixed to the ends of the rod-shaped members 4, respectively. Have

도 3은, 도전성 접촉자 홀더(3)의 상면부(3a)의 부분확대 사시도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 유지부(31)에는, 도전성 접촉자(2)를 장착할 때에 그 도전성 접촉자(2)의 폭방향의 한쪽의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 직선형상의 제 1 가이드홈(31a)과, 이 제 1 가이드홈(31a)과 대향하여 위치하고, 그 제 1 가이드홈(31a)에 끼워 넣어진 도전성 접촉자(2)의 폭방향의 다른쪽 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 직선형상의 제 2 가이드홈(31b)이 복수쌍 형성되어 있다. 쌍을 이루는 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)은, 도전성 접촉자(2)를 그 길이방향과 수직한 면방향에 대하여 위치 결정하는 기능을 가짐과 동시에, 도전성 접촉자(2)의 신축동작을 가이드하는 기능을 가지고 있다. 또, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)이 이루는 쌍 중 인접하는 쌍끼리의 간격은 모두 같고, 또한 서 로 평행이다.3 is a partially enlarged perspective view of the upper surface portion 3a of the conductive contact holder 3. As shown in FIG. 3, when the electroconductive contactor 2 is attached to the holding | maintenance part 31, the linear 1st guide groove 31a which fits and hold | maintains one edge edge part of the widthwise direction of the electroconductive contactor 2 is carried out. ) And a second straight straight line which face the first guide groove 31a and hold the other edge end portion in the width direction of the conductive contact 2 sandwiched in the first guide groove 31a. A plurality of guide grooves 31b are formed. The paired first guide groove 31a and the second guide groove 31b have a function of positioning the conductive contact 2 with respect to the surface direction perpendicular to the longitudinal direction, and at the same time, the conductive contact 2 It has a function to guide the expansion and contraction of Moreover, the space | interval of adjacent pairs among the pair which the 1st guide groove 31a and the 2nd guide groove 31b make is the same, and is mutually parallel.

제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 각각은 동일한 홈폭(w라 한다)을 가짐과 동시에, 동일한 홈 깊이(d라 한다)를 가진다. 또한, 여기서는 제 1 가이드홈(31a)의 홈 깊이와 제 2 가이드홈(31b)의 홈 깊이가 같은 경우를 설명하였으나, 양 가이드홈의 홈 깊이가 서로 달라도 상관없다.Each of the first guide groove 31a and the second guide groove 31b has the same groove width (referred to as w) and the same groove depth (referred to as d). In addition, although the case where the groove depth of the first guide groove 31a and the groove depth of the second guide groove 31b are the same has been described here, the groove depths of the two guide grooves may be different.

도 4는, 도전성 접촉자 유닛(1)의 내부 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 홀더(3)의 단면은, 도 3의 A-A선 단면에 상당하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)은, 도 4의 z축 방향(홈폭방향에 수직한 방향)을 따라 서로 평행하게 연신(延伸)한 구조를 가진다. 제 1 가이드홈(31a)이 도 4의 z축 방향으로 연신하는 길이는, 제 2 가이드홈(31b)이 동일한 z축 방향으로 연신하는 길이보다 짧고, 제 2 가이드홈(31b)은 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)까지 도달하고 있으나, 제 1 가이드홈(31a)은 저면부(3d)보다 연직 윗쪽의 위치까지 밖에 도달하고 있지 않다. 4 is a diagram illustrating an internal configuration of the conductive contact unit 1. The cross section of the electroconductive contact holder 3 shown in the said figure is corresponded to the A-A line cross section of FIG. As shown in FIG. 4, the 1st guide groove 31a and the 2nd guide groove 31b have the structure extended in parallel with each other along the z-axis direction (direction perpendicular | vertical to a groove width direction) of FIG. Have The length in which the first guide groove 31a extends in the z-axis direction of FIG. 4 is shorter than the length in which the second guide groove 31b extends in the same z-axis direction, and the second guide groove 31b is the conductive contact holder. Although it reaches to the bottom face part 3d of (3), the 1st guide groove 31a reaches only to the position vertically upper than the bottom face part 3d.

이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자 홀더(3)는, 도전성 접촉자(2)를, 도 1 및 도 4에 나타내는 좌표계(xyz)에서, 폭방향이 x축 방향과 평행이고, 판 두께방향이 y축 방향과 평행이며, 길이방향이 z축 방향과 평행이도록 유지하고 있다. 이 의미에서, 도전성 접촉자(2)의 판 두께는, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 홈폭(w)보다 약간 작다.In the conductive contact holder 3 having the above configuration, in the coordinate system xyz shown in FIGS. 1 and 4, the widthwise direction is parallel to the x-axis direction, and the plate thickness direction is the y-axis direction. It is parallel and hold | maintains so that a longitudinal direction may be parallel to a z-axis direction. In this sense, the plate thickness of the conductive contact 2 is slightly smaller than the groove width w of the first guide groove 31a and the second guide groove 31b.

도전성 접촉자 홀더(3)에 유지된 도전성 접촉자(2)는, 제 1 접촉부(21) 및 제 2 접촉부(22)에 하중이 가해져 있지 않은 상태(도 4에 나타내는 상태)에서 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)이 도전성 접촉자 홀더(3)의 측면부(3c)보다 x축 양의 방향으로 소정량 돌출되어 있다(돌출량을 δ1이라 한다). 또, 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)은, 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)에서 z축 음의 방향으로 소정량 돌출되어 있다(돌출량을 h라 한다). 이에 의하여 오퍼레이터는, 도전성 접촉자 유닛(1)의 경사진 위쪽에서도 도전성 접촉자(2)의 선단과 검사대상과의 물리적인 접촉의 유무를 확인할 수 있다(도 1 참조). 또한, 도 4에서는, 제 1 접촉부(21)의 선단(P)을 통과하여 z축 방향에 평행한 축(O)에서의 제 2 접촉부(22) 선단의 오프셋량을 Δ1이라 하고 있다. 여기서 설명한 돌출량(δ1, h) 및 오프셋량(Δ1)은, 도전성 접촉자(2)나 도전성 접촉자 홀더(3)의 크기, 검사대상에 가해야할 하중 등의 조건에 따라 적절하게 정해진다.The conductive contact 2 held by the conductive contact holder 3 has the second contact portion 22 in a state in which no load is applied to the first contact portion 21 and the second contact portion 22 (state shown in FIG. 4). The tip Q of the projecting portion protrudes a predetermined amount in the x-axis positive direction from the side surface portion 3c of the conductive contact holder 3 (the amount of protrusion is δ 1 ). Moreover, the front-end | tip Q of the 2nd contact part 22 protrudes a predetermined amount in the z-axis negative direction from the bottom face part 3d of the electroconductive contact holder 3 (the protrusion amount is h). Thereby, the operator can confirm the presence or absence of physical contact between the tip of the conductive contact 2 and the inspection object even on the inclined upper side of the conductive contact unit 1 (see FIG. 1). In addition, in FIG. 4, the offset amount of the front-end | tip of the 2nd contact part 22 in the axis | shaft O which passes through the front end P of the 1st contact part 21 and is parallel to a z-axis direction is made into (DELTA) 1 . The protrusion amounts δ 1 and h and the offset amount Δ 1 described herein are appropriately determined according to the conditions of the size of the conductive contact 2 or the conductive contact holder 3, the load to be applied to the inspection object, and the like. .

도전성 접촉자 홀더(3)는, 도전성 접촉자(2)와 전기적으로 접속하여 단락이 발생하는 것을 방지하는 관점에서, 절연성재료에 의하여 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 저열팽창의 합성수지를 사용하여 도전성 접촉자 홀더(3)를 형성하고, 다이싱 등에 의하여 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)을 형성하면 된다. 그 외에도, 예를 들면 알루미나(Al2O3), 지르코니아(ZrO2), 실리카(SiO2) 등의 세라믹스, 실리콘, 에폭시 등의 열경화성수지, 폴리카보네이트 등의 엔지니어링 플라스틱 등에 의하여 도전성 접촉자 홀더(3)의 모재를 형성하고, 에칭 등의 가공기술에 의하여 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)을 형성하여도 된다. 또, 절연성재료를 사용하여 도전성 접촉자 홀더(3)를 형성하는 대신, 다른 적당한 재 료(절연성의 유무는 불문)를 사용하여 모재를 형성하고, 도전성 접촉자(2)와 접촉할 수 있는 부분[제 1 가이드홈(31a)이나 제 2 가이드홈(31b)을 포함하는 부분]에 대하여 적당한 절연성 도료를 도포하는 구성으로 하여도 된다. 이 의미에서는, 도전성 접촉자(2) 표면의 일부 또는 전부에 대하여 절연성 도료를 도포하여도 된다.It is preferable that the conductive contact holder 3 is made of an insulating material from the viewpoint of electrically connecting with the conductive contact 2 to prevent the occurrence of a short circuit. For example, the conductive contact holder 3 may be formed using a low thermal expansion synthetic resin, and the first guide groove 31a and the second guide groove 31b may be formed by dicing or the like. In addition, the conductive contact holder may be made of, for example, ceramics such as alumina (Al 2 O 3 ), zirconia (ZrO 2 ), silica (SiO 2 ), thermosetting resins such as silicon and epoxy, engineering plastics such as polycarbonate, and the like. ) May be formed, and the first guide groove 31a and the second guide groove 31b may be formed by a processing technique such as etching. In addition, instead of forming the conductive contact holder 3 using an insulating material, other suitable materials (with or without insulating material) may be used to form a base material and to be in contact with the conductive contact 2. 1 part of the guide groove 31a or the second guide groove 31b] may be configured to apply a suitable insulating paint. In this sense, an insulating paint may be applied to part or all of the surface of the conductive contact 2.

계속해서, 막대형상부재(4)에 대하여 설명한다. 막대형상부재(4)는, 복수의 도전성 접촉자(2)를 유지부(31)에 장착하고, 각 도전성 접촉자(2)의 개구부(25)를 관통한 후, 그 양쪽 끝부가 도전성 접촉자 홀더(3)의 서로 대향하는 측면부(3b)에 각각 형성된 고착용 구멍부(32)에 삽입되어, 도전성 접촉자 홀더(3)에 대하여 고착된다. 막대형상부재(4)는, 유지부(31)로 유지하는 복수의 도전성 접촉자(2)의 개구부(25)를 일괄하여 관통함으로써 도전성 접촉자(2)의 유지부(31)로부터의 빠짐 방지기능을 함과 동시에, 도전성 접촉자(2)에 대하여 초기 휘어짐을 부여하는 기능을 한다.Next, the rod-shaped member 4 will be described. The rod-shaped member 4 attaches the plurality of conductive contacts 2 to the holding portion 31 and passes through the openings 25 of the respective conductive contacts 2, and then both ends thereof have conductive contact holders 3. ) Is inserted into fixing hole portions 32 respectively formed in the side portions 3b facing each other, and fixed to the conductive contact holder 3. The rod-shaped member 4 collectively penetrates through the openings 25 of the plurality of conductive contacts 2 held by the holding portion 31 to prevent a falling-out function from the holding portion 31 of the conductive contact 2. At the same time, the conductive contact 2 is provided with an initial deflection.

막대형상부재(4)의 길이방향에 수직한 단면은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 도전성 접촉자(2)의 제 2 접속부(26)가 가지는 개구부(25)의 짧은 변의 길이와 대략 같고 그 개구부(25)의 짧은 변의 길이보다 짧은 길이를 가지는 2변으로서 개구부(25)의 짧은 변과 평행한 2변을 짧은 변으로 하는 장방형으로부터 아래쪽에 위치하는 짧은 변의 적어도 일부를 포함하는 영역을 제거함으로써 얻어지는 형상을 이루고 있고, 더욱 구체적으로는, 길이가 짧은 방향의 변을 상변 및 하변으로 하는 사다리꼴 형상을 이루고 있다. 이 사다리꼴의 정점부분은, 도전성 접촉자(2)의 슬라이딩성을 좋게 하기 위하여 모따기되어 R형상을 이루고 있다. 도 5의 확대도에 나타내는 바와 같이, 이 사다리꼴 형상을 이루는 단면에서의 상부 바닥의 길이(u)와 하부 바닥의 길이(v)와의 비는 2 : 1 이다(v=u/2). 또한, 이 비는 어디까지나 일례에 지나지 않고, 막대형상부재(4)에 요구되는 강성 등의 조건에 따라 변경 가능하다.The cross section perpendicular | vertical to the longitudinal direction of the rod-shaped member 4 is substantially equal to the length of the short side of the opening part 25 which the 2nd connection part 26 of the conductive contact 2 has, as shown in FIG. A shape obtained by removing an area including at least a portion of a short side positioned downward from a rectangle having two sides having a length shorter than a short side of 25) as two short sides parallel to the short side of the opening 25. It forms the trapezoid shape which makes the upper side and the lower side the side of a short length direction more specifically. The apex of the trapezoid is chamfered to form an R shape in order to improve the sliding property of the conductive contact 2. As shown in the enlarged view of FIG. 5, the ratio of the length u of the upper bottom to the length v of the bottom bottom in this trapezoidal cross section is 2: 1 (v = u / 2). In addition, this ratio is only an example and can be changed according to the conditions, such as rigidity required for the rod-shaped member 4, and the like.

막대형상부재(4)는, 다수의 도전성 접촉자(2)의 개구부(25)를 관통하여 그것들 모든 도전성 접촉자(2)를 지지하는 것을 감안하여, 강성이 높고 하중이 가해져도 휘어짐이 적으며, 도전성 접촉자(2)와의 슬라이딩 저항이 작은 세라믹스 등의 절연성재료가 특히 바람직하다. 이에 의하여, 막대형상부재(4)와 개구부(25)와의 간격을 작게 할 수 있다. 그 결과, 하중을 가했을 때의 도전성 접촉자(2)의 움직임을 원활하게 할 수 있음과 동시에, 막대형상부재(4)에 의하여 도전성 접촉자(2)의 지지 안정성을 확보하는 것도 가능해진다.The rod-shaped member 4 has high rigidity and little warpage even when a load is applied in consideration of supporting the conductive contacts 2 through the openings 25 of the plurality of conductive contacts 2. Insulating materials such as ceramics having a small sliding resistance with the contactor 2 are particularly preferable. Thereby, the space | interval of the rod-shaped member 4 and the opening part 25 can be made small. As a result, the movement of the conductive contact 2 when the load is applied can be made smooth, and the support stability of the conductive contact 2 can be ensured by the rod-shaped member 4.

이상의 구성을 가지는 도전성 접촉자 홀더(3)의 윗쪽에는, 검사용 신호를 생성 출력하는 신호처리회로와의 전기적인 접속을 확립하는 회로 기판(100)을 설치한다. 회로 기판(100)은, 폴리이미드 등으로 이루어지는 시트형상 기재의 한쪽의 표면에, 니켈 등으로 이루어지는 다수의 배선 및 접속용 전극이 형성되어 이루어진다. 회로 기판(100)을 설치할 때는, 회로 기판(100)의 전극이 도전성 접촉자(2)의 제 1 접촉부(21)와 접촉하도록 위치 결정을 행하고, 도전성 접촉자 홀더(3)와 동일한 재료로 이루어지는 고정부재(101) 및 도전성 접촉자 홀더(3)에 의하여 회로 기판(100)을 끼워 유지하고, 나사 등의 체결수단(도시 생략)을 사용하여 고정한다. 이 결과, 각 도전성 접촉자(2)에는 자신에게 작용하는 중력 이외의 힘에 기인하는 하중(초기 하중)이 가해져, 각 탄성부(23)가 길이방향으로 수축된다.Above the conductive contact holder 3 having the above configuration, a circuit board 100 for establishing an electrical connection with a signal processing circuit for generating and outputting a test signal is provided. The circuit board 100 includes a plurality of wiring and connection electrodes made of nickel or the like formed on one surface of a sheet-like base material made of polyimide or the like. When the circuit board 100 is provided, the positioning member is positioned so that the electrodes of the circuit board 100 come into contact with the first contact portion 21 of the conductive contact 2, and the fixing member made of the same material as the conductive contact holder 3. The circuit board 100 is sandwiched and held by the 101 and the conductive contact holder 3 and fixed using fastening means (not shown) such as screws. As a result, a load (initial load) resulting from a force other than gravity acting on each conductive contact 2 is applied, and each elastic portion 23 contracts in the longitudinal direction.

다음에, 도전성 접촉자 유닛(1)과 검사대상(200)과의 접촉형태에 대하여 설명한다. 검사를 행할 때에는, 액정패널 등의 검사대상(200)을 소정의 구동수단(도시 생략)에 의하여 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)과 접촉하고, 소정의 위치에 도달할 때까지 상승시켜 간다. 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)은, 상기한 바와 같이 제 1 접촉부(21)의 선단(P)에서 x축 방향으로 Δ1만큼 오프셋하고 있기 때문에, 검사대상(200)과 접촉한 도전성 접촉자(2)에는 모멘트가 발생한다. 즉, 도전성 접촉자(2)는, 탄성부(23)가 수축하여 개구부(25)가 막대형상부재(4)로부터 이간된 후, 도 4에서 시계방향으로 미소각만큼 회전한다. Next, the contact form between the conductive contact unit 1 and the inspection object 200 will be described. In the inspection, the inspection object 200 such as a liquid crystal panel is brought into contact with the tip Q of the second contact portion 22 by a predetermined driving means (not shown), and raised until reaching a predetermined position. Goes. Since the tip Q of the second contact portion 22 is offset from the tip P of the first contact portion 21 by Δ 1 in the x-axis direction as described above, the conductivity in contact with the inspection object 200 is achieved. The moment is generated in the contact 2. That is, the conductive contact 2 is rotated by a minute angle clockwise in FIG. 4 after the elastic portion 23 contracts and the opening 25 is separated from the rod-shaped member 4.

상기한 회전에 의하여, 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)은, 검사대상(200)의 표면과의 접촉상태를 지속하면서 그 표면 상을 긁으며 이동한다. 이와 같이 하여, 제 2 접촉부(22)의 선단이 검사대상(200) 상을 이동함으로써, 검사대상(200)의 표면에 형성된 산화막이나 그 표면에 부착된 오염을 제거하여, 검사대상(200)과의 사이에서 안정된 전기적 접촉을 얻는 것이 가능해진다. 그 때, 검사대상(200)의 이동속도(상승 속도)를 적절하게 제어하면, 제 2 접촉부(22)의 선단이 검사대상(200)의 표면을 크게 손상하는 일이 없고, 도전성 접촉자(2)에도 과도한 하중을 가하지 않게 된다. By the above-described rotation, the tip Q of the second contact portion 22 moves while scratching the surface while maintaining the contact state with the surface of the inspection object 200. In this way, the tip of the second contact portion 22 moves on the inspection object 200, thereby removing the oxide film formed on the surface of the inspection object 200 and the contamination attached to the surface thereof, It is possible to obtain stable electrical contact between At that time, if the moving speed (rising speed) of the inspection target 200 is properly controlled, the tip of the second contact portion 22 does not significantly damage the surface of the inspection target 200, and the conductive contact 2 Do not overload the load.

이상 설명한 도전성 접촉자 유닛(1)은, 도전성 접촉자(2)의 탄성부(23)의 신축방향을 따라 연신한 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 일부를 끼워 넣은 상태에서 도전성 접촉자(2)를 유지하고 있다. 이 때문에, 판형상을 이루는 도전성 접촉자(2)에 특유한 문제인 탄성부(23)의 수축시의 좌굴(座屈) 및 비틀림의 발생을 방지하여, 그것들에 기인하는 탄성부(23)의 스프링 특성의 열화를 일으키지 않게 된다. 따라서, 도전성 접촉자(2)에 적절한 범위 내에서 일정 이상의 하중을 가하여도 좌굴이나 비틀림을 일으키는 일 없이 큰 스트로크를 실현할 수 있어, 검사대상(200)과의 사이에서 원하는 접촉상태를 얻는 것이 가능해진다. The conductive contact unit 1 described above is in a state where a part of the conductive contact unit 1 is inserted into the first guide groove 31a and the second guide groove 31b extending along the stretching direction of the elastic portion 23 of the conductive contact 2. The conductive contact 2 is held. This prevents the occurrence of buckling and torsion during contraction of the elastic portion 23, which is a problem peculiar to the plate-shaped conductive contact 2, and thus the spring characteristics of the elastic portion 23 due to them. It does not cause deterioration. Therefore, even if a predetermined load or more is applied to the conductive contact 2 within a suitable range, a large stroke can be realized without causing buckling or twisting, and a desired contact state can be obtained with the inspection target 200.

검사대상(200)은, 상기한 바와 같이 제 2 접촉부(22)의 선단(Q)과 접촉한 후에도 약간 상승을 계속하나, 접촉 후의 검사대상(200)의 상승에 의하여, 도전성 접촉자(2)는 미소각만큼 회전하여 막대형상부재(4)나 제 2 가이드홈(31b)과 접촉한다. 본 실시형태에서는, 막대형상부재(4)의 단면형상으로서 상기한 사다리꼴 형상으로 함으로써, 개구부(25)와 막대형상부재(4)와의 접촉부분이 삭감되고, 도전성 접촉자(2)의 하중 특성을 안정화할 수 있다. 그 결과, 도전성 접촉자(2)의 내구성이 향상하여, 검사의 신뢰도도 향상시킬 수 있다.The test object 200 continues to rise slightly after contacting the tip Q of the second contact portion 22 as described above, but the conductive contact 2 is raised by the rising of the test object 200 after the contact. It rotates by a small angle and contacts the rod-shaped member 4 or the second guide groove 31b. In this embodiment, by making the trapezoidal shape described above as the cross-sectional shape of the rod-shaped member 4, the contact portion between the opening 25 and the rod-shaped member 4 is reduced, and the load characteristics of the conductive contact 2 are stabilized. can do. As a result, the durability of the conductive contact 2 can be improved, and the reliability of inspection can also be improved.

또, 도전성 접촉자 유닛(1)에서는, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 의하여 도전성 접촉자(2)를 유지하는 것으로 하였기 때문에, 도전성 접촉자(2)와 도전성 접촉자 홀더(3)[의 유지부(31)]와의 사이의 접촉면적을 저감하여 슬라이딩 저항을 감소시킬 수 있고, 도전성 접촉자(2)의 신축동작을 원활하게 행하는 것이 가능해진다.In the conductive contact unit 1, since the conductive contact 2 is held by the first guide groove 31a and the second guide groove 31b, the conductive contact 2 and the conductive contact holder 3 are provided. ) And the sliding resistance can be reduced by reducing the contact area between the holding portion 31 of the holding portion 31, and the stretching operation of the conductive contact 2 can be performed smoothly.

또한, 도전성 접촉자 유닛(1)은, 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)의 홈폭(w)이 도전성 접촉자(2)의 판두께와 동일한 정도의 값으로 되고, 서로 인접 하는 제 1 가이드홈(31a) 사이 및 제 2 가이드홈(31b) 사이의 각 간격은, 인접하는 도전성 접촉자(2) 사이의 절연성을 충분히 확보할 수 있는 값이면, 임의의 작은 값으로 하여도 된다. 따라서, 복수의 도전성 접촉자(2)의 배열간격을 협소화하는 것이 가능하고, 회로기판(100)이나 검사대상(200)이 가지는 접속용 전극이나 단자의 배열간격의 협소화에도 충분히 대응할 수 있다.In addition, in the conductive contact unit 1, the groove width w of the first guide groove 31a and the second guide groove 31b is equal to the plate thickness of the conductive contact 2, and is adjacent to each other. The spacing between the first guide grooves 31a and the second guide grooves 31b may be any small value as long as it is a value that can sufficiently secure insulation between adjacent conductive contacts 2. Therefore, it is possible to narrow the intervals of arrangement of the plurality of conductive contacts 2 and to sufficiently cope with the narrowing of the intervals of arrangement of the connecting electrodes and terminals of the circuit board 100 and the inspection object 200.

아울러, 도전성 접촉자 유닛(1)에서는, 도전성 접촉자(2)에 막대형상부재(4)를 관통함으로써 도전성 접촉자(2)에 초기 휘어짐을 부여함과 동시에 빠짐방지를 행하고 있다. 이 결과, 제 2 접촉부(22)의 선단(Q), 즉 도전성 접촉자(2)의 하단이 도전성 접촉자 홀더(3)의 저면부(3d)로부터 연직 아래쪽으로 돌출하는 돌출량(h)을 작게 할 수 있다. 환언하면, 제 2 접촉부(22)를 작게 하여도, 그 선단 부근의 구부러짐을 방지하여, 안정되게 유지하는 것이 가능해지고, 도전성 접촉자(2)가 하단부 부근에서 제 1 가이드홈(31a) 및/또는 제 2 가이드홈(31b)에서 빠지는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 도전성 접촉자(2)의 위치 정밀도가 높아지고, 도전성 접촉자 유닛(1)의 신뢰성 및 내구성을 향상시킬 수 있다.In addition, the conductive contact unit 1 penetrates the rod-shaped member 4 through the conductive contact 2 to impart initial bending to the conductive contact 2 and at the same time prevents it from being pulled out. As a result, the tip Q of the second contact portion 22, i.e., the lower end of the conductive contact 2 can reduce the amount of projection h that protrudes downward from the bottom 3d of the conductive contact holder 3 vertically. Can be. In other words, even if the second contact portion 22 is made small, it is possible to prevent the bend near the tip and to maintain it stably, and the conductive contact 2 is located near the lower end of the first guide groove 31a and / or Falling out of the second guide groove 31b can be suppressed. Therefore, the positional accuracy of the conductive contactor 2 becomes high, and the reliability and durability of the conductive contact unit 1 can be improved.

도전성 접촉자 유닛(1)을 조립할 때에 도전성 접촉자(2)를 유지부(31)에 수용하는 공정은, 제 1 접촉부(21)측을 먼저 유지부(31)의 내부에 삽입하고, 폭방향의 가장자리 끝부를 제 1 가이드홈(31a) 및 제 2 가이드홈(31b)에 끼워 넣음으로써 완료된다. 따라서, 종래의 도전성 접촉자 유닛과 비교하여도 조립이 용이하고, 제조비용을 저감한다는 효과를 얻을 수도 있다.In assembling the conductive contact unit 1, in the step of accommodating the conductive contact 2 in the holding unit 31, the first contacting unit 21 side is first inserted into the holding unit 31, and the edge in the width direction is used. This is completed by inserting the ends into the first guide groove 31a and the second guide groove 31b. Therefore, as compared with the conventional conductive contact unit, the assembly is easy and the effect of reducing the manufacturing cost can be obtained.

이상 설명한 본 발명의 일 실시형태에 의하면, 판 형상을 이루는 도전성재료 에 의하여 형성되고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부, 검사대상과 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부 및 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께방향으로 관통하여 상기 길이방향에 평행한 변을 긴 변으로 하는 장방형상의 개구부가 설치된 제 2 접속부를 가지는 복수의 도전성 접촉자와, 상기 복수의 도전성 접촉자를 유지하는 도전성 접촉자 홀더에 고착되고, 상기 복수의 상기 도전성 접촉자에 각각 설치된 상기 개구부를 관통하는 막대형상부재를 구비하고, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 상기 개구부의 짧은 변의 길이와 대략 같고 상기 개구부의 짧은 변의 길이보다 짧은 길이를 가지는 2변으로서 상기 개구부의 짧은 변과 평행한 2변을 짧은 변으로 하는 장방형으로부터 아래쪽에 위치하는 짧은 변의 적어도 일부를 포함하는 영역을 제거하여 얻어지는 형상을 이룸으로써, 내구성이 우수한 도전성 접촉자 유닛을 제공할 수 있다. According to one embodiment of the present invention described above, the first contact portion formed of a plate-shaped conductive material and in contact with the circuit structure for outputting the test signal, the elastic portion stretchable in the longitudinal direction, and in contact with the inspection object A second contact portion protruding in a direction away from a central axis in the width direction of the elastic portion than the edge end in the width direction of the elastic portion, a first connecting portion connecting the elastic portion and the first contact portion, and the elastic portion and the first A plurality of conductive contacts having a second connecting portion which connects the two contact portions, penetrates in the plate thickness direction, and has a rectangular opening having a long side parallel to the longitudinal direction; and a conductive contact holding the plurality of conductive contacts. A membrane fixed to the holder and penetrating the openings provided in the plurality of conductive contacts, respectively A cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member is provided with a large-sized member, and is parallel to the short side of the opening as two sides having a length approximately equal to the length of the short side of the opening and shorter than the length of the short side of the opening. The conductive contact unit excellent in durability can be provided by forming the shape obtained by removing the area | region containing at least one part of the short side located below from the rectangle which makes one side two short sides.

또, 본 실시형태에 의하면, 검사횟수가 증가하여 도전성 접촉자와의 사이의 마찰이 작아져도 도전성 접촉자와 막대형상부재와의 접촉부분이 증가하거나 하지 않아, 도전성 접촉자의 하중 특성을 안정화시킬 수 있다. 이 결과, 도전성 접촉자의 내구성이 향상하여, 안정된 검사가 가능해진다.In addition, according to the present embodiment, even if the number of inspections increases and the friction between the conductive contacts becomes small, the contact portion between the conductive contacts and the rod-shaped member does not increase, and the load characteristics of the conductive contacts can be stabilized. As a result, durability of a conductive contact improves and a stable test | inspection becomes possible.

여기까지, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시형태에 의해서만 한정되어야 하는 것은 아니다. 도 6 내지 도 8은, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 홀더가 구비하는 막대형상부재의 다른 구성예를 나타내는 단면도이다. 이 중, 도 6에 나타내는 막대형상부재(5)는, 상기 일 실시형태에서의 막대형상부재(4)와 도면에서 좌우가 반전된 단면형상을 가지고 있다. 또, 도 7에 나타내는 막대형상부재(6)는, 2세트의 평행한 대변을 가지는 오각형상의 단면을 가지고 있다. 또한, 도 8에 나타내는 막대형상부재(7)는, 직각삼각형상의 단면을 가지고 있다. 도 6 내지 도 8에서도, 각 단면에서의 정점부분은, 도전성 접촉자(2)의 슬라이딩성을 좋게 하기 위하여 모따기되어 R 형상을 이루고 있다.Although the best mode for implementing this invention was demonstrated in detail so far, this invention should not be limited only by the said embodiment. 6-8 is sectional drawing which shows the other structural example of the rod-shaped member with which the conductive contact holder which concerns on this invention is equipped. Among these, the rod-shaped member 5 shown in FIG. 6 has the rod-shaped member 4 in the said embodiment, and the cross-sectional shape in which right and left were reversed in the figure. Moreover, the rod-shaped member 6 shown in FIG. 7 has a pentagonal cross section which has two sets of parallel sides. In addition, the rod-shaped member 7 shown in FIG. 8 has the cross section of a right triangle. Also in FIGS. 6-8, the vertex part in each cross section is chamfered in order to improve the sliding property of the conductive contact 2, and has formed R shape.

이와 같이, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 홀더가 구비하는 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 도전성 접촉자를 유지하였을 때, 그 도전성 접촉자가 가지는 개구부의 짧은 변의 길이와 대략 같고 상기 개구부의 짧은 변의 길이보다 짧은 길이를 가지는 2변으로서 그 개구부의 짧은 변과 평행한 2변을 짧은 변으로 하는 장방형으로부터 아래쪽에 위치하는 짧은 변의 적어도 일부를 포함하는 영역을 제거함으로써 얻어지는 형상을 이루고 있으면 된다. 또, 변의 비율에 대해서도, 막대형상부재에 요구되는 강성 등의 조건에 따라 적절하게 정하면 된다.Thus, the cross section perpendicular | vertical to the longitudinal direction of the rod-shaped member with which the conductive contact holder which concerns on this invention is equipped is substantially equal to the length of the short side of the opening which the conductive contact has, when the conductive contact is hold | maintained, What is necessary is just to form the shape obtained by removing the area | region containing at least one part of the short side located below from the rectangle which makes two sides parallel to the short side of the opening part as short sides as two sides which have a length shorter than a length. Moreover, what is necessary is just to decide suitably also the ratio of a side according to conditions, such as rigidity required for a rod-shaped member.

그런데, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 액정패널을 검사하는 경우에 한정되는 것은 아니고, 반도체칩을 탑재한 패키지 기판이나 웨이퍼 레벨의 검사에 사용하는 고밀도 도전성 접촉자 유닛으로서도 적용 가능하다. By the way, the conductive contact unit which concerns on this invention is not limited to the case of test | inspecting a liquid crystal panel, but is applicable also as a high-density conductive contact unit used for the package board | substrate in which the semiconductor chip was mounted, and the wafer level inspection.

이상의 설명에서도 분명한 바와 같이, 본 발명은, 여기서는 기재하고 있지 않은 여러가지 실시형태 등을 포함할 수 있는 것으로, 특허청구범위에 의하여 특정되는 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위 내에서 여러가지 설계변경 등을 실시하는 것이 가능하다. As is apparent from the above description, the present invention may include various embodiments not described herein, and various design changes and the like may be made without departing from the technical spirit specified by the claims. It is possible.

이상과 같이, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 액정패널이나 반도체 집적회로 등의 전자부품에서의 도통상태 검사나 동작 특성 검사를 행할 때에 유용하다.As described above, the conductive contact unit according to the present invention is useful for conducting conduction state inspection or operation characteristic inspection in electronic components such as liquid crystal panels and semiconductor integrated circuits.

Claims (6)

검사용 신호를 출력하는 회로구조와 검사대상과의 사이의 신호의 송수신을 행하는 도전성 접촉자 유닛에 있어서,A conductive contact unit for transmitting and receiving a signal between a circuit structure for outputting an inspection signal and an inspection object, 판형상을 이루는 도전성재료에 의하여 형성되고, 검사용 신호를 출력하는 회로구조와 접촉하는 제 1 접촉부, 길이방향으로 신축 가능한 탄성부, 검사대상과 접촉하고, 이 접촉하는 선단이 상기 탄성부의 폭방향의 가장자리 끝부보다 상기 탄성부의 폭방향의 중심축으로부터 멀어지는 방향으로 돌출하는 제 2 접촉부, 상기 탄성부와 상기 제 1 접촉부를 접속하는 제 1 접속부 및 상기 탄성부와 상기 제 2 접촉부를 접속하고, 판 두께 방향으로 관통하여 상기 길이방향에 평행한 변을 긴 변으로 하는 장방형상의 개구부가 설치된 제 2 접속부를 가지는 복수의 도전성 접촉자와,A first contact portion formed of a plate-shaped conductive material and in contact with a circuit structure for outputting an inspection signal, an elastic portion that can be stretched in a longitudinal direction, and an inspection object, the tip of which is in contact with the width direction of the elastic portion. A second contact portion protruding in a direction away from the central axis of the elastic portion in the width direction than the edge end of the first contact portion, a first connecting portion connecting the elastic portion and the first contact portion, and connecting the elastic portion and the second contact portion, A plurality of conductive contacts having a second connection portion provided with a rectangular opening that penetrates in the thickness direction and has a long side of the side parallel to the longitudinal direction; 상기 도전성 접촉자의 길이방향의 한쪽의 가장자리 끝부로서 상기 제 2 접촉부가 돌출되어 있는 측의 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 복수의 제 1 가이드홈, 및 상기 복수의 제 1 가이드홈과 각각 대향하여 위치하고, 대향하는 상기 제 1 가이드홈에 끼워 넣은 상기 도전성 접촉자의 다른쪽 가장자리 끝부를 끼워 맞춰 유지하는 복수의 제 2 가이드홈을 가지는 도전성 접촉자 홀더와,A plurality of first guide grooves which hold each of the edge ends on the side from which the second contact portion protrudes as one edge end in the longitudinal direction of the conductive contact, and are respectively opposed to the plurality of first guide grooves, A conductive contact holder having a plurality of second guide grooves for fitting and holding the other edge end of the conductive contact inserted into the opposing first guide groove; 상기 도전성 접촉자 홀더에 고착되고, 상기 복수의 도전성 접촉자에 각각 설치된 상기 개구부를 관통하는 막대형상부재를 구비하고,A rod-shaped member fixed to the conductive contact holder and penetrating the openings provided in the plurality of conductive contacts, respectively; 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 상기 개구부의 짧은 변의 길이와 대략 같게 상기 개구부의 짧은 변의 길이보다 짧은 길이를 가지는 2변으로서 상기 개구부의 짧은 변과 평행한 2변을 짧은 변으로 하는 장방형으로부터 아래쪽에 위치하는 짧은 변의 적어도 일부를 포함하는 영역을 제거함으로써 얻어지는 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.The cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member is two sides having a length shorter than the length of the short side of the opening, approximately equal to the length of the short side of the opening, and the two sides parallel to the short side of the opening to the short side. A conductive contact unit comprising a shape obtained by removing a region including at least a portion of a short side positioned below from a rectangular shape. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은 사다리꼴 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.And a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member forms a trapezoidal shape. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 사다리꼴 형상의 단면에서의 상부 바닥의 길이와 하부 바닥의 길이의 비는 2 : 1인 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.And the ratio of the length of the upper bottom to the length of the bottom bottom in the trapezoidal cross section is 2: 1. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은, 2세트의 평행한 대변을 가지는 오각형상을 이루는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.A cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member forms a pentagonal shape having two sets of parallel sides. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 막대형상부재의 길이방향에 수직한 단면은 직각삼각형 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.And a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rod-shaped member to form a right triangle shape. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 제 2 접촉부의 선단은, 상기 도전성 접촉자 홀더의 바깥쪽 면으로서 안쪽에 상기 제 1 가이드홈이 형성된 부분의 바깥쪽 면보다 상기 바깥쪽 면의 법선방향으로 돌출하고 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자 유닛.And the tip of the second contact portion protrudes in the normal direction of the outer surface than the outer surface of the portion where the first guide groove is formed as an outer surface of the conductive contact holder.
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