KR20090038769A - 주사전자현미경 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 시료홀더를 구비하는 주사전자현미경 본체;상기 주사전자현미경 본체에 상기 시료홀더에 대해 수직하게 설치되어 상기 시료홀더와 마주하는 전자광학유닛;상기 전자광학유닛과 나란하게 상기 주사전자현미경 본체 내부에 설치되어 연결되는 진공펌프; 및상기 주사전자현미경 본체의 내부에 설치되어 상기 전자광학유닛을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
- 제 1 항에 있어서,상기 시료홀더는 상기 주사전자현미경 본체의 전면 하부에 외부로 개방 가능하게 설치되며,상기 제어부는 상기 전자광학유닛과 진공펌프를 사이에 두고 상기 전면과 마주하는 상기 주사전자현미경 본체의 후면에 설치되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
- 제 2 항에 있어서, 상기 전자광학유닛은,전자선을 가속 방출하는 전자총부; 및상기 전자선을 상기 시료홀더로 안내하여 주사하는 경통부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
- 제 3 항에 있어서,상기 진공펌프는 상기 전자총부와 수평하게 직렬 연결되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
- 시료로 전자선을 주사하는 전자광학유닛을 구비하는 주사전자현미경 본체; 및상기 전자광학유닛을 제어하는 제어부;를 포함하며,상기 제어부는 주사전자현미경 본체의 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
- 제 5 항에 있어서, 상기 주사전자현미경 본체는,상기 시료가 놓여지는 시료홀더;상기 시료홀더와 마주하는 상기 전자광학유닛; 및상기 전자광학유닛을 진공시키는 진공펌프;를 포함하며,상기 전자광학유닛은 상기 시료홀더에 수직하게 설치되고, 상기 진공펌프는 상기 전자광학유닛과 나란하게 설치되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
- 시료홀더를 구비하는 주사전자현미경 본체;상기 시료홀더로 전자선을 주사하는 전자광학유닛;상기 전자광학유닛을 진공시키는 진공펌프; 및상기 전자광학유닛을 제어하는 제어부;를 포함하며,상기 전자광학유닛과 진공펌프는 상기 시료홀더에 대해 수직하도록 상호 이웃하게 설치되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
- 제 7 항에 있어서,상기 제어부는 상기 주사전자현미경 본체에 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.
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