KR20090027557A - Perpendicular magnetic recording medium and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

A perpendicular magnetic recording medium and a manufacturing method thereof are provided to improve the magnetic anisotropy energy of a recording layer by forming the ferromagnetic layers so that the magnetic anisotropy energy gradually decreases from the lower layer to the upper layer. A perpendicular magnetic recording medium comprises a substrate(10), a soft-magnetic layer(12) formed on the substrate, a bottom layer(16) formed on the soft-magnetic layer, and a recording layer(22) comprising a plurality of ferromagnetic layers formed on the bottom layer, where the upper ferromagnetic layer has the lower magnetic anisotropy energy.

Description

수직자기 기록매체 및 그 제조방법{Perpendicular magnetic recording medium and method of manufacturing the same}Perpendicular magnetic recording medium and method of manufacturing the same

본 발명은 수직자기 기록매체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 보다 작은 크기의 자성입자를 가지면서도 열적으로 안정한 기록층을 구비한 수직자기 기록매체 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vertical magnetic recording medium and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a vertical magnetic recording medium having a smaller size magnetic particles and having a thermally stable recording layer and a method of manufacturing the same.

최근 정보량의 급격한 증가로 보다 고밀도로 데이터를 기록/재생할 수 있는 정보기억장치가 요청되고 있다. 특히, 기록매체를 이용하는 자기기록장치는 대용량이면서 고속 액세스(access)가 가능하다는 특성으로 인해, 컴퓨터뿐만 아니라 각종 디지털 기기의 정보기억장치로서 주목받고 있다.Recently, there is a demand for an information storage device capable of recording / reproducing data at a higher density due to a sharp increase in the amount of information. In particular, a magnetic recording apparatus using a recording medium has attracted attention as an information storage device not only for a computer but also for various digital devices due to its large capacity and high-speed access.

이러한 자기기록장치의 자기기록은 기록 방식에 따라 크게 수평자기기록 방식과 수직자기기록 방식으로 나눌 수 있다. 수평자기기록 방식은 자성층의 자화 방향이 자성층의 표면에 평행하게 정렬되는 것을 이용하여 정보를 기록하는 방식이고, 수직자기기록 방식은 자성층의 자화 방향이 자성층의 표면에 수직 방향으로 정렬되는 것을 이용하여 정보를 기록하는 방식이다. 기록 밀도 측면에서 볼 때, 수직자기기록 방식은 수평자기기록 방식보다 훨씬 유리하다.Magnetic recording of such a magnetic recording apparatus can be largely divided into a horizontal magnetic recording method and a vertical magnetic recording method according to the recording method. The horizontal magnetic recording method records information by using the magnetization direction of the magnetic layer aligned parallel to the surface of the magnetic layer. The vertical magnetic recording method uses the magnetization direction of the magnetic layer aligned vertically with the surface of the magnetic layer. It is a way of recording information. In terms of recording density, the vertical magnetic recording method is much more advantageous than the horizontal magnetic recording method.

수직자기 기록매체의 구조는 크게 기록자기장의 자화 경로를 만들어주는 연자성 바닥층(soft magnetic under layer)과 기록자기장에 의해 업/다운의 수직방향으로 자화되어 기록되는 기록층의 이중구조로 이루어진다. The structure of the vertical magnetic recording medium is composed of a double structure of a soft magnetic under layer which makes a magnetization path of the recording magnetic field and a recording layer which is magnetized and recorded in the vertical direction of up / down by the recording magnetic field.

수직자기 기록방식으로 고밀도 기록을 달성하기 위해서는, 기록된 데이터의 안정성 확보를 위한 기록층의 높은 보자력 및 수직 자기 이방성 에너지, 작은 그레인(grain) 크기 및 그레인들 간의 작은 교환 결합력(exchange coupling)에 의한 작은 자구(magnetic domain) 크기 등의 특징을 지닌 수직자기 기록매체가 요구된다. 상기 교환 결합력은 기록층 내에서 그레인들 사이의 자기적 상호작용 정도를 나타내는 상수로서, 교환 결합력은 작은 값일수록 그레인들 간의 분리가 용이해 진다. 이와 같은 고밀도의 수직자기 기록매체를 제조하기 위해서는 기록층의 자기이방성 에너지(Ku)와 수직방향으로의 결정 배향성을 극대화 할 수 있는 기술이 필요하다.In order to achieve high density recording in the vertical magnetic recording method, the high coercivity and vertical magnetic anisotropy energy of the recording layer to ensure the stability of the recorded data, small grain size and small exchange coupling between grains are achieved. There is a need for a vertical magnetic recording medium having features such as small magnetic domain size. The exchange coupling force is a constant representing the degree of magnetic interaction between grains in the recording layer. The smaller the exchange coupling force, the easier the separation between grains becomes. In order to manufacture such a high density vertical magnetic recording medium, a technique capable of maximizing the magnetic anisotropy energy (Ku) of the recording layer and the crystal orientation in the vertical direction is required.

본 발명은, 기록층의 자기이방성 에너지(Ku)를 높이면서, 기록층의 미세하게 형성한 그레인들을 서로 명확하게 분리하고 결정 배향성을 향상 시킬 수 있는 수직자기 기록매체 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a perpendicular magnetic recording medium and a method for manufacturing the same, which are capable of clearly separating finely formed grains of a recording layer from each other and improving crystal orientation while increasing magnetic anisotropy energy Ku of the recording layer. The purpose.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 수직자기 기록매체는 기판; 상기 기판 위에 형성되는 연자성층; 상기 연자성층 위에 형성되는 바닥층; 및 상기 바닥층 위에 형성되는 복수의 Co합금 산화물층을 가지는 기록층;을 포함하며, 상기 복수의 Co합금 산화물층은, 상기 바닥층쪽에 위치한 하부층에서 상부층으로 갈수록 자기이방성 에너지가 점차 낮아지도록 형성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the vertical magnetic recording medium according to the present invention comprises a substrate; A soft magnetic layer formed on the substrate; A bottom layer formed on the soft magnetic layer; And a recording layer having a plurality of Co alloy oxide layers formed on the bottom layer, wherein the plurality of Co alloy oxide layers are formed such that the magnetic anisotropy energy gradually decreases from the lower layer positioned toward the bottom layer to the upper layer. do.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 수직자기 기록매체의 제조방법은, 기판 상에 연자성층을 형성하는 단계; 상기 연자성층 상에 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층 상에 산소가 함유된 Ru으로 바닥층을 형성하는 단계; 및 상기 바닥층 상에 복수의 Co합금 산화물층을 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 복수의 Co합금 산화물층은, 상기 바닥층쪽에 위치한 하부층에서 상부층으로 갈수록 자기이방성 에너지가 점차 낮아지도록 형성하는 것을 특징으로 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, a method of manufacturing a vertical magnetic recording medium according to the present invention, forming a soft magnetic layer on a substrate; Forming a buffer layer on the soft magnetic layer; Forming a bottom layer of Ru containing oxygen on the buffer layer; And forming a plurality of Co alloy oxide layers on the bottom layer, wherein the plurality of Co alloy oxide layers are formed such that the magnetic anisotropy energy is gradually lowered from the lower layer located toward the bottom layer to the upper layer. It is characterized by.

상기와 같은 과제해결수단에 의하여 본 발명은, 열적으로 안정하고 자기 이 방성 에너지가 높은 고기록 밀도의 수직자기 기록매체를 구현할 수 있다.According to the above problem solving means, the present invention can realize a vertical magnetic recording medium having a high recording density thermally stable and high magnetic anisotropy energy.

이하, 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 아래에 예시되는 실시예는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니며, 본 발명을 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 충분히 설명하기 위해 제공되는 것이다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the examples exemplified below are not intended to limit the scope of the present invention, but are provided to fully explain the present invention to those skilled in the art. In the drawings, like reference numerals refer to like elements, and the size of each element in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수직자기 기록매체의 개략적인 구조를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a schematic structure of a vertical magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 상기 수직자기 기록매체는 하부로부터 기판(10), 연자성 바닥층(12), 버퍼층(buffer layer)(14), 바닥층(under layer)(16), 기록층(22), 보호층(26), 및 윤활층(28)이 순차적으로 적층되어 형성된다.Referring to FIG. 1, the vertical magnetic recording medium may include a substrate 10, a soft magnetic bottom layer 12, a buffer layer 14, an under layer 16, a recording layer 22, The protective layer 26 and the lubrication layer 28 are sequentially stacked and formed.

상기 기판(10)은 주로 유리나 AlMg합금으로 형성될 수 있으며, 원반의 형상으로 제조될 수 있다.The substrate 10 may be mainly formed of glass or AlMg alloy, and may be manufactured in the shape of a disk.

상기 연자성 바닥층(12)은 자기기록시 기록 헤드로부터 발생하는 수직 자기 필드의 자로(magnetic path)를 형성하여 기록층에 정보가 기록되도록 하며, CoZrNb합금, CoFeZrNb합금, CoFeB합금 또는 NiFe합금 등으로 형성될 수 있다.The soft magnetic bottom layer 12 forms a magnetic path of the vertical magnetic field generated from the magnetic proxy recording head so that information is recorded in the recording layer, and is made of CoZrNb alloy, CoFeZrNb alloy, CoFeB alloy or NiFe alloy. Can be formed.

상기 버퍼층(14)은 연자성 바닥층912)과 기록층(22)과의 자기적 상호작용을 억제하는 역할을 하며, 예를 들어 Ti 또는 Ta로 형성될 수 있다.The buffer layer 14 serves to suppress magnetic interaction between the soft magnetic bottom layer 912 and the recording layer 22, and may be formed of, for example, Ti or Ta.

상기 바닥층(16)은 기록층(22)의 결정 배향성과 자기적 특성을 향상시키는 역할을 하는 층으로, Ru로 이루어지는 제1 바닥층(18)과, 산소 및 Ru으로 이루어지는 제2 바닥층(20)으로 이루어지는 이중층 구조이다. 상기 제2 바닥층(20)은 Ru 그레인들 사이에 산화물 성분으로 분리되는 경계를 이룬다. 이러한 분리를 위해서 상기 제 2 바닥층인 Ru-산화물층은, O2/(Ar+O2) = 0.1%~5% 범위의 산소 함유량 조건을 만족하는 스퍼터 분위기 가스에서 산소반응성 스퍼터링 방식으로 형성한다. 상기 제1 바닥층(18)은 기록층(22)의 결정 배향성을 개선하고, 상기 제2 바닥층(20)은 그레인 크기를 작고 균일하게 하여 기록층(22)의 그레인 크기를 조절하는 역할을 한다. 도 2는 산소 함유량이 1%인 스퍼터 분위기 가스에서 형성된 제2 바닥층(20)의 TEM(Transmission Electron Microscopy) 이미지를 보여준다. 도 2를 참조하면, 제2 바닥층(20)의 그레인이 미세하게 형성되고, 그레인 가장자리에 산소가 포함되어 그레인과 그레인 사이가 뚜렷하게 분리된 것을 알 수 있다. 이때의 Ru 그레인 크기는 평균 5.4nm이다.The bottom layer 16 serves to improve the crystal orientation and magnetic properties of the recording layer 22. The bottom layer 16 includes a first bottom layer 18 made of Ru and a second bottom layer 20 made of oxygen and Ru. It is a double layer structure made. The second bottom layer 20 forms a boundary separated by an oxide component between the Ru grains. For this separation, the Ru-oxide layer, which is the second bottom layer, is formed by an oxygen reactive sputtering method in a sputter atmosphere gas satisfying an oxygen content condition in the range of O 2 / (Ar + O 2 ) = 0.1% to 5%. The first bottom layer 18 improves the crystal orientation of the recording layer 22, and the second bottom layer 20 serves to adjust the grain size of the recording layer 22 by making the grain size small and uniform. FIG. 2 shows a Transmission Electron Microscopy (TEM) image of the second bottom layer 20 formed from a sputter atmosphere gas having an oxygen content of 1%. Referring to FIG. 2, it can be seen that the grains of the second bottom layer 20 are finely formed and oxygen is included at the grain edges so that the grains and the grains are distinctly separated. The Ru grain size at this time is an average of 5.4 nm.

본 실시예는 제1 바닥층(18)이 Ru으로 형성된 경우를 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 상기 제1 바닥층도 산소 및 Ru으로 이루어질 수 있다. 나아가, 본 실시예는 바닥층(16)이 이중층 구조를 가진 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 다만, 기록층(22)의 그레인 크기를 작고 균일하게 하기 위하여, 적어도 바닥층(16)의 상부는 Ru을 증착시킬 때 산소가 함유시키는 것이 바람직하다.The present embodiment has been described in which the first bottom layer 18 is formed of Ru, but is not limited thereto. The first bottom layer may also be made of oxygen and Ru. Furthermore, the present embodiment has been described taking the case where the bottom layer 16 has a double layer structure as an example, but is not limited thereto. However, in order to make the grain size of the recording layer 22 small and uniform, at least the top of the bottom layer 16 is preferably contained in oxygen when Ru is deposited.

상기 기록층(22)은 상기 바닥층(16) 위에 제1 Co합금 산화물층(24), 제2 Co합금 산화물층(26), 캡핑층(28)이 순차적으로 적층된 다층 구조를 지닌다.The recording layer 22 has a multilayer structure in which a first Co alloy oxide layer 24, a second Co alloy oxide layer 26, and a capping layer 28 are sequentially stacked on the bottom layer 16.

본 실시예는 상기 제1 Co합금 산화물층(24)의 자기 이방성 에너지는 상기 제2 Co합금 산화물층(26)의 자기 이방성 에너지보다 크도록 형성되어 있다. 상기 제1 Co합금 산화물층(24)은 자기 이방성 에너지가 높은 CoPt-SiO2 또는 CoPt-TiO2와 같은 CoPt 산화물로 형성될 수 있으며, 제1 Co합금 산화물층(24)의 자기 이방성 에너지는 5x106erg/cc 내지 5x107 erg/cc가 될 수 있다. 제1 Co합금 산화물층(24)은 이루어질 상기 CoPt 산화물의 Pt함량이 10at% 내지 50at%이다. 한편, 제2 Co합금 산화물층(26)은 자기 이방성 에너지가 낮은 CoCrPt-SiO2과 같은 CoCrPt 산화물로 형성될 수 있으며, 제2 Co합금 산화물층(26)의 자기 이방성 에너지는 1x106 erg/cc 내지 5x106 erg/cc 이고, Pt함량은 1at% 내지 30at%이다. 상기 제1 및 제2 Co합금 산화물층(24,26)은 결정내 그레인들이 산화물질에 의해 서로 분리된 구조를 가지는데, 그레인은 Co합금물질로 이루어지고, 그레인과 그레인 사이는 산화물질로 이루어진다.In this embodiment, the magnetic anisotropy energy of the first Co alloy oxide layer 24 is greater than the magnetic anisotropy energy of the second Co alloy oxide layer 26. The first Co alloy oxide layer 24 may be formed of CoPt oxide such as CoPt-SiO 2 or CoPt-TiO 2 having high magnetic anisotropy energy, and the magnetic anisotropy energy of the first Co alloy oxide layer 24 is 5 × 10. 6 erg / cc to 5x10 7 erg / cc. The first Co alloy oxide layer 24 has a Pt content of 10 at% to 50 at% of the CoPt oxide to be formed. Meanwhile, the second Co alloy oxide layer 26 may be formed of CoCrPt oxide such as CoCrPt-SiO 2 having low magnetic anisotropy energy, and the magnetic anisotropy energy of the second Co alloy oxide layer 26 is 1 × 10 6 erg / cc. To 5x10 6 erg / cc And Pt content is 1 at% to 30 at%. The first and second Co alloy oxide layers 24 and 26 have a structure in which grains in a crystal are separated from each other by an oxide material. The grains are made of a Co alloy material, and the grains and the grains are made of an oxide material. .

CoCrPt 자성체에서, Pt함유량이 증가되면 자기 이방성 에너지가 증가되는 것이 알려져 있다. CoCrPt 자성체에서 Cr 조성을 없애고 Pt 함유량을 10at% 내지 50at%, 바람직하게는 20at% 내지 30at%로 하게되면, 자성체의 수직 자기 이방성 에너지를 5x107erg/cc정도까지 향상시킬 수 있다. 다만, Cr 조성을 없애게 되면, 그레인들의 분리가 다소 악화되므로, 결정배향성을 향상시키는 바닥층(20)으로 산소를 포함하는 Ru을 형성하고, 상부에 CoPt 산화물로 된 제1 Co합금 산화물층(24)과 CoCrPt 산화물로 된 제2 Co합금 산화물층(26)을 순차적으로 형성하여 그레인들의 분리가 잘 이루어지게 한다.In CoCrPt magnetic bodies, it is known that magnetic anisotropic energy increases as the Pt content is increased. When the Cr composition is removed from the CoCrPt magnetic body and the Pt content is 10at% to 50at%, preferably 20at% to 30at%, the perpendicular magnetic anisotropy energy of the magnetic body can be improved to about 5x10 7 erg / cc. However, when the Cr composition is removed, the grains are slightly deteriorated, so that the Ru containing oxygen is formed as the bottom layer 20 to improve crystal orientation, and the first Co alloy oxide layer 24 made of CoPt oxide is formed thereon. And the second Co alloy oxide layer 26 of CoCrPt oxide are sequentially formed to facilitate separation of grains.

본 실시예에서는 Co합금 산화물층이 이중층인 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 2층 이상의 복수층으로 형성될 수도 있다. 2층 이상의 복수층으로 Co합금 산화물층이 형성되는 경우, 복수의 Co합금 산화물층은 바닥층(20)쪽에 위치한 하부층에서 캡핑층(28)쪽에 위치한 상부층으로 갈수록 자기이방성 에너지가 점차 낮아지도록 형성될 수 있다.In the present embodiment, a case in which the Co alloy oxide layer is a double layer has been described as an example, but is not limited thereto and may be formed of two or more layers. When the Co alloy oxide layer is formed of two or more layers, the plurality of Co alloy oxide layers may be formed such that the magnetic anisotropy energy is gradually lowered from the lower layer located on the bottom layer 20 side to the upper layer located on the capping layer 28 side. have.

상기 제1 및 제2 Co합금 산화물층(24,26)의 상부에는 기록 특성을 개선하기 위한 캡핑층(28)이 마련된다. 캡핑층은 CoCrPtB와 같이 산소가 없는 Co합금으로 형성될 수 있다. 따라서, 캡핑층은 산화물에 의해 그레인들의 분리가 없이 연속박막형태(continuous thin film)로 형성될 수 있으며, 기록층(22)을 열적으로 안정시키고, 기록층(22)의 자화포화자계 (Hs; magnetic saturation field)를 감소시켜 기록특성을 개선시킬 수 있다.Capping layers 28 for improving recording characteristics are provided on the first and second Co alloy oxide layers 24 and 26. The capping layer may be formed of Co alloy without oxygen such as CoCrPtB. Therefore, the capping layer can be formed in a continuous thin film without separation of grains by oxides, thermally stabilizes the recording layer 22, and the magnetizing saturation magnetic field (Hs) of the recording layer 22; The recording characteristic can be improved by reducing the magnetic saturation field.

상기 보호층(30)은 상기 기록층(22)을 외부로부터 보호하기 위한 것으로 DLC(Diamond like Carbon)로 형성될 수 있으며, 상기 보호층(30) 상에는 자기헤드와의 충돌 및 습동(sliding)에 의한 헤드 및 보호층의 마모를 감소시키기 위해 테라올(Teraol) 윤활제 등으로 구비되는 윤활층(32)을 형성될 수 있다.The protective layer 30 is to protect the recording layer 22 from the outside, and may be formed of DLC (Diamond like Carbon). The protective layer 30 may be subjected to a collision and sliding with a magnetic head on the protective layer 30. In order to reduce wear of the head and the protective layer, a lubrication layer 32 may be formed of a teraol lubricant.

도 3a 내지 도 3c는 Co합금 산화물층의 적층 순서에 따른 자기적 특성을 나 타내는 그래프들이다. 실선은 하부로부터 CoPt-TiO2/CoCrPt-SiO2/CoCrPtB으로 기록층을 형성한 본 실시예의 자기적 특성을 나타내며, 점선은 적층순서를 바꾸어 하부로부터 CoCrPt-SiO2/CoPt-TiO2/CoCrPtB으로 기록층을 형성한 비교예의 자기적 특성을 나타낸다. 도 3a은 본 실시예의 기록층과 비교예의 기록층에서의 자기이력곡선을 도시하고 있으며, 도 3b는 본 실시예의 기록층과 비교예의 기록층을 X선 회절분석기로 분석한 결과를 도시하고 있으며, 도 3c는 본 실시예의 기록층과 비교예의 기록층에서의 TAA(track average amplitude)의 시간에 따른 변화를 도시하고 있다. 도 3a를 참조하면, 본 실시예의 기록층의 보자력이 비교예의 기록층의 보자력보다 훨씬 큰 것을 볼 수 있다. 또한, 도 3b를 참조하면, 본 실시예의 기록층의 자기이방성 에너지(Ku)가 비교예의 기록층의 자기이방성 에너지(Ku)보다 더 크다는 점을 알 수 있는바, 이는 기판과 평행한 결정면내의 원자간 거리가 더 넓은 CoPt-TiO2를 하부에 놓고 기판에 수평한 결정면내의 원자간 거리가 더 좁은 CoCrPt-SiO2를 적층시킴으로써, 결정성 개선을 통한 기록층 전체의 자기이방성 에너지(Ku)가 향상되는 것으로 이해될 수 있을 것이다. 이러한 점을 고려한다면, 기록층을 구성하는 강자성층들이 2 이상의 복수개를 갖는 경우에도, 결정성 개선을 통한 기록층 전체의 자기이방성 에너지를 향상시킬 수 있음을 알 수 있다. 가령, 복수층을 갖는 기록층에 있어서도 하부층을 상부층보다 기판에 수평한 결정면내의 원자간 거리가 더 넓은 층으로 형성시킴으로써 결정성 개선을 통한 기록층 전체의 자기이방성 에너지를 향상시킬 수 있을 것이다. 또한, Pt조성의 증가와 더불어 자기이방성 에너지가 증가 될 수 있는바, 하부층의 Co합금 산화물층의 Pt 조성을 상부층의 Co합금 산화물층의 Pt 조성보다 더 크게 함으로써, 하부층의 Co합금 산화물층이 상부층의 Co합금 산화물층보다 높은 자기이방성 에너지를 갖도록 구성할 수 있다. 이를 바탕으로 본 실시예에서 제시하고 있는 hcp 구조의 CoPt-TiO2막을 이용한 기록층 뿐만 아니라, 기판면에 평행한 결정면간 간격이 보다 큰 FePt합금이나, FePt합금 산화물, CoPt합금 및 CoPt합금 산화물에 있어서도, CoCrPt-산화물의 하부 기록층으로 사용할 경우보다 큰 효과를 얻을 수 있을 것이다. 또한, 도 3c를 참조하면, 본 실시예의 기록층이 비교예의 기록층에 비해 열적으로 훨씬 안정적임을 보여준다.3A to 3C are graphs showing magnetic properties of the Co alloy oxide layer according to the stacking order. The solid line shows the magnetic properties of the present embodiment in which the recording layer is formed of CoPt-TiO 2 / CoCrPt-SiO 2 / CoCrPtB from the bottom, and the dotted line changes from the bottom to CoCrPt-SiO 2 / CoPt-TiO 2 / CoCrPtB from the bottom. The magnetic properties of the comparative example in which the recording layer was formed are shown. FIG. 3A shows magnetic hysteresis curves in the recording layer of the present embodiment and the recording layer of the comparative example, and FIG. 3B shows the results of analyzing the recording layer of the present example and the recording layer of the comparative example with an X-ray diffractometer. FIG. 3C shows the change over time of the track average amplitude (TAA) in the recording layer of this embodiment and the recording layer of the comparative example. 3A, it can be seen that the coercive force of the recording layer of this embodiment is much larger than the coercive force of the recording layer of the comparative example. Further, referring to FIG. 3B, it can be seen that the magnetic anisotropy energy Ku of the recording layer of this embodiment is greater than the magnetic anisotropy energy Ku of the recording layer of the comparative example, which is a circle in the crystal plane parallel to the substrate. By stacking CoPt-TiO 2, which has a larger distance between them, and laminating CoCrPt-SiO 2 with a smaller interatomic distance in the horizontal crystal plane on the substrate, the magnetic anisotropy energy (Ku) of the entire recording layer is improved by improving the crystallinity. It will be understood that. Considering this point, it can be seen that even when the ferromagnetic layers constituting the recording layer have a plurality of two or more, the magnetic anisotropy energy of the entire recording layer can be improved by improving the crystallinity. For example, even in a recording layer having a plurality of layers, the magnetic anisotropy energy of the entire recording layer can be improved by improving the crystallinity by forming the lower layer as a layer having a larger interatomic distance in the crystal plane horizontal to the substrate than the upper layer. In addition, the magnetic anisotropy energy can be increased with increasing Pt composition, so that the Pt composition of the Co alloy oxide layer of the lower layer is larger than the Pt composition of the Co alloy oxide layer of the upper layer, so that the Co alloy oxide layer of the lower layer is It can be configured to have higher magnetic anisotropy energy than the Co alloy oxide layer. On the basis of this, not only the recording layer using the CoPt-TiO 2 film of the hcp structure proposed in this embodiment, but also the FePt alloy, the FePt alloy oxide, the CoPt alloy, and the CoPt alloy oxide having a larger spacing between the crystal planes parallel to the substrate surface. Even in the case of using the lower recording layer of CoCrPt-oxide, a larger effect can be obtained. Also, referring to FIG. 3C, it is shown that the recording layer of this embodiment is thermally much more stable than the recording layer of the comparative example.

도 4는 본 실시예에 따른 기록층의 TEM 이미지이다. 도 4를 참조하면, Ru층과 산소를 포함하는 Ru층으로 이루어진 이중구조의 바닥층 상에 CoPt-TiO2/CoCrPt-SiO2/CoCrPtB구조의 기록층을 형성한 경우, 기록층의 그레인 크기가 평균 5.7nm이고, 그레인과 그레인 사이가 뚜렷하게 분리되는 것을 볼 수 있다. 이것은 바닥층에서 잘 분리된 그레인들이 기록층의 하부에 영향을 끼쳐 기록층의 그레뉼러 구조를 향상시킨 것으로 해석된다.4 is a TEM image of a recording layer according to the present embodiment. Referring to FIG. 4, when the recording layer of the CoPt-TiO 2 / CoCrPt-SiO 2 / CoCrPtB structure is formed on the bottom layer of the dual structure consisting of the Ru layer and the Ru layer containing oxygen, the grain size of the recording layer is average. It is 5.7 nm, and it can be seen that there is a clear separation between grain and grain. It is interpreted that the grains separated from the bottom layer affected the lower part of the recording layer, thereby improving the granular structure of the recording layer.

도 5는 캡핑층의 유무에 따른 기록층의 자기이력곡선 변화를 나타내는 그래프이다. 5 is a graph showing a change in the magnetic hysteresis curve of the recording layer with or without a capping layer.

도 5를 참조하면, 캡핑층을 제1 및 제2 Co합금 산화물층 위에 형성함으로써, 자화포화자계값을 대폭 낮추어, 높은 수직 자기 이방성 에너지에도 불구하고, 쉽게 자화시킬 수 있도록 하고 있음을 볼 수 있다.Referring to FIG. 5, it can be seen that by forming the capping layer on the first and second Co alloy oxide layers, the magnetization saturation magnetic field value is significantly lowered, so that the magnetization can be easily made despite the high perpendicular magnetic anisotropy energy. .

도 6a 및 도 6b는 기록층 증착공정에서 공정조건에 따라 거칠기가 달라지는 것을 보여주는 기록층의 AFM 이미지로서, 도 6a는 기록층을 증착하는데 있어서, 증착조건에 변화를 주지 않은 경우이고, 도 6b는 기록층을 증착하는데 있어서, 하부층에서 상부층으로 갈수록 점차 스퍼터에 가해지는 전력을 높이고, 가스 압력을 낮게 변화를 주는 경우이다. 본 실시예는 제1 Co합금 산화물층을 증착시킬 때에 비해, 제2 Co합금 산화물층을 증착시켜 스퍼터에 가해지는 전력을 높이고, 가스 압력을 낮게 함으로써, 도 6b에 도시된 바와 같이 기록층의 표면 거칠기를 낮게 제어하여 헤드의 플라잉 조건을 향상시킨다. 6A and 6B are AFM images of the recording layer showing that the roughness varies depending on the processing conditions in the recording layer deposition process. FIG. 6A is a case in which the deposition conditions are not changed in the deposition of the recording layer. In the deposition of the recording layer, it is a case where the power applied to the sputter gradually increases from the lower layer to the upper layer, and the gas pressure is lowered. In this embodiment, as compared with when the first Co alloy oxide layer is deposited, the power of the sputter is increased by depositing the second Co alloy oxide layer, and the gas pressure is lowered, so that the surface of the recording layer is as shown in Fig. 6B. Low roughness is controlled to improve the flying conditions of the head.

도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직자기 기록매체의 제조공정을 나타내는 단면도들이다.7A to 7E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a vertical magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

도 7a내지 도 7b를 참조하면, 상기 기판(50)상에 CoZrNb으로 이루어지는 연자성바닥층(52)과 Ta으로 이루어지는 버퍼층(54)을 형성한 후, Ru으로 이루어지는 제1 바닥층(56)과 산소를 포함하는 Ru으로 이루어지는 제2 바닥층(58)으로 이루어지는 바닥층을 형성한다. 상기 제1 바닥층(56)은 스퍼터링 방법으로 Ru 타겟을 사용하여 상온에서 10mTorr 이하의 압력에서 형성한다. 상기 바닥층(56)의 두께는 약 10nm로 결정성이 우수하고 표면은 평탄하게 된다. 상기 제2 바닥층(58)은 상기 제1 바닥층(56) 상에 반응성 스퍼터링 방법을 이용하여 아르곤 가스와 산소 가스를 주입하고 40mTorr 압력에서 형성한다. 이때, 산소 가스는 전체 주입 가스중 1%를 주입한다. 제2 바닥층(58)은 Ru으로 된 그레인(60)과, 그레인(60)들을 자기적으로 분리시키는 경계(62)로 이루어진 그레뉼러 구조를 가진다. 제2 바닥층(58)의 두께는 약 8nm로서, 제1 바닥층(56)보다 표면 거칠기를 적정 수준으로 증가시키고 산소를 이용하여 그레인들 사이를 분리시킨다. 7A to 7B, after forming the soft magnetic bottom layer 52 made of CoZrNb and the buffer layer 54 made of Ta, the first bottom layer 56 made of Ru and oxygen are formed on the substrate 50. The bottom layer which consists of the 2nd bottom layer 58 which consists of Ru is formed. The first bottom layer 56 is formed at a pressure of 10 mTorr or less at room temperature using a Ru target by a sputtering method. The bottom layer 56 has a thickness of about 10 nm, which is excellent in crystallinity and has a flat surface. The second bottom layer 58 is formed at 40mTorr pressure by injecting argon gas and oxygen gas on the first bottom layer 56 using a reactive sputtering method. At this time, the oxygen gas injects 1% of the total injection gas. The second bottom layer 58 has a granular structure consisting of grain 60 of Ru and a boundary 62 that magnetically separates the grains 60. The thickness of the second bottom layer 58 is about 8 nm, which increases the surface roughness to an appropriate level than the first bottom layer 56 and separates the grains using oxygen.

도 7c내지 도 7d를 참조하면, 상기 제2 바닥층(58) 상에 스퍼터링 방법으로 기록층(78)을 CoPt-TiO2/CoCrPt-SiO2/CoCrPtB구조로 형성한다. 상기 CoPt-TiO2층(64)은 제1 Co합금 산화물층으로서, CoPt-TiO2 타겟을 사용하여 40mTorr이상의 높은 압력에서 Pt가 풍부한 분위기에서 약 10nm 두께로 형성한다. CoPt-TiO2층(64)은 CoPt로 그레인(66)이 형성되고 TiO2으로 그레인(66)을 둘러싸는 경계(68)가 형성된 구조를 갖는다. 상기 CoCrPt-SiO2층(70)은 제2 Co합금 산화물층으로서, CoCrPt-SiO2 타겟을 사용하여 상온에서 아르곤 가스와 산소 가스를 주입하여 반응성 스퍼터링(reactive sputtering) 방법으로 형성한다. 상기 산소가스는 전체 주입 가스중 0.1% 내지 10% 주입한다. 이때, CoCrPt-SiO2층(70)은 하부의 CoPt-TiO2층(64)의 표면 거칠기를 완화시킬 수 있도록 스퍼터링 전력을 높이고 압력을 낮추어 20mTorr의 압력에서 약 10nm 두께로 형성한다. CoCrPt-SiO2층(70)은 CoCrPt로 그레인(72)이 형성되고 SiO2으로 그레인(72)을 둘러싸는 경계(74)가 형성된 구조를 갖는다. 상기 CoCrPtB층(74)은 캡핑층으로서, 연속박막 형태로 10mTorr의 압력으로 약 5nm의 두께로 형성한다.7C to 7D, the recording layer 78 is formed on the second bottom layer 58 by a sputtering method in a CoPt-TiO 2 / CoCrPt-SiO 2 / CoCrPtB structure. The CoPt-TiO 2 layer 64 is a first Co alloy oxide layer, and is formed to a thickness of about 10 nm in a Pt-rich atmosphere at a high pressure of 40 mTorr or more using a CoPt-TiO 2 target. The CoPt-TiO 2 layer 64 has a structure in which grain 66 is formed of CoPt and a boundary 68 is formed that surrounds the grain 66 in TiO 2 . The CoCrPt-SiO 2 layer 70 is formed by a reactive sputtering method by injecting argon gas and oxygen gas at room temperature using a CoCrPt-SiO 2 target as a second Co alloy oxide layer. The oxygen gas is injected 0.1% to 10% of the total injection gas. At this time, the CoCrPt-SiO 2 layer 70 is formed to a thickness of about 10 nm at a pressure of 20 mTorr by increasing the sputtering power and lowering the pressure so as to alleviate the surface roughness of the lower CoPt-TiO 2 layer 64. The CoCrPt-SiO 2 layer 70 has a structure in which grains 72 are formed of CoCrPt and boundaries 74 are formed to surround grains 72 in SiO 2 . The CoCrPtB layer 74 is a capping layer, and is formed to a thickness of about 5 nm at a pressure of 10 mTorr in the form of a continuous thin film.

도 7e를 참조하면, 상기 기록층(78) 상에 DLC로 이루어지는 보호층(80)과 테 라올 윤활제를 이용한 윤활층(82)을 형성하여 수직자기 기록매체(90)를 형성한다.Referring to FIG. 7E, a vertical magnetic recording medium 90 is formed on the recording layer 78 by forming a protective layer 80 made of DLC and a lubricating layer 82 using teraol lubricant.

전술한 실시예에서 캡핑층을 제외한 기록층은 제1 및 제2 강자성층의 2중층 구조인 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 캡핑층을 제외한 기록층은 3층 이상의 복수의 강자성층을 갖는 경우에도 적용될 수 있다. 3층 이상의 복수층으로 강자성층들이 형성되는 경우, 복수의 강자성층들은 바닥층(150)쪽에 위치한 하부층에서 캡핑층(169)쪽에 위치한 상부층으로 갈수록 자기이방성 에너지(Ku)가 점차 낮아지도록 형성될 수 있다.In the above-described embodiment, the recording layer except for the capping layer has been described as an example in which a double layer structure of the first and second ferromagnetic layers is used, but is not limited thereto. The recording layer except for the capping layer of the present invention can be applied to the case of having a plurality of ferromagnetic layers of three or more layers. When the ferromagnetic layers are formed of a plurality of three or more layers, the plurality of ferromagnetic layers may be formed such that the magnetic anisotropy energy (Ku) gradually decreases from the lower layer positioned on the bottom layer 150 toward the upper layer disposed on the capping layer 169. .

이러한 본 발명인 수직자기 기록매체 및 그 제조방법은 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the drawings for the purpose of a vertical magnetic recording medium and a manufacturing method thereof, but this is merely exemplary, and those skilled in the art can various modifications and equivalents therefrom. It will be appreciated that other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the appended claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 수직자기 기록매체의 개략적인 구조를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a schematic structure of a vertical magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 수직자기 기록매체의 바닥층의 TEM 이미지이다.FIG. 2 is a TEM image of a bottom layer of the vertical magnetic recording medium of FIG. 1.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 구조의 기록층에서 적층 순서에 따른 특성을 나타내는 그래프들이다.3A to 3C are graphs illustrating characteristics of stacking order in a recording layer having a multilayer structure according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 1의 기록층의 TEM 이미지이다.4 is a TEM image of the recording layer of FIG. 1.

도 5는 캡핑층의 유무에 따른 기록층의 자기이력곡선 변화를 나타내는 그래프이다.5 is a graph showing a change in the magnetic hysteresis curve of the recording layer with or without a capping layer.

도 6a 및 도 6b는 기록층 증착공정에서 공정조건에 따라 거칠기가 달라지는 것을 보여주는 기록층의 AFM 이미지이다.6A and 6B are AFM images of a recording layer showing that roughness varies depending on processing conditions in the recording layer deposition process.

도 7a 내지 도 8e는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직자기 기록매체의 제조공정을 나타내는 단면도들이다.7A to 8E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a vertical magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10, 50...기판 12, 52...연자성 바닥층10, 50 ... substrate 12, 52 ... soft magnetic bottom layer

14, 54...버퍼층 16...바닥층14, 54 ... buffer layer 16 ... bottom layer

18, 56...제1 바닥층 20, 60...제2 바닥층18, 56 ... first floor 20, 60 ... second floor

22, 78...기록층 24, 26, 80, 82... Co합금 산화물 다중층22, 78 ... recording layer 24, 26, 80, 82 ... Co alloy oxide multilayer

28, 84...캡핑층 30,80 보호층28, 84 ... Capping layer 30,80 Protective layer

32, 82...윤활층 40,90...수직자기 기록매체32, 82 ... Lubrication layer 40,90 ... Vertical magnetic recording media

Claims (24)

기판; Board; 상기 기판 위에 형성되는 연자성층;A soft magnetic layer formed on the substrate; 상기 연자성층 위에 형성되는 바닥층; 및A bottom layer formed on the soft magnetic layer; And 상기 바닥층 위에 형성되는 복수의 강자성층을 가지는 기록층;을 포함하며,And a recording layer having a plurality of ferromagnetic layers formed on the bottom layer. 상기 복수의 강자성층은, 상기 바닥층쪽에 위치한 하부층에서 상부층으로 갈수록 자기이방성 에너지가 점차 낮아지도록 형성된 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체. And the plurality of ferromagnetic layers are formed such that the magnetic anisotropy energy gradually decreases from the lower layer located toward the bottom layer to the upper layer. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 복수의 강자성층은 하부의 강자성층에서 상부의 강자성층으로 갈수록 Pt 조성이 작아지는 수직자기 기록매체. And a plurality of ferromagnetic layers having a lower Pt composition from the lower ferromagnetic layer to the upper ferromagnetic layer. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 복수의 강자성층은 상기 중간층으로부터 순차적으로 적층되는 제1 및 제2 강자성층을 포함하며, The plurality of ferromagnetic layers includes first and second ferromagnetic layers sequentially stacked from the intermediate layer, 상기 제1 강자성층은 FePt 합금, FePt 합금 산화물, CoPt 합금 및 CoPt 합금 산화물 중 어느 하나로 형성되며,The first ferromagnetic layer is formed of any one of FePt alloy, FePt alloy oxide, CoPt alloy and CoPt alloy oxide, 상기 제2 강자성층은 CoCrPt 합금 산화물로 형성되는 수직자기 기록매체. And the second ferromagnetic layer is formed of a CoCrPt alloy oxide. 제3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제1 강자성층은 CoPt 산화물로 형성되며,The first ferromagnetic layer is formed of CoPt oxide, 상기 제2 강자성층은 CoCrPt 산화물로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체.And the second ferromagnetic layer is formed of CoCrPt oxide. 제4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1 강자성층의 Pt 함량은 10at% 내지 50at%인 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체. And a Pt content of the first ferromagnetic layer is 10at% to 50at%. 제4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제2 Co합금 산화물층의 Pt 함량은 1at% 내지 30at% 인 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체.And a Pt content of the second Co alloy oxide layer is 1 at% to 30 at%. 제3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제1 강자성층의 자기 이방성 에너지는 5x106erg/cc 내지 5x107erg/cc인 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체. Magnetic anisotropy energy of the first ferromagnetic layer is 5x10 6 erg / cc to 5x10 7 erg / cc vertical magnetic recording medium, characterized in that. 제3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제2 강자성층의 자기 이방성 에너지는 1x106erg/cc 내지 5x106erg/cc인 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체.The magnetic anisotropy energy of the second ferromagnetic layer is 1x10 6 erg / cc to 5x10 6 erg / cc. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 복수의 강자성층은 그레뉼러 구조로 형성되는 수직자기 기록매체. The plurality of ferromagnetic layer is a vertical magnetic recording medium formed of a granular structure. 제1 항에 있어서, According to claim 1, 상기 복수의 강자성층은 상기 바닥층쪽에 위치한 하부층에서 상부층으로 갈수록 표면 거칠기가 완화되는 수직자기 기록매체. The plurality of ferromagnetic layers are vertical magnetic recording medium to reduce the surface roughness from the lower layer to the upper layer located toward the bottom layer. 제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 10, 상기 기록층은 상기 복수의 강자성층 위에 형성되는 캡핑층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체. And the recording layer further comprises a capping layer formed on the plurality of ferromagnetic layers. 제11 항에 있어서,The method of claim 11, wherein 상기 캡핑층은 그레인들로 분리되지 않고 연속적으로 형성되는 Co합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체. And the capping layer is formed of a Co alloy which is continuously formed without being separated into grains. 제12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 캡핑층은 CoCrPtB으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체.The capping layer is a vertical magnetic recording medium, characterized in that formed of CoCrPtB. 제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 10, 상기 바닥층은 산소가 함유된 Ru으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체.The bottom layer is a vertical magnetic recording medium, characterized in that formed of Ru containing oxygen. 제14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 바닥층은, Ru으로 형성된 제1 바닥층과, 상기 제1 바닥층 위에 Ru 및 산화물로 형성된 제2 바닥층을 포함하며,The bottom layer includes a first bottom layer formed of Ru and a second bottom layer formed of Ru and oxide on the first bottom layer, 상기 제2 바닥층은 Ru이 그레인을 이루고, 산화물이 그레인들 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체.The second bottom layer is a vertical magnetic recording medium, characterized in that Ru is grained, and an oxide is interposed between the grains. 제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 10, 상기 연자성층과 바닥층 사이에 개재되어, 상기 연자성층과 기록층 사이의 자기적 상호작용을 억제하는 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체.And a buffer layer interposed between the soft magnetic layer and the bottom layer to suppress magnetic interaction between the soft magnetic layer and the recording layer. 기판 상에 연자성층을 형성하는 단계;Forming a soft magnetic layer on the substrate; 상기 연자성층 상에 버퍼층을 형성하는 단계;Forming a buffer layer on the soft magnetic layer; 상기 버퍼층 상에 산소가 함유된 Ru으로 바닥층을 형성하는 단계;Forming a bottom layer of Ru containing oxygen on the buffer layer; 상기 바닥층 상에 복수의 Co합금 산화물층을 형성하는 단계; 및Forming a plurality of Co alloy oxide layers on the bottom layer; And 상기 복수의 Co합금 산화물층 위에 CoCrPtB층을 증착하여 캡핑층을 형성하는 단계;를 포함하며,And depositing a CoCrPtB layer on the plurality of Co alloy oxide layers to form a capping layer. 상기 복수의 Co합금 산화물층은, 상기 바닥층쪽에 위치한 하부층에서 상부층으로 갈수록 자기이방성 에너지가 점차 낮아지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법.And the plurality of Co alloy oxide layers are formed such that magnetic anisotropy energy gradually decreases from the lower layer located toward the bottom layer to the upper layer. 제17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 바닥층 상에 복수의 Co합금 산화물층을 형성하는 단계는,Forming a plurality of Co alloy oxide layers on the bottom layer, 상기 바닥층 상에 CoPt 산화물로 제1 Co합금 산화물층을 형성하는 단계와,Forming a first Co alloy oxide layer of CoPt oxide on the bottom layer; 상기 제1 Co합금 산화물층 상에 CoCrPt 산화물로 제2 Co합금 산화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법.And forming a second Co alloy oxide layer of CoCrPt oxide on the first Co alloy oxide layer. 제18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 제1 Co합금 산화물층은 CoPt-TiO2, CoPt-SiO2 및 CoPt-CrO로 이루어진 군에서 선택한 어느 하나로 형성하고, 상기 제2 Co합금 산화물층은 CoCrPt-SiO2, CoCrPt-TiO2 및 CoCrPt-CrO로 이루어진 군에서 선택한 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법.The first Co alloy oxide layer is formed of any one selected from the group consisting of CoPt-TiO 2 , CoPt-SiO 2 and CoPt-CrO, and the second Co alloy oxide layer is CoCrPt-SiO 2 , CoCrPt-TiO 2 and CoCrPt -Method of manufacturing a vertical magnetic recording medium, characterized in that formed by any one selected from the group consisting of CrO. 제19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 제2 Co합금 산화물층은 반응성 스퍼터링(reactive sputtering) 방법으로 CoCrPt-SiO2타겟을 사용하여 상온에서 산소가스를 주입되는 전체 가스에 대하여 0.1% 내지 10% 주입하여 형성하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법. The second Co alloy oxide layer is formed by injecting 0.1% to 10% of the total gas injected with oxygen gas at room temperature using a CoCrPt-SiO 2 target by reactive sputtering. Method of manufacturing record carrier. 제18 항 내지 20 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 18 to 20, 상기 제1 Co합금 산화물층의 Pt함량은 10at% 내지 50at%이고, 상기 제2 Co합금 산화물층의 Pt함량은 1at% 내지 30at%로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법.The Pt content of the first Co alloy oxide layer is 10at% to 50at%, and the Pt content of the second Co alloy oxide layer is formed at 1at% to 30at%. 제18 항에 있어서, The method of claim 18, 상기 제1 및 제2 Co합금 산화물층은 스퍼터링 방법으로 형성하며, The first and second Co alloy oxide layer is formed by a sputtering method, 상기 제1 Co합금 산화물층을 형성할 때의 스퍼터링 전력과 압력보다 상기 제2 Co합금 산화물층을 형성할 때의 스퍼터링 전력을 보다 크게 하고 압력을 낮추는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법.The sputtering power when forming the second Co alloy oxide layer is larger than the sputtering power and pressure when forming the first Co alloy oxide layer and the pressure is lowered. 제18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 바닥층은, Ru으로 이루어지는 제1 바닥층과 Ru 및 산소로 이루어지는 제2 바닥층을 순차적으로 적층하여 형성하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법.And the bottom layer is formed by sequentially stacking a first bottom layer made of Ru and a second bottom layer made of Ru and oxygen. 제23 항에 있어서,The method of claim 23, wherein 상기 제2 바닥층은 반응성 스퍼터링 방법으로 Ru 타겟과 상온에서 산소가스를 0.1% 내지 5% 주입하여 형성하는 것을 특징으로 하는 수직자기 기록매체 제조방법.The second bottom layer is a vertical magnetic recording medium manufacturing method, characterized in that formed by injecting 0.1% to 5% oxygen gas at room temperature with a Ru target by a reactive sputtering method.
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