KR20090021095A - Vapor deposition mask-attached sheet, and manufacturing method of vapor deposition mask device and vapor deposition mask-attached sheet - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 증착 마스크에 이용되는 증착 마스크 부착 시트에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 증착 마스크 부착 시트로 증착 마스크를 구비한 증착 마스크 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 증착 마스크에 이용되는 증착 마스크 부착 시트를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition mask attachment sheet used for a deposition mask. The present invention also relates to a method of manufacturing a deposition mask apparatus having a deposition mask as a sheet with a deposition mask. Moreover, this invention relates to the method of manufacturing the deposition mask attachment sheet used for a deposition mask.
종래, 원하는 패턴으로 배열된 구멍을 포함하는 증착용 마스크를 이용하여, 원하는 패턴으로 박막을 형성하는 방법이 알려져 있다. 그리고 오늘날에 있어서는, 예를 들어 유기 EL 표시 장치의 제조시에 있어서 유기 재료를 기판 상에 증착하는 경우 등, 증착에 의해 매우 높은 해상도의 패터닝을 행하는 것이 강하게 요망되고 있다.DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the method of forming a thin film in a desired pattern using the vapor deposition mask containing the hole arrange | positioned in a desired pattern is known. And today, it is strongly desired to perform patterning of very high resolution by vapor deposition, for example, in the case of depositing an organic material on a substrate in the manufacture of an organic EL display device.
또한, 이러한 증착용 마스크는 일반적으로 포토리소그래피 기술을 이용한 에칭에 의해 금속판에 구멍을 형성함으로써 제조될 수 있다(예를 들어, JP 2004- 39319A). 또한, 에칭에 의해 금속판에 구멍을 형성하는 경우, 금속판의 양쪽 측의 면으로부터 에칭하는 방법과, 금속판의 한쪽 측의 면으로부터만 에칭하는 방법이 있다.In addition, such a deposition mask can generally be manufactured by forming a hole in a metal plate by etching using photolithography technique (for example, JP 2004-39319A). Moreover, when forming a hole in a metal plate by etching, there exists a method of etching from the surface of both sides of a metal plate, and the method of only etching from the surface of one side of a metal plate.
그런데, 매우 높은 해상도의 패터닝을 행하기 위해 미세한 구멍이 정밀도 좋게 형성된 증착 마스크를 취급하는 경우, 예를 들어 증착 마스크를 반송하는 경우 증착 마스크를 파손해 버릴 우려가 있다. 특히, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때에 예를 들어 유기 발광 재료를 원하는 패턴으로 유리 기판 상에 패터닝하기 위해 이용되는 증착 마스크에 있어서는, 동일 방향으로 가늘고 길게 연장되는 복수의 구멍이 짧은 피치로 나란히 배치되어 있는 경우가 있다. 그리고 이러한 증착 마스크를 취급하는 경우, 증착 마스크에 작용하는 힘에 의해 증착 마스크의 구멍과 구멍 사이가 절단되어 버리거나, 구멍과 구멍 사이를 선 형상으로 연장되는 부분끼리가 휘감기는 것과 같은 문제가 용이하게 발생해 버린다.By the way, when handling the vapor deposition mask in which the minute hole was formed with high precision for patterning of very high resolution, when carrying a vapor deposition mask, for example, there exists a possibility that a vapor deposition mask may be damaged. In particular, in the deposition mask used for patterning an organic light emitting material on a glass substrate in a desired pattern when manufacturing an organic EL display device, a plurality of holes elongated in the same direction are arranged side by side at a short pitch. There may be. In the case of handling such a deposition mask, problems such as cutting off the hole between the hole and the hole of the deposition mask by the force acting on the deposition mask, or winding the portions extending in a linear shape between the hole and the hole easily. It happens.
또한, 에칭에 의해 제작된 증착 마스크를 이용한 경우, 증착 마스크가 파손되어 있지 않아도 매우 높은 해상도의 패턴으로의 증착을 정밀도 좋게 행할 수 없다고 하는 문제가 있다. 이 문제의 원인에 대해 본건 발명자가 조사 연구를 행한 바, 이하의 것이 확인되었다.Moreover, when the vapor deposition mask produced by the etching is used, there exists a problem that vapor deposition to a pattern of very high resolution cannot be performed with high precision, even if a vapor deposition mask is not damaged. The inventors of the present invention conducted a study on the cause of this problem and confirmed the following.
포토리소그래피 기술을 이용한 에칭에 있어서는, 금속판 중 레지스트막으로 덮여 있지 않은 영역으로부터 침식이 개시된다. 그 후, 침식은 금속판의 두께 방향으로만 진행되는 것은 아니며, 금속판의 판면을 따른 방향으로도 진행된다. 따라서, 에칭에 의해 끝이 가는 구멍이 형성되어 간다. 이로 인해, 금속판(2)의 양쪽 측의 면으로부터 에칭을 행한 경우, 도12에 도시하는 바와 같이 금속판(2)의 두 께 방향의 단부 이외에 있어서 구멍(2a) 내에 가장 단면적(개방 구멍 면적)이 작아지는 돌출부(3)가 형성되게 된다. 그리고 이러한 증착 마스크(1)를 이용하여 증착을 행한 경우, 기판(4) 중 돌출부(3)의 이면측에 대응하는 영역에 성막되는 증착막(5)의 막 두께는 안정되지 않는다. 이 결과, 증착 패턴의 모서리부가 희미해져 버린다(증착 패턴의 윤곽이 확실하지 않음). 또한 애당초, 구멍 내에 형성되는 돌출부의 위치나 단면 형상을 제어하는 것 자체가 곤란하다. 이상의 점으로부터, 금속판을 양쪽 측의 면으로부터 에칭한 경우, 매우 높은 해상도의 패턴으로의 증착을 정밀도 좋게 행할 수 없다.In etching using a photolithography technique, erosion is started from a region of the metal plate not covered with a resist film. Thereafter, erosion does not proceed only in the thickness direction of the metal plate, but also in the direction along the plate surface of the metal plate. Therefore, a thin hole is formed by etching. For this reason, when etching is performed from the surface of both sides of the
한편, 금속판을 상방측의 면으로부터만 에칭 처리한 경우, 침식에 의해 형성된 끝이 가는 구멍에, 이미 침식에 이용되어 침식 능력이 낮아진 에칭액이 잔류한다. 그 후, 금속판의 구멍이 하방측의 면에 도달하였을 때, 그때까지 구멍 내에 잔류하고 있었던 에칭액이 하방의 면으로부터 유출되어, 침식 능력이 높은 후레시한 에칭액이 형성된 구멍 내로 유입된다. 이때, 단면적(개방 구멍 면적)이 작아지는 구멍 내의 하방측의 영역에 있어서 액압이 높아져, 구멍 내의 하방측의 영역이 후레시한 에칭액에 의해 심하게 침식된다. 이 결과, 금속판의 양측으로부터 에칭한 경우와 마찬가지로 구멍 내에 돌출부가 형성되어 버린다.On the other hand, in the case where the metal plate is etched only from the upper surface side, the etching liquid, which has already been used for erosion and has low erosion capability, remains in the thin hole formed by erosion. Then, when the hole of a metal plate reaches the surface of the lower side, the etching liquid which remained in the hole up to that time flows out from the lower surface, and flows into the hole in which the fresh etching liquid with high erosion ability was formed. At this time, the liquid pressure increases in the region on the lower side in the hole where the cross-sectional area (opening hole area) becomes small, and the region on the lower side in the hole is eroded badly by the fresh etching solution. As a result, protrusions are formed in the holes as in the case of etching from both sides of the metal plate.
또한, 레지스트막(7)을 통해 금속판(6)을 하방측의 면으로부터만 에칭한 경우, 도13에 도시하는 바와 같이 침식에 의해 형성된 끝이 가는 구멍(6a)이 금속판(6)을 관통하면, 상측면의 구멍 주위에 에칭액(8)이 잔류하는 경우가 있다. 결과적으로, 잔류한 에칭액에 의해 금속판의 상방측의 면으로부터도 침식이 진행되어 금속판의 양측으로부터 에칭한 경우와 마찬가지로 구멍 내에 돌출부가 형성되어 버린다.In addition, when the
이들의 점으로부터, 금속판을 한쪽 측의 면으로부터만 에칭한 경우도, 증착 패턴의 모서리부가 희미해져 버린다(증착 패턴의 윤곽이 확실하기 않음). 또한 애당초, 금속판을 한쪽의 면측으로부터 에칭하는 경우, 구멍이 관통되어 에칭액이 유입되기 시작할 때에 발생하는 압력에 의해 구멍의 단면 형상이 뭉개져 버리는 경우가 있다. 그리고 이 경우, 구멍을 원하는 형상으로 정밀도 좋게 형성하는 것 자체가 곤란해진다. 이 현상은, 상술한 높은 해상도의 패터닝을 행하기 위한 증착 마스크에 있어서 보다 현저해진다. 이상의 점으로부터, 금속판을 한쪽 측의 면으로부터만 에칭한 경우도 매우 높은 해상도의 패턴으로의 증착을 정밀도 좋게 행할 수 없다.From these points, even when the metal plate is etched only from one side of the surface, the edge of the deposition pattern is blurred (the outline of the deposition pattern is not sure). In the beginning, when etching a metal plate from one surface side, the cross-sectional shape of a hole may be crushed by the pressure which arises when a hole penetrates and an etching liquid starts to flow in. In this case, it is difficult to form the hole with a desired shape with high accuracy. This phenomenon becomes more remarkable in the deposition mask for performing the high resolution patterning described above. In view of the above, even in the case where the metal plate is etched only from one side surface, deposition into a pattern having a very high resolution cannot be performed with high accuracy.
그리고 본 발명은, 이들의 점을 고려하여 이루어진 것이며, 매우 높은 해상도의 패터닝을 행하는 것을 가능하게 하는 증착 마스크를 포함하여, 취급 중에 증착 마스크를 파손해 버리는 것을 억제할 수 있는 증착 마스크 부착 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention has been made in consideration of these points, and provides a sheet with a deposition mask capable of suppressing breakage of the deposition mask during handling, including a deposition mask that enables patterning of very high resolution. It aims to do it.
또한, 본 발명은 매우 높은 해상도의 패터닝을 행하는 것을 가능하게 하는 증착 마스크를 포함하는 증착 마스크 부착 시트로, 증착 마스크를 파손해 버리는 일 없이 증착 마스크를 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the method of manufacturing a deposition mask, without damaging a deposition mask with the deposition mask attachment sheet containing a deposition mask which makes it possible to perform patterning of very high resolution.
또한, 본 발명은 매우 높은 해상도의 패터닝을 행하는 것을 가능하게 하는 증착 마스크를 포함하여, 취급 중에 증착 마스크를 파손해 버리는 것을 억제할 수 있는 증착 마스크 부착 시트를 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Moreover, an object of this invention is to provide the method of manufacturing the sheet | seat with a deposition mask which can suppress that a deposition mask is damaged during handling, including the deposition mask which enables patterning of very high resolution. .
본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트는 수지제 시트와, 상기 수지제 시트와 적층된 금속제 시트이며, 복수의 구멍이 형성된 금속제 시트를 구비하고, 상기 금속제 시트는 상기 수지제 시트와 분리된 후에 증착 마스크로서 이용되도록 이루어지는 것을 특징으로 한다.The sheet with a deposition mask according to the present invention is a resin sheet and a metal sheet laminated with the resin sheet, and includes a metal sheet having a plurality of holes formed therein, wherein the metal sheet is separated from the resin sheet and then deposited mask. It is characterized in that it is made to be used as.
본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 금속제 시트의 상기 수지제 시트에 대면하지 않는 측의 면으로부터 상기 금속제 시트의 상기 수지제 시트에 대면하는 측의 면을 향해, 상기 금속제 시트에 형성된 구멍의 단면적은 작아져 가도록 해도 좋다. 이러한 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 구멍은 상기 금속제 시트와 수지제 시트가 적층된 상태에서 상기 금속제 시트를 에칭함으로써 형성되도록 해도 좋다.In the sheet with a vapor deposition mask which concerns on this invention, the hole formed in the said metal sheet toward the surface of the said metal sheet facing the said resin sheet of the said metal sheet from the surface which does not face the said resin sheet. The cross sectional area may be reduced. In such a deposition masked sheet, the hole may be formed by etching the metal sheet in a state where the metal sheet and the resin sheet are laminated.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트가 상기 금속제 시트와 고정된 프레임을 더 구비하도록 해도 좋다.The deposition masking sheet according to the present invention may further include a frame fixed to the metal sheet.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 수지제 시트의 상기 금속제 시트에 대한 접합력은 상기 수지제 시트에 UV광을 조사함으로써 저하되도록 되어 있어도 좋다. 이러한 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 수지제 시트는 기재(基材) 시트와, 상기 기재 시트와 상기 금속제 시트를 접합하는 UV 박리층을 갖고, 상기 UV 박리층의 접합력은 UV광이 조사되면 저하되도록 되어 있어도 좋다.Moreover, in the sheet | seat with a vapor deposition mask which concerns on this invention, the bonding force with respect to the said metal sheet of the said resin sheet may be reduced by irradiating UV light to the said resin sheet. In such a deposition masked sheet, the resin sheet has a base sheet and a UV peeling layer for bonding the base sheet and the metal sheet, and the bonding force of the UV peeling layer is lowered when UV light is irradiated. It may be possible.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 복수의 구멍은 일방향을 따라 나란히 배열되고, 각 구멍은 상기 일방향에 직교하는 다른 방향을 따라 연장되어 있도록 해도 좋다.In the deposition masking sheet according to the present invention, the plurality of holes may be arranged side by side in one direction, and each hole may extend in another direction orthogonal to the one direction.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 금속제 시트는 소정의 패턴으로 복수의 구멍이 배치된 복수의 유공(有孔) 영역과, 상기 유공 영역 사이에 배치된 무공(無孔) 영역을 포함하도록 해도 좋다.In the sheet with a deposition mask according to the present invention, the metal sheet includes a plurality of hole regions in which a plurality of holes are arranged in a predetermined pattern, and a non-porous region disposed between the hole regions. It may be included.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 금속제 시트의 시트면에 직교하는 단면에 있어서, 상기 금속제 시트의 상기 수지제 시트에 대면하지 않는 측에 있어서의 상기 구멍의 단부 및 상기 금속제 시트의 상기 수지제 시트에 대면하는 측에 있어서의 상기 구멍의 단부를 잇는 직선과, 상기 금속제 시트의 상기 수지제 시트에 대면하는 면에 의해 이루어지는 각도가 60°이하이도록 해도 좋다.Moreover, in the sheet | seat with a vapor deposition mask which concerns on this invention, in the cross section orthogonal to the sheet surface of the said metal sheet, the edge part of the said hole and the said metal sheet in the side which does not face the said resin sheet of the said metal sheet The angle formed by a straight line connecting the end of the hole on the side facing the resin sheet of the resin sheet and a surface facing the resin sheet of the metal sheet may be 60 ° or less.
본 발명에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법은, 상술한 증착 마스크 부착 시트로부터 증착 마스크 장치를 제조하는 방법이며, 상기 수지제 시트를 상기 금속제 시트로부터 분리시켜 상기 수지제 시트를 상기 증착 마스크 부착 시트로부터 제거하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of the vapor deposition mask apparatus which concerns on this invention is a method of manufacturing a vapor deposition mask apparatus from the above-mentioned vapor deposition mask sheet, The said resin sheet is isolate | separated from the said metal sheet, and the said resin sheet is removed from the said vapor deposition mask sheet | seat. It is characterized by including the step of removing.
본 발명에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 수지제 시트의 상기 금속제 시트에 대한 접합력은 상기 수지제 시트에 UV광을 조사함으로써 저하되도록 되어 있고, 상기 수지제 시트를 제거하는 공정에 있어서 상기 수지제 시트에 UV광을 조사하여 상기 금속제 시트와 상기 수지제 시트를 분리시켜도 좋다.In the manufacturing method of the vapor deposition mask apparatus which concerns on this invention, the bonding force with respect to the said metal sheet of the said resin sheet is made to fall by irradiating a UV light to the said resin sheet, and in the process of removing the said resin sheet The resin sheet may be irradiated with UV light to separate the metal sheet and the resin sheet.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 금속제 시트에 형성된 복수의 구멍은 일방향을 따라 나란히 배열되고, 각 구멍은 상기 일방향에 직교하는 다른 방향을 따라 연장되어 있고, 상기 수지제 시트를 제거하는 공정에 있어서, 상기 다른 방향을 따라 상기 금속제 시트와 상기 수지제 시트가 분리되어 가도록 해도 좋다.Moreover, in the manufacturing method of the deposition mask apparatus which concerns on this invention, the some hole formed in the said metal sheet is arrange | positioned side by side along each direction, each hole extends along the other direction orthogonal to the said one direction, The said resin In the step of removing the sheet, the metal sheet and the resin sheet may be separated along the other direction.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법이, 상기 금속제 시트에 상기 프레임을 장착하는 공정을 더 구비하도록 해도 좋다. 금속제 시트에 상기 프레임을 장착하는 공정은 수지제 시트를 제거하는 공정 전에 행해져도 좋고, 수지제 시트를 제거하는 공정 후에 행해지도록 해도 좋다.Moreover, the manufacturing method of the vapor deposition mask apparatus which concerns on this invention may further be provided with the process of attaching the said frame to the said metal sheet. The step of attaching the frame to the metal sheet may be performed before the step of removing the resin sheet, or may be performed after the step of removing the resin sheet.
본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트는, 상술한 증착 마스크 부착 시트를 제조하는 방법이며, 수지제 시트와, 상기 수지제 시트 상에 적층된 금속제 시트를 갖는 적층체를 공급하는 공정과, 공급되는 적층체를 에칭하여 금속제 시트에 다수의 구멍을 형성하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.The sheet with a vapor deposition mask which concerns on this invention is a method of manufacturing the sheet with a vapor deposition mask mentioned above, The process of supplying the laminated body which has a resin sheet and the metal sheet laminated | stacked on the said resin sheet, and the lamination supplied And etching the sieve to form a plurality of holes in the metal sheet.
본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트의 상기 적층체를 에칭하는 공정에 있어서, 일방향을 따라 나란히 배열된 다수의 구멍이며, 각각이 상기 일방향에 직교하는 다른 방향을 따라 연장되는 다수의 구멍이 형성되도록 해도 좋다.In the process of etching the laminate of the deposition mask-bearing sheet according to the present invention, a plurality of holes are arranged side by side in one direction, so that a plurality of holes each extending in a different direction orthogonal to the one direction may be formed. good.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트에 있어서, 상기 적층체는 상기 다른 방향을 따라 공급되도록 해도 좋다.Moreover, in the sheet | seat with a deposition mask which concerns on this invention, the said laminated body may be supplied along the said other direction.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트의 상기 적층체를 에칭하는 공정에 있어서, 소정의 패턴으로 복수의 구멍이 배치된 유공 구멍 영역이 금속제 시 트에 복수 형성되도록 해도 좋다.In the step of etching the laminate of the sheet with a deposition mask according to the present invention, a plurality of hole hole regions in which a plurality of holes are arranged in a predetermined pattern may be formed in the metal sheet.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트의 상기 적층체를 공급하는 공정에 있어서, UV광이 조사되면 상기 금속제 시트에 대한 접합력이 저하되도록 이루어진 수지제 시트를 포함하는 적층체가 공급되도록 해도 좋다.Moreover, in the process of supplying the said laminated body of the sheet | seat with a vapor deposition mask which concerns on this invention, when UV light is irradiated, you may make it supply the laminated body containing the resin sheet comprised so that the bonding force to the said metal sheet might fall.
또한, 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트의 상기 적층체를 공급하는 공정에 있어서, 상기 적층체를 권취한 권취체를 되감아 띠 형상으로 연장되는 적층체를 공급하도록 해도 좋다.Moreover, in the process of supplying the said laminated body of the sheet | seat with a vapor deposition mask which concerns on this invention, you may make it rewind the winding body which wound the said laminated body, and supply the laminated body extended in strip shape.
본 발명에 따르면, 한쪽 면으로부터 다른 쪽 면을 향해 단면적이 점점 작아져 가는 동시에 다른 쪽 면에 있어서의 형상이 고정밀도로 형성된 증착 마스크를 포함한 증착 마스크 부착 시트가 얻어진다. 그리고 증착 마스크 부착 시트를 취급하는 동안, 예를 들어 증착 마스크 부착 시트를 반송하는 동안, 증착 마스크를 이루게 되는 다수의 구멍이 형성된 금속제 시트는 수지제 시트에 의해 보호된다. 따라서, 반송 등의 취급 중에 증착 마스크를 이루게 되는 금속제 시트를 파손해 버리는 것을 방지할 수 있다.According to this invention, the sheet | seat with a deposition mask containing the deposition mask in which the cross-sectional area becomes smaller gradually from one side to the other surface, and the shape in the other surface was formed with high precision is obtained. And while handling the vapor deposition mask sheet | seat, for example, while conveying the vapor deposition mask sheet | seat, the metal sheet | seat with many holes which form a vapor deposition mask is protected by the resin sheet. Therefore, it can prevent that the metal sheet which forms a vapor deposition mask during handling of conveyance etc. is damaged.
이하, 도1 내지 도11을 참조하여 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크 부착 시트의 제조 방법의 일 실시 형태에 대해 설명한다. 여기서 도1 내지 도11은 본 발명의 일 실시 형태를 설명하기 위한 도면이다. 또한, 이하의 실시 형태에서는 유기 EL 디스플레이 장치를 제조할 때에 유기 발광 재료를 원하는 패턴으로 유리 기판 상에 패터닝하기 위해 이용되는 증착 마스크(증착용 메탈 마스크)에 관한 예를 들어, 증착 마스크 부착 시트, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크 부착 시트의 제조 방법을 설명한다. 단, 이러한 예에 한정되지 않고 다양한 용도에 이용되는 증착 마스크(증착용 메탈 마스크)에 대해 본 발명을 적용할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, with reference to FIGS. 1-11, one Embodiment of the deposition mask attachment sheet, the manufacturing method of a deposition mask apparatus, and the manufacturing method of a deposition mask attachment sheet which concern on this invention is described. 1 to 11 are views for explaining an embodiment of the present invention. Moreover, in the following embodiment, when manufacturing an organic electroluminescent display apparatus, the sheet | seat with a deposition mask, for example regarding a vapor deposition mask (deposition metal mask) used for patterning an organic light emitting material on a glass substrate in a desired pattern, The manufacturing method of a vapor deposition mask apparatus and the manufacturing method of the sheet | seat with a vapor deposition mask are demonstrated. However, the present invention can be applied to a deposition mask (deposition metal mask) used for various applications without being limited to these examples.
우선, 증착 마스크 부착 시트 및 이 증착 마스크 부착 시트로부터 얻어지는 증착 마스크 및 증착 마스크 장치의 일례에 대해, 주로 도1 내지 도6을 참조하여 설명한다. 여기서 도1은 증착 마스크 부착 시트를 수지제 시트측으로부터 도시하는 평면도이고, 도2는 도1의 II-II선을 따른 단면도이고, 도3은 증착 마스크 부착 시트를 금속제 시트측으로부터 도시하는 부분 평면도이고, 도4는 도1에 도시된 증착 마스크 부착 시트로 제조될 수 있는 증착 마스크 및 증착 마스크 장치의 일례를 도시하는 사시도이고, 도5는 증착 마스크 및 증착 마스크 장치의 사용 방법을 설명하기 위한 도면이다.First, an example of the vapor deposition mask and vapor deposition mask apparatus obtained from the vapor deposition mask attachment sheet and this vapor deposition mask attachment sheet is mainly demonstrated with reference to FIGS. FIG. 1 is a plan view showing the sheet with a deposition mask from the resin sheet side, FIG. 2 is a cross-sectional view along the line II-II of FIG. 1, and FIG. 3 is a partial plan view showing the sheet with a deposition mask from the metal sheet side. 4 is a perspective view showing an example of a deposition mask and a deposition mask apparatus that can be manufactured with the deposition mask attachment sheet shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a view for explaining a method of using the deposition mask and the deposition mask apparatus. to be.
도1 내지 도4에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 부착 시트(60)는 수지제 시트(32)와, 수지제 시트(32)에 적층된 금속제 시트(34)를 구비하고 있다. 금속제 시트(34)는 직사각 형상의 금속제 시트로 이루어지고, 복수의 구멍(25)을 형성하고 있다. 또한, 금속제 시트(34)는 수지제 시트(32)로부터 분리된 후에, 증착 마스크(20)를 이루게 된다.As shown in FIGS. 1 to 4, the deposition mask-attached
도1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서 증착 마스크(20)를 이루게 되는 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)는, 평면에서 보아 대략 사 각형 형상, 더욱 정확하게는 평면에서 보아 대략 직사각 형상의 윤곽을 갖고 있다. 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)는 구멍(25)이 형성된 복수의 유공 영역(22)과, 구멍(25)이 형성되어 있지 않고 유공 영역(22)의 주위를 둘러싸는 영역을 차지하는 무공 영역(23)을 갖고 있다. 도1에 도시하는 바와 같이, 각 유공 영역(22)은 평면에서 보아 대략 사각형 형상, 더욱 정확하게는 평면에서 보아 대략 직사각 형상의 윤곽을 갖고 있다.As shown in Fig. 1, the
본 실시 형태에 있어서, 복수의 유공 영역(22)은 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)의 한 변과 평행한 일방향을 따라 소정의 간격을 두고 배치되는 동시에, 상기 일방향과 직교하는 다른 방향을 따라 소정의 간격을 두고 배치되어 있다.In the present embodiment, the plurality of
또한, 도1 및 도3에 도시하는 바와 같이, 각 유공 영역(22)에 마련된 복수의 구멍(25)은 당해 유공 영역(22)에 있어서 전술한 일방향을 따라 등간격을 두고 나란히 배치되어 있다. 또한, 각 구멍(25)은 상기 일방향에 직교하는 다른 방향과 평행하게, 유공 영역(22)의 일단부로부터 타단부까지 가늘고 길게 연장되어 있다. 또한, 도2에 도시하는 바와 같이 금속제 시트(34)의 한쪽 면(34a)으로부터 다른 쪽 면(34b)을 향해, 금속제 시트(34)의 시트면에 따른 단면에 있어서의 각 구멍(25)의 단면적이 점차 작아져 가도록 되어 있다.1 and 3, the plurality of
이후에 상세하게 서술하는 바와 같이, 증착 마스크 부착 시트(60)로 증착 마스크 장치(10)가 제작된다. 특히, 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)가 수지제 시트(32)와 분리된 후에, 증착 마스크 장치(10)의 증착 마스크(20)로서 이용되게 된다.As described later in detail, the
여기서, 도4 내지 도6을 참조하여 증착 마스크(20) 및 증착 마스크 장치(10)를 이용하여 증착을 행하는 방법에 대해 설명한다. 도4에 도시하는 예에 있어서, 증착 마스크 장치(10)는 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)로 이루어지는 증착 마스크(20)와, 직사각 형상의 증착 마스크(20)의 주위 모서리부에 장착된 프레임(15)을 구비하고 있다. 증착 마스크 장치(10)의 프레임(15)은, 증착 마스크(20)가 휘어져 버리는 일이 없도록 증착 마스크를 붙인 상태로 보유 지지한다. 증착 마스크(20)와 프레임(15)은, 예를 들어 스폿 용접에 의해 서로에 대해 고정되어 있다.4 to 6, a method of performing deposition using the
증착 마스크 장치(10)는, 도5 및 도6에 도시하는 바와 같이 증착 마스크(20)가 유리 기판(42)에 대면하도록 하여 증착 장치(40) 내에 지지된다. 증착 장치(40) 내에는 이 증착 마스크 장치(10)를 사이에 둔 유리 기판(42)의 하방에, 증착 재료(일례로서, 유기 발광 재료)(48)를 수용하는 도가니(44)와, 도가니(44)를 가열하는 히터(46)가 배치되어 있다. 도가니(44) 내의 증착 재료(48)는 히터(46)로부터의 가열에 의해 기화 또는 승화하여 유리 기판(42)의 표면에 부착되게 된다. 상술한 바와 같이, 증착 마스크(20)에는 다수의 구멍(25)이 형성되어 있고, 증착 재료(48)는 이 구멍(25)을 통해 유리 기판(42)에 부착된다. 이 결과, 증착 마스크(20)의 구멍(25)의 위치에 대응한 원하는 패턴으로 증착 재료(48)가 유리 기판(42)의 표면에 성막된다.The vapor
또한, 본 실시 형태에 있어서 하나의 유공 영역(22)이 하나의 유기 EL 디스 플레이 장치에 대응하도록 되어 있다. 즉, 도1에 도시된 증착 마스크 장치(10)[증착 마스크(20)]에 따르면, 다면 부착 증착이 가능하게 되어 있다.In addition, in this embodiment, one
그런데, 도6에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는 증착 장치(40)에 수용된 경우, 증착 마스크(20)[금속제 시트(34)]의 한쪽 면[20a(34a)]이 증착 재료(48)를 보유 지지한 도가니(44)에 대면하고, 증착 마스크(20)[금속제 시트(34)]의 다른 쪽 면[20b(34b)]이 유리 기판(42)에 대면한다. 즉, 도6에 도시하는 바와 같이 증착 재료(48)는 점차 단면적이 작아져 가는 구멍(25)을 통과하여 유리 기판(42)에 부착된다. 도6에 도시하는 바와 같이, 증착 재료(48)는 도가니(44)로부터 유리 기판(42)을 향해 직선적으로 이동하지 않고, 유리 기판(42)의 판면에 대해 비스듬히 이동하는 경우도 있다. 이때, 구멍(25)의 단면 형상이 도6의 점선으로 나타내는 윤곽을 갖고 있었다고 하면, 비스듬히 이동하는 증착 재료(48)는 증착 마스크(20)에 부착되어 유리 기판(42)까지 도달하지 않는다.By the way, as shown in FIG. 6, when the vapor
즉, 증착 재료의 이용 효율[성막 효율 : 유리 기판(42)에 부착되는 비율]을 향상시켜 고가의 증착 재료를 절약하기 위해서는, 증착 마스크(20)[금속제 시트(34)]의 시트면에 직교하는 단면(도6의 단면)에 있어서, 한쪽 면[20a(34a)]측의 구멍(25)의 단부 및 다른 쪽 면[20b(34b)]측의 구멍(25)의 단부를 잇는 직선(L)과, 다른 쪽 면[20b(34b)]에 의해 이루어지는 각도(θ)가 작은 쪽이 좋다. 단, 유리 기판(42)에의 수선(垂線)에 대해 큰 각도를 이루도록 하여 유리 기판(42)을 향해 이동하는 증착 재료의 비율은 적다. 그리고 전술한 직선(L)이 다른 쪽 면(20b)에 대해 이루는 각도(θ)가 60°이하로 되어 있으면, 증착 재료의 성막 효율은 충분한 값으로 된다. 또한, 직선(L)이 다른 쪽의 면(20b)에 대해 이루는 각도(θ)를 30°미만으로 하고자 하면 구멍(25)의 형성이 곤란해지는 한편, 그 곤란성에 상응한 증착 재료의 성막 효율의 향상은 얻을 수 없다. 즉, 직선(L)이 다른 쪽 면(20b)에 대해 이루는 각도(θ)는 30°이상 60°이하로 하는 것이 바람직하다.That is, in order to improve the utilization efficiency (deposition efficiency: the rate of adhesion to the glass substrate 42) of a vapor deposition material, and to save expensive vapor deposition material, it is orthogonal to the sheet surface of the vapor deposition mask 20 (metal sheet 34). 6 is a straight line L connecting the end of the
또한, 각도(θ)를 작게 해 가면, 도6에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이 인접한 구멍(25)의 벽면끼리가 접속되게 된다. 그러나 증착 마스크(20)(금속제 시트)의 강도를 고려하면, 인접하는 구멍(25)의 벽면끼리는 접속되어 있지 않은 것이 바람직하고, 한쪽 면(20a)에 있어서 인접하는 구멍(25)의 사이에 5 ㎛ 이상의 평탄한 면이 형성되어 있는 것이 더욱 바람직하다.If the angle θ is made smaller, the wall surfaces of the
즉, 직선(L)이 다른 쪽 면(20b)에 대해 이루는 각도(θ)는 한쪽 면(20a)에 있어서 구멍(25)의 사이에 5 ㎛ 이상의 평탄한 면이 형성되게 되는 각도 이상이며, 60도 이하인 것이 바람직하다.That is, the angle θ formed by the straight line L with respect to the
그런데, 상술한 바와 같이 본 실시 형태에서는 구멍(25)이 각 유공 영역(22)에 있어서 등간격으로 배치되어 있다. 일례로서, 증착 마스크 부착 시트(60)가 휴대 전화나 디지털 카메라 등의 디스플레이[2 내지 3인치(5.08 내지 7.62 ㎝) 정도]를 제작하기 위한 증착 마스크(20)[증착 마스크 장치(10)]에 이용되는 경우 구멍(25)의 배열 피치(P)(도3 참조)는 84 ㎛(300 ppi) 이상 254 ㎛(100 ppi) 이하 정도로 할 수 있다. 또한, 컬러 표시를 행하고자 하는 경우에는 구멍(25)의 배열 방향(전술한 일방향)을 따라 증착 마스크(20)[증착 마스크 장치(10)]와 유리 기판(42)을 조금씩 상대 이동시키고, 적색용 유기 발광 재료, 녹색용 유기 발광 재료 및 청색용 유기 발광 재료를 차례로 증착시켜 가도 좋다. 또한, 증착 마스크 부착 시트(60)가 휴대 전화의 디스플레이를 제작하기 위한 증착 마스크(20)[증착 마스크 장치(10)]에 이용되는 경우, 각 구멍(25)의 배열 방향(상술한 일방향)을 따른 폭(슬릿 폭)(W)은 28 ㎛ 이상 84 ㎛ 이하 정도로 할 수 있다.By the way, as mentioned above, in this embodiment, the
또한, 증착 마스크 장치(10)는 고온 분위기로 되는 증착 장치(40)의 내부에 보유 지지된다. 따라서, 증착 마스크(20)를 이루게 되는 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(60) 및 증착 마스크 장치(60)에 이용되는 프레임(15)은 휨이나 열응력의 발생을 방지하기 위해, 열팽창율이 낮은 동일한 재료에 의해 제작되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 재료로서, 예를 들어 36％ Ni 인바재를 이용할 수 있다. 단, 이에 한정되지 않고 스테인리스, 구리, 철, 알루미늄으로 이루어지는 시트를 금속제 시트(34)로서 이용하는 것도 가능하다.In addition, the vapor
한편, 증착 마스크 부착 시트(60)의 수지제 시트(32)로서는, 예를 들어 50 ㎛ 내지 150 ㎛ 정도의 두께를 갖는 폴리에틸렌테레프탈레이트나 폴리프로필렌으로 이루어지는 시트를 이용할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, UV광이 조사되면 금속제 시트(34)에 대한 접합력이 저하되도록 이루어진 수지제 시트(32)가 이용되어 있다. 구체적으로는, 도2에 도시하는 바와 같이 수지제 시트(32)가 폴리에틸렌테레프탈레이트로 이루어지는 기재 시트(32a)와, 기재 시트(32a) 상에 적층되는 동시에 금속제 시트(34)와 대면하는 UV 박리층(32b)을 갖도록 할 수 있다. 여기서, UV 박리층(32b)이라 함은 당초는 접착력을 갖고 기재 시트(32a)와 금속제 시트(34)를 접착하지만, UV광이 조사되면 조사된 부분의 접착력이 저하되도록 되어 있는 층 이다. 예를 들어, UV광이 조사되면 조사된 부분이 경화되어 금속제 시트(34)에 대한 접합력이 저하되도록 되어 있다. 이러한 UV 박리층(32b)은, 예를 들어 아크릴계 UV 재박리형 접착제로 형성할 수 있다.In addition, as the
다음에, 이상과 같은 구성으로 이루어지는 증착 마스크 부착 시트(60)를 이용하여 증착 마스크 장치(10)를 제조하는 방법에 대해 주로 도7을 참조하여 설명한다.Next, a method of manufacturing the
도7에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서 증착 마스크 장치의 제조 방법은 수지제 시트(32)와 수지제 시트(32)에 적층된 구멍 형성된 금속제 시트(34)를 포함하는 증착 마스크 부착 시트(60)를 준비하는 공정과, 수지제 시트(32)를 금속제 시트(34)로부터 분리시켜 수지제 시트(32)를 증착 마스크 부착 시트(60)로부터 제거하는 공정과, 금속제 시트(34)를 프레임(15)에 장착하는 공정을 포함하고 있다. 각 공정에 대해, 이하에 있어서 더욱 상세하게 설명한다.As shown in FIG. 7, the manufacturing method of the vapor deposition mask apparatus in this embodiment includes the sheet | seat with a vapor deposition mask containing the
우선, 준비된 증착 마스크 부착 시트(60)가 제거 장치(제거 수단)(54)에 공급된다. 도7에 도시하는 예에 있어서, 증착 마스크 부착 시트(60)는 금속제 시트(34)가 하방에 위치하는 동시에 수지제 시트(32)가 상방에 위치하도록 하여 공급된다. 또한, 도7에 도시하는 바와 같이 본 실시 형태에 있어서의 제거 장치(54)는 UV광 조사 수단(55)을 갖고 있다. UV광 조사 수단(55)은 증착 마스크 부착 시트(60)의 이동 경로를 따라 설치되고, 증착 마스크 부착 시트(60)를 수지제 시트(32)측으로부터 덮는 셰이드(55a)와, 셰이드(55a) 내에 배치된 UV 광원(55b)을 갖고 있다. 그리고 반송되는 증착 마스크 부착 시트(60)는 수지제 시트(32)측으로 부터 UV광이 조사되고, 수지제 시트(32)의 기재 시트(32a)를 투과하는 UV광에 의해 기재 시트(32a)와 금속제 시트(34)[증착 마스크(20)]를 접착하는 UV 박리층(32b)의 접착력이 대폭 약화된다. 이 결과, 증착 마스크 부착 시트(60)를 이루는 수지제 시트(32)와 금속제 시트(34)[증착 마스크(20)]가 분리 가능해진다. 그리고 도7에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 부착 시트(60)를 롤러(57)에 의해 안내하면서 수지제 시트(32)가 금속제 시트(34)로부터 서서히 박리되어 간다.First, the prepared deposition
또한, 수지제 시트(32)를 금속제 시트(34)로부터 박리하는 방향이, 금속제 시트(34)에 형성된 구멍(25)이 연장되는 방향(상술한 다른 방향)과 평행한 것이 바람직하다. 이러한 방향을 따라 수지제 시트(32)를 금속제 시트(34)로부터 분리시키는 경우, 금속제 시트(34)의 구멍(25)과 구멍(25) 사이가 절단되어 버리거나, 구멍(25)과 구멍(25) 사이를 선 형상으로 연장되는 부분이 휘감기는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.Moreover, it is preferable that the direction which peels the
이와 같이 하여, 수지제 시트(32)로부터 분리된 금속제 시트(34)로부터 이루어지는 증착 마스크(20)가 얻어진다. 그 후, 얻어진 증착 마스크(20)에 대해 프레임(15)이 고정되어 간다. 도7에 도시하는 예에 있어서는, 스폿 용접 장치(59)에 의해 프레임(15)이 증착 마스크(20)에 대해 고정된다.In this way, the
이상과 같이 하여, 증착 마스크(20)와 증착 마스크(20)에 고정된 프레임(15)으로 이루어지는 증착 마스크 장치(10)가 얻어진다.As described above, the vapor
또한, 이상과 같은 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 증착 마스크 부착 시트(60) 및 증착 마스크(20)[금속제 시트(34)]의 반송 방향이, 금속제 시 트(34)에 형성된 구멍(25)이 연장되는 방향(상술한 다른 방향)과 평행한 것이 바람직하다. 이러한 방향을 따라 증착 마스크 부착 시트(60) 및 증착 마스크(20)[금속제 시트(34)]를 반송하는 경우, 금속제 시트(34)의 구멍(25)과 구멍(25) 사이가 절단되어 버리거나, 구멍(25)과 구멍(25) 사이를 선 형상으로 연장되는 부분이 휘감기는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.Moreover, in the manufacturing method of the above-mentioned vapor deposition mask apparatus, the conveyance direction of the vapor
이상과 같은 방법에 따르면, 증착 마스크 부착 시트(60)로부터 증착 마스크 장치(10)를 매우 용이하게 제조할 수 있다. 또한, 수지제 시트(32)를 금속제 시트로부터 박리하는 방향 및 증착 마스크 부착 시트(60) 및 증착 마스크(20)[금속제 시트(34)]의 반송 방향을 금속제 시트(34)에 형성된 구멍(25)이 연장되는 방향(상술한 다른 방향)과 정렬됨으로써 금속제 시트(34)의 구멍(25)과 구멍(25) 사이가 절단되어 버리거나 구멍(25)과 구멍(25) 사이를 선 형상으로 연장되는 부분이 휘감기는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 즉, 일단 금속제 시트(34)에 형성된 미세한 구멍(25)의 형상을, 그 후의 취급 중에 있어서 손상시켜 버리는 등의 문제를 회피할 수 있다.According to the above method, the
다음에, 증착 마스크 부착 시트를 제조하는 방법에 대해 주로 도8 내지 도10을 참조하여 설명한다.Next, a method of manufacturing the sheet with a deposition mask is mainly described with reference to FIGS. 8 to 10.
도8에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 증착 마스크의 제조 방법은 수지제 시트(32)와 수지제 시트(32) 상에 적층된 금속제 시트(34)를 갖는 적층체(30)를 공급하는 공정과, 포토리소그래피 기술을 이용한 에칭을 적층체(30)의 금속제 시트(34)에 실시하여 금속제 시트(34)에 다수의 구멍(25)을 형성하는 공정 과, 에칭 공정의 후에 적층체(30)를 소정의 길이로 절단하는 공정을 포함하고 있다. 각 공정에 대해, 이하에 있어서 더욱 상세하게 설명한다.As shown in FIG. 8, the manufacturing method of the vapor deposition mask in this embodiment provides the
도8에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는 적층체(30)를 공급 코어(31)에 권취한 적층체의 권취체(29)가 준비된다. 그리고 이 공급 코어(31)가 회전하여 권취체(29)가 되감김으로써, 도8에 도시하는 바와 같이 띠 형상으로 연장되는 적층체(30)가 공급된다. 여기서, 적층체(30)는 금속제 시트(34)가 하방에 위치하는 동시에 수지제 시트(32)가 상방에 위치하도록 하여 공급된다. 이러한 권취체(29)는 저렴하게 입수 가능하고, 게다가 취급상 매우 적합하다.As shown in FIG. 8, in this embodiment, the winding
또한, 적층체(30)의 금속제 시트(34)는 구멍(25)이 형성되어 증착 마스크(20)를 이루게 된다. 따라서, 상술한 바와 같이 금속제 시트(34)는 예를 들어 36％ Ni 인바재로 이루어진다. 또한, 수지제 시트(32)는 상술한 바와 같이 예를 들어 50 ㎛ 내지 150 ㎛ 정도의 두께를 갖는 폴리에틸렌테레프탈레이트나 폴리프로필렌으로 이루어진다. 단, 금속제 시트(34)로부터 수지제 시트(32)를 용이하게 박리시킬 수 있도록 하기 위해서는, 상술한 바와 같이 UV광이 조사되면 금속제 시트(34)에 대한 접합력이 저하되도록 이루어진 수지제 시트(32)를 이용하는 것이 바람직하다.In the
공급된 적층체(30)는 에칭 장치(에칭 수단)(50)에 의해 에칭 처리가 실시된다. 구체적으로는, 우선 적층체(30)의 금속제 시트(34)의 면 상[도9의 지면(紙面)에 있어서의 하측의 면 상]에 감광성 레지스트 재료를 도포하여 금속제 시트(34) 상에 레지스트막(36)을 형성한다. 다음에, 레지스트막(36) 중 제거하고자 하는 영 역에 광을 투과시키지 않도록 한 유리건판(37, glass photographic plate)을 준비하고, 유리건판(37)을 레지스트막(36) 상에 배치한다.The supplied laminated
그 후, 도9에 도시하는 바와 같이 레지스트막(36)을 유리건판(37) 너머에 노광하고, 또한 레지스트막(36)을 현상한다. 이상과 같이 하여, 적층체(30)의 금속제 시트(34) 상에 레지스트 패턴(36a)이 형성된다.Then, as shown in FIG. 9, the resist
또한, 유리건판(37) 중 제거해야 할 레지스트막(36)에 대면하는 영역을 흑색으로 해 두고, 노광광으로서 가시광을 이용하도록 해도 좋다. 이 경우, 흑색 부분에서 가시광이 흡수됨으로써, 레지스트막(36)의 제거해야 할 영역에는 광이 입사하지 않아 레지스트막(36)이 금속제 시트(34) 상에 정착되지 않는다. 한편, 레지스트막(36)의 제거해서는 안 되는 영역에는 광이 입사하여, 당해 영역에 있어서의 레지스트막(36)이 금속제 시트(34) 상에 정착된다. 정착되어 있지 않은 레지스트막(36)은, 예를 들어 온수 세척에 의해 제거된다.In addition, the area | region facing the resist
다음에, 도10에 도시하는 바와 같이 금속제 시트(34) 상에 형성된 레지스트 패턴(36a)을 마스크로 하여, 적층체(30)를 에칭액(예를 들어, 염화제2철 용액)(38)으로 에칭한다. 본 실시 형태에 있어서, 에칭액(38)은 반송되는 적층체(30)의 하방에 배치된 에칭 장치(50)의 노즐(51)로부터 레지스트 패턴(36a) 너머에 금속제 시트(34)의 한쪽 면(34a)을 향해 분사된다. 이때, 도10에 점선으로 나타내는 바와 같이 금속제 시트(34) 중 레지스트 패턴(36a)에 의해 덮여 있지 않은 영역에서, 에칭액에 의한 침식이 개시된다. 그 후, 침식은 금속제 시트(34)의 두께 방향뿐만 아니라 금속제 시트(34)의 시트면을 따른 방향으로도 진행해 간다. 이상과 같이 하여, 에칭액에 의한 침식이 금속제 시트(34)의 한쪽 면(34a)으로부터 다른 쪽 면(34b)까지 진행하여 금속제 시트(34)를 관통하는 구멍(25)이 형성된다.Next, as shown in FIG. 10, using the resist
그 후, 적층체(30) 상의 레지스트 패턴(36a)을 제거하고, 또한 적층체(30)를 물 세척한다. 이와 같이 하여, 수지제 시트(32)와, 다수의 구멍(125)이 형성된 금속제 시트(34)로 이루어지는 증착 마스크 부착 시트(60)가 얻어진다.Thereafter, the resist
그런데, 수지제 시트(32)가 설치되어 있지 않았다고 하면, 상술한 바와 같이 금속제 시트(34)가 관통되어 구멍(25)이 형성된 후에, 금속제 시트(34)의 다른 쪽 면(34b)측에 에칭액이 체류해 버려 구멍(25)의 형상 및 크기가 안정되지 않는 것과 같은 문제가 발생할 수 있다. 그러나 본 실시 형태에 따르면, 금속제 시트(34)를 관통하는 구멍(25)이 형성되었다고 해도, 이 구멍(25)은 상방측이 수지제 시트(32)에 의해 덮여 있다. 따라서, 종래의 방법에 있어서 발생되어 있었던 문제를 확실하게 회피할 수 있다. 이 결과, 금속제 시트(34)는 한쪽 면(34a)으로부터만 침식이 진행되고, 금속제 시트(34)에 형성된 구멍(25)의 단면적은 한쪽 면[34a(20a)]으로부터 다른 쪽의 면[34b(20b)]을 향해 서서히 작아져 가게 된다. 또한, 원하는 개방 구멍 면적[평면에서 보아 구멍(25)의 면적]을 가진 구멍(25)을 정밀도 좋게 형성할 수 있다.By the way, if the
그 후, 이와 같이 하여 얻어진 증착 마스크 부착 시트(60)는 당해 증착 마스크 부착 시트(60)를 끼움 지지한 상태에서 회전하는 한 쌍의 반송 롤러(52, 52)에 의해 절단 장치(절단 수단)(53)로 반송된다. 또한, 이 반송 롤러(52, 52)의 회전에 의해 증착 마스크 부착 시트(60) 및 적층체(30)에 작용하는 텐션(인장력)을 통 해 상술한 공급 코어(31)가 회전되어, 권취체(29)로부터 적층체(30)가 공급되도록 되어 있다.Then, the vapor
또한, 본 실시 형태에 있어서는 금속제 시트(34)가 수지제 시트(32)에 의해 지지 및 보강되어 있다. 따라서, 적층체(30) 및 증착 마스크 부착 시트(60)의 반송시에, 구멍(25)과 구멍(25) 사이에 작용하는 응력에 의해 금속제 시트(34)의 구멍(25)과 구멍(25) 사이가 절단되어 버리거나, 구멍(25)과 구멍(25) 사이를 선 형상으로 연장되는 부분이 휘감기는 등의 문제를 각별히 억제할 수 있다. 이 결과, 에칭 공정에 있어서 금속제 시트(34)에 형성된 미세한 구멍(25)의 형상을 그 후에 손상시켜 버리는 등의 문제를 회피할 수 있다.In this embodiment, the
또한, 상술한 바와 같이 배열 방향과 직교하는 방향을 따라 가늘고 길게 연장되는 구멍(25)을 형성하는 경우, 구멍(25)이 연장되는 방향(상술한 다른 방향)과, 적층체(30)가 공급되는 방향[적층체 및 증착 마스크 부착 시트(60)가 반송되는 방향]이 거의 평행으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 금속제 시트(34)의 구멍(25)과 구멍(25) 사이가 절단되어 버리거나, 구멍(25)과 구멍(25) 사이를 선 형상으로 연장되는 부분이 휘감기는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.In addition, when forming the
이와 같이 하여 절단 장치(53)로 반송된 증착 마스크 부착 시트(60)는 금속제 시트(34)가 1매의 증착 마스크(20)의 길이와 동일한 길이를 갖도록 순차 절단되어 간다. 이상과 같이 하여 매엽(枚葉) 형상의 증착 마스크 부착 시트(60)가 순차 제작되어 간다.In this way, the
이상과 같이 본 실시 형태에 따르면, 증착 마스크(20)를 이루게 되는 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)는 수지제 시트(32)에 적층되고, 수지제 시트(32)에 의해 보호되어 있다. 따라서, 증착 마스크 부착 시트(60)를 취급할 때, 예를 들어 증착 마스크 부착 시트를 반송할 때에 증착 마스크 부착 시트(60) 중 금속제 시트(34)에 작용하는 텐션(인장력)을 현저하게 저하시켜, 금속제 시트(34)에 형성된 미세한 구멍(25)이 파손되어 버리는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the
또한, 수지제 시트(32) 상에 적층된 금속제 시트(34)에 대해 구멍(25)을 형성해 갈 수 있다. 따라서, 금속제 시트(34)를 한쪽 면(34a)측으로부터만 에칭하여 금속제 시트(34)를 관통하는 구멍(25)을 형성할 수 있다. 이 경우, 구멍(25)은 금속제 시트(34)를 관통하지만, 금속제 시트(34)의 다른 쪽 면(34b)측에 위치하는 구멍(25)의 단부는 수지제 시트(32)에 의해 덮여 있다. 즉, 구멍(25)은 적층체(30)를 관통하고 있지 않으므로 상술한 종래의 문제를 회피할 수 있다. 이에 의해, 한쪽 면[34a(20a)]으로부터 다른 쪽 면[34b(20b)]을 향해 점차 단면적이 작아져 가는 구멍(25)을 금속제 시트(34)에 형성할 수 있다. 또한, 높은 해상도의 패턴으로 구멍 개방된 증착 마스크(20)를 정밀도 좋게 제작할 수도 있다.Moreover, the
그리고 이 증착 마스크 부착 시트(60)로부터 수지제 시트(32)를 제거함으로써, 금속제 시트(34)로 이루어지는 증착 마스크(20)를 용이하게 제작할 수 있다. 이와 같이 하여 얻어진 증착 마스크(20) 및 이 증착 마스크(20)를 이용한 증착 마스크 장치(10)에 따르면, 높은 해상도의 패턴으로의 증착을 정밀도 좋게 행할 수 있다. 따라서, 이와 같이 하여 얻어진 증착 마스크(20) 및 증착 마스크 장치(10) 는 유기 EL 디스플레이 장치를 제조할 때에 예를 들어 유기 발광 재료를 원하는 패턴으로 유리 기판(42) 상에 패터닝하기 위해 이용되는 증착 마스크(증착용 메탈 마스크)에 매우 적합하다.By removing the
또한, 상술한 실시 형태에 관하여 본 발명의 요지의 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다. 이하, 변형예의 일례에 대해 설명한다.In addition, various changes are possible with respect to embodiment mentioned above within the scope of the summary of this invention. Hereinafter, an example of a modification is demonstrated.
상술한 실시 형태에 있어서는, 증착 마스크 장치(10)를 제조할 때, 수지제 시트(32)에 UV광을 조사하여 수지제 시트(32)를 적층체(30)로부터 제거하는 예를 나타냈지만, 수지제 시트(32)의 제거 방법은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 적층체(30)를 가열로(제거 수단)로 송입하고 적층체(30)의 수지제 시트(32)를 연소시켜 적층체(30)로부터 수지제 시트(32)를 제거하도록 해도 좋다. 수지제 시트(32)를 연소시켜 제거하는 경우, 간이한 장치를 이용한 간이한 방법에 의해 금속제 시트(34)[증착 마스크(20)]에 형성된 구멍(25)에 영향을 미치는 일 없이 금속제 시트(34)로부터 수지제 시트(32)를 분리시킬 수 있다. 또한, 수지제 시트(32)를 연소시켜 제거하는 경우, UV광이 조사됨으로써 금속제 시트(34)에 대한 접합력이 저하되도록 이루어진 수지제 시트(32)를 이용할 필요는 없다.In the above-mentioned embodiment, when manufacturing the vapor
또한, 상술한 실시 형태에 있어서는 증착 마스크 부착 시트(60)를 제조할 때, 수지제 시트(32)와 금속제 시트(34)가 미리 적층된 적층체(30)를 준비하여 공급하는 예를 나타냈지만 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 띠 형상으로 연장되는 금속제 시트(34)를 공급하는 동시에 띠 형상으로 연장되는 수지제 시트(32)를 공급하고, 공급되는 금속제 시트(34)와 수지제 시트(32)를 적층하여 적층체(30)를 제작하고, 순차 제작되어 가는 적층체(30)에 대해 상술한 처리를 실시하여 증착 마스크 부착 시트(60)를 제작해 가도록 해도 좋다. 혹은, 띠 형상으로 연장되는 금속제 시트(34)를 공급하는 동시에 공급되는 금속제 시트(34) 상에 매엽 형상의 수지제 시트(32)를 적층해 가고, 금속제 시트(34) 중 매엽 형상의 수지제 시트(32)가 적층된 부분[적층체(30)]에 대해 상술한 처리를 순차 실시하여 증착 마스크 부착 시트(60)를 제작해 가도록 해도 좋다. 혹은, 띠 형상으로 연장되는 수지제 시트(32)를 공급하는 동시에 공급되는 수지제 시트(32) 상에 매엽 형상의 금속제 시트(34)를 적층해 가고, 수지제 시트(34) 상에 적층된 매엽 형상의 금속제 시트(34)에 대해 상술한 처리를 순차 실시하여 증착 마스크 부착 시트(60)를 제작해 가도록 해도 좋다.In addition, in embodiment mentioned above, when manufacturing the sheet |
또한, 상술한 실시 형태에 있어서 증착 마스크 부착 시트(60)를 제조할 때, 금속제 시트(34)에 구멍(25)을 형성한 후에 금속제 시트(34)를 절단 장치(53)에 의해 소정의 길이로 절단하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 금속제 시트(34)를 절단하는 공정을 금속제 시트(34)에 구멍(25)을 형성하기 전에 행해도 좋다.In the above-described embodiment, when the
또한, 상술한 실시 형태에 있어서 증착 마스크 부착 시트(60)를 제조할 때, 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)가 증착 마스크(20) 1매분의 길이와 동일한 길이를 갖도록 증착 마스크 부착 시트(60)를 절단하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 증착 마스크 부착 시트(60)의 금속제 시트(34)가 증착 마스크(20) 1매분의 길이보다도 긴 길이[예를 들어, 증착 마스크(20) 2매 분의 길이]를 갖도록 증착 마스크 부착 시트(60)를 절단하도록 해도 좋다. 또한, 도11에 도시하는 바와 같이 띠 형상으로 연장되는 증착 마스크 부착 시트(60)를 절단하는 일 없이 권취 코어(61)에 권취하여 증착 마스크 부착 시트(60)의 권취체(60a)로서 취급(출하 및 반송 등)하도록 해도 좋다. 또한, 증착 마스크 부착 시트(60) 전체를 절단하는 것 대신에, 수지제 시트(32)를 완전히 절단하지 않을 정도로 적층체(30)를 하프컷하여 금속제 시트(34)만을 절단하도록 해도 좋다. 또한, 에칭에 의해 구멍(25)을 형성하는 공정 중에, 금속제 시트(34)를 소정의 길이로 절단하도록 에칭해도 좋다. 즉, 에칭에 의해 구멍(25)을 형성할 때, 에칭에 의해 금속제 시트(34)를 소정의 길이로 분리시키도록 해도 좋다. 이 경우, 별도로 금속제 시트(34)를 소정의 길이로 절단하는 수고를 줄일 수 있다.In the above-described embodiment, the
또한, 상술한 실시 형태에 있어서는 증착 마스크 부착 시트(60)로 증착 마스크 장치(10)를 제조할 때, 수지제 시트(32)로부터 분리된 금속제 시트(34)[증착 마스크(20)]에 프레임(15)을 장착하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 수지제 시트(32)로부터 분리되기 전에, 금속제 시트(34)[증착 마스크(20)]에 프레임(15)을 장착하도록 해도 좋다. 또한, 증착 마스크 부착 시트(60)를 제조할 때, 금속제 시트(34)에 프레임(15)을 장착하는 공정을 마련하여 프레임(15)이 장착된 증착 마스크 부착 시트(60)로서 취급(출하 및 반송 등)하도록 해도 좋다.Moreover, in embodiment mentioned above, when manufacturing the vapor
도1은 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트의 일 실시 형태를 도시하는 상면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The top view which shows one Embodiment of the sheet | seat with a deposition mask which concerns on this invention.
도2는 도1의 II-II선을 따른 단면도.2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG.
도3은 도1에 도시된 증착 마스크 부착 시트의 부분 하면도.FIG. 3 is a partial bottom view of the deposition mask attachment sheet shown in FIG. 1; FIG.
도4는 도1에 도시된 증착 마스크 부착 시트로 제조될 수 있는 증착 마스크 및 증착 마스크 장치의 일례를 도시하는 사시도.FIG. 4 is a perspective view showing an example of a deposition mask and a deposition mask apparatus that may be made of the deposition mask attachment sheet shown in FIG.
도5는 증착 마스크 및 증착 마스크 장치의 사용 방법을 설명하기 위한 도면.5 is a view for explaining a method of using a deposition mask and a deposition mask apparatus.
도6은 증착 마스크의 작용을 설명하기 위한 도면.6 is a view for explaining the operation of the deposition mask.
도7은 본 발명에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법의 일 실시 형태를 설명하기 위한 도면이며, 도1에 도시된 증착 마스크 부착 시트로부터 증착 마스크 및 증착 마스크 장치를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면.FIG. 7 is a view for explaining an embodiment of a method of manufacturing a deposition mask apparatus according to the present invention, and for explaining a method of manufacturing a deposition mask and a deposition mask apparatus from the deposition mask attachment sheet shown in FIG.
도8은 본 발명에 따른 증착 마스크 부착 시트의 제조 방법의 일 실시 형태를 설명하기 위한 도면이며, 도1에 도시된 증착 마스크 부착 시트를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면.8 is a view for explaining an embodiment of a method for manufacturing a deposition mask attachment sheet according to the present invention, and a view for explaining a method for manufacturing the deposition mask attachment sheet shown in FIG. 1.
도9는 적층체(금속제 시트)에 레지스트 패턴을 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면.9 is a view for explaining a method of forming a resist pattern on a laminate (metal sheet).
도10은 적층체(금속제 시트)를 에칭하는 방법을 설명하기 위한 도면.10 is a diagram for explaining a method of etching a laminate (metal sheet).
도11은 도8에 대응하는 도면이며, 증착 마스크 부착 시트를 제조하는 방법의 일 변형예를 설명하기 위한 도면.Fig. 11 is a view corresponding to Fig. 8 and for explaining one modification of the method for manufacturing the sheet with a deposition mask.
도12는 도6에 대응하는 도면이며, 양측으로부터 에칭된 금속판으로 이루어지는 증착 마스크를 이용하여 증착하는 방법을 설명하기 위한 도면.Fig. 12 is a view corresponding to Fig. 6 and for explaining a method of vapor deposition using a deposition mask made of metal plates etched from both sides.
도13은 도10에 대응하는 도면이며, 하방측의 면으로부터 금속판을 에칭하여 증착 마스크를 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면.FIG. 13 is a view corresponding to FIG. 10, illustrating a method of manufacturing a deposition mask by etching a metal plate from a lower surface; FIG.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
10 : 증착 마스크 장치, 15 : 프레임, 20 : 증착 마스크, 30 : 적층체, 31 : 공급 코어, 32 : 수지제 시트, 34 : 금속제 시트, 36 : 레지스트막, 36a : 레지스트 패턴, 38 : 에칭액, 40 : 증착 장치, 42 : 유리 기판, 44 : 도가니, 48 : 증착 재료, 50 : 에칭 장치, 51 : 노즐, 54 : 제거 장치, 55 : UV광 조사 수단, 55a : 셰이드, 57 : 롤러, 59 : 스폿 용접 장치, 60 : 증착 마스크 부착 시트, 61 : 권취 코어10 deposition mask apparatus, 15 frame, 20 deposition mask, 30 laminate, 31 supply core, 32 resin sheet, 34 metal sheet, 36 resist film, 36a resist pattern, 38 etching solution, 40: vapor deposition apparatus, 42: glass substrate, 44: crucible, 48: vapor deposition material, 50: etching apparatus, 51: nozzle, 54: removal apparatus, 55: UV light irradiation means, 55a: shade, 57: roller, 59: Spot welding apparatus, 60: sheet with a deposition mask, 61: winding core
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