KR20090013652A - 다층 주기 구조물의 물리량 산출 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- (a) 광원에서 빔을 실제 주기 구조물에 입사시켜 상기 빔의 반사율, 투과율, 또는 반사율 및 투과율과 관계된 물리량을 측정하는 단계;(b) 상기 빔이 가상 주기 구조물에 입사하였을 경우의 반사율 및 투과율을 계산하는 단계로서,일차원, 이차원, 또는 삼차원적으로 반복적인 형태를 갖는 가상 주기 구조물을 설정하고,상기 가상 주기 구조물을 복수의 층으로 수평적으로 분할하고,분할된 층에서 중간층들은 적어도 세 가지 물질이 수평적으로 반복적인 주기로 형성되도록 설정하고,상기 가상 주기 구조물을 구성하는 적어도 세 가지 물질의 굴절율을 이용하여 상기 가상 구조물의 반사율 및 투과율과 관계된 물리량을 산출하고,(c) 상기 (a) 단계에서 측정된 반사율 및 투과율과 관계된 물리량과 상기 (b) 단계에서 계산된 반사율 및 투과율을 사용하여 추출된 해당 물리량을 비교하여 상기 실제 주기 구조물의 구조가 상기 가상 주기 구조물과 일치하는지를 판단하는 단계를 포함하며,상기 (b) 단계에서 상기 가상 주기 구조물을 영차(zero-th order) 구조물과 이 영차 구조물을 섭동영역에서 기하학적 또는 물리적으로 변화시킨 섭동된 주기구조물로 구분하고, 영차 구조물에 입사된 빛의 대한 반사율 및 투과율과 관계된 물 리량을 산출하고, 상기 섭동 영역에서의 영차 구조물의 그린함수를 구하고, 리프만-슈빙거 적분 방정식을 통해 상기 가상 주기 구조물의 반사율 및 투과율과 관계된 물리량을 구하는 것을 특징으로 하는주기 구조물의 비파괴 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 (a) 단계에서 측정된 반사율 및 투과율과 관계된 물리량은, TE 모드 전기장의 입사파에 대한 반사파 및 투과파의 진폭 또는 위상과 관계된 물리량 및 TM 모드 자기장의 입사파에 대한 반사파 및 투과파의 진폭 또는 위상과 관련된 물리량이고, 상기 (b) 단계에서 산출된 반사율 및 투과율은 TE 모드 전기장의 입사파에 대한 반사파 및 투과파의 진폭 또는 위상, 및 TM 모드 자기장의 입사파에 대한 반사파 및 투과파의 진폭 또는 위상인 것을 특징으로 하는 주기 구조물의 비파괴 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 (b) 단계는 상기 가상 주기 구조물의 분할된 층에서의 유전율 함수를 푸리에(Fourier) 급수로 전개하고,상기 가상 주기 구조물에 입사되는 빔의 입사파, 반사파 및 투과파를 전자기파의 평면파의 합으로 전개하고,전개계수들의 경계 조건을 사용하여 상기 반사율 및 투과율을 산출하는 단계를 포함하는주기 구조물의 비파괴 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 가상 주기 구조물은 골(groove) 영역에 해당하는 제3물질을 사이에 두고 반복적인 주기로 형성된 마루(ridge) 영역을 포함하며, 이 마루 영역은 제1물질로 구성된 중심부와 제2물질로 구성되며 상기 중심부의 외면에 형성되는 표면층을 포함하는주기 구조물의 비파괴 검사 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 표면층은 산화막 또는 코팅층인 것을 특징으로 하는 주기 구조물의 비파괴 검사 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제3물질은 기상, 액상, 또는 고상인 것을 특징으로 하는 주기 구조물의 비파괴 검사 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 (b) 단계는 상기 가상 주기 구조물의 분할된 층에서의 유전율 함수를 푸리에(Fourier) 급수로 전개하는 것을 포함하며,상기 가상 주기 구조물의 각 층에서의 푸리에(Fourier) 급수 전개계수는, 마루 영역을 구성하는 제1물질 및 제2물질과 골영역을 구성하는 제3물질 각각의 복소 굴절률, 주기 Λ에 대해서 분할된 층 l 의 상기 제1물질 및 제2물질이 차지하는 영 역의 비율(f l ), 상기 제2물질만이 차지하는 비율(2δ l /Λ) 및 분할된 층의 첫 번째 층의 중심에 대해서 층 l 의 중심이 x축 방향으로 얼마나 떨어져 있는지를 나타내는 변수(t l )를 사용하여 나타내는 것을 특징으로 하는주기 구조물의 비파괴 검사 방법.
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