KR20090011731A - Deionized water supply module and substrate cleaning device using the same - Google Patents

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Abstract

A cleaning liquid supply module and a cleaning device using the same are provided to simplify a structure of a cleaning liquid supply pipe by supplying the cleaning liquid through a support block using an aqua knife main body. A first connection member(30) is combined in a main body(10) of an aqua knife. A part of a main body of a second connection member(40) is closely mounted on a mount hole(32) of the first connection member. The rest of the main body of the second connection member is fixed and mounted by a connection block(50). The connection block includes a path(41a) connected to a through hole of the second connection member. A support block(70) includes a cleaning liquid supply path for supplying the cleaning liquid to the path of the connection block. The support block supports the main body of the aqua knife coupled to the connection block.

Description

세정수 공급모듈 및 이를 이용한 세정장치 {Deionized water supply module and substrate cleaning device using the same}Deionized water supply module and substrate cleaning device using the same}

본 발명은 기판의 습식세정공정에서 기판의 표면을 프리웨팅하는 아쿠아 나이프에 세정수를 공급하는 세정수 공급모듈과 이를 이용한 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaning water supply module for supplying cleaning water to an aqua knife pre-wetting the surface of the substrate in a wet cleaning process of the substrate and a cleaning apparatus using the same.

각종 평판디스플레이(FPD : Flat Panel Display)의 제조공정에서 패턴을 형성할 때에는 포토레지스트 코팅(photoresist coating)을 행하는데, 포토레지스트 코팅을 하기 전에 기판의 표면에 존재하는 유기물이나 무기물 등의 파티클을 제거하는 세정공정이 요구된다.When forming patterns in the manufacturing process of various flat panel displays (FPDs), photoresist coating is performed. Before the photoresist coating, particles such as organic and inorganic substances present on the surface of the substrate are removed. A washing step is required.

세정공정 중 특히 습식세정공정에서는 일반적으로 프리웨팅(pre-wetting)과 노즐 샤워(nozzle shower)를 실시하게 된다. 프리웨팅은 아쿠아 나이프로 불리우는 프리웨팅용 세정장치를 이용하여 기판의 표면을 탈이온수(deionized water)와 같은 세정수로 고르게 적셔주는 과정으로서, 아쿠아 나이프는 물방울의 불균일한 낙하에 의한 기판 표면의 불량 웨팅을 사전에 막아주게 된다. 그리고, 노즐 샤워 과정에서는 이렇게 프리웨팅된 기판의 표면에 묻어 있는 파티클을 고압으로 분사되는 세정액으로 제거하게 된다.In the cleaning process, especially in the wet cleaning process, pre-wetting and nozzle showers are generally performed. Prewetting is the process of evenly wetting the surface of the substrate with deionized water using a prewetting cleaning device called aqua knife. Wetting is prevented in advance. In the nozzle shower process, the particles buried on the surface of the prewet substrate are removed by a cleaning liquid sprayed at a high pressure.

첨부도면 도 1은 종래의 아쿠아 나이프, 즉 프리웨팅용 세정장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 'A'부 확대도이다.1 is a perspective view showing a conventional aqua knife, that is, a cleaning device for pre-wetting, Figure 2 is an enlarged view 'A' portion of FIG.

도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 종래의 세정장치는, 나이프 본체(1)와, 이 나이프 본체(1)의 길이방향 양단에서 나이프 본체(1)를 지지하는 지지블록(2,2'), 그리고 나이프 본체(1)로 세정수를 공급하는 세정수 공급배관(3)을 구비하고 있다. 나이프 본체(1)와 세정수 공급배관(3)은 여러 개의 공급포트(4)들로 연결되어 있어서 세정수 공급배관(3)으로부터 나이프 본체(1)로 세정수의 공급이 이루어지게 된다. 또, 지지블록(2,2')은 상측블록(2a)과 하측블록(2b)으로 구분되어 있는데, 상측블록(2a)과 하측블록(2b)은 가이드봉(2c) 및 볼트 형태의 높이조절수단(2d)에 의해 연결되어 있다. 따라서, 높이조절수단(2d)을 회전조작하면, 상측블록(2a)이 가이드봉(2c)을 타고 하측블록(2b)을 상대로 상하로 이동함으로써 나이프 본체(1)의 상하 높이가 조절된다. 또, 상측블록(2a)에는 경사각조절수단(2e)이 구비되어 있어서, 이 경사각조절수단(2e)을 조작하면 기판(도시되지 않음)을 상대로 나이프 본체(1)의 경사각이 조절된다.As shown in Figs. 1 and 2, the conventional cleaning apparatus includes a knife body 1 and support blocks 2, 2 'supporting the knife body 1 at both ends in the longitudinal direction of the knife body 1; And a washing water supply pipe 3 for supplying washing water to the knife body 1. The knife body 1 and the washing water supply pipe 3 are connected to a plurality of supply ports 4 so that the washing water is supplied from the washing water supply pipe 3 to the knife body 1. In addition, the support block (2, 2 ') is divided into the upper block (2a) and the lower block (2b), the upper block (2a) and the lower block (2b) is the height adjustment of the guide rod (2c) and bolt type It is connected by means of 2d. Accordingly, when the height adjusting means 2d is rotated, the upper and lower heights of the knife body 1 are adjusted by moving the upper block 2a up and down with respect to the lower block 2b on the guide rod 2c. In addition, the inclination angle adjusting means 2e is provided in the upper block 2a, and the inclination angle of the knife main body 1 is adjusted with respect to the board | substrate (not shown) by operating this inclination angle adjusting means 2e.

그런데, 위와 같이 구성된 종래의 세정장치는, 나이프 본체(1)로 세정수를 공급하는 세정수 공급배관(3)이 나이프 본체(1)와는 별도로 구비되고, 이들을 서로 연결하는 공급포트(4)들도 여러 개가 구비됨에 따라, 장치의 공간 점유율이 커짐으로써 세정설비의 레이아웃에 불리한 문제점이 있다.However, in the conventional cleaning device configured as described above, the cleaning water supply pipe 3 for supplying the washing water to the knife body 1 is provided separately from the knife body 1, and the supply ports 4 connecting them to each other. With the provision of several diagrams, the space occupancy of the apparatus increases, which is disadvantageous in the layout of the cleaning equipment.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은, 아쿠아 나이프 본체에 별도로 설치되던 세정수 공급배관을 배제하고 배관구조를 간소화한 세정수 공급모듈 및 이를 이용한 세정장치를 제공하는 데에 있다.The present invention has been made in order to improve the conventional problems as described above, the object of the cleaning water supply module and the cleaning device using the same, excluding the cleaning water supply pipe that was separately installed in the aqua knife body and simplified piping structure Is in providing.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 아쿠아 나이프 본체의 세정수 유입로에 연결되는 연결호울 및 이 연결호울과 연통하는 원형의 장착호울을 구비하며 상기 아쿠아 나이프의 본체에 결합되는 제1연결부재와, 상기 제1연결부재의 장착호울과 연통하는 관통호울들이 방사상으로 형성된 원주형의 본체를 구비하되 이 본체의 일부가 상기 장착호울에 긴밀하게 장착되며 상기 본체로부터 상기 장착호울의 반대쪽으로 형성된 돌출부를 구비한 제2연결부재와, 상기 제2연결부재의 본체 나머지 일부가 장착되면서 상기 관통호울과 연통하는 유로를 구비하며 상기 돌출부가 고정되는 연결블록, 및 상기 연결블록의 유로로 세정수를 공급하는 세정수 공급로가 형성되어 있으며 상기 연결블록과 결합되어 상기 아쿠아 나이프의 본체를 지지하는 지지블록을 포함하여 이루어진 세정수 공급모듈을 개시한다.The present invention for achieving the above object, the first connection member having a connecting hole connected to the washing water inlet of the aqua knife body and a circular mounting hole in communication with the connecting hole and coupled to the body of the aqua knife And a circumferential body having radially formed through holes communicating with the mounting hole of the first connection member, wherein a part of the body is closely mounted to the mounting hole, and a protrusion formed from the main body to the opposite side of the mounting hole. And a connection block having a second connection member having a second portion, a flow passage communicating with the through hole while the remaining portion of the main body of the second connection member is mounted, and the protrusion being fixed, and supplying the washing water to the flow path of the connection block. A support block for supporting the main body of the aqua knife is formed with a washing water supply passage is coupled to the connecting block Disclosed is a washing water supply module comprising a.

여기서, 상기 연결블록에는 상기 제2연결부재의 돌출부가 삽입된 상태에서 제2연결부재가 움직이지 않도록 상기 돌출부를 고정시키는 고정부재가 결합되고, 상기 아쿠아 나이프 본체의 경사각 조절시 상기 제2연결부재의 본체 일부가 상기 제1연결부재의 장착호울에 장착된 상태에서 상기 제1연결부재가 제2연결부재의 본체에 의해 마찰지지될 수 있다.Here, the connection block is coupled to the fixing member for fixing the protrusion so that the second connection member does not move in the state in which the protrusion of the second connection member is inserted, the second connection member when adjusting the inclination angle of the aqua knife body The first connecting member may be frictionally supported by the main body of the second connecting member in a state in which a part of the main body is mounted in the mounting hole of the first connecting member.

또, 상기 연결블록이 결합된 상태에서 승강할 수 있도록 상하로 길게 장공이 형성된 측면 플랜지를 구비하고 상기 측면 플랜지는 상기 지지블록에 고정이 되며 상단부에는 탭호울이 형성된 지지브래킷과, 상기 지지브래킷의 탭호울에 체결되면서 상기 연결블록에 말단부가 고정되어 회전 조작에 따라 상기 연결블록을 승강시켜 상기 아쿠아 나이프 본체의 상하높이를 조절하는 높이조절볼트가 더 구비될 수도 있다.In addition, it has a side flange formed with a long hole up and down to move up and down in a state in which the connection block is coupled, the side flange is fixed to the support block and the upper end of the support bracket formed with a tab hole, and the support bracket The end portion is fixed to the connection block while being fastened to the tab hole may be further provided with a height adjustment bolt for adjusting the vertical height of the aqua knife body by lifting the connection block in accordance with the rotation operation.

한편, 본 발명은 전술한 세정수 공급모듈과, 상기 연결호울과 연통하도록 개구된 측단부로부터 길이방향으로 세정수 유입로가 형성된 아쿠아 나이프 본체, 및 상기 아쿠아 나이프 본체에 결합되는 노즐 커버를 포함하여 이루어진 세정장치를 개시한다.On the other hand, the present invention includes the above-mentioned washing water supply module, the aqua knife body formed with a washing water inlet in the longitudinal direction from the side end opening to communicate with the connecting hole, and a nozzle cover coupled to the aqua knife body Disclosed is a cleaning apparatus.

본 발명은 종래의 아쿠아 나이프 본체에 별도로 설치되던 세정수 공급배관을 배제하고, 아쿠아 나이프 본체를 지지하는 지지블록 등을 통해 세정수가 공급되도록 하는 구성을 개시함으로써, 세정수 공급배관구조를 매우 간소화하고 있다. 따라서, 본 발명은 세정장치의 콤팩트화로 공간 점유율을 저감하고, 세정설비의 레이아웃에 매우 유리한 조건을 제공하는 효과를 나타낸다.The present invention eliminates the washing water supply pipe that is separately installed in the conventional aqua knife body, and discloses a configuration to supply the washing water through a support block for supporting the aqua knife body, thereby greatly simplifying the washing water supply pipe structure have. Therefore, the present invention has the effect of reducing the space occupancy due to the compactness of the cleaning device and providing a very advantageous condition for the layout of the cleaning equipment.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention; However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It doesn't happen.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 세정수 공급모듈이 적용된 세정장치를 나타낸 분리사시도이고, 도 4a는 도 3의 결합상태 단면도이다.3 is an exploded perspective view showing a washing apparatus to which a washing water supply module according to an exemplary embodiment of the present invention is applied, and FIG.

도 3 및 도 4a에 나타난 바와 같이 본 실시예에서 개시하고 있는 세정장치는, 세정수 공급모듈과, 이 세정수 공급모듈로부터 세정수를 공급받아 기판을 향해 세정수를 분출하는 아쿠아 나이프 본체(10), 및 아쿠아 나이프 본체(10)에 결합되는 노즐 커버(20)를 포함한 구성으로 이루어져 있다. 아쿠아 나이프 본체(10)에는 측단부가 개구되면서 아쿠아 나이프 본체(10)의 길이방향으로 길게 형성된 세정수 유입로(11)가 구비되어 있다. 이 세정수 유입로(11)는 노즐 커버(20)와 통하게 되며, 세정수는 세정수 유입로(11)와 노즐 커버(20)를 통해 기판으로 분출된다.As shown in FIG. 3 and FIG. 4A, the washing apparatus disclosed in the present embodiment includes a washing water supply module and an aqua knife body 10 that receives washing water from the washing water supply module and ejects the washing water toward the substrate. And a nozzle cover 20 coupled to the aqua knife body 10. The aqua knife body 10 is provided with a washing water inflow path 11 formed in the longitudinal direction of the aqua knife body 10 while the side end portion is opened. The washing water inflow passage 11 communicates with the nozzle cover 20, and the washing water is ejected to the substrate through the washing water inflow passage 11 and the nozzle cover 20.

세정수 공급모듈은 아쿠아 나이프 본체(10)와 연계되는 제1연결부재(30)와, 제2연결부재(40), 연결블록(50), 지지블록(70), 지지브래킷(80), 그리고 높이조절볼트(90) 등을 포함한 구성으로 이루어져 있으며, 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.The washing water supply module includes a first connection member 30, a second connection member 40, a connection block 50, a support block 70, a support bracket 80, and the aqua knife body 10. It consists of a configuration including a height adjustment bolt (90), and look at in detail as follows.

먼저, 제1연결부재(30)는 아쿠아 나이프 본체(10)의 세정수 유입로(11)를 형성하는 개구된 측단부에 볼트 등으로 결합이 된다. 이 제1연결부재(30)에는 아쿠아 나이프 본체(10)의 세정수 유입로(11)에 부합되는 형태의 연결호울(31)이 구비되어 있다. 그리고 이 연결호울(31)과 연통하면서 연결호울(31)의 반대쪽으로 형성된 원형의 장착호울(32)이 구비되어 있다. 이러한 제1연결부재(30)와 아쿠아 나이프 본체(10)의 사이에는 연결호울(31)과 세정수 유입로(11) 사이에서 세정수가 누출되지 않도록 하기 위한 패킹(도시되지 않음)이 개재될 수 있다.First, the first connection member 30 is coupled to an open side end portion of the aqua knife body 10 to form the washing water inflow path 11 by bolts or the like. The first connection member 30 is provided with a connection hole 31 of a type corresponding to the washing water inlet 11 of the aqua knife body 10. And it is provided with a circular mounting hole (32) formed in the opposite side of the connection hole 31 while communicating with the connection hole (31). A packing (not shown) may be interposed between the first connecting member 30 and the aqua knife body 10 to prevent the washing water from leaking between the connecting hole 31 and the washing water inflow passage 11. have.

상기 제2연결부재(40)는 상기 제1연결부재(30)와 연결되는 부재로서, 원주형의 본체(41)와 이 본체(41)로부터 돌출 형성된 환봉형태의 돌출부(42)로 이루어져 있다. 즉, 제2연결부재(40)의 본체(41)는 원주형으로 이루어지면서 제1연결부재(30)를 상대로 옆으로 뉘어진 형태로 배치되며, 이 본체(41)에는 제1연결부재(30)의 장착호울(32) 및 연결호울(31)과 연통하도록 방사상으로 배열된 여러 개의 관통호울(41a)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 돌출부(42)는 본체(41)의 중앙에서 제1연결부재(30)의 반대쪽 방향으로 돌출되어 있다. 이러한 제2연결부재(40)는 본체(41)의 일부분(도면상에서 우측부분)이 제1연결부재(30)의 장착호울(32)에 긴밀하게 장착이 되어 제1연결부재(30)를 마찰지지한다.The second connection member 40 is a member connected to the first connection member 30, and is composed of a cylindrical body 41 and a round bar-shaped protrusion 42 protruding from the body 41. That is, the main body 41 of the second connecting member 40 is arranged in a circumferential form and is divided sideways with respect to the first connecting member 30, the first connecting member 30 in the main body 41 A plurality of through-holes (41a) are arranged radially arranged so as to communicate with the mounting hole 32 and the connecting hole (31) of. In addition, the protrusion 42 protrudes from the center of the main body 41 in the direction opposite to the first connection member 30. In the second connecting member 40, a portion (right side in the drawing) of the main body 41 is closely attached to the mounting hole 32 of the first connecting member 30, thereby rubbing the first connecting member 30. I support it.

상기 연결블록(50)은 제2연결부재(40)의 본체(41) 나머지 일부가 장착되면서 제2연결부재(40)의 관통호울(41a)과 연통하는 유로(51)를 구비하고 있다. 또한, 연결블록(50)에는 제2연결부재(40)의 돌출부(42)가 삽입된 상태에서 고정이 된다. 특히, 본 실시예에서는 상기 돌출부(42)의 말단에서부터 소정 길이까지의 부위가 삽 입된 연결블록(50)의 측단부분이 계단형의 단차부(52)로 이루어져, 이 단차부(52)에서 돌출부(42)의 상기 해당 부위가 고정부재(60)에 의해 고정이 된다. 즉, 고정부재(60)는 고정편(61)과 한 쌍의 볼트(62)로 이루어져 있는데, 고정편(61)의 저면부에는 돌출부(42)의 곡면에 대응하는 반원형 단면의 고정홈(61a)이 형성되어 있고, 이에 대응하여 상기 단차부(52)에도 반원형 단면의 안치홈(53)이 형성되어 있다. 따라서, 연결블록(50)의 안치홈(53)에 돌출부(42)의 해당 부위가 안치된 상태에서 고정편(61)의 고정홈(61a) 부분이 돌출부(42) 위에 놓여진 다음, 상기 볼트(62)가 조여짐으로써 돌출부(42)가 연결블록(50)에 견고하게 고정이 된다.The connection block 50 has a flow path 51 communicating with the through-hole 41a of the second connection member 40 while the other part of the main body 41 of the second connection member 40 is mounted. In addition, the connection block 50 is fixed while the protrusion 42 of the second connection member 40 is inserted. In particular, in the present embodiment, the side end portion of the connection block 50 into which the portion from the end of the protrusion 42 to a predetermined length is inserted is formed of a stepped portion 52 of a stepped shape, and the protrusion portion from the stepped portion 52. The corresponding portion of 42 is fixed by the fixing member 60. That is, the fixing member 60 is composed of a fixing piece 61 and a pair of bolts 62. A fixing groove 61a having a semicircular cross section corresponding to the curved surface of the protrusion 42 is formed at the bottom of the fixing piece 61. Is formed, and correspondingly, the stepped portion 52 is formed with a settled groove 53 having a semicircular cross section. Therefore, the fixing groove 61a of the fixing piece 61 is placed on the protrusion 42 in a state where the corresponding portion of the protrusion 42 is placed in the settling groove 53 of the connection block 50, and then the bolt ( By tightening 62, the protrusion 42 is firmly fixed to the connection block 50.

상기 지지블록(70)은 연결블록(50)의 유로(51)와 연통하여 이 유로(51)로 세정수를 공급하는 세정수 공급로(71)를 구비한 블록으로서, 세정수 공급로(71)는 외부의 세정수 공급원과 연결된다. 이러한 지지블록(70)은 연결블록(50)과 결합됨으로써 아쿠아 나이프 본체(10)를 지지하게 된다.The support block 70 is a block having a washing water supply passage 71 that communicates with the flow passage 51 of the connection block 50 and supplies the washing water to the flow passage 51. ) Is connected to an external source of rinse water. The support block 70 is coupled to the connection block 50 to support the aqua knife body 10.

한편, 기판에 대한 아쿠아 나이프 본체(10)의 높이를 조절하기 위한 수단을 구성하는 요소로서, 상기 지지브래킷(80)이 구비된다. 이 지지브래킷(80)은 상기 연결블록(50)을 포용하면서 지지블록(70)에 고정이 되는데, 이를 위해 상단의 평면으로부터 양측으로 측면 플랜지(81)를 구비한 구조로 이루어져 있다. 측면 플랜지(81)에는 상하로 길게 장공(81a)이 형성되어 있으며, 이 장공(81a)을 통해 연결블록(50)이 지지브래킷(80)과 결합이 되고, 측면 플랜지(81)가 지지블록(70)에 고정이 된다. 또한, 지지브래킷(80)의 상단 평면에는 나사산이 가공된 탭호울(82)이 형성되어 있으며, 이 탭호울(82)에 높이조절볼트(90)가 체결이 된다. 높이조절볼 트(90)는 그 하단부가 단차지게 형성된 구조로 되어 있으며, 이에 맞추어 연결블록(50)의 상단부에는 높이조절볼트(90)의 단차진 하단부가 측방에서 삽입되어 위쪽으로는 빠지지 않게 되는 볼트 삽입홈(54)이 형성되어 있다. 또, 높이조절볼트(90)의 상단부에는 육각 렌치와 같은 공구를 이용하여 높이조절볼트(90)를 회전시킬 수 있도록 공구삽입홈(91)이 형성되어 있다. 그리고, 연결블록(50)의 유로(53)와 지지블록(70)의 세정수 공급로(71) 사이에 개재되어 이들을 연결하는 부싱(100)이 구비됨으로써, 아쿠아 나이프 본체(10)의 높이조절에 따른 연결블록(50)의 승강시 세정수의 누출을 방지할 수 있게 된다.On the other hand, as an element constituting means for adjusting the height of the aqua knife body 10 relative to the substrate, the support bracket 80 is provided. The support bracket 80 is fixed to the support block 70 while embracing the connection block 50. For this purpose, the support bracket 80 has a structure having side flanges 81 on both sides from a plane of the upper end. The long side hole 81a is formed in the side flange 81 vertically, and the connection block 50 is coupled to the support bracket 80 through the long hole 81a, and the side flange 81 is the support block ( 70). In addition, the upper surface of the support bracket 80 is formed with a threaded tab tab 82, the height adjustment bolt 90 is fastened to the tab hole 82. Height adjustment bolt 90 has a structure formed in the lower end stepped, according to the upper end of the connection block 50, the stepped lower end of the height adjustment bolt 90 is inserted from the side does not fall upwards The bolt insertion groove 54 is formed. In addition, a tool insertion groove 91 is formed at the upper end of the height adjustment bolt 90 to rotate the height adjustment bolt 90 by using a tool such as a hexagon wrench. Then, the bushing 100 interposed between the flow path 53 of the connection block 50 and the washing water supply path 71 of the support block 70 is connected thereto, thereby adjusting the height of the aqua knife body 10. It is possible to prevent the leakage of the washing water during the lifting of the connection block 50 according to.

다음에서는 전술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 세정수 공급모듈과 이를 포함한 세정장치의 작동을 설명한다.Next, the operation of the washing water supply module and the washing apparatus including the same according to the present embodiment configured as described above will be described.

먼저, 지지블록(70)으로부터 연결블록(50)과 제1연결부재(30) 및 제2연결부재(40)를 거쳐 아쿠아 나이프 본체(10)로의 세정수 흐름은 다음과 같이 이루어진다. 즉, 외부의 세정수 공급원으로부터 지지블록(70)의 세정수 공급로(71)로 세정수가 공급되면, 지지블록(70)의 세정수 공급로(71)와 연통하는 연결블록(50)의 유로(51)로 세정수가 흘러들어간다. 그리고, 연결블록(50)에 결합되어 있는 제2연결부재(40)의 본체(41)에서 관통호울(41a)로 세정수가 유입된 다음, 이 관통호울(41a)과 연통하는 제1연결부재(30)의 장착호울(32)과 연결호울(31)로 세정수가 흘러들어간다. 그리고, 최종적으로 세정수는 아쿠아 나이프 본체(10)의 세정수 유입로(11)로 들어가 노즐 커버(20)를 통해 기판으로 분출됨으로써 기판을 프리웨팅 한다.First, the washing water flows from the support block 70 to the aqua knife body 10 through the connecting block 50, the first connecting member 30 and the second connecting member 40 as follows. That is, when the washing water is supplied to the washing water supply passage 71 of the support block 70 from the external washing water supply source, the flow path of the connecting block 50 in communication with the washing water supply passage 71 of the support block 70 Washing water flows into (51). Then, the washing water flows into the through hole 41a from the main body 41 of the second connecting member 40 coupled to the connecting block 50 and then communicates with the through hole 41a. The washing water flows into the mounting hole 32 and the connecting hole 31 of 30. Finally, the washing water enters the washing water inflow path 11 of the aqua knife body 10 and is ejected to the substrate through the nozzle cover 20 to prewet the substrate.

이와 같이, 본 발명에서는 종래의 세정장치에서 볼 수 있는 별도의 배관 구조 없이, 아쿠아 나이프 본체(10)를 지지하는 지지블록(70)과 이 지지블록(70)을 아쿠아 나이프 본체(10)에 연결하는 구성 요소들을 통해 세정수를 공급하는 간단한 구조로 이루어져 있다.As described above, in the present invention, the support block 70 supporting the aqua knife body 10 and the support block 70 are connected to the aqua knife body 10 without a separate piping structure seen in the conventional cleaning apparatus. It consists of a simple structure that supplies the washing water through the components.

기판을 상대로 아쿠아 나이프 본체(10)의 상하 높이를 조절하기 위해서는 다음과 같이 한다(도 4a 및 도 4b 참조).To adjust the vertical height of the aqua knife body 10 with respect to the substrate as follows (see Figs. 4a and 4b).

높이조절볼트(90)의 공구삽입홈(91)에 공구를 삽입하여 높이조절볼트(90)를 일방향(예컨대, 시계바늘 회전방향)으로 돌리면, 높이조절볼트(90)가 지지브래킷(80)의 탭호울(82)의 나사산을 따라 풀려나오면서 상승하게 되고, 이와 아울러서 볼트 삽입홈(54)에 의해 높이조절볼트(90)의 하단부와 결합되어 있는 연결블록(50)이 함께 상승하게 된다. 따라서, 연결블록(50)에 대해 제1연결부재(30)와 제2연결부재(40)를 통해 연결되어 있는 아쿠아 나이프 본체(10)가 상승하게 된다.When the tool is inserted into the tool insertion groove 91 of the height adjustment bolt 90 and the height adjustment bolt 90 is rotated in one direction (for example, the clockwise rotation direction), the height adjustment bolt 90 of the support bracket 80 As it is released along the thread of the tab hole 82, the connection block 50 coupled with the lower end of the height adjustment bolt 90 by the bolt insertion groove 54 is raised together. Accordingly, the aqua knife body 10 connected to the connection block 50 through the first connection member 30 and the second connection member 40 is raised.

이와 반대로, 높이조절볼트(90)를 시계바늘 회전방향의 반대방향으로 돌리면, 높이조절볼트(90)가 지지브래킷(80)의 탭호울(82)의 나사산을 따라 감겨들어가면서 하강하게 되어 연결블록(50)도 하강하면서 이에 연결된 아쿠아 나이프 본체(10)가 하강하게 된다.On the contrary, when the height adjustment bolt 90 is turned in the opposite direction to the clockwise rotation direction, the height adjustment bolt 90 is wound down along the thread of the tab hole 82 of the support bracket 80 so that the connection block ( 50 is also lowered while the aqua knife body 10 connected thereto is lowered.

연결블록(50)의 승강 높이는 지지브래킷(80)의 측면 브래킷(81)에 형성되어 있는 장공(81a)의 상하길이로 한정되므로, 아쿠아 나이프 본체(10)의 승강 높이를 설계할 때는 장공(81a)의 길이를 감안할 필요가 있다.Since the lifting height of the connection block 50 is limited to the vertical length of the long hole 81a formed in the side bracket 81 of the support bracket 80, when designing the lifting height of the aqua knife body 10, the long hole 81a is used. ) Needs to be taken into account.

또, 연결블록(50)의 하단부 유로(51)에 부싱(100)이 결합됨과 아울러 부싱(100)이 지지블록(70)의 세정수 공급로(71)에 수용되어 있기 때문에, 연결블록(50)의 승강시 부싱(100)이 연결블록(50)과 함께 승강하게 되어, 연결블록(50)의 승강에 따른 세정수의 누수는 발생하지 않는다.In addition, since the bushing 100 is coupled to the lower end flow path 51 of the connection block 50 and the bushing 100 is accommodated in the washing water supply path 71 of the support block 70, the connection block 50 is connected. The elevating bushing 100 moves up and down together with the connecting block 50, so that the leak of the washing water does not occur due to the elevating of the connecting block 50.

한편, 도 5a 및 도 5b에 나타난 바와 같이 아쿠아 나이프 본체(10)의 경사각을 조절하기 위해서는, 노즐 커버(20)가 결합되어 있는 아쿠아 나이프 본체(10) 자체를 원하는 각도만큼 회전시킨다. 그러면 아쿠아 나이프 본체(10)의 개구된 측단부에 결합되어 있는 제1연결부재(30)가 제2연결부재(40)를 회전중심축으로 하여 회전하게 된다. 이때, 제2연결부재(40)의 본체(41)는 제1연결부재(30)의 장착호울(32)에 긴밀하게 장착이 된 상태에서 제1연결부재(30)를 마찰지지하고 있기 때문에 노즐 커버(20)가 결합되어 있는 아쿠아 나이프 본체(10)와 제1연결부재(30)는 그 자체의 하중이 작용하더라도 제2연결부재(40)로부터의 슬립으로 인한 임의적인 경사각 변화는 일어나지 않게 된다.Meanwhile, in order to adjust the inclination angle of the aqua knife body 10 as shown in FIGS. 5A and 5B, the aqua knife body 10 to which the nozzle cover 20 is coupled is rotated by a desired angle. Then, the first connection member 30 coupled to the open side end portion of the aqua knife body 10 rotates using the second connection member 40 as the center of rotation. At this time, since the main body 41 of the second connection member 40 is frictionally supporting the first connection member 30 in a state where it is closely attached to the mounting hole 32 of the first connection member 30, the nozzle The aqua knife body 10 and the first connection member 30 to which the cover 20 is coupled do not cause any change in the inclination angle due to slip from the second connection member 40 even when the load thereof is applied. .

또, 도 3 및 도 4a를 참조로 설명한 바와 같이, 제2연결부재(40)는 그 돌출부(42)가 연결블록(50)의 고정홈(53)에 고정편(61)과 볼트(62)로 구성된 고정부재(60)에 의해 견고하게 고정이 되어 있으므로, 제2연결부재(40) 역시 연결블록(50)이나 제1연결부재(30)를 상대로 임의로 회전하지는 않는다.In addition, as described with reference to FIGS. 3 and 4A, the second connection member 40 has the protrusion 42 and the fixing piece 61 and the bolt 62 in the fixing groove 53 of the connection block 50. Since it is firmly fixed by the fixing member 60 consisting of, the second connection member 40 also does not rotate arbitrarily against the connection block 50 or the first connection member 30.

위의 설명과 같이 아쿠아 나이프 본체(10)와 제1연결부재(30)의 경사각이 조 절될 때, 제1연결부재(30)의 장착호울(32)에 장착되어 있는 제2연결부재(40)에 형성된 관통호울(41a)은 방사상으로 배열되어 있기 때문에, 아쿠아 나이프 본체(10)의 경사각도와 회전방향이 어떻게 변화하더라도 지지블록(70)의 세정수 공급로(71)를 통해 공급되는 세정수는 연결블록(50)의 유로(51)로부터 제1연결부재(30)의 연결호울(31)이나 아쿠아 나이프 본체(10)의 세정수 유입로(11)로 항상 흐를 수 있게 된다.As described above, when the inclination angle of the aqua knife body 10 and the first connection member 30 is adjusted, the second connection member 40 mounted on the mounting hole 32 of the first connection member 30. Since the through-holes 41a formed in the radially arranged, even if the inclination angle and rotation direction of the aqua knife body 10 is changed, the washing water supplied through the washing water supply passage 71 of the support block 70 is It is possible to always flow from the flow path 51 of the connection block 50 to the connection hole 31 of the first connection member 30 or the washing water inlet 11 of the aqua knife body 10.

이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.In the above described the present invention based on the preferred embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment, various modifications by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention This is possible.

도 1은 종래의 프리웨팅용 세정장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a conventional washing apparatus for pre-wetting.

도 2는 도 1의 'A'부 확대도이다.FIG. 2 is an enlarged view of a portion 'A' of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프리웨팅용 세정수 공급모듈이 적용된 세정장치를 나타낸 분리사시도이다.3 is an exploded perspective view showing a cleaning device to which a washing water supply module for pre-wetting according to an embodiment of the present invention is applied.

도 4a는 도 3의 결합상태 단면도이다.4A is a cross-sectional view of the bonding state of FIG. 3.

도 4b는 도 4a로부터 아쿠아 나이프의 높이조절이 이루어진 예를 나타낸 단면도이다.Figure 4b is a cross-sectional view showing an example of the height adjustment of the aqua knife from Figure 4a.

도 5a 및 도 5b는 아쿠아 나이프의 경사각 조절 상태를 나타낸 도면들이다.5A and 5B are views illustrating a tilt angle adjustment state of the aqua knife.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 아쿠아 나이프 본체 11 : 세정수 유입로10: aqua knife body 11: washing water inlet

20 : 노즐 커버 30 : 제1연결부재20: nozzle cover 30: first connection member

31 : 연결호울 32 : 장착호울31: connection hole 32: mounting hole

40 : 제2연결부재 41 : 제2연결부재의 본체40: second connecting member 41: the main body of the second connecting member

41a : 관통호울 42 : 돌출부41a: through hole 42: protrusion

50 : 연결블록 51 : 유로50: connecting block 51: euro

52 : 단차부 53 : 안치홈52: step 53: settle groove

54 : 볼트 삽입홈 60 : 고정부재54: bolt insertion groove 60: fixing member

61 : 고정편 62 : 볼트61: fixing piece 62: bolt

70 : 지지블록 71 : 세정수 공급로70: support block 71: washing water supply passage

80 : 지지브래킷 81 : 측면 플랜지80: support bracket 81: side flange

81a : 장공 82 : 탭호울81a: long hole 82: tap hole

90 : 높이조절볼트 91 : 공구삽입홈90: height adjustment bolt 91: tool insertion groove

100 : 부싱100 bushing

Claims (4)

아쿠아 나이프 본체의 세정수 유입로에 연결되는 연결호울 및 이 연결호울과 연통하는 원형의 장착호울을 구비하며 상기 아쿠아 나이프의 본체에 결합되는 제1연결부재;A first connecting member coupled to the main body of the aqua knife, having a connecting hole connected to the washing water inlet of the aqua knife body and a circular mounting hole communicating with the connecting hole; 상기 제1연결부재의 장착호울과 연통하는 관통호울들이 방사상으로 형성된 원주형의 본체를 구비하되, 이 본체의 일부가 상기 장착호울에 긴밀하게 장착되는 제2연결부재;A second connecting member having a cylindrical body having radially formed through holes communicating with the mounting hole of the first connecting member, wherein a part of the body is intimately mounted to the mounting hole; 상기 제2연결부재의 본체 나머지 일부가 장착 및 고정되고, 상기 관통호울과 연통하는 유로를 구비한 연결블록; 및A connection block having a flow passage communicating with the through hole, in which a part of the main body of the second connection member is mounted and fixed; And 상기 연결블록의 유로로 세정수를 공급하는 세정수 공급로가 형성되어 있으며, 상기 연결블록과 결합되어 상기 아쿠아 나이프의 본체를 지지하는 지지블록을 포함하여 이루어진 세정수 공급모듈.Washing water supply path for supplying the washing water to the flow path of the connecting block is formed, washing water supply module consisting of a support block coupled to the connecting block for supporting the body of the aqua knife. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 아쿠아 나이프 본체의 경사각 조절시 상기 제2연결부재의 본체 일부가 상기 제1연결부재의 장착호울에 장착된 상태에서 상기 제1연결부재가 제2연결부재의 본체에 의해 마찰지지되는 것을 특징으로 하는 세정수 공급모듈.When the inclination angle of the aqua knife body is adjusted, the first connection member is frictionally supported by the body of the second connection member in a state in which a part of the body of the second connection member is mounted to the mounting hole of the first connection member. Washing water supply module. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 연결블록이 결합된 상태에서 승강할 수 있도록 상하로 길게 장공이 형성된 측면 플랜지를 구비하고, 상기 측면 플랜지는 상기 지지블록에 고정이 되며, 상단부에는 탭호울이 형성된 지지브래킷; 및A side flange having a long hole formed up and down so that the connection block can be lifted in a coupled state, the side flange is fixed to the support block, and a support bracket having a tab hole formed at an upper end thereof; And 상기 지지브래킷의 탭호울에 체결되면서 상기 연결블록에 말단부가 고정되어, 회전 조작에 따라 상기 연결블록을 승강시켜 상기 아쿠아 나이프 본체의 상하높이를 조절하는 높이조절볼트가 더 구비된 것을 특징으로 하는 세정수 공급모듈.The end portion is fixed to the connection block while being fastened to the tab hole of the support bracket, the height adjustment bolt for adjusting the vertical height of the aqua knife body by elevating the connection block according to the rotation operation, characterized in that the cleaning is further provided Can supply module. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 세정수 공급모듈;Washing water supply module according to any one of claims 1 to 3; 상기 연결호울과 연통하도록 개구된 측단부로부터 길이방향으로 세정수 유입로가 형성된 아쿠아 나이프 본체; 및An aqua knife body having a washing water inflow path formed in a longitudinal direction from an open side end portion to communicate with the connection hole; And 상기 아쿠아 나이프 본체에 결합되는 노즐 커버를 포함하여 이루어진 세정장치.Cleaning apparatus comprising a nozzle cover coupled to the aqua knife body.
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