KR20090009357U - Buffer structure of hand cart for carrying semiconduct wafer cassette - Google Patents

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Abstract

본 고안은 반도체 소자를 제조하기 위해 복수의 웨이퍼가 적층수납된 웨이퍼카세트를 운반하는 과정에서 상기 웨이퍼카세트에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있는 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조에 관한 것이다.The present invention relates to a dustproof structure of a wafer cassette carrying cart which can alleviate the impact applied to the wafer cassette in the process of carrying a wafer cassette in which a plurality of wafers are stacked and stored for manufacturing a semiconductor device.

이를 실현하기 위한 본 고안은 사각틀 형상으로 주 몸체를 이루고 저면에 복수의 캐스터가 구비되는 본체프레임과, 상기 본체프레임의 상부에 충격흡수가 가능한 제1완충부재를 매개로 위치되는 제1탑재부재와, 상기 제1탑재부재의 내부 수평방향으로 적재판이 형성되고 상기 적재판 상측으로 웨이퍼카세트가 적재되는 제2탑재부재가 위치되되 상기 적재판과 제2탑재부재의 사이에 복수의 제2완충부재가 삽입구성된 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조에 있어서, 상기 제2완충부재는, 원통 형상의 몸체부; 상기 몸체부의 외주면에 'ㄷ'자형 홈으로 형성되는 제1완충부; 상기 몸체부의 저면에 반원형상의 오목홈으로 형성되는 제2완충부; 및, 상기 적재판과 상기 제2탑재부재를 나사결합시킬 수 있도록 상기 몸체부의 축 방향으로 관통형성된 결합공; 으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention for realizing this comprises a main frame having a main body in a rectangular frame shape and having a plurality of casters on a bottom surface thereof, and a first mounting member positioned through a first buffer member capable of absorbing shock on an upper portion of the main body frame; And a second mounting member in which a mounting plate is formed in an inner horizontal direction of the first mounting member and on which the wafer cassette is loaded, wherein a plurality of second buffer members are disposed between the mounting plate and the second mounting member. In the dustproof structure of the wafer cassette carrying cart is inserted configuration, the second buffer member, the cylindrical body portion; A first buffer part formed as a 'c'-shaped groove on an outer circumferential surface of the body part; A second cushioning portion formed in a semicircular concave groove on a bottom surface of the body portion; And a coupling hole penetrated in the axial direction of the body portion to screw the mounting plate and the second mounting member. Characterized in that consisting of.

웨이퍼카세트, 충격 완화, 방진고무, 카트 Wafer cassette, shock absorber, dustproof rubber, cart

Description

웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조{Buffer structure of hand cart for carrying semiconduct wafer cassette}Buffer structure of hand cart for carrying semiconduct wafer cassette

본 고안은 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 제조하기 위해 복수의 웨이퍼가 적층수납된 웨이퍼카세트를 운반하는 과정에서 상기 웨이퍼카세트에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있는 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조에 관한 것이다.The present invention relates to a dustproof structure of a wafer cassette carrying cart, and more particularly, to reduce a shock applied to the wafer cassette in the process of transporting a wafer cassette in which a plurality of wafers are stacked in order to manufacture a semiconductor device. A dustproof structure of a wafer cassette transport cart.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 이온주입, 화학기상증착, 금속 증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행함으로써 이루어지게 된다. In general, semiconductor devices are made by selectively and repeatedly performing processes such as photographing, etching, diffusion, ion implantation, chemical vapor deposition, and metal deposition on a wafer.

이러한 반도체 소자로 형성되기까지의 웨이퍼는 웨이퍼카세트 내부에 복수 장 적층된 상태로 각 공정을 수행하는 반도체 제조설비로 이송하게 된다.The wafers formed up to such a semiconductor device are transferred to a semiconductor manufacturing facility that performs each process in a state where a plurality of wafers are stacked inside the wafer cassette.

이처럼 각 공정간에 웨이퍼를 이송하기 위해서는 다수의 웨이퍼를 적층 수납시키는 웨이퍼카세트가 사용된다.As such, a wafer cassette for stacking a plurality of wafers is used to transfer wafers between processes.

그러나 상기 웨이퍼카세트를 이송하는 과정에서 내부에 수납된 웨이퍼에 외부의 충격이 가해질 경우에는 반도체 소자에 치명적인 손상을 줄 우려가 있다.However, when an external shock is applied to the wafer accommodated therein in the process of transferring the wafer cassette, there is a risk of damaging the semiconductor device.

따라서, 상기 웨이퍼카세트를 운반하는 과정에서 외부의 충격이나 진동 등에 의해 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있도록 방진기능을 가진 다양한 웨이퍼카세트 운반용 카트가 제시되고 있다.Accordingly, various wafer cassette carrying carts having a dustproof function have been proposed to prevent the wafer from being damaged by external impact or vibration in the process of carrying the wafer cassette.

도 1은 실용신안 등록번호 제 0207701호로 선 출원된 종래 반도체 웨이퍼 운반용 카트를 도시한 조립구성도이고, 도 2는 종래의 반도체 웨이퍼 운반용 카트의 방진구조를 보여주는 분해사시도이다.1 is an assembly diagram showing a conventional semiconductor wafer carrying cart filed with a utility model registration number 0207701, Figure 2 is an exploded perspective view showing a dustproof structure of a conventional semiconductor wafer carrying cart.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 반도체 웨이퍼 운반용 카트(100)는 사각틀 형상의 바닥프레임(111)과 이 바닥프레임(111)의 일측 후단에 직립하여 용착한 핸들(113)과 바닥프레임(111)의 하부에 결합한 캐스터(115)를 포함하여 이루어지는 대차(110)와, 상기 대차(110)의 상부에 충격흡수가 가능한 제1완충부재(121)를 매개로 위치하며 골조로서 사각 박스 형태로 이루되 상부로 웨이퍼를 수장하는 웨이퍼카세트(C)를 경사지게 안치할 수 있도록 된 횡간(123)을 복수이상으로 마련한 제1탑재부재(120)와, 상기 제1탑재부재(120)의 횡간(123) 상에 직각으로 절곡된 브라켓트(125)가 상호 이격되게 설치되고 웨이퍼카세트(C)를 지지하는 직각으로 절곡된 안치대(131)를 마련하며 상기 브라켓트(125)와 안치대(131) 사이에 충격흡수용 제2완충부재(133)를 결합하여 이루어지는 제2탑재부재(130)를 포함하여 구성된다.1 and 2, the conventional semiconductor wafer transport cart 100 has a square frame-shaped bottom frame 111 and a handle 113 and a bottom frame welded upright on one rear end of the bottom frame 111. A cart 110 including a caster 115 coupled to a lower portion of the 111 and a first buffer member 121 capable of absorbing shock at an upper portion of the cart 110 are positioned in a rectangular box shape as a frame. The first mounting member 120 and the first mounting member 120 having a plurality or more of the transverse gaps 123 formed so as to allow the wafer cassette C for inclining the wafer thereon to be inclined therebetween, and the transverse spaces 123 of the first mounting member 120. Brackets 125 bent at right angles are installed to be spaced apart from each other, and a bent stand 131 bent at a right angle to support the wafer cassette C is provided between the bracket 125 and the stand 131. Second mounting made by combining the shock absorbing second buffer member 133 It is configured to include a member 130.

이 경우 상기 제2탑재부재(130)는 기존의 8인치(약 200mm) 웨이퍼가 적층되는 웨이퍼카세트(C) 전용으로 사용되는 것으로, 12인치(약 300mm) 웨이퍼를 사용하는 추세인 요즘 웨이퍼카세트(C)의 무게 또한 증가하게 되었다.In this case, the second mounting member 130 is used exclusively for the wafer cassette C in which the existing 8 inch (about 200 mm) wafers are stacked, and the wafer cassette (the current trend of using the 12 inch (about 300 mm) wafers ( The weight of C) also increased.

이 경우 상기 제2탑재부재(130)의 충격흡수 수단인 제2완충부재(130)는 얇은 형상으로 형성되어 있어, 장시간 사용시 웨이퍼카세트(C)의 무게를 이기지 못하고 쉽게 찢어지게 되어 그 기능을 제대로 수행하지 못하게 되는 문제점이 있다.In this case, the second shock absorbing member 130, which is the shock absorbing means of the second mounting member 130, is formed in a thin shape, and thus does not overcome the weight of the wafer cassette C when used for a long time, and thus easily tears. There is a problem that can not be performed.

본 고안은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 반도체 소자를 제조하기 위해 복수의 웨이퍼가 적층수납된 웨이퍼카세트를 운반하는 과정에서 상기 웨이퍼카세트에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있도록 한 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-described problem, a wafer cassette carrying cart that can mitigate the impact on the wafer cassette in the process of transporting a wafer cassette of a plurality of wafers stacked in order to manufacture a semiconductor device The purpose is to provide a dustproof structure of.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 고안의 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조는, 사각틀 형상으로 주 몸체를 이루고 저면에 복수의 캐스터가 구비되는 본체프레임과, 상기 본체프레임의 상부에 충격흡수가 가능한 제1완충부재를 매개로 위치되는 제1탑재부재와, 상기 제1탑재부재의 내부 수평방향으로 적재판이 형성되고 상기 적재판 상측으로 웨이퍼카세트가 적재되는 제2탑재부재가 위치되되 상기 적재판과 제2탑재부재의 사이에 복수의 제2완충부재가 삽입구성된 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조에 있어서, 상기 제2완충부재는, 원통 형상의 몸체부; 상기 몸체부의 외주면에 'ㄷ'자형 홈으로 형성되는 제1완충부; 상기 몸체부의 저면에 반원형상의 오목홈으로 형성되는 제2완충부; 및, 상기 적재판과 상기 제2탑재부재를 나사결합시킬 수 있도록 상기 몸체부의 축 방향으로 관통형성된 결합공; 으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The dustproof structure of the wafer cassette carrying cart of the present invention for realizing the object as described above comprises a main frame having a main body in a rectangular frame shape and having a plurality of casters at a bottom thereof, and capable of absorbing shock on an upper portion of the main frame. A first mounting member positioned through a first buffer member and a second mounting member in which a mounting plate is formed in an inner horizontal direction of the first mounting member, and on which the wafer cassette is loaded; A dustproof structure of a wafer cassette carrying cart having a plurality of second buffer members inserted therebetween, the second buffer member comprising: a cylindrical body portion; A first buffer part formed as a 'c'-shaped groove on an outer circumferential surface of the body part; A second cushioning portion formed in a semicircular concave groove on a bottom surface of the body portion; And a coupling hole penetrated in the axial direction of the body portion to screw the mounting plate and the second mounting member. Characterized in that consisting of.

이 경우 상기 몸체부는 높이에 비해 직경이 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.In this case, the body portion is characterized in that the diameter is formed larger than the height.

또한, 상기 캐스터는 충격완화 및 정전기 방지 기능을 가진 정전기 방지용 바퀴인 것을 특징으로 한다.In addition, the caster is characterized in that the anti-static wheel with a shock-absorbing and anti-static function.

또한, 상기 본체프레임의 네 모서리부에는 벽면과 충돌시 발생하는 충격을 완화시켜주기 위한 충격흡수용 롤러가 회전가능하게 결합된 것을 특징으로 한다.In addition, the four corners of the body frame is characterized in that the shock absorbing roller is rotatably coupled to mitigate the impact generated when the collision with the wall surface.

본 고안에 따른 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조는, 복수의 웨이퍼가 적층수납되는 웨이퍼카세트를 운반하는 과정에서 웨이퍼카세트에 가해지는 충격을 여러 단계에 거쳐 완화시켜줌으로써 웨이퍼카세트 내부에 적층된 웨이퍼를 안전하게 운반할 수 있는 장점이 있다.The dustproof structure of the wafer cassette transport cart according to the present invention safeguards the wafers stacked inside the wafer cassette by mitigating the impact applied to the wafer cassette in several steps in the process of transporting the wafer cassette in which the plurality of wafers are stacked and stored. There is an advantage to carry.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings in detail as follows. Here, it should be noted that in adding reference numerals to the elements of each drawing, the same elements are denoted by the same reference numerals as much as possible even if they are shown on different drawings.

도 3은 본 고안에 따른 웨이퍼카세트 운반용 카트의 사시도이고, 도 4는 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조를 나타내는 분해사시도이며, 도 5는 본 고안에 따른 제2완충부재의 사시도 및 I-I선 단면도이다.Figure 3 is a perspective view of a wafer cassette carrying cart according to the present invention, Figure 4 is an exploded perspective view showing a dustproof structure of the wafer cassette carrying cart, Figure 5 is a perspective view and a cross-sectional view taken along line I-I of the second buffer member according to the present invention.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 사각틀 형상으로 주 몸체를 이루고 일측에 핸들(11)이 형성되며 저면에는 복수의 캐스터(13)가 구비되는 본체프레임(10)과, 상기 본체프레임(10)의 상부에 충격흡수가 가능한 제1완충부재(21)를 매개로 위치하 며 골조로서 사각 박스 형태로 이루는 제1탑재부재(20)와, 상기 제1탑재부재(20)의 내부 수평방향으로 적재판(23)이 형성되고, 상기 적재판(23) 상측으로 웨이퍼카세트(C)가 적재되는 제2탑재부재(30)가 위치되되 적재판(23)과 제2탑재부재(30)의 사이에 복수의 제2완충부재(31)가 삽입된 구성은 종래의 기술과 동일하므로 설명의 중복을 피하기 위하여 상세한 설명은 생략하고, 새로이 부가되는 구성 부재들의 동작을 중심으로 하여 상세히 설명한다.3 to 5, a main frame having a rectangular frame shape and a handle 11 is formed at one side thereof, and a main frame 10 having a plurality of casters 13 at a bottom thereof, and the main frame 10 of the main frame 10. The first mounting member 20, which is positioned on the upper side of the first shock absorbing member 21 capable of absorbing shock and is formed in a rectangular box shape as a frame, and a loading plate in an inner horizontal direction of the first mounting member 20. 23 is formed, and the second mounting member 30 on which the wafer cassette C is loaded is positioned above the mounting plate 23, and a plurality of the mounting plates 23 are disposed between the mounting plate 23 and the second mounting member 30. Since the configuration in which the second buffer member 31 is inserted is the same as in the prior art, a detailed description thereof will be omitted in order to avoid duplication of description, and will be described in detail based on the operation of the newly added components.

이 경우 상기 제1완충부재(21)는 본체프레임(10)의 하부의 네 모서리부에 형성된 고정판넬(15)에 나사결합된다. 상기 제1완충부재(21)는 상부에 결합되는 제1탑재부재(20)에 가해지는 충격을 1차로 완화시켜주는 역할을 한다. 상기 제1완충부재(21)는 상하방향뿐만 아니라 횡 방향 어느 각도에서 가해지는 충격과 진동이라도 효과적으로 흡수하는데 일반적으로 사용되는 와이어로프 완충기를 사용하는 것이 바람직하다.In this case, the first buffer member 21 is screwed to the fixing panel 15 formed at the four corners of the lower portion of the main frame 10. The first buffer member 21 serves to primarily relieve the impact applied to the first mounting member 20 coupled to the upper portion. It is preferable that the first buffer member 21 uses a wire rope shock absorber which is generally used to effectively absorb shock and vibration applied at any angle in the horizontal direction as well as in the vertical direction.

본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 상기 제2완충부재(31)는 제2탑재부재(30)의 상면에 적재되는 웨이퍼카세트(C)의 무게를 지탱해줌과 아울러 상기 웨이퍼카세트(C)에 전해지는 충격을 완화시켜주는 역할을 한다. 이 경우 상기 제2완충부재(31)는 높이(H)에 비해 직경(D)이 큰 원통 형상의 몸체부(31a)로 이루어진다. 상기 몸체부(31a)의 외주면 둘레에는 'ㄷ' 자 형상의 제1완충부(31b)가 형성된다. 상기 몸체부(31a)의 저면에는 반원형상의 제2완충부(31c)가 형성된다. 또한, 상기 적재판(23)과 제2탑재부재(30)를 나사(33)(도 7 참조)결합시킬 수 있도록 몸체부(31a)의 축 방향으로 결합공(31d)이 관통형성된다.The second buffer member 31 according to the preferred embodiment of the present invention supports the weight of the wafer cassette C loaded on the upper surface of the second mounting member 30 and is transferred to the wafer cassette C. Acts to mitigate the impact. In this case, the second buffer member 31 is formed of a cylindrical body portion 31a having a larger diameter D than the height H. A first cushioning portion 31b having a 'c' shape is formed around the outer circumferential surface of the body portion 31a. A semi-circular second cushioning portion 31c is formed on the bottom of the body portion 31a. In addition, the coupling hole 31d is formed in the axial direction of the body portion 31a so as to couple the screw 33 (see FIG. 7) to the mounting plate 23 and the second mounting member 30.

이 경우 상기 제2완충부재(31)는 제1완충부(31b)에 의해 코일스프링과 같은 탄성력을 얻게 된다. 또한, 저면에 형성된 제2완충부(31c)에 의해 적재판(23)과 제2탑재부재(30) 사이에 완충공간이 더 마련된다. 따라서, 상기 제2완충부재(31)를 이용하여 원활한 충격 완화효과를 얻을 수 있게 된다.In this case, the second shock absorbing member 31 obtains an elastic force, such as a coil spring, by the first shock absorbing portion 31b. In addition, a buffer space is further provided between the loading plate 23 and the second mounting member 30 by the second shock absorbing portion 31c formed on the bottom surface. Therefore, it is possible to obtain a smooth impact mitigation effect by using the second buffer member 31.

한편, 상기 적재판(23)과 제2탑재부재(30)는 소정각도(θ)(도 6 참조) 기울어지게 형성된다. 이 경우 상기 제2탑재부재(30)의 상면에 웨이퍼카세트(C)가 일측으로 경사지게 적재됨으로써 내부에 적층된 복수의 웨이퍼(미도시)가 유동하는 것을 방지할 수 있게 된다.On the other hand, the mounting plate 23 and the second mounting member 30 is formed to be inclined at a predetermined angle θ (see Fig. 6). In this case, the wafer cassette C is inclined to one side on the upper surface of the second mounting member 30, thereby preventing the plurality of wafers (not shown) stacked therein from flowing.

상기 적재판(23)의 상면에는 제2탑재부재(30)에 적재되는 웨이퍼카세트(C)의 위치를 고정할 수 있도록 복수의 걸림대(25)가 형성된다.A plurality of hooks 25 are formed on an upper surface of the mounting plate 23 to fix the position of the wafer cassette C loaded on the second mounting member 30.

상기 본체프레임(10)의 네 모서리부에는 충격흡수용 롤러(40)가 회전가능하게 결합된다. 이 경우 상기 충격흡수용 롤러(40)는 웨이퍼카세트 운반용 카트(1)를 이용하여 웨이퍼카세트(C)를 운반하는 과정에서 본체프레임(10)이 벽면과 충돌시 발생하는 충격을 완화해주는 역할을 한다.The four corners of the body frame 10 is coupled to the shock absorbing roller 40 rotatably. In this case, the shock absorbing roller 40 serves to mitigate the impact generated when the main body frame 10 collides with the wall in the process of transporting the wafer cassette C using the wafer cassette carrying cart 1. .

또한, 상기 본체프레임(10)의 저면에 설치된 복수의 캐스터(13)는 충격완화와 더불어 웨이퍼카세트 운반용 카트(1) 내의 정전기를 외부로 방전시킬 수 있는 정전기 방지용 바퀴를 사용하는 것이 바람직하다.In addition, the plurality of casters 13 installed on the bottom surface of the main body frame 10, it is preferable to use an anti-static wheel that can discharge the static electricity in the wafer cassette carrying cart 1 to the outside in addition to shock.

그러면, 이상과 같은 본 고안에 따른 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조의 작용을 도 6 및 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Then, the operation of the dustproof structure of the wafer cassette transport cart according to the present invention as described above with reference to Figures 6 and 7 as follows.

도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼카세트 운반용 카트의 사용상태측면도이고, 도 7은 도 6의 'A'부분 상세단면도이다.6 is a side view of a state of use of the wafer cassette carrying cart according to the present invention, and FIG. 7 is a detailed cross-sectional view of part 'A' of FIG. 6.

반도체 소자 제조과정 중 웨이퍼카세트 운반용 카트(1)에 적재되어 운반되는 웨이퍼카세트(C)는 복수의 캐스터(13)를 비롯한 제1, 2완충부재(21)(31)를 통하여 외부의 충격을 3중으로 완화해줌으로써 웨이퍼카세트(C) 내부에 수납된 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있게 된다.The wafer cassette C loaded and transported in the wafer cassette carrying cart 1 during the semiconductor device manufacturing process receives external shocks through the first and second buffer members 21 and 31 including the plurality of casters 13. By mitigating to the middle, it is possible to prevent breakage of the wafer stored in the wafer cassette C.

특히, 상기 제2완충부재(31)는 제1, 2완충부(31b)(31c)를 구비하고 있어, 상기 제2완충부재(31) 내에서도 충격을 재차 완화시켜주게 된다.In particular, the second shock absorbing member 31 includes first and second shock absorbing portions 31b and 31c, thereby relieving the impact even within the second shock absorbing member 31.

또한, 상기 웨이퍼카세트 운반용 카트(1)를 이용하여 웨이퍼카세트(C)를 운반하는 과정에서 본체프레임(10)이 벽면과 충돌하는 경우 모서리부에 결합된 충격흡수용 롤러(40)가 벽면을 타고 회전함에 따라 충돌시 발생하는 충격을 어느 정도 완화시켜줄 수 있게 된다.In addition, when the main body frame 10 collides with the wall surface in the process of transporting the wafer cassette C using the wafer cassette carrying cart 1, the shock absorbing roller 40 coupled to the corner portion rides on the wall surface. As it rotates, the impact generated during the collision can be alleviated to some extent.

이상에서는 본 고안을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 고안의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.In the above, the present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the general knowledge in the technical field to which the present invention belongs does not depart from the technical spirit of the present invention. Of course, various changes and modifications are possible.

도 1은 종래 반도체 웨이퍼 운반용 카트의 조립구성도, 1 is an assembly configuration diagram of a conventional semiconductor wafer transport cart;

도 2는 종래의 반도체 웨이퍼 운반용 카트 방진구조를 보여주는 분해사시도,2 is an exploded perspective view showing a dustproof structure of a conventional semiconductor wafer transport cart;

도 3은 본 고안에 따른 웨이퍼카세트 운반용 카트의 사시도,3 is a perspective view of a wafer cassette carrying cart according to the present invention;

도 4는 본 고안에 따른 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조를 보여주는 분해사시도,Figure 4 is an exploded perspective view showing the dustproof structure of the wafer cassette transport cart according to the present invention,

도 5는 본 고안에 따른 제2완충부재의 사시도 및 I-I선 단면도,5 is a perspective view and a cross-sectional view taken along line I-I of the second buffer member according to the present invention;

도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼카세트 운반용 카트의 사용상태측면도,6 is a side view of the state of use of the wafer cassette carrying cart according to the present invention,

도 7은 도 6의 'A'부분 상세단면도이다.FIG. 7 is a detailed cross-sectional view of portion 'A' of FIG. 6.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 웨이퍼카세트 운반용 카트 10 : 본체프레임1: Wafer cassette carrying cart 10: Body frame

11 : 핸들 13 : 캐스터11: handle 13: caster

15 : 고정판넬 20 : 제1탑재부재15: fixed panel 20: first mounting member

21 : 제1완충부재 23 : 적재판21: first buffer member 23: loading plate

25 : 걸림대 30 : 제2탑재부재25: hanger 30: second mounting member

31 : 제2완충부재 31a : 몸체부31: second buffer member 31a: body portion

31b : 제1완충부 31c : 제2완충부31b: first buffer part 31c: second buffer part

31d : 결합공 40 : 충격흡수용 롤러31d: coupling hole 40: shock absorbing roller

Claims (4)

사각틀 형상으로 주 몸체를 이루고 저면에 복수의 캐스터가 구비되는 본체프레임과, 상기 본체프레임의 상부에 충격흡수가 가능한 제1완충부재를 매개로 위치되는 제1탑재부재와, 상기 제1탑재부재의 내부 수평방향으로 적재판이 형성되고 상기 적재판 상측으로 웨이퍼카세트가 적재되는 제2탑재부재가 위치되되 상기 적재판과 제2탑재부재의 사이에 복수의 제2완충부재가 삽입구성된 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조에 있어서,A main frame having a main body in a rectangular frame shape and having a plurality of casters on a bottom surface thereof, a first mounting member positioned on a top of the body frame by a first buffer member capable of absorbing shock, and the first mounting member A wafer cassette carrying cart in which a loading plate is formed in an inner horizontal direction and a second mounting member on which the wafer cassette is loaded is positioned above the loading plate, and a plurality of second buffer members are inserted between the loading plate and the second mounting member. In the dustproof structure of, 상기 제2완충부재는,The second buffer member, 원통 형상의 몸체부;A cylindrical body portion; 상기 몸체부의 외주면에 'ㄷ'자형 홈으로 형성되는 제1완충부;A first buffer part formed as a 'c'-shaped groove on an outer circumferential surface of the body part; 상기 몸체부의 저면에 반원형상의 오목홈으로 형성되는 제2완충부; 및A second cushioning portion formed in a semicircular concave groove on a bottom surface of the body portion; And 상기 적재판과 상기 제2탑재부재를 나사결합시킬 수 있도록 상기 몸체부의 축 방향으로 관통형성된 결합공;A coupling hole penetrated in the axial direction of the body portion to screw the mounting plate and the second mounting member; 으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조.Dustproof structure of the wafer cassette transport cart, characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 몸체부는 높이에 비해 직경이 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조.The body structure is dustproof structure of the wafer cassette transport cart, characterized in that the diameter is formed larger than the height. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캐스터는 충격완화 및 정전기 방지기능을 가진 정전기 방지용 바퀴인 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조.The caster is a dustproof structure of the wafer cassette transport cart, characterized in that the anti-static wheel having a shock-absorbing and anti-static function. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 본체프레임의 네 모서리부에는 벽면과 충돌시 발생하는 충격을 완화시켜주기 위한 충격흡수용 롤러가 회전가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조.The dustproof structure of the wafer cassette transport cart, characterized in that the four corners of the main frame frame is rotatably coupled to the shock absorbing roller for mitigating the impact generated when the collision with the wall surface.
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