KR20090002742A - Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기발광다이오드 표시장치에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 화질 저하 및 쉐도우 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있는 유기발광다이오드 표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting diode display. Specifically, the present invention relates to an organic light emitting diode display and a method of manufacturing the same that can prevent the degradation of image quality and the occurrence of shadow phenomenon.
표시장치는 사용자에게 영상정보를 제공한다. 이러한 표시장치로는 액정표시장치(Liquid crystal display device), 전계방출표시장치(Field emission display device), 유기발광다이오드 표시장치(Organic light emitting diodes display device), 플라즈마 표시장치(Plasma display device)등일 수 있다..The display device provides the image information to the user. Such a display device may be a liquid crystal display device, a field emission display device, an organic light emitting diode display device, a plasma display device, or the like. have..
특히, 유기발광다이오드 표시장치는 자체발광형으로 LCD와 같은 백라이트 광원이 필요하지 않아 경량 박형이 가능할 뿐만 아니라, 단순한 공정을 거쳐 제조될 수 있다. 또한, 유기발광다이오드 표시장치는 저전압 구동, 높은 발광효율, 넓은 시야각과 같은 많은 장점을 가지고 있어, 차세대 디스플레이로서 급상승하고 있다.In particular, the organic light emitting diode display device is a self-luminous type and does not require a backlight light source such as an LCD, so that the organic light emitting diode display can be made thin and light, and can be manufactured through a simple process. In addition, organic light emitting diode display devices have many advantages such as low voltage driving, high luminous efficiency, and wide viewing angle, and are rapidly rising as next generation displays.
유기발광다이오드 표시장치는 영상을 표시하기 위해 기판상에 다수의 화소들을 구비한다. 여기서, 각 화소에 양극, 유기발광 패턴 및 음극을 포함하는 유기발광다이오드 소자가 배치되어 있다. 양극과 유기발광 패턴사이에 뱅크 패턴이 개재되어 각 화소를 정의한다. 뱅크 패턴은 양극의 일부를 노출하는 개구를 가진다. 이때, 적어도 상기 개구에 의해 노출된 양극 상에 유기발광 패턴이 배치되고, 유기발광패턴 및 뱅크 패턴상에 음극이 배치된다. 이로써, 뱅크 패턴은 각 화소를 정의하며, 양극과 음극간의 쇼트 불량이 방지하는 역할을 한다.The organic light emitting diode display includes a plurality of pixels on a substrate for displaying an image. Here, an organic light emitting diode element including an anode, an organic light emitting pattern, and a cathode is disposed in each pixel. A bank pattern is interposed between the anode and the organic light emitting pattern to define each pixel. The bank pattern has an opening that exposes a portion of the anode. In this case, an organic light emitting pattern is disposed on at least an anode exposed by the opening, and a cathode is disposed on the organic light emitting pattern and the bank pattern. Thus, the bank pattern defines each pixel, and serves to prevent short defects between the anode and the cathode.
뱅크 패턴은 제 1 전극의 에지부와 접하여 일정한 경사각을 이루는 측벽을 포함한다. 여기서, 상기 경사각이 45˚이상일 경우, 후술될 유기발광 패턴이 제 1 전극의 에지부에서 끊어질 수 있다. 또는, 유기발광 패턴이 다른 영역 즉, 화소의 중앙부에 비해 제 1 전극의 에지부에서 얇게 형성될 수 있다. 이로 인해, 양극의 에지부 즉 화소의 에지부는 화소의 중앙부에 비해 큰 휘도를 갖는 쉐도우 현상이 발생한다. 또한, 화소의 에지부가 쉽게 열화되어, 유기발광다이오드 표시장치의 수명이 저하되는 문제점이 있었다.The bank pattern includes sidewalls having a constant inclination angle in contact with the edge portion of the first electrode. Here, when the inclination angle is 45 ° or more, the organic light emitting pattern, which will be described later, may be cut at the edge of the first electrode. Alternatively, the organic light emitting pattern may be formed thinner at another edge, that is, at the edge of the first electrode than at the center of the pixel. As a result, a shadow phenomenon occurs in which the edge portion of the anode, that is, the edge portion of the pixel, has a greater luminance than the center portion of the pixel. In addition, there is a problem that the edge portion of the pixel is easily deteriorated, and the lifespan of the organic light emitting diode display device is reduced.
상기 경사각을 줄이기 위해, 뱅크 패턴의 두께를 줄일 수 있다. 그러나, 뱅크 패턴의 두께가 감소될 경우, 뱅크 패턴을 사이에 둔 제 2 전극과 다수의 배선, 예컨대 각 화소에 공통전압을 인가하는 전원공급 배선간에 기생 캡이 발생할 수 있다. 이와 같은 기생캡은 유기발광 패턴으로 인가되는 전류의 조절이 되지 않아 크로스 토크(cross-talk)와 같은 화질에 영향을 미칠 수 있다.In order to reduce the inclination angle, the thickness of the bank pattern may be reduced. However, when the thickness of the bank pattern is reduced, a parasitic cap may occur between the second electrode sandwiching the bank pattern and a plurality of wirings, for example, a power supply wiring for applying a common voltage to each pixel. Such a parasitic cap is not controlled by the current applied to the organic light emitting pattern may affect the image quality such as cross-talk (cross-talk).
본 발명이 해결하고자 하는 하나의 과제는 화질 저하 및 쉐도우 현상을 동시에 방지할 수 있는 유기발광다이오드 표시장치를 제공함에 있다.One problem to be solved by the present invention is to provide an organic light emitting diode display device capable of simultaneously preventing image degradation and shadow phenomenon.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 상기 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the organic light emitting diode display.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 유기발광다이오드 표시장치를 제공한다. 상기 유기발광다이오드 표시장치는 기판상에 배치된 제 1 전극, 상기 제 1 전극을 포함하는 상기 기판상에 상기 제 1 전극의 일부를 노출하며 굴곡부를 갖는 측벽을 포함하는 뱅크 패턴, 적어도 상기 개구에 의해 노출된 제 1 전극상에 배치된 유기발광 패턴, 및 상기 유기발광 패턴상에 배치된 제 2 전극을 포함한다.In order to achieve the above technical problem, an aspect of the present invention provides an organic light emitting diode display. The organic light emitting diode display includes a first electrode disposed on a substrate, a bank pattern including a sidewall having a bent portion exposing a portion of the first electrode on the substrate including the first electrode, and at least in the opening. And an organic light emitting pattern disposed on the first electrode exposed by the second electrode, and a second electrode disposed on the organic light emitting pattern.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 일 측면은 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 제공한다. 상기 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법은 기판상에 제 1 전극을 형성하는 단계, 상기 제 1 전극을 포함하는 상기 기판상에 상기 제 1 전극의 일부를 노출하며 굴곡부를 갖는 측벽을 포함하는 뱅크 패턴을 형성하는 단계, 적어도 상기 개구에 의해 노출된 제 1 전극상에 유기발광 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 유기발광패턴상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함 한다.In order to achieve the above technical problem, another aspect of the present invention provides a method of manufacturing an organic light emitting diode display. The method of manufacturing the organic light emitting diode display device includes forming a first electrode on a substrate, and exposing a portion of the first electrode on the substrate including the first electrode, the bank pattern including a sidewall having a bent portion. Forming an organic light emitting pattern on at least a first electrode exposed by the opening, and forming a second electrode on the organic light emitting pattern.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르는 유기발광다이오드 표시장치의 뱅크 패턴은 굴곡부를 갖는 측벽을 포함함에 따라 뱅크 패턴의 두께는 유지하며 균일한 두께를 갖는 유기발광 패턴을 형성할 수 있어, 유기발광다이오드 표시장치의 화질 저하 및 쉐도우 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다.As described above, since the bank pattern of the organic light emitting diode display according to the present invention includes a sidewall having a bent portion, the thickness of the bank pattern may be maintained and an organic light emitting pattern having a uniform thickness may be formed. It is possible to prevent the deterioration of image quality of the device and the occurrence of shadow phenomenon.
이에 더하여, 유기발광 패턴을 균일한 두께로 형성할 수 있어, 유기발광 패턴이 불균일한 두께로 형성되어 발생하는 유기발광다이오드 표시장치의 수명이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the organic light emitting pattern can be formed to have a uniform thickness, thereby preventing the life of the organic light emitting diode display device, which is generated by forming the organic light emitting pattern to have a nonuniform thickness, can be prevented.
이하, 본 발명에 의한 실시예들은 유기발광다이오드 표시장치의 도면들을 참고하여 더욱 상세하게 설명된다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings of an organic light emitting diode display. The following embodiments are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. In the drawings, the size and thickness of the device may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치 를 설명하기 위해 도시한 도면들이다. 1A and 1B are diagrams illustrating an organic light emitting diode display device according to a first embodiment of the present invention.
도 1a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 일부의 평면도이다. 1A is a plan view of a portion of an organic light emitting diode display according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 1b는 도 1a에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1A.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 유기발광다이오드 표시장치는 기판(100)상에 배치된 다수의 화소들을 포함한다. 다수의 화소들은 서로 다른 색인 제 1, 제 2 및 제 3 색을 각각 형성하는 제 1, 제 2 및 제 3 화소(P1, P2, P3)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제 1 색은 적색이고, 제 2 색은 녹색이며, 제 3 색은 청색일 수 있다. 여기서, 제 1, 제 2 및 제 3 화소(P1, P2, P3)들이 기판(100)상에 다수 개로 배치되어, 다양한 색상의 광이 발생된다. 이로써, 유기발광다이오드 표시장치는 사용자에게 풀-컬러의 영상을 제공할 수 있다.1A and 1B, an organic light emitting diode display includes a plurality of pixels disposed on a
이와 달리, 다수의 화소들은 서로 동일한 색, 예컨대 백색광을 구현하며, 기판 또는 기판과 대향된 대향 기판에 컬러필터를 구비하여 사용자에게 풀-컬러의 영상을 제공할 수도 있다.Alternatively, the plurality of pixels may implement the same color, for example, white light, and may provide a full-color image to the user by including a color filter on the substrate or an opposite substrate facing the substrate.
도면에서는 설명의 편의를 위해 각 유기발광다이오드 소자에 구동신호를 인가하는 구동소자들을 도시하지 않았으며, 이에 대해서는 본 명세서에서 그 설명을 생략하기로 한다.In the drawings, for convenience of description, driving devices for applying a driving signal to each of the organic light emitting diode devices are not illustrated, and description thereof will be omitted herein.
기판(100)의 각 화소에 제 1 전극(110), 뱅크 패턴(120), 유기발광 패턴(130) 및 제 2 전극(140)을 포함한다. 여기서, 제 1 전극(110), 유기발광 패턴(130) 및 제 2 전극(140)은 유기발광다이오드 소자(E)를 구성한다. 이에 더하여, 유기발광다이오드 표시장치는 외부의 수분 및 산소에 의하여 수명 및 신뢰성이 저하되는 것을 방지하기 위해, 유기발광다이오드 소자(E)를 외부로터 차단하고 기판(100)과 합착된 상부기판(200)을 더 포함할 수 있다.Each pixel of the
제 1 전극(110)은 각 화소에 개별적으로 배치되어 있다. 여기서, 유기발광다이오드 표시장치의 발광 방식에 따라, 제 1 전극(110)의 재질은 달라질 수 있다. 예를 들면, 유기발광다이오드 표시장치가 기판(100)을 통과해 영상을 제공하는 하부발광 방식(bottom emission type)일 경우, 제 1 전극(110)은 투명한 도전막으로 이루어질 수 있다. 반면, 유기발광다이오드 표시장치가 상부기판(200)을 통과해 영상을 제공하는 상부발광 방식(top emission type)일 경우, 제 1 전극(110)은 광을 반사하는 광 반사막으로 이루어질 수 있다. 여기서, 제 1 전극(110)은 광을 반사할 수 있는 하나의 도전막으로 이루어지거나, 투명한 막과 광 반사막의 이중막(dual layer)으로 이루어질 수도 있다.The
뱅크 패턴(120)은 제 1 전극(110)을 포함하는 기판(100)상에 배치된다. 뱅크 패턴(120)은 제 1 전극(110)의 일부를 노출하는 개구를 가진다. 즉, 뱅크 패턴(120)은 제 1 전극(110)의 에지부를 포함하며 각 화소들 사이에 배치된다. 이로써, 뱅크 패턴(120)은 각 화소를 정의하는 역할을 한다. 또한, 뱅크 패턴(120)은 제 1 전극(110)과 후술될 제 2 전극(140)간의 쇼트 불량이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다.The
뱅크 패턴(120)은 제 1 전극(110)의 에지부와 접하여 일정한 경사각(T)을 이루는 측벽(122)을 포함한다. 여기서, 뱅크 패턴(120)은 기생 캡이 형성되는 것을 방지하기 위해, 1.5 내지 3㎛의 두께 범위를 가질 수 있다. 이때, 뱅크 패턴(120)의 두께에 의해 경사각(T)이 증가할 수 있다. 이로써, 뱅크 패턴(120)의 두께는 유지하며 경사각(T)을 줄이기 위해, 뱅크 패턴(120)의 측벽(122)은 일정한 형태의 굴곡부(125)를 가진다. 굴곡부(125)는 경사각(T)을 줄이기 위한 다양한 형태를 가질 수 있다.The
이하, 굴곡부(125)의 다양한 형태를 도시한 도면들을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 설명한다. Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings showing various forms of the
도 2a 내지 도 2d들은 도 1에 도시된 A영역만을 확대도로써, 뱅크 패턴의 측벽이 갖는 다양한 형태를 도시한 단면도들이다.2A to 2D are cross-sectional views illustrating various forms of sidewalls of a bank pattern in an enlarged view of only region A illustrated in FIG. 1.
도 2a를 참조하면, 굴곡부(125)는 하나의 단차를 가질 수 있다. 이로 인하여, 다수의 배선과 제 2 전극(140)사이에서의 뱅크 패턴(120)은 일정한 두께를 유지하며 각 화소와 인접한 뱅크 패턴(120)의 두께는 작아지게 되어, 결국 경사각(T)은 감소될 수 있다. 반면, 도 2b를 참조하면, 굴곡부(125)는 복수개의 단차들을 가지도록 형성하여, 경사각(T)을 더욱 감소시킬 수 있다.Referring to FIG. 2A, the
도 2c를 참조하면, 굴곡부(125)는 엠보싱 패턴을 가질 수 있다. 이때, 엠보싱 패턴의 타원형 및 반원형일 수 있다. 여기서, 경사각(T)을 더욱 줄이기 위해 엠보싱 패턴은 제 1 전극(110)과 접하는 영역에 엠보싱 패턴의 일부가 걸치도록 형성할 수 있다. 반면, 도 2d를 참조하면, 굴곡부(125)는 엠보싱 패턴이 일정하게 배열되는 주름 패턴을 가질 수 있다. Referring to FIG. 2C, the
다시 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 적어도 뱅크 패턴(120)에 의해 노출된 제 1 전극(110)상에 유기발광 패턴(130)이 배치되어 있다. 유기발광 패턴은 제 1, 제 2 및 제 3 화소(P1, P2, P3)에 배치되어 각각 서로 다른 파장을 갖는 광을 형성하는 물질을 포함한다. Referring back to FIGS. 1A and 1B, the organic
적어도 유기발광 패턴(130)상에 제 2 전극(140)이 배치되어 있다. 제 2 전극(140)은 제 1, 제 2 및 제 3 화소(P1, P2, P3)에서 공통전극으로 사용될 수 있어, 제 2 전극(140)은 유기발광 패턴(130) 및 뱅크 패턴(120)상에 배치될 수 있다. The
제 2 전극(140)의 재질은 유기발광다이오드 표시장치의 발광 방식에 따라 달라질 수 있다. 예를 들면, 유기발광다이오드 표시장치가 하부발광 방식일 경우, 제 2 전극(140)은 광 반사막으로 형성될 수 있다. 이와 달리, 유기발광다이오드 표시장치가 상부발광 방식일 경우, 제 2 전극(140)은 투명한 도전막으로 형성될 수 있다. 여기서, 제 2 전극(140)이 음극으로 사용될 경우, 제 2 전극(140)은 제 1 전극(110)에 비해 일함수가 낮은 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제 2 전극(140)은 Ag, Au, Pt, Mg, Al, AgMg 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.The material of the
도면에는 도시하지 않았으나, 유기발광다이오드 소자(E)는 광 효율을 향상시키기 위해 제 1 전극(110)과 유기발광 패턴(130)사이에 개재된 제 1 전하 주입층과 제 1 전하 수송층을 포함할 수 있다. 이에 더하여, 유기발광 패턴(130)과 제 2 전극(140) 사이에 개재된 제 2 전하 주입층과 제 2 전하 수송층을 더 포함할 수 있다. Although not shown, the organic light emitting diode device E may include a first charge injection layer and a first charge transport layer interposed between the
이로써, 유기발광다이오드 표시장치는 굴곡진 측벽을 갖는 뱅크 패턴(120)을 포함하여 뱅크 패턴(120)의 두께는 유지하며 뱅크 패턴(120)의 측벽의 경사각을 낮 출 수 있어, 유기발광다이오드 표시장치는 균일한 두께를 갖는 유기발광 패턴을 구비할 수 있다. 따라서, 유기발광다이오드 표시장치는 유기발광 패턴의 불균일한 두께로 인해 발생하는 쉐도우 현상을 방지할 수 있다.As a result, the organic light emitting diode display includes a
도 3a 내지 도 3d들은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.3A to 3D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display device according to a second embodiment of the present invention.
도 3a를 참조하면, 유기발광다이오드 표시장치를 제조하기 위해, 기판(100)상에 제 1 전극(110)을 형성한다. 기판은 제 1, 제 2 및 제 3 화소(P1, P2, P3)가 정의되어 있다. 기판(100)의 재질은 플라스틱 또는 유리재질일 수 있다. 특히, 유기발광다이오드 표시장치가 기판(100)을 통해 사용자에게 영상을 제공할 경우, 기판(100)은 투명한 재질로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 3A, a
제 1 전극(110)은 각 화소(P1, P2, P3)에 개별적으로 배치되어 있다. 여기서, 제 1 전극(110)을 형성하기 위해, 먼저 기판상에 도전막을 형성한 후, 도전막상에 일정한 패턴을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성한다. 도전막은 투명한 도전막, 광을 반사하는 광 반사막 또는 이들의 이중층일 수 있다. 여기서, 도전막의 형성방법의 예로서는 스퍼터링법을 통해 형성할 수 있다. 이후, 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 도전막을 식각한 후, 포토레지스트 패턴을 제거함에 따라 기판상에 각 화소에 배치된 제 1 전극(110)을 형성할 수 있다.The
도 3b를 참조하면, 제 1 전극(110)을 포함하는 기판(100)상에 뱅크층(120a)을 형성한다. 뱅크층(120a)은 유기절연막으로 형성할 수 있다. 예를 들면, 유기절 연막은 아크릴계 수지(Acryl-based resin), 우레탄 수지(Urethane resin), 폴리이미드계 수지(Polyimide-based resin) 및 실리콘계 수지(Silicone-based resin)등 일 수 있다. 뱅크층(120a)을 형성하는 방법의 예로서는 스핀 코팅법, 스프레이 코팅법, 닥터 블레이드법등일 수 있다. 이때, 뱅크층(120a)의 두께는 1.5 내지 3㎛의 범위를 가질 수 있다.Referring to FIG. 3B, the
뱅크층(120a)을 형성한 후, 뱅크층(120a)을 포함하는 기판(100)상으로 마스크(M)를 제공한다. 마스크(M)는 광 투과부(M1), 반투과부(M2) 및 광 차단부(M3)를 포함할 수 있다. 이를 테면, 마스크(M)는 회절 마스크 또는 하프톤 마스크일 수 있다. 이후, 마스크(M)를 이용하여 뱅크층(120a)에 광을 조사하는 노광 공정을 수행한다. 이때, 마스크(M)에 의해 뱅크층(120a)에 일정한 패턴으로 광이 조사된다.After the
도 3c를 참조하면, 노광된 뱅크층(120a)에 현상 공정을 수행하여, 제 1 전극(110)의 일부분을 노출하는 개구를 갖는 뱅크 패턴(120)을 형성한다. 즉, 뱅크 패턴(120)은 제 1 전극(110)의 에지와 각 화소들 사이에 배치된다. 이때, 마스크(M)의 반투과부(M2)에 의해 뱅크 패턴(120)의 측벽(122)은 굴곡부(125)를 가진다. 반투과부(M2)의 형태에 따라 굴곡부(125)는 단차부, 엠보싱 패턴 및 주름 패턴 중 어느 하나의 형태로 형성할 수 있다. 이로써, 뱅크 패턴(120)은 기생 캡이 형성되는 것을 방지할 수 있는 두께를 유지하며 측벽(122)의 경사각은 낮출 수 있다. 이로써, 후술될 유기발광 패턴(130)이 측벽(122)과 제 1 전극(110)이 접하는 즉, 제 1 전극(110)의 에지부에서 다른 영역에 비해 얇게 형성하는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 3C, a developing process is performed on the exposed
도 3d를 참조하면, 뱅크 패턴(120)을 형성한 후, 적어도 개구에 의해 노출된 제 1 전극(110)상에 유기발광 패턴(130)을 형성한다. 유기발광 패턴(130)은 제 1, 제 2 및 제 3 화소(P1, P2, P3)별로 각 화소의 색상의 광을 형성할 수 있는 유기발광분자를 포함하는 물질로 형성할 수 있다. 여기서, 유기발광 패턴(130)은 쉐도우 마스크를 이용한 증착공정 또는 잉크젯 프린팅법을 통해 형성할 수 있다. 이때, 측벽(122)의 경사각은 굴곡부에 의해 낮아지게 되므로, 유기발광 패턴(130)은 제 1 전극(110)상에서 균일하게 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3D, after the
이후, 유기발광 패턴(130)을 포함하는 제 1 기판(100)상에 제 2 전극(140)을 형성한다. 제 1 전극(110)이 광 반사막으로 형성될 경우 제 2 전극(140)은 투명막으로 형성할 수 있다. 이와 달리, 제 1 전극(110)이 투명막으로 형성될 경우, 제 2 전극(140)은 광 반사막으로 형성할 수 있다. 이때, 제 2 전극(140)은 모든 화소에 공통 전극으로 형성될 수 있다. 이로써, 제 2 전극(140)은 유기발광 패턴(130) 및 뱅크 패턴(120)상에 배치될 수 있다.Thereafter, the
이에 더하여, 제 1 전극(110) 및 유기발광 패턴(130)사이에 제 1 전하주입층 및 제 1 전하수송층 중 적어도 어느 하나를 형성할 수 있다. 또한, 유기발광 패턴(130) 및 제 2 전극(140) 사이에 제 2 전하수송층 및 제 2 전하주입층을 더 형성할 수 있다.In addition, at least one of the first charge injection layer and the first charge transport layer may be formed between the
또한, 유기발광다이오드 소자(E)가 외부의 산소 및 수분에 의해 열화되어 수명이 저하되는 것을 방지하기 위해, 유기발광다이오드 소자(E)가 덮으며 기판(100)상에 상부기판(200)을 합착시킬 수 있다. In addition, in order to prevent the organic light emitting diode device E from being degraded by external oxygen and moisture and deteriorating its life, the organic light emitting diode device E is covered and the
따라서, 본 발명의 실시예에서 뱅크 패턴(120)은 회절 마스크 또는 하프톤 마스크와 같이 반투과부를 갖는 마스크를 이용하여 형성함에 따라 굴곡부(125)를 갖는 측벽(122)을 가질 수 있어, 뱅크 패턴(120)의 두께를 유지하며 뱅크 패턴(120)의 측벽(122)은 낮은 경사각을 가질 수 있다. 이로써, 유기발광 패턴(130)은 다른 영역에 비해 제 1 전극(110)의 에지에서 얇게 형성되는 것을 방지할 수 있다.Therefore, in the embodiment of the present invention, the
상기에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. You will understand.
도 1a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 일부의 평면도이다. 1A is a plan view of a portion of an organic light emitting diode display according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 1b는 도 1a에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1A.
도 2a 내지 도 2d들은 도 1에 도시된 A영역만을 확대도로써, 뱅크 측벽의 다양한 형태를 도시한 단면도들이다.2A to 2D are cross-sectional views illustrating various forms of bank sidewalls in an enlarged view of only region A illustrated in FIG. 1.
도 3a 내지 도 3d들은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.3A to 3D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display device according to a second embodiment of the present invention.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)
100 : 기판100: substrate
110 : 제 1 전극110: first electrode
120 : 뱅크패턴120: bank pattern
125 : 굴곡부125: bend
130 : 유기발광 패턴130: organic light emitting pattern
140 : 제 2 전극140: second electrode
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020070066948A KR20090002742A (en) | 2007-07-04 | 2007-07-04 | Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family
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KR1020070066948A KR20090002742A (en) | 2007-07-04 | 2007-07-04 | Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9269754B2 (en) | 2014-04-14 | 2016-02-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display apparatus and method of manufacturing the same |
US9391292B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-07-12 | Samaung Display Co., Ltd. | Display device, method of manufacturing the same, and method of repairing the same |
CN106067478A (en) * | 2016-08-08 | 2016-11-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Pixel defines the manufacture method of layer and the manufacture method of OLED |
WO2020166511A1 (en) * | 2019-02-15 | 2020-08-20 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | Display device, method for manufacturing display device, and electronic apparatus |
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2007
- 2007-07-04 KR KR1020070066948A patent/KR20090002742A/en not_active Application Discontinuation
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