KR20080114019A - Apparatus for storing substrate - Google Patents

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Abstract

A substrate loading apparatus for vertically loading substrates is provided to easily unload a specific substrate, and maximizing space use efficiency. A substrate loading part(10) has a plurality of slots(30) which vertically loads substrates in the state inclining to the constant angle while being arranged in the loading frame(20). A plurality of substrate transfer rollers(31) are placed at the bottom side of each slot. A horizontally moving unit is placed at a driving frame(60) and moves the loaded frame horizontally. A driving unit is moved by the horizontally moving unit, and unloads a specific substrate.

Description

기판 적재장치{Apparatus for storing substrate}Apparatus for storing substrate

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a substrate loading apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 슬롯을 도시한 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating the slot shown in FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시된 구동부를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating the driving unit illustrated in FIG. 1.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 측면도이다.4 is a side view illustrating the operation of the substrate loading apparatus according to the embodiment of the present invention.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** ** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

10 : 기판적재부 20 : 적재프레임10: substrate loading part 20: loading frame

30 : 슬롯 31 : 기판이송롤러30: slot 31: substrate transfer roller

32 : 제1기판이송롤러 33 : 제2기판이송롤러32: first substrate feed roller 33: second substrate feed roller

35 : 지지바 36 : 보조롤러35: support bar 36: auxiliary roller

50 : 구동부 60 : 구동프레임50: drive unit 60: drive frame

70 : 구동유닛 73 : 구동롤러70: drive unit 73: drive roller

77 : 제1구동모터 80 : 수평이동유닛77: first drive motor 80: horizontal moving unit

81 : 제2구동모터 83 : 볼 스크류81: second drive motor 83: ball screw

85 : 볼너트85: Ball Nut

본 발명은 기판 적재장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소정의 공정 처리가 이루어진 기판을 적재시켜 다른 공정을 수행하기 위한 위치로 이송시킬 수 있는 기판 적재장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate loading apparatus, and more particularly, to a substrate loading apparatus capable of loading a substrate on which a predetermined process treatment is performed and transferring the substrate to a position for performing another process.

최근 현대사회가 정보화 사회화가 되어감에 따라 정보표시장치의 하나인 액정표시장치는 그 중요성이 점차 증가되고 있으며, 특히 그것이 갖고 있는 소형화, 경량화, 저전력소비화 등의 장점 때문에 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되는 추세에 있다.Recently, as the modern society becomes the information society, the importance of the liquid crystal display device, which is one of the information display devices, is gradually increasing. Especially, due to its advantages such as small size, light weight, and low power consumption, the CRT can overcome As a possible alternative, the use area is gradually increasing.

이러한 액정표시장치는 기판 상에 애싱, 포토리소그래피, 식각, 증착 등의 공정을 선택적으로 반복 수행함으로써 이루어지며, 이 액정표시장치를 제조하기 위한 제조설비에는 어느 하나의 공정에서 소정의 공정 처리가 이루어진 기판을 적재한 후 다음 공정을 수행하기 위한 위치로 기판을 이송시키는 기판 적재장치가 마련된다.Such a liquid crystal display is formed by selectively repeating a process such as ashing, photolithography, etching, and deposition on a substrate, and a predetermined process is performed in any one process in a manufacturing facility for manufacturing the liquid crystal display. After loading the substrate is provided a substrate loading apparatus for transferring the substrate to a position for performing the next process.

이러한 기판 적재장치에는 다수의 기판이 다단으로 적재되는 카세트와, 이 카세트에 적재된 기판의 이송을 위해 카세트를 승강시키는 승강부가 마련된다. 이때, 카세트에는 다수의 기판이 수평상태를 유지한 채 다단으로 적재될 수 있도록 다수의 슬롯이 형성되며, 각 슬롯에는 기판을 지지하기 위한 핀이 장착된다. Such a substrate stacking apparatus is provided with a cassette in which a plurality of substrates are stacked in multiple stages, and a lifting unit for lifting and lowering the cassette for transporting the substrate loaded on the cassette. In this case, a plurality of slots are formed in the cassette so that a plurality of substrates can be stacked in multiple stages while maintaining a horizontal state, and each slot is equipped with a pin for supporting the substrate.

한편, 상기와 같은 기판 적재장치는 최초 카세트의 최상단 슬롯으로부터 차 례로 기판을 반입해 적재하며, 적재된 기판의 반출은 카세트의 최하단 슬롯으로부터 차례로 반출하게 된다.On the other hand, the substrate loading apparatus as described above loads and loads the substrate in order from the uppermost slot of the first cassette, and the carrying out of the loaded substrate is sequentially carried out from the lowermost slot of the cassette.

즉, 종래의 기판 적재장치에서는 상술한 바와 같이 카세트의 최하단으로부터 순차적으로 기판을 반출하게 되는데, 특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시키는 것이 용이하지 않다. That is, in the conventional substrate loading apparatus, as described above, the substrates are carried out sequentially from the lowermost end of the cassette, but it is not easy to carry out only the substrates loaded in the specific slots.

또한, 상기와 같은 기판 적재장치에서는 카세트에 기판의 적재 시 기판을 수평상태로 적재하게 되므로 이 기판을 적재하기 위하여 충분한 공간을 확보해야 하는 문제점이 있다.In addition, in the substrate loading apparatus as described above, when the substrate is loaded in the cassette, the substrate is loaded in a horizontal state, and thus there is a problem in that sufficient space is required to load the substrate.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 공간 점유를 효율적으로 할 수 있으며, 특정 슬롯에 적재된 기판을 반출시킬 수 있는 기판 적재장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate stacking apparatus which can efficiently occupy space and can carry out a substrate loaded in a specific slot.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 기판 적재장치는 적재프레임과, 상기 적재프레임에 배치되며 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 다수의 슬롯을 구비하는 기판적재부와; 상기 적재프레임의 하측에 배치되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 적재프레임을 수평 이동시키는 수평이동유닛과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 수평이동유닛에 의해 이동된 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 적재된 기판을 반출시키기 위하여 구동되는 구동유닛을 구비하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate stacking apparatus including a stacking frame and a plurality of slots disposed on the stacking frame and configured to vertically stack the substrate at a predetermined angle; Any one of a driving frame disposed below the loading frame, a horizontal moving unit mounted to the driving frame to horizontally move the loading frame, and each slot mounted to the driving frame and moved by the horizontal moving unit; It characterized in that it comprises a drive unit having a drive unit which is driven to carry out the substrate loaded in the slot.

상기 각 슬롯의 하측에는 기판을 이송하기 위한 다수의 기판이송롤러가 마련되고, 상기 각 슬롯 상에는 상기 기판이송롤러에 의해 이송되는 기판의 이송을 보조하는 다수의 보조롤러가 마련된 것을 특징으로 한다.A plurality of substrate transport rollers for transporting the substrate is provided below each slot, and a plurality of auxiliary rollers are provided on each slot to assist transport of the substrate transported by the substrate transport roller.

상기 구동유닛은 상기 수평이동유닛에 의해 수평 이동되어 상기 기판이송롤러를 이송시키는 구동롤러와, 상기 구동롤러를 구동시키는 제1구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.The driving unit is horizontally moved by the horizontal moving unit, characterized in that it comprises a drive roller for transporting the substrate transfer roller, and a first drive motor for driving the drive roller.

상기 구동롤러와 상기 기판이송롤러는 비접촉으로 회전되는 마그네틱롤러인 것을 특징으로 한다.The driving roller and the substrate transfer roller is characterized in that the magnetic roller is rotated in a non-contact.

상기 수평이동유닛은 제2구동모터와, 상기 제2구동모터로부터 연장되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류 상에 장착되고 상기 적재프레임의 하측에 고정되는 볼너트를 포함하는 것을 특징으로 한다.The horizontal moving unit includes a second driving motor, a ball screw extending from the second driving motor, and a ball nut mounted on the ball screw and fixed to the lower side of the loading frame.

이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention;

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 적재부를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 구동부를 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 정면도이다.1 is a perspective view showing a substrate loading apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a substrate loading portion shown in Figure 1, Figure 3 is a perspective view showing a driving portion shown in Figure 1, 4 is a front view showing for explaining the operation of the substrate loading apparatus according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 1을 참조하면 기판 적재장치는 다수의 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하기 위한 기판적재부(10)와, 이 기판적재부(10)에 적재된 기판 중 특정 기판을 반출하기 위한 구동부(50)를 포함하여 구성된다.First, referring to FIG. 1, the substrate stacking apparatus may carry out a substrate stacking unit 10 for vertically stacking a plurality of substrates at a predetermined angle, and a specific substrate among the substrates loaded on the substrate stacking unit 10. It comprises a drive unit 50 for.

구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기판적재부(10)에는 사각 형상의 외관을 가지는 적재프레임(20)이 마련된다. 그리고, 적재프레임(20)에는 기판이 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재되는 슬롯(30)이 다수개 마련된다. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the substrate loading part 10 is provided with a loading frame 20 having a rectangular shape. In addition, the loading frame 20 is provided with a plurality of slots 30 which are vertically stacked in a state where the substrate is inclined at a predetermined angle.

이때, 각 슬롯(30)의 하측에는 각 슬롯(30)에 적재되어 있는 기판을 이송하기 위한 다수의 기판이송롤러(31)가 마련된다. 여기서, 기판이송롤러(31)는 그 상면에 기판이 안착되어 이송되는 두 개의 제1기판이송롤러(32)와, 각 제1기판이송롤러(32) 사이의 중앙 하측에 마련되는 제2기판이송롤러(33)와, 각 제1기판이송롤러(32)와 제2기판이송롤러(33)를 연결하여 제2기판이송롤러(33)의 회전을 제1기판이송롤러(32)로 전달하는 이송벨트(34)를 포함하여 구성된다. 이때의 제2기판이송롤러(33)는 도시된 바와 같이 축에 의해 연결되는 2개의 롤러로 이루어지는데, 그 선단은 이송벨트(34)에 감겨져 제1기판이송롤러(32)를 회전시키는 역할을 하며 그 후단은 후술할 구동유닛의 구동롤러(73)와 일정 간격 이격 배치된다. 또, 제2기판이송롤러(33)는 마그네틱롤러로 이루어진다.In this case, a plurality of substrate transfer rollers 31 for transferring the substrates loaded in the slots 30 are provided below each slot 30. Here, the substrate transfer roller 31 has a second substrate transfer provided below the center between the two first substrate transfer rollers 32 on which the substrate is seated and transported, and the first substrate transfer rollers 32. The roller 33, the first substrate transfer roller 32 and the second substrate transfer roller 33 are connected to transfer the rotation of the second substrate transfer roller 33 to the first substrate transfer roller 32. It is configured to include a belt (34). At this time, the second substrate transfer roller 33 is composed of two rollers connected by a shaft as shown, the front end is wound around the transfer belt 34 serves to rotate the first substrate transfer roller 32 The rear end is spaced apart from the driving roller 73 of the driving unit to be described later. The second substrate transfer roller 33 is made of a magnetic roller.

또, 각 슬롯(30)에는 기판을 상술한 바와 같이 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하기 위하여 기판을 지지하는 다수의 지지바(35)가 마련되며, 이 지지바(35)에는 상술한 기판이송롤러(31)에 의한 기판의 이송을 보조하기 위한 다수의 보조롤러(36)가 마련된다.In addition, each of the slots 30 is provided with a plurality of support bars 35 for supporting the substrate for vertically loading the substrate at a predetermined angle as described above. A plurality of auxiliary rollers 36 are provided to assist the transfer of the substrate by the transfer roller 31.

도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 구동부(50)는 적재프레임(20)의 하측에 배치되는 구동프레임(60)과, 이 구동프레임(60)에 장착되어 슬롯(30)에 지지되어 있 는 기판을 이송시키기 위하여 기판이송롤러(31)에 회전시키기 위한 구동유닛(70)과, 이 구동프레임(60)에 장착되며 적재프레임(20)을 수평 이동시켜 각 슬롯(30) 중 어느 하나의 슬롯에 배치된 기판을 반출시키기 위한 수평이동유닛(80)을 포함한다.As shown in FIGS. 1 and 3, the driving unit 50 is a driving frame 60 disposed below the loading frame 20, and is mounted to the driving frame 60 and supported by the slot 30. The drive unit 70 for rotating the substrate transfer roller 31 to transfer the substrate, and is mounted to the drive frame 60, and the loading frame 20 is moved horizontally to any one slot of each slot (30) It includes a horizontal moving unit 80 for carrying out the substrate disposed in the.

이때, 구동프레임(60)은 상술한 바와 같이 적재프레임(20)의 하측에 배치되며, 외관이 사각형상의 프레임으로 이루어진다.At this time, the drive frame 60 is disposed below the stacking frame 20 as described above, the appearance is made of a rectangular frame.

구동유닛(70)은 상술한 바와 같이 적재프레임(20)의 슬롯에 장착되어 있는 기판이송롤러(31)를 회전시키는 역할을 한다. 이를 위해 구동유닛(70)은 구동프레임(60)의 중앙측에서 가로방향으로 장착되는 회전축(71)과, 이 회전축(71) 상에 설치되며 슬롯(30)에 장착된 기판이송롤러(31) 중 제2기판이송롤러(33)와 대응되는 위치에 배치되는 구동롤러(73)와, 이 구동롤러(73)를 회전시키기 위하여 회전축(71)과 구동벨트(79)에 의해 연결되는 제1구동모터(77)를 포함하여 구성된다. 이때, 회전축(71) 상에는 바닥면으로부터 지지될 수 있도록 다수의 지지리브(75)가 장착되어 있으며, 구동롤러(73)는 제2기판이송롤러(33)를 비접촉으로 회전시키는 마그네틱롤러이다.The drive unit 70 serves to rotate the substrate transfer roller 31 mounted in the slot of the loading frame 20 as described above. To this end, the driving unit 70 has a rotating shaft 71 mounted in the horizontal direction at the center of the driving frame 60 and a substrate transfer roller 31 mounted on the rotating shaft 71 and mounted in the slot 30. A driving roller (73) disposed at a position corresponding to the second substrate transfer roller (33), and a first drive connected by the rotation shaft (71) and the driving belt (79) to rotate the driving roller (73). It is configured to include a motor (77). At this time, a plurality of support ribs 75 are mounted on the rotating shaft 71 so as to be supported from the bottom surface, and the driving roller 73 is a magnetic roller for rotating the second substrate transfer roller 33 in a non-contact manner.

수평이동유닛(80)은 상술한 바와 같이 적재프레임(20)을 수평 이동 즉, 구동프레임(60)의 세로방향으로 이동시켜 이 적재프레임(20)에 장착되는 각 슬롯(30) 중 어느 하나의 슬롯을 구동유닛(70)에 대응되는 위치로 이동시키는 역할을 한다. 이를 위해 수평이동유닛(80)은 구동프레임(60)의 세로방향으로 장착되는 볼 스크류(83)와, 이 볼 스크류(83)를 회전시키기 위하여 구동프레임(60)의 일측에 마련되 는 제2구동모터(81)와, 이 볼 스크류(83) 상에 장착되고 적재프레임(20)의 하측에 고정되어 볼 스크류(83)의 회전에 따라 이동되는 볼너트(85)를 포함하여 구성된다. 또, 수평이동유닛(80)에는 볼 스크류(83)의 회전에 따라 이동되는 적재프레임(20)을 가이드하기 위하여 구동프레임(60)의 양 측에 배치되는 엘엠가이드(87)를 더 포함하며, 이 엘엠가이드(87)는 볼너트(85)와 마찬가지로 적재프레임(20)의 하측에 고정된다.As described above, the horizontal moving unit 80 moves the stacking frame 20 horizontally, that is, in the longitudinal direction of the driving frame 60, so that any one of the slots 30 mounted on the stacking frame 20 is removed. It serves to move the slot to a position corresponding to the drive unit (70). To this end, the horizontal movement unit 80 is a ball screw 83 is mounted in the longitudinal direction of the drive frame 60, and the second side is provided on one side of the drive frame 60 to rotate the ball screw 83 It comprises a drive motor 81 and a ball nut 85 mounted on the ball screw 83 and fixed to the lower side of the loading frame 20 and moved in accordance with the rotation of the ball screw 83. In addition, the horizontal movement unit 80 further includes an LM guide 87 disposed on both sides of the drive frame 60 to guide the loading frame 20 that is moved in accordance with the rotation of the ball screw 83, The LM guide 87 is fixed to the lower side of the loading frame 20, similar to the ball nut 85.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the drawings will be described the operation of the substrate loading apparatus according to an embodiment of the present invention.

먼저, 액정표시장치를 제조하기 위하여 어느 하나의 공정에서 소정 공정 처리가 이루어진 기판을 적재한 후 다음 공정을 수행하기 위한 위치로 기판을 이송하게 되는데, 본 발명의 기판 적재장치에서는 도 4에 도시된 바와 같이 기판적재부(10)의 슬롯(30)에 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하게 된다.First, in order to manufacture a liquid crystal display device, a substrate having a predetermined process treatment is loaded in one process, and then the substrate is transferred to a position for performing the next process. In the substrate stacking apparatus of FIG. As described above, the substrate is vertically loaded in the slot 30 of the substrate loading part 10 at a predetermined angle.

상기와 같이 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직으로 적재하게 되면, 기판을 수평으로 적재하는 종래와는 달리 공간 점유 효율이 향상되게 된다. 특히, 그 크기가 큰 대형 기판일수록 공간 점유에 대한 효율이 향상된다.As described above, when the substrate is vertically loaded in an inclined state at an angle, space occupancy efficiency is improved, unlike the conventional method of horizontally loading the substrate. In particular, a larger substrate having a larger size improves the efficiency of occupying space.

또한, 상기와 같은 본 발명의 기판 적재장치에서는 종래와는 달리 각 슬롯(30)에 기울어진 상태에서 수직 적재되는 기판 중 특정 슬롯에 적재된 기판만을 이송 즉, 반출할 수 있다.In addition, in the substrate stacking apparatus of the present invention as described above, only the substrate loaded in a specific slot among the substrates stacked vertically in an inclined state in each slot 30 may be transferred, that is, taken out.

구체적으로, 특정 슬롯(30)에 적재된 기판만을 반출하기 위해서는 제2구동모 터(81)를 회전시켜 이 제2구동모터(81)와 연결되어 있는 볼 스크류(83)를 회전시킨다. 이와 같이 볼 스크류(83)가 회전되면 이 볼 스크류(83)에 장착되어 있는 볼너트(85)가 구동프레임(60)의 전후방향으로 즉, 수평 이동된다. Specifically, in order to carry out only the substrate loaded in the specific slot 30, the second driving motor 81 is rotated to rotate the ball screw 83 connected to the second driving motor 81. When the ball screw 83 is rotated in this way, the ball nut 85 mounted on the ball screw 83 is moved horizontally in the front and rear direction of the drive frame 60.

그리고, 상기와 같이 볼너트(85)가 이동되면 이 볼너트(85)의 상단에 고정되어 있는 적재프레임(20)이 엘엠가이드(87)를 통해 가이드되어 수평 이동되는데, 상술한 특정 슬롯(30)의 기판이송롤러(31)를 구동유닛(70)의 구동롤러(73)에 대응되는 위치로 이동시킨다. When the ball nut 85 is moved as described above, the loading frame 20 fixed to the upper end of the ball nut 85 is horizontally guided through the L guide 87, and the specific slot 30 is described above. ) Is moved to a position corresponding to the driving roller 73 of the driving unit 70.

또한, 적재프레임(20)이 수평이동유닛(80)에 의해 수평 이동된 다음에는 구동유닛(70)의 제1구동모터(77)를 회전시켜 이 제1구동모터(77)와 연결되어 있는 회전축(71)을 회전시킨다. 여기서, 회전축(71)이 회전되면 이 회전축(71) 상에 장착되어 있는 구동롤러(73) 역시 회전되며, 구동롤러(73)가 회전되면 수평이동유닛(80)에 의해 이 구동롤러(73)와 일정 간격 이격된 상태로 배치되어 있는 특정 슬롯(30)의 제2기판이송롤러(33)가 비접촉으로 회전된다.In addition, after the stacking frame 20 is horizontally moved by the horizontal moving unit 80, the first driving motor 77 of the driving unit 70 is rotated to rotate the rotating shaft connected to the first driving motor 77. Rotate 71. Here, when the rotating shaft 71 is rotated, the driving roller 73 mounted on the rotating shaft 71 is also rotated, and when the driving roller 73 is rotated, the driving roller 73 is moved by the horizontal moving unit 80. The second substrate transfer roller 33 of the specific slot 30 which is disposed at a predetermined interval from and rotates in a non-contact manner.

이 후, 제2기판이송롤러(33)가 구동롤러(73)에 의해 회전되면, 이 제2기판이송롤러(33)에 의해 제1기판이송롤러(32)가 회전된다. 그리고, 제1기판이송롤러(32)가 회전되면, 이 제1기판이송롤러(32)의 상면에 배치되는 기판이 이송되어 특정 슬롯(30)으로부터 기판을 반출시킬 수 있게 된다.After that, when the second substrate feed roller 33 is rotated by the drive roller 73, the first substrate feed roller 32 is rotated by the second substrate feed roller 33. Then, when the first substrate transfer roller 32 is rotated, the substrate disposed on the upper surface of the first substrate transfer roller 32 can be transferred to take out the substrate from the specific slot 30.

한편, 상기의 과정에서 구동롤러(73)와 제2기판이송롤러(33)는 마그네틱롤러로써 비접촉방식으로 회전된다. 이에 따라 본 발명의 실시예에서는 직접접촉방식으로 구동되어 종래와는 달리 구동부(50)의 마모나 파손 및 분진이 발생되는 것을 방 지할 수 있다.In the above process, the driving roller 73 and the second substrate transfer roller 33 are rotated in a non-contact manner as a magnetic roller. Accordingly, in the embodiment of the present invention is driven by a direct contact method, unlike the prior art it can prevent the wear or damage and dust generated in the drive unit (50).

또한, 본 발명의 실시예에서는 기판적재부(10)에 적재되어 있는 기판을 순차적으로 반출해야만 하는 종래와는 달리 수평이동유닛(80)에 의해 적재프레임(20)이 수평 이동시켜 특정 슬롯(30)에 적재되어 있는 기판을 반출시킬 수 있으므로 기판 적재 순서에 상관없이 기판을 적재 또는 반출시킬 수 있으므로 편리함이 있다.In addition, in the embodiment of the present invention, unlike the prior art that the substrate loaded on the substrate loading portion 10 must be carried out sequentially, the loading frame 20 is horizontally moved by the horizontal moving unit 80 so that the specific slot 30 Since it is possible to take out the substrate loaded in the), it is convenient because the substrate can be loaded or taken out regardless of the substrate stacking order.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치는 기판을 일정 각도로 경사지게 수직 적재할 수 있으므로 공간 점유에 대한 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, since the substrate stacking apparatus according to the embodiment of the present invention can vertically stack the substrate at an angle, the efficiency of the space occupancy can be improved.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치는 기판적재부에 적재되어 있는 기판을 순차적이 아닌 특정 슬롯에 있는 기판을 반출시킬 수 있게 함으로써 기판의 반출 시 편리함이 있는 효과가 있다. In addition, the substrate loading apparatus according to the embodiment of the present invention has an effect that it is convenient to take out the substrate by allowing the substrate loaded in the substrate loading portion to be able to carry out the substrate in a specific slot rather than sequentially.

Claims (5)

적재프레임과, 상기 적재프레임에 배치되며 기판을 일정 각도로 기울어진 상태에서 수직 적재하는 다수의 슬롯을 구비하는 기판적재부와,A substrate stacking portion having a stacking frame and a plurality of slots disposed on the stacking frame and vertically stacking the substrate at a predetermined angle; 상기 적재프레임의 하측에 배치되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 적재프레임을 수평 이동시키는 수평이동유닛과, 상기 구동프레임에 장착되어 상기 수평이동유닛에 의해 이동된 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 적재된 기판을 반출시키기 위하여 구동되는 구동유닛을 구비하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.Any one of a drive frame disposed under the load frame, a horizontal move unit mounted to the drive frame to horizontally move the load frame, and each slot mounted to the drive frame and moved by the horizontal move unit And a driving unit having a driving unit driven to carry out the substrate loaded in the slot of the substrate. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 각 슬롯의 하측에는 기판을 이송하기 위한 다수의 기판이송롤러가 마련되고,A plurality of substrate transfer rollers are provided below the slots to transfer substrates. 상기 각 슬롯 상에는 상기 기판이송롤러에 의해 이송되는 기판의 이송을 보조하는 다수의 보조롤러가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.And a plurality of auxiliary rollers provided on the slots to assist the transfer of the substrates transported by the substrate transfer rollers. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 구동유닛은 상기 슬롯에 장착된 기판이송롤러를 회전시키는 구동롤러와, 상기 구동롤러를 구동시키는 제1구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.The driving unit is a substrate loading apparatus comprising a drive roller for rotating the substrate transfer roller mounted in the slot, and a first drive motor for driving the drive roller. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 구동롤러와 상기 기판이송롤러는 비접촉으로 회전되는 마그네틱롤러인 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.And the driving roller and the substrate transfer roller are magnetic rollers which are rotated in a non-contact manner. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 수평이동유닛은 제2구동모터와, 상기 제2구동모터와 연결되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류 상에 장착되고 상기 적재프레임의 하측에 고정되는 볼너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.The horizontal moving unit includes a second driving motor, a ball screw connected to the second driving motor, a substrate mounting apparatus comprising a ball nut mounted on the ball screw and fixed to the lower side of the loading frame .
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