KR20080092525A - 반도체 웨이퍼 재생장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 재생할 웨이퍼를 로딩하는 로딩수단과, 그 로딩수단에 의해 로딩된 웨이퍼를 이송하며, 그 이송되는 웨이퍼를 재생처리하는 처리수단과, 상기 처리부에서 처리된 웨이퍼를 언로딩하는 언로딩수단을 포함하는 반도체 웨이퍼 재생장치에 있어서,상기 로딩수단은 재생할 웨이퍼를 상기 처리수단으로 로딩하되, 그 웨이퍼의 크기를 검출하는 센서를 더 포함하고,상기 처리수단은 상기 로딩된 웨이퍼를 이송함과 아울러 상기 로딩수단의 센서에서 검출된 상기 웨이퍼의 크기 범위 내에서 미디어 분사노즐을 수평왕복 이동시켜 웨이퍼를 재생하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제1항에 있어서,상기 처리수단은,상기 로딩수단에 의해 로딩된 웨이퍼가 위치하는 로딩부;상기 로딩부에 로딩된 상기 웨이퍼를 일방향으로 이송하는 메쉬망 컨베이어; 및그 메쉬망 컨베이어를 통해 이송되는 상기 웨이퍼에 미디어를 분사하되, 상기 웨이퍼의 크기에 따라 좌우 이동 폭이 가변되는 분사노즐을 구비하는 분사노즐부를 포함하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제2항에 있어서,상기 로딩수단은,상기 센서를 이용하여 제1적층수납부에 수납된 웨이퍼의 크기를 검출하는 로딩위치부; 및상기 제1적층수납부로부터 웨이퍼를 순차적으로 인출하여 상기 로딩부에 로딩하는 로더를 포함하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제3항에 있어서,상기 제1적층수납부는,상기 로더에 의해 적층된 웨이퍼가 인출될 때 마다 그 웨이퍼의 두께 만큼씩 적층된 웨이퍼를 상승시키는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제3항에 있어서,상기 로더는,거리를 감지하는 센서를 구비하여, 그 승강거리를 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 로더는,상기 제1적층수납부에 수납된 웨이퍼를 진공흡착하여 인출할 수 있는 다수의 진공흡착기재를 구비하되, 그 웨이퍼의 낱장 인출이 가능하도록 그 진공흡착기재의 높이가 차등된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제6항에 있어서,상기 로더에 의해 인출되는 웨이퍼가 낱장 인출될 수 있도록, 인출되는 웨이퍼와 그 하부의 웨이퍼 사이에 삽입되는 웨이퍼 분리판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제6항에 있어서,상기 로더에 의해 인출되는 웨이퍼가 낱장 인출될 수 있도록, 인출되는 웨이퍼와 그 하부의 웨이퍼 사이에 공기를 분사하는 공기분사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 로딩부는,상기 웨이퍼의 로딩위치에 설치되어, 상기 로더에서 공급된 웨이퍼가 상면에 안착시 자체 탄성력에 의해 안착된 웨이퍼를 메쉬망 컨베이어에 전달하는 탄성완충기재를 더 포함하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제9항에 있어서,상기 메쉬망 컨베이어는,상기 미디어 분사되는 부분의 전단과 후단이 지지되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제2항에 있어서,상기 분사노즐부는,90 내지 150m 직경의 알루미나를 5 내지 7kg/cm2의 압력으로 분사하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제1항에 있어서,상기 언로딩수단은,상기 처리수단을 통해 재생처리된 웨이퍼의 크기에 무관하게 동일한 위치에서 언로딩이 가능하도록 하는 언로딩부; 및그 언로딩부의 웨이퍼를 진공흡착하여 제2적층수납부에 수납하는 언로더를 포함하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제12항에 있어서,상기 언로딩부는,상기 검출된 웨이퍼의 크기에 따라 개별 상승하여, 그 크기에 무관하게 상기 메쉬망 컨베이어를 통해 이송된 웨이퍼의 중앙 위치가 동일하도록 웨이퍼 위치를 설정하는 다수의 스토퍼를 포함하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서,상기 제2적층수납부는,상기 언로더에 의해 재생된 웨이퍼가 인입될 때마다 그 적층된 웨이퍼를 웨이퍼 두께 만큼씩 하향 이동시키는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
- 제12항 또는 제13항에 있어서,상기 언로더는,상기 제2적층수납부에 수납되는 웨이퍼의 높이를 감지하는 센서를 포함하여, 그 웨이퍼의 적층 높이에 무관하게 웨이퍼를 언로딩하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 재생장치.
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