KR20080077374A - 혼성 센서 시스템 및 방법 - Google Patents

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KR20080077374A
KR20080077374A KR1020087014845A KR20087014845A KR20080077374A KR 20080077374 A KR20080077374 A KR 20080077374A KR 1020087014845 A KR1020087014845 A KR 1020087014845A KR 20087014845 A KR20087014845 A KR 20087014845A KR 20080077374 A KR20080077374 A KR 20080077374A
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마이클 제이. 베르부르델동크
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

페이로드(58)의 속도를 모니터링하고 속도 신호(62)를 생성하도록 동작가능하게 연결된 속도 센서(52); 페이로드(58)의 위치를 모니터링하고 위치 신호(64)를 생성하도록 동작가능하게 연결된 위치 센서(54); 및 혼성 신호(66)를 생성하기 위해 속도 신호(62)와 위치 신호(64)에 응답하는 합산 노드(56)를 포함하는 혼성 센서 시스템 및 방법이 개시된다. 속도 신호(62)는 고 시스템 주파수를 위한 혼성 신호(66)를 지배하고, 위치 신호(64)는 저 시스템 주파수를 위한 혼성 신호(66)를 지배하고, 속도 신호(62)와 위치 신호(64)의 조합은 중간 시스템 주파수를 위한 혼성 신호(66)를 지배한다.
센서, 시스템, 노드, 혼성, 주파수

Description

혼성 센서 시스템 및 방법{BLENDED SENSOR SYSTEM AND METHOD}
본 발명은 일반적으로 센싱 시스템에 관한 것으로서, 더 상세하게는 혼성 센서 출력을 갖는 센싱 시스템에 대한 것이다.
일부 민감한 제조 프로세스는 기준 질량에 관련한 페이로드 질량과 같은, 콤포넌트의 위치를 결정하기 위해 정교한 위치 센싱 기구를 요구한다. 민감한 제조 프로세스의 한 가지 예는 집적 회로를 생산하기 위한 포토리소그래피이다. 이 포토리소그래피 프로세스는 진동을 제어하기 위한 우수한 위치 측정을 요구하며, 이는 포토리소그래피의 정확도에 영향을 미치고 집적 회로의 품질을 감소시킨다.
도 1은 능동 방진 시스템(active vibration isolation system)의 개략도이다. 이 능동 방진 시스템은 본 발명의 양수인에게 양도되고 본 발명에 참조로 병합된, Vervoordeldonk 등의 WIPO 국제 공개 번호 제WO2005/024266 A1호(발명 명칭이 "Actuator Arrangement for Active Vibration Isolation Comprising an Inertial Reference Mass"임)에 더 기술되어 있다. 이 능동 방진 시스템(20)은 위치 센서(26)를 사용하여 기준 질량(24)에 관련하여 페이로드 질량(22)의 위치를 측정한 다. 페이로드 질량(22)은 수동 격리(42)에 의해 그라운드(44) 위에서 지지된다. 위치 센서(26)로부터의 위치 신호(28)가 다른 노드(30)에 제공되며, 이는 기준 위치 신호(32)에 위치 신호(28)을 비교하여 에러 신호(34)를 생성한다. 콘트롤러(36)는 제어 신호(38)를 생성하도록 에러 신호(34)에 응답할 수 있고, 액추에이터(40)에 제공된다. 이 액추에이터(40)는 페이로드(payload) 질량(22)의 진동을 능동적으로 제어하기 위해 페이로드 질량(22)을 구동한다.
문제는 위치 센서(26)를 사용하는 기준 질량(24)에 관련한 페이로드 질량(22)의 위치를 측정하는 것으로부터 발생한다. 위치 센서(26)는 기준 질량(24)에 관련한 페이로드 질량(22)의 운동 범위를 책임지는 큰 스트로크를 가져야만 하지만, 위치 센서(26)는 잡음이(noisy) 없을 수 있거나 또는 페이로드 질량(22)에서 진동을 발생시킬 것이다. 예를 들면, 능동 방진 시스템의 한 가지 디자인은 0.5 밀리미터의 스트로크를 요구한다. 1 나노미터 이하의 잡음을 유지하기 위해, 위치 센서(26)의 신호 대 잡음비는 2 x 106이상[신호 대 잡음비 = 스트로크/잡음 = 0.5 x 10-3 / 1 x 10-9 = 0.5 x 106]이어야만 한다. 이는 약 114dB의 신호 대 잡음비에 대응하며, 이는 만일 합리적인 비용으로 달성하기 불가능하다면, 어렵다. 주문식 용량성 위치 센서가 이러한 요구조건을 충족하기 위해 만들어질 수 있지만, 그러나 이들은 매우 비싸다. 인코더는 측정될 방향 이외의 다른 방향에서 기준 질량(24)에 관련한 페이로드 질량(22)의 이동을 허용하는 것에 실패한다. 간섭계도 또한 매우 비싸다.
용량성 위치 센서(26)로부터의 위치 신호(28)의 로우 패쓰 필터링은 고주파 잡음을 억제하지만, 로우 패쓰 필터링은 종종 안정성 및/또는 성능 이유로 인해 불가능하다. 페이로드 질량(22)의 실제 동적 동작은 도 1에 도시된 강체와 다르고, 고 센서 대역폭은 실제 응용을 위한 안정한 제어 루프를 유지 또는 생성하기 위해 필수적이다. 안정한 제어 루프를 확립하기 위해, 제어 시스템은 제어 루프에 나타난 임의 공진에 필적할 수 있어야만 한다. 로우 패쓰 필터링은 이를 불가능하게 할 수 있다.
위의 단점을 극복하는 혼성 센서 시스템 및 방법을 가지는 것이 바람직할 것이다.
본 발명의 일측면은, 페이로드의 속도를 모니터링하고 속도 신호를 생성하도록 동작가능하게 연결된 속도 센서; 페이로드의 위치를 모니터링하고 위치 신호를 생성하도록 동작가능하게 연결된 위치 센서; 및 혼성 신호를 생성하기 위해 속도 신호와 위치 신호에 응답하는 합산 노드를 포함하는 혼성 센서 시스템을 제공한다. 속도 신호는 고 시스템 주파수를 위한 혼성 신호(66)를 지배하고, 위치 신호는 저 시스템 주파수를 위한 혼성 신호를 지배하고, 속도 신호와 위치 신호의 조합은 중간 시스템 주파수를 위한 혼성 신호를 지배한다.
본 발명의 또 다른 측면은, 페이로드을 위한 위치를 측정하는 단계; 상기 페이로드의 속도를 측정하는 단계; 및 상기 위치 및 속도에 응답하는 페이로드에 대한 힘을 제어하는 단계를 포함하는 센서를 혼성하는 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 측면은, 페이로드의 위치를 측정하는 수단; 상기 페이로드의 속도를 측정하는 수단; 및 상기 위치 및 속도에 응답하는 페이로드에 대한 힘을 제어하는 수단을 포함하는 혼성 센서 시스템을 제공한다.
본 발명의 전술 및 다른 특징, 이점은, 첨부된 도면과 관련하여 읽으며, 현재 바람직한 실시예의 다음 상술된 설명으로부터 더 명백해질 것이다. 상술된 설명 및 도면은 제한하기보다는 오히려 본 발명에 대한 단지 예시일 뿐이며, 본 발명의 범위는 첨부된 청구항 및 이의 균등물에 의해 한정된다.
도 1은 능동 방진 시스템의 개략도를 보여주는 도며.
도 2는 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템의 개략도를 보여주는 도면.
도 3은 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템의 모델에 대한 블럭도를 보여주는 도면.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템을 위한, 각기 진폭 대 주파수, 및 위상 대 주파수의 그래프를 보여주는 도면.
도 5는 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템의 또 다른 실시예에 대한 블럭도를 보여주는 도면.
도 6은 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템의 또 다른 실시예에 대한 개략도를 보여주는 도면.
도 2는 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템에 대한 개략도이다. 이 혼성 센서 시스템(50)은 속도 센서(52), 속도 이득(90), 위치 센서(54), 위치 셋포인트 합산 노드(94), 위치 이득(92), 및 속도/위치 합산 노드(56)를 포함한다. 페이로드 질량(58)은 수동 격리(88)에 의해 지상(86) 위에서 지지된다. 속도 센서(52)는 페이로드(58)의 속도를 모니터링하도록 동작 가능하게 연결되고, 속도 신호(62)를 생성하며, 이는 속도 이득(90)에 제공된다. 속도 이득(90)은 속도 신호(62)를 처리, 즉 증폭 및/또는 버퍼링하도록 속도 신호(62)에 응답하고, 조정된 속도 신호(91)를 생성한다. 위치 센서(54)는 페이로드(58)의 위치를 모니터링하도록 동작 가능하게 연결되고, 위치 신호(64)를 생성하며, 이는 위치 셋포인트 합산 노드(94)에 제공된다. 위치 셋포인트 합산 노드(94)는 위치 에러 신호(93)를 생성하기 위해 기준 위치 신호(72)에 위치 신호(64)를 비교한다. 위치 에러 신호(93)는 위치 이득(92)에 제공되고, 이는 조정된 위치 에러 신호(95)를 생성한다. 위치 이득(92)은 위치 에러 신호(93)를 처리, 즉 증폭 및/또는 버퍼링한다. 합산 노드(56)는 이 조정된 속도 신호(91) 및 조정된 위치 에러 신호(95)에 응답하여 혼성 신호(66)를 생성한다.
다양한 신호는 다른 주파수 범위에 있는 혼성 신호를 지배하는데, 즉 다른 신호는 다른 주파수 범위내 있는 혼성 신호(66)에 대한 주요한 기여이다. 이 혼성 신호(66)는 주로 저 시스템 주파수을 위한 위치 신호(64)이고, 혼성 신호(66)는 주로 고 시스템 주파수를 위한 속도 신호(62)이고, 혼성 신호(66)는 중간 시스템 주파수를 위한 위치 신호(64)와 속도 신호(62)의 조합이다. 일 실시예에서, 저 시스템 주파수는 약 0Hz로부터 약 5-10Hz까지이고, 중간 시스템 주파수는 약 5-10Hz로부터 약 20Hz까지며, 고 시스템 주파수는 약 20Hz 이상이다. 당업자라면 저, 중간, 및 고 시스템 주파수 사이의 천이가 특정 응용의 시스템 다이나믹뿐만 아니라 특정 응용을 위해 선택된 상대적 위치 센서 및 속도 센서 기여로 변동될 수 있음을 이해할 것이다. 이들 당업자라면 천이가 발생하는 방식은 폐루프의 안정성에 중요한 영향을 가지는데, 즉 이 천이는 특정 응용에 맞도록 신중하게 이루어져야만 함을 한 층더 이해할 것이다.
능동 방진 시스템(70)은 페이로드(58)의 위치 및 속도를 모니터링하기 위해 혼성 센서 시스템(50)을 사용하며, 혼성 신호(66)를 제공한다. 혼성 신호(66)는 튜닝 노드(74)를 통과하여 튜닝된 신호(76)를 생성한다. 이 튜닝된 신호(76)는 제어기(78)에 제공되고, 이는 페이로드(58)을 구동하기 위해 액추에이터(82)에 제어 신호(80)를 제공한다. 위치 센서(54)는 페이로드(58)의 위치를 모니터링한다. 일실시예에서, 위치 센서(54)는 기준 질량(84)에 관련한 페이로드(58)의 위치를 모니터링하며, 이는 기준 질량(84)의 진동을 최소화하기 위해 지지대(86) 위에 부드럽게 현수된다.
속도 센서(52)는 페이로드(58)의 속도를 모니터링하고 속도 신호(62)를 생성하기에 적합한 임의 속도 센서일 수 있다. 일실시예에서, 속도 센서(52)는 지중 수 진기(geophone)이다. 지중 수진기는 일반적으로 가동 코일(moving coil)과 하우징 사이에서 상대적인 속도를 센싱하기 위해 자기장에 현수된 질량으로서 가동 코일을 사용한다. 코일 출력 전압은 대략 공진 주파수 이상의 주파수를 위한 상대적인 속도에 대략 비례적이다. 이 코일 출력 전압은 속도 센서(52)에 의해 센싱된, 페이로드(58)의 속도를 나타내는 속도 신호(62)이다. 한 가지 예시적인 지중 수진기는 텍사스 휴스턴의 지오스페이스 테크놀리지사로부터 입수가능한 모델 GS-11D이다. 이 모델 GS-11D는 약 4.5 Hz의 진공 주파수를 갖는다. 당업자라면 지중 수진기는 스트레치 필터의 사용과 함께 진공 주파수 이하의 비이상적 범위에서 사용될 수 있지만, 그러나 이러한 필터링은 지중 수진기가 공진 주파수 이상에서 사용되는 경우 불필요하다는 것을 이해할 것이다. 일실시예에서, 속도 센서(52)가 속도 신호(62)를 제공하기 위해 페이로드(58)에 동작가능하게 부착된 집적 출력을 갖는 가속도계이다.
위치 센서(54)는 페이로드(58)의 위치를 모니터링하고 위치 신호(64)를 생성하기에 적합한 임의 위치 센서일 수 있다. 위치 센서(54)는 가령 약 0 내지 약 5-10Hz와 같은 저 및 중간 시스템 주파수에 가장 적합하다. 일실시예에서, 위치 센서(54)는 용량성 센서이다. 용량성 센서는 일반적으로 2개 전극 사이의 커패시턴스를 모니터링함으로써 거리를 측정하며, 이 전극의 각각은 2개의 콤포넌트 사이에 거리가 측정되도록 이 2개의 콤포넌트 중 하나에 동작가능하게 부착된다. 능동 방진 시스템의 예를 위하여, 하나의 전극은 페이로드(58)에 동작가능하게 부착되고 다른 하나의 전극은 기준 질량(84)에 동작가능하게 부착된다. 일실시예에서 기준 질량(84)는 전극 중 하나이다. 또 다른 일실시예에서, 하나의 전극은 페이로드(58)에 동작가능하게 부착되고 다른 하나의 전극은 지지대(86)에 동작가능하게 부착된다. 위치 센서로서 사용하기에 적합한 한 가지 예시적인 용량성 센서는 미네소타 세인트 폴의 Lion Precision사로부터 입수가능한 모델 DMT20 싱글 감도 프로브 구동기 모듈에 의해 구동된 모델 C2-A 용량성 센서 프로브이다. 당업자라면 위치 센서(54)가 용량성 센서에 제한되지 않으며, 이 위치 센서(54)는 특정 응용을 위해 적절한 잡음 및 스트로크를 갖는 임의 위치 센서가 될 수 있음을 이해할 것이다. 예를 들면, 위치 센서(54)는 페이로드(58)의 기울기 및/또는 수평 운동을 허용하는 중간 몸체를 구비하는 인코더와 같은, 페이로드(58)의 6개 자유도를 허용하도록 적응되는 인코더가 될 수 있다.
동작에서, 위치 센서(54)는 기준 질량(84)에 관련한 페이로드(58)의 위치를 측정하며, 속도 센서(52)는 페이로드(58)의 속도를 측정한다. 액추에이터(82)로부터의 페이로드(58)에 대한 힘은 고 시스템 주파수를 위한 속도에 응답하고, 중간 시스템 주파수를 위한 위치 및 속도의 조합에 응답하는 저 시스템 주파수를 위한 위치에 응답하여 제어된다. 일실시예에서, 저 시스템 주파수는 약 0으로부터 약 5-10Hz까지이며, 중간 주파수는 약 5-10Hz로부터 약 20Hz까지이고, 고 시스템 주파수는 약 20Hz 이상이다.
위치 센서와 속도 센서 둘 다를 사용하여 여기에 기술된 제어 시스템의 동작은 비례-차등(PD: Proportional-Differential) 제어기에 대한 입력으로 위치 센서만을 사용하는 제어 시스템과의 비교에 의해 설명될 수 있을 것이다. 위치 출력 신 호 pos를 가지는 위치 센서만을 사용하면, PD 제어기의 출력 μ는 다음식과같다.
Figure 112008043895933-PCT00001
위치 출력 신호 pos를 가지는 위치 센서, 및 속도 출력 신호 vel을 가지는 속도 센서 둘 다를 사용하면, PD 제어기의 출력 μ은 다음식과 같다.
Figure 112008043895933-PCT00002
수학식(1)과 수학식(2)은 속도 출력 신호 vel이 수학식(1)에서 처럼 위치 출력 신호 pos로부터 유도되기보다는 오히려 수학식(2)에서 직접 측정되는 점을 제외하고는, 거의 동일하다. 팩터 kp와 kv는 차원에 대하여 합이 정확히 되도록 다른 단위를 갖는다.
혼성 센서 시스템의 사용으로부터 성능 개선은 위치 센서를 위한 잡음 레벨 사양을 완화시키고, 능동 방진 시스템의 신호 대 잡음비를 향상시키고, 제어기 대역폭을 증가시키며, 또는 이들의 일부 조합에 의해 특정 응용에서 원한 바대로 적용될 수 있다. 일실시예에서, 0-1kHz로부터의 평탄한 잡음 스펙트럼과 0.1 밀리미터/초2 1-시그마의 허용가능 페이로드 잡음 레벨을 갖는 위치 센서를 구비하는 능동 방진 시스템은 혼성 센서 시스템없는 경우는, 0-1kHz로부터의 2 나노미터 1-시그마 미만인 잡음을 갖는 위치 센서를, 그러나 혼성 센서 시스템을 갖는 경우는, 25 나노미터 1-시그마 미만인 잡음을 갖는 위치 센서를 요구할 것이다. 또 다른 실시예에서, 0-100kHz로부터의 평탄한 잡음 스펙트럼과 0.1 밀리미터/초2 1-시그마의 허용가능 페이로드 잡음 레벨을 갖는 위치 센서를 구비하는 능동 방진 시스템은 혼성 센서 시스템이 없는 경우는, 0-100Hz로부터의 1.7 나노미터 1-시그마 미만인 잡음을 갖는 위치 센서를, 혼성 센서 시스템이 있는 경우에는, 5 나노미터 1-시그마 미만인 잡음을 갖는 위치 센서를 요구할 것이다.
도 3은 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템의 모델에 대한 블럭도이다. 이 모델은 혼성 센서 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템의 동작을 예시한다. 이 모델(100)은 플로어(floor) 변위(102), 서보 힘(104), 및 용량성 센서 잡음(106)을 위한 입력을 포함한다. 이 모델(100)은 센싱된 페이로드 위치(107), 센싱된 페이로드 속도(108), 혼성 신호(110), 페이로드 위치(112) 및 페이로드 가속도(114)를 위한 출력을 생성한다. 이 플로어 변위(102)는 기준 질량 다이나믹 블럭(116)에 제공되고, 이는 기준 질량 위치(118)를 생성하기 위해 기준 질량의 응답을 모델링한다. 플로어 진동과 같은 플로어 변위(102) 및 서보 힘(104)이 페이로드 다아나믹 블럭(120)에 제공되고, 이는 페이로드 위치(112), 페이로드 가속도(114), 및 페이로드 속도(122)를 생성하기 위해 페이로드의 응답을 모델링한다. 기준 질량 위치(118) 및 페이로드 위치(112)는 기준 질량/페이로드 위 치 차이(126)를 생성하기 위해 다른 노드(124)에서 비교되며, 이는 센싱된 페이로드 위치(107)를 생성하기 위해 합산 노드(128)에서 용량성 센서 잡음(106)과 결합된다. 이 용량성 센서 잡음(106)은 위치 센서로부터 잡음을 모델링한다. 일실시예에서, 이 센싱된 페이로드 위치(107)는 필터링되고 센싱된 페이로드 위치(132)를 생성하기 위해 선택적 위치 필터(130)로 필터링되고, 이는 합산 노드(134)에 제공된다. 또다른 실시예에서, 선택적 위치 필터(130)는 생략되고, 센싱된 페이로드 위치(107)는 합산 노드(134)에 제공된다.
페이로드 속도(122)는 지중 수진기 다이나믹 블럭(136)에 제공되며, 이는 센싱된 페이로드 속도(108)를 생성하기 위해 지중 수진기의 응답을 모델링한다. 일실시예에서, 센싱된 페이로드 속도(108)는 필터링되고 센싱된 페이로드 속도(139)를 생성하기 위해 선택적 속도 필터(138)로 필터링되며, 이는 합산 노드(134)에 제공된다. 또 다른 실시예에서, 선택적 속도 필터(138)는 생략되고 센싱된 페이로드 속도(108)은 합산 노드(134)에 제공된다. 이 필터링되고 센싱된 페이로드 위치(132) 및 필터링되고 센싱된 페이로드 속도(139)는 혼성 신호(110)를 생성하기 위해 합산 노드(134)에서 결합된다. 이 혼성 신호(110)는 제어기(140)에 제공되고, 이는 페이로드에 동작하는 서보 힘(104)을 생성한다.
도 4a와 4b는 도 3에서 모델링된 바와 같이, 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템을 포함하는 능동 방진 시스템에 대한, 진폭 대 주파수, 및 위상 대 주파수 각각의 그래프이다. 도 4a와 4b는 주파수 함수로서, 혼성 센서 시스템에 대한, 위치 센서 및 속도 센서, 본 예에서는 지중 수진기의 기여를 예시한다. 도 4a 와 4b에 표시된 개방 루프 결과치는 폐루프가 안정적임을 보여준다.
도 4a를 참조하면, 위치 센서를 위한 곡선 B와 지중 수진기를 위한 곡선 C는 합해져 곡선 A를 생성하며, 이는 개방 루프 결과치의 진폭 부분이 된다. 위치 센서를 위한 곡선 B는 약 5Hz이하로부터 우세하다. 지중 수진기를 위한 곡선 C는 약 20Hz 이상에서 우세하다. 지중 수진기를 위한 곡선 C와 위치 센서를 위한 곡선 B는 약 5Hz로부터 20Hz까지 균일하게 기여한다. 본 실시예에서, 지중 수진기 및 위치 센서의 특성은 지중 수진기의 기여가 저 주파수를 위해 기록하고(roll off), 위치 센서의 기여는 고주파수를 위해 기록하게 되며, 따라서 어떠한 필터링도 이들 특성을 강제히기 위해 요청되지 않는다. 지중 수진기 및 위치 센서의 특성이 바라는 것이 아닌 경우, 속도 신호 및/또는 위치 신호의 필터링은 주파수 함수로서 원하는 우세를 최적화하기 위해 사용될 수 있다. 당업자라면 저 및 고 주파수 사이의 중간 영역에서의 천이가 안정성 및 성능에 영향을 미치게 되므로, 따라서 이 천이는 특정 응용을 위해 신중하게 변경되어야 함을 이해할 것이다. 미세 튜닝(fine tuning)은 위치 및 속도 신호의 정적 가중에 의해 달성된 성능을 향상시키기 위해 사용될 수 있다.
도 5(유사 구성요소는 도 2와의 유사 참조번호를 공유함)는 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템의 또 다른 실시예에 대한 블럭도이다. 혼성 센서 시스템의 이 예는 시스템 다이나믹에 적합 및/또는 미세 튜닝을 제공하기 위해 요구될 수 있는 필터 및 증폭기를 포함한다. 이 혼성 센서 시스템(150)은 위치 센서 로우(low) 패쓰 필터(152), 위치 증폭기(154), 속도/위치 합노드(56), 속도 센서 로 우 패쓰 필터(156), 및 속도 증폭기(160)를 포함한다. 이 위치 센서 로우 패쓰 필터(152)는 위치 센서(미도시)로부터의 위치 신호(64)를 수신하고 필터링된 위치 신호(153)를 생성한다. 이 필터링된 위치 신호(153)는 위치 증폭기(154)에 제공되며, 이는 합산 노드(56)에 제공된 증폭되고 필터링된 위치 신호(155)를 생성한다. 위치 증폭기(154)는 필터링된 위치 신호(153)를 처리, 즉 증폭 및/또는 버퍼링한다. 이 속도 센서 로 패스 필터(156)는 속도 센서(미도시)로부터의 속도 신호(62)를 수신하고 필터링된 속도 신호(158)를 생성한다. 이 필터링된 속도 신호(158)는 속도 증폭기(160)에 제공되며, 이는 합산 노드(56)에 제공된 증폭되고 필터링된 속도 신호(162)를 생성한다. 이 속도 증폭기(160)는 필터링된 속도 신호(158)를 처리, 즉 증폭 및/또는 버퍼링한다. 이 합산 노드(56)는 증폭되고 필터링된 위치 신호(155)와 증폭되고 필터링된 속도 신호(162)를 결합하여 혼성 신호(66)를 생성한다.
위치 센서 로우 패쓰 필터(152)는 혼성 신호(66)에 넘겨질 수 있는 위치 센서로부터의 잡음을 감쇠한다. 속도 로우 패쓰 필터(156)는 혼성 신호(66)에 넘겨질 수 있는 속도 센서로부터의 잡음을 감쇠한다. 일실시예에서, 위치 센서 로우 패쓰 필터(152) 및/또는 속도 센서 로우 패쓰 필터(156)는 약 15 및 200Hz 각각의 코너 주파수를 갖는 1차 로우 패쓰 필터이다. 증폭기(160)는 필터링된 속도 신호(158)를 증폭하여 위치 센서의 기여에 관련한 혼성 신호(66)에 대한 속도 센서의 기여를 증가시킨다. 일실시예에서, 증폭기(160)는 2.5 이득을 갖는다.
당업자라면 추가 필터 및 증폭기가 혼성 센서 시스템(150)에 더해져 특정 응용에 대한 성능을 개선할 수 있음을 이해할 것이다. 일예에서, 평탄(smoothing) 필 터가 위치 센서(위치 신호) 지배로부터 속도 센서(속도 신호) 지배로의 천이, 즉 저-중간 시스템 추파수 천이 및 중간-고 시스템 주파수 천이를 평탄하게 하기 위해 더 해질 수 있다. 또 다른 예에서, 로우 패쓰 필터, 일반 2차 필터, 및/또는 노치(notch) 필터와 같은 다양한 다른 필터는 제어 루프 안정성을 유지하기 위해 더해 질 수 있다. 또 다른 실시예에서, 증폭기는 혼성 신호(66)를 증폭하기 위해 제공될 수 있다.
도 6은 본 발명에 따라 만들어진 혼성 센서 시스템 회로의 개략도이다. 이 혼성 센서 시스템 회로(200)는 ±V_위치(position) 단자(202)에서 위치 센서(미도시)에 연결되며, ±V_위치 단자(204)에서 속도 센서(미도시)에 연결된다. 위치 신호 검사 기구용 증폭기(position signal conditioning instrumentation amplifier)(206)는 ±V_위치 단자(202)에서의 차등 전압을 위치 신호(264)로 변환하며, 이는 위치 센서 로우 패쓰 필터(252)에 제공된다. 이 위치 센서 로우 패쓰 필터(252)는 저항(R3)과 커패시터(C1), 및 OP 앰프(U3A)를 포함하는 전압 폴로어(follower)(253)를 갖는다. 커패시터(C1)는 공통 접지에 연결된다. 이 예에서, 로우 패쓰 필터 회로는 약 15Hz의 코너 주파수를 갖는다. 위치 센서 로우 패쓰 필터(252)는 속도/위치 합산 노드(356)에 제공된 필터링된 위치 신호(254)를 생성한다.
속도 신호 검사 기구용 증폭기(208)는 ±V_속도(velocity) 단자(204)에서의 차등 전압을 속도 신호(262)로 변환하며, 이는 속도 로우 패쓰 필터(256)에 제공된다. 속도 로우 패쓰 필터(256)는 저항(R4)과 커패시터(C2)를 포함하는 로우 패쓰 필터 회로를 가지며, 필터링된 속도 신호(258)를 생성한다. 커패시터(C2)는 공통 접지에 연결된다. 이 예에서, 로우 패쓰 필터 회로는 약 200Hz의 코너 주파수를 갖는다. 이 속도 증폭기(260)는 증폭기 이득을 설정하는 저항(R9 및 R10)을 포함하는 전압 분배기를 갖는 OP 앰프(U3B)를 포함한다. 본 예에서, 증폭기 이득은 2.5이다. 속도 증폭기(260)는 속도 센서 로우 패쓰 필터(256)로부터의 필터링된 속도 신호(258)에 응답하며, 속도/위치 합산 노드(356)에 제공된 증폭되고 필터링된 속도 신호(362)를 생성한다.
이 속도/위치 합산 노드(356)는 필터링된 위치 신호(254) 및 증폭되고 필터링된 속도 신호(362)로부터의 혼성 신호(66)를 생성한다. 속도/위치 합산 노드(356)는 저항(R5, R6, R7 및 R8)과 OP 앰프(U4)를 포함한다. 이 예에서, 저항(R7 및 R8)의 저항값은 속도/위치 합산 노드(356)의 이득을 변화시키기 위해 사용될 수 있다. 당업자라면 혼성 센서 시스템 회로(200)가 혼성 센서 시스템 회로의 한 예이고 특정 콤포넌트 및 값은 특정 응용을 위해 적합하도록 선택될 수 있음을 이해할 것이다.
비록 본 발명이 특정 실시예를 참조하여 기술되었을 지라도, 많은 변형예가 첨부된 청구항에 기술된 본 발명의 기술 사상 및 범위를 이탈하지 않으면서도 가능하게 됨을 이해해야 할 것이다. 따라서, 명세서 및 도면은 첨부된 청구항의 범위를 제한하려는 의도가 아니고 예시적인 방식으로 여겨져야 한다.
첨부된 청구항을 해석함에 있어, 다음을 이해해야 한다.
a) "포함"이라는 말은 주어진 청구항에 리스트된 것이 이외의 다른 구성요소 또는 동작의 존재를 배제하지 않는다.
b) 구성요소 앞에 위치하는 "하나"라는 말은 이러한 구성요소의 복수 존재를 배제하지 않는다.
c) 청구항의 임의 참조기호는 이들의 범위를 제한하지 못한다.
d) 수개의 "수단"은 동일한 아이템 또는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현된 구조 또는 기능에 의해 표현될 수 있다.
e) 공개된 구성요소 중 어느 하나도 하드웨어 부분(예를 들면 이산 및 집적 전자 회로), 소프트웨어 부분(예를 들면, 컴퓨터 프로그래밍), 및 이들의 임의 조합으로 구성될 수있다.
f) 하드웨어 부분은 아날로그와 디지털 부분의 한쪽 또는 양쪽 둘다로 구성될 수 있다.
g) 공개된 디바이스 중 어느 하나 또는 이의 부분은 특별하게 달리 언급되지 않는한, 함께 결합 또는 추가 부분으로 분리될 수 있다.
h) 동작의 특정 시퀀스는 특정하게 표시되지 않는 한 요청되지 않는 것으로 의도된다.
본 발명은 일반적으로 센싱 시스템에 이용가능하다.
본 발명은 특히 혼성 센서 출력을 갖는 센싱 시스템에 이용가능하다.

Claims (25)

  1. 혼성 센서 시스템으로서,
    페이로드(58)의 속도를 모니터링하고 속도 신호(62)를 생성하도록 동작가능하게 연결된 속도 센서(52);
    페이로드(58)의 위치를 모니터링하고 위치 신호(64)를 생성하도록 동작가능하게 연결된 위치 센서(54); 및
    혼성 신호(66)를 생성하기 위해 속도 신호(62)와 위치 신호(64)에 응답하는 합산 노드(56)를 포함하되,
    속도 신호(62)는 고 시스템 주파수를 위한 혼성 신호(66)를 지배하고, 위치 신호(64)는 저 시스템 주파수를 위한 혼성 신호(66)를 지배하고, 속도 신호(62)와 위치 신호(64)의 조합은 중간 시스템 주파수를 위한 혼성 신호(66)를 지배하는, 혼성 센서 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    중간 시스템 주파수는 약 5-10Hz 내지 20Hz인, 혼성 센서 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    기준 질량(84)을 추가로 포함하되, 페이로드(58)의 위치는 기준 질량(84)과 관련하여 모니터링되는, 혼성 센서 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    제어 신호(80)를 생성하기 위해 혼성 신호(66)에 응답하는 제어기(78); 및
    페이로드(58)를 구동하기 위해 동작가능하게 연결되고 제어 신호(80)에 응답하는 액추에이터(82)를 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    속도 센서(52)는 지중 수진기(geophone) 및 가속도계로 구성된 그룹으로부터 선택되는, 혼성 센서 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    위치 센서(54)는 용량성 센서와 중간 몸체(intermediate body)를 갖는 인코더 센서로 구성된 그룹으로부터 선택되는, 혼성 센서 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    위치 신호(64)로부터의 잡음을 필터링하기 위해 동작 가능하게 연결된 위치 센서 로우 패쓰 필터(152)를 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    속도 신호(62)로부터의 잡음을 필터링하기 위해 동작 가능하게 연결된 속도 센서 로우 패쓰 필터(156)를 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    위치 신호(64)를 처리하기 위해 동작 가능하게 연결된 위치 증폭기(154)를 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서,
    속도 신호(62)를 처리하기 위해 동작 가능하게 연결된 속도 증폭기(160)를 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서,
    저 시스템 주파수에서 중간 시스템 주파수로의 천이 및 중간 시스템 주파수에서 고 시스템 주파수로의 천이로 이루어진 그룹으로부터 선택된 주파수 천이를 평탄화하도록 동작 가능하게 연결된 필터를 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  12. 센서를 혼성하는 방법으로서,
    페이로드를 위한 위치를 측정하는 단계;
    상기 페이로드의 속도를 측정하는 단계; 및
    상기 위치 및 속도에 응답하는 페이로드에 대한 힘을 제어하는 단계
    를 포함하는, 센서를 혼성하는 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제어하는 단계는 저 시스템 주파수를 위한 위치에 응답하고, 고 시스템 주파수를 위한 속도에 응답하며, 중간 시스템 주파수를 위한 위치와 속도의 조합에 응답하는, 페이로드에 대한 힘을 제어하는 단계를 포함하는, 센서를 혼성하는 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    중간 시스템 주파수는 약 5-10Hz 내지 약 20Hz인, 센서를 혼성하는 방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 위치를 측정하는 단계는 기준 질량과 관련된 위치를 측정하는 단계를 포함하는, 센서를 혼성하는 방법.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 위치를 측정하는 단계는 상기 위치를 필터링하는 단계를 추가로 포함하는, 센서를 혼성하는 방법.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 속도를 측정하는 단계는 상기 속도를 필터링하는 단계를 추가로 포함하 는, 센서를 혼성하는 방법.
  18. 제 12 항에 있어서,
    상기 페이로드에 대한 힘을 제어하는 단계는 저 시스템 주파수에서 중간 시스템 주파수로의 천이 및 중간 시스템 주파수에서 고 시스템 주파수로의 천이로 이루어진 그룹으로부터 선택된 천이에서의 상기 힘을 평탄화하는 단계를 추가로 포함하는, 센서를 혼성하는 방법.
  19. 혼성 센서 시스템으로서,
    페이로드의 위치를 측정하는 수단;
    상기 페이로드의 속도를 측정하는 수단; 및
    상기 위치 및 속도에 응답하는 페이로드에 대한 힘을 제어하는 수단
    을 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제어하는 수단은 저 시스템 주파수를 위한 위치에 응답하고, 고 시스템 주파수를 위한 속도에 응답하며, 중간 시스템 주파수를 위한 위치와 속도의 조합에 응답하는 페이로드에 대한 힘을 제어하는 수단을 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 중간 시스템 주파수는 약 5-10Hz 내지 20Hz인, 혼성 센서 시스템.
  22. 제 19 항에 있어서,
    상기 위치를 측정하는 수단은 기준 질량에 관련한 위치를 측정하는 수단을 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  23. 제 19 항에 있어서,
    상기 위치를 측정하는 수단은 상기 위치를 필터링하기 위한 수단을 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  24. 제 19 항에 있어서,
    상기 속도를 측정하는 수단은 상기 속도를 필터링하는 수단을 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
  25. 제 19 항에 있어서,
    상기 페이로드에 대한 힘을 제어하는 수단은 저 시스템 주파수에서 중간 시스템 주파수로의 천이와 중간 시스템 주파수에서 고 시스템 주파수로의 천이로 이루어진 그룹으로부터 선택된 천이에서의 힘을 평탄화하기 위한 수단을 추가로 포함하는, 혼성 센서 시스템.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108121166A (zh) * 2016-11-30 2018-06-05 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种主动吸振器及微动台

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009009562A1 (de) 2009-02-19 2010-09-09 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Kombinierter Bewegungssensor zum Einsatz in Feedback-Regelsystemen zur Schwingungsisolation
JP5414546B2 (ja) * 2010-01-12 2014-02-12 キヤノン株式会社 容量検出型の電気機械変換素子
JP5641878B2 (ja) * 2010-10-29 2014-12-17 キヤノン株式会社 振動制御装置、リソグラフィー装置、および、物品の製造方法
DE102011007917A1 (de) * 2011-04-21 2012-10-25 Asml Netherlands B.V. Anordnung zur Aktuierung eines Elementes in einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP2734865A4 (en) * 2011-07-19 2014-12-17 Conocophillips Co GEOPHONE STRINGS WITH MULTIPLE FREQUENCIES
US8928390B2 (en) * 2013-03-22 2015-01-06 Analog Devices Global Method to improve response speed of RMS detectors
JP6302305B2 (ja) * 2014-03-18 2018-03-28 キヤノン株式会社 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法
CA2950508A1 (en) 2016-12-02 2018-06-02 National Research Council Of Canada Compact vibration reducing human support

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4556962A (en) * 1981-08-03 1985-12-03 Bernard Widrow Seismic exploration method and apparatus for cancelling interference from seismic vibration source
IL77057A (en) * 1985-03-26 1990-03-19 Wright Barry Corp Active vibration isolation system
DE3738284A1 (de) * 1986-12-09 1988-06-30 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur aktiven fahrwerkregelung bei kraftfahrzeugen
JP2962046B2 (ja) * 1992-05-15 1999-10-12 日産自動車株式会社 サスペンションの振動入力推定装置
US5424950A (en) * 1992-06-02 1995-06-13 Honeywell Inc. Vehicle control surface position feedback compensator for reducing vehicle oscillation
US5660255A (en) * 1994-04-04 1997-08-26 Applied Power, Inc. Stiff actuator active vibration isolation system
JP3306301B2 (ja) * 1996-06-26 2002-07-24 日立建機株式会社 建設機械のフロント制御装置
US6781284B1 (en) * 1997-02-07 2004-08-24 Sri International Electroactive polymer transducers and actuators
US6026339A (en) * 1997-06-12 2000-02-15 Trw Inc. Apparatus and method for providing an inertial velocity signal in an active suspension control system
US6137255A (en) * 1999-07-30 2000-10-24 Otis Elevator Company Apparatus and method of controlling a linear motor door operator
GB2382650B (en) * 2001-10-17 2004-05-19 Read Asa Block and module for seismic sources and sensors
JP3832338B2 (ja) * 2001-12-25 2006-10-11 松下電工株式会社 電歪ポリマーアクチュエータ
US20040002849A1 (en) * 2002-06-28 2004-01-01 Ming Zhou System and method for automatic retrieval of example sentences based upon weighted editing distance
EP1664587B1 (en) * 2003-09-05 2010-11-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Actuator arrangement for active vibration isolation comprising an inertial reference mass

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108121166A (zh) * 2016-11-30 2018-06-05 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种主动吸振器及微动台
CN108121166B (zh) * 2016-11-30 2020-01-24 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种主动吸振器及微动台

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Publication number Publication date
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