KR20080060041A - Mura test method for liquid crystal display - Google Patents

Abstract

A mura test method of an LCD(Liquid Crystal Display) is provided to deal with mura through a circuit by grasping a location and a level of the mura by using an auto probe, analyze a luminance difference easily by using a high resolution color CCD(Charge Coupled Device) camera and to reduce an inspection time. A mura test method comprises the following steps of: inputting a test sample into an auto vision test machine(S510); detecting a luminance difference on the test sample(S540); firstly determining good or bad of the test sample according to the detected luminance difference(S550); measuring a spectral wavelength of a test sample passing the first determination(S570); and secondarily determining good or bad of the test sample according to the measured spectral wavelength(S580).

Description

액정 표시장치의 얼룩 검사 방법 {Mura test method for liquid crystal display}{Mura test method for liquid crystal display}

도 1a는 각각 종래의 기술에 따른 액정 표시패널에 발생하는 얼룩(Mura)을 나타내는 도면이고, 도 1b는 얼룩의 휘도 특성을 나타내는 도면이다.FIG. 1A is a diagram showing a mura occurring in a liquid crystal display panel according to the related art, and FIG. 1B is a diagram showing a luminance characteristic of a stain.

도 2a는 종래의 기술에 따른 얼룩 검사 장치인 오토 프로브의 측단면도이고, 도 2b는 워크 스테이지의 평면도이다.2A is a side cross-sectional view of an auto probe which is a spot inspection apparatus according to the prior art, and FIG. 2B is a plan view of a work stage.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 자동 얼룩 검사 장치의 개략적인 구성도이다.3 is a schematic configuration diagram of an automatic spot inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법의 동작 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a method of inspecting an unevenness of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법의 구체적인 동작 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a specific operation of a stain inspection method of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 휘도차에 따른 양불 판정을 예시하는 도면이다. FIG. 6 is a diagram illustrating a non-payment judgment according to the luminance difference of FIG. 5.

도 7은 도 5의 분광파장에 따른 양불 판정을 예시하는 도면이다.FIG. 7 is a diagram exemplifying good or bad judgment according to the spectral wavelength of FIG. 5.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

100: 자동 얼룩 검사 장치 200: 워크스테이지 100: automatic stain inspection apparatus 200: work stage

110: 휘도차 검출부 120: 제1 판별부110: luminance difference detection unit 120: first determination unit

130: 분광파장 측정부 140: 제2 판별부130: spectral wavelength measuring unit 140: second discriminating unit

150: 수리여부 판별부150: repair or not determination unit

본 발명은 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for inspecting spots of liquid crystal displays.

액정 표시장치는 액정의 특정한 분자 배열에 전압을 인가하여 다른 분자 배열로 변환시키고 이러한 분자 배열에 의해 발광하는 액정 셀의 복굴절성, 선광성 및 광산란 특성 등의 광학적 성질의 변화를 시각 변화로 변환하는 것으로, 액정 셀에 의한 빛의 변조를 이용한 표시 장치이다.A liquid crystal display converts a change in optical properties such as birefringence, photoreactivity, and light scattering characteristics of a liquid crystal cell that emits light by applying a voltage to a specific molecular array of the liquid crystal to another molecular array. And a display device using modulation of light by a liquid crystal cell.

이러한 액정 표시장치는 브라운관에 비하여 소형화가 가능하여 퍼스널 컴퓨터(Personal Computer)와 노트북 컴퓨터(Note Book Computer)의 모니터는 물론, 복사기 등의 사무자동화기기, 휴대전화기나 호출기 등의 휴대기기까지 광범위하게 이용되고 있다.Such liquid crystal display devices can be miniaturized compared to CRTs, and are widely used not only for monitors of personal computers and notebook computers, but also for office automation devices such as photocopiers, mobile devices such as cell phones and pagers. It is becoming.

이중에서 가장 널리 사용되는 액티브 매트릭스 구동 방식의 액정 표시장치의 액정 패널 제조 공정은 기판 세정과, 기판 패터닝, 배향막 형성, 기판 합착/액정 주입, 실장 공정으로 나누어질 수 있다.The liquid crystal panel manufacturing process of the active matrix driving type liquid crystal display device, which is most widely used, can be divided into substrate cleaning, substrate patterning, alignment layer formation, substrate bonding / liquid crystal injection, and mounting processes.

기판 세정 공정에서는 상부 및 하부 기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다. 기판 패터닝 공정에서는 상부기판의 패터닝과 하부 기판의 패터닝으로 나누어진다In the substrate cleaning process, foreign substances on the substrates are removed using a cleaning agent before and after patterning the upper and lower substrates. Substrate patterning process is divided into upper substrate patterning and lower substrate patterning

상부 기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성되며, TFT의 소스전극에 접속되도록 데이터 라인과 게이트라인 사이의 화소영역에 화소전극이 형성된다. 기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)재를 이용한 상부 및 하부 기판의 합착 공정, 액정 주입, 주입구 봉지, 세정, 연마(grinding), 검사 공정이 순차적으로 이루어져 액정 패널이 완성된다.A color filter, a common electrode, a black matrix, and the like are formed on the upper substrate. Signal lines such as data lines and gate lines are formed on the lower substrate, and TFTs are formed at intersections of the data lines and gate lines, and pixel electrodes are formed in the pixel region between the data lines and gate lines so as to be connected to the source electrodes of the TFTs. Is formed. In the substrate bonding / liquid crystal injection process, the alignment film is applied and rubbed on the lower substrate, followed by the bonding process of the upper and lower substrates using a seal material, liquid crystal injection, inlet sealing, cleaning, grinding, and inspection. The process is performed sequentially to complete the liquid crystal panel.

도 1a는 각각 종래의 기술에 따른 액정 표시패널에 발생하는 얼룩(Mura)을 나타내는 도면이고, 도 1b는 얼룩의 휘도 특성을 나타내는 도면이다.FIG. 1A is a diagram showing a mura occurring in a liquid crystal display panel according to the related art, and FIG. 1B is a diagram showing a luminance characteristic of a stain.

상기와 같은 공정을 통해 제조되는 액정 패널은 도 1a과 같이, 액정 패널(10)에 얼룩무늬 형태의 무라(Mura)(20) 불량이 발생하게 되는데, 여기서, 상기 무라 불량, 즉 얼룩 불량이란, 각각의 액정패널 제조공정에서 발생하는 오류 또는 제조 불량 등으로 인해 패널 전체 또는 일부 영역에 걸쳐 불균일한 휘도 특성을 나타내는 얼룩이 발생하는 것을 말한다. 이러한 얼룩 불량은 나머지 패널 영역에 비해 휘도가 높거나 또는 낮게 나타나기도 한다.In the liquid crystal panel manufactured through the process as described above, as shown in FIG. 1A, a defective Mura 20 is generated in the liquid crystal panel 10, wherein the mura defect, that is, the defective defect, It refers to the occurrence of uneven luminance characteristic over the entire panel or a portion of the panel due to errors or manufacturing defects occurring in each liquid crystal panel manufacturing process. Such spot defects may appear to be higher or lower in brightness than the rest of the panel area.

도 1b는 액정패널 상의 얼룩 불량에 대한 휘도 불량을 설명하기 위한 휘도 비교 도면으로서, 얼룩 불량 영역의 휘도가 더욱 높게 나타난 것을 나타내고 있다.FIG. 1B is a luminance comparison diagram for explaining a luminance defect with respect to a stain defect on a liquid crystal panel, and shows that the luminance of the stain defect region is higher.

이러한 얼룩 불량은 전술한 제조공정의 후반부에서 감지가 가능하여 불량 패널의 폐기에 대한 막대한 비용 손실이 발생하게 된다.Such spot defects can be detected later in the manufacturing process, resulting in enormous cost loss for disposal of the defective panels.

한편, 도 2a는 종래의 기술에 따른 얼룩 검사 장치인 오토 프로브의 측단면 도이고, 도 2b는 워크 스테이지의 평면도이다. 2A is a side cross-sectional view of an auto probe which is a spot inspection apparatus according to the prior art, and FIG. 2B is a plan view of a work stage.

도 2a를 참조하면, 종래의 기술에 따른 얼룩 검사 장치인 오토 프로브(30)는, 워크 테이블(31), 프로브 유닛(32), 서브 테이블(33), 워크 스테이지(34) 및 백라이트 유닛(35)를 포함한다. 또한, 도 2b를 참조하면, 워크 스테이지(34)는 4개의 모터(36a, 36b, 36c, 36d)를 구비하는데, 각각 X축, Y축, Z축 및 θ축 구동모터를 나타낸다. 워크 스테이지(34)는 검사시료가 안착되고, 4개의 모터(36a, 36b, 36c, 36d)에 의해 정렬하게 되며, 또한, 상기 백라이트 유닛(35)로부터 제공되는 광원을 제공받는다.Referring to FIG. 2A, the auto probe 30, which is a spot inspection apparatus according to the related art, includes a work table 31, a probe unit 32, a sub table 33, a work stage 34, and a backlight unit 35. ). 2B, the work stage 34 includes four motors 36a, 36b, 36c, and 36d, each representing an X-axis, a Y-axis, a Z-axis, and a θ-axis drive motor. The work stage 34 has a test sample seated thereon, aligned by four motors 36a, 36b, 36c, and 36d, and is provided with a light source provided from the backlight unit 35.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 오토 프로브(30)는 로더(Loader) → 워크 테이블(31) → 서브 테이블(33)로 이어지며, 서브 테이블(33)에서 60˚ 경사를 주고, 상승 또는 하강시킴으로써 프로브 유닛(32)과 접촉하여 작업자의 눈으로 검사가 이루어지게 된다.Referring to FIGS. 2A and 2B, the auto probe 30 is connected to a loader → a work table 31 → a sub table 33 and gives a 60 ° inclination to the sub table 33, and raises or lowers them. As a result, the inspection is performed by the operator's eyes in contact with the probe unit 32.

워크 스테이지(34)에는 백라이트 유닛(35)과 편광판(POL)이 부착되어 있으며, 패널 캐리어(Panel Carrier)로 검사용 패널을 고정시켜 서브 테이블(33)까지 이동시킨다.The back light unit 35 and the polarizing plate POL are attached to the work stage 34, and the inspection panel is fixed by a panel carrier to move to the sub table 33.

워크 테이블(31)에 프로브 유닛(32)가 장착되어 있으며, 프로브 유닛(32)에는 프로브 베이스, PCB 베이스, 조작기(Manipulator), 포고 블록(Pogo Block), TCP 블록 및 프로브 블록이 각각 구성되어 있으며, 이때, 프로브 블록 패널 패드부와 접촉되어 작업자가 검사할 수 있도록 장비를 구동시키게 된다.The probe unit 32 is mounted on the work table 31, and the probe unit 32 includes a probe base, a PCB base, a manipulator, a pogo block, a TCP block, and a probe block, respectively. In this case, the probe block panel is in contact with the pad portion to drive the equipment for the operator to inspect.

백라이트 유닛(35)에서 발광되는 광원을 패턴 발생기(Pattern Generator)에 의해 다양한 패턴으로 바꾸어 주며, 작업자는 이 패턴으로 액정 패널의 불량을 판별하게 된다. The light source emitted from the backlight unit 35 is changed into various patterns by a pattern generator, and the operator determines the defect of the liquid crystal panel using this pattern.

그러나, 종래의 경우, 종래 디스플레이 화질 검사는 육안 검사에 의존하고 있다. 즉, 작업자의 목시 검사로 불량을 검출함으로써, 점 결함, 라인 결함, 얼룩 등의 불량들이 유출되며, 또한, 최근 모델의 대형화에 따라 작업자의 목시 검사에 많은 어려움이 따른다는 문제점이 있다.However, in the conventional case, the conventional display image quality inspection relies on visual inspection. That is, by detecting a defect by the visual inspection of the operator, defects such as point defects, line defects, stains, etc. are leaked, and there is a problem that the visual inspection of the worker has a lot of difficulties due to the recent increase in size of the model.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 검사시료의 검사 시간을 감소시킬 수 있는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention for solving the above problems is to provide a stain inspection method of a liquid crystal display device which can reduce the inspection time of the inspection sample.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 후 공정으로의 불량 누출을 감소시킬 수 있는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention for solving the above problems is to provide a method for inspecting spots of a liquid crystal display device capable of reducing defective leakage to a later process.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 불량 좌표나 불량 영역을 자동 생성함으로써, 전체 공정에 대해 불량 원인을 용이하게 분석할 수 있는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention for solving the above problems is to provide a spot inspection method of a liquid crystal display device that can easily analyze the cause of the defect for the entire process by automatically generating the defect coordinates or region.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects which are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법은, 검사시료를 자동 비전 검사기 내에 투입하는 단계; 상기 검사시료 상의 휘도차를 검출하는 단계; 상기 검출된 휘도차에 따라 상기 검사시료의 양불을 1차 판정하는 단계; 상기 1차 판정에 의해 합격된 검사시료의 분광 파장을 측정하는 단계; 및 상기 측정된 분광 파장에 따라 상기 검사시료의 양불을 2차 판정하는 단계를 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above technical problem, the stain inspection method of the liquid crystal display device according to the invention, the step of putting the test sample in the automatic vision inspection machine; Detecting a luminance difference on the test sample; Firstly determining whether the inspection sample is good or not according to the detected luminance difference; Measuring the spectral wavelength of the test sample passed by the first determination; And secondly determining the good or bad of the test sample according to the measured spectral wavelength.

여기서, 상기 1차 판정 단계는, 상기 검사시료의 검사영역을 촬영하는 컬러 전하결합소자(Charge Coupled Device: CCD) 카메라에서 검출된 전류의 세기에 따라 휘도차를 판별하는 것을 특징으로 한다.The primary determination step may include determining a luminance difference according to the intensity of a current detected by a color coupled device (CCD) camera photographing the inspection region of the inspection sample.

여기서, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제1 기준값보다 큰 경우, 상기 검사시료를 불량으로 판정하는 것을 특징으로 한다.The test sample may be determined to be defective when the intensity of the current is greater than a first reference value when determining the luminance difference.

여기서, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제2 기준값보다 작은 경우, 상기 검사시료를 양호로 판정하는 것을 특징으로 한다.The test sample may be determined to be good when the intensity of the current is less than a second reference value when the luminance difference is determined.

여기서, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제1 기준값과 제2 기준값 사이에 있는 경우, 상기 검사시료의 판정을 보류하는 것을 특징으로 한다.Here, the determination of the test sample is suspended when the intensity of the current is between the first reference value and the second reference value when determining the luminance difference.

여기서, 상기 컬러 전하결합소자 카메라는 상기 검사시료를 촬영하여 불량 좌표나 불량 영역을 자동 생성하는 것을 특징으로 한다.Here, the color charge coupled device camera is characterized by automatically generating a bad coordinate or a bad area by photographing the test sample.

여기서, 상기 2차 판정 단계는 상기 검사시료의 검사영역을 촬영하는 컬러 전하결합소자(CCD) 카메라의 분광 파장의 세기를 측정하는 것을 특징으로 한다.Here, the second determination step is characterized by measuring the intensity of the spectral wavelength of the color charge coupled device (CCD) camera for photographing the inspection area of the test sample.

여기서, 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값 미만이거나 제2 기준값을 초과하는 경우, 상기 검사시료를 불량으로 판정하는 것을 특징으로 한다.Here, when the intensity of the spectral wavelength is less than the first reference value or exceeds the second reference value, it is characterized in that the test sample is determined to be defective.

여기서, 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값과 제2 기준값을 사이에 있는 경우, 상기 검사시료를 양호로 판정하는 것을 특징으로 한다.Here, when the intensity of the spectral wavelength is between the first reference value and the second reference value, the test sample is determined to be good.

여기서, 상기 1차 및 2차 판정에 의해 불량으로 판정된 검사시료의 수리 여부를 판정하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.Here, the method may further include determining whether to repair the inspection sample determined as defective by the first and second determinations.

여기서, 상기 수리 여부 판정에 따라 수리 불가로 판정된 검사시료를 폐기하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.Here, the method may further include the step of discarding the test sample determined to be non-repairable according to the repair.

여기서, 상기 수리 여부 판정에 따라 수리 가능으로 판정된 검사시료에 대해 후속 공정을 진행하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.Here, the method may further include performing a subsequent process on the inspection sample determined to be repairable according to the repair determination.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be embodied in various forms, and the present embodiments are merely provided to make the disclosure of the present invention complete and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, the invention is defined only by the scope of the claims.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method for inspecting spots of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

기존의 비전 하드웨어를 이용하여 자동으로 검사하는데 있어서, 흑백 전하결 합소자(CCD) 카메라의 명암비 검출방식의 한계점을 개선하기 위하여, 본 발명의 실시예는 컬러 CCD 카메라를 사용하면서, 휘도 세기의 차이 영역을 검출하여 1차로 양불을 판정하고, 분광 파장의 차이를 검출함으로써 2차로 양불을 판정함으로써, 검사시료인 액정 패널의 정확한 얼룩의 양불을 판정하는 자동 얼룩(Mura) 검사 방법을 개시한다.In order to improve the limitation of the contrast ratio detection method of a monochrome charge-coupled device (CCD) camera in the automatic inspection using existing vision hardware, the embodiment of the present invention uses a color CCD camera, the difference in luminance intensity An automatic mura inspection method is disclosed in which an area is first detected by determining the amount of light and the second level is detected by detecting the difference in the spectral wavelengths.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 자동 얼룩 검사 장치의 개략적인 구성도이다.3 is a schematic configuration diagram of an automatic spot inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 자동 얼룩 검사 장치는, 검사시료가 셋업되는 워크 스테이지(200) 및 얼룩 검사부(100)를 포함한다. 얼룩 검사부(100)는 휘도차 검출부(110), 제1 판별부(120), 분광 파장 측정부(130), 제2 판별부(140) 및 수리 여부 판별부(150)를 포함할 수 있다. 여기서, 각 구성요소에 대한 동작은 도 5를 참조하여 후술하기로 한다.Referring to FIG. 3, the automatic spot inspection apparatus according to the embodiment of the present invention includes a work stage 200 and a spot inspection unit 100 on which a test sample is set up. The spot inspection unit 100 may include a luminance difference detection unit 110, a first determination unit 120, a spectral wavelength measurement unit 130, a second determination unit 140, and a repair determination unit 150. Here, the operation of each component will be described later with reference to FIG. 5.

먼저, 본 발명의 실시예에서, 검출하고자 하는 얼룩(mura)은 통상적으로 3mm 이상의 폭을 가진 결함으로서, 휘도 불균일 현상을 나타낸다. 이러한 얼룩은 정형은 가로띠, 세로띠, 줄무늬 등일 수 있다.First, in the embodiment of the present invention, the mura to be detected is a defect having a width of usually 3 mm or more, and exhibits luminance unevenness. Such blobs may be shaped like transverse stripes, vertical stripes, stripes, or the like.

본 발명의 실시예에 따른 자동 얼룩 검사 장치는, 도 2a에 도시된 기존의 오토 프로브에 비전(Vision) 카메라를 설치하여 작업자의 눈이 아닌 카메라로 결함을 검출하게 된다. 이와 같은 자동 비전 검사는 통상적으로 사람에 의한 검사 시간이 10초가 소요되는데 비해, 자동 검사의 경우 2초 이내에 가능하다.In the automatic spot inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, a vision camera is installed in the existing auto probe shown in FIG. 2A to detect a defect with a camera instead of an operator's eyes. Such automatic vision inspection typically takes 10 seconds for human inspection, whereas automatic inspection is possible within 2 seconds.

본 발명의 실시예에 따르면, 오토 프로브를 이용하여 얼룩의 위치와 수준을 알게 됨으로써, 회로적으로 대응할 수 있고, 또한, 고해상도 컬러 CCD 카메라 사용함으로써, 휘도차를 용이하게 분석할 수 있다. 또한, 파장대를 분석하여 검사시료의 양불을 판정할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, by knowing the position and level of the spot using the auto probe, it is possible to cope with the circuit, and the luminance difference can be easily analyzed by using a high resolution color CCD camera. In addition, it is possible to determine the good or bad of the test sample by analyzing the wavelength band.

본 발명의 실시예에서, 상기 컬러 CCD 카메라는 작업 거리 2m 이내에 설치되며, 예를 들어, 컬러 CCD 카메라는 11Mbite 정도의 저장 용량을 갖는다.In an embodiment of the present invention, the color CCD camera is installed within a working distance of 2m, for example, the color CCD camera has a storage capacity of about 11 Mbite.

한편, 이와 같이 CCD 카메라로 얼룩 등의 결함을 검출하기 위해서 워크 테이블을 경사(Tilting) 방식이 아닌 수평 방식을 사용할 수 있다. 또한, 시야각에 따라 결함이 다르게 판별될 수 있기 때문에 CCD 카메라에 다양한 각도(0~70˚, 80~100˚, 110~160˚)를 주어 결함 검출력을 향상시킬 수 있다.Meanwhile, in order to detect defects such as spots with the CCD camera, the work table may be a horizontal method instead of a tilting method. In addition, since defects may be determined differently according to the viewing angle, the CCD camera may be provided with various angles (0 to 70 degrees, 80 to 100 degrees, and 110 to 160 degrees) to improve defect detection power.

아울러, 본 발명의 실시예에서, 비전 카메라를 이용한 검사 장치는 불량 좌표나 불량 영역을 자동 생성할 수 있다.In addition, in the embodiment of the present invention, the inspection apparatus using the vision camera may automatically generate a bad coordinate or a bad area.

구체적으로, 패턴 발생기(도시되지 않음)에서 기준 좌표 패턴을 발생하면, 예를 들면, 100*100, 300*300, 600*600 등으로 기준 좌표 패턴을 발생할 수 있다.Specifically, when a reference coordinate pattern is generated by a pattern generator (not shown), the reference coordinate pattern may be generated, for example, 100 * 100, 300 * 300, 600 * 600, or the like.

다음으로, 상기 컬러 CCD 카메라의 픽셀이 해당 좌표를 인식하게 되고, 이후 카메라의 영정을 설정한 후, 검사시료인 액정 패널을 로딩 및 촬영하게 된다.Next, the pixel of the color CCD camera recognizes the coordinates, and after setting the camera's vision, the liquid crystal panel serving as the test sample is loaded and photographed.

후속적으로, 도 5에서 설명될 불량 검출 알고리즘을 수행함으로써, 자동으로 얼룩을 판정하게 된다.Subsequently, by performing the defect detection algorithm described in FIG. 5, the spot is automatically determined.

한편, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법의 동작 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating an unevenness inspection method of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법 은 먼저, 검사시료로서 액정 패널 및 액정 모듈을 검사 장비 내에 투입한다(S410). 여기서, 상기 검사 장비는 컬러 CCD 카메라를 사용하면서, 휘도 세기의 차이 영역을 검출할 수 있고, 분광 파장의 차이를 검출할 수 있는 장비이다.Referring to FIG. 4, in the stain inspection method of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention, a liquid crystal panel and a liquid crystal module are first introduced into the inspection equipment as an inspection sample (S410). Here, the inspection equipment is a device that can detect the difference region of the luminance intensity, and detect the difference in the spectral wavelength while using a color CCD camera.

이후, 검사 장비에 전원을 인가하고(S420), 자동 비전 검사를 진행한다(S430).Thereafter, power is applied to the inspection equipment (S420), and the automatic vision inspection is performed (S430).

다음으로, 상기 자동 비전 검사에 의해, 검사시료의 양불을 판정하여(S440), 불량이라고 판정된 경우, 상기 검사시료를 폐기 또는 수리하고(S450), 양호라고 판정된 경우, 후속 공정을 진행하게 된다(S460).Next, the automatic vision inspection determines whether the inspection sample is good or bad (S440). If it is determined to be defective, the inspection sample is discarded or repaired (S450). It becomes (S460).

이러한 자동 얼룩 검사 방법에 대해서 도 5를 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.This automatic spot inspection method will be described in more detail with reference to FIG. 5.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법의 구체적인 동작 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a specific operation of a stain inspection method of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시장치의 검사 방법은, 먼저, 검사시료인 액정 패널이나 액정 모듈을 준비하여(S510), 자동 비전 검사기 내에 투입하고 검사를 위해 세팅한다(S520). Referring to FIG. 5, in the method of inspecting a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, first, a liquid crystal panel or a liquid crystal module, which is an inspection sample, is prepared (S510), placed in an automatic vision inspector, and set for inspection ( S520).

다음으로, 상기 검사 장비에 전원을 인가하고(S530), 상기 검사시료 상의 휘도차를 검출하고(S540), 상기 검출된 휘도차에 따라 상기 검사시료의 양불을 1차 판정한다(S550).Next, power is supplied to the inspection equipment (S530), the luminance difference on the inspection sample is detected (S540), and the first and second judgments are made on whether the inspection sample is good or not according to the detected luminance difference (S550).

상기 1차 판정 단계는, 상기 검사시료의 검사영역을 촬영하는 컬러 전하결합소자(Charge Coupled Device: CCD) 카메라에서 검출된 전류의 세기에 따라 휘도차 를 판별하게 된다. 이때, 상기 컬러 전하결합소자(CCD) 카메라는 상기 검사시료를 촬영하여 불량 좌표나 불량 영역을 자동 생성하는 역할을 한다.In the first determination step, the luminance difference is determined according to the intensity of a current detected by a color coupled device (CCD) camera photographing the inspection region of the inspection sample. In this case, the color charge coupled device (CCD) camera takes a picture of the test sample and automatically generates a bad coordinate or a bad area.

여기서, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제1 기준값보다 큰 경우, 상기 검사시료를 불량으로 판정하고, 상기 전류의 세기가 제2 기준값보다 작은 경우, 상기 검사시료를 양호로 판정하게 된다. 만일, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제1 기준값과 제2 기준값 사이에 있는 경우, 상기 검사시료의 판정을 보류하게 된다.Here, when the intensity difference is determined when the current intensity is greater than the first reference value, the test sample is determined to be defective, and when the intensity of the current is less than the second reference value, the test sample is determined to be good. If the intensity difference of the current is between the first reference value and the second reference value, the determination of the test sample is suspended.

다음으로, 상기 1차 판정에 의해 합격된 검사시료의 분광 파장을 측정하고(S570), 상기 측정된 분광 파장에 따라 상기 검사시료의 양불을 2차로 판정한다(S580).Next, the spectral wavelength of the test sample passed by the primary determination is measured (S570), and the non-payment of the test sample is secondarily determined according to the measured spectral wavelength (S580).

상기 2차 판정 단계는 상기 검사시료의 검사영역을 촬영하는 컬러 전하결합소자(CCD) 카메라의 분광 파장의 세기를 측정하며, 이때, 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값 미만이거나 제2 기준값을 초과하는 경우, 상기 검사시료를 불량으로 판정하고, 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값과 제2 기준값을 사이에 있는 경우, 상기 검사시료를 양호로 판정하게 된다.The second determination step measures the intensity of the spectral wavelength of a color charge coupled device (CCD) camera photographing the inspection region of the test sample, wherein the intensity of the spectral wavelength is less than the first reference value or exceeds the second reference value. In this case, the test sample is judged to be defective, and when the intensity of the spectral wavelength is between the first reference value and the second reference value, the test sample is determined to be good.

만일, 상기 1차 및 2차 판정에 의해 불량으로 판정된 경우, 검사시료의 수리 여부를 판정할 수 있다(S560). 이때, 상기 수리 여부 판정에 따라 수리 불가로 판정된 검사시료를 폐기하거나(S590), 또는 상기 수리 여부 판정에 따라 수리 가능으로 판정된 검사시료에 대해 후속 공정을 진행하게 된다(S600).If it is determined that the defect is determined by the first and second determinations, it may be determined whether or not the inspection sample is repaired (S560). In this case, the inspection sample determined to be unrepairable according to the repair determination may be discarded (S590), or a subsequent process may be performed on the inspection sample determined to be repairable according to the repair determination (S600).

한편, 도 6은 도 5의 휘도차에 따른 양불 판정을 예시하는 도면이고, 도 7은 도 5의 분광파장에 따른 양불 판정을 예시하는 도면이다.Meanwhile, FIG. 6 is a diagram illustrating a good and bad judgment according to the luminance difference of FIG. 5, and FIG. 7 is a diagram illustrating a good and bad judgment according to the spectral wavelength of FIG. 5.

도 6을 참조하면, 검사시료가 액정 패널인 경우, 검사시료에 대한 1차 판정시, 컬러 전하결합소자(CCD) 카메라에서 검출되는 전류의 세기가 제1 기준값보다 큰 경우, 상기 검사시료를 불량 패널로 판정하고, 상기 전류의 세기가 제2 기준값보다 작은 경우, 상기 검사시료를 합격 패널로 판정하게 된다. 만일, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제1 기준값과 제2 기준값 사이에 있는 경우, 상기 검사시료의 판정을 보류하게 된다.Referring to FIG. 6, when the test sample is a liquid crystal panel, when the test sample is first judged, when the intensity of the current detected by the color charge coupled device (CCD) camera is greater than the first reference value, the test sample is defective. If it is determined by the panel and the current intensity is smaller than the second reference value, the test sample is determined as the pass panel. If the intensity difference of the current is between the first reference value and the second reference value, the determination of the test sample is suspended.

이와 같이 휘도 불균일의 원인인 전류의 세기차이, 즉, 전류 세기의 갭으로 표현할 수 있으며, 양불을 판정하는 근거가 될 수 있다.In this way, the difference in intensity of the current, which is the cause of the luminance unevenness, that is, the gap of the current intensity may be expressed, and may be the basis for determining the failure.

도 7을 참조하면, 검사시료가 액정 패널인 경우, 검사시료에 대한 2차 판정시, 컬러 전하결합소자(CCD) 카메라의 분광 파장의 세기를 측정하여, 이때, 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값(LSL) 미만이거나 제2 기준값(USL)을 초과하는 경우, 상기 검사시료를 불량 패널로 판정한다. 만일, 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값(LSL)과 제2 기준값(USL)을 사이에 있는 경우, 상기 검사시료를 합격 패널로 판정하게 된다.Referring to FIG. 7, when the test sample is a liquid crystal panel, the intensity of the spectral wavelength of a color charge coupled device (CCD) camera is measured when the test sample is second-determined. If it is less than the reference value LSL or exceeds the second reference value USL, the test sample is determined as a defective panel. If the intensity of the spectral wavelength is between the first reference value LSL and the second reference value USL, the test sample is determined as a pass panel.

마찬가지로, 전술한 휘도 불균일 뿐만 아니라, 사람은 색감을 느끼므로 파장을 인식하게 되며, 이러한 파장 갭의 차이로 표현함으로써 양불을 판정하게 된다.Similarly, not only is the luminance non-uniformity described above, but the person feels the color, so that the wavelength is recognized, and the difference between the wavelength gaps is determined by the difference in the wavelength gap.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수 적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. You will understand that. Therefore, the embodiments described above are to be understood in all respects as illustrative and not restrictive.

본 발명에 따르면, 검사시료의 검사 시간을 단축시킬 수 있고, 또한 후 공정으로의 불량 누출을 감소시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 불량 좌표나 불량 영역을 자동 생성함으로써, 전체 공정에 대해 불량 원인을 용이하게 분석할 수 있다.According to the present invention, it is possible to shorten the inspection time of the test sample, and also to reduce defective leakage to the post process. In addition, according to the present invention, by automatically generating defective coordinates or defective regions, it is possible to easily analyze the cause of the failure for the entire process.

Claims (12)

검사시료를 자동 비전 검사기 내에 투입하는 단계;Inserting a test sample into an automatic vision inspector; 상기 검사시료 상의 휘도차를 검출하는 단계;Detecting a luminance difference on the test sample; 상기 검출된 휘도차에 따라 상기 검사시료의 양불을 1차 판정하는 단계;Firstly determining whether the inspection sample is good or not according to the detected luminance difference; 상기 1차 판정에 의해 합격된 검사시료의 분광 파장을 측정하는 단계; 및Measuring the spectral wavelength of the test sample passed by the first determination; And 상기 측정된 분광 파장에 따라 상기 검사시료의 양불을 2차 판정하는 단계Second-determining whether the test sample is good or bad according to the measured spectral wavelength 를 포함하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.Spot inspection method of the liquid crystal display comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 1차 판정 단계는, 상기 검사시료의 검사영역을 촬영하는 컬러 전하결합소자(Charge Coupled Device: CCD) 카메라에서 검출된 전류의 세기에 따라 휘도차를 판별하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.In the first determination step, the luminance difference is determined according to the intensity of a current detected by a color coupled device (CCD) camera photographing the inspection region of the inspection sample. method of inspection. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제1 기준값보다 큰 경우, 상기 검사시료를 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법. And determining the test sample as defective when the intensity of the current is greater than a first reference value when determining the luminance difference. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제2 기준값보다 작은 경우, 상기 검 사시료를 양호로 판정하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.And if the intensity of the current is less than a second reference value when determining the luminance difference, determining the inspection sample as good. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 휘도차 판별시 상기 전류의 세기가 제1 기준값과 제2 기준값 사이에 있는 경우, 상기 검사시료의 판정을 보류하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.And determining the test sample when the intensity of the current is between the first reference value and the second reference value when determining the luminance difference. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 컬러 전하결합소자 카메라는 상기 검사시료를 촬영하여 불량 좌표나 불량 영역을 자동 생성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.And the color charge coupled device camera photographs the test sample to automatically generate a bad coordinate or a bad area. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 2차 판정 단계는 상기 검사시료의 검사영역을 촬영하는 컬러 전하결합소자(CCD) 카메라의 분광 파장의 세기를 측정하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.And the second determining step measures an intensity of a spectral wavelength of a color charge coupled device (CCD) camera photographing an inspection region of the inspection sample. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값 미만이거나 제2 기준값을 초과하는 경우, 상기 검사시료를 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법. And if the intensity of the spectral wavelength is less than the first reference value or exceeds the second reference value, determining the test sample as defective. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 분광 파장의 세기가 제1 기준값과 제2 기준값을 사이에 있는 경우, 상기 검사시료를 양호로 판정하는 것을 특징으로 하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.And when the intensity of the spectral wavelength is between the first reference value and the second reference value, the inspection sample is determined to be good. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 1차 및 2차 판정에 의해 불량으로 판정된 검사시료의 수리 여부를 판정하는 단계Determining whether or not the inspection sample determined to be defective by the first and second determinations is repaired 를 추가로 포함하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.Stain inspection method of the liquid crystal display further comprising. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 수리 여부 판정에 따라 수리 불가로 판정된 검사시료를 폐기하는 단계Discarding a test sample which is determined to be unrepairable according to the repair determination 를 추가로 포함하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.Stain inspection method of the liquid crystal display further comprising. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 수리 여부 판정에 따라 수리 가능으로 판정된 검사시료에 대해 후속 공정을 진행하는 단계A subsequent process is performed on the test sample determined to be repairable according to the repair determination. 를 추가로 포함하는 액정 표시장치의 얼룩 검사 방법.Stain inspection method of the liquid crystal display further comprising.

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