KR20080054187A - 정전용량 방식 촉각 센서 및 그 제조 방법 - Google Patents

정전용량 방식 촉각 센서 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20080054187A
KR20080054187A KR1020060126441A KR20060126441A KR20080054187A KR 20080054187 A KR20080054187 A KR 20080054187A KR 1020060126441 A KR1020060126441 A KR 1020060126441A KR 20060126441 A KR20060126441 A KR 20060126441A KR 20080054187 A KR20080054187 A KR 20080054187A
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김종호
권현준
박연규
김민석
강대임
최재혁
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한국표준과학연구원
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Abstract

본 발명은 상,하부 전극 사이의 정전 용량 변화를 검출하여 접촉 위치뿐만 아니라 접촉력을 동시에 측정함으로써 다양한 정보 입력이 가능하도록 하는 정전용량 방식 촉각 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 정전용량 방식의 촉각 센서는 상, 하부 기판과, 상기 하부 기판의 상부에 패터닝된 다수의 하부 투명 전극과, 상기 하부 기판 상에 상기 하부 투명 전극의 주변에 형성되는 돔 형태의 스페이서와, 상기 상부 기판의 하부에 상기 하부 투명 전극과 대응되도록 패터닝된 상부 투명 전극과, 상기 하부 투명 전극과 상부 투면 전극이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 하부 투명 전극 상부 또는 상기 상부 투명 전극 하부에 형성된 절연층을 포함하여 이루어지되, 상기 상부 기판과 상부 기판은 상기 상부 투명 전극과 하부 투명 전극이 상호 대향하고 일정 거리 이격되게 에어 갭을 유지하도록 접착제에 의해 합착되어, 상기 하부 투명 전극과 상부 투명 전극 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 감지하도록 구성된다.
정전용량, 접촉력, 매트릭스, 트렌치, 촉각 센서

Description

정전용량 방식 촉각 센서 및 그 제조 방법{CAPACITIVE TYPE TACTILE SENSOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
도 1은 일반적인 접촉식 정전용량 방식의 키 입력 장치를 설명하기 위한 설명도.
도 2는 일반적인 압력식 저항막 방식의 키 입력장치를 설명하기 위한 설명도.
도 3은 매트릭스 형태로 구성된 정전 용량 터치스크린의 개념도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서를 나타낸 단면도.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 일실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법을 나타낸 순차적인 공정 단면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서를 나타낸 단면도.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법을 나타낸 순차적인 공정 단면도.
도 8은 촉각센서 모듈의 일예를 보인 회로도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
41 : 하부 기판
42 : 하부 투명 전극
43 : 상부 기판
44 : 상부 투명 전극
45 : 절연층
46 : 스페이서
47 : 접착제
48 : 에어 갭
본 발명은 정전용량 방식 촉각 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상,하부 전극 사이의 정전 용량 변화를 검출하여 접촉 위치뿐만 아니라 접촉력을 동시에 측정함으로써 다양한 정보 입력이 가능하도록 하는 정전용량 방식 촉각 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 휴대폰, 개인정보단말기(PDA), 노트북, 게임기, 내비게이션 등의 기기에서는 데이터 입력장치를 사용하여 원하는 기능을 선택, 입력하거나 데이터를 입력하게 된다. 특히, 데이터 입력 장치는 키를 손가락 등으로 눌러 해당 데이터를 입력하는 키패드 방식(키보드 포함)과 접촉 면을 가볍게 접촉함으로써 해당 데이터 를 인식하는 터치 패드와 같은 접촉식 입력장치로 대별된다.
그 중에서 접촉식 입력 장치(터치 패드)에 사용되고 있는 인식 방법을 살펴보면 다음과 같다.
1) 접촉식 정전용량 방식: 정전 용량 방식은 도 1에 도시된 바와 같이, 필름, 플라스틱, 유리로 된 기판(11) 위에 증착된 투명전극(ITO Metal Layer)(12) 상에 X, Y 검출용 신호가 인가된 상태에서, 투명전극(12) 위에 형성된 절연층(13)에 펜 또는 손가락이 접촉되면 변화되는 정전용량의 크기를 계산하여 위치를 검출하는 방식이다.
2) 압력식 저항막 방식: 저항막 방식은 도 2에 도시된 바와 같이, 투명전극(21)(22)이 코팅되어 있는 필름, 플라스틱, 유리로 된 상부 기판(24) 및 하부 기판(23)을 도트 스페이서(Dot Spacer)(25)를 사이에 두고 투명 전극(21)(22)이 서로 마주보도록 합착시켜 형성한다. 이렇게 형성된 한쪽의 투명전극(21) 상에 위치 검출을 위한 전기 신호를 인가하고, 손가락 또는 펜에 의해 상부 기판(24)의 투명 전극(21)이 하부 기판(23)의 투명 전극(22)과 접촉되었을 때 반대쪽 투명전극(22)에서 전기적 신호를 검출한다. 이때 검출된 전기적 신호의 크기를 이용하여 위치를 결정하게 된다.
그러나, 모바일 폰이나, 각종 모니터에 사용되는 터치스크린의 경우 하나의 위치 정보만을 감지하여 접촉이 두 개 이상에서 동시에 이루어질 경우 위치 정보를 감지할 수 없거나, 휴대폰은 0 ~ 9, *, # 키를 이용하기 때문에 키의 개수가 한정되는 관계로 입력방법에 한계성이 있어 다양한 정보 입력시에는 복잡한 키 입력 동 작을 용구하는 단점이 있다.
특히, 압력식 저항 막을 이용한 터치 패드일 경우에는, 접촉 위치 정보와 압력 감지(선 굵기, 3차원 표현, 원근, 색의 개조, 깊이 변화)가 가능하나, 공간 분해능이 떨어져 접촉면적의 크기와는 무관하게 하나의 위치 정보와 압력 정보 값만을 감지한다는 단점이 있다. 또한, 접촉이 두 개 이상에서 동시에 이루어질 경우 위치 정보와 압력 정보를 감지할 수 없는 단점이 있다.
이에 최근에는 접촉이 두 개 이상에서 동시에 이루어질 경우 위치 정보를 감지하기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 매트릭스 형태로 정전 용량 터치스크린을 제작하여 이용하고 있다.
그러나, 단위 센서는 접촉 여부에 따라 정전 용량과 관련된 신호가 변하므로 접촉력의 범위가 거의 없어, 접촉 여부만 관계되는 ON/OFF 스위치로 이용되어 접촉 위치만을 인식할 뿐 힘 측정이 이루어지지 못하여 다양한 입력 정보를 요구하는 데에는 한계성이 있는 단점이 있다.
상기 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판 상에 에어 갭(air gap)을 사이에 두고 상호 접촉되지 않으며 대향하도록 각각의 투명 전극을 형성하고, 정현파를 인가한 후 접촉에 따라 변화되는 진폭을 검출하여 이로부터 정전 용량 변화를 측정하여 접촉 위치뿐만 아니라 접촉력을 동시에 측정하도록 함으로써, 다양한 정보 입력이 가능하도록 하는 정전용량 방식 촉각 센서 및 그 제조 방법을 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 정전용량 방식 촉각 센서는 상, 하부 기판과, 상기 하부 기판의 상부에 패터닝된 다수의 하부 투명 전극과, 상기 하부 기판 상에 상기 하부 투명 전극의 주변에 형성되는 돔 형태의 스페이서와, 상기 상부 기판의 하부에 상기 하부 투명 전극과 대응되도록 패터닝된 상부 투명 전극과, 상기 하부 투명 전극과 상부 투면 전극이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 하부 투명 전극 상부 또는 상기 상부 투명 전극 하부에 형성된 절연층을 포함하여 이루어지되, 상기 상부 기판과 상부 기판은 상기 상부 투명 전극과 하부 투명 전극이 상호 대향하고 일정 거리 이격되게 에어 갭을 유지하도록 접착제에 의해 합착되어, 상기 하부 투명 전극과 상부 투명 전극 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 감지하도록 구성된다.
또한, 상기 본 발명의 일양상에 따른 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법은 상부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와, 상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 다수의 상부 투명 전극을 형성하는 단계와, 하부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와, 상기 투명 전극 물질을 패터닝 하여 상기 상부 투명 전극과 대응되도록 다수의 하부 투명 전극을 형성하는 단계와, 상기 상부 투명 전극 또는 하부 투명 전극의 표면에 선택적으로 절연층을 형성하는 단계와, 상기 하부 기판의 상기 하부 투명 전극 주변에 돔 형태의 다수의 스페이서를 형성하는 단계와, 상기 상부 투명 전극과 하부 투명 전극이 상호 대향되며 일정 거리 이격되어 에어 갭을 유지하도록 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 접착제를 통해 합착하는 단계를 포함하 는 것이다.
본 발명의 다른 양상에 따른 정전용량 방식 촉각 센서는 상,하부 기판과, 상기 하부 기판 상에 일정 간격을 두고 패터닝된 다수의 하부 투명 전극과, 상기 하부 기판 상에 접착제를 통해 합착되며 상기 하부 투명 전극이 수용되고 상기 하부 기판과의 사이에 에어 갭을 형성하도록 그 하부면에 트렌치가 형성된 상부 기판과, 상기 하부 투명 전극과 대응되도록 상기 상부 기판 표면에 패터닝된 상부 투명 전극을 포함하여, 상기 하부 투명 전극과 상부 투명 전극 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 감지하도록 구성된다.
상기 본 발명의 다른 양상에 따른 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법은 하부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와, 상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 다수의 하부 투명 전극을 형성하는 단계와, 상부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와, 상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 상기 하부 투명 전극과 대응되는 다수의 상부 투명 전극을 형성하는 단계와, 상기 상부 투명 전극이 형성된 영역의 상기 상부 기판의 하부면을 식각하여 다수의 트렌치를 형성하는 단계와, 상기 하부 투명 전극이 상기 트렌치에 수용되어 상기 상부 투명 전극과 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 접착제를 통해 합착함으로써 트렌치에 의해 에어 갭(air gap)을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 후술하는 바람직한 실시예를 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 발명의 실시예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하도록 한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서를 도시한 단면도로, 상, 하부 기판(63, 61)과 상기 하부 기판(61)의 상부에 패터닝된 다수의 하부 투명 전극(62)과, 상기 하부 기판(61) 상의 상기 하부 투명 전극(62)의 주변에 형성되는 돔 형태의 스페이서(66)와, 상기 상부 기판(63)의 하부에 상기 하부 투명 전극(62)과 대응되도록 패터닝된 상부 투명 전극(64)과, 상기 하부 투명 전극(62)과 상부 투면 전극(64)이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 하부 투명 전극(62) 상부 또는 상기 상부 투명 전극(64) 하부에 형성된 절연층(65)을 포함하여 이루어진다.
본 발명의 특징적인 양상에 따라, 상기 상부 기판(63)과 하부 기판(61)은 상기 상부 투명 전극(64)과 하부 투명 전극(62)이 상호 대향하고 일정 거리 이격되게 에어 갭(68)을 유지하도록 접착제(67)에 의해 합착되어, 상기 하부 투명 전극(62)과 상부 투명 전극(64) 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 측정하도록 구성된다.
상기 상부 기판(63) 및 하부 기판(61)은 고분자 필름(폴리이미드 필름, 폴리에스터 필름) 또는 글래스(glass) 기판을 사용하는 것이 바람직하며, 고분자 필름인 폴리이미드 필름을 기판으로 사용한 이유는 유연성을 가지면서 우수한 전기적, 열적, 기계적, 물리/화학적 특성이 있기 때문이다.
또한, 상기 하부 투명 전극(62) 및 상부 투명 전극(64)은 인듐주석 산화물(ITO : Induim Tin Oxide) 또는 탄소나노튜브(CNT : Carbon Nanotube)로 이루어질 수 있으나, 바람직하게는 CNT(Carbon Nanotube)로 이루어진다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 일실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법을 순차로 나타낸 공정 단면도이다.
우선, 도 5a에 도시된 바와 같이 상부 기판(71)에 투명 전극 물질(72)을 증착하고, 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 투명 전극 물질(72)을 패터닝하여 다수의 상부 투명 전극(72a)을 형성한다.
상기 투명 전극 물질(72)을 증착하는 방식은 스퍼터링 방식이 이용될 수 있으며, 상부 투명 전극 물질(72)로를 인듐주석 산화물(ITO : Induim Tin Oxide) 또는 탄소나노튜브(CNT : Carbon Nanotube)를 이용할 수 있으나, 바람직하게는 ITO 보다 접착력이 우수하고 비용이 저렴한 CNT(Carbon Nanotube)를 이용한다.
이어서, 도 5c에 도시된 바와 같이 하부 기판(73)에 투명 전극 물질(74)을 증착하고, 도 5d에 도시된 바와 같이 상기 투명 전극 물질(74)을 패터닝 하여 상기 상부 투명 전극과 대응되도록 다수의 하부 투명 전극(74a)을 형성한다.
그런 다음 도 5e에 도시된 바와 같이 상기 하부 투명 전극(74a)의 표면에 선택적으로 절연층(75)을 형성한 후 상기 하부 기판(73)의 상기 하부 투명 전극(74a) 주변에 돔 형태의 다수의 스페이서(76)를 형성한다.
이때, 본 발명의 일실시예에서는 상기 하부 투명 전극(74a) 상에 절연층(75)을 형성하였으나, 다른 실시예를 통해 상부 전극(71)의 표면에 절연층을 형성하도록 변경할 수 있다.
이후, 상기 상부 투명 전극(72a)과 하부 투명 전극(74a)이 상호 대향되며 일정 거리 이격되어 에어 갭(78)을 유지하도록 상기 기판(71)과 상기 하부 기판(73) 을 접착제(77)를 통해 합착한다.
이와 같이 본 발명의 일실시예에 따라 제조된 정전용량 방식 촉각 센서에 따르면 상,하부 전극이 절연층에 의해 전기적으로 분리된 상태가 되고, 각 전극 사이의 거리 변화에 따라 정전 용량이 변화하게 된다.
즉, 상부 기판을 누르는 힘에 의해 각 전극 사이의 정전 용량이 변화하게 되는데 이를 검출하기 위하여 각 전극에 정현파를 인가한 후 진폭 변화를 측정하여 전극 사이의 정전 용량 변화를 검출함으로써 기판을 접촉 위치뿐만 아니라, 접촉력을 동시에 측정할 수 있는 것이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서를 도시한 단면도로, 하부 기판(81)과, 상기 하부 기판(81) 상에 일정 간격을 두고 패터닝된 다수의 하부 투명 전극(82)과, 상기 하부 기판(81) 상에 접착제(87)를 통해 합착되며 상기 하부 투명 전극(82)이 수용되고 상기 하부 기판(82)과의 사이에 에어 갭(86)을 형성하도록 그 하부면에 트렌치(85)가 형성된 상부 기판(83)과, 상기 하부 투명 전극(81)과 대응되도록 상기 상부 기판(83) 표면에 패터닝된 상부 투명 전극(84)을 포함하여 이루어져, 상기 하부 투명 전극(82)과 상부 투명 전극(84) 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 측정하도록 구성된 것이다.
상기 상부 기판(83) 및 하부 기판(81)은 고분자 필름(폴리이미드 필름, 폴리에스터 필름) 또는 글래스(glass) 기판을 사용하는 것이 바람직하며, 고분자 필름인 폴리이미드 필름을 기판으로 사용한 이유는 유연성을 가지면서 우수한 전기적, 열적, 기계적, 물리/화학적 특성이 있기 때문이다.
또한, 상기 하부 투명 전극(82) 및 상부 투명 전극(84)은 인듐주석 산화물(ITO : Induim Tin Oxide) 또는 탄소나노튜브(CNT : Carbon Nanotube)로 이루어질 수 있으나, 바람직하게는 CNT(Carbon Nanotube)로 이루어진다.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법을 도시한 순차적인 공정 단면도이다.
우선, 도 7a에 도시된 바와 같이 하부 기판(91)에 투명 전극 물질(92)을 증착하고, 도 7b에 도시된 바와 같이 상기 투명 전극 물질(92)을 패터닝하여 다수의 하부 투명 전극(92a)을 형성한다.
이어서, 도 7c에 도시된 바와 같이 상부 기판(93)에 투명 전극 물질(94)을 증착하고, 도 7d에 도시된 바와 같이 상기 투명 전극 물질(94)을 패터닝하여 상기 하부 투명 전극(92a)과 대응되는 다수의 상부 투명 전극(94a)을 형성한다.
그런 다음, 도 7f에 도시된 바와 같이 상기 상부 투명 전극(94a)이 형성된 영역의 상기 상부 기판(93)의 하부면을 식각하여 다수의 트렌치(95)를 형성한다.
상기 상부 기판(93)의 하부면을 식각하여 다수의 트렌치(95)를 형성하는 단계는 수산화 칼륨(KOH) 수용액을 이용한 습식 식각으로 실시한다.
이후, 상기 하부 투명 전극(92a)이 상기 트렌치(95)에 수용되어 상기 상부 투명 전극(94a)과 대응되도록 상기 하부 기판(91)과 상기 상부 기판(93)을 접착제(96)를 통해 합착함으로써 트렌치(95)에 의해 에어 갭(air gap, 97)을 형성한다.
상기 상부 투명 전극 물질(94) 및 하부 투명 전극 물질(92)을 증착하는 방식은 스퍼터링 방식이 이용될 수 있으며, 상부 투명 전극 물질(94) 및 하부 투명 전 극 물질(92)로 인듐주석 산화물(ITO : Induim Tin Oxide) 또는 탄소나노튜브(CNT : Carbon Nano tube)를 이용할 수 있으나, 바람직하게는 ITO 보다 접착력이 우수하고 비용이 저렴한 CNT(Carbon Nano tube)를 이용한다.
도 8은 본 발명에 따른 촉각센서 모듈의 일예를 보인 회로도로서, 매트릭스 형태의 상,하부 전극에 각각 입력 단자 또는 출력 단자가 연결되되, 입력 단자에는 정현파의 전압이 인가되고, 출력 단자의 출력은 아날로그 증폭기(OPAMP)의 부(-) 입력 단자에 연결되고, 아날로그 증폭기(OPAMP)의 정(+) 입력 단자는 접지되며, 아날로그 증폭기(OPAMP)의 출력단에는 출력 전압의 진폭 피크치를 검출하는 피크 검출기(100)가 연결된다.
아날로그 증폭기(OPAMP)의 출력(Vout) 값은 아래의 [수학식1]과 같다.
Figure 112006092006063-PAT00001
이에 따라, 입력단에 정현파를 인가하면 각각의 상,하부 전극 사이의 정전 용량에 따라 변화된 진폭이 출력단의 아날로그 증폭기(OPAMP)에 의해서 소정 레벨로 증폭되고, 이렇게 증폭된 신호가 피크 검출기(100)를 통해 검출되므로, 상하부 사이에서 변화되는 정전 용량을 진폭 피크치로부터 검출함으로써 센서의 터치(접촉) 위치뿐만 아니라 힘(접촉력)을 검출할 수 있는 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명은 상부 및 하부 기판 상에 상호 전기적으로 접촉 되지 않도록 투명 전극을 패터닝 하고, 상,하부 기판의 투명 전극이 상호 대향하여 에어 갭을 형성하도록 합착하여, 각각의 투명 전극 사이에 정현파를 인가하여 검출되는 진폭의 피크치로부터 정전 용량 변화를 검출하여, 접촉 위치뿐만 아니라 접촉력을 동시에 측정하도록 함으로써, 다양한 정보 입력이 가능하도록 할 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양하고 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형예들을 포함하도록 기술된 특허청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.

Claims (11)

  1. 상, 하부 기판(63,61)과,
    상기 하부 기판(61)의 상부에 패터닝된 다수의 하부 투명 전극(62)과,
    상기 하부 기판(61) 상에 상기 하부 투명 전극(62)의 주변에 형성되는 돔 형태의 스페이서(66)와,
    상기 상부 기판(63)의 하부에 상기 하부 투명 전극(62)과 대응되도록 패터닝된 상부 투명 전극(64)과,
    상기 하부 투명 전극(62)과 상부 투명 전극(64)이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 하부 투명 전극(62) 상부 또는 상기 상부 투명 전극(64) 하부에 형성된 투명 절연층(65)을 포함하여 이루어지되,
    상기 상부 기판(63)과 하부 기판(61)은 상기 상부 투명 전극(64)과 하부 투명 전극(62)이 상호 대향하고 일정 거리 이격되게 에어 갭(68)을 유지하도록 접착제(67)에 의해 합착되어,
    상기 하부 투명 전극(62)과 상부 투명 전극(64) 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 투명 전극(62) 및 상부 투명 전극(64)은 인듐주석 산화물(ITO) 또 는 탄소나노튜브(CNT)로 이루어짐을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서.
  3. 상부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,
    상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 다수의 상부 투명 전극을 형성하는 단계와,
    하부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,
    상기 투명 전극 물질을 패터닝 하여 상기 상부 투명 전극과 대응되도록 다수의 하부 투명 전극을 형성하는 단계와,
    상기 상부 투명 전극 또는 하부 투명 전극의 표면에 선택적으로 절연층을 형성하는 단계와,
    상기 하부 기판의 상기 하부 투명 전극 주변에 돔 형태의 다수의 스페이서를 형성하는 단계와,
    상기 상부 투명 전극과 하부 투명 전극이 상호 대향되며 일정 거리 이격되어 에어 갭을 유지하도록 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 접착제를 통해 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 투명 전극 물질은 인듐주석 산화물(ITO)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 투명 전극 물질은 탄소나노튜브(CNT)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법.
  6. 하부 기판(81)과,
    상기 하부 기판(81) 상에 일정 간격을 두고 패터닝된 다수의 하부 투명 전극(82)과,
    상기 하부 기판(81) 상에 접착제(87)를 통해 합착되며 상기 하부 투명 전극(82)이 수용되고 상기 하부 기판(81)과의 사이에 에어 갭(86)을 형성하도록 그 하부면에 트렌치(65)가 형성된 상부 기판(83)과,
    상기 하부 투명 전극(82)과 대응되도록 상기 상부 기판(83) 표면에 패터닝된 상부 투명 전극(84) 을 포함하여,
    상기 하부 투명 전극(82)과 상부 투명 전극(84) 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 측정하도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 하부 투명 전극(82) 및 상부 투명 전극(84)은 인듐주석 산화물(ITO) 또는 탄소나노튜브(CNT)로 이루어짐을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서.
  8. 하부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,
    상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 다수의 하부 투명 전극을 형성하는 단계와,
    상부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,
    상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 상기 하부 투명 전극과 대응되는 다수의 상부 투명 전극(84)을 형성하는 단계와,
    상기 상부 투명 전극(84)이 형성된 영역의 상기 상부 기판의 하부면을 식각하여 다수의 트렌치를 형성하는 단계와,
    상기 하부 투명 전극이 상기 트렌치에 수용되어 상기 상부 투명 전극(84)과 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 접착제를 통해 합착함으로써 트렌치에 의해 에어 갭(air gap)을 형성하도록 하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 투명 전극 물질은 인듐주석 산화물(ITO)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 투명 전극 물질은 탄소나노튜브(CNT)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 상부 기판의 하부면을 식각하여 다수의 트렌치를 형성하는 단계는 수산화 칼륨(KOH) 수용액을 이용한 습식 식각으로 실시하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법.
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