KR20080053558A - 3차원 형상 측정 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 레이저 광원(110), 상기 레이저 광원(110)으로부터의 광선을 평행 광선으로 형성시키는 시준 렌즈(120), 상기 시준 렌즈(120)를 통과하여 나온 평행 레이저 광선을 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 보내는 광분할장치, 필터링수단, 집광수단 및 광검출수단을 포함하여 이루어지는 공초점 현미경 시스템(100);광원(210), 시준 렌즈(220), 상기 시준 렌즈(220)를 통과하여 나온 평행 광선을 반사하여 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 통과하여 보내는 광 분배기(230) 및 CCD(Charge Coupled Device, 280)를 포함하여 이루어지는 백색광 간섭 현미경 시스템(200);상기 공초점 현미경 시스템(100)과 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 결합하는 결합수단; 및시편(1000)과의 수직 거리를 조절하는 Z스테이지(301), 상기 공초점 현미경 시스템(100) 또는 상기 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 통과하여 나온 광선을 시편(1000)을 향해 집광하여 보내는 기능을 담당하는 대물렌즈(303)를 포함하여 이루어지는 제1 및 제2 렌즈 모드(310, 320)를 포함하여 이루어지는 공유 시스템(300);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 결합수단은이색성 거울(240)인 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제1 렌즈 모드(310)는상기 대물렌즈(303)로만 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제2 렌즈 모드(320)는상기 대물렌즈(303), 상기 대물렌즈(303)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하는 거울(250), 상기 거울(250)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하며 광선을 분배하는 광분할기(260)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
- 제 1항 내지 제 4항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 공유 시스템(300)은상기 Z스테이지(301)와 연결되어 구비되며 렌즈 모드를 전환하는 대물렌즈 회전교환기(302)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
- 제 5항에 있어서, 상기 대물렌즈 회전교환기(302)는회전식으로 상기 제1 렌즈 모드(310)과 상기 제2 렌즈 모드(320)를 전환하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
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