KR20080024999A

KR20080024999A - 광학 부재의 제조 방법 및 광학 부재 성형용 형의 제조방법

Info

Publication number: KR20080024999A
Application number: KR1020070092782A
Authority: KR
Inventors: 이치로 아미노; 아츠시 히노; 히로나카 후지이; 노리아키 하라다
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2006-09-13
Filing date: 2007-09-12
Publication date: 2008-03-19
Also published as: US20080061028A1; JP2008070556A; TW200827152A; CN101144864A

Abstract

과제

미세한 요철 형상을 용이하게 형성할 수 있는, 광학 부재의 제조 방법 및 광학 부재 성형용 형의 제조 방법을 제공하는 것.

해결 수단

수지 필름 표면에, 투영 마스크를 통하여, 레이저광을 조사하고 수지 표면을 렌즈 형상으로 에칭하는 광학 부재의 제조 방법으로서, 그 투영 마스크가, 단계적으로 크기가 상이한 복수의 투광 부분 또는 차광 부분을 형성하여 이루어지는 것이며, 그 수지 필름 및/또는 투영 마스크를 순차 이동시켜, 그 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분에서, 레이저광 조사를 행하고, 복수회 에칭에 의해 렌즈 형상으로 가공하는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 제조 방법, 그리고 그 광학 부재의 제조 방법을 이용한 광학 부재 성형용 형의 제조 방법.

Description

광학 부재의 제조 방법 및 광학 부재 성형용 형의 제조 방법{METHOD FOR PRODUCING OPTICAL MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING MOLDING DIE FOR OPTICAL MEMBER}

본 발명은, 마이크로 렌즈 시트, 집광 시트, 광확산 시트 등의 광학 부재의 제조 방법, 및 이들의 광학 부재를 성형하기 위한 형의 제조 방법에 관한 것이다.

마이크로렌즈 등의 광학 부재는, 예를 들어, 마이크로 렌즈 패턴의 레지스트를 석영 기판 상에 형성하여, 레지스트와 석영 기판을 동시에 드라이에칭하는 방법 (특허 문헌 1), 플라스틱 내부에 레이저를 조사하여, 미소 돌기를 융기시키는 방법 (특허 문헌 2) 등이 알려지고 있다.

종래기술의 문헌 정보

특허 문헌 1 일본 공개특허공보 2005-10403호

특허 문헌 2 일본 공개특허공보 2004-133001호

그러나, 상기와 같은, 종래의 제조 방법에서는, 광학 부재에 있어서의 미세한 요철 렌즈 형상의 가공을 하는 것이 용이하지 않고, 또, 미세한 요철을 높이 (깊이) 방향으로 양호한 정밀도로 형성하는 것이 곤란했다. 게다가 요철 렌즈 형상의 성형용 형의 제조도 상기와 마찬가지로 곤란하다는 결점이 있었다.

본 발명은, 미세한 요철 형상을 용이하게 형성할 수 있는, 광학 부재의 제조 방법 및 광학 부재 성형용 형의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 요지는,

[1] 수지 필름 표면에, 투영 마스크를 통하여, 레이저광을 조사하고 수지 표면을 렌즈 형상으로 에칭하는 광학 부재의 제조 방법으로서, 그 투영 마스크가, 단계적으로 크기가 상이한 복수의 투광 부분 또는 차광 부분을 형성하여 이루어지는 것이며, 그 수지 필름 및/또는 투영 마스크를 순차 이동시켜, 그 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분에서, 레이저광 조사를 행하고, 복수회 에칭에 의해 렌즈 형상으로 가공하는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 제조 방법,

[2] 수지 필름 표면에, 투영 마스크를 통하여, 레이저광을 조사하고 수지 표면을 렌즈 형상으로 에칭하는 광학 부재 성형용 형의 제조 방법으로서, 그 투영 마스크가, 단계적으로 크기가 상이한 복수의 투광 부분 또는 차광 부분을 형성하여 이루어지는 것이며, 그 수지 필름 및/또는 투영 마스크를 순차 이동시켜, 그 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분에서, 레이저광 조사를 행하고, 복수회 에칭에 의해 렌즈 형상으로 가공하는 것을 특징으로 하는 광학 부재 성형용 형의 제조 방법에 관한 것이다.

본 발명의 광학 부재의 제조 방법 및 광학 부재 성형용 형의 제조 방법에 의하면, 미세한 요철 렌즈 형상을 용이하게 가공할 수 있다는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명은, 수지 필름 표면에, 투영 마스크를 통하여 레이저광을 조사하고 수지 표면을 렌즈 형상으로 에칭하는 광학 부재의 제조 방법으로서, 그 투영 마스크가, 단계적으로 크기가 상이한 복수의 투광 부분 또는 차광 부분을 형성하여 이루어지는 것으로, 그 수지 필름 및/또는 투영 마스크를 순차 이동시켜 그 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분에서 레이저광 조사를 실시하고, 복수회 에칭에 의해 렌즈 형상으로 가공하는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 제조 방법에 관한 것이다.

상기 특징을 갖는 본 발명의 광학 부재의 제조 방법에 의하면, 깊이 (높이) 방향에 대한 형상을 제어할 수 있어, 미세한 오목·볼록형의 렌즈 형상을 형성할 수 있다.

본 발명에 사용되는 수지 필름은, 에칭 가공되는 플라스틱 필름이면, 그 재질에 특별히 제한은 없지만, 레이저광의 종류에 대해서, 그 레이저광의 파장의 흡수가 있는 것을 선택하는 것이 바람직하고, 예를 들어 폴리에스테르계 수지, 에폭 시계 수지, 우레탄계 수지, 폴리스티렌계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리이미드계 수지, ABS 수지, 폴리카보네이트계 수지, 실리콘계 수지 등을 이용할 수 있다. 이들의 수지 중 내열성, 내약품성, 및 자외역의 레이저 가공성이 우수한 폴리이미드계 수지를 이용하는 것이 보다 바람직하다.

또, 수지 필름은, 가공시의 핸들링 가공 표면의 플랫성 등을 생각하여, 두께 10 ∼ 200㎛ 정도의 것을 이용하는 것이 바람직하다. 이 경우, 유리판, 금속판등에 부착하여 사용해도 되고, 또 스핀코트, 도공 방식 등에 의해 그 유리판, 금속판 등에 도포하여 사용해도 된다.

본 발명의 투영 마스크는, 레이저광이 통과하는 원하는 형상의 투광 부분, 또는 레이저광을 차단하는 원하는 형상의 차광 부분을 가지며, 순차 투광 부분 또는 차광 부분 사이즈를 변경함으로써 깊이 방향에 대한 형상을 컨트롤 할 수 있는 설계이면, 그 형상은 원, 직사각형, 다각형 등을 불문한다. 그 투광 부분 또는 차광 부분의 수도 임의로 선택하면 되고, 실질적인 해상성 (분해능, 계조) 및 스테이지 이동에 의한 오차를 고려했을 경우, 5 ∼ 100 개로 하는 것이 바람직하다. 게다가 투광 부분 또는 차광 부분은, 투영 마스크 상에 등간격으로 배열되어 있는 것이 바람직하며, 직선 상에 줄지어 있는 것이 더욱 바람직하다. 투광 부분 또는 차광 부분의 직경은, 투영 이미지 (수지 필름) 의 직경 및 집광 렌즈에 따라 상이하다. 즉, 투영 이미지 (수지 필름) 상에서의 최대 직경이 바람직하게는 1 ∼ 300㎛, 보다 바람직하게는 1 ∼ 100㎛, 더욱 바람직하게는 1 ∼ 10㎛ 가 되도록, 투광 부분 또는 차광 부분의 직경이 설계되는 것이 바람직하다. 또, 투영 마스크의 재질은, 금속 또는 합금만으로 이루어진 것 (메탈 투영 마스크) 혹은 석영 유리 상에 금속을 증착하여, 금속 피막된 것 (증착·피막 메탈 투영 마스크) 등이 바람직하다. 석영 유리 상에 금속을 증착하여 금속 피막하는 경우, 레이저광에 대한 내구성 혹은 해상력의 관점에서, 크롬 증착·알루미늄 증착·몰리브덴 증착·유전체 다층 피막 등이 특별히 바람직하다. 상기 차광 부분은, 메탈 투영 마스크의 경우, 마스크 상에 구멍이 뚫려있지 않은 부분, 또는 증착·피막 메탈 투영 마스크의 경우, 증착·피막된 부분으로서, 레이저광을 통과할 수 없는 부분이 차광 부분에 상당하게 된다. 상기 투광 부분은, 메탈 투영 마스크의 경우, 마스크 상에 구멍이 뚫려있는 부분, 또는 증착·피막 메탈 투영 마스크의 경우, 금속 증착·피복되어 있지 않은 석영 유리의 부분으로서, 레이저광을 통과할 수 있는 부분이 투광 부분이 된다. 여기서 석영 유리는 자외광을 거의 100% 투과 시키는 것이 가능하다.

투영 마스크의 투광 부분 및 차광 부분의 제작 방법으로서는, 예를 들어 (1) 석영 유리에 금속 크롬을 증착하고, (2) 추가로 금속 크롬층 상에 노광용의 레지스트를 도포하여, (3) 노광 또는 레이저광 조사에 의해 레지스트층을 패터닝하고 에칭하며, (4) 추가로 크롬층을 습식 에칭 또는 레이저조사로 에칭하고, (5) 마지막으로 레지스트층을 박리함으로써 투광 부분과 차광 부분을 제작하는 방법 등을 들 수 있다. 또 다른 예로서는, 석영 유리에 금속 크롬을 증착하여, 레이저광의 직접 조사에 의해 금속 크롬층을 절제하는 제작 방법 등을 들 수 있다.

본 발명에서 사용하는 레이저광은, 엑시머 레이저, YAG 레이저, C0₂ 레이저, 펨토초 레이저, 피코초 레이저 등이 바람직하다. 특별히 미세 가공을 생각할 경우, 400㎚ 이하의 자외 영역의 발진 파장을 갖는 레이저광이 더욱 바람직하다.

레이저광의 에너지 밀도는, 특별히 제한되어 있지 않지만, 자외 영역 (엑시머 레이저) 의 경우, 수지 필름 상에서 바람직하게는 100 ∼ 2000mJ/㎠, 보다 바람직하게는 300 ∼ 800mJ/㎠ 이다.

본 발명의 「그 수지 필름 및/또는 투영 마스크를 순차 이동시키고」란, 레이저광의 조사 후에 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분과, 수지 필름과의 쌍방 또는 어느 일방을 이동시키는 것에 의해, 수지 필름 상의 레이저광 조사 부분 (투영 이미지) 과 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분이, 순차 다음의 위치 관계를 갖는 것을 의미한다. 어느 레이저광 조사시를 기준으로 하여, 레이저광 조사된 투영 이미지에서 본 다음의 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분은, 인접한 투광 부분 혹은 차광 부분이어도 되고, 떨어져 있는 지점의 투광 부분 혹은 차광 부분이어도 된다. 그 때, 이동 방법에는 특별히 제한은 없고, 수지 필름, 투영 마스크의 어느 쪽이 이동해도 되지만, 미세한 요철 형상을 가공할 수 있는 방법인 것이 바람직하다. 게다가 그 이동 방법에 이용되는 방법으로는, 수지 필름이 놓여 있는 스테이지가 XY 평면 상에서 이동하는 방법이 보다 바람직하고, 보다 정밀한 가공을 위해서, 그 스테이지 또는 레이저의 집광 렌즈가 1 쇼트마다, 깊이 방향으로 에칭되는 부분만큼 Z 축 방향으로 이동시키는 방법이 더욱 바람직하 다.

나아가, 본 발명의 광학 부재의 제조 방법에서, 집광 렌즈를 바람직하게 이용할 수도 있다. 집광 렌즈는, 특별히 제한은 없지만, 집광 렌즈는 투영 마스크와 수지 필름 사이에 배치되는 것이 바람직하고, 집광 배율로서 1 / 1 ∼ 1 / 30 배가 바람직하다. 실제로 설비로서 사용하는 경우, 투영 마스크의 크기와 그에 대한 가공 사이즈와 가공 영역 혹은 레이저광의 조사량, 강도와 투영 마스크 제작의 난이도를 생각하면 1 / 5 ∼ 1 / 15 배의 집광 배율이 보다 바람직하다.

본 발명에서, 예를 들어 1 / 30 배의 집광 배율을 갖는 집광 렌즈를 이용하는 경우, 투영 마스크와 투영 이미지 (수지 필름) 사이에는, 투영 이미지에 비하여 30 배의 크기를 갖는 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분이 필요하게 된다. 게다가 1 / 5 배의 집광 배율을 갖는 집광 렌즈를 이용했을 경우, 투영 이미지에 비해 5 배의 크기를 갖는 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분이 필요하고, 에너지는 집광 배율의 2 승에 반비례하기 때문에, 투영 이미지 (수지 필름) 에 500mJ/㎠ 의 에너지 밀도로 조사하는 경우, 투영 마스크를 통과할 때의 에너지 밀도는 20mJ/㎠ 로 충분하게 된다. 집광 렌즈가 1 배의 집광 배율을 갖는 경우에는, 투영 이미지와 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분의 크기는 등배가 되고, 필요한 에너지 밀도도 등배가 된다.

게다가 본 발명에 있어서, 집광 렌즈를 이용하는 하나의 특징으로서, 투영 마스크에 대한 경제적 및 정밀도의 관점에서, 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분의 직경, 및 투광 부분 또는 차광 부분의 배치와 피치를 용이하게 제작할 수 있는 것을 들 수 있다.

본 발명에 있어서, 에칭되는 깊이는 특별히 제한은 없지만, 투영 마스크, 집광 렌즈, 레이저의 에너지 밀도, 및 수지 필름의 관점에서 레이저의 1 회 조사당, 바람직하게는 0.05㎛ ∼ 3㎛, 보다 바람직하게는 0.1㎛ ∼ 1㎛, 더욱 바람직하게는 0.l㎛ ∼ 0.5㎛ 이다.

본 발명의 광학 부재의 제조 방법에 의하면, 투영 마스크가 단계적으로 크기가 상이한 투광 부분 또는 차광 부분을 가지고, 그 투영 마스크를 통하여 레이저광을 조사했을 경우, 최종적으로 레이저광 조사에 의해 가공되는 필름 형상은, 투영 마스크에 형성된 원하는 형상의 투광 부분을 이용하는 경우에는 오목형이 된다. 한편, 투영 마스크의 광투과 부분과 광차광 부분을 역전시켜 차광 부분을 이용함으로써 볼록형의 가공을 할 수 있다.

본 발명은, 그 광학 부재의 성형용 형의 제조 방법에 관한 것이다. 특별히 제한되어 있지 않지만, 예를 들어 마이크로 렌즈 시트 (성형형) 에, 열경화성 수지 시트를 프레스하고 열경화함으로써 볼록형 마이크로 렌즈 시트를 얻고, 볼록형 마이크로 렌즈 시트의 표면에 스퍼터링에 의해 니켈 박막을 형성하고, 추가로 그 위에 니켈 전해 도금을 실시하여 오목형의 금형을 제작하는 것 등이 바람직하다. 그리고, 그 금형에, 열경화성 수지 시트 또는 자외선 경화형 수지 시트를 프레스하여, 열 또는 자외선 경화함으로써 볼록형 마이크로 렌즈 시트를 얻을 수 있다. 대량으로 생산하는 경우에는, 형의 내구성을 고려하면 수지형보다 금형이 바람직하다.

이하에 본 발명의 광학 부재의 제조 방법 및 광학 부재의 성형용 형의 제조 방법을 나타내는 도면에 대하여 서술한다. 단, 집광 렌즈는 1 / 1 배로 했을 때의 개략 도로서 나타나 있다.

도 1 에, 본 발명의 원리를 나타낸다. 투영 마스크 1 에 A, B, C, D 의 순서로 크기가 상이한 투광 부분을 형성하고, A, B, C, D 는 그 중심이, 등간격으로 평면 상에 배열되어 있다. 먼저, 그 투영 마스크를 통하여 1 회째의 레이저광 (2) 을 수지 필름 (5) 에 조사하여, 수지 필름 표면을 에칭한다.

다음으로, 1 개의 간격분 (이송 피치 3) 만큼 수지 필름을 탑재하고 있는 스테이지를 직선 방향 (4) 으로 이동시키고, 동일하게, 제 2 회째의 레이저광 (2) 을 수지 필름 (5) 에 조사하여 수지 필름 표면을 에칭한다. 마찬가지로 하여, 도 1 에 있어서의 A 의 경우에는, 1 개의 렌즈부에 대해서 4 회 레이저 에칭함으로써, 오목형의 렌즈 형상이 형성된다. 단, 제 1 회째의 조사시의, 왼쪽의 3 개 (A, B, C) 는 렌즈 가공을 실시하지 않는다.

도 2(1) 은, 도 1 과 마찬가지로, 작은 투광 부분 (D) 에서부터 큰 투광 부분 (A) 으로 순차 레이저광 조사 가공하는 경우를 나타내고, 도 2(2) 는, 반대로, 큰 투광 부분 (A) 에서부터 작은 투광 부분 (D) 으로 순서대로 레이저광 조사 가공하는 경우를 나타내고 있다. 도 2(1) 쪽이, 도 2(2) 보다 오목형 렌즈의 구면을 매끄럽게 하기 위해서는 바람직하다.

도 3 (A) (B) (C) (D) 에 나타내는 바와 같이, (A) 에 있어서 수지 필름 (5), (B) 에 있어서 성형용 형으로서의 오목형 마이크로 렌즈 시트 (6), (C) 에 있어서는 성형형으로서 오목형 마이크로 렌즈 시트 (6) 을 이용한 열경화성 수지 시트 또는 자외선 경화형 수지 시트 (7) 의 프레스공정, (D) 에 있어서는 (C) 에서 가공된 볼록형 마이크로 렌즈 시트 (8) 을 나타낸다.

또한, 도 3 에서는 성형용 형으로서 오목형의 가공을 나타냈지만, 투영 마스크의 광투과 부분과 광차광 부분을 역전시킴으로써, 볼록형의 가공을 할 수도 있다.

볼록형 마이크로 렌즈 시트 (8) 은 열경화성 수지 시트 또는 자외선 경화형 수지 시트 (7) 을 프레스하여 성형할 수 있다.

도 4 는, 본 발명에서 이용하는 투영 마스크 패턴 9 의 일례를 나타낸다. 최대 직경이 l50㎛, 최소 직경이 30㎛ 이고, 15 단계의 크기가 상이한 광투과 부분이 좌우 직선 상에 배열되어 있다. 그리고, 그 직선 상에 배열된 광투과 부분이 15 열 지그재그 모양으로 배열되어 있다.

이하에 본 발명의 실시예를 나타내지만, 이들의 실시예에만 한정되는 것은 아니다.

실시예 1

두께 125㎛ 의 폴리이미드수지 필름을 유리판에 부착한 것을, 스테이지 상에 설치했다. 원형에서 투광 부분의 직경을 변화시킨 투영 마스크를 준비했다. 그 투광 부분의 직경은, 최대 직경이 150㎛, 서서히 투광 부분이 작아져 최소 직경이 30㎛ 이었다. 투광 부분의 수는 25 단계에서 지그재그 모양으로 배열되어 있다. 상기 투영 마스크를 통하여 248㎚ 의 엑시머 레이져광 (LPX220i, 라무다 피지크사 제조) 을 이용하여 폴리이미드수지 필름 상의 에너지 밀도가 500mJ/㎠ 가 되도록, 폴리이미드수지 필름에 조사하여 에칭했다. 투영 마스크의 아래에는 집광 렌즈 (집광 배율 1 / 15) 가 있고, 수지 필름 상의 조사 영역이 1 / 15 배로 축소된다. 따라서, 수지 필름 표면에서의 조사 사이즈는, 최대 직경이 10㎛, 최소 직경이 2㎛ 가 된다. 레이저조사를 1 펄스 (쇼트) 조사할 때마다, 스테이지를 렌즈 1 개분만 이동하고, 1 개의 렌즈 부분에 대하여 25 회 조사했다. 또한 스테이지의 이동은, 작은 투광 부분에서부터 에칭이 개시되어, 큰 투광 부분에서 종료하는 방향으로 실시했다. 1 회의 조사로 에칭되는 깊이는 0.2㎛ 이며, 25 회에서 5㎛ 의 깊이가 되었다. 직경이 10㎛, 깊이가 5㎛ 인 지그재그 배열, 반구상의 오목형 마이크로 렌즈 시트를 얻었다.

실시예 2

투영 마스크의 투광 부분의 단계를 15 단계로 변경한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여, 직경이 10㎛, 깊이가 3㎛ 인 반구상의 오목형 마이크로 렌즈 시트를 얻었다.

실시예 3

투영 마스크의 최대 직경을 75㎛, 투광 부분의 단계를 15 단계로 변경한 것 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여, 직경이 5㎛, 깊이가 3㎛ 인 반구상의 오목형 마이크로 렌즈 시트를 얻었다.

실시예 4

투영 마스크의 최대 직경을 450㎛, 투광 부분의 단계를 40 단계로 변경하여, 엑시머 레이져광의 조사량을 1200mJ/㎠ 로 변경한 이외에는 실시예 1 과 동일하게 하여, 직경이 30㎛, 깊이가 15㎛ 인 반구상의 오목형 마이크로 렌즈 시트를 얻었다.

실시예 5

실시예 1 로 얻은 오목형을, 볼록형 마이크로 렌즈 시트를 성형하기 위한 형으로서 사용했다. 즉, 실시예 1 에서 얻은 마이크로 렌즈 시트 (성형형) 에 열경화성 수지 시트를 프레스하고, 열경화함으로써 볼록형 마이크로 렌즈 시트를 얻었다.

실시예 6

실시예 5 에서 얻은 볼록형 마이크로 렌즈 시트를 사용하고, 추가로 오목형 마이크로 렌즈 시트를 제조하기 위한 금형을 제작했다. 즉, 실시예 5 에서 얻은 볼록형 마이크로 렌즈 시트의 표면에 스퍼터링에 의해 니켈 박막을 형성하고, 추가로 그 위에 니켈 전해 도금을 실시하여 금형을 제작했다.

그리고, 그 금형에 열경화성 수지 시트를 프레스하여 열경화함으로써 볼록형 마이크로 렌즈 시트를 얻을 수 있었다.

본 발명의 광학 부재의 제조 방법 및 광학 부재의 성형용 형의 제조 방법은, 예를 들어, 마이크로 렌즈 시트, 집광 시트, 광확산 시트 등에 바람직하게 사용된다.

도 1(1) 은, 투영 마스크를 상향에서 본 도면이고, 도 1(2) 는, 광학 부재의 제조 공정을 나타내는 개념도이다.

도 2(1) 은, 투영 마스크를 작은 투광 부분에서부터 큰 투광 부분의 순차 레이저광 조사하는 공정을 나타내는 개념도이고, 도 2(2) 는, 투영 마스크를 큰 투광 부분에서부터 작은 투광 부분의 순차 레이저광 조사하는 공정을 나타내는 개념도이다.

도 3 은, 광학 부재 성형용 형의 제조 공정 및 성형용 형을 이용한 광학 부재의 제조 공정을 나타내는 개념도이다.

도 4 는, 투영 마스크패턴을 나타내는 도면이다.

부호의 설명

1. 투영 마스크

2. 레이저광

3. 이송 피치

4. 스테이지 이동 방향

5. 수지 필름

6. 성형용 형 오목형 마이크로 렌즈 시트

7. 열경화 수지 시트 또는 자외선 경화형 수지 시트

8. 볼록형 마이크로 렌즈 시트

9. 투영 마스크 패턴

Claims

수지 필름 표면에, 투영 마스크를 통하여, 레이저광을 조사하고 수지 표면을 렌즈 형상으로 에칭하는 광학 부재의 제조 방법으로서, 그 투영 마스크가, 단계적으로 크기가 상이한 복수의 투광 부분 또는 차광 부분을 형성하여 이루어지는 것이며, 그 수지 필름 및/또는 투영 마스크를 순차 이동시켜, 그 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분에서, 레이저광 조사를 행하고, 복수회 에칭에 의해 렌즈 형상으로 가공하는 것을 특징으로 하는 광학 부재의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 렌즈 형상이 오목형인 광학 부재의 제조 방법.
수지 필름 표면에, 투영 마스크를 통하여, 레이저광을 조사하고 수지 표면을 렌즈 형상으로 에칭하는 광학 부재 성형용 형의 제조 방법으로서, 그 투영 마스크가, 단계적으로 크기가 상이한 복수의 투광 부분 또는 차광 부분을 형성하여 이루어지는 것이며, 그 수지 필름 및/또는 투영 마스크를 순차 이동시켜, 그 투영 마스크의 투광 부분 또는 차광 부분에서, 레이저광 조사를 행하고, 복수회 에칭에 의해 렌즈 형상으로 가공하는 것을 특징으로 하는 광학 부재 성형용 형의 제조 방법
제 3 항에 있어서,

상기 렌즈 형상이 오목형인 광학 부재 성형용 형의 제조 방법.