KR20080009827A - Remote control system for cotrolling main power distributor of semiconducor manufacturing equipment - Google Patents

Remote control system for cotrolling main power distributor of semiconducor manufacturing equipment Download PDF

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KR20080009827A
KR20080009827A KR1020060069504A KR20060069504A KR20080009827A KR 20080009827 A KR20080009827 A KR 20080009827A KR 1020060069504 A KR1020060069504 A KR 1020060069504A KR 20060069504 A KR20060069504 A KR 20060069504A KR 20080009827 A KR20080009827 A KR 20080009827A
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이내일
왕현철
이선우
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세메스 주식회사
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Abstract

A remote control system for controlling a main power distributor of semiconductor manufacturing equipment is provided to perform self-inspecting of the main power distributor and repair the main power distributor by comparing the real power supply state of the semiconductor manufacturing equipment with a screen of a graphic user interface in real-time. A remote control system(100) for controlling a main power distributor of semiconductor manufacturing equipment(102) includes a main power distributor(110), a network, a main power distribution controller(112), and an equipment controller(122). The main power distributor distributes main power to equipment units. The main power distribution controller is installed at the main power distributor and is connected to the network. The main power distribution controller provides an operation state of the main power distributor. The equipment controller is connected to the network and controls to distribute and supply the main power of the semiconductor manufacturing equipment to the main power distribution controller. The equipment controller monitors the operation state of the main power distributor in real-time.

Description

반도체 제조 설비의 전원 공급 장치를 위한 원격 제어 시스템{REMOTE CONTROL SYSTEM FOR COTROLLING MAIN POWER DISTRIBUTOR OF SEMICONDUCOR MANUFACTURING EQUIPMENT}REMOTE CONTROL SYSTEM FOR COTROLLING MAIN POWER DISTRIBUTOR OF SEMICONDUCOR MANUFACTURING EQUIPMENT

도 1은 일반적인 반도체 제조 설비의 전원 분배 장치를 나타내는 블럭도;1 is a block diagram showing a power distribution device of a general semiconductor manufacturing facility;

도 2는 도 1에 도시된 전원 분배 장치의 구성을 도시한 블럭도;FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the power distribution device shown in FIG. 1; FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 전원 분배 장치를 원격 제어하는 제어 시스템의 구성을 도시한 블럭도;3 is a block diagram showing a configuration of a control system for remotely controlling a power distribution device of a semiconductor manufacturing facility according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 전원 분배 장치를 원격 제어하는 제어 시스템의 구성을 도시한 블럭도; 그리고4 is a block diagram showing a configuration of a control system for remotely controlling a power distribution device of a semiconductor manufacturing facility according to another embodiment of the present invention; And

도 5 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 전원 분배 장치의 원격 제어를 위한 그래픽 유저 인터페이스 화면을 나타내는 도면들이다.5 to 8 are diagrams illustrating a graphic user interface screen for remote control of a power distribution apparatus according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100, 200 : 원격 제어 시스템 102 : 반도체 제조 설비100, 200: remote control system 102: semiconductor manufacturing equipment

110 : 전원 분배 장치 112 : MPD 제어부110: power distribution unit 112: MPD control unit

114 : 전원 입력부 116 : 전원 분배부114: power input unit 116: power distribution unit

118 : 전원 출력부 120 : 공정 모듈118: power output unit 120: process module

122 : 설비 제어부 202 : 상위 제어부122: facility control unit 202: upper control unit

본 발명은 전원 제어 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조 설비의 전원 공급을 제어하는 원격 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a power supply control system, and more particularly, to a remote control system and a method for controlling a power supply of a semiconductor manufacturing facility.

일반적인 반도체 제조 설비는 포토 공정, 이온 주입 공정, 박막 증착 공정, 에칭 공정 등의 다양한 공정을 처리한다. 이러한 반도체 제조 설비들은 각 공정을 처리하는 적어도 하나의 공정 모듈(process module)들와, 모터, 펌프 등의 구동 장치 및 이들의 제어하는 제어 장치를 포함한다. 그리고 반도체 제조 설비는 설비 전원을 공급하는 전원 공급 장치를 구비한다.The general semiconductor manufacturing equipment processes various processes, such as a photo process, an ion implantation process, a thin film deposition process, and an etching process. Such semiconductor manufacturing facilities include at least one process module for processing each process, a driving device such as a motor, a pump, and a controlling device for controlling the same. The semiconductor manufacturing facility includes a power supply device for supplying facility power.

도 1을 참조하면, 일반적인 반도체 제조 설비(12)의 전원 공급 시스템(10)은 메인 전원을 받아서 각 모듈들로 전원을 공급, 분배하는 전원 분배 장치(Main Power Distributor)(2)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a power supply system 10 of a general semiconductor manufacturing facility 12 includes a main power distributor 2 that receives main power and supplies and distributes power to each module.

반도체 제조 설비(10)는 다수의 설비 유닛들 예를 들어, 각 단위 공정을 수행하는 적어도 하나의 공정 모듈(4)들과, 칠러/RF 부(6) 및 펌프(8) 등을 포함한다. 그리고 반도체 제조 설비(12)의 제반 동작을 제어하는 제어 장치(미도시됨)가 구비된다. 이 때, 제어 장치는 반도체 제조 설비(12)와 네트워크(또는 내부 버스)를 통해 연결되는 프로그램어블 로직 컨트롤러(Programmable Logic Controller : PLC) 또는 전형적인 컴퓨터 등으로 구비된다.The semiconductor manufacturing facility 10 includes a plurality of facility units, for example, at least one process module 4 for performing each unit process, a chiller / RF unit 6, a pump 8, and the like. And a control apparatus (not shown) which controls the general operation of the semiconductor manufacturing equipment 12 is provided. At this time, the control device is provided with a programmable logic controller (PLC) or a typical computer connected to the semiconductor manufacturing facility 12 via a network (or an internal bus).

그리고, 전원 분배 장치(2)는 외부로부터 메인 전원을 공급받아서 반도체 제 조 설비(12)의 각 설비 유닛들 예를 들어, 공정 모듈(4), 칠러 및 RF 부(6), 펌프(8) 등으로 전원을 분배하여 공급한다. 여기서, 메인 전원은 외부로부터 AC 100 ∼ 240 V 등의 전원을 공급받아 이를 반도체 제조 설비(12) 또는 다른 전원 공급 장치(미도시됨)로 전원을 공급한다.In addition, the power distribution device 2 receives the main power from the outside, and thus, each of the installation units of the semiconductor manufacturing facility 12, for example, the process module 4, the chiller and the RF unit 6, and the pump 8. Supply power by distributing it. Here, the main power source receives power such as AC 100 to 240 V from the outside and supplies the power to the semiconductor manufacturing facility 12 or another power supply device (not shown).

구체적으로 전원 분배 장치(2)는 도 2에 도시된 바와 같이, 메인 전원을 받아들이는 전원 입력부(14)와, 전원 입력부(14)로부터 입력된 전원을 반도체 제조 설비(12)의 설비 유닛(4 ~ 8)들의 전원 용량에 적합하도록 분배하는 전원 분배부(16) 및, 전원 분배부(16)로부터 각 설비 유닛(4 ~ 8)들로 전원을 출력하는 전원 출력부(18)를 포함한다. 전원 분배부(16)는 예를 들어, 배선용 차단기(MCCB), 누전 차단기(ELB) 등의 이용하여 반도체 제조 설비(12)의 각 전원 용량에 맞도록 메인 전원을 분배하여 공급한다.Specifically, as shown in FIG. 2, the power distribution device 2 includes the power input unit 14 that receives the main power, and the power unit 4 of the semiconductor manufacturing facility 12 that receives the power input from the power input unit 14. A power distribution unit 16 for distributing to suit the power capacity of ˜8), and a power output unit 18 for outputting power from the power distribution unit 16 to each of the installation units 4 to 8. The power distribution unit 16 distributes and supplies the main power to each power supply capacity of the semiconductor manufacturing facility 12 using, for example, a circuit breaker MCCB, an earth leakage breaker ELB, and the like.

그러나 이러한 전원 분배 장치(2)는 전원 공급을 제어하거나 모니터링하기 위하여, 상위 제어부 예컨대, 반도체 제조 설비(12)의 제어 장치, 오퍼레이터 제어 장치 등과의 인터페이스가 불가능하다. 즉, 전원 분배부(16)는 반도체 제조 설비(12)의 각 설비 유닛(4 ~ 8)들에 적합한 전원을 분배, 공급할 뿐, 실제로 전원 분배 장치(2)가 정상적으로 동작하는지 확인이 어렵다.However, in order to control or monitor the power supply, such a power distribution device 2 cannot interface with an upper control unit, for example, a control device, an operator control device, or the like of the semiconductor manufacturing facility 12. That is, the power distribution unit 16 only distributes and supplies power suitable for each of the facility units 4 to 8 of the semiconductor manufacturing facility 12, and it is difficult to confirm whether the power distribution device 2 actually operates normally.

전원 분배 장치(2)는 반도체 제조 설비(12)가 상호 원거리에 분리되어 있는 설치 장소에 각각 구비된다. 이는 전원 분배 장치(2)가 고용량의 전원을 처리함으로 설치 공간이 크며, 전자파, 전자장 및 소음이 많이 발생되므로 반도체 제조 설비(12)와, 오퍼레이터 간에 분리가 필요하기 때문이다.The power distribution apparatus 2 is provided in the installation place in which the semiconductor manufacturing facilities 12 are mutually separated from each other. This is because the power distribution device 2 handles a high-capacity power source, so that the installation space is large, and electromagnetic waves, electromagnetic fields, and noise are generated a lot, so that separation is required between the semiconductor manufacturing facility 12 and the operator.

그러므로 전원 분배 장치(2)의 동작 상태를 확인하거나, 이상 발생 상황이 일어나면 반도체 제조 설비(12)의 동작에 이상이 발생될 때까지 일정 시간 동안은 실제로 전원 분배 장치(2)의 동작 상태를 확인이 불가능하다. 또 오퍼레이터가 이러한 상황을 파악하고 확인하기 위해서는 전원 분배 장치(2) 및 반도체 제조 설비(12)의 각 오퍼레이터들은 상호 전화, 워키토키 등을 이용하여 그 상황을 확인하거나, 오퍼레이더가 직접 전원 분배 장치의 전원 분배 및 공급 상태를 확인하는 방법으로 처리한다. 따라서 실제 전원 분배 장치(2)와 반도체 제조 설비(12)들 간의 전원 분배 및 공급에 따른 유지 보수가 힘들다.Therefore, the operation state of the power distribution device 2 is checked, or if an error occurs, the operation state of the power distribution device 2 is actually checked for a predetermined time until an abnormality occurs in the operation of the semiconductor manufacturing equipment 12. This is impossible. In addition, in order for an operator to identify and confirm such a situation, each operator of the power distribution device 2 and the semiconductor manufacturing facility 12 confirms the situation using a mutual telephone, a walkie talkie, or the like, or the operator directly controls the power distribution device. The process of checking the power distribution and supply status of the process. Therefore, maintenance due to power distribution and supply between the actual power distribution device 2 and the semiconductor manufacturing facilities 12 is difficult.

본 발명의 목적은 반도체 제조 설비의 전원 공급을 원격 제어하기 위한 원격 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a remote control system and method for remotely controlling the power supply of a semiconductor manufacturing facility.

본 발명의 다른 목적은 반도체 제조 설비의 전원 공급 장치의 동작 상태를 실시간으로 모니터링하고, 원격 제어 및 유지 보수가 용이한 원격 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a remote control system and method for monitoring the operating state of a power supply of a semiconductor manufacturing facility in real time, and for easy remote control and maintenance.

상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 원격 제어 시스템은 다수의 설비 유닛들을 구비하는 반도체 제조 설비의 전원 공급을 실시간으로 제어하고 전원 공급 상태를 모니터링하기 위하여 네트워크를 통하여 설비 제어부와 전원 분배 제어부를 연결시키는데 그 특징이 있다. 이와 같이 원격 제어 시스템은 전원 분배 장치의 동작을 실시간으로 원격 제어할 수 있으며, 실시간을 동작 상태를 모니터링할 수 있다.In order to achieve the above objects, the remote control system of the present invention connects a facility control unit and a power distribution control unit through a network to control the power supply of a semiconductor manufacturing facility having a plurality of facility units in real time and monitor the power supply status. It has its features. As such, the remote control system may remotely control the operation of the power distribution device in real time, and monitor the operation state in real time.

본 발명의 원격 제어 시스템은, 메인 전원을 받아서 상기 설비 유닛들의 전원을 분배하여 공급하는 전원 분배 장치와; 네트워크와; 상기 전원 분배 장치에 구비되고 상기 네트워크에 연결되어 상기 전원 분배 장치의 동작 상태를 제공하는 전원 분배 제어부 및; 상기 네트워크에 연결되어 상기 전원 분배 제어부로 상기 반도체 제조 설비의 전원을 분배, 공급하도록 제어하고, 상기 전원 분배 장치의 동작 상태를 실시간으로 모니터링하는 설비 제어부를 포함한다.The remote control system of the present invention comprises: a power distribution device which receives main power and distributes and supplies power of the facility units; Network; A power distribution controller provided in the power distribution device and connected to the network to provide an operating state of the power distribution device; And a facility control unit connected to the network to control distribution and supply of power of the semiconductor manufacturing facility to the power distribution control unit, and to monitor an operating state of the power distribution device in real time.

한 실시예에 있어서, 상기 설비 제어부는 상기 설비 유닛들의 동작을 제어한다.In one embodiment, the facility control unit controls the operation of the facility units.

다른 실시예에 있어서, 상기 전원 분배 제어부와 상기 설비 제어부는 디바이스 넷 인터페이스로 연결되어 상호 데이터 통신을 수행한다.In another embodiment, the power distribution control unit and the facility control unit is connected to the device net interface to perform mutual data communication.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 원격 제어 시스템은 상기 설비 제어부를 원격 제어하는 상위 제어부를 더 포함하되; 상기 상위 제어부는 네트워크를 통해 상기 설비 제어부와 연결되며, 상기 설비 제어부는 상기 상위 제어부의 제어를 받아서 상기 전원 분배 장치의 동작을 제어하고, 상기 전원 분배 장치의 동작 상태를 상기 상위 제어부로 제공하여 모니터링하도록 한다.In another embodiment, the remote control system further comprises an upper control unit for remotely controlling the facility control unit; The upper control unit is connected to the facility control unit through a network, and the facility control unit controls the operation of the power distribution unit under the control of the upper control unit, and provides an operating state of the power distribution unit to the upper control unit for monitoring. Do it.

본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. These examples are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the components in the drawings, etc. have been exaggerated to emphasize a more clear description.

이하 첨부된 도 3 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 8.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 전원 공급 장치를 원격 제어하는 제어 시스템의 구성을 도시한 블럭도이다.3 is a block diagram illustrating a configuration of a control system for remotely controlling a power supply device of a semiconductor manufacturing facility according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 원격 제어 시스템(100)은 전원 분배 장치(110)의 전원 분배 제어부(112)와, 반도체 제조 설비(102)의 설비 제어부(122)가 상호 네트워크를 통해 연결된다.Referring to FIG. 3, in the remote control system 100, the power distribution control unit 112 of the power distribution device 110 and the facility control unit 122 of the semiconductor manufacturing facility 102 are connected to each other through a network.

전원 분배 장치(110)는 메인 전원을 받아서 MPD 컨트롤러(112)를 이용하여 반도체 제조 설비(102)의 각 구성 요소들(120 ~ 140)로 적정의 전원을 분배 공급한다. MPD 컨트롤러(112)는 도 4에서 구체적으로 설명한다.The power distribution device 110 receives the main power and distributes and supplies appropriate power to each of the components 120 to 140 of the semiconductor manufacturing facility 102 using the MPD controller 112. The MPD controller 112 will be described in detail with reference to FIG. 4.

반도체 제조 설비(102)는 다수의 설비 유닛들 예를 들어, 식각 공정 설비로서 공정을 처리하는 적어도 하나의 공정 모듈(120)과, 칠러 및 RF 부(130), 펌프(140) 등을 포함하며, 반도체 제조 설비(102)의 제반 동작을 제어하는 설비 제어부(122)를 포함한다. 예를 들어, 설비 제어부(122)는 오퍼레이터 인터페이스가 용이하도록 공정 모듈(120)에 구비된다.The semiconductor manufacturing equipment 102 includes a plurality of equipment units, for example, at least one process module 120 for processing a process as an etching process equipment, a chiller and an RF unit 130, a pump 140, and the like. And a facility controller 122 for controlling all operations of the semiconductor manufacturing facility 102. For example, the facility controller 122 is provided in the process module 120 to facilitate the operator interface.

따라서 본 발명의 원격 제어 시스템(100)은 MPD 제어부(112)와 설비 제어부(122)가 상호 네트워크를 통해 데이터 통신함으로써, 전원 분배 장치(110)와 반도체 제조 설비(102)들 간에 동작 상태(STATUS)를 실시간으로 모니터링하고, 원격 제어(CONTROL) 가능하다.Accordingly, in the remote control system 100 of the present invention, the MPD control unit 112 and the facility control unit 122 communicate data through a mutual network, whereby the operation state between the power distribution device 110 and the semiconductor manufacturing facilities 102 is maintained. ) Can be monitored in real time and can be controlled remotely.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 전원 분배 장치를 원격 제어하는 원격 제어 시스템의 구성을 도시한 블럭도이다. 이 실시예에서 도 3의 실시예와 동일한 구성 요소들에 대해서는 구체적인 설명은 생략한다.4 is a block diagram illustrating a configuration of a remote control system for remotely controlling a power distribution device of a semiconductor manufacturing facility according to another embodiment of the present invention. In this embodiment, detailed description of the same components as in the embodiment of FIG. 3 will be omitted.

도 4를 참조하면, 원격 제어 시스템(200)은 MPD 제어부(112)와 설비 제어부(122)가 통신망(또는 네트워크)를 통하여 상위 제어부(202)와 연결된다. 상위 제어부(202)는 예를 들어, 반도체 제조 설비(122, 210) 및 전원 분배 장치(110)를 원격으로 제어하는 CTC(Cluster Tool Controller) 시스템으로 구비된다. 반도체 제조 설비(122, 210)는 설비 제어부(122)와, 도 3의 설비 유닛들(210)을 포함한다.Referring to FIG. 4, in the remote control system 200, the MPD control unit 112 and the facility control unit 122 are connected to the upper control unit 202 through a communication network (or a network). The upper control unit 202 is provided with, for example, a cluster tool controller (CTC) system that remotely controls the semiconductor manufacturing facilities 122 and 210 and the power distribution device 110. The semiconductor manufacturing facilities 122 and 210 include a facility control unit 122 and the facility units 210 of FIG. 3.

그리고 MPD 제어부(112)와 설비 제어부(122) 및 상위 제어부(202)는 각각 동일한 인터페이스를 구비한다. 예를 들어, 인터페이스는 디바이스 넷(Device NET)으로 구비된다.The MPD control unit 112, the facility control unit 122, and the upper control unit 202 each have the same interface. For example, the interface is provided with a device NET.

디바이스 넷은 제어부와 설비 유닛들(210)의 직접적인 연결을 통해서 통신 기능을 향상시킬 수 있으며, 자기 진단 기능 및 여러 가지 설비들과의 호환성이 유연한 장점이 있다. 또 디바이스 넷은 CAN(Controller Area Network) 통신 프로토콜을 기반으로 한다.The device net can improve the communication function through the direct connection of the control unit and the facility units 210, and has the advantage of flexible self-diagnostic function and compatibility with various facilities. The device net is also based on the Controller Area Network (CAN) communication protocol.

전원 분배 장치(110)는 메인 전원을 받아들이는 전원 입력부(114)와, 전원 입력부(114)로 입력된 메인 전원을 분배하여 각 설비 유닛들(210)의 전원을 분배하는 전원 분배부(116)와, 전원 분배부(116)로부터 분배된 전원을 각 설비 유닛들(210)로 공급하는 전원 출력부(118) 및, 설비 제어부(122)로부터 제어를 받아서 전원 분배 장치(110)의 제반 동작을 제어하고, 전원 분배 장치(110)의 동작 상태를 실시간으로 전달하는 MPD 제어부(112)를 포함한다. MPD 제어부(112)는 전원 분배 장치(110)의 내부 버스를 통하여 전원 입력부(114), 전원 분배부(116) 및 전원 출력부(118)와 각각 연결되어 제어한다. 또는 MPD 제어부(112)는 네트워크를 통하여 반도체 제조 설비의 설비 제어부(122)와, 상위 제어부(202)와 연결되어, 설비 제어부(122) 및/또는 상위 제어부(202)로부터 원격 제어된다. 즉, 전원 분배 장치(110)의 동작 상태에 따른 정보를 설비 제어부(122) 및/또는 상위 제어부(202)로 제공하고, 설비 제어부(122) 및/또는 상위 제어부(202)로부터 반도체 제조 설비의 설비 유닛들(210)의 전원을 공급하도록 제어하는 제어 신호를 받아들인다.The power distribution unit 110 distributes the power of each of the facility units 210 by distributing the main power input unit 114 that receives the main power and the main power input to the power input unit 114. And the power output unit 118 for supplying the power distributed from the power distribution unit 116 to each of the facility units 210, and the operation of the power distribution device 110 under the control of the facility control unit 122. And an MPD controller 112 for controlling and transmitting in real time the operating state of the power distribution device 110. The MPD controller 112 is connected to and controls the power input unit 114, the power distribution unit 116, and the power output unit 118 through an internal bus of the power distribution device 110. Alternatively, the MPD control unit 112 is connected to the facility control unit 122 of the semiconductor manufacturing facility and the upper control unit 202 through a network, and is remotely controlled from the facility control unit 122 and / or the upper control unit 202. That is, information on the operation state of the power distribution device 110 is provided to the facility control unit 122 and / or the upper control unit 202, and the facility control unit 122 and / or the upper control unit 202 may be used to provide information of the semiconductor manufacturing facility. Accepts a control signal that controls to supply power to the facility units 210.

따라서 이 실시예의 원격 제어 시스템(200)은 설비 제어부(122) 및/또는 상위 제어부(202)가 네트워크를 통하여 전원 분배 장치(110)의 동작을 실시간으로 모니터링하고, 반도체 제조 설비의 각 설비 유닛들(210)의 전원을 공급하도록 원격 제어한다. 이 때, 원격 제어는 도 5 내지 도 8에 나타낸 그래픽 유저 인터페이스를 이용한다.Thus, the remote control system 200 of this embodiment allows the facility control unit 122 and / or the upper control unit 202 to monitor the operation of the power distribution unit 110 in real time through the network, and to provide the respective facility units of the semiconductor manufacturing facility. Remote control to supply 210 power. At this time, the remote control uses the graphical user interface shown in Figs.

그리고 도 5 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 전원 분배 장치의 원격 제어를 위한 그래픽 유저 인터페이스(GUI) 화면을 나타내는 도면들이다.5 to 8 are diagrams illustrating a graphical user interface (GUI) screen for remote control of a power distribution apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 이 화면(200)은 전원 분배 장치(110)의 동작 상태를 모니터링하는 것으로, 각 설비 유닛들(202 ~ 208) 및 전원 분배 장치(110)의 동작 상태를 나타낸다. 예를 들어, 원격 제어에 따른 제 1 및 제 2 공정 모듈(202, 204))과, 드라이 펌프(208)의 설정된 입출력 동작 상태를 나타낸다. 또 이 화면(200)은 전원 분배 장치(110)의 안전 사항 등 예외 적용 가능한 EMO(EMergency Operation) 상 태(206)를 나타낸다.Referring to FIG. 5, this screen 200 monitors an operating state of the power distribution apparatus 110, and indicates an operating state of each of the facility units 202 ˜ 208 and the power distribution apparatus 110. For example, the first and second process modules 202 and 204 according to the remote control and the set input / output operating states of the dry pump 208 are shown. In addition, this screen 200 shows an EMO (emergency operation) state 206 to which exceptions such as safety matters of the power distribution device 110 can be applied.

도 6을 참조하면, 이 화면(210)은 설비 제어부(122) 및/또는 상위 제어부(202)에서 전원 분배 장치(110)를 원격 제어하는 것으로, 각 설비 유닛들(210) 예컨대, 제 1 및 제 2 공정 모듈(212, 214)과 전송 모듈(Transfer Module)(216)을 원격 제어하기 위한 것이다.Referring to FIG. 6, this screen 210 is a remote control of the power distribution device 110 from the facility control unit 122 and / or the upper control unit 202. For remote control of the second process modules 212, 214 and the Transfer Module 216.

도 7을 참조하면, 도 6의 화면에 원격 제어를 위해 하나의 설비 모듈(222 또는 224)을 선택하면, 해당 설비 모듈(222 또는 224)의 전원 공급을 원격으로 온/오프 제어하기 위한 보조창(226 또는 228)이 나타낸다.Referring to FIG. 7, when one facility module 222 or 224 is selected for remote control on the screen of FIG. 6, an auxiliary window for remotely controlling on / off power supply of the facility module 222 or 224 ( 226 or 228).

그리고 도 8을 참조하면, 전원 분배 장치(110)에 대한 동작 상태를 나타낸 화면(230)으로, 이 화면(230)을 이용하여 전원 분배 장치의 구성 회로(MPD circuit)(232)를 선택하면, 보조창(234)을 통해 설비 제어부(122) 및/또는 상위 제어부(2020에서 각 설비 유닛들(210)의 전원 공급 상태에 따른 각 구성을 동작을 모니터링할 수 있다.Referring to FIG. 8, a screen 230 showing an operation state of the power distribution device 110 is selected. When the MPD circuit 232 of the power distribution device is selected using the screen 230, Through the auxiliary window 234, the operation of each component according to the power supply state of each facility unit 210 may be monitored in the facility control unit 122 and / or the upper control unit 2020.

이상에서, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 전원 공급을 위한 원격 제어 시스템의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the remote control system for power supply of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention has been shown in accordance with the detailed description and drawings, which are merely described by way of example, and do not depart from the spirit of the present invention. Various changes and modifications are possible within the scope.

상술한 바와 같이, 본 발명의 반도체 제조 설비의 전원 공급을 위한 원격 제어 시스템은 전원 분배 장치와 반도체 제조 설비 및 상위 제어부와 네트워크를 통 해 연결시킴으로써, 전원 분배 장치의 동작을 실시간으로 원격 제어할 수 있으며, 실시간을 동작 상태를 모니터링할 수 있다.As described above, the remote control system for power supply of the semiconductor manufacturing equipment of the present invention can be connected to the power distribution apparatus, the semiconductor manufacturing equipment, and the upper control unit via a network, thereby real-time remote control of the operation of the power distribution apparatus. It can monitor the operating status in real time.

따라서 본 발명의 원격 제어 시스템은 반도체 제조 설비의 실제 전원 공급 상태와 그래픽 유저 인터페이스의 화면을 비교, 확인함으로써, 전원 분배 장치의 자가 진단이 가능하고 실시간으로 유지 보수가 가능하다.Therefore, the remote control system of the present invention compares and confirms the actual power supply state of the semiconductor manufacturing facility with the screen of the graphical user interface, thereby enabling self-diagnosis of the power distribution device and maintenance in real time.

Claims (4)

다수의 설비 유닛들을 구비하는 반도체 제조 설비의 전원 공급을 제어하는 원격 제어 시스템에 있어서:A remote control system for controlling the power supply of a semiconductor manufacturing facility having a plurality of facility units: 메인 전원을 받아서 상기 설비 유닛들의 전원을 분배하여 공급하는 전원 분배 장치와;A power distribution device which receives main power and distributes and supplies power of the facility units; 네트워크와;Network; 상기 전원 분배 장치에 구비되고 상기 네트워크에 연결되어 상기 전원 분배 장치의 동작 상태를 제공하는 전원 분배 제어부 및;A power distribution controller provided in the power distribution device and connected to the network to provide an operating state of the power distribution device; 상기 네트워크에 연결되어 상기 전원 분배 제어부로 상기 반도체 제조 설비의 전원을 분배, 공급하도록 제어하고, 상기 전원 분배 장치의 동작 상태를 실시간으로 모니터링하는 설비 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 제어 시스템.And a facility control unit connected to the network to control distribution and supply of power of the semiconductor manufacturing facility to the power distribution control unit, and to monitor the operating state of the power distribution device in real time. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 설비 제어부는 상기 설비 유닛들의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 원격 제어 시스템.And the facility control unit controls the operation of the facility units. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 전원 분배 제어부와 상기 설비 제어부는 디바이스 넷 인터페이스로 연결되어 상호 데이터 통신을 수행하는 것을 특징으로 하는 원격 제어 시스템.And the power distribution control unit and the facility control unit are connected via a device net interface to perform mutual data communication. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 원격 제어 시스템은The remote control system 상기 설비 제어부를 원격 제어하는 상위 제어부를 더 포함하되;A higher control unit for remotely controlling the facility control unit; 상기 상위 제어부는 네트워크를 통해 상기 설비 제어부와 연결되며, 상기 설비 제어부는 상기 상위 제어부의 제어를 받아서 상기 전원 분배 장치의 동작을 제어하고, 상기 전원 분배 장치의 동작 상태를 상기 상위 제어부로 제공하여 모니터링하도록 하는 것을 특징으로 하는 원격 제어 시스템.The upper control unit is connected to the facility control unit through a network, and the facility control unit controls the operation of the power distribution unit under the control of the upper control unit, and provides an operating state of the power distribution unit to the upper control unit for monitoring. Remote control system, characterized in that.
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