KR20080002314A - 점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법 - Google Patents

점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법 Download PDF

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KR20080002314A
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pressure
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김경록
백승한
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 점착반송기판은 기재기판과; 상기 기재기판에 형성되며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 플렉서블기판과; 상기 기재기판 상에 상기 플렉서블기판을 점착시키며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 점착제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은 기재기판 상에 점착제를 점착시키는 단계와, 상기 점착제 상에 플렉서블기판을 점착시키는 단계와, 상기 플렉서블기판 및 점착제의 모서리영역을 표면적이 저감하는 형상으로 절단하여 점착반송기판을 형성하는 단계와; 상기 점착반송기판을 생산시스템으로 이동시키는 단계와; 상기 점착반송기판 상에 패턴제조를 포함하는 제조공정을 위한 복수의 약액이 제공되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서 본 발명의 점착반송기판은 플렉서블기판 및 점착제의 형상을 변경하여 상기 모서리영역에 약액 등 액체의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 탈착되는 문제점을 해소할 수 있게 된다. 그리고 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 일부분이 탈착되는 것을 방지하여 상기 플렉서블기판이 벤딩되는 것을 방지할 수 있는 점착반송기판을 형성할 수 있고, 상기 점착반송기판을 이용하여 상기 플렉서블 표시장치 제조공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다.

Description

점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법{adhesive substrate and fabricating for the flexible display device method using the same}
도 1a는 종래의 점착반송기판을 도시한 평면도.
도 1b는 도 1a의 A'영역의 확대사시도이다.
도 2a는 도 1b의 가상의 단위길이로 섹터를 나누어 외부(약액)에 노출되는 변영역과 모서리영역의 표면적을 도시한 도면.
도 2b는 종래의 점착반송기판에 약액이 접촉되는 현상을 도시한 평면도.
도 3a는 도 2b의 I-I' 와 II-II'에 따른 단면도.
도 3b는 종래의 탈착불량이 발생한 점착반송기판의 평면도.
도 4a는 본 발명에 따른 점착반송기판을 도시한 평면도.
도 4b는 도 4a의 A영역을 확대한 사시도.
도 4c는 본 발명에 따른 모서리영역의 단위길이에 따른 표면적을 도시한 도면.
도 5a는 본 발명에 따른 점착반송기판에 접촉되는 약액을 도시한 평면도.
도 5b는 도 5a의 III-III'에 따른 단면도.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 모서리영역 형상의 다른 실시예를 도시한 도면.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 따른 점착반송기판 제조 및 상기 점착반송기판을 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법을 개략적으로 도시한 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 점착반송기판 10 : 플렉서블기판
20 : 기재기판 30 : 점착제
100 : 약액
본 발명은 플렉서블 표시장치를 제조할 수 있는 점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법에 관한 것이다.
현대의 정보화사회에서는 영상 산업에 있어 대형화 평면화 그리고 여러가지 기능을 포함하는 디스플레이를 요구하고 있다. 또한 언제든지 자유로이 정보를 기록, 교환하는 것이 요구되어 휴대하기 편리하고 가벼운 디스플레이를 요구하고 있다.
기존의 평판디스플레이에 사용되는 유리기판은 소정의 두께로 형성되며, 유리의 특성상 깨지기 쉬운 단점이 있다. 그래서 이동성 디스플레이나 대형의 디스플레이에 적용되는 경우 추가의 보호창을 요구하게 된다. 또한 유리기판은 휘어지기 어려운 단점이 있다.
따라서 상기 유리기판의 휘어지기 어려운 단점을 극복하는 플렉서블기판은 깨지지 않으며 휘어지는 특성을 갖고 있다. 따라서 상기의 특성을 갖는 기판으로 초경량이면서 휴대하기 편리한 유연한 플렉서블 표시장치에 대한 기술 개발이 진행되고 있다.
상기 플렉서블 표시장치를 구현하기 위해서는 플라스틱 또는 메탈포일(metal foil)과 같은 플렉서블 기판을 사용하게 된다. 그런데 상기 플렉서블 기판은 기존 디스플레이의 하드한 형상의 유리기판과 다른 특성인 유연성 때문에 기존의 공정에 대한 적합성을 만족시키기 어려울 수 있다.
즉, 상기 유연한 특성은 패턴(적층 구조를 갖는 박막트랜지스터, 복수의 라인 등)을 상기 플렉서블기판 상에 형성하는데 상기 패턴을 정렬하는데 어려움이 발생할 수 있기 때문이다.
따라서 상기 플렉서블 기판을 유리기판과 같은 하드한 형상에 점착시켜서 반송 및 공정을 진행할 수 있는 반송기술 등이 제시되고 있다.
도 1a는 종래의 점착반송기판을 도시한 평면도이고, 도 1b는 도 1a의 A'영역의 확대사시도이다.
도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 점착반송기판(501)은 기재기판(520) 상에 점착제(530)를 마련하고 상기 점착제(530)에 플렉서블기판(510)을 점착시켜 형성할 수 있다.
상기 기재기판(520)은 유리기판 등과 같이 하드(hard)한 형상으로 형성되어 있다. 상기 기재기판(520)은 플렉서블기판(510)의 유연특성으로 인해 상기 플렉서 블기판(510)만으로 반송 및 공정을 실시하는데는 어려움이 발생할 수 있다.
그래서 상기 기재기판(520) 상에 상기 플렉서블기판(510)을 점착시켜 플렉서블기판(510)의 형상을 유지시키게 된다. 이에 따라 플렉서블기판(510)의 반송의 용이함과 공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다.
상기 점착제(530)는 상기 기재기판(520)과 플렉서블기판(510) 사이에 형성된다. 상기 점착제(530)는 기재기판(520)과 점착되면서 상기 플렉서블기판(510)을 상기 기재기판(520)에 점착할 수 있는 중간재 역할을 한다. 즉, 상기 점착제(530)는 상기 기재기판(520)의 평판형상을 따라 플렉서블기판(510)의 형상을 유지할 수 있게 해준다.
상기 플렉서블기판(510)은 유연성을 갖는 기판이다. 상기 플렉서블기판(510) 상에는 복수의 패턴 등을 형성할 수 있다. 여기서 상기 플렉서블기판(510)은 추후에 상기 기재기판(520)에서 탈착시켜고 여타의 공정을 통해서 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있다.
이와 같이, 상기 플렉서블기판(510)을 기재기판(520) 상에 점착시켜 점착반송기판(501)을 형성할 수 있다. 상기 점착반송기판(501)을 이용하여 상기 플렉서블기판(510)의 반송 및 세정공정, 패턴형성공정 등을 실시할 수 있게 된다. 여기서 상기 복수의 공정에서는 복수의 약액을 사용하게 된다.
여기서 도 1b를 참조하여 설명하면, 상기 플렉서블기판(510)과 점착제(530)를 가상의 길이 단위길이(L')로 균등하게 나누어 변영역(b')과 모서리영역(a')으로 정의한다. 즉, 사각형상의 플렉서블기판(510)과 점착제(530)는 4개의 변(邊)영 역(b')으로 형성되고, 두변이 합쳐지는 영역을 모서리영역(a')으로 구분된다.
여기서 상기 플렉서블기판(510) 및 상기 점착제(530)는 사각형상으로 소정의 두께를 갖는 형상으로 마련되어 있다. 따라서 상기 플렉서기판(510)과 상기 점착제(530)의 두께면은 외부 즉, 상기 약액 등에 노출되는 영역이 될 수 있다.
도 2a는 도 1b의 가상의 단위길이로 섹터를 나누어 외부(약액)에 노출되는 변영역과 모서리영역의 표면적을 도시한 도면이고, 도 2b는 종래의 점착반송기판에 약액이 접촉되는 현상을 도시한 평면도이다. 여기서 도 1b를 참조하여, 상기 변영역(a')과 상기 모서리영역(b')을 단위길이(L')로 나눈 표면적을 도시한다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 점착반송기판(501)에는 기재기판(520) 상에 플렉서블기판(510)이 중간재인 점착제(530)에 의해서 점착되어 있다.
여기서 상기 점착반송기판(501) 상에 형성된 점착제(530)와 기재기판(520)의 측면을 살펴보면 4개의 변(邊)영역(b')과, 상기 변영역(b')이 합쳐지는 영역을 모서리영역(a')으로 구분된다.
따라서 상기 변영역(b')의 두께면은 외부(약액)에 노출되는 면적이 한쪽의 변에 해당된다. 그리고 모서리영역(a')에서는 어느 두 변이 합쳐지는 영역이기 때문에 두 방향의 두께면이 외부(약액)에 노출될 수 있는 영역이 된다.
즉, 상기 변영역(b')은 상기 플렉서블기판(510) 및 점착제(530)의 두께면을 따라 한쪽에 형성된 단위길이(L')를 갖는 표면적이 약액(600)에 노출되는 표면적에 해당된다. 그리고 상기 모서리영역(a')은 상기 점착제(530)와 상기 플렉서블기판(510)이 노출되는 단위길이(L')가 두 방향이므로 두개의 단위길이(2L')에 해당하 는 표면적을 갖는다.
따라서 모서리영역(a')은 변영역(b')보다 높은 표면적을 갖는다. 다시말해 상기 변영역(b')은 외부(약액)에 노출되는 영역이 한변의 두께면에 해당하는 반면 상기 모서리영역(a')은 상기 외부(약액)에 노출되는 영역이 두변의 두께면에 해당하게 되어 노출 표면적이 높게 형성된다.
도 2b에 도시된 점착반송기판 상에 접촉되는 약액과 같이, 상기 점착반송기판(501)에는 복수의 공정에서 제공되는 약액이 상기 점착반송기판(501)의 측부에 약액(600)이 접촉될 수 있다.
상기 점착반송기판(501)은 상기 기재기판(520) 상에 마련된 플렉서블기판(510)을 세척하는 세정공정, 상기 플렉서블기판(510) 상에 패턴 등을 형성하는 공정 등 다양한 공정을 수행하기 위해서 생산시스템 장비 등으로 상기 플렉서블기판(510)을 반송할 수 있게 한다.
여기서 상기 세정공정, 패턴형성공정 등은 복수의 약액(600)을 사용하게 된다. 예를 들면 상기 플렉서블기판(510) 상에 패턴을 형성하기 위해서는 금속막을 형성하고 금속막의 패턴을 형성하기 위해서 감광성막을 도포하고 노광하여 감광패턴을 형성할 수 있다. 그리고 상기 금속막을 식각하게 된다. 이에 따라 상기 금속막이 소정의 형상을 갖도록 할 수 있다.
이와 같이 패턴을 형성하는 과정에서 감광성막을 제거하는 약액, 금속막을 시각하는 식각액, 감광패턴을 제거하는 약액 등을 사용할 수 있다.
그런데 상기 약액(600)은 액상이기 때문에 액체의 유동성과 액체의 특성인 높은 내부에너지를 갖게 된다.
상기 약액(600)은 상기 액체의 특성 때문에 약액(600)의 표면에 있는 액체분자들이 에너지를 낮추어 안정화(stable)되려는 경향이 있다. 이 때문에 상기 약액(600)은 플렉서블기판(510)의 표면에 접촉하려고 한다.
여기서 상기 기재기판(520)의 상부에는 상기 플렉서블기판(510)의 점착시키기 위해 마련된 중간재인 점착제(530)가 마련되어 있다. 따라서 상기 점착제(530) 또한 상기 약액(600)에 노출될 수 있다.
또한 상기 약액(600)은 유동성을 갖기 액체이기 때문에 상기 플렉서블기판(510)의 측부의 두께면에 접촉을 하여 표면자유에너지(surface free energy, 이하 표면에너지)를 낮추어 안정화되는 경향이 있다.
따라서, 상기 모서리영역(a')의 높은 표면적 때문에 상기 약액(600)은 모서리영역으로 접촉량이 증가할 수 있다. 다시 말해서 상기 약액(600)에 노출되는 모서리영역(a')은 변영역(b')보다 표면적이 크기 때문에 액체인 상기 약액(600)은 표면에너지를 낮추려고 상기 모서리영역(a')에서 접촉량이 증가하게 된다.
도 3a는 도 2b의 I-I' 와 II-II'에 따른 단면도이고, 도 3b는 종래의 탈착불량이 발생한 점착반송기판의 평면도이다. 여기서 도 3a는 변영역(b')과 모서리영역(a')의 표면적에 따른 약액(600)의 접촉량을 도시한 단면도이다.
도 3a의 도시된 I-I'에 따른 단면도와 같이, 상기 변영역(b')에서는 한쪽의 변이 노출됨에 따라 상기 단위길이(L')에 형성되는 표면적으로 상기 플렉서블기판(510)과 점착제(530)가 상기 약액(600)에 노출될 수 있다.
그리고 상기 표면적은 해당면적에 상응하는 표면에너지를 갖는다. 여기서 상기 약액(600)은 액체이기 때문에 액체표면의 분자가 에너지를 낮추기 위해서 외부의 표면에 접촉하려고 한다.
따라서 액체표면의 분자는 상기 표면적에 해당하는 표면에너지만큼 접촉하여 에너지를 낮추려는 경향이 있다. 그래서 열역학적으로 안정화되려고 한다.
한편, 도 3a의 II-II' 에 따른 단면도에 도시된 바와 같이, 모서리영역(a')에서 점착제(530)와 플렉서블기판(510)에 약액의 접촉량을 도시한 단면도이다.
모서리영역(a')에 도시된 바와 같이, 상기 모서리영역(a')은 단위길이(L')로 나누어진 상태에서 상기 약액(600)에 노출되는 면적을 살펴보면, 상기 약액(600)에 노출되는 면적이 두변에 형성된다. 즉, 상기 모서리영역(a')은 두변이 합쳐지는 영역으로 약액(600)에 노출되는 영역이 변영역보다 단위길이(L')가 두배에 해당하게 된다. 따라서, 상기 모서리영역(a')은 단위길이(L')에 두배인 2L'에 해당하는 표면적을 갖는다.
따라서 상기 약액(600)은 상기 a', b'의 표면적에 접촉하려는 경향때문에 상기 모서리영역(a')에서는 변영역(b')보다 복수량의 약액(600)이 접촉할 수 있게 된다.
그래서 복수 량의 상기 약액(600)이 접촉하는 모서리영역(a')에서는 상기 플렉서블기판(510)과 점착제(530)가 점착되는 점착계면까지 약액(600)이 형성될 수 있다. 따라서 상기 약액(600)이 상기 점착제(530)와 상기 플렉서블기판(510)이 점착된 계면영역(P')으로 침투되는 문제점이 발생할 수 있다.
이와 같이, 상기 점착반송기판(501)으로 플렉서블기판(510)에 세정공정, 패턴형성공정을 실시하는 과정에서 사용되는 약액(600)이 플렉서블기판(510) 및 점착제(530)의 모서리영역(a')에 복수의 량이 접촉할 수 있게 된다.
이에 따라, 상기 점착반송기판(501)의 모서리영역(a')에 형성된 점착제(530)와 플렉서블기판(510)의 점착된 계면영역에 상기 약액(600)이 침투되는 문제점이 발생할 수 있게 된다.
따라서 상기 약액(600)의 침투에 의해서 모서리영역에서 상기 점착제(530)에서 상기 플레서블기판(510)이 탈착되는 문제점이 발생할 수 있다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(501)에 형성된 점착제(530)와 플렉서블기판(510)의 모서리영역에서 접촉된 복수의 약액(600)에 의해서 상기 점착제(530)와 플렉서블기판(510)의 점착계면에 약액(600)이 침투되는 문제점이 발생할 수 있다. 이에 따라 상기 점착제(530)에서 상기 플렉서블기판(510)이 탈착될 수 있다.
상기 플렉서블기판(510)이 상기 점착제(530)에서 탈착됨에 따라 상기 플렉서블기판(510)의 유연특성 때문에 모서리영역에서 플렉서블기판(510)이 벤딩되는 문제점이 발생할 수 있게 된다.
이와 같이, 상기 플렉서블기판(510)이 점착제(530)에서 탈착되어 벤딩됨에 따라 상기 점착반송기판(501)의 반송에 문제점이 발생할 수 있고, 상기 벤딩된 플렉서블기판(510) 상태로 복수의 공정을 실시하게 되면 공정장비의 셋업(setup)에 트러블(trouble)이 발생되는 문제점이 발생할 수 있다.
본 발명은 상기 플렉서블기판과 상기 점착제의 모서리영역 형상을 변경하여 상기 점착제와 상기 플렉서블기판의 계면영역에 약액이 침투하는 것을 저감시킴으로써 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 탈착되는 것을 방지할 수 있는 점착반송기판을 제공하는데 그 목적이 있다.
그리고 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 탈착되는 것을 방지하여 상기 플렉서블기판이 벤딩되는 것을 방지하고, 상기 플렉서블 표시장치 제조공정의 안전성을 확보할 수 있는 플렉서블 표시장치 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 점착반송기판은 기재기판과; 상기 기재기판에 형성되며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 플렉서블기판과; 상기 기재기판 상에 상기 플렉서블기판을 점착시키며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 점착제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역에 형성되는 표면적을 저감하는 형상은 표면에너지를 낮춰 약액이 집중되는 것을 최소화시키는 것을 특징으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 제조방법은 기재기판 상에 점착제를 점착시키는 단계와, 상기 점착제 상에 플렉서블기판을 점착시키는 단계와, 상기 플렉서블기판 및 점착제의 모서리영역을 표면적이 저감하는 형상으로 절단하여 점착반송기판을 형성하는 단계와; 상기 점착반송기판을 생산시스템으로 이동시키는 단계와; 상기 점착반송기판 상에 패턴제조를 포함하는 제조공정을 위한 복수의 약액이 제공되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법을 다음의 실시예를 통하여 자세히 설명하도록 하며, 당업자는 본 발명의 교시를 사용하여 다른 많은 실시형태를 구현할 수 있고 본 발명의 점착반송기판 및 이를 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법은 예시적인 목적이며 다음 실시형태로 제한되지 않음을 명시한다.
상기 플렉서블 표시장치는 유연한 형태의 화면을 구비할 수 있으며 궁극적으로는 구부리거나 둘둘 말수 있는 표시장치를 가르킨다. 즉, 다양한 구동모드를 플렉서블기판에 구현하는 것을 말한다.
여기서 상기 플렉서블기판이 표시장치의 기판으로 사용되기 위해서는 기존의 표시장치에서 요구되는 특성을 만족시키는 것이 바람직하다. 따라서, 기존에 사용하는 유리기판의 특성에 상응하는 특성을 만족시키면서 기존 표시장치의 제조공정 에 대한 적합성을 만족시켜 기존 공장의 인프라(infra)를 활용할 수 있는 것이 바람직하다.
도 4a내지 도 4c는 본 발명에 따른 점착반송기판을 도시한 도면이다.
여기서 도 4a는 본 발명에 따른 점착반송기판을 도시한 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 A영역을 확대한 사시도이다. 그리고 도 4c는 본 발명에 따른 모서리영역의 단위길이에 따른 표면적을 도시한 도면이다.
도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1)은 기재기판(20) 상에 유연성을 갖는 플렉서블기판(10)이 점착되어 있다.
상기 플렉서블기판(10)은 플라스틱, 또는 메탈 포일 등의 유연성을 갖는 기판이다. 상기 플렉서블기판(10)은 깨지지 않으며 휘어지는 특성을 갖고 있다. 따라서 상기의 특성을 갖는 기판으로 초경량이면서 휴대하기 편리한 유연한 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있다.
상기 플렉서블기판(10)은 유연성을 갖는 기판으로 추후에 패턴 등이 형성되는 기판이다. 그런데 상기 플렉서블기판(10)은 유연성을 갖기 때문에 상기 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성하는 공정 등을 실시하게 되면 상기 유연특성 때문에 적층구조를 갖는 스위칭소자 등을 형성하는데 정렬 등의 어려움이 발생할 수 있다.
따라서 상기 플렉서블기판(10)의 정렬, 반송 등의 공정을 용이하게 실시하기 위해서 상기 플렉서블기판(10)이 소정의 형상을 유지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
그래서 유리기판, 석영기판 등의 하드한 형상을 갖는 형상유지기판으로 기재 기판(20)을 마련할 수 있다. 상기 기재기판(20)은 플렉서블기판(10)의 형상을 유지할 수 있는 기판이다.
이와 같이, 상기 기재기판(20) 상에 상기 플렉서블기판(10)을 점착시켜 플렉서블기판(10)의 형상을 유지시키게 된다. 이에 따라 플렉서블기판(10)의 반송의 용이함과 공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다.
상기 기재기판(20)과 상기 플렉서블기판(10) 사이에는 점착제(30)를 마련할 수 있다.
상기 점착제(30)는 상기 기재기판(20) 상에 상기 플렉서블기판(10)이 점착되도록 할 수 있는 중간재 역할을 한다. 여기서 상기 점착제(30)는 기재기판(20)과 점착되는 방향에는 강한 점착력이 형성되고 상기 플렉서블기판(10)과 상기 점착제(30) 사이에는 약한 점착력이 형성되도록 형성할 있다.
상기 점착제(30)는 접착제의 일종으로 상기 접착제는 고체화하여 접착시키는데에 비하여 점착제(30) 자신은 유동성을 갖을 수 있다. 여기서 상기 점착제(30)의 자체는 탈착약액 등에 영향을 잘 받지 않는 성질을 갖고 있지만 점착경계면에 탈착시킬 수 있는 탈착약액이 제공되면 피착물과 박리되는 현상이 발생할 수 있다.
여기서 상기 플레서블기판(10) 및 점착제(30)의 각 모서리영역(a)은 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상 등으로 마련할 수 있다. 라운딩된 형상의 모서리를 갖는 플렉서블기판(10)은 추후에 실시되는 패턴공정 등의 제조공정에서 사용되는 약액 등 액체의 침투를 저감할 수 있다.
다시 말해, 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역을 상기 라운딩된 형상, 또는 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하여 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역의 표면적을 줄일 수 있게 된다. 즉, 상기 약액 등의 액체에 노출되는 표면적을 저감할 수 있게 된다.
상기 표면적은 표면자유에너지(Surface free energy, 이하 표면에너지)를 저감시켜 상기 표면적에 접촉할 수 있는 약액 등 액체의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 약액 등의 액체가 상기 플렉서블기판(10)의 두께면에 접촉(또는 침투)하게 됨에 따라 발생되는 플렉서블기판(10)의 벤딩현상 등의 문제점을 저감할 수 있게 된다. 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)의 형상 및 상기 액체의 침투에 관련된 문제점 등은 추후에 도 5a, 도 5b에서 상세히 설명한다.
이와 같이, 점착반송기판(1)은 상기 기재기판(20) 상에 점착시켜 상기 플렉서블기판(10)을 용이하게 반송시킬 수 있게 된다. 또한, 상기 플렉서블기판(10)이 소정의 형상을 유지할 수 있게 됨에 따라 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성하는 제조공정을 용이하게 실시할 수 있게 된다.
여기서 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)의 형상을 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 평행한 모서리영역(a)이 각각 절단된 형상 등으로 형성함으로써 패턴제조공정 등의 약액 등 액체가 제공되는 공정에서 플렉서블기판(10)이 탈착되어 휘는 벤딩불량 등을 방지할 수 있어 공정의 안정성을 확보할 수 있게 된다.
도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)는 설명의 편의를 위해 단위길이(L)로 가로/세로 방향으로 나눈다.
상기 가상의 단위길이(L)로 나누어져 형성된 상기 섹터는 모서리영역의 a섹터, 변영역의 b섹터, 플렉서블기판(10)으로 가려지는 c섹터로 분류한다.
상기 c섹터는 상기 플렉서블기판(10)으로 인해 상기 점착제(30)가 약액(100)에 노출되지 않는 영역이다.
상기 b섹터는 상기 점착제(30)의 변(邊, the side)영역을 표시한다. 여기서 상기 점착제(30)는 소정의 두께로 형성되어 있기 때문에 상기 변영역(b)의 점착제(30)는 한쪽의 측면이 외부로 노출된다. 그래서 상기 변영역의 상기 점착제(30) 및 플렉서블기판(10)의 두께면을 따라 상기 약액 등의 액체가 접촉될 수 있다.
상기 a섹터는 상기 점착제(30) 및 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)을 표시한다. 상기 모서리영역(a)은 두변이 합쳐지는 영역으로 상기 약액에 노출되는 영역이 상기 변영역의 b섹터보다 노출면적이 크게 형성될 수 있다.
도 4c에 도시된 단위길이에 따른 표면적과 같이, 모서리영역(a)에는 플렉서블기판(10)과 점착제(30)가 노출표면적을 저감하는 형상으로 형성되어 있다. 여기서 실시예로 상기 모서리영역(a)은 라운딩된 형상으로 형성되어 있는 것을 설명한다.
상기 모서리영역(a)이 라운딩된 형상으로 형성됨에 따라 상기 모서리영역(a)은 외부(약액)에 노출되는 표면적이 저감할 수 있게 된다. 여기서 상기 표면적과 표면에너지의 관계를 설명하기 위해 추후 상기 점착반송기판에 제공되는 약액을 실 시예로 설명한다.
여기서 라운딩된 모서리영역(a)을 상기 라운딩된 형상을 원형으로 정의하여 설명하면 길이 공식에 따라 2Rπ(여기서 π는 3.14로 정의함)이다. 그리고 여기서 상기 모서리영역(a)는 원 형상의 1/4에 해당함으로 노출길이는 (1/4)*2*"L"*π가 된다. 즉, 상기 노출길이 (L/2)*π에 해당하는 노출표면적이 발생하게 된다.
그래서 상기 모서리영역(a)에는 노출되는 "L" 해당하는 길이에 노출표면적은 평형상태가 되기 위해서 노출길이 "(L/2)*π"의 노출표면적에 해당하는 에너지만큼 접촉할 수 있다. 따라서 노출길이 "(L/2)*π"에 해당하는 노출표면적에 상기 약액이 접촉할 수 있게 된다. 즉, 상기 점착제(30) 및 플레서블기판(10)의 두께면에 접촉할 수 있게 된다.
여기서 종래의 도 2a와 비교하여 설명하면, 상기 종래의 단위길이 "L'"와 "L"을 동일길이로 정의하면 종래의 모서리영역(a)에서는 노출길이 2L을 갖는 노출표면적이 형성되는 반면, 본 발명에서 모서리영역(a)은 노출길이 "(L/2)*π"(즉, 1.57L)를 갖는 노출표면적이 형성될 수 있다.
이와 같이, 상기 모서리영역(a)의 형상을 변경함으로써 노출표면적을 저감시킬 수 있게 된다. 즉, 상기 약액(100)의 접촉 표면적을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 본 발명에 따른 모서리영역(a)의 라운딩된 형상에 따라 상기 모서리영역(a)에서는 노출표면적을 저감할 수 있게 된다.
따라서, 상기 모서리영역(a)에서 저감되는 노출표면적에 의해서 추후에 실시되는 공정 등에서 제공되는 약액 등 액체의 접촉량을 저감시킬 수 있게 된다.
도 5a는 본 발명에 따른 점착반송기판에 접촉되는 약액을 도시한 평면도이고, 도 5b는 도 5a의 III-III'에 따른 단면도이다. 여기서 상기 플렉서블기판(10)의 두께 및 상기 점착제(30)의 두께는 소정의 균일한 두께로 형성된 것으로 설명한다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1)은 상기 플렉서블기판(10)에 상기 패턴형성공정 등을 실시하면서 다양한 약액(100)을 사용하게 된다. 여기서 상기 약액(100)은 상기 플렉서블기판(10) 평면 상에 제공되어 패턴형성공정을 실시하게 된다. 그런데 상기 약액(100)은 액체상태이기 때문에 유동하여 상기 플렉서블기판(10)의 측부면에 접촉할 수 있게 된다.
여기서 상기 라운딩된 모서리영역은 "a"로 정의하고, 상기 변영역은 "b"영역으로 정의한다. 그리고 상기 변영역(b)의 안쪽에 형성되어 상기 플렉서블기판(10)의 면으로 가려져 상기 점착제(30)가 노출되지 않는 영역을 "c"영역으로 정의한다.
여기서 상기 플렉서블기판(10) 및 상기 점착제(30)는 소정의 두께로 형성되어 있다. 따라서 상기 두께면은 외부에 노출되는 영역이 된다.
즉, 상기 모서리영역(a) 및 상기 변영역(b)은 외부에 노출되는 영역이 된다.
그래서 본 발명에서는 상기 a섹터에서 상기 약액(100)에 노출되는 표면적을 저감할 수 있도록 상기 모서리영역의 형상을 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성할 수 있다.
여기서 상기 약액(100)에 노출되는 표면적은 상기 약액(100)이 접촉할 수 있는 표면에너지를 제공하여 상기 표면적이 크게 형성될수록 상기 약액(100)이 접촉 할 수 있는 접촉량이 증가하게 된다.
따라서 상기 약액(100)의 접촉량에 의해서 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)이 탈착되는 등의 문제점이 발생할 수 있기 때문에 상기 노출 표면적을 최소화시키는 것이 바람직하다.
즉, 상기 약액(100)은 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 측부에 접촉하면서 기재기판(20)과 상기 플렉서블기판(10) 사이에 형성된 점착제(30)를 식각시키거나 상기 플렉서블기판(10)과 점착제(30)의 계면에 침투하여 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)을 탈착시키는 문제점을 야기시킬 수도 있다.
특히, 상기 약액(100)은 변영역(b)보다 모서리영역(a)에 많은 양이 접촉할 수 있게 된다. 즉, 상기 약액(100)은 액체이기 때문에 표면에너지에 따라 접촉량이 형성될 수 있다. 상기 표면에너지는 액체의 내부에 있는 액체분자를 표면에 이동시켜 단위 표면적을 형성하는데 필요한 에너지이다.
상기 표면에너지는 액체(즉, 약액(100))의 내부분자(100b)는 이웃하는 분자와 일정한 결합력을 유지하며 그 상태가 균형을 이루어 안정화(stable)된 상태이다. 반면, 상기 액체의 표면은 불균형상태를 이루어 액체내부방향으로 액체분자의 결합력이 형성된다.
따라서 액체표면의 분자(100a)는 내부의 액체분자(100b)에 비하여 큰 에너지 상태를 가지고 있어 가능한 액체표면의 분자(100a)의 수를 최소화하여 안정화상태(stable state)가 되려는 경향이 있다.
다시 말해, 상기 액체표면의 분자(100a)는 외부의 표면과 결합하여 평행상 태(equilibrium state)를 이루어 안정화되려는 경향이 있다. 이는 가장 안전한 전자 궤도 상에 필요한 전자궤도를 완전히 채우는 것이 가장 안전한 상태인 것과 같이 분위기만 형성되면 불안정한 상태를 채우려는 것과 같은 원리이다.
그래서 본 발명에서는 상기 모서리영역(a)의 형상을 라운딩된 형상으로 변경하여 노출표면적을 저감하여 상기 액체표면의 분자(100a)의 접촉량을 저감할 수 있다.
상기 노출표면적은 도 4c에서 설명하였으므로 생략한다.
도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1)에 마련되는 점착제(30)와 플렉서블기판(30)은 측부가 상기 약액(100)에 노출됨에 따라 모서리영역(a)의 형상에 의해서 형성되는 표면적에 따라 상기 약액(100)이 접촉량이 상이하게 형성될 수 있다.
상기 모서리영역(a)이 라운딩된 형상으로 형성됨에 따라 상기 모서리영역(a)은 외부(약액)에 노출되는 표면적이 저감할 수 있게 된다. 여기서 상기 표면적과 표면에너지의 관계를 설명하기 위해 상기 점착반송기판(1)에 제공되는 약액(100)을 실시예로 설명한다.
여기서 상기 액체인 약액(100)의 표면분자는 표면에너지를 낮추어 평형상태(equilibrium state)가 되어 안전화상태(stable state)가 되려고 한다. 즉, 상기 액체표면의 분자는 외부의 표면과 결합하여 평행상태를 이루어 안정화되려고 한다. 여기서 상기 평형상태는 "0"으로 정의한다.
여기서 도 4c에 설명한 바와 같이, 라운딩된 모서리영역(a)은 상기 노출길이 (L/2)*π에 해당하는 길이를 갖는 노출 표면적이 발생하게 된다.
그래서 상기 모서리영역(a)에는 노출되는 단위길이(L) 해당하는 표면적에 약액(100)은 평형상태가 되기 위해서 노출길이 "(L/2)*π"에 해당하는 노출표면적 만큼 상기 약액(100)이 접촉할 수 있다. 따라서 상기 약액(100)은 노출길이 "L/2*π"에 해당하는 노출표면적에 상기 점착제(30) 및 플레서블기판(10)의 두께면에 접촉할 수 있게 된다.
이와 같이, 상기 모서리영역(a)의 형상을 변경함으로써 노출표면적을 저감시킬 수 있게 된다. 즉, 상기 약액(100)의 접촉 표면적을 저감할 수 있게 된다.
따라서 상기 본 발명에 따른 모서리영역(a)의 라운딩된 형상에 따라 상기 모서리영역(a)에 상기 약액(100)이 접촉되는 량을 저감할 수 있게 된다. 도 3a를 참조하여 설명하면, 본 발명의 노출표면적을 저감함으로써 상기 두께면에 접촉되는 약액(100)의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 즉, 상기 점착제(30)와 상기 플렉서블기판(10)의 점착계면에 침투할 수 있는 상기 약액(100)의 량이 저감될 수 있다.
이와 같이, 상기 약액(100)의 접촉표면적을 저감시킴에 따라 상기 모서리영역(a)에 약액(100)이 접촉량을 저감하여 상기 점착제(30)와 상기 플렉서블기판(10)의 점착계면으로 상기 약액(100)이 침투되는 방지할 수 있게 된다.
따라서 상기 약액(100)이 점착계면으로 침투되어 상기 점착제(30)로부터 상기 플렉서블기판(10)이 탈착되는 문제점을 방지할 수 있게 된다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 모서리영역 형상의 다른 실시예를 도시한 도면이다.
상기 점착반송기판(1)은 기재기판(20) 상에 플렉서블기판(10)이 점착제(30)에 의해서 점착되어 있다. 상기 점착반송기판(1)은 상기 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성하는 공정 등 복수의 공정을 거치게 된다.
여기서 상기 공정은 복수의 약액(100)을 사용하게 되고 상기 약액(100)은 액상이기 때문에 상기 플렉서블기판(10)과 점착제(30)의 측부를 따라 접촉할 수 있게 된다.
그런데 액상인 약액(100)은 표면자유에너지에 따라 표면적이 높은 영역에 접촉하려는 경향이 있다. 여기서 액체로 형성된 약액(100)은 표면자유에너지에 따라 상기 약액(100)표면의 분자가 외부의 표면과 결합하여 평행상태(equilibrium state)를 이루어 안정화되려는 경향이 발생할 수 있다.
그래서 표면적이 높게 형성되는 상기 모서리영역(a)에 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 절단된 형상으로 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)를 형성하여 표면적을 최소화할 수 있다.
여기서 본 발명의 대각방향으로 절단된 형상의 길이는 피타고라스 정리에 따라 (2)1/2L에 해당할 수 있다. 상기 (2)1/2는 1.4로 정의한다. 즉, 1.4L의 길이를 갖는 표면적이 형성될 수 있다.
이와 같이, 상기 모서리영역(a)의 표면적을 저감함으로써 상기 약액(100)이 접촉할 수 있는 표면적이 저감될 수 있다. 따라서 상기 점착제(30)와 플렉서블기판(10)의 표면적을 저감함에 따라 상기 모서리영역(a)에 약액(100)의 접촉량이 저 감되어 상기 점착제(30)와 플렉서블기판(10)의 점착계면에 상기 약액(100)이 침투되는 현상을 최소화할 수 있다.
따라서 상기 플렉서블기판(10)이 점착제(30)에서 탈착되는 현상을 방지할 수 있게 된다.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 따른 점착반송기판 제조 및 상기 점착반송기판을 이용한 플렉서블 표시장치 제조방법을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7a에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블기판은 깨지지 않으며 휘어지는 특성을 갖고 있다. 따라서 상기의 특성을 갖는 기판으로 초경량이면서 휴대하기 편리한 유연한 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있다.
상기 플렉서블기판은 유연성을 갖고 있기 때문에 소정의 형상을 지속적으로 유지하는데 어려움이 발생할 수 있다. 또한 상기 플렉서블기판은 유연하기 때문에 반송할 때 플렉서블기판을 반송하는데 어려움이 발생할 수 있다. 게다가 상기 플렉서블기판에는 적층구조를 갖는 상기 스위칭소자 등을 형성할 때 상기 플렉서블기판을 정렬시켜야 하는데 상기 플렉서블기판의 유연특성 때문에 오정렬이 발생할 수 있다.
그래서 소정의 형상을 갖는 상기 기재기판(20)을 마련하고, 상기 기재기판(20) 상에 점착제(30)를 점착시킨다.
상기 기재기판(20)은 상기 플렉서블기판 상에 패턴형성하는 제조공정, 반송 등을 실시하는데 있어 유연성을 갖는 상기 플렉서블기판이 소정의 형상을 유지할 수 있도록 한다. 따라서 상기 플렉서블기판의 정렬, 반송 등의 공정을 용이하게 실 시할 수 있게 된다.
상기 점착제(30)는 접착제의 일종으로 상기 접착제는 고체화하여 접착시키는데에 비하여 점착제(30) 자신은 유동성을 갖고 있다. 여기서 상기 점착제(30)의 자체는 탈착 약액 등에 영향을 잘 받지 않는 성질을 갖고 있지만 점착경계면에 탈착시킬 수 있는 액체 등이 제공되면 박리가 일어날 수 있다.
그리고 상기 점착제(30)의 표면에는 이형지가 마련된다. 이와 같이, 상기 점착제(30)에는 이형지가 코팅되어 있다. 상기 이형코팅이란 점착물질의 이형을 위하여 종이와 같이 기재에 박막의 경화필름을 형성시키는 것이다. 그리고 상기 이형지는 상기 점착제(30)의 한쪽이나 양면에 코팅되어 상기 점착제(30)를 사용하기 전까지 보호할 수 있다. 상기 이형지는 상기 점착제(30)를 보호하고, 그 외에도 공정상 또는 그 사이에 다양한 요구에 부응하여야 하므로, 적정한 이형력, 점착제(30) 장기보존성, 내커링성, 적당한 기계적 강도 등의 특성으로 상기 점착제(30)의 형상을 유지하도록 할 수 있다.
여기서 상기 점착제(30)의 양면에 이형지가 마련된다. 상기 점착제(30)를 롤링하여 상기 점착제(30)를 라미네이팅(laminating)공정을 할 수 있다. 이와 같이, 상기 라미네이팅 공정을 실시하여 상기 점착제(30)가 상기 기재기판(20)과의 점착력을 향상시킬 수 있게 된다. 또한 상기 점착제(30)가 상기 기재기판(20) 상에 박편(thin)이 되도록하고, 고루게 점착력(밀착성(anchorage))을 갖도록 할 수 있다.
도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 점착제(30)의 상부 이형지를 박리하고 박리된 점착제(30)의 상부에 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있는 플렉서블기판(10)을 점착시키게 된다. 여기서 상기 플렉서블기판(10)도 또한 라미네이팅 공정을 실시할 수 있다.
이는 상기 플렉서블기판(10)의 특성인 유연성 때문에 상기 플렉서블기판(10)이 점착제(30) 상에 박편(thin) 형상으로 미형성되는 것을 방지할 수 있게 된다.
그리고 상기 점착제(30)는 양면은 서로 상이한 점착력으로 마련할 수 있다. 이와 같이, 상기 점착력이 상이한 양면 점착제(30)가 마련되는 이유는 상기 기재기판(20)과 점착하는 계면은 제조공정 탈착방지하기 위해 강한 점착력으로 형성되고, 상기 플렉서블기판(100과 점착되는 계면은 상기 플렉서블기판(10) 상에 형성되는 패턴 등의 제조공정이 완료되면 상기 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)을 탈착시켜 플렉서블 표시장치를 형성하여야 하기 때문이다.
도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블기판(10)과 점착제(30)의 모서리영역을 표면적이 저감하도록 커팅할 수 있다. 상기 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판(10)의 대각방향으로 절단된 형상으로 커팅하여 외부에 노출되는 표면적을 저감할 수 있다.
여기서 상기 모서리영역의 형상은 도 5a 및 도 5b, 도 6a 및 6b을 인용하여 설명하면 상기 모서리영역의 커팅된 형상은 모서리영역의 표면적을 저감하여 추후에 실시되는 플렉서블기판(10)의 패턴형성공정에서 사용되는 약액 등 액체의 접촉량을 저감할 수 있게 된다.
따라서 상기 모서리영역(a)에 상기 약액(100)의 접촉량을 저감함에 따라 상기 모리서리영역의 점착제(30)가 상기 약액(100)에 식각되거나, 상기 플렉서블기 판(10)과 상기 점착제(30)가 점착된 계면에 침투하여 상기 플렉서블기판(10)이 상기 점착제(30)에서 탈착되는 문제점을 최소화할 수 있게 된다.
이와 같이, 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역(a)을 커팅하여 본 발명에 따른 점착반송기판(1)을 형성할 수 있게 된다.
도 7d에 도시된 바와 같이, 상기 본 발명에 따른 점착반송기판(1)을 세정공정, 패턴을 형성하는 공정 등의 생산시스템 장비(200)로 이동시킨다.
상기 생산시스템(200)은 상기 플렉서블기판(10)을 세척할 수도 있고, 상기 플렉서블기판(10) 상에 패턴을 형성할 수도 있다.
여기서 상기 플렉서블기판(10)에 패턴 형성공정을 간단히 설명하면, 증착공정 등으로 도전성물질을 플렉서블기판(10)에 증착시켜 상기 도전성막을 형성하고 상기 도전성막의 형상을 형성할 수 있도록 감광성막 등을 형성한다.
상기 감광성막에 노광을 실시하고 상기 감광성막을 경화/미경화로 분류된 상기 감광성막을 제거하는 약액 등을 사용하여 감광패턴을 형성할 수 있게 된다. 그리고 상기 도전성물질을 상기 감광패턴을 보호막으로 사용하여 도전성막의 형상을 형성할 수 있도록 식각액을 사용한다. 그리고 상기 감광패턴을 스트립하는 약액 등을 사용하여 상기 감광패턴을 제거하게 된다.
상기 제조공정을 반복적으로 실시하여 상기 플렉서블기판(10) 상에 스위칭소자 등의 패턴을 형성하여 플렉서블 표시장치를 형성할 수 있게 된다.
그런데 상기 공정에서 복수의 약액 등이 사용된다. 감광패턴 약액, 식각액, 스트립약액 등 복수의 약액 등이 사용되고 게다가 상기 공정은 반복적으로 실시하 게 된다.
따라서 상기 약액은 상기 점착제(30)의 측부에 접촉되어 점착제(30)와 상기 플렉서블기판(10)의 접촉면에 침투할 수 있게 된다. 상기 침투된 약액은 점착제(30)에서 플렉서블기판(10)을 탈착시키는 문제점을 발생시키고 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a) 등이 벤딩되는 문제점을 야기할 수 있다.
그래서 상기 약액 등의 접촉량이 증가하는 모서리영역(a)의 형상을 라운딩된 형상, 대각방향으로 절단한 형상 등으로 형성하여 상기 약액 등에 노출되는 표면적을 저감시킬 수 있게 된다.
도 7e에 도시된 바와 같이, 상기 점착반송기판(1) 상에는 생산시스템의 제조장치에서 제공되는 약액(100)이 상기 점착제(30)의 측부에 접촉될 수 있다.
여기서 상기 점착반송기판(1)의 제공되는 약액(100)은 액체이기 때문에 플렉서블기판(10)면에 따라 유동하여 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 측부에 접촉될 수 있다. 이와 같이, 접촉되는 약액(100)은 점착제(30)의 측부에 접촉되어 상기 플렉서블기판(10)과 상기 점착제(30)의 경계면에 침투될 수 있다.
특히 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 모서리영역(a)에서 상기 약액(100)의 접촉량이 증가할 수 있다. 상기 모서리영역의 약액(100) 접촉량이 증가하는 이유는 상기 도 5a 및 도 5b에서 설명했기 때문에 생략한다.
이와 같이, 모서리영역(a)에서 약액(100)의 접촉량으로 인해 상기 점착제(30)에서 상기 플렉서블기판(10)이 탈착되는 문제점이 발생할 수 있다. 게다가 상기 플렉서블기판(10)의 일부영역 탈착으로 상기 플렉서블기판(10)의 벤딩을 야기 할 수 있고 상기 벤딩에 의해서 공정장비와 점착반송기판(1)은 트러블이 발생할 수 있다.
그러나 상기 점착제(30) 및 상기 플렉서블기판(10)의 모서리영역(a)을 라운딩된 형상, 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상 등으로 표면적이 저감하는 형상으로 형성함에 따라 상기 약액(100)의 접촉량을 저감할 수 있게 된다.
이와 같이, 상기 점착반송기판(1)의 상기 플렉서블기판(10) 및 점착제(30)의 형상을 변경하여 상기 모서리영역(a)에 상기 약액(100)의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 플렉서블기판(10)이 상기 점착제(30)에서 탈착되는 문제점을 해소할 수 있게 된다.
그리고 상기 플렉서블기판(10)이 상기 점착제(30)에서 탈착되는 것을 방지하여 상기 플렉서블기판(10)이 벤딩되는 것을 방지할 수 있는 점착반송기판(1)을 형성할 수 있고, 상기 점착반송기판(1)을 이용한 상기 점착반송방법으로 상기 플렉서블 표시장치 제조공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 점착반송기판은 플렉서블기판 및 점착제의 형상을 변경하여 상기 모서리영역에 약액 등 액체의 접촉량을 저감할 수 있게 된다. 따라서 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 탈착되는 문제점을 해소할 수 있게 된다.
그리고 상기 플렉서블기판이 상기 점착제에서 일부분이 탈착되는 것을 방지하여 상기 플렉서블기판이 벤딩되는 것을 방지할 수 있는 점착반송기판을 형성할 수 있고, 상기 점착반송기판을 이용하여 상기 플렉서블 표시장치 제조공정의 안전성을 확보할 수 있게 된다.

Claims (19)

  1. 기재기판과;
    상기 기재기판에 형성되며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 플렉서블기판과;
    상기 기재기판 상에 상기 플렉서블기판을 점착시키며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 점착제를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 기재기판은 유리기판, 석영기판을 포함하는 하드한 형상의 기판인 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역에 형성되는 표면적을 저감하는 형상은 표면에너지를 낮춰 약액이 집중되는 것을 최소화시키는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 또는 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 또는 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특 징으로 하는 점착반송기판.
  8. 기재기판 상에 점착제를 점착시키는 단계와, 상기 점착제 상에 플렉서블기판을 점착시키는 단계와, 상기 플렉서블기판 및 점착제의 모서리영역을 표면적이 저감하는 형상으로 절단하여 점착반송기판을 형성하는 단계와;
    상기 점착반송기판을 생산시스템으로 이동시키는 단계와;
    상기 점착반송기판 상에 패턴제조를 포함하는 제조공정을 위한 복수의 약액이 제공되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표 시장치 제조방법.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 또는 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  12. 제 8항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 또는 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  13. 제 8항에 있어서,
    상기 모서리영역의 형상에 의해서 상기 플렉서블기판과 상기 점착제가 점착되는 점착계면에 침투되는 상기 약액을 최소화하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시장치 제조방법.
  14. 기재기판과;
    상기 기재기판 상에에 형성되는 플렉서블기판과;
    상기 기재기판 상에 상기 플렉서블기판을 점착시키며, 모서리영역의 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 점착제를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  17. 기재기판과;
    상기 기재기판에 형성되며, 모서리영역에 표면적을 저감하는 형상으로 형성된 플렉서블기판과;
    상기 기재기판 상에 상기 플렉서블기판을 점착시는 점착제를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 라운딩된 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 플렉서블기판 및 상기 점착제의 모서리영역의 형상은 상기 플렉서블기판의 대각방향으로 평행한 모서리영역이 각각 절단된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 점착반송기판.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101452288B1 (ko) * 2012-11-19 2014-10-21 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR20150083152A (ko) * 2014-01-08 2015-07-17 주식회사 루멘스 기판 모서리 식각 장치
KR20180024819A (ko) * 2016-08-31 2018-03-08 엘지디스플레이 주식회사 하부 기판과 상부 기판 사이에 위치하는 접착층을 포함하는 유기 발광 표시 장치
KR20190136182A (ko) * 2018-05-30 2019-12-10 주성엔지니어링(주) 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법
CN113934311A (zh) * 2020-06-29 2022-01-14 瀚宇彩晶股份有限公司 柔性面板及其制作方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101452288B1 (ko) * 2012-11-19 2014-10-21 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR20150083152A (ko) * 2014-01-08 2015-07-17 주식회사 루멘스 기판 모서리 식각 장치
KR20180024819A (ko) * 2016-08-31 2018-03-08 엘지디스플레이 주식회사 하부 기판과 상부 기판 사이에 위치하는 접착층을 포함하는 유기 발광 표시 장치
KR20190136182A (ko) * 2018-05-30 2019-12-10 주성엔지니어링(주) 캐리어 기판 및 이를 이용한 플렉시블 표시장치의 제조방법
CN113934311A (zh) * 2020-06-29 2022-01-14 瀚宇彩晶股份有限公司 柔性面板及其制作方法
US12022724B2 (en) 2020-06-29 2024-06-25 Hannstar Display Corporation Flexible panel and method of fabricating the same

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