KR20070121414A - 액정표시패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20070121414A
KR20070121414A KR1020060056463A KR20060056463A KR20070121414A KR 20070121414 A KR20070121414 A KR 20070121414A KR 1020060056463 A KR1020060056463 A KR 1020060056463A KR 20060056463 A KR20060056463 A KR 20060056463A KR 20070121414 A KR20070121414 A KR 20070121414A
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윤상순
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 블랙매트릭스와 기판 간의 접촉면적을 증대시켜 제조 공정을 안정화시킴과 아울러 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
이 액정표시패널은 최외각에 다수의 홈이 형성되는 홈부를 가지는 제1 기판과; 상기 홈부의 내부에 형성되는 칼라 필터들과; 상기 홈부를 덮고, 상기 칼라 필터들의 최외곽을 둘러싸는 블랙매트릭스를 포함한다.

Description

액정표시패널 및 그 제조 방법{Liquid Crystal Display Panel and Method of Fabricating the same}
도 1는 종래 액정 표시 패널의 일례를 나타내는 단면도.
도 2는 신뢰성 테스트 후 도 1에 도시된 B 영역을 확대하여 나타내는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 액정 표시 패널의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면.
도 4는 홈의 다른 단면 형상을 나타내는 도면.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 칼라필터 어레이 기판의 비표시영역을 나타내는 도면.
도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시된 칼라필터 어레이 기판의 C영역을 확대하여 홈의 평면형상을 나타내는 도면.
도 7a 내지 도 7d는 도 3에 도시된 단면형상의 홈을 형성하는 방법을 개략적으로 보여주는 도면.
도 8a 및 도 8b는 도 4에 도시된 단면형상의 홈을 형성하는 방법을 개략적으로 보여주는 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2, 102 : 제1 기판 4, 104 : 블랙 매트릭스
6, 106 : 칼라필터 7, 107 : 공통 전극
8, 108 : 상부 배향막 38, 138 : 하부 배향막
74, 174 : 실재 13, 113 : 스페이서
16, 116 : 화소전극 H : 홈부
50, 150 : 보호막 44, 144 : 게이트 절연막
A1 : 표시영역 A2 : 비표시영역
201, 211 : 마스크 281, 291 : 포토레지스트 패턴
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 블랙매트릭스와 기판 간의 접촉면적을 증대시켜 제조 공정을 안정화시킴과 아울러 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정표시패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active Matrix) 형태로 배열된 액정표시패 널과, 액정표시패널을 구동하기 위한 구동회로들을 포함한다.
이러한 액정표시패널은 액정을 구동시키는 전계의 방향에 따라 수직전계형과 수평전계형으로 대별된다.
도 1은 종래 수직 전계형 액정 표시 패널의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면 수직 전계형 액정표시패널은 박막트랜지스터 어레이 기판(70)과, 칼라 필터 어레이 기판(60)이 대향하여 실재(Seal Material)(74)에 의해 접합된 구조를 가진다. 접합된 박막트랜지스터 어레이 기판(70)과 칼라 필터 어레이 기판(60)은 스페이서에 의해 일정한 셀갭을 유지하게 되고, 그 셀갭에는 전계에 따라 빛 투과율 조절을 위한 액정(72)이 채워진다.
이러한 수직 전계형 액정표시패널은 구동시 화상이 표시되는 표시영역(A1)과, 표시영역을 제외하는 비표시영역(A2)으로 구분된다.
수직 전계형 액정표시패널의 표시영역(A1)에는 제1 기판(2) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(4), 칼라필터들(6), 공통전극(7), 스페이서(13), 상부 배향막(8)으로 구성되는 칼라필터 어레이 기판(60)과, 제2 기판(32)상에 형성된 박막 트랜지스터(이하"TFT" 라고 한다), 화소전극(16) 및 하부 배향막(38)으로 구성되는 박막 트랜지스터 어레이 기판(70)과, 칼라필터 어레이 기판(60) 및 박막 트랜지스터 어레이 기판(70) 사이의 샐갭에 배열되는 액정(72)이 구비된다.
액정표시 패널의 비표시영역(A2)에는 칼라필터 어레이 기판(60) 및 박막 트랜지스터 어레이 기판(70)을 합착하는 실재(74)가 구비된다.
칼라 필터 어레이 기판(60)에 있어서, 블랙 매트릭스(4)는 제2 기판(32)의 TFT 영역과, 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역과 중첩되게 형성되며 칼라필터들(6)이 형성될 셀영역을 구획하고, 칼라 필터들(6)이 형성되는 표시영역(A1)의 최외각에 형성된다. 블랙 매트릭스(4)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 칼라필터들(6)은 상기 블랙 매트릭스(4)에 의해 분리된 셀영역에 형성된다. 이 칼라필터들(6)은 R,G,B 별로 구분되며, R, G, B 색상을 구현한다. 공통전극(7)은 칼라필터들(6)을 덮도록 형성되어 액정구동시 기준이 되는 공통전압을 공급한다. 이 공통전압은 화소전극(17)에 공급되는 화소전압과 수직 전계를 형성하여 액정(72)을 구동시킨다. 스페이서(13)는 제1 기판(2)과 제2 기판(32) 사이에 셀 갭을 유지하는 역할을 한다.
박막트랜지스터 어레이 기판(70)에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 제2 기판(32)위에 형성되는 게이트전극(21)과, 이 게이트전극(21)과 게이트 절연막(44)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(14,47)과, 반도체층(14,47)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스전극(40) 및 드레인전극(42)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(16)에 공급한다. 화소전극(16)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(50)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(42)과 접촉된다.
액정배향을 위한 상/하부 배향막(8,38)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다.
액정표시패널의 비표시영역(A2)에는 블랙 매트릭스(4) 및 제1 기판(2)의 표시영역(A1)으로부터 연장된 공통전극(7)이 위치하고, 제2 기판(32)의 표시영역(A1)으로부터 연장된 게이트 절연막(44)과 보호막(50)이 위치하며, 칼라 필터 어레이 기판(60)과 박막트랜지스터 어레이 기판(70)을 합착시키기 위한 실재(74)가 위치한다.
실재(74)를 통해 합착된 액정표시패널의 내부는 진공 상태를 유지할 수 있음과 아울러 외부 환경과 차단되어 외부환경으로부터 보호된다.
즉, 액정표시패널은 비표시영역(A2)에서의 실재(74)를 통해 칼라 필터 어레이 기판(60)과 박막트랜지스터 어레이 기판(70)이 합착됨으로써 액정표시패널의 내부는 진공상태를 유지됨과 동시에 외부환경으로부터 보호된다.
한편, 도면에 도시되지 않은 수평전계형 액정표시패널은 제2 기판 상에 화소 전극과 나란한 공통 전극이 형성됨으로써 화소 전극과 공통 전극 사이에 수평전계를 형성한다. 그리고 제1 기판의 칼라필터 상에는 수직 전계형과 같이 공통 전극이 형성되지 않고, 칼라필터를 평탄화시키기 위한 평탄화층이 형성될 수 있다.
종래에는 칼라 필터 어레이 기판과 박막트랜지스터 어레이 기판을 실재로 합착한 후 액정 표시패널의 신뢰성을 테스트하기 위한 과정을 거친다.
신뢰성 테스트는 액정표시패널에 고압을 가하는 PCT(Pressure Cooker Test), 고온 및 고습을 가하는 등의 테스트를 포함하며, 이러한 신뢰성 테스트를 통해 양품의 액정표시패널을 추출한다.
상술한 신뢰성 테스트 과정을 진행하면서 비표시영역(A2)에서 무기물인 유리 로 이루어진 제1 기판(2)과 수지계열의 유기물로 이루어진 블랙매트릭스(4)의 사이가 박리될 수 있다.
도 2는 신뢰성 테스트 후 도 1에 도시된 B 영역을 확대하여 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 제1 기판(2)과 블랙매트릭스(4) 사이는 접착 강도가 약하다. 이에 따라 제1 기판(2)과 블랙 매트릭스(4)는 신뢰성 테스트의 고압, 고온 및 고습 조건에 의해 서로 박리될 수 있다.
또한 제1 기판(2)과 블랙매트릭스(4)는 액정 주입공정에서 발생하는 고압에 의해 서로 박리될 수 있다.
따라서 제1 기판(2) 및 블랙매트릭스(4)의 접착강도를 증대시킬 수 있는 방안이 요구된다.
본 발명의 목적은 블랙매트릭스와 기판 간의 접촉면적을 증대시켜 제조 공정을 안정화시킴과 아울러 수율을 향상시킬 수 있는 액정표시패널 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정표시패널은 최외각에 다수의 홈이 형성되는 홈부를 가지는 제1 기판과; 상기 홈부의 내부에 형성되는 칼라 필터들과; 상기 홈부를 덮고, 상기 칼라 필터들의 최외곽을 둘러싸는 블랙매트릭스를 포함한다.
상기 홈의 단면형상은 사각형 또는 반원형을 포함한다.
상기 홈의 평면형상은 지그재그형을 포함한다.
그리고 본 발명에 따른 액정표시패널의 제조방법은 제1 기판의 최외각에 다수의 홈을 구비하는 홈부를 형성하는 단계와; 상기 홈부를 덮도록 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 홈부 내부에 칼라 필터들을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 홈부를 형성하는 단계는 상기 제1 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와; 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 제1 기판을 식각하는 단계를 포함한다.
상기 포토레지스트 패턴은 개구부와 차단부를 구비한다.
상기 포토레지스트 패턴은 차단부와 엠보싱부를 구비한다.
상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도 3 내지 도 8b를 참조하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 액정 표시 패널의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면 본 발명에 따른 액정표시패널은 박막 트랜지스터 어레이 기판(170), 칼라필터 어레이 기판(160)이 대향하여 실재(Seal Material)(174)에 의해 접합된 구조를 가진다. 접합된 박막 트랜지스터 어레이 기판(170)과 칼라필터 어레이 기판(160)은 스페이서에 의해 일정한 셀갭을 유지하게 되고, 그 셀갭에는 전계에 따라 빛 투과율 조절을 위한 액정(172)이 채워진다.
이러한 액정표시패널은 구동시 화상이 표시되는 표시영역(A1)과, 표시영역을 제외하는 비표시영역(A2)으로 구분된다.
액정표시패널의 표시영역(A1)에는 제1 기판(102) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(104), 칼라필터들(106), 공통전극(107), 스페이서(113), 상부 배향막(108)으로 구성되는 칼라필터 어레이 기판(160)과, 제2 기판(132)상에 형성된 박막 트랜지스터(이하"TFT" 라고 한다), 화소전극(116) 및 하부 배향막(138)으로 구성되는 박막 트랜지스터 어레이 기판(170)과, 칼라필터 어레이 기판(160) 및 칼라필터 어레이 기판(170) 사이의 샐갭에 배열되는 액정(172)이 구비된다.
액정표시 패널의 비표시영역(A2)에는 칼라필터 어레이 기판(160) 및 박막 트랜지스터 어레이 기판(170)을 합착하는 실재(174)가 구비된다.
칼라필터 어레이 기판(160)에 있어서, 블랙 매트릭스(104)는 제2 기판(132)의 TFT 영역과, 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역과 중첩되게 형성되며 칼라필터들(106)이 형성될 셀영역을 구획하고, 칼라 필터들(106)이 형성되는 표시영역(A1)의 최외각에 형성된다. 블랙 매트릭스(104)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 칼라필터들(106)은 상기 블랙 매트릭스(104)에 의해 분리된 셀영역에 형성된다. 이 칼라필터들(106)은 R,G,B 별로 구분되며, R, G, B 색상을 구현한다. 공통전극(107)은 칼라필터 들(106)을 덮도록 형성되어 액정구동시 기준이 되는 공통전압을 공급한다. 이 공통전압은 화소전극(117)에 공급되는 화소전압과 수직 전계를 형성하여 액정(172)을 구동시킨다. 스페이서(113)는 제1 기판(102)과 제2 기판(132) 사이에 셀 갭을 유지하는 역할을 한다.
박막 트랜지스터 어레이 기판(170)에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 제2 기판(132)위에 형성되는 게이트전극(121)과, 이 게이트전극(121)과 게이트 절연막(144)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(114,147)과, 반도체층(114,147)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스전극(140) 및 드레인전극(142)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(116)에 공급한다. 화소전극(116)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(150)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(142)과 접촉된다.
액정배향을 위한 상/하부 배향막(108,138)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다.
액정표시패널의 비표시영역(A2)에는 블랙 매트릭스(104) 및 제1 기판(102)의 표시영역(A1)으로부터 연장된 공통전극(107)이 위치하고, 제2 기판(132)의 표시영역(A1)으로부터 연장된 게이트 절연막(144)과 보호막(150)이 위치하며, 칼라필터 어레이 기판(160)과 박막 트랜지스터 어레이 기판(170)을 합착시키기 위한 실재(174)가 위치한다.
실재(174)를 통해 합착된 액정표시패널의 내부는 진공 상태를 유지할 수 있 음과 아울러 외부 환경과 차단되어 외부환경으로부터 보호된다.
즉, 액정표시패널은 비표시영역(A2)에서의 실재(174)를 통해 박막 트랜지스터 어레이 기판(170)과 칼라필터 어레이 기판(160)이 합착됨으로써 액정표시패널의 내부는 진공상태를 유지됨과 동시에 외부환경으로부터 보호된다.
본 발명에 따른 액정표시패널의 제1 기판(102)의 최외각에는 다수의 홈을 구비하는 홈부(H)가 형성된다. 홈부(H)가 형성되는 제1 기판(102)의 최외각은 칼라 필터들(106)이 형성되지 않는 비표시영역(A2)에 형성된 블랙 매트릭스(104)와 중첩되는 부분이다.
도 5는 칼라필터 어레이 기판(160)의 비표시영역(A2)을 나타내는 도면이다.
도 5를 결부하면, 칼라필터 어레이 기판(160)의 비표시영역(A2)은 칼라 필터들(106)이 형성되지 않는 칼라 필터들(106)의 최외곽부이다. 이러한 비표시영역(A2)에는 상술한 바와 같이 빛샘을 방지하기 위한 블랙매트릭스(104)가 형성됨과 아울러 홈부(H)가 형성된다.
다수의 홈이 형성되는 홈부(H)는 제1 기판(102)과 블랙 매트릭스(104) 사이의 접촉면적을 증대시키기 위해 형성된 것이다. 특히, 이 홈부(H)는 액정표시패널의 신뢰성 테스트시에 박리되기 쉬운 비표시영역(A2), 즉 칼라 필터들(106)의 최외각에 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 제1 기판(102)의 홈부(H)는 블랙 매트릭스(104)의 접촉면적을 증대시킴으로써 제1 기판(102) 및 블랙 매트릭스(104) 사이의 접착강도를 증대시킬 수 있다. 홈부(H)에 포함된 홈의 단면형상은 도 3에 도시된 바와 같이 사각형으로 형성할 수 있다.
한편, 도 3에서는 수직 전계형을 본 발명에 따른 액정표시패널의 일례로 도시하였으나, 본 발명에 따른 홈부(H)는 도면에 도시되지 않았으나 수평전계형 액정표시패널에도 동일하게 적용될 수 있다. 참고로 수평 전계형 액정표시패널은 수직 전계형과 비교하여 제2 기판 상에 화소 전극과 나란한 공통 전극이 형성됨으로써 화소 전극과 공통 전극 사이에 수평전계를 형성한다. 그리고 제1 기판의 칼라필터 상에는 수직 전계형과 같이 공통 전극이 형성되지 않고, 칼라필터를 평탄화시키기 위한 평탄화층이 형성될 수 있다.
도 4는 홈부(H)에 포함된 홈의 다른 단면 형상을 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면 홈부(H)에 포함된 홈의 단면 형상은 도 3에 도시된 바와 같은 사각형 외에 반원형으로 형성될 수 있다. 홈의 단면 형상이 반원형으로 형성되면 사각형의 단면 형상으로 형성되는 것보다 제1 기판(102) 및 블랙매트릭스(104) 사이의 접촉면적을 더 증대시킬 수 있으므로 이 둘(102, 104) 사이의 접촉강도 또한 더 증대시킬 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시된 칼라필터 어레이 기판(160)의 C영역을 확대한 것으로 홈부(H)의 평면형상을 나타내는 도면이다. 도 6a 및 도 6b에서는 홈부(H)의 형상을 나타내기 위해 홈부(H)를 밝게 표시하였다. 그리고 홈부(H)의 평면형상을 나타내기 위해 도면에 도시하진 않았으나 홈부(H)에도 블랙 매트릭스(104)가 도포된다.
홈부(H)에 포함된 홈의 평면형상은 직선형 스트라입(stripe)으로 형성될 수 있으며, 도 6a에 도시된 바와 같이 지그 재그(Zigzag)형 스트라입(stripe)으로 형 성될 수 있다. 홈의 평면형상이 지그 재그형으로 형성될 경우는 직선형으로 형성되는 경우보다 칼라필터 어레이 기판(160) 및 블랙매트릭스(104) 사이의 접촉면적을 더 넓게 형성할 수 있다.
또한 홈의 평면형상은 도 6b에 도시된 바와 같이 원형의 평면형상을 가지는 홈이 중첩된 형상으로 형성될 수 있다. 도 6b에 도시된 홈의 평면형상은 도 4에서 상술한 바와 같이 홈의 단면형상이 반원형일 경우 형성되는 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 액정표시패널을 형성하는 단계는 포토리소그래피 공정을 포함하는 마스크 공정을 통해 제1 기판상에 홈부(H)를 형성할 수 있다.
도 7a 내지 도 7d는 도 3에 도시된 단면형상의 홈을 형성하는 방법을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 7a를 참조하면, 칼라필터 어레이 기판을 형성하는 단계는 먼저 포토레지스트 막이 도포된 제1a 기판(102a) 상부에 X 마스크(201)를 배치하고, X 마스크(201) 이용한 포토리소그래피 공정을 통해 X 포토레지스트 패턴(281)을 형성한다. X 마스크(201)는 광을 차단시키는 차단영역(P1)과 광을 투과시키는 투과영역(P2)을 구비하고 있다. 이러한 X 마스크(201)를 통해 형성되는 X 포토레지스트 패턴(281)은 차단영역(P1)에 대응하는 부분에 형성되는 차단부 및 투과영역(P2)에 대응하는 부분에 형성되는 개구부를 갖게 된다. 개구부는 비표시영역(A2)에 형성되는 것이 바람직하다.
도 7b를 참조하면, 제1a 기판(102a) 상에 형성된 X 포토레지스트 패턴(281) 을 이용하여 상기 제1a 기판(102a)을 식각함으로써 비표시영역(A2)에 다수의 홈을 포함하는 홈부(H)가 형성된 제1 기판(102)이 마련된다. 제1 a기판(102a)으로는 주로 유리기판을 이용하며, 유리 기판을 식각하는 단계는 HF6 등의 식각가스로 건식식각함으로써 이루어진다.
도 7c를 참조하면, 홈부(H)를 구비하는 제1 기판(102) 상에 수지 계열의 블랙 매트릭스 물질을 전면 증착한 후 마스크 공정으로 패터닝함으로써 블랙 매트릭스(104)가 형성된다.
도 7d를 참조하면, 블랙 매트릭스(104)가 형성된 제1 기판(102) 상에 해당 칼라 레지스트를 형성한 후 노광 및 현상하는 포토리소그래피 공정을 반복함으로써 해당 셀 영역에 R, G, B 칼라 필터들(106)이 순차적으로 형성된다.
이 후, 칼라 필터(106)들이 형성된 제1 기판(102) 상에는 공통전극이 형성되거나 평탄화층이 형성될 수 있다. 예를 들어 수직 전계형 액정패널의 경우는 칼라 필터들(106)이 형성된 제1 기판(102) 상에 공통전극이 형성될 수 있고, 수평 전계형 액정패널의 경우는 칼라 필터들(106)이 형성된 제1 기판(102) 상에 평탄화층이 형성될 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 도 4에 도시된 반원형의 단면형상을 가지는 홈을 형성하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 8a를 참조하면, 반원형 단면형상의 홈들을 구비하는 홈부(H)를 형성하기 위해 먼저 포토레지스트 막이 도포된 제1a 기판(102a) 상부에 Y 마스크(211)를 배 치하고, Y 마스크(211)를 이용한 포토리소그래피 공정을 통해 Y 포토레지스트 패턴(281)을 형성한다.
Y 마스크(211)는 광을 차단시키는 차단영역(P1)을 구비하고, 차단영역(P1)을 제외한 나머지 부분(P3)은 차단영역과 회절 노광영역(또는 반투과영역)이 반복되는 구조를 갖게 된다. 이에 따라 차단 영역(P1)에 대응하는 부분의 포토레지스트 막은 그대로 남아 차단부로 패터닝되고, 차단 영역(P1) 이외의 영역(P3)에 대응하는 포토레지스트 막은 P3의 차단부에 대응한 부분에 돌출된 형상 및 P3의 회절 노광부에 대응한 부분에 움푹 패인 형상이 반복되는 구조로 패터닝된다. 이어서 이와 같이 패터닝된 포토레지스트 막을 소성함으로써 표시 영역(A1)에서 차단부를 구비하고 비표시 영역(A2)에서 오목한 엠보싱부를 구비하는 Y 포토레지스트 패턴(281)이 형성된다.
이와 같은 Y 포토레지스트 패턴(281) 및 제1a 기판(102a)을 건식식각함으로써 비표시 영역(A2)에 반원형 단면형상의 홈들을 구비하는 제1 기판(102)을 형성한다. 이 때, 제1a 기판(102a) 및 Y 포토레지스트 패턴(281)이 동시에 건식식각되므로 제1a 기판(102a)은 Y 포토레지스트 패턴(281)의 형상과 동일한 형상으로 식각될 수 있다.
이어서 도 8b에 도시된 바와 같이 비표시 영역(A2)에 반원형의 단면형상의 홈부(H)를 구비하는 제1 기판(102)상에 블랙 매트릭스(104) 및 R, G, B 칼라 필터들(106)을 형성한다. 블랙 매트릭스(104) 및 R, G, B 칼라 필터들(106)을 형성하는 과정은 도 7c 및 도 7d에서 서술한 바와 동일하므로 생략하기로 한다.
또한 본 발명은 도면에 도시하진 않았으나, 볼록한 엠보싱부를 구비하는 Y 포토레지스트 패턴(281)을 형성할 수 있다. 이 볼록한 엠보싱부를 구비하는 Y 포토레지스트 패턴(281)을 이용하여 건식식각하면, 비표시 영역(A2)에 볼록한 엠보싱 형상을 가지는 제1 기판(102)을 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 블랙매트릭스와 칼라필터 어레이 기판이 접촉되는 부분에 홈부를 형성함으로써 블랙매트릭스와 칼라필터 어레이 기판 간의 접촉면적을 증대시킬 수 있다.
따라서 본 발명은 블랙매트릭스와 칼라필터 어레이 기판간의 접촉면적을 증대시킴으로써 블랙매트릭스와 칼라필터 어레이 기판간의 접착강도를 강화할 수 있게 된다.
그리고 본 발명은 블랙매트릭스와 칼라필터 어레이 기판간의 접착강도가 강화됨에 따라 액정표시패널의 신뢰성 테스트 중에 상기 블랙매트릭스와 칼라필터 어레이 기판이 박리되는 현상을 방지할 수 있다. 블랙매트릭스와 칼라필터 어레이 기판이 박리되는 현상을 방지할 수 있는 본 발명은 액정표시패널의 제조 공정을 안정화시킬 수 있고 이와 더불어 액정표시패널의 수율을 향상시킬 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니 라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (8)

  1. 최외각에 다수의 홈이 형성되는 홈부를 가지는 제1 기판과;
    상기 홈부의 내부에 형성되는 칼라 필터들과;
    상기 홈부를 덮고, 상기 칼라 필터들의 최외곽을 둘러싸는 블랙매트릭스를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 홈의 단면형상은 사각형 또는 반원형을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 홈의 평면형상은 지그재그형을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
  4. 제1 기판의 최외각에 다수의 홈을 구비하는 홈부를 형성하는 단계와;
    상기 홈부를 덮도록 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;
    상기 홈부 내부에 칼라 필터들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 홈의 평면형상을 지그재그형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 홈부를 형성하는 단계는
    상기 제1 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 제1 기판을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 포토레지스트 패턴은 개구부와 차단부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 포토레지스트 패턴은 차단부와 엠보싱부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조 방법.
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