KR20070117820A - 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 상에 서로 교차하여 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 나란하게 이격되어 형성된 공통배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선과 연결되며 형성된 박막트랜지스터와; 상기 공통배선과 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 상기 화소영역의 최외각에 형성된 최외각 공통전극과; 상기 화소영역 내에 상기 박막트랜지스터와 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 서로 이격하며 형성된 다수의 화소전극과; 상기 다수의 화소전극과 서로 교대로 나란하게 형성된 다수의 중앙부 공통전극과; 상기 공통배선과 연결되며 상기 데이터 배선 및 게이트 배선을 완전히 덮으며 각각 형성된 제 1 및 제 2 보조공통전극과; 상기 화소영역에 형성된 컬러필터층을 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판을 제공한다.
횡전계형 액정표시장치, 개구율, IPS, 최외각 공통전극
Description
도 1은 일반적인 횡전계형 액정표시장치의 일부를 개략적으로 도시한 단면도.
도 2a, 2b는 일반적인 횡전계형 액정표시장치의 온(on), 오프(off) 상태의 동작을 각각 도시한 단면도.
도 3은 종래의 일반적인 횡전계형 액정표시장치용 기판에 있어, 스위칭 소자를 포함하는 하나의 화소영역을 도시한 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 기판에 있어, 스위칭 소자를 포함하는 하나의 화소영역을 도시한 평면도.
도 5는 도 4를 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 6은 도 4를 절단선 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분에 대한 단면도.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 평면도.
도 8a 내지 도 8f는 도 4를 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 제조 공정별 단면도.
도 9a 내지 9f는 도 4를 절단선 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분에 대한 제조 공정별 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>
101 : 기판 103 : 게이트 배선
106 : 게이트 전극 109 : 공통배선
111 : 최외각 공통전극 114 : 제 1 스토리지 전극
120 : 반도체층 135 : 데이터 배선
138 : 소스 전극 141 : 드레인 전극
143 : 제 2 스토리지 전극 165 : 드레인 콘택홀
167 : 공통배선 콘택홀 170 : 화소전극
173 : 중앙부 공통전극 175 : 제 1 보조공통전극
177 : 제 2 보조공통전극
P : 화소영역 R, G, B : 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴
StgC : 스토리지 커패시터 Tr : 박막트랜지스터
본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)에 관한 것으로 특 히, COT구조의 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다. 상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.
따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의해 상기 액정의 분자배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상정보를 표현할 수 있다.
현재에는 박막트랜지스터와 상기 박막트랜지스터에 연결된 화소전극이 행렬방식으로 배열된 능동행렬 액정표시장치(AM-LCD : Active Matrix LCD 이하, 액정표시장치로 약칭함)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.
상기 액정표시장치는 공통전극이 형성된 컬러필터 기판과 화소전극이 형성된 어레이 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정으로 이루어지는데, 이러한 액정표시장치에서는 공통전극과 화소전극이 상하로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식으로 투과율과 개구율 등의 특성이 우수하다.
그러나, 상하로 걸리는 전기장에 의한 액정구동은 시야각 특성이 우수하지 못한 단점을 가지고 있다.
따라서, 상기의 단점을 극복하기 위해 시야각 특성이 우수한 횡전계형 액정표시장치가 제안되었다.
이하, 도 1을 참조하여 일반적인 횡전계형 액정표시장치에 관하여 상세히 설명한다.
도 1은 일반적인 횡전계형 액정표시장치의 단면을 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 컬러필터 기판인 상부기판(9)과 어레이 기판인 하부기판(10)이 서로 이격되어 대향하고 있으며, 이 상부 및 하부기판(9, 10)사이에는 액정층(11)이 개재되어 있다.
상기 하부기판(10)상에는 공통전극(17)과 화소전극(30)이 동일 평면상에 형성되어 있으며, 이때, 상기 액정층(11)은 상기 공통전극(17)과 화소전극(30)에 의한 수평전계(L)에 의해 작동된다.
도 2a와 2b는 일반적인 횡전계형 액정표시장치의 온(on), 오프(off) 상태의 동작을 각각 도시한 단면도이다.
우선, 전압이 인가된 온(on)상태에서의 액정의 배열상태를 도시한 도 2a를 참조하면, 상기 공통전극(17) 및 화소전극(30)과 대응하는 위치의 액정(11a)의 상변이는 없지만 공통전극(17)과 화소전극(30)사이 구간에 위치한 액정(11b)은 이 공통전극(17)과 화소전극(30)사이에 전압이 인가됨으로써 형성되는 수평전계(L)에 의하여, 상기 수평전계(L)와 같은 방향으로 배열하게 된다. 즉, 상기 횡전계형 액정표시장치는 액정이 수평전계에 의해 이동하므로, 시야각이 넓어지는 특성을 띠게 된다.
그러므로, 상기 횡전계형 액정표시장치를 정면에서 보았을 때, 상/하/좌/우방향으로 약 80∼85o방향에서도 반전현상 없이 가시 할 수 있다.
다음, 도 2b를 참조하면, 상기 액정표시장치에 전압이 인가되지 않은 오프상 태이므로 상기 공통전극과 화소전극 간에 수평전계가 형성되지 않으므로 액정층(11)의 배열 상태가 변하지 않는다.
도 3은 종래의 일반적인 횡횡전계형 액정표시장치용 기판에 있어, 스위칭 소자를 포함하는 하나의 화소영역을 도시한 평면도이다.
도시한 바와 같이, 종래의 일반적인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판(40)은 소정간격 이격되어 평행하게 가로방향 방향으로 구성된 다수의 게이트 배선(43)과, 상기 게이트 배선(43)에 근접하여 상기 게이트 배선(43)과 평행하게 구성된 공통배선(47)과, 상기 두 배선(43, 47)과 교차하며 특히 게이트 배선(12)과는 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(60)이 구성되어 있다.
상기 게이트 배선(43)과 데이터 배선(60)의 교차지점에는 게이트 전극(45)과 반도체층(51)과 소스 드레인 전극(53, 55)으로 구성되는 박막트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. 이때, 상기 소스 전극(53)은 상기 데이터 배선(43)에서 분기하고 있으며, 상기 게이트 전극(45)은 상기 게이트 배선(43)에서 분기하여 형성되고 있다.
또한, 상기 화소영역(P) 내에는 상기 드레인 전극(55)과 드레인 콘택홀(67)을 통해 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되는 다수의 화소전극(70a, 70b)과, 상기 화소전극(70a, 70b)과 평행하게 서로 엇갈리며 구성되고, 상기 공통배선(47)으로부터 분기한 다수의 공통전극(49a, 49b)이 형성되어 있다.
이때, 상기 다수의 공통전극(49a, 49b)을 조금 더 상세히 살펴보면, 상기 데이터 배선(60)과 가장 인접하여 화소영역(P)의 최외각에 형성된 최외각 공통전극(49a)은 그 제 1 폭(t1)이 상기 데이터 배선(60)에서 이격하여 상기 화소영역(P) 중앙에 형성된 중앙부 공통전극(49b)의 제 2 폭(t2)보다 넓게 형성(t1>t2)된 것을 알 수 있다. 이렇게 최외각 공통전극(49a)의 제 1 폭(t1)을 상기 중앙부 공통전극(49b)의 제 2 폭(t2)보다 큰 값을 갖도록 형성하는 이유는 상기 데이터 배선(60)의 이와 인접한 상기 최외각 공통전극(49a)과 이와 이웃한 화소전극(70a)에 의해 발생한 전계에 영향을 주어 VAC(view angle crosstalk)를 발생시키기 때문이며, 이러한 VAC(view angle crosstalk)의 발생을 최소화하기 위해 상기 최외각 공통전극(49a)의 제 1 폭(t1)을 중앙부 공통전극(49b)의 제 2 폭(t2) 대비 넓게 형성하고 있다.
또한, 전술한 구조를 갖는 어레이 기판을 포함하는 횡전계형 액정표시장치에 있어서, 도면에 나타내지 않았지만, 상기 어레이 기판(40)에 대응하여 상부의 컬러필터 기판에는 블랙매트릭스가 형성되고 있는데, 상기 블랙매트릭스는 상기 어레이 기판(40)의 데이터 배선(60)과 게이트 배선(43) 및 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Tr)에 대응하여 형성되며, 특히 상기 데이터 배선(60)에 대응하는 블랙매트릭스는 상기 데이트 배선(60)과 인접한 최외각 공통전극(49a)이 이격한 영역에서의 빛샘을 방지하고자 상기 데이터 배선(60)을 포함하여 상기 최외각 공통전극(49a)의 일부까지 충분히 가릴 수 있는 폭을 가지며 형성되고 있다.
이 경우, 상기 블랙매트릭스는 상기 어레이 기판(40)과 컬러필터 기판을 합착 시 합착 오차를 감안하여 실제 필요한 폭에서 상기 오차범위를 더욱 더한 크기의 폭을 갖도록 형성되고 있는 실정이다.
따라서 이러한 구성을 갖는 횡전계형 액정표시장치는 전계 형성을 위해 어쩔 수 없는 중앙부의 공통전극(49b)을 포함하여 상기 화소영역을 가리는 구성요소가 많아지게 됨으로써 개구율이 저하되는 문제가 발생하고 있으며, 특히 블랙매트릭스는 합착 오차를 감안해야 하는 바, 실제 설계치보다 더욱 큰 폭을 갖도록 형성해야 하는 바 더욱 개구율을 감소시키는 문제가 발생하고 있다.
본 발명은 이러한 종래의 횡전계형 액정표시장치의 문제점을 해결함으로써 개구율 및 휘도를 향상시킬 수 있는 횡전계형 액정표시장를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
특히, 데이터 배선에 의한 최외각 공통전극의 폭을 넓게 형성하지 않고 공통전극과 화소전극간의 전계에의 영향을 최소화함으로써 개구율을 향상시킬 수 있는 횡전계형 액정표시장를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판은 기판 상에 서로 교차하여 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 나란하게 이격되어 형성된 공통배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선과 연결되며 형성된 박막트랜지스터와; 상기 공통배선과 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 상기 화소영역의 최외각에 형성된 최외각 공통전극과; 상기 화소영역 내에 상기 박막트랜지스터와 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 서로 이격하며 형성된 다수의 화소전극과; 상기 다수의 화소전극과 서로 교대로 나란하게 형성된 다수의 중앙부 공통전극과; 상기 공통배선과 연결되며 상기 데이터 배선 및 게이트 배선을 완전히 덮으며 각각 형성된 제 1 및 제 2 보조공통전극과; 상기 화소영역에 형성된 컬러필터층을 포함한다
이때, 상기 공통배선과 최외각 공통전극 및 게이트 배선은 동일한 층에 동일 물질로 형성된다.
또한, 상기 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극은 동일한 층에 동일한 물질로 형성되며, 이때 상기 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극을 형성하는 물질은 투명 도전성 물질인 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1 보조공통전극과 제 2 보조공통전극은 상기 다수의 중앙부 공통전극과 동일한 층에 동일물질로 형성되며, 상기 제 1 보조공통전극은 상기 최외각 공통전극까지 완전히 덮도록 형성된 것이 특징이다.
또한, 상기 게이트 배선과 박막트랜지스터 상부에는 이와 중첩하며 블랙매트릭스가 더욱 형성되며, 이때 상기 블랙매트릭스는 상기 데이터 배선 상부에도 이와 중첩하며 더욱 형성된 것이 특징이다. 또한, 이때, 상기 제 1 보조공통전극은 상기 블랙매트릭스 상부에 형성된 것이 특징이며, 상기 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극은 상기 컬러필터층 상부에 형성되며, 상기 제 1 보조공통전극과 블랙매트릭스 사이와, 상기 다수의 중앙부 공통전극 및 화소전극과 상기 컬러필터층 사이에는 유기절연물질로써 그 표면이 평탄한 제 1 보호층이 더욱 형성된다. 또한, 상기 제 1 보호층은 상기 박막트랜지스터의 일 전극 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀과 상기 공통배선 일부를 노출시키는 공통배선 콘택홀을 가지며, 상기 다수의 중앙부 공통전극과 제 1 및 제 2 보조공통전극은 상기 공통배선 콘택홀을 통해 상기 공통배선과 전기적으로 연결되는 것이 특징이다. 또한, 이때 상기 다수의 화소전극은 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되는 것이 특징이다.
또한, 상기 데이터 배선과 박막트랜지스터 상부로 무기절연물질로써 제 2 보호층이 더욱 형성될 수 있으며, 또한, 상기 데이터 배선과 최외각 공통전극과 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극은 상기 화소영역 중앙부를 기준으로 꺾여 상하로 선대칭 구조를 가지는 것이 특징이다.
또한, 상기 박막트랜지스터의 일 전극은 상기 공통배선과 중첩하여 형성됨으로써 상기 서로 중첩하는 박막트랜지스터의 일전극과 공통배선 스토리지 커패시터를 형성하는 것이 특징이며, 상기 최외각 공통전극과 상기 다수의 중앙부 공통전극의 폭은 동일한 크기를 갖는 것이 특징이다.
본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법은 화소영역이 정의된 기판 상에 일 방향으로 연장하는 게이트 배선과 이와 이격하는 공통배선과 상기 공통배선에서 상기 화소영역의 최외각으로 분기하는 최외각 공통전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선 위로 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선과 연결된 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선 및 박막트랜지스터 상부로 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 블랙매트릭스가 형성된 이외의 영역에 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴을 포함하는 컬러필터층을 형성하는 단계와; 상기 블랙매트릭스와 컬러필터층 상부로 그 표면이 평탄하며 상기 박막트랜지스터의 일전극과 상기 공통배선 일부를 각각 노출시키는 드레인 콘택홀과 공통배선 콘택홀을 갖는 제 1 보호층을 형성하는 단계와; 상기 제 1 보호층 위로 투명도전성 물질로써 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터와 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 서로 이격하는 다수의 화소전극과, 상기 화소전극과 서로 교대로 배치되는 다수의 중앙부 공통전극과, 상기 다수의 중앙부 공통전극과 연결되며 상기 공통배선 콘택홀을 통해 상기 공통배선과 접촉하며 상기 데이터 배선 및 최외각 공통전극과 중첩하는 제 1 보조공통전극과, 상기 제 1 보조공통전극과 연결되고 상기 게이트 배선과 중첩하는 제 2 보조공통전극을 형성하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 박막트랜지스터와 데이터 배선 상부로 전면에 이와 접촉하며 무기절연물질로써 제 2 보호층을 형성하는 단계를 포함한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
본 발명의 가장 큰 특징은 데이터 배선과 게이트 배선 및 어레이 소자와 컬러필터층 및 블랙매트릭스를 하나의 기판에 형성함으로써 상기 블랙매트릭스의 합착 오차에 따른 폭 증가를 방지한 것이며, 나아가, 데이터 배선과 공통전극을 중첩형성함으로써 상기 데이터 배선에 의한 공통전극과 화소전극간의 전계에 영향을 최소화한 것을 특징으로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 기판에 있어, 스위칭 소자 를 포함하는 하나의 화소영역을 도시한 평면도이다.
도시한 바와 같이, 투명한 절연기판(101) 상에 서로 종횡으로 연장되어 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(135)과 게이트 배선(103)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(103)과 이격하며 공통배선(109)이 형성되어 있다.
또한, 상기 게이트 배선(103)과 데이터 배선(135)의 교차지점에는 이들 두 배선(103, 135)과 연결되며 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다.
한편, 상기 화소영역(P) 내부에는 상기 공통배선(109)과 연결되며 상기 데이터 배선(135)과 나란하게 다수의 공통전극(111, 173)이 형성되어 있다. 이때, 상기 다수의 공통전극(111, 173) 중 상기 화소영역(P)의 최외각에 위치한 최외각 공통전극(111)의 폭(t3)은 상기 데이터 배선(135)에서 소정간격 이격하여 상기 화소영역(P)의 중앙부에 형성된 중앙부 공통전극(173)의 폭(t4)과 동일한 폭(t3=t4)을 가지며 상기 공통배선(109)에서 분기하여 형성되고 있다.
또한, 상기 화소영역(P) 중앙부에는 상기 공통배선(109)과 공통배선 콘택홀(167)을 통해 전기적으로 연결된 다수의 중앙부 공통전극(173)이 서로 이격하며 형성되어 있으며, 상기 다수의 중앙부 공통전극(173)과 동일한 층에 동일 물질로써 상기 데이터 배선(135) 및 상기 데이터 배선(135) 양측에 위치한 최외각 공통배선(111)과 중첩하며 제 1 보조공통전극(175)이 형성되어 있으며, 이와 연결되며 상기 게이트 배선(103)과 중첩하며 제 2 보조공통전극(177)이 형성되어 있다.
이때, 상기 제 1 보조공통전극(175)은 상기 데이터 배선(135)과 중첩하며 형성됨으로써 그 자체로 공통전극의 역할을 하며, 상기 데이터 배선(135)에 의한 공 통전극(111, 173)과 화소전극(170)간의 전계에의 영향을 저감시키는 역할을 하는 것이다.
또한 제 2 보조공통전극(177)은 상기 게이트 배선(103)에 의한 상기 화소영역(P) 내의 공통전극(111, 173)과 화소전극(170)간에 발생하는 전계로의 영향을 최소화하기 위한 것이다.
따라서, 이러한 구조를 갖는 제 1, 2 보조공통전극(175, 177)에 의해 상기 최외각 공통전극(111)의 폭(t3)을 중앙부 공통전극(173)의 폭(t4)과 같게 형성하여도 충분히 상기 데이터 배선(135)에 의한 영향을 최소화 할 수 있는 바 표시품질에 있어서는 문제가 발생되지 않는 것이 본 발명의 특징이 되고 있다.
한편, 상기 화소영역(P) 내부에는 상기 다수의 중앙부 공통전극(173)과 서로 엇갈려 교대하며 상기 박막트랜지스터(Tr)와 연결되며 다수의 화소전극(170)이 형성되어 있다.
이때, 화소영역(P) 내에 다중 도메인을 구성하기 위해 더욱 정확히는 상기 화소영역 내에 상하부에서 전계인가 시 액정분자의 움직임 및 배열을 달리 형성되도록 하는 이중 도메인을 구성하도록 하기 위해 상기 데이터 배선(135)과 상기 데이터 배선(135)과 나란하게 형성된 다수의 공통전극(111, 173)과 화소전극(170)은 그 중앙부가 꺾여 상기 화소영역(P) 내에서 상하로 선대칭을 이루도록 형성되고 있는 것이 특징이다. 이는 횡전계방식의 특성상 단일 도메인으로 구성하게 되면 시야각에 따라 색차가 발생하는데 이러한 시야각에 따른 색차를 줄이기 위함이다.
전술한 구조를 갖는 횡전계용 액정표시장치용 어레이 기판은 공통배선(109) 과 전기적으로 연결된 제 1, 2 보조공통전극(175, 177)을 데이터 배선(135) 및 게이트 배선(103)과 중첩하도록 형성함으로써 이들 배선(135, 103)에 의한 화소영역(P) 내측으로의 영향을 최소화하며, 상기 데이터 배선(135)의 양측으로 형성된 최외각 공통전극(111)의 폭(t3)을 상기 중앙부 공통전극(173)의 폭(t4)과 동일한 크기를 갖도록 형성하여도 표시품질에 영향을 끼치지 않도록 함으로써 결과적으로는 개구율의 향상의 효과를 갖게 되는 것이다.
특히, 상기 데이터 배선(135)의 공통전극(111, 170)과 화소전극(170)간의 전계로의 영향을 최소화하기 위해 구성된 제 1 보조공통전극(135)이 상기 화소전극(170)과 동일한 층에 형성됨으로써 공통전극의 역할을 하게 되는 바, 종래의 최외각 공통전극의 폭을 중앙부 공통전극의 폭 대비 더욱 크게 형성한 어레이 기판 대비 더욱 효과적으로 전계 형성이 되는 장점이 있다.
도면에 있어서 상기 최외각 공통전극(111)은 상기 데이터 배선(135)과 이격하여 형성되고 있음을 보이고 있으나, 변형예로써 상기 최외각 공통전극은 상기 데이터 배선과 이격없이 일부 중첩하여 형성할 수도 있으며, 이 경우, 상기 데이터 배선과 중첩하여 형성되는 블랙매트릭스는 생략될 수 있다. 이는 상기 제 1 보조공통전극이 최외각 공통전극의 역할을 하는 구조가 됨으로써 가능하게 되는 것이다. 다음, 도 5와 도6을 참조하여 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 단면 구조에 대해 설명한다.
도 5와 도 6은 도 4를 각각 절단선 V-V와 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분의 단면을 도시한 도면이다. 이때, 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 형성되는 영역을 스위 칭 영역이라 정의한다.
이들 도면을 참조하면, 도시한 바와 같이, 투명한 절연기판(101) 상에 그 자체로 일부분이 게이트 전극(106)을 형성하며 일방향으로 연장하는 게이트 배선(103)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(103)과 소정간격 이격하며 상기 게이트 배선(130)과 동일한 물질로 동일한 층에 나란하게 공통배선(109)이 형성되어 있다.
또한, 상기 공통배선(109)에서 일방향으로 분기하며 화소영역(P)의 최외각에 최외각 공통전극(111)이 형성되어 있다.
다음, 상기 게이트 전극(106)을 포함하는 게이트 배선(103)과 공통배선(109) 및 최외각 공통전극(111) 위로 전면에 무기절연물질로 이루어진 게이트 절연막(117)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(117) 위로 상기 게이트 배선(103)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하며 데이터 배선(135)이 형성되어 있으며, 상기 스위칭 영역(TrA)에는 반도체층(120)이 형성되어 있으며, 상기 반도체층(120) 위로 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(138, 141)이 형성되어 있다. 이때, 상기 드레인 전극(141)은 상기 공통배선(109)이 형성된 부분까지 연장 형성됨으로써 상기 공통배선(109)과 중첩하며 상기 공통배선(109)의 일부(114)와 더불어 스토리지 커패시터(StgC)를 형성하고 있다.
다음, 상기 데이터 배선(135)과 소스 및 드레인 전극(138, 141) 위로 전면에 무기절연물질로써 제 1 보호층(147)이 형성되어 있으며, 상기 제 1 보호층(147) 위로 상기 게이트 배선(103)과 데이터 배선(135) 및 스위칭 영역(TrA)에 대응하여 블 랙 수지(black resin)로 이루어진 블랙매트릭스(150)가 형성되어 있다. 이때, 상기 블랙매트릭스(150)는 종래의 횡전계형 액정표시장치에 있어 컬러필터 기판에 형성되는 블랙매트릭스의 폭 대비 더 작은 폭을 가지며 형성되는 것이 특징이다. 그 이유는 본 발명에 있어서는 어레이 기판 상에 상기 블랙매트릭스가 형성되고 있는 바 이와 대응하여 형성되는 상부기판과의 합착 마진을 고려하지 않아도 되므로 상기 합착마진을 고려하여 형성되는 종래의 블랙매트릭스의 폭에서 합착마진을 고려한 폭만큼의 크기를 뺀 정도의 폭 크기를 갖도록 형성하기 때문이다.
다음, 상기 블랙매트릭스(150) 및 노출된 제 1 보호층(147) 위로 각 화소영역(P)별로 적, 녹, 청색이 순차 반복하는 형태의 컬러필터층(155)이 형성되어 있다. 이때 통상적으로 상하간 이웃하는 화소영역(P)에는 동일한 색의 컬러필터층이 형성되며, 좌우간 이웃하는 화소영역(P)에는 서로 다른 색을 갖는 컬러필터층(155)이 형성된다. 이는 상기 컬러필터층(155)이 상기 데이터 배선(135)의 길이방향으로 길게 연장하는 형태의 스트라이프 타입으로 형성되기 때문이다. 하지만, 반드시 스트라이프 타입으로 상기 컬러필터층(155)을 형성되지 않아도 무방하며 이 경우 상하간 이웃하는 화소영역(P)간에도 서로 다른 색의 컬러필터층이 형성될 수도 있다.
또한, 상기 컬러필터층(155)과, 상기 컬러필터층(155) 사이로 노출된 블랙매트릭스(150) 상부에는 전면에 유기절연물질로써 제 2 보호층(163)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 2 보호층(163)은 그 표면이 단차없이 평탄하게 형성되고 있는 것이 특징이다.
또한, 상기 제 2 보호층(163)에는 상기 드레인 전극(141)을 노출시키는 드레 인 콘택홀(165)과 상기 공통배선(109)을 노출시키는 공통배선 콘택홀(167)이 형성되어 있다.
다음, 상기 드레인 및 공통배선 콘택홀(165, 167)을 가지며 그 표면이 평탄하게 형성된 제 2 보호층(163) 위로는 투명도전성 물질로써 상기 드레인 콘택홀(165)을 통해 드레인 전극(141)과 접촉하며 상기 화소영역(P) 내부로 상기 데이터 배선(135)과 나란하게 서로 이격하는 다수의 화소전극(170)이 형성되어 있으며, 이들 다수의 화소전극(170)과 나란하게 서로 엇갈려 배치되며 상기 공통배선 콘택홀(167)을 통해 상기 공통배선(109)과 접촉하며 다수의 중앙부 공통전극(173)이 형성되어 있다.
또한, 상기 중앙부 공통전극(173)과 동일한 물질로 동일한 층에 상기 데이터 배선(135) 및 상기 데이터 배선(135) 양측에 형성된 최외각 공통전극(111)과 중첩하며 제 1 보조공통전극(175)이 형성되어 있으며, 상기 제 1 보조공통전극(175)과 직접 연결되며 동일한 물질로 동일한 층에 상기 게이트 배선(103)과 중첩하며 제 2 보조공통전극(177)이 형성되어 있다. 이때, 서로 연결된 상기 제 1, 2 보조공통전극(175, 177)은 상기 다수의 중앙부 공통전극(173)과도 연결되도록 형성되고 있다.
다음, 전술한 구조를 갖는 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이기판의 제조 방법에 대해 도면을 참고하여 설명한다.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 하나의 화소영역에 대한 제조 단계별 평면도이며, 도 8a 내지 도 8f는 도 4를 절단선 V-V를 따라 절단한 부분에 대한 제조 공정별 단면도이며, 도 9a 내지 9f는 도 4 를 절단선 Ⅵ-Ⅵ를 따라 절단한 부분에 대한 제조 공정별 단면도이다.
우선, 도 7a, 8a 및 9a에 도시한 바와 같이, 투명한 절연기판(101) 상에 제 1 금속물질을 전면에 증착하여 제 1 금속층을 형성하고, 마스크 공정 즉 상기 제 1 금속층 위로 포토레지스트를 도포하고, 상기 포토레지스트에 빛의 투과영역과 차단영역을 갖는 마스크를 이용하여 노광하고, 상기 노광된 포토레지스트를 현상함으로써 특정 형태의 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토레지스트 패턴 외부로 노출된 상기 제 1 금속층을 식각하는 일련의 공정을 진행함으로써 일방향으로 연장하며 스위칭 영역(TrA)에 게이트 전극(106)을 갖는 게이트 배선(103)과, 상기 게이트 배선(103)에서 소정간격 이격하여 나란하게 연장하는 공통배선(109)과, 상기 공통배선(109)에서 분기한 형태로 상기 화소영역(P)의 최외각부에 최외각 공통전극(111)을 형성한다.
이때, 상기 최외각 공통전극(111)은 각 화소영역(P) 내에서 그 중앙부가 꺾여 상하로 선대칭을 이루도록 형성한다. 이는 화소영역(P)내에서 상하로 서로 다른 도메인이 형성되도록 하기 위함이다.
다음, 도 7b, 8b 및 9b에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 배선(103)과 공통배선(109) 및 최외각 공통전극(111) 위로 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)을 증착함으로써 전면에 게이트 절연막(117)을 형성한다.
이후 상기 게이트 절연막(117) 위로 순수 비정질 실리콘과 불순물 비정질 실리콘 및 제 2 금속물질을 전면에 순차적으로 증착하고 이를 마스크 공정을 실시하 여 패터닝함으로써 상기 게이트 배선(103)과 교차하여 상기 화소영역(P)을 정의하며 상기 화소영역(P) 내의 중앙부에서 꺾여 상하로 선대칭 구조를 갖는 데이터 배선(135)을 형성하고, 동시에 상기 스위칭 영역(TrA)에는 상기 게이트 전극에 대응하여 순수 비정질 실리콘의 액티브층(120a)과 상기 액티브층(120a) 위로 서로 이격하는 형태로써 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층(120b)과, 상기 각각의 오믹콘택층(120b) 상부로 서로 이격하는 형태로 소스 및 드레인 전극(138, 141)을 형성한다.
이때, 상기 소스 전극(138)은 상기 데이터 배선(135)에서 분기한 형태가 되도록하며, 상기 드레인 전극(141)은 상기 공통배선(109)과 상기 화소영역(P) 내에서 충분히 중첩하도록 형성함으로써 상기 공통배선(109)의 일부분을 제 1 스토리지 전극(114), 이와 중첩하는 드레인 전극(141) 일부분을 제 2 스토리지 전극(143) 그리고 이들 두 전극(114, 143) 사이에 개재된 상기 게이트 절연막(117)을 유전체층으로 하여 스토리지 커패시터(StgC)를 형성하도록 한다.
한편, 상기 액티브층(120a)과 오믹콘택층(120b)을 각각 형성하는 순수 비정질 실리콘과 불순물 비정질 실리콘은 본 발명의 제조 공정 특성상 상기 소스 및 드레인 전극(138, 141) 하부를 포함하여 상기 데이터 배선(135)과 상기 제 2 스토리지 전극(143) 하부에도 상기 데이터 배선(135)과 제 2 스토리지 전극(143)과 동일한 형태로써 존재하게 된다.
이렇게 제 2 금속층과 그 하부의 불순물 비정질 실리콘층과 순수 비정질 실리콘층을 동시에 패터닝하는 마스크 공정에는 서로 다른 두께의 포토레지스트 패턴 을 형성하기 위해 투과영역과 차단영역 이외에 반투과영역을 더욱 갖는 마스크를 이용하여 상기 반투과영역을 슬릿구조로 형성함으로써 회절노광을 실시하거나 또는 상기 반투과영역을 다중의 코팅막을 형성하여 투과되는 빛량을 조절하는 하프톤 노광을 실시하게 된다. 이때 두꺼운 두께의 포토레지스트 패턴은 상기 데이터 배선(135)과 소스 및 드레인 전극(138, 141)이 형성될 영역에 형성되도록 그리고 얇은 포토레지스트 패턴은 상기 소스 및 드레인 전극(138, 141)의 이격영역에 대응하여 형성시킨 후, 1차 식각하여 상기 데이터 배선(135)과 연결된 상태의 소스 및 드레인 전극(미도시)을 형성하고, 상기 얇은 포토레지스트 패턴을 애싱(ashing)하여 제거한 뒤, 2차 식각을 진행하여 서로 이격하는 형태의 소스 및 드레인 전극(138, 141)과 그 하부로 상기 액티브층(120a)을 노출시키는 (120b)오믹콘택층을 형성하게 된다.
다음, 도 7c, 8c 및 9c에 도시한 바와 같이, 상기 데이터 배선(135)과 소스 및 드레인 전극(138, 141) 상부로 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)의 무기절연물질을 증착함으로써 제 1 보호층(147)을 형성한다. 이때 상기 제 1 보호층(147)은 생략할 수도 있다.
다음, 상기 제 1 보호층(147) 위로 블랙 수지(black resin)를 전면에 도포하고 이를 패터닝함으로써 상기 게이트 배선(103)과 데이터 배선(135) 및 스위칭 영역(TrA)에 대응하여 블랙매트릭스(150)를 형성한다. 이때 상기 블랙매트릭스(150)는 상기 게이트 배선(103)과 데이터 배선(135)의 폭보다 큰 폭을 갖도록 형성하며 더욱이 상기 데이터 배선(135) 양측에 형성된 상기 최외각 공통배선(111)과의 이격영역을 가리며 형성되도록 한다. 이 경우 합착마진을 고려하지 않아도 되므로 종래의 동일한 크기의 화소영역(P)을 갖는 횡전계형 액정표시장치에 있어 상기 액정표시장치용 컬러필터 기판에 형성되는 블랙매트릭스 폭 대비 얇을 폭을 가지며 형성할 수 있게 된다.
한편, 변형예의 경우, 도면으로 나타내지는 않았지만, 상기 최외각 공통전극은 상기 데이터 배선과 이격영역 없이 일부가 중첩하도록 형성될 수 있으며, 이 경우 상기 데이터 배선 상부에 형성되는 블랙매트릭스는 생략될 수도 있다.
다음, 도 7d, 8d 및 9d에 도시한 바와 같이, 상기 블랙매트릭스(150) 및 노출된 제 1 보호층(147) 위로 적색 레지스트를 도포하고, 마스크(미도시)를 이용하여 노광하고, 상기 적색 레지스트를 현상함으로써 일정간격으로 반복되는 적색 컬러필터 패턴(155a)을 형성하고, 상기 적색 컬러필터 패턴(155a)을 형성한 방법대로 녹색 및 청색 컬러필터 패턴(155b, 155c)을 형성함으로써 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴(155a, 155b, 155c)의 컬러필터층(155)을 형성한다. 이때, 상기 각각의 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴(155a, 155b, 155c)은 상기 게이트 배선(103)과 데이터 배선(135)이 교차하여 정의되는 화소영역(P)별로 순차적으로 반복되며 형성되며, 상기 드레인 전극(141) 더욱 정확히는 제 2 스토리지 전극(143) 일부에 대응해서는 각색의 레지스트가 현상되어 상기 제 2 스토리지 전극(143) 일부에 대응되는 제 1 보호층(또는 상기 제 2 스토리지 전극(143))이 노출되도록 하는 드레인 콘택홀(165)과 상기 제 2 스토리지 전극(143)과 중첩하지 않는 영역의 공통배선(109)에 대응하여 상기 제 1 보호층(147)(또는 게이트 절연막(117))이 노출되도록 하는 공통배선 콘택홀(167)을 형성하는 것이 특징이다.
다음, 도 7e, 8e 및 9e에 도시한 바와 같이, 상기 적, 녹, 청색 컬러패턴(155a, 155b, 155c)을 포함하는 컬러필터층(155)과 블랙매트릭스(150) 위로 유기절연물질 예를들면 벤조사이클로부텐(BCB) 또는 포토아크릴(photo acryl)을 도포하여 제 2 보호층(163)을 형성하고, 이를 패터닝함으로써 상기 드레인 콘택홀(165), 공통배선 콘택홀(167)에 대응해서는 각각 제 1 보호층(147)(또는 제 2 스토리지 전극(143)과 게이트 절연막(117))이 노출되도록 한다.
이후, 상기 제 2 보호층(163) 외부로 노출된 상기 드레인 콘택홀(165)과 공통배선 콘택홀(167) 내부의 무기절연물질인 제 1 보호층(147)과 게이트 절연막(117)을 제거함으로써 각각 상기 드레인 전극(141)과 공통배선(109)이 노출되도록 한다.
다음, 도 7f, 8f 및 9f에 도시한 바와 같이, 상기 제 2 보호층(163) 위로 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 증착하고 이를 패터닝함으로써 상기 드레인 콘택홀(165)을 통해 상기 드레인 전극(141) 더욱 정확히는 제 2 스토리지 전극(143)과 접촉하며 상기 화소영역(P) 내에서 상기 데이터 배선(135)과 나란하게 서로 이격하는 형태의 다수의 화소전극(170)과, 상기 화소전극(170)과 나란하게 서로 엇갈려 배치되는 다수의 중앙부 공통전극(173)과, 상기 다수의 중앙부 공통전극(173)과 직접 연결되며 상기 데이터 배선(135)과 상기 데이터 배선(135) 양측에 형성된 최외각 공통전극(111)과 중첩하 며 상기 공통배선 콘택홀(167)을 통해 상기 공통배선(109)과 접촉하는 제 1 보조공통전극(175)과, 상기 제 1 보조공통전극(175)과 직접 연결되며 상기 게이트 배선(103)과 중첩하는 제 2 보조공통전극(177)을 형성함으로써 본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판을 완성한다.
본 발명에 따른 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판은 데이터 배선 및 게이트 배선과 중첩하는 형태의 제 1, 2 보조공통전극을 형성하여 상기 데이터 배선과 게이트 배선의 화소영역 내부에서 공통전극과 화소전극 간에 형성되는 전계에의 영향을 최소화함으로써 특히 최외각 공통배선의 폭을 얇게 형성하여도 표시품질에 영향을 주지 않도록 함에 특징이 있다.
따라서, 최외각 공통전극의 폭을 줄임에 의한 개구율 향상의 효과가 있다.
또한, 상기 게이트 배선과 데이터 배선이 형성된 기판에 블랙매트릭스와 컬러필터층을 더욱 형성함으로써 합착마진을 고려하지 않아도 되는 바 상기 합착마진을 고려한 블랙매트릭스의 폭을 크게 형성할 필요가 없으므로 더욱 개구율을 향상시키는 효과가 있으며, 제 1 보조공통전극의 형성으로 최외각 공통전극과 데이터 배선을 일부 중첩하여 형성하여도 무방하며 이 경우 상기 데이터 배선에 대응하는 부분에는 블랙매트릭스를 형성하지 않아도 되므로 더욱더 개구율을 향상시키게 되는 효과가 있다.
또한, 데이터 배선과 이와 나란하게 형성되는 공통전극과 화소전극이 화소영 역 내에서 상하로 꺾여 선대칭 구조를 이루도록 형성되어 이중 도메인을 형성함으로써 시야각 변화에 따른 색차를 억제하는 효과가 있다.
또한, 중앙부 공통전극과 화소전극을 모두 투명 도전성 물질로서 형성함으로써 휘도를 증가시키는 효과를 가지며 더욱이 이들 전극을 동일한 층에 형성함으로써 이들 두 전극간 전계형성 효율을 극대화하는 효과가 있다.
Claims (20)
- 기판 상에 서로 교차하여 화소영역을 정의하며 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과;상기 게이트 배선과 나란하게 이격되어 형성된 공통배선과;상기 게이트 배선과 데이터 배선과 연결되며 형성된 박막트랜지스터와;상기 공통배선과 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 상기 화소영역의 최외각에 형성된 최외각 공통전극과;상기 화소영역 내에 상기 박막트랜지스터와 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 서로 이격하며 형성된 다수의 화소전극과;상기 다수의 화소전극과 서로 교대로 나란하게 형성된 다수의 중앙부 공통전극과;상기 공통배선과 연결되며 상기 데이터 배선 및 게이트 배선을 완전히 덮으며 각각 형성된 제 1 및 제 2 보조공통전극과;상기 화소영역에 형성된 컬러필터층을 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 공통배선과 최외각 공통전극 및 게이트 배선은 동일한 층에 동일 물질 로 형성된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극은 동일한 층에 동일한 물질로 형성된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 3 항에 있어서,상기 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극을 형성하는 물질은 투명 도전성 물질인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 보조공통전극과 제 2 보조공통전극은 상기 다수의 중앙부 공통전극과 동일한 층에 동일물질로 형성된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 보조공통전극은 상기 최외각 공통전극까지 완전히 덮도록 형성된 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 게이트 배선과 박막트랜지스터 상부에는 이와 중첩하며 블랙매트릭스가 더욱 형성된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 7 항에 있어서,상기 블랙매트릭스는 상기 데이터 배선 상부에도 이와 중첩하며 더욱 형성된 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 8 항에 있어서,상기 제 1 보조공통전극은 상기 블랙매트릭스 상부에 형성된 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 9 항에 있어서,상기 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극은 상기 컬러필터층 상부에 형성된 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 1 보조공통전극과 블랙매트릭스 사이와, 상기 다수의 중앙부 공통전극 및 화소전극과 상기 컬러필터층 사이에는 유기절연물질로써 그 표면이 평탄한 제 1 보호층이 더욱 형성된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 11 항에 있어서,상기 제 1 보호층은 상기 박막트랜지스터의 일 전극 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀과 상기 공통배선 일부를 노출시키는 공통배선 콘택홀을 갖는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 12 항에 있어서,상기 다수의 중앙부 공통전극과 제 1 및 제 2 보조공통전극은 상기 공통배선 콘택홀을 통해 상기 공통배선과 전기적으로 연결되는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 13 항에 있어서,상기 다수의 화소전극은 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 데이터 배선과 박막트랜지스터 상부로 무기절연물질로써 제 2 보호층이 더욱 형성된 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 데이터 배선과 최외각 공통전극과 다수의 중앙부 공통전극과 화소전극은 상기 화소영역 중앙부를 기준으로 꺾여 상하로 선대칭 구조를 가지는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 박막트랜지스터의 일 전극은 상기 공통배선과 중첩하여 형성됨으로써 상기 서로 중첩하는 박막트랜지스터의 일전극과 공통배선 스토리지 커패시터를 형 성하는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 최외각 공통전극과 상기 다수의 중앙부 공통전극의 폭은 동일한 크기를 갖는 것이 특징인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 화소영역이 정의된 기판 상에 일 방향으로 연장하는 게이트 배선과 이와 이격하는 공통배선과 상기 공통배선에서 상기 화소영역의 최외각으로 분기하는 최외각 공통전극을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선 위로 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 데이터 배선과 연결된 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;상기 게이트 배선 및 박막트랜지스터 상부로 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;상기 블랙매트릭스가 형성된 이외의 영역에 적, 녹, 청색 컬러필터 패턴을 포함하는 컬러필터층을 형성하는 단계와;상기 블랙매트릭스와 컬러필터층 상부로 그 표면이 평탄하며 상기 박막트랜지스터의 일전극과 상기 공통배선 일부를 각각 노출시키는 드레인 콘택홀과 공통배선 콘택홀을 갖는 제 1 보호층을 형성하는 단계와;상기 제 1 보호층 위로 투명도전성 물질로써 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 박막트랜지스터와 연결되며 상기 데이터 배선과 나란하게 서로 이격하는 다수의 화소전극과, 상기 화소전극과 서로 교대로 배치되는 다수의 중앙부 공통전극과, 상기 다수의 중앙부 공통전극과 연결되며 상기 공통배선 콘택홀을 통해 상기 공통배선과 접촉하며 상기 데이터 배선 및 최외각 공통전극과 중첩하는 제 1 보조공통전극과, 상기 제 1 보조공통전극과 연결되고 상기 게이트 배선과 중첩하는 제 2 보조공통전극을 형성하는 단계를 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 박막트랜지스터와 데이터 배선 상부로 전면에 이와 접촉하며 무기절연물질로써 제 2 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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2006
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