KR20070115310A

KR20070115310A - Device for preventing cleaning solution leak in wet station

Info

Publication number: KR20070115310A
Application number: KR1020060049530A
Authority: KR
Inventors: 정일용
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2006-06-01
Filing date: 2006-06-01
Publication date: 2007-12-06
Also published as: CN101081393A; CN101081393B; TW200804005A; TWI327491B

Abstract

A device for preventing leak of cleaning solution of wet cleaning equipment is provided to secure stability of a driving motor and to improve cleanliness of a clean room by preventing leak of the cleaning solution. One end protruded to the outside through an external wall(310) of a bath(B) is joined to a rotation driving source(400), to supply a rotation driving power to a driving shaft(300). A removal member(100) is installed on an axis line of the driving shaft, to exhaust forcibly the cleaning solution leaked to the outside of the bath along the driving shaft by spraying dry air.

Description

습식세정장비의 세정액 유출방지장치{Device for preventing cleaning solution leak in wet station}Device for preventing cleaning solution leak in wet station

도 1은 종래 습식세정장비의 개략적인 측면구성도이다.1 is a schematic side view of a conventional wet cleaning equipment.

도 2는 본 발명 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제1실시 단면상태도이다.2 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the cleaning solution leakage preventing apparatus of the present invention wet cleaning equipment.

도 3은 도 2에 도시된 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제1실시 분리사시도이다.3 is an exploded perspective view of a first embodiment of the cleaning solution leakage preventing apparatus of the wet cleaning equipment illustrated in FIG. 2.

도 4는 본 발명 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제2실시 단면상태도이다.Figure 4 is a cross-sectional view of a second embodiment of the cleaning liquid leakage prevention apparatus of the present invention wet cleaning equipment.

도 5는 도 4에 도시된 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 작동상태도이다.5 is an operation state diagram of the cleaning solution leakage prevention device of the wet cleaning equipment shown in FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 제거기재 101 : 하우징100: removal base 101: housing

110 : 공급포트 120 : 배출포트110: supply port 120: discharge port

130 : 분산휠 140 : 베어링130: dispersion wheel 140: bearing

200 : 기밀기재 210 : 주름부200: airtight base material 210: wrinkles

300 : 구동축 311 : 수직장공300: drive shaft 311: vertical long hole

400 : 회전구동원 410 : 베어링블럭400: rotational drive source 410: bearing block

420 : 지지대420: support

본 발명은 습식세정장비의 세정액 유출방지장치에 관한 것으로, 특히 습식세정장비의 구동샤프트를 따라 세정액이 베쓰 외부로 유출되는 것을 방지하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaning liquid leakage preventing device of the wet cleaning equipment, and more particularly, to a cleaning liquid leakage preventing device of the wet cleaning equipment to prevent the cleaning liquid from leaking out along the drive shaft of the wet cleaning equipment.

일반적으로, 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이(FPD; flat panel display) 기판 등은 다양한 제조공정을 거쳐 제조되고, 이처럼 다양한 제조공정을 거치다 보면 그 표면이 파티클 및 오염물질에 의해 오염되므로 이를 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전후로 세정공정이 수행된다.In general, a semiconductor wafer or a flat panel display (FPD) substrate is manufactured through various manufacturing processes, and the surface of the semiconductor wafer or flat panel display (FPD) substrate is contaminated by particles and contaminants. The cleaning process is performed before and after the process.

이러한 세정공정은 기판 표면의 청정화를 위한 공정으로서, 일례로 약액처리공정과 린스공정과 건조공정으로 이루어진 세정방식이 제시된 바 있으며, 다른 일례로 기판 표면에 엑시머 자외선(Excimer Ultra Violet)을 조사하여 기판 표면에 존재하는 유기물을 제거하고 상부 및 하부 롤브러쉬를 기판 상면과 하면에 각각 가압회전시켜 기판 표면의 파티클을 제거하는 세정방식이 제시된 바 있다.The cleaning process is a process for cleaning the surface of the substrate. For example, a cleaning method including a chemical treatment process, a rinse process, and a drying process has been proposed. As another example, an excimer ultra violet is irradiated onto the substrate surface to expose the substrate. The cleaning method has been proposed to remove particles present on the surface by removing organic substances present on the surface and pressing and rotating the upper and lower roll brushes on the upper and lower surfaces, respectively.

상기 롤브러쉬를 이용한 세정공정은 기판 표면에 직접 세정액을 분사하거나 상기 롤브러쉬에 세정액을 분사하여 롤브러쉬와 기판과의 표면 마찰을 줄임과 아울러 파티클을 린스할 수 있으므로 일반적인 습식세정공정과 마찬가지로 베쓰(bath) 내에서 수행된다.The cleaning process using the roll brush reduces the surface friction between the roll brush and the substrate by spraying the cleaning liquid directly on the surface of the substrate or by spraying the cleaning liquid on the surface of the substrate. bath).

도 1은 종래 롤브러쉬가 적용된 습식세정장비의 일실시 구성도이다.1 is a configuration diagram of one embodiment of a wet cleaning device to which a conventional roll brush is applied.

도 1을 참조하면, 종래 습식세정장비는 베쓰(B) 내부에 상하구조로 설치되어 기판의 표면을 세정하는 롤브러쉬(RB1, RB2)와, 상기 롤브러쉬(RB1, RB2)와 축결합하여 회전하는 구동샤프트(10, 20)와, 상기 구동샤프트(10, 20)의 양단을 회전가능하게 지지하는 베어링블럭(11, 21)과, 상기 일측 베어링블럭(11, 21)에서 상기 구동샤프트(10, 20)의 일단과 결합하여 상기 구동샤프트(10, 20)에 회전구동력을 제공하는 회전구동원(12, 22)을 포함한다.Referring to Figure 1, the conventional wet cleaning equipment is installed in the vertical structure inside the bath (B) to rotate the roll brush (RB1, RB2) and the roll brush (RB1, RB2) to clean the surface of the substrate and rotates Drive shafts (10, 20), bearing blocks (11, 21) rotatably supporting both ends of the drive shaft (10, 20), and the drive shaft (10) in one bearing block (11, 21) And rotation drive sources 12 and 22 coupled to one end of the drive shaft 20 to provide rotation driving force to the drive shafts 10 and 20.

상기의 구성에서 롤브러쉬(RB1, RB2)는 기판 두께 및 기판 표면에 가압정도가 조절되도록 상하로 구동된다.In the above configuration, the roll brushes RB1 and RB2 are driven up and down to control the substrate thickness and the degree of pressurization on the substrate surface.

일례로, 상측 롤브러쉬(RB1)는 상측 구동샤프트(10)의 양단을 회전지지하는 베어링블럭(11)이 지지대(13)에 지지되고, 지지대(13)는 그 저단이 승강구동원(미도시)과 결합되어 상기 승강구동원의 승강구동에 의해 승강된다.In one example, the upper roll brush (RB1) is supported by a support block 13, the bearing block 11 for supporting both ends of the upper drive shaft 10, the lower end of the support 13 is a lifting drive source (not shown) It is coupled with the elevating drive of the elevating drive source.

일례로, 하측 롤브러쉬(RB2)도 상측 롤브러쉬(RB1)와 같이 베어링블럭(21)이 지지대(중첩되어 미도시)에 지지되어 별도의 승강구동원에 의해 상하로 승강되는 구조이다.For example, the lower roll brush RB2 also has a structure in which the bearing block 21 is supported by a support (not overlapped) by being lifted up and down by a separate lifting drive like the upper roll brush RB1.

상기 승강구동원은 나선조작에 의해 지지대(13)를 승강시킬 수도 있고 실린더에 의해 지지대(13)를 승강시킬 수도 있다.The lift driving source may lift the support 13 by spiral operation, or lift the support 13 by a cylinder.

그리고, 회전구동원(12, 22)은 베쓰(B) 내부가 습식세정존이므로 베쓰(B) 외부에 설치되어 세정액에 의한 파손이 방지되도록 하고, 구동샤프트(10, 20)는 베 쓰(B) 외벽을 관통하여 외부로 돌출된 일단부가 회전구동원(12, 22)과 결합되어 회전구동력을 제공받는다.In addition, since the inside of the bath B is a wet cleaning zone, the rotary drive sources 12 and 22 are installed outside the bath B to prevent damage caused by the cleaning liquid, and the drive shafts 10 and 20 are used in the bath B. One end portion protruding to the outside through the outer wall is combined with the rotation driving sources 12 and 22 to receive rotation driving force.

그러나, 구동샤프트(10, 20)는 베쓰(B) 내부에 위치한 구간이 세정액에 노출되는 한편 회전구동에 따른 원심력에 의해 그 표면상에 잔류된 세정액이 양측 단부로 유동하게 된다.However, in the driving shafts 10 and 20, the section located inside the bath B is exposed to the cleaning liquid, and the cleaning liquid remaining on the surface of the driving shaft 10 flows to both ends by the centrifugal force due to the rotational driving.

이에, 세정액은 구동샤프트(10, 20)를 따라 베쓰(B) 외부로 유출되어 베쓰(B) 외부의 크린룸(clean room) 내의 청정도를 저하시킬 뿐만 아니라 구동샤프트(10, 20)의 단부에 결합되어 있는 회전구동원(12, 22)에 침투하여 회전구동원(12, 22)을 파손시키는 문제점이 있었다. Accordingly, the cleaning liquid flows out of the bath B along the drive shafts 10 and 20 to reduce cleanliness in a clean room outside the bath B, and is coupled to the ends of the drive shafts 10 and 20. There has been a problem of penetrating the rotating drive source (12, 22) to break the rotating drive source (12, 22).

비록, 베쓰(B) 외벽의 구동샤프트(10, 20)가 관통되는 수직장공 둘레에는 오링(O ring) 등으로 기밀을 유지하지만, 구동샤프트(10, 20)는 회전구동하는 구성부품이므로 수직장공 둘레에 물리적으로 완벽한 기밀을 유지하는 것이 현실적으로 불가능하다.Although airtightness is maintained around the vertical long holes through which the drive shafts 10 and 20 of the outer wall of the bath B are penetrated, the driving shafts 10 and 20 are vertical parts because they are rotationally driven components. It is practically impossible to maintain a physically complete confidentiality around.

더욱이, 구동샤프트(10, 20)는 상하로 승강되는 구성부품이므로 수직장공 둘레에 기밀을 유지하는 것은 어려운 과제이다.Moreover, since the drive shafts 10 and 20 are the component parts which are lifted up and down, maintaining airtightness around the vertical hole is a difficult problem.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 베쓰 외벽을 관통하는 각종 구동샤프트를 따라 세정액이 외부로 유출되는 것을 방지하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a cleaning liquid leakage preventing apparatus of a wet cleaning device that prevents the cleaning liquid from flowing out along the various driving shafts passing through the outer wall of the bath.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 베쓰 내부에서 상기 베쓰의 외벽을 관통하여 외부로 돌출되는 일단부가 회전구동원과 결합되어 회전구동력을 제공받는 구동샤프트와, 상기 구동샤프트의 축선상에 설치되어 상기 구동샤프트를 따라 상기 베쓰의 외부로 유출되는 세정액에 건조공기를 분사하여 강제배출시키는 제거기재를 포함한다.The present invention for achieving the above object, the drive shaft is coupled to the rotary drive source and the one end protruding to the outside through the outer wall of the bath and the rotary shaft is provided with a driving force, installed on the axis of the drive shaft And a removal material for forcibly discharging dry air to the cleaning liquid flowing out of the bath along the driving shaft.

상기 베쓰의 외벽과 상기 제거기재의 사이에는, 일측은 상기 베쓰의 외벽에 결합되고 타측은 상기 제거기재에 결합되며, 그 내부에 구동샤프트가 삽입관통되는 연질의 기밀기재를 더 포함할 수 있다.Between the outer wall of the bath and the removal base, one side is coupled to the outer wall of the bath and the other side is coupled to the removal base, there may further comprise a soft airtight base material through which the drive shaft is inserted.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시 예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.When described in detail with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention configured as described above are as follows.

<실시예 1><Example 1>

도 2는 본 발명 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제1실시 단면상태도이고, 도 3은 도 2에 도시된 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제1실시 분리사시도이다. 또한 설명의 편의를 위하여 롤브러쉬(RB)는 상측 또는 하측의 롤브러쉬(RB)만을 도시하였다.2 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a cleaning solution leakage preventing apparatus of the present invention wet cleaning equipment, Figure 3 is an exploded perspective view of the first embodiment of the cleaning solution leakage preventing apparatus of the wet cleaning equipment shown in FIG. In addition, the roll brush (RB) is shown only the upper or lower roll brush (RB) for convenience of description.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명 습식세정장비의 세정액 유출방지장치에 따른 제1실시예는 베쓰(B) 내부에서 상기 베쓰(B)의 외벽(310)을 관통하여 외부로 돌출되는 일단부가 회전구동원(400)과 결합되어 회전구동력을 제공받는 구동샤프트(300)와, 상기 구동샤프트(300)의 축선상에 설치되어 상기 구동샤프트(300)를 따 라 상기 베쓰(B)의 외부로 유출되는 세정액에 건조공기를 분사하여 강제배출시키는 제거기재(100)를 포함한다.2 and 3, the first embodiment according to the cleaning solution leakage preventing device of the present invention the wet cleaning equipment once the projecting to the outside through the outer wall 310 of the bath (B) in the bath (B) Drive shaft 300 coupled to the additional rotation drive source 400 is provided with a rotation driving force, and installed on the axis of the drive shaft 300 to the outside of the bath (B) along the drive shaft 300 It includes a removal substrate 100 for forcibly discharged by spraying dry air to the cleaning liquid flowing out.

일례로, 구동샤프트(300)는 일단부가 베쓰(B)의 외벽(310)에 형성된 수직장공(311)을 관통하여 외부로 돌출되며, 베쓰(B) 외부의 회전구동원(400)과 결합되어 회전구동력을 제공받아 상측 또는 하측 롤브러쉬(RB)를 회전시키는 구성부품이다.For example, one end of the driving shaft 300 protrudes outwards through a vertical long hole 311 formed in the outer wall 310 of the bath B, and rotates in combination with a rotation driving source 400 outside the bath B. It is a component that rotates the upper or lower roll brush (RB) by receiving a driving force.

그리고, 구동샤프트(300)는 베쓰(B) 외부로 노출된 양측 단부에 베어링블럭(140)이 결합되고, 일측 베어링블럭(140)에는 회전구동력을 제공하는 회전구동원(400)이 결합되며, 양측 베러링블럭에는 구동샤프트(300) 및 롤브러쉬(RB)를 승강시키기 위한 지지대(420)가 수직결합된다.In addition, the driving shaft 300 is coupled to the bearing block 140 at both ends exposed to the outside of the bath (B), the one side of the bearing block 140 is coupled to the rotation drive source 400 for providing a rotational driving force, both sides The support block 420 for elevating the driving shaft 300 and the roll brush RB is vertically coupled to the bearing block.

이러한 구동샤프트(300)는 회전구동원(400)에 의해 회전구동하는 구성부품이므로 베쓰(B) 내부의 세정액이 그 표면에 잔류되면 원심력에 의해 자연낙하되지 않고 축선상을 따라 양측 단부로 유동되어 베쓰(B)의 수직장공(311)을 통하여 베쓰(B) 외부로 유출될 수 있다.Since the driving shaft 300 is a component that rotates by the rotation driving source 400, when the cleaning liquid inside the bath B remains on the surface, the driving shaft 300 flows to both ends along the axis without falling naturally due to centrifugal force. Through the vertical long hole 311 of (B) may be leaked to the outside of the bath (B).

이에 구동샤프트(300)의 축선상에는 구동샤프트(300)의 표면에 잔류되어 단부측으로 유동되는 세정액을 강제배출시키는 제거기재(100)가 설치된다.Thus, on the axis of the drive shaft 300, a removal base 100 for forcibly discharging the cleaning liquid remaining on the surface of the drive shaft 300 and flowing to the end side is provided.

상기 제거기재(100)는 베쓰(B) 내부에서 외벽(310)에 인접하여 구동샤프트(300)의 외경을 감싸는 형태로 설치되는 하우징(101)과, 상기 하우징(101)의 일측에서 건조공기를 공급받아 구동샤프트(300)측으로 분사하는 공급포트(110)와, 상기 공급포트(110)의 대향측에서 공급포트(110)에서 공급된 건조공기와 건조공기에 의해 구동샤프트(300)상에서 분리된 세정액을 배출하는 배출포트(120)를 포함한다.The removal substrate 100 is a housing 101 installed in a form surrounding the outer diameter of the drive shaft 300 adjacent to the outer wall 310 inside the bath B and dry air at one side of the housing 101. A supply port 110 that is supplied and sprayed to the driving shaft 300, and separated from the driving shaft 300 by dry air and dry air supplied from the supply port 110 on the opposite side of the supply port 110. A discharge port 120 for discharging the cleaning liquid.

이러한 제거기재(100)는 도시된 바와 같이 베쓰(B) 내에서 회전구동원(400)와 인접하는 일측에 설치될 수도 있고, 양측으로 한쌍이 설치될 수도 있다. The removal substrate 100 may be installed on one side adjacent to the rotation drive source 400 in the bath (B), a pair may be installed on both sides.

상기 하우징(101)은 베쓰(B) 내에서 구동샤프트(300)의 롤브러쉬(RB)와 결합된 부위를 제외한 단부측에 설치되되, 수직장공(311)을 통하여 유출되는 세정액 또는 미스트(mist)를 방지 또는 최소화할 수 있도록 외벽(310)에 최대한 인접설치되는 것이 바람직하다.The housing 101 is installed at the end side except for the portion coupled to the roll brush RB of the drive shaft 300 in the bath B, and the cleaning liquid or mist flowing through the vertical hole 311. It is desirable to be installed as close to the outer wall 310 as possible to prevent or minimize.

이러한, 하우징(101)은 그 내부로 구동샤프트(300)가 삽입관통되지만 구동샤프트(300)와 접촉되지 않고 공급포트(110) 및 배출포트(120)와 결합되어 회전되지 않는 구성부품이다.The housing 101 is a component that is inserted through the drive shaft 300 but is not in contact with the drive shaft 300 and coupled with the supply port 110 and the discharge port 120 does not rotate.

상기 공급포트(110)는 건조공기 공급원(미도시)에서 공급된 건조공기를 하우징(101) 내부로 공급받는 구성부품이다.The supply port 110 is a component that receives the dry air supplied from the dry air supply source (not shown) into the housing 101.

따라서, 공급포트(110)로 공급된 건조공기는 빠른 속도로 구동샤프트(300)의 표면상에 분사되어 구동샤프트(300)의 축선상을 따라 유동되는 세정액을 구동샤프트(300)에서 분리시켜 베쓰(B) 외부로 유출되는 것을 방지한다.Therefore, the dry air supplied to the supply port 110 is sprayed on the surface of the drive shaft 300 at a high speed to separate the cleaning liquid flowing along the axis of the drive shaft 300 from the drive shaft 300 to the bath. (B) Prevents leakage to the outside.

이처럼 건조공기는 구동샤프트(300)에서 세정액을 분리시키기 위한 작동유체로서 베쓰(B) 내부의 세정작용에 영향을 미치지 않는 더 경제적이고 효과가 뛰어난 다른 작동유체로 대체될 수 있음은 물론이지만, 통상 습식세정장비의 경우 건조공기의 사용이 수반되므로 공정상에 사용되는 건조공기를 분기시켜 사용하는 것이 효율적이다.As such, the dry air may be replaced with another working fluid which is more economical and effective, which does not affect the cleaning action inside the bath B as the working fluid for separating the cleaning liquid from the drive shaft 300, In the case of wet cleaning equipment, the use of dry air entails efficient use of branching dry air used in the process.

상기 배출포트(120)는 건조공기에 의해 구동샤프트(300)에서 분리된 세정액 이 배출되는 구성부품이다.The discharge port 120 is a component that discharges the cleaning liquid separated from the drive shaft 300 by dry air.

따라서, 공급포트(110)로 공급된 건조공기와 건조공기에 의해 구동샤프트(300)에서 분리된 세정액은 배출포트(120)로 배출된다.Therefore, the cleaning liquid separated from the driving shaft 300 by the dry air and the dry air supplied to the supply port 110 is discharged to the discharge port 120.

상기의 구성에서, 제거기재(100)는 하우징(101)의 내부에서 구동샤프트(300)의 직경보다 더 큰 직경으로 상기 구동샤프트(300)와 일체형성되는 분산휠(130)을 더 포함할 수 있다.In the above configuration, the removal substrate 100 may further include a dispersion wheel 130 integrally formed with the drive shaft 300 to a diameter larger than the diameter of the drive shaft 300 inside the housing 101. have.

상기 분산휠(130)은 구동샤프트(300)상에 잔류된 세정액이 구동샤프트(300)의 단부측으로 유동되어 베쓰(B) 외부로 유출되는 것을 방지하도록 세정액을 지연 및 분산시킨다.The dispersion wheel 130 delays and disperses the cleaning liquid to prevent the cleaning liquid remaining on the driving shaft 300 from flowing out toward the end of the driving shaft 300 and flowing out of the bath B.

즉, 분산휠(130)은 구동샤프트(300)의 축선상을 따라 유동하는 세정액의 흐름을 방해하여 베쓰(B) 외부로 유출되는 것을 지연시키는 것은 물론 구동샤프트(300)의 축선에서 직교하는 방향으로 분산시킨다.That is, the dispersing wheel 130 may obstruct the flow of the cleaning liquid flowing along the axis of the driving shaft 300 to delay the outflow to the outside of the bath B, as well as the direction perpendicular to the axis of the driving shaft 300. Disperse

이러한, 분산휠(130)은 구동샤프트(300)의 건조공기가 통과되는 부위에 형성되는 것이 바람직하다.Such, the dispersing wheel 130 is preferably formed in a portion through which the dry air of the drive shaft 300 passes.

구체적으로, 구동샤프트(300)의 축선상을 따라 유동하는 세정액은 분산휠(130)에 가로막혀 정체되고, 정체된 부위에 건조공기를 분사함으로써 세정액이 구동샤프트(300)에서 용이하게 분리되어 배출될 수 있다.Specifically, the cleaning liquid flowing along the axis of the driving shaft 300 is stagnant by being blocked by the dispersing wheel 130, and the cleaning liquid is easily separated from the driving shaft 300 by discharging dry air to the stagnant portion and discharged. Can be.

상기의 구성에서, 제거기재(100)는 하우징(101)의 내부에서 구동샤프트(300)를 회전가능하게 지지하는 베어링(140)을 더 포함할 수 있다.In the above configuration, the removal substrate 100 may further include a bearing 140 for rotatably supporting the drive shaft 300 inside the housing 101.

따라서, 제거기재(100)는 베어링(140)에 의해 구동샤프트(300)가 원활하게 회전가능하게 지지될 수 있음은 물론 베어링(140)이 분산휠(130)과 함께 구동샤프트(300)의 축선상을 따라 유동되는 세정액의 흐름을 방해하여 세정액 유동을 지연시키는 장점이 있다.Accordingly, the removal substrate 100 may be supported by the bearing 140 so that the driving shaft 300 can be smoothly rotated, as well as the shaft of the driving shaft 300 along with the dispersion wheel 130. There is an advantage of retarding the flow of the cleaning liquid by disturbing the flow of the cleaning liquid flowing along the ship.

일례로, 베어링(140)은 하우징(101) 내부에서 분산휠(130)의 일측 또는 양측으로 설치될 수 있다.For example, the bearing 140 may be installed at one side or both sides of the distribution wheel 130 in the housing 101.

구체적으로, 하우징(101) 내부에 설치되는 베어링(140)과, 하우징(101)의 일면에 결합되는 가스켓(150)에 삽입설치되는 베어링(140)이 예시된다.Specifically, a bearing 140 installed inside the housing 101 and a bearing 140 inserted into a gasket 150 coupled to one surface of the housing 101 are illustrated.

<실시예 2><Example 2>

도 4는 본 발명 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제2실시 단면상태도이고, 도 5는 도 4에 도시된 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 작동상태도이다. 여기서 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.4 is a cross-sectional view illustrating a second embodiment of the cleaning solution leakage preventing device of the wet cleaning device of the present invention, and FIG. 5 is an operating state diagram of the cleaning solution leakage preventing device of the wet cleaning device shown in FIG. 4. Here, the same reference numerals as in the above-described drawings indicate members having the same function.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제2실시예는 베쓰(B) 내부에서 상기 베쓰(B)의 외벽(310)을 관통하여 외부로 돌출되는 일단부가 회전구동원(400)과 결합되어 회전구동력을 제공받는 구동샤프트(300)와, 상기 구동샤프트(300)의 축선상에 설치되어 상기 구동샤프트(300)를 따라 상기 베쓰(B)의 외부로 유출되는 세정액을 강제배출시키는 제거기재(100)와, 일측은 상기 베쓰(B)의 외벽(310)에 결합되고 타측은 상기 제거기재(100)에 결합되며 그 내부에 구동샤프트(300)가 삽입관통되는 연질의 기밀기재(200)를 포함한다.4 and 5, the second embodiment of the cleaning solution leakage preventing device of the wet cleaning apparatus according to the present invention is projected to the outside through the outer wall 310 of the bath (B) in the bath (B) One end portion is coupled to the rotation drive source 400 is provided with a drive shaft 300 is provided with a rotation driving force, and is installed on the axis of the drive shaft 300 along the drive shaft 300 to the outside of the bath (B) The removal substrate 100 forcibly discharging the cleaning liquid flowing out, and one side is coupled to the outer wall 310 of the bath (B) and the other side is coupled to the removal substrate 100 and the drive shaft 300 is inserted therein. It includes a flexible airtight substrate 200 to penetrate.

본 발명의 제2실시예는 상기 제1실시예의 구성에서 제거기재(100)의 하우징(101)과 상기 베쓰(B) 외벽(310)의 사이에 기밀기재(200)를 더 설치한 것이다.In the second embodiment of the present invention, the airtight base 200 is further installed between the housing 101 of the removal base 100 and the outer wall 310 of the bath B in the configuration of the first embodiment.

상기 기밀기재(200)는 다수의 접이편으로 이루어져 인장/압축가능하고 그 내부로 구동샤프트(300)가 삽입관통되는 주름부(210)와, 상기 주름부(210)의 일측을 베쓰(B) 외벽(310)의 수직장공(311) 둘레에 고정설치하며 그 내부로 구동샤프트(300)가 삽입관통되는 제1플렌지(221)와, 상기 주름부(210)의 타측을 제거기재(100)의 하우징(101)에 고정설치하며 그 내부로 구동샤프트(300)가 삽입관통되는 제2플렌지(222)를 포함한다.The hermetic base 200 is made of a plurality of folding pieces, the foldable portion 210 is tension / compression and the drive shaft 300 is inserted through it, and one side of the pleats 210 is Beth (B) The first flange 221 is fixedly installed around the vertical long hole 311 of the outer wall 310 and the drive shaft 300 is inserted therein, and the other side of the wrinkle part 210 is removed from the base 100. It is fixed to the housing 101 and includes a second flange 222 through which the drive shaft 300 is inserted.

즉, 기밀기재(200)는 베쓰(B) 내에서 발생된 세정액 또는 미스트가 제거기재(100)의 하우징(101)과 상기 베쓰(B) 외벽(310)의 사이의 구동샤프트(300)에 잔류되어 베쓰(B) 외부로 유출되는 것을 방지하기 구성부품이다.That is, the airtight substrate 200 is left in the drive shaft 300 between the housing 101 of the removal substrate 100 and the outer wall 310 of the bath (B) generated in the bath (B). It is a component to prevent leakage to the outside of the bath (B).

또한, 기밀기재(200)는 구동샤프트(300)가 지지대(420)의 승강에 의해 수직장공(311)의 길이 내에서 승강되면, 일단부는 베쓰(B)의 외벽(310)에 지지되어 고정된 채 타단부는 제거기재(100)와 함께 승강되므로 도 5에 도시된 바와같이 상부는 압축되고 하부는 인장되어 만곡된다.In addition, when the driving shaft 300 is elevated within the length of the vertical long hole 311 by the lifting and lowering of the support 420, the hermetic base 200 is supported and fixed to the outer wall 310 of the bath (B). Since the other end is lifted together with the removal substrate 100, the upper portion is compressed and the lower portion is stretched and curved as shown in FIG.

이와 같은 상태에서도 구동샤프트(300)는 기밀기재(200)의 내부가 중공형상으로 상호 간섭되지 않기 때문에 부하없이 회전가능하다.Even in this state, the drive shaft 300 is rotatable without load because the interior of the airtight base 200 does not interfere with each other in a hollow shape.

이와 같이, 본 발명 습식세정장비의 세정액 유출방지장치의 제2실시예는 승강구동되는 구동샤프트(300)에 대하여도 베쓰(B) 외벽(310)의 수직장공(311)측으로 세정액이 유출되는 것을 방지할 수 있다.As described above, according to the second embodiment of the cleaning liquid leakage preventing apparatus of the present invention, the cleaning liquid is leaked toward the vertical long hole 311 of the outer wall 310 of the bath (B) with respect to the driving shaft 300 which is driven up and down. You can prevent it.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.The present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the concept of the present invention. Various changes and modifications are possible by the user.

상기한 바와 같이 본 발명은, 세정액이 구동샤프트를 따라 베쓰 외부로 유출되는 것을 방지하므로 구동샤프트에 회전구동력을 제공하는 구동모터의 안정성을 확보할 수 있는 동시에 클린룸 내의 청정도를 향상시키는 효과가 있다.As described above, the present invention prevents the cleaning liquid from flowing out of the bath along the drive shaft, thereby ensuring stability of the drive motor providing rotational driving force to the drive shaft and improving cleanliness in the clean room. .

또한 본 발명은, 회전 및 승강되는 구동샤프트에 대하여도 세정액 유출을 방지하므로 베쓰 내의 다양한 구동샤프트에 적용가능하다는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of being applicable to various drive shafts in the bath because the cleaning liquid is prevented from leaking even for the drive shaft rotated and raised.

Claims

베쓰 내부에서 상기 베쓰의 외벽을 관통하여 외부로 돌출되는 일단부가 회전구동원과 결합되어 회전구동력을 제공받는 구동샤프트; 및A drive shaft having one end portion protruding outwardly through the outer wall of the bath from the inside of the bath and coupled with the rotation driving source to receive the rotation driving force; And

상기 구동샤프트의 축선상에 설치되어 상기 구동샤프트를 따라 상기 베쓰의 외부로 유출되는 세정액에 건조공기를 분사하여 강제배출시키는 제거기재를 포함하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치.And a removal substrate installed on an axis of the drive shaft to remove forced air by spraying dry air to the cleaning liquid flowing out of the bath along the driving shaft.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 베쓰의 외벽과 상기 제거기재의 사이에는, Between the outer wall of the bath and the removal substrate,

일측은 상기 베쓰의 외벽에 결합되고 타측은 상기 제거기재에 결합되며 그 내부에 구동샤프트가 삽입관통되는 연질의 기밀기재를 더 포함하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치.One side is coupled to the outer wall of the bath and the other side is coupled to the removal substrate and the cleaning liquid outflow prevention device further comprising a soft hermetic substrate through which the drive shaft is inserted.

제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2,

상기 제거기재는,The removal substrate,

상기 베쓰 내부에서 상기 외벽에 인접하여 상기 구동샤프트의 외경을 감싸는 하우징;A housing surrounding the outer diameter of the driving shaft adjacent to the outer wall in the bath;

상기 하우징의 일측에서 건조공기를 공급받아 상기 구동샤프트측으로 분사하는 공급포트; 및A supply port receiving dry air from one side of the housing and injecting the dry air into the driving shaft; And

상기 공급포트의 대향측에서 건조공기에 의해 상기 구동샤프트상에서 분리된 세정액을 배출하는 배출포트를 포함하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치.And a discharge port for discharging the cleaning liquid separated on the drive shaft by dry air on an opposite side of the supply port.

제3항에 있어서,The method of claim 3,

상기 제거기재는,The removal substrate,

상기 하우징의 내부에서 상기 구동샤프트의 직경보다 더 큰 직경으로 상기 구동샤프트와 일체형성되는 분산휠을 더 포함하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치.And a dispersion wheel integrally formed with the drive shaft in a diameter larger than the diameter of the drive shaft in the housing.

제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein

상기 분산휠은,The dispersion wheel,

상기 구동샤프트의 건조공기가 통과되는 부위에 형성된 것을 특징으로 하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치.Cleaning liquid leakage prevention device of the wet cleaning equipment, characterized in that formed on the portion of the drive shaft through which the dry air passes.

제3항에 있어서,The method of claim 3,

상기 제거기재는,The removal substrate,

상기 하우징의 내부에서 상기 구동샤프트를 회전가능하게 지지하는 베어링을 더 포함하는 습식세정장비의 세정액 유출방지장치.And a bearing for rotatably supporting the driving shaft in the housing.