KR20070112668A - Linear type evaporator for manufacturing elements of organic semiconductor device - Google Patents

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KR20070112668A
KR20070112668A KR1020060045857A KR20060045857A KR20070112668A KR 20070112668 A KR20070112668 A KR 20070112668A KR 1020060045857 A KR1020060045857 A KR 1020060045857A KR 20060045857 A KR20060045857 A KR 20060045857A KR 20070112668 A KR20070112668 A KR 20070112668A
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Abstract

A linear type evaporator for manufacturing a thin film of an organic light emitting device is provided to improve the utility of organic material by making the evaporated organic material face a substrate. A linear type evaporator for manufacturing a thin film of an organic light emitting device includes a crucible(10), and a cover unit(20). The crucible has deposition material inside, and the upper surface thereof is open. The cover unit covers the upper surface of the crucible and has a plurality of vapor discharging holes(25) at the upper surface. The hole of the covering unit is formed to discharge vapor at various angles.

Description

유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원{Linear type evaporator for manufacturing elements of organic semiconductor device}Linear type evaporator for manufacturing elements of organic semiconductor device

도 1은 종래의 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 보여주는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a linear evaporation source for manufacturing a conventional organic light emitting device thin film.

도 2는 도 1에 도시한 도가니 덮개부의 평면도이다. FIG. 2 is a plan view of the crucible cover part shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 개략적으로 보여주는 사시도이다.Figure 3 is a perspective view schematically showing a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film according to the present invention.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 천공의 각도를 달리하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film having a different angle of puncturing according to a first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 천공의 가이드부를 가지는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 나타내는 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film having a perforation guide according to a first embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 증기의 유출 각도를 달리하는 복수의 덮개부를 가지는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 나타내는 단면도이다. 6 is a cross-sectional view illustrating a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film having a plurality of cover parts having different outflow angles of steam according to a second embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 도가니 20 : 덮개부10 crucible 20 cover part

25 : 천공 26 : 가이드부25: drilling 26: guide part

50 : 유기물질 100 : 기판 50: organic material 100: substrate

본 발명은 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 천공으로부터 유기물 방출각도를 조절하여, 기판 끝단에 있어서 증착 유기물질의 균일도 저하를 방지하고, 증발원의 사용효율을 높이는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film, and more particularly, to control the organic emission angle from the perforation, to prevent the uniformity of the deposition organic material at the substrate end, and to increase the use efficiency of the evaporation source The present invention relates to a linear evaporation source for manufacturing a light emitting device thin film.

일반적으로, 유기발광소자를 제조하는 방법은 저분자 물질을 진공 중에 증발시켜 제조하는 방법과, 고분자 물질을 용제에 녹여서 스핀 코팅(spin coating)하는 방법이 알려져 있다. Generally, a method of manufacturing an organic light emitting device is known by evaporating a low molecular material in a vacuum, and a method of spin coating by dissolving a polymer material in a solvent.

이 같은 방법 중에서, 고진공에서 박막을 제작하는 저분자 유기발광소자 제조 방법의 경우 임의의 형상의 개구부를 가지는 쉐도우 마스크를 기판의 앞에 정렬하여 이 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 제작하게 된다. Among these methods, in the case of a method of manufacturing a low molecular weight organic light emitting device for manufacturing a thin film in high vacuum, a shadow mask having an opening having an arbitrary shape is aligned in front of a substrate to deposit an organic material on the substrate to produce a thin film.

이와 같은 박막 제작에는 유기물질 증발원이 이용된다. 유기물질 증발원은 상면이 개방되어 유기물질을 담는 도가니, 가열에 의해 증발 또는 승화된 유기물질이 통과하도록 다수의 천공이 형성된 덮개부를 포함하여 구성된다. 생산성 향상을 위해 대면적 기판을 사용할 경우, 대면적 박막의 균일도가 확보되도록 선형증발원이 필요하게 된다. 이때, 대면적 기판(100) 또는 선형증발원이 움직이면서 기판의 전면적에 대해서 증착이 이루어진다. The organic material evaporation source is used to produce such a thin film. The organic material evaporation source includes a crucible containing an open top surface and containing organic material, and a cover part having a plurality of perforations formed therethrough to allow the organic material evaporated or sublimed by heating to pass therethrough. When a large area substrate is used to improve productivity, a linear evaporation source is required to ensure uniformity of the large area thin film. At this time, the deposition is performed on the entire area of the substrate while the large area substrate 100 or the linear evaporation source is moved.

선형증발원으로부터 증발된 기체의 바깥쪽은 중앙에 비해서 기체의 중첩되는 부분이 적기 때문에, 박막의 균일도가 기판의 중심보다 바깥쪽에서 현저하게 작아지게 된다. 이러한 현상을 막기 위해서는 선형증발원의 길이가 기판의 길이보다 상당히 커져야 하나, 이때는 선형증발원의 사용효율이 떨어지게 된다.Since the outside of the gas evaporated from the linear evaporation source has less overlapping portions of the gas as compared with the center, the uniformity of the thin film becomes significantly smaller outside the center of the substrate. In order to prevent this phenomenon, the length of the linear evaporator should be considerably larger than the length of the substrate, but the use efficiency of the linear evaporator is reduced.

도 1은 종래의 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 보여주는 단면도이고 도 2는 도 1에 도시한 도가니 덮개부(20)의 평면도이다. 대면적 균일도 확보를 위하여 덮개부(20)의 천공(25)의 간격과 그 면적만을 조절하여 길이 방향의 끝단에서의 균일도를 향상시키려 하였다. 즉, 도면에 나타난 것처럼 덮개부의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 천공(25)의 간격을 좁히고(d1>d2>d3), 천공(25)의 면적을 넓혀서(S1<S2<S3) 많은 양의 유기물질(50)이 바깥쪽을 통과하도록 하였으나, 천공(25)의 간격과 면적만을 조절하여서는 기판의 길이 방향의 끝단에서의 균일도를 보장할 수 없었다. 1 is a cross-sectional view showing a linear evaporation source for manufacturing a conventional organic light emitting device thin film and FIG. 2 is a plan view of the crucible cover 20 shown in FIG. In order to secure a large area uniformity, the uniformity at the end of the longitudinal direction was attempted by adjusting only the interval and the area of the perforation 25 of the cover part 20. That is, as shown in the drawing, the gap between the perforations 25 is narrowed outward from the center of the cover portion (d1> d2> d3), and the area of the perforations 25 is widened (S1 <S2 <S3), so that a large amount of organic material ( Although 50) was allowed to pass through the outside, uniformity at the end of the substrate in the longitudinal direction could not be ensured by adjusting only the spacing and the area of the perforation 25.

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로, 본 발명은 천공으로부터 유기물 방출각도를 조절하여 기판 끝단에 있어서 증착 물질의 균일도를 향상시키는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and the present invention is to improve the uniformity of the deposition material at the end of the substrate by adjusting the organic emission angle from the perforation.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원은 상면은 개방되어 있고 내부에 증착용 물질을 담는 긴 형상의 도가니 및 도가니의 상면을 덮고 다수의 증기 유출 천공이 상면에 형성된 덮개부를 포함하며, 덮개부의 천공은 증기를 다양한 각도로 유출하도록 형성되어있다. In order to achieve the above object, the linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film according to an embodiment of the present invention is open to the upper surface of the crucible of the elongated shape and the upper surface of the crucible containing the deposition material therein a plurality of vapor outflow The perforation includes a cover portion formed on the upper surface, and the perforation of the cover portion is formed to allow steam to flow out at various angles.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다 Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for explaining a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film according to embodiments of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 천공(25)의 각도를 달리하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 나타내는 단면도이다. 도 3과 도 4를 참조하여 설명하면, 본 발명의 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형 증발원은 증착용 물질을 담는 도가니(10), 도가니(10)의 상면을 덮고 다수의 증기 유출 천공(25)이 형성된 덮개부(20)를 포함하여 구성된다. Figure 3 is a perspective view schematically showing a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film according to the present invention, Figure 4 is an organic light emitting device thin film manufacturing to vary the angle of the perforation 25 according to the first embodiment of the present invention Is a cross-sectional view showing a linear evaporation source. Referring to FIGS. 3 and 4, the linear evaporation source for fabricating the organic light emitting device thin film of the present invention covers the crucible 10 containing the deposition material and the upper surface of the crucible 10 and includes a plurality of vapor outlet perforations 25. The cover part 20 is formed.

도가니(10)는 상면은 개방되어 있고 측면과 하면은 닫혀진 형상으로 도가니(10)의 내부에 증착용 유기물질(50)이 저장 또는 유지될 수 있도록 내부 공간을 구비한다. 대면적 기판(100) 또는 선형증발원이 움직여서 기판(100)의 전면적에 대해서 증착이 이루어질 수 있도록 도가니(10)는 한 쪽 방향으로 긴 형상이며 그 폭은 기판(100)의 폭보다는 조금 더 큰 것이 바람직하다. The crucible 10 has an inner space in which the top surface is open and the side and bottom surfaces are closed so that the organic material 50 for deposition can be stored or maintained in the crucible 10. The crucible 10 has a long shape in one direction so that the large-area substrate 100 or the linear evaporation source can move to form the entire surface of the substrate 100, and the width of the crucible 10 is slightly larger than the width of the substrate 100. desirable.

덮개부(20)는 도가니(10)의 형상과 같은 한 쪽 방향으로 긴 형상이며 도가니(10)의 상면을 덮는다. 덮개부의 하부 형상을 도가니(10)의 상면의 형상과 같이 하여 도가니(10)의 상면 위에 올려놓고 도가니(10)의 상면과 덮개부(20)의 하부 사이를 밀폐처리 하여 증발된 유기물질(50)이 도가니(10)와 덮개부(20) 사이로 빠져나가지 않도록 한다. 또는, 덮개부(20)의 하부를 도가니(10)의 상면보다 약간 더 크게 하여 도가니(10)의 상면을 수용하여 덮어 증발된 유기물질(50)이 도가니(10)와 덮개부(20) 사이로 빠져나가지 않도록 한다.The cover part 20 is long in one direction, such as the shape of the crucible 10, and covers the upper surface of the crucible 10. The lower shape of the cover part is placed on the top surface of the crucible 10 in the same manner as the shape of the top surface of the crucible 10, and the organic material 50 evaporated by sealing between the top surface of the crucible 10 and the lower part of the lid part 20. ) Does not escape between the crucible 10 and the cover 20. Alternatively, the lower portion of the lid 20 is slightly larger than the upper surface of the crucible 10 to accommodate the upper surface of the crucible 10 so that the evaporated organic material 50 passes between the crucible 10 and the lid 20. Do not exit.

덮개부(20)의 상면에는 길이 방향으로 다수의 증기 유출 천공(25)이 형성되어있다. 도가니(10)에서 증발된 유기물질(50)이 천공(25)을 통과하여 지나 기판(100)에 도달하여 증착이 이루어지게 된다. 이때, 천공(25)에서 유출되는 증기의 각도는 덮개부의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 중심을 향하는 각도가 커지도록 형성하는 것이 바람직하다.The upper surface of the cover portion 20 is formed with a plurality of vapor outflow holes 25 in the longitudinal direction. The organic material 50 evaporated from the crucible 10 passes through the perforation 25 and reaches the substrate 100 to be deposited. At this time, the angle of the steam flowing out of the perforation 25 is preferably formed so as to increase the angle toward the center toward the outside from the center of the cover portion.

도 4와 같이 덮개부(20)의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 중심을 향하도록 하 는 각도가 커지게 천공(25)을 형성할 수도 있다. 천공(25)의 각도 조절 없이 증착을 하면 길이 방향의 끝단의 균일도가 매우 저하된다. 그러나, 전술한 바와 같이 천공(25)의 각도를 조절하여 기판(100)의 길이 방향의 끝단으로 많은 양의 유기물질(50)이 향하도록 하여 끝단의 균일도 저하를 방지할 수 있다. As shown in FIG. 4, the perforation 25 may be formed such that the angle toward the center increases toward the outside from the center of the cover part 20. If deposition is performed without adjusting the angle of the perforations 25, the uniformity of the ends in the longitudinal direction is greatly reduced. However, as described above, the organic material 50 may be directed toward the end of the substrate 100 in the longitudinal direction by adjusting the angle of the perforation 25 so that the uniformity of the end may be prevented.

천공(25)은 덮개부(20)의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 천공(25)의 크기가 커지며 인접한 천공(25) 사이의 간격이 좁아지도록 할 수도 있다. 각도 조절뿐만 아니라 천공(25)의 면적과 간격도 조절하여 기판(100)의 길이 방향의 끝단으로 더 많은 양의 유기 물질이 향하도록 하여 끝단의 균일도 저하를 방지할 수 있다. The perforations 25 may have a larger size of the perforations 25 toward the outside from the center of the cover portion 20 and narrow the gap between adjacent perforations 25. In addition to the angle adjustment, the area and the spacing of the perforations 25 may also be adjusted to direct more organic materials toward the ends of the substrate 100 in the longitudinal direction, thereby preventing a decrease in the uniformity of the ends.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 천공(25)의 가이드부(26)를 가지는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 나타내는 단면도이다. 각 천공(25)마다 가이드부(26)를 만들어 증발된 유기물질(50)이 가이드부(26)의 각도에 따라 방향성을 가지며 기판(100)을 향해 움직일 수 있도록 한다. 덮개부(20)의 두께가 얇거나 천공(25)의 면적이 기판(100)의 두께에 비해 상대적으로 넓은 경우, 그리고 각도가 아주 미세하게 조절되어야 하는 경우에는, 도 3과 같이 덮개부(20) 내에 각도를 가지도록 천공(25)을 형성하는 것만으로는, 증발된 유기물질(50)을 일정한 각도로 방향성을 가지면서 이동시킬 수 없다. 따라서, 증발된 유기물질(50)의 방향을 안내하는 가이드부(26)를 각 천공(25)마다 만들어서 증발된 유기물질(50)이 가이드부(26)의 각도에 따라 방향성을 가지며 이동하여 기판(100)에 증착될 수 있도록 한다. 5 is a cross-sectional view illustrating a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film having a guide portion 26 of a perforation 25 according to a first embodiment of the present invention. The guide portion 26 is formed in each of the perforations 25 to allow the evaporated organic material 50 to move toward the substrate 100 with direction according to the angle of the guide portion 26. When the thickness of the cover part 20 is thin or the area of the perforation 25 is relatively large compared to the thickness of the substrate 100, and when the angle is to be adjusted very finely, the cover part 20 as shown in FIG. 3. Only by forming the perforations 25 to have an angle in the), it is not possible to move the evaporated organic material 50 with a certain angle. Therefore, the guide part 26 for guiding the direction of the evaporated organic material 50 is made for each of the perforations 25 so that the evaporated organic material 50 moves in a direction according to the angle of the guide part 26 to move the substrate. To be deposited on (100).

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 각도를 달리하는 복수의 덮개부(20)를 가지는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원을 나타내는 단면도이다. 복수의 도가니(10)가 일렬로 배열되며 총 길이는 기판(100)의 폭보다는 더 크도록 하는 것이 바람직하다. 따라서 각 도가니(10)의 형상은 제 1 실시예에 따른 도가니(10)처럼 한 쪽 방향으로 긴 형상일 필요는 없다. 각각의 도가니(10)는 각각의 덮개부(20)를 가진다. 각 덮개부(20)의 상면에는 길이 방향으로 다수의 천공(25)이 형성되어 있다. 이때 덮개부(20) 내의 천공(25)들로부터 유출되는 증기의 각도는 모두 같으나, 각 덮개부(20)의 천공(25)으로부터 유출되는 증기의 각도는 다른 덮개부의 천공으로부터 유출되는 증기의 각도와 다르게 한다. 바람직하게는, 각 덮개부(20)의 천공(25)으로부터 유출되는 증기의 각도는 중앙의 덮개부(21)에서 외각의 덮개부(22)로 갈수록 중앙을 향하도록 하는 각도가 커져야 한다. 중앙부에 있는 덮개부(21)의 천공(25)은 기판(100)의 수직 방향으로 증기가 유출되도록 천공(25)이 형성되며, 중앙부를 기준으로 좌우 측에 있는 덮개부(22)의 천공(25)은 중앙을 향하여 각도를 가지도록 증기가 유출되도록 천공(25)이 형성된다.6 is a cross-sectional view illustrating a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting diode thin film having a plurality of cover parts 20 having different angles according to a second embodiment of the present invention. It is preferable that the plurality of crucibles 10 are arranged in a line and the total length is larger than the width of the substrate 100. Therefore, the shape of each crucible 10 need not be long in one direction like the crucible 10 according to the first embodiment. Each crucible 10 has a respective lid 20. The upper surface of each cover portion 20 is formed with a plurality of perforations 25 in the longitudinal direction. In this case, the angles of the steam flowing out from the perforations 25 in the cover part 20 are all the same, but the angle of the steam flowing out from the perforation 25 of each cover part 20 is the angle of the steam flowing out from the perforation of the other cover part. Do it differently. Preferably, the angle of the vapor flowing out of the perforation 25 of each cover 20 should be increased so that the angle toward the center toward the cover 22 of the outer shell from the cover 21 in the center. The perforation 25 of the cover portion 21 in the center portion is formed with a perforation 25 so that steam flows out in the vertical direction of the substrate 100, and perforation of the cover portion 22 on the left and right sides based on the center portion ( 25 is formed with perforations 25 to allow steam to flow out at an angle towards the center.

각기 다른 증발 각도를 가지는 증발원을 일렬로 배열하여 천공(25)의 유기물 방출 각도를 조절하여 기판(100)의 길이 방향의 끝단으로 많은 양의 유기물질(50)이 향하도록 하여 끝단의 균일도 저하를 방지할 수 있다. 또한, 다양한 각도를 가지는 덮개부(20)만 제작을 하여 기판(100)의 폭에 따라 알맞은 각도를 가지는 덮개부(20)를 좌우에 놓아 증발 유기물질(50)을 증착하여, 끝단의 균일도 저하를 방지할 수 있으며 유기물의 사용효율을 높일 수 있다. By arranging evaporation sources having different evaporation angles in a row, the organic material emission angle of the perforations 25 is adjusted so that a large amount of organic material 50 is directed toward the end of the substrate 100 in the longitudinal direction to reduce the uniformity of the end. You can prevent it. In addition, only the cover part 20 having various angles is manufactured, and the cover part 20 having a proper angle is placed on the left and right sides according to the width of the substrate 100 to deposit the evaporated organic material 50, thereby reducing the uniformity of the ends. It can prevent and increase the use efficiency of organic matter.

본 발명의 제 1 실시예와 같이 천공으로부터 유출되는 증기의 각도를 조절하기 위해서 각 덮개부의 천공이 각도를 가지도록 형성될 수가 있다. As in the first embodiment of the present invention, in order to adjust the angle of the steam flowing out of the perforations, the perforations of each cover part may be formed to have an angle.

또한, 각 덮개부는 증기의 유출방향을 안내하는 가이드부를 더 포함할 수도 있다. In addition, each cover portion may further include a guide portion for guiding the outflow direction of the steam.

본 발명의 제 1 실시예와 같이 천공은 정렬된 전체 덮개부의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 천공의 크기가 커지며 인접한 천공 사이의 간격이 좁아지도록 할 수도 있다. As in the first embodiment of the present invention, the perforation may be such that the size of the perforation is increased toward the outside from the center of the aligned total cover part and the interval between adjacent perforations may be narrowed.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원의 작용을 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the linear evaporation source for producing an organic light emitting device thin film according to the present invention configured as described above are as follows.

도가니(10)에 덮개부(20)가 덮여지지 않은 상태에서 도가니(10) 내부에 기판(100)에 증착시킬 유기물질(50)을 넣는다. 유기물질(50)로부터 덮개부(20) 또는 기판(100)까지의 수직 거리가 모두 균일하도록 유기물질(50)이 도가니(10) 내 전면적에 대하여 골고루 평탄하게 넣는 것이 바람직하다. 덮개부(20)를 덮고 도가니(10)와 덮개부(20) 사이에 증발한 유기물질(50)이 새어나가지 않도록 밀폐를 시킨다. 도면에 도시되어있지 않지만 도가니(10)를 가열시키는 가열장치를 이용하여 도가니(10)의 온도를 올려 유기물질(50)을 증발시킨다. In the state in which the lid 20 is not covered with the crucible 10, an organic material 50 to be deposited on the substrate 100 is placed inside the crucible 10. It is preferable that the organic material 50 is evenly inserted with respect to the entire surface of the crucible 10 so that the vertical distance from the organic material 50 to the cover 20 or the substrate 100 is uniform. The cover 20 is covered and sealed to prevent leakage of the organic material 50 evaporated between the crucible 10 and the cover 20. Although not shown in the drawing, the temperature of the crucible 10 is raised by using a heating apparatus for heating the crucible 10 to evaporate the organic material 50.

이때, 선형증발원의 길이방향으로 바깥쪽 부분은 중앙에 비해서 증발된 유기물질(50)의 중첩되는 부분이 적기 때문에, 박막의 균일도가 기판(100)의 중심보다 바깥쪽에서 현저하게 작아지게 된다. 그러나, 본 발명은 선형증발원의 길이방향으로 바깥쪽에 있는 천공(25)에 유기물질(50) 방출 각도를 중앙을 향하도록 조절하여 상대적으로 선형증발원에 비해 폭이 좁은 기판(100)의 길이 방향의 끝단으로 많은 양의 유기물질(50)을 보내어서 기판(100) 끝단의 균일도 저하를 방지할 수 있다. At this time, since the outer portion in the longitudinal direction of the linear evaporator has less overlapping portions of the evaporated organic material 50 compared to the center, the uniformity of the thin film becomes significantly smaller at the outer side than the center of the substrate 100. However, the present invention adjusts the organic material 50 release angle toward the center in the perforation 25 on the outside in the longitudinal direction of the linear evaporation source to the center of the longitudinal direction of the substrate 100 narrower than the linear evaporation source By sending a large amount of organic material 50 to the end it can prevent the uniformity of the end of the substrate 100 is reduced.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalent concept are included in the scope of the present invention. Should be interpreted.

상기한 바와 같은 본 발명의 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원 에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다. According to the linear evaporation source for manufacturing the organic light emitting device thin film of the present invention as described above has one or more of the following effects.

첫째, 천공의 간격과 면적뿐만 아니라 천공의 유기물 방출 각도를 조절하여 기판 끝단의 균일도를 향상시키는 장점이 있다. First, there is an advantage of improving the uniformity of the end of the substrate by adjusting the organic emission angle of the perforations as well as the spacing and area of the perforations.

둘째, 증발 유기 물질이 모두 기판을 향하도록 하여 유기물질의 사용 효율을 높이는 장점도 있다. Second, there is also an advantage to increase the use efficiency of the organic material by directing all the evaporated organic material toward the substrate.

Claims (10)

상면은 개방되어 있고 내부에 증착용 물질을 담는 긴 형상의 도가니; 및A crucible of an elongated shape having an upper surface open and containing a material for deposition therein; And 상기 도가니의 상면을 덮고 다수의 증기 유출 천공이 상면에 형성된 덮개부를 포함하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원에 있어서,In the linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film comprising a cover portion which covers the upper surface of the crucible and a plurality of vapor outlet perforations formed on the upper surface, 상기 덮개부의 천공은 증기를 다양한 각도로 유출하도록 형성된 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.The perforation of the cover portion is a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film formed to discharge the steam at various angles. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 덮개부의 천공에서 유출되는 증기의 각도는 상기 덮개부의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 중심을 향하는 각도가 커지도록 형성된 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.The angle of the steam flowing out of the perforation of the cover portion linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film formed so as to increase the angle toward the center from the center toward the outside. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 덮개부의 천공이 각도를 가지며 형성된 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.Linear evaporation source for fabricating the organic light-emitting device thin film formed with a perforation of the cover portion at an angle. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 덮개부는 증기의 유출방향을 안내하는 가이드부를 더 포함하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.The cover part linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film further comprising a guide unit for guiding the outflow direction of the steam. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 천공은 상기 덮개부의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 천공의 크기가 커지며 인접한 천공 사이의 간격이 좁아지는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원. The perforation is a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film that the size of the perforation increases toward the outside from the center of the cover portion is narrowed between the adjacent perforations. 상면은 개방되어 있고 내부에 증착용 물질을 담는 복수의 정렬된 도가니; 및A plurality of aligned crucibles, the upper surface being open and containing a material for deposition therein; And 상기 각 도가니의 상면을 덮고 다수의 증기 유출 천공이 상면에 형성된 복수의 덮개부를 포함하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원에 있어서,In the linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film covering the upper surface of each crucible and comprises a plurality of cover portion formed on the upper surface a plurality of vapor outflow perforations, 상기 각 덮개부 내의 천공의 각도는 모두 같으나 각 덮개부의 천공의 각도는 다른 덮개부의 각도와 다른 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.The angle of perforation in each cover part is the same, but the angle of perforation of each cover part is a linear evaporation source for fabricating the organic light emitting device thin film different from the angle of the other cover part. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 각 덮개부의 천공에서 유출되는 증기의 각도는 중앙의 덮개부에서 외각의 덮개부로 갈수록 중앙을 향하는 각도가 커지도록 형성된 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.The angle of the steam flowing out of the perforations of each cover portion is a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film formed so as to increase the angle toward the center from the cover portion of the center to the outer cover portion. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 각 덮개부의 천공이 각도를 가지며 형성된 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.Linear evaporation source for fabricating the organic light emitting device thin film formed with the perforations of each cover portion formed at an angle. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 각 덮개부는 증기의 유출방향을 안내하는 가이드부를 더 포함하는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원.Each cover portion is a linear evaporation source for manufacturing an organic light emitting device thin film further comprises a guide for guiding the outflow direction of the steam. 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 6 to 9, 상기 천공은 정렬된 전체 덮개부의 중심에서 바깥쪽으로 갈수록 천공의 크기가 커지며 인접한 천공 사이의 간격이 좁아지는 유기발광소자 박막 제작을 위한 선형증발원. The perforation is a linear evaporation source for fabricating an organic light emitting device thin film that the size of the perforation increases toward the outside from the center of the entire cover portion aligned and the gap between the adjacent perforations.
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