KR20070103990A - Apparatus and method of testing display panel - Google Patents

Apparatus and method of testing display panel Download PDF

Info

Publication number
KR20070103990A
KR20070103990A KR1020060035991A KR20060035991A KR20070103990A KR 20070103990 A KR20070103990 A KR 20070103990A KR 1020060035991 A KR1020060035991 A KR 1020060035991A KR 20060035991 A KR20060035991 A KR 20060035991A KR 20070103990 A KR20070103990 A KR 20070103990A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conductive film
signal
film
signal pads
probe
Prior art date
Application number
KR1020060035991A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
송영우
정환경
윤진철
정화규
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060035991A priority Critical patent/KR20070103990A/en
Priority to JP2007097668A priority patent/JP5441315B2/en
Priority to CN2007101010392A priority patent/CN101059605B/en
Publication of KR20070103990A publication Critical patent/KR20070103990A/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136254—Checking; Testing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

An apparatus for testing a display panel and a testing method of the same are provided to detect accurately erroneous states of signal lines, signal pads, and pixels by supplying first and second test signals to the signal pads. An apparatus for testing a display panel includes a probe unit(120) and a conductive film(110). The probe unit includes a plurality of probe pins for applying electrical signals to a plurality of signal pads(106) formed in a display panel. The conductive film is movably installed at a lower end of the probe unit. The apparatus has a first mode and a second mode. The first is formed by inserting a conductive film between the signal pads and the probe pins when the conductive film is moved in a front direction. The second mode is formed by connecting directly the signal pads with the probe pins when the conductive film is moved in a rear direction.

Description

표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법{APPARATUS AND METHOD OF TESTING DISPLAY PANEL}Inspection device and inspection method of display panel {APPARATUS AND METHOD OF TESTING DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating an inspection apparatus of a display panel according to the present invention.

도 2a는 도 1에 도시된 도전 필름이 블럭형으로 형성된 도면이며, 도 2b는 도 1에 도시된 도전 필름이 일체형으로 형성된 도면이다.FIG. 2A is a view in which the conductive film shown in FIG. 1 is formed in a block shape, and FIG. 2B is a view in which the conductive film shown in FIG. 1 is formed integrally.

도 3은 도 1에 도시된 도전 필름을 고정시키기 위한 필름 고정 유닛을 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a film fixing unit for fixing the conductive film shown in FIG. 1.

도 4a 및 도 4b는 도 1에 도시된 도전 필름의 제1 및 제2 실시 예를 나타내는 사시도이다.4A and 4B are perspective views illustrating first and second embodiments of the conductive film illustrated in FIG. 1.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 표시 패널의 신호 라인 및 신호 패드의 불량을 검출하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.5A and 5B are diagrams for describing a method of detecting a defect of signal lines and signal pads of a display panel according to the present invention.

도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 검사 장치의 불량을 검출하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.6A and 6B are views for explaining a method of detecting a failure of the inspection apparatus according to the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 설명><Description of Main Parts of Drawing>

100: 액정 표시 패널 102 : 컬러필터 기판100: liquid crystal display panel 102: color filter substrate

104 : 박막트랜지스터 기판 106 : 신호 패드104: thin film transistor substrate 106: signal pad

108 : 신호 라인 110: 도전 필름108: signal line 110: conductive film

112 : 베이스 필름 114 : 도전막112: base film 114: conductive film

116 : 도전성 고무 120 : 프로브 유닛116: conductive rubber 120: probe unit

122 : 프로브 핀 124 : 프로브 몸체122: probe pin 124: probe body

130 : 필름 블럭 유닛 132 : 필름 고정바130: film block unit 132: film fixing bar

134 : 단턱면 136 : 고정 블럭134: stepped surface 136: fixed block

본 발명은 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것으로, 특히 검사 공정의 검출력을 향상시킬 수 있는 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method of a display panel, and more particularly, to an inspection apparatus and an inspection method of a display panel capable of improving the detection power of an inspection process.

통상, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정 표시 패널에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들 각각이 비디오 신호에 따라 광투과율을 조절하게 함으로써 화상을 표시하게 된다. In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image by allowing each of the liquid crystal cells arranged in a matrix form on a liquid crystal display panel to adjust light transmittance according to a video signal.

이러한 액정 표시 패널은 액정을 사이에 두고 합착제에 의해 합착되는 박막 트랜지스터 기판 및 컬러 필터 기판을 구비한다.Such a liquid crystal display panel includes a thin film transistor substrate and a color filter substrate that are bonded by a binder with a liquid crystal interposed therebetween.

컬러 필터 기판에는 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스와, 컬러 구현을 위한 컬러 필터, 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 상부 배향막을 포함하는 컬러 필터 어레이가 상부기판 상에 형성된다.The color filter substrate includes a color filter array including a black matrix for preventing light leakage, a color filter for realizing color, a common electrode forming a vertical electric field with the pixel electrode, and an upper alignment layer coated thereon for liquid crystal alignment on the upper substrate. Is formed.

박막 트랜지스터 기판에는 하부기판 상에 서로 교차되게 형성된 게이트라인 및 데이터라인과, 그들의 교차부에 형성된 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와, 박막트랜지스터와 접속된 화소전극과, 그들 위에 액정 배향을 위해 도포된 하부 배향막을 포함하는 박막 트랜지스터 어레이가 하부기판 상에 형성된다.The thin film transistor substrate includes a gate line and a data line intersecting each other on a lower substrate, a thin film transistor (TFT) formed at an intersection thereof, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and a liquid crystal alignment thereon. A thin film transistor array including the applied lower alignment layer is formed on the lower substrate.

이러한 종래 액정 표시 패널을 제조하기 위한 제조 공정은 박막트랜지스터 어레이 각각과 컬러필터 어레이 각각이 형성되는 패터닝 공정, 박막트랜지스터 기판과 칼라필터 기판이 액정을 사이에 두고 합착되는 합착 공정, 불량 액정 표시 패널을 검출하는 검사 공정 등으로 나뉘어진다.The manufacturing process for manufacturing the conventional liquid crystal display panel includes a patterning process in which each of the thin film transistor array and the color filter array are formed, a bonding process in which the thin film transistor substrate and the color filter substrate are bonded together with the liquid crystal interposed therebetween, and a bad liquid crystal display panel. It is divided into the inspection process to detect.

이 중 검사 공정은 액정 표시 패널에 구동 집적 회로를 부착하기 전의 상태에서 액정 표시 패널의 불량 유무를 검사하게 된다. 구체적으로, 검사 공정은 백라이트 유닛 및 구동 집적 회로들이 조립된 완제품의 액정 표시 모듈과 동일한 환경으로 조성된 검사 장치로 액정 표시 패널을 이동시킨다. 검사 장치로 이동된 액정 표시 패널에는 액정 표시 모듈을 구동시킬 때와 동일한 구동 신호인 검사 신호가 인가되어 화상이 구현된다. 이 때, 액정 표시 패널의 신호라인에 불량이 발생되는 경우 그 신호 라인과 접속된 화소는 정상 신호 라인과 접속된 화소와 다른 화상을 구현하게 되므로 액정 표시 패널의 불량 상태를 쉽게 확인할 수 있다.Among these inspection processes, the liquid crystal display panel is inspected for defects before the driving integrated circuit is attached to the liquid crystal display panel. Specifically, the inspection process moves the liquid crystal display panel to the inspection apparatus formed in the same environment as the liquid crystal display module of the finished product in which the backlight unit and the driving integrated circuits are assembled. The inspection signal, which is the same driving signal as when the liquid crystal display module is driven, is applied to the liquid crystal display panel moved to the inspection apparatus to realize an image. In this case, when a defect occurs in a signal line of the liquid crystal display panel, the pixel connected to the signal line may implement a different image from the pixel connected to the normal signal line, so that the defective state of the liquid crystal display panel may be easily confirmed.

이와 같은 검사 공정시 신호 라인에 검사 신호를 공급하기 위해 신호 라인과 접속된 신호 패드들 각각은 프로브 핀과 일대일로 접속된다.In this test process, each of the signal pads connected to the signal line is connected one-to-one with the probe pin to supply the test signal to the signal line.

그러나, 신호 패드에 이물이 발생되거나 프로브 핀에 손상이 발생되는 경우 또는 신호 패드와 프로브 핀 사이에 미스얼라인이 발생되는 경우, 액정 표시 패널에 구현되는 화상이 동일하므로 작업자는 신호 패드의 단선에 의한 불량인지 프로브 핀에 의한 불량인지 쉽게 판별할 수 없는 문제점이 있다.However, when foreign matter occurs on the signal pad or damage occurs on the probe pin, or when a misalignment occurs between the signal pad and the probe pin, the image implemented on the liquid crystal display panel is the same, so that the operator may be disconnected from the signal pad. There is a problem that can not easily determine whether the failure by the probe pin or the failure.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 검사 공정의 검출력을 향상시킬 수 있는 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an inspection apparatus and an inspection method of a display panel which can improve the detection power of an inspection process.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치는 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드에 전기적 신호를 인가하는 다수의 프로브 핀을 가지는 프로브 유닛과; 상기 프로브 유닛 하단에서 전후로 이동 가능한 도전 필름을 포함하며, 상기 도전 필름이 전방으로 이동한 경우 상기 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 상기 도전 필름이 개재되는 제1 모드와, 상기 도전 필름이 후방으로 이동한 경우, 상기 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀이 직접 접속하는 제2 모드를 갖는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, an inspection apparatus of a display panel according to the present invention includes a probe unit having a plurality of probe pins for applying an electrical signal to a plurality of signal pads formed on the display panel; And a conductive film movable back and forth from the lower end of the probe unit, wherein the conductive film is interposed between the plurality of signal pads and the probe pin when the conductive film moves forward, and the conductive film is rearward. In case of moving to, the probe pin has a second mode in which the probe pin is directly connected to the plurality of signal pads.

상기 도전 필름의 제1 실시 예는 베이스 필름과; 상기 베이스 필름 상에 형성되며 상기 신호 패드들과 접속되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 한다.A first embodiment of the conductive film is a base film; And a conductive film formed on the base film and connected to the signal pads.

상기 도전 필름의 제2 실시 예는 베이스 필름과; 상기 신호 패드들과 접속되 는 영역의 상기 베이스 필름 상에 형성되는 도전성 고무와; 상기 베이스 필름의 나머지 영역 상에 형성되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 한다.A second embodiment of the conductive film is a base film; Conductive rubber formed on the base film in an area connected with the signal pads; It characterized in that it comprises a conductive film formed on the remaining area of the base film.

여기서, 상기 도전막은 BeCu로 형성되는 것을 특징으로 한다.Here, the conductive film is characterized in that it is formed of BeCu.

한편, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치는 상기 도전 필름의 위치를 조정함과 아울러 도전 필름을 고정시키는 필름 블럭 유닛을 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the inspection apparatus of the display panel according to the invention is characterized in that it further comprises a film block unit for fixing the conductive film while adjusting the position of the conductive film.

여기서, 상기 필름 블럭 유닛은 상기 도전 필름이 안착되는 단턱면을 가지는 필름 고정바와; 상기 단턱면 상에 안착되는 도전 필름을 고정시키는 고정 블럭과; 상기 필름 블럭 유닛의 위치를 조정하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.The film block unit may include a film fixing bar having a stepped surface on which the conductive film is seated; A fixing block fixing the conductive film seated on the stepped surface; It characterized in that it comprises a cylinder for adjusting the position of the film block unit.

상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 한다.The conductive film is distinguished and connected by a plurality of signal pads corresponding to each driving integrated circuit.

상기 제1 모드에서는 상기 프로브 핀에 동일한 전기적 신호가 인가되며, 상기 제2 모드에서는 상기 프로브 핀에 적어도 2 이상의 서로 다른 전기적 신호가 인가되는 것을 특징으로 한다.In the first mode, the same electrical signal is applied to the probe pin, and in the second mode, at least two or more different electrical signals are applied to the probe pin.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 방법은 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 도전 필름이 개재되도록 상기 도전 필름을 전방으로 이동시키는 단계와; 상기 도전 필름과 접속된 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀을 이용하여 1차 전기적 신호를 공급하는 단계와; 상기 도전 필름을 후방으로 이동시켜 상기 다수의 신호 패드에 상기 프로브 핀을 직접 접속시키는 단계와; 상기 다수의 신호 패드들 각각에 상기 프로브 핀 을 이용하여 2차 전기적 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, an inspection method of a display panel according to the present invention comprises the steps of moving the conductive film forward so that the conductive film is interposed between the plurality of signal pads and the probe pin formed on the display panel; Supplying a primary electrical signal to the plurality of signal pads connected to the conductive film using the probe pins; Moving the conductive film backwards to directly connect the probe pins to the plurality of signal pads; And supplying a second electrical signal to each of the plurality of signal pads by using the probe pin.

여기서, 상기 1차 전기적 신호를 공급하는 단계는 상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 동일한 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The supplying of the primary electrical signal may include supplying the same test signal to the plurality of signal pads by using the probe pin.

그리고, 상기 2차 전기적 신호를 공급하는 단계는 상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 적어도 2 이상의 서로 다른 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The supplying of the secondary electrical signal may include supplying at least two different test signals to the plurality of signal pads by using the probe pin.

한편, 상기 도전 필름은 필름 블럭 유닛에 고정되어 상기 전후로 이동가능한 것을 특징으로 한다.On the other hand, the conductive film is fixed to the film block unit is characterized in that the movable back and forth.

또한, 상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 한다.In addition, the conductive film may be divided and connected to each of a plurality of signal pads corresponding to each driving integrated circuit.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 1 내지 도 6b를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 6B.

도 1은 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating an inspection apparatus of a display panel according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치는 신호 패드(106)와 선택적으로 접속되는 도전 필름(110)과, 신호 패드(106)에 검사 신호를 공급하는 프로브 유닛(120)을 구비한다.Referring to FIG. 1, an inspection apparatus of a display panel according to an exemplary embodiment includes a conductive film 110 selectively connected to a signal pad 106, and a probe unit 120 supplying an inspection signal to the signal pad 106. Equipped.

도전 필름(110)은 도 2a에 도시된 바와 같이 각 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들(106)로 이루어진 2개 이하의 블럭 단위로 형성되거나 도 2b에 도시된 바와 같이 다수의 신호 패드들(106)과 모두 접속되도록 일체형 단위로 형성된 다. 블럭 단위 또는 일체형 단위로 형성된 도전 필름(110)은 신호 패드(106)와 프로브 핀(122) 사이에서 이들을 접촉시킨다. 이에 따라, 프로브 핀(122)을 통해 블랙 검사 신호는 도전 필름(110)과 접속된 신호 패드(106)에 공급된다. 이 경우, 정상 신호 패드(106) 및 정상 신호 라인(108)과 접속된 화소는 블랙을 구현하는 반면에 불량 신호 패드(106) 및/또는 불량 신호 라인(108)과 접속된 화소는 해당 화소의 색을 구현하게 된다. 이와 같이, 도전 필름(110)은 신호 패드(106) 및 그 신호 패드(106)와 접속된 신호 라인(108)의 단선을 검출하는 데 이용된다. The conductive film 110 may be formed in a unit of two or less blocks consisting of a plurality of signal pads 106 corresponding to each integrated circuit as shown in FIG. 2A or a plurality of signal pads as shown in FIG. 2B. It is formed in a unitary unit so as to be connected to all of the 106. The conductive film 110 formed in a block unit or an integral unit makes contact between the signal pad 106 and the probe pin 122. Accordingly, the black test signal is supplied to the signal pad 106 connected with the conductive film 110 through the probe pin 122. In this case, a pixel connected with the normal signal pad 106 and the normal signal line 108 realizes black, while a pixel connected with the bad signal pad 106 and / or the bad signal line 108 is formed of the pixel. You will implement color. In this way, the conductive film 110 is used to detect disconnection of the signal pad 106 and the signal line 108 connected to the signal pad 106.

이러한 도전 필름(110)은 도 3에 도시된 필름 블럭 유닛(130)에 안착되어 고정된다. 필름 블럭 유닛(130)은 단턱면(134)을 가지는 필름 고정바(132)와, 단턱면(134) 상에 안착되는 도전 필름(110)을 고정시키는 고정 블럭(136)을 포함한다. 또한, 필름 블럭 유닛(130)에 형성된 실린더(도시하지 않음)는 필름 블럭 유닛(130)을 수평 및/또는 수직 방향으로 직선 운동시킨다. 이러한 실린더에 의해 필름 블럭 유닛(130)에 고정된 도전 필름(110)은 자동으로 신호 패드(106)에 접속되거나 비접속된다.The conductive film 110 is seated and fixed to the film block unit 130 shown in FIG. 3. The film block unit 130 includes a film fixing bar 132 having a stepped surface 134 and a fixing block 136 for fixing the conductive film 110 seated on the stepped surface 134. In addition, a cylinder (not shown) formed in the film block unit 130 causes the film block unit 130 to linearly move in the horizontal and / or vertical direction. The conductive film 110 fixed to the film block unit 130 by this cylinder is automatically connected to or disconnected from the signal pad 106.

한편, 도전 필름(110)은 도 4a에 도시된 바와 같이 베이스 필름(112) 상에 도전성 재질로 형성된 도전막(114)으로 이루어진다. 또는 도 4b에 도시된 바와 같이 신호 패드(106)와 접속되는 영역의 베이스 필름(112) 상에 형성된 도전성 고무(116)와, 신호 패드(106)와 비접속되는 영역의 베이스 필름(112) 상에 도전성 재질로 형성된 도전막(114)으로 이루어진다. 여기서, 도전막(114)은 예를 들어 약 20~100㎛ 두께의 BeCu로 형성된다. 도전성 고무(116)는 신호 패드(106)와의 접촉 력을 향상시키기 위해 탄성을 가지는 재질로 형성된다.Meanwhile, the conductive film 110 is formed of a conductive film 114 formed of a conductive material on the base film 112 as shown in FIG. 4A. Alternatively, as illustrated in FIG. 4B, the conductive rubber 116 formed on the base film 112 in the region connected to the signal pad 106 and the base film 112 in the region not connected to the signal pad 106. And a conductive film 114 formed of a conductive material. Here, the conductive film 114 is formed of BeCu having a thickness of about 20 to 100 μm, for example. The conductive rubber 116 is formed of a material having elasticity to improve the contact force with the signal pad 106.

프로브 유닛(120)은 프로브 몸체(124)와, 프로브 몸체(124)로부터 돌출된 프로브 핀(122)을 포함한다.The probe unit 120 includes a probe body 124 and a probe pin 122 protruding from the probe body 124.

프로브 몸체(124)에는 프로브 핀(122)이 고정되며, 프로브 몸체(124)에 고정된 프로브 핀(122)은 프로브 몸체(124)의 이동에 따라서 위치가 조정된다.The probe pin 122 is fixed to the probe body 124, and the probe pin 122 fixed to the probe body 124 is adjusted in position according to the movement of the probe body 124.

프로브 핀(120)은 신호 패드(106) 및/또는 신호 라인(108)의 불량 검사시 도전 필름(110)을 통해 신호 패드(106)와 블럭 단위 또는 일체형 단위로 접속된다. 그리고, 프로브 핀(120)은 그 프로브 핀(120) 자체의 불량 검사시 신호 패드(106)와 일대일로 직접 접속된다. 이러한 프로브 핀(120)은 프로브 유닛(120)과 접속된 검사 장치(도시하지 않음)로부터의 블랙 검사 신호를 신호 패드들(106)에 공급한다.The probe pin 120 is connected to the signal pad 106 in a block unit or an integral unit through the conductive film 110 during the defect inspection of the signal pad 106 and / or the signal line 108. In addition, the probe pin 120 is directly connected one-to-one with the signal pad 106 during the defect inspection of the probe pin 120 itself. The probe pin 120 supplies the black test signal from the test device (not shown) connected to the probe unit 120 to the signal pads 106.

한편, 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)이 형성된 표시 패널(100)은 액정을 사이에 두고 합착된 박막 트랜지스터 기판(104) 및 칼라 필터 기판(102)으로 이루어진 액정 표시 패널(100)에 적용가능한다. 이 액정 표시 패널(100)의 게이트 라인에 게이트 신호를 공급하는 게이트 집적 회로는 게이트 테이프 캐리어 패키지(Tape Carrier Package : TCP) 상에 실장된다. 또는 다수의 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하는 쉬프트 레지스터로 구성되므로 액정 표시 패널(100)의 각 화소와 접속된 박막 트랜지스터(TFT) 및 다수의 신호 라인들과 함께 형성되어 비표시 영역에 내장된다. Meanwhile, the display panel 100 having the signal pad 106 and the signal line 108 formed on the liquid crystal display panel 100 including the thin film transistor substrate 104 and the color filter substrate 102 bonded together with the liquid crystal interposed therebetween. Applicable. A gate integrated circuit for supplying a gate signal to the gate line of the liquid crystal display panel 100 is mounted on a gate tape carrier package (TCP). Alternatively, the shift register includes a shift register including a plurality of thin film transistors (TFTs), and is formed together with the thin film transistors (TFTs) and the plurality of signal lines connected to each pixel of the liquid crystal display panel 100 and embedded in the non-display area.

또한, 도 1에 도시된 표시 패널은 액정 표시 패널 뿐만 아니라 플라즈마 디 스플레이 패널(PDP), 전계 발광 소자(EL) 및 전계 방출 소자(FED) 등에도 적용가능하다. In addition, the display panel illustrated in FIG. 1 may be applied not only to a liquid crystal display panel but also to a plasma display panel (PDP), an electroluminescent element (EL), and a field emission element (FED).

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 방법을 설명하기 위한 사시도 및 단면도이다.5 and 6 are a perspective view and a cross-sectional view for explaining a method of inspecting a display panel according to the present invention.

먼저, 필름 블럭 유닛(130)에 고정된 도전 필름(110)은 필름 블럭 유닛(130)의 실린더에 의해 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)쪽인 전방으로 이동하게 된다. 그런 다음, 액정 표시 패널(100)은 도시하지 않은 로딩 장치에 의해 도전 필름(110)쪽으로 상승하여 그 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)와 도전 필름(110)이 접속하게 된다. 이 때, 도전 필름(110)은 적어도 하나의 블럭 각각에 포함된 다수개의 신호 패드(106)들을 전기적으로 단락시킨다. First, the conductive film 110 fixed to the film block unit 130 is moved forward by the cylinder of the film block unit 130 toward the signal pad 106 of the liquid crystal display panel 100. Then, the liquid crystal display panel 100 is raised toward the conductive film 110 by a loading device (not shown), and the signal pad 106 and the conductive film 110 of the liquid crystal display panel 100 are connected to each other. In this case, the conductive film 110 electrically shorts the plurality of signal pads 106 included in each of the at least one block.

도전 필름(110)을 통해 단락된 신호 패드(106)들은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 도전 필름(110)쪽으로 하강하는 프로브 유닛(120)의 프로브 핀(122)과 접속하게 된다. 프로브 핀(122)은 프로브 유닛(120)과 접속된 검사 장치(도시하지 않음)로부터의 블랙 신호인 1차 검사 신호를 블럭 단위로 단락된 신호 패드들(106)에 공급한다. 이 때, 각 블럭에 포함된 신호 패드들(106) 중 적어도 어느 하나 또는 각 블럭과 대응되는 프로브 핀(122) 중 적어도 어느 하나에 손상이 발생되더라도 도전 필름(110)을 통해 각 블럭의 신호 패드(106)에 동일한 검사 신호를 공급할 수 있다. 이에 따라, 프로브 핀(122)과 신호 패드(106)와의 접촉 불량을 방지할 수 있다. 신호 패드들(106)에 공급된 검사 신호는 그 신호 패드(106)와 접속된 신호 라인(108)을 통해 그 신호 라인(108)과 접속된 화소에 공급된다. The signal pads 106 shorted through the conductive film 110 are connected to the probe pins 122 of the probe unit 120 descending toward the conductive film 110 as shown in FIGS. 5A and 5B. The probe pin 122 supplies the primary test signal, which is a black signal from an inspection device (not shown) connected to the probe unit 120, to the signal pads 106 shorted in blocks. At this time, even if damage occurs in at least one of the signal pads 106 included in each block or at least one of the probe pins 122 corresponding to each block, the signal pads of each block through the conductive film 110. The same test signal can be supplied to 106. Accordingly, poor contact between the probe pin 122 and the signal pad 106 can be prevented. The test signal supplied to the signal pads 106 is supplied to the pixel connected to the signal line 108 through the signal line 108 connected to the signal pad 106.

그런 다음, 작업자는 육안 검사 또는 광학 기구에 의한 자동 검사를 통해 액정 표시 패널(100)에 표시된 화상에 따라 액정 표시 패널(100)의 불량을 판별하게 된다. 즉, 정상 신호 패드(106) 및 정상 신호 라인(108)과 접속된 화소는 블랙 화상을 구현하는 반면에 불량 신호 패드(106) 및/또는 불량 신호 라인(108)과 접속된 화소는 해당 화소의 색을 구현하게 된다. 이와 같이, 도전 필름(110)을 통해 불량 신호 패드(106), 불량 신호 라인(108) 및 불량 화소를 검출할 수 있다.Then, the operator determines the failure of the liquid crystal display panel 100 according to the image displayed on the liquid crystal display panel 100 through visual inspection or automatic inspection by an optical instrument. That is, a pixel connected with the normal signal pad 106 and the normal signal line 108 realizes a black image, while a pixel connected with the bad signal pad 106 and / or the bad signal line 108 is a pixel of the pixel. You will implement color. As such, the bad signal pad 106, the bad signal line 108, and the bad pixel may be detected through the conductive film 110.

그런 다음, 액정 표시 패널(100)은 로딩 장치(도시하지 않음)에 의해 도전 필름(110)과 반대 방향쪽으로 하강하게 된다. 도전 필름(110)은 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 필름 블럭 유닛(130)의 실린더에 의해 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)와 멀어지게 후방으로 이동하게 된다. Then, the liquid crystal display panel 100 is lowered in the opposite direction to the conductive film 110 by a loading device (not shown). As illustrated in FIGS. 6A and 6B, the conductive film 110 moves rearward away from the signal pad 106 of the liquid crystal display panel 100 by the cylinder of the film block unit 130.

이 후, 액정 표시 패널(100)의 신호 패드(106)는 그 신호 패드(106)쪽으로 하강하게 되는 프로브 유닛(120)을 통해 프로브 핀(122)과 접속하게 된다. 이 때, 프로브 핀(122)은 신호 패드(106)들 각각과 일대일 대응된다. 프로브 핀(122)과 일대일로 접속된 신호 패드(106)는 프로브 유닛(120)과 접속된 검사 장치(도시하지 않음)로부터 블랙 신호인 2차 검사 신호가 공급된다. 여기서, 2차 검사 신호는 1차 검사 신호와 동일하거나 다를 수도 있으며, 2차 검사 신호는 적어도 2 이상의 서로 다른 검사 신호일 수도 있다. 이 2차 검사 신호는 그 신호 패드(106)와 접속된 신호 라인(108)을 통해 그 신호 라인(108)과 접속된 화소에 공급된다. Thereafter, the signal pad 106 of the liquid crystal display panel 100 is connected to the probe pin 122 through the probe unit 120 which is lowered toward the signal pad 106. In this case, the probe pins 122 correspond one-to-one with each of the signal pads 106. The signal pad 106 connected one-to-one with the probe pin 122 is supplied with a second inspection signal, which is a black signal, from an inspection device (not shown) connected with the probe unit 120. Here, the secondary test signal may be the same as or different from the primary test signal, and the secondary test signal may be at least two different test signals. This secondary test signal is supplied to the pixel connected with the signal line 108 through the signal line 108 connected with the signal pad 106.

그런 다음 작업자는 육안 검사 또는 광학 기구에 의한 자동 검사를 통해 액정 표시 패널(100)에 표시된 화상에 따라 액정 표시 패널(100)의 불량을 판별하게 된다. 즉, 정상 신호 패드(106) 및 정상 신호 라인(108)과 접속된 화소는 블랙 화상을 구현하는 반면에 불량 신호 패드(106) 및/또는 불량 신호 라인(108)과 접속된 화소는 해당 화소의 색을 구현하게 된다. Then, the operator determines the failure of the liquid crystal display panel 100 according to the image displayed on the liquid crystal display panel 100 through visual inspection or automatic inspection by an optical instrument. That is, a pixel connected with the normal signal pad 106 and the normal signal line 108 realizes a black image, while a pixel connected with the bad signal pad 106 and / or the bad signal line 108 is a pixel of the pixel. You will implement color.

이 때, 1차 검사 공정과 2차 검사 공정시 중복 검출된 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)은 단선이 발생되거나 이물이 발생된 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)이다. 반면에 1차 검사 공정시 검출되지 않고 2차 검사 공정시 검출된 신호 패드(106) 및 신호 라인(108)은 그 신호 패드(106)와 대응되는 프로브 핀(122)의 불량이다. 이와 같이, 2차 검사 공정에서는 프로브 핀(122)과 신호 패드(106)를 일대일 대응시켜 프로브 핀(122)의 불량을 검출할 수 있다.At this time, the signal pad 106 and the signal line 108 which are overlapped and detected in the first inspection process and the second inspection process are the signal pads 106 and the signal line 108 in which disconnection or foreign matter is generated. On the other hand, the signal pad 106 and the signal line 108 which are not detected in the first inspection process but detected in the second inspection process are defective of the probe pin 122 corresponding to the signal pad 106. As described above, in the second inspection process, the probe pin 122 and the signal pad 106 may be corresponded one-to-one to detect a failure of the probe pin 122.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법은 적어도 하나의 블럭으로 이루어진 다수의 신호 패드들을 전기적으로 단락시켜 다수의 신호 패드들에 동일한 1차 검사 신호를 공급한 후 다수의 신호 패드들 각각에 2차 검사 신호를 공급한다. As described above, the inspection apparatus and the inspection method of the display panel according to the present invention by electrically shorting a plurality of signal pads consisting of at least one block to supply the same primary inspection signal to the plurality of signal pads, The secondary test signal is supplied to each of the signal pads.

이에 따라, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법은 1 및 2차 검사 신호를 이용한 검사 공정에 의해 신호 라인, 신호 패드, 화소들의 불량 유무 판단의 정확성이 높아진다. 또한, 본 발명에 따른 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법은 부수적으로 신호 패드들과 접속되는 프로브 핀의 불량 유무를 판단할 수도 있다.Accordingly, in the inspection apparatus and the inspection method of the display panel according to the present invention, the accuracy of determining whether the signal line, the signal pad, and the pixels are defective is increased by the inspection process using the first and second inspection signals. In addition, the inspection apparatus and the inspection method of the display panel according to the present invention may additionally determine whether the probe pin connected to the signal pads is defective.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (13)

표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드에 전기적 신호를 인가하는 다수의 프로브 핀을 가지는 프로브 유닛과;A probe unit having a plurality of probe pins for applying electrical signals to a plurality of signal pads formed in the display panel; 상기 프로브 유닛 하단에서 전후로 이동 가능한 도전 필름을 포함하며,It includes a conductive film movable back and forth from the bottom of the probe unit, 상기 도전 필름이 전방으로 이동한 경우 상기 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 상기 도전 필름이 개재되는 제1 모드와, 상기 도전 필름이 후방으로 이동한 경우, 상기 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀이 직접 접속하는 제2 모드를 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.A first mode in which the conductive film is interposed between the plurality of signal pads and the probe pin when the conductive film is moved forward, and the probe is mounted on the plurality of signal pads when the conductive film is moved backward And a second mode in which pins are directly connected. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도전 필름은The conductive film is 베이스 필름과;A base film; 상기 베이스 필름 상에 형성되며 상기 신호 패드들과 접속되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.And a conductive layer formed on the base film and connected to the signal pads. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도전 필름은The conductive film is 베이스 필름과;A base film; 상기 신호 패드들과 접속되는 영역의 상기 베이스 필름 상에 형성되는 도전 성 고무와;Conductive rubber formed on the base film in an area in contact with the signal pads; 상기 베이스 필름의 나머지 영역 상에 형성되는 도전막을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.And a conductive film formed on the remaining area of the base film. 제 2 항 및 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 and 3, 상기 도전막은 BeCu로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.And the conductive film is formed of BeCu. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도전 필름의 위치를 조정함과 아울러 도전 필름을 고정시키는 필름 블럭 유닛을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.And a film block unit for adjusting the position of the conductive film and fixing the conductive film. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 필름 블럭 유닛은The film block unit 상기 도전 필름이 안착되는 단턱면을 가지는 필름 고정바와;A film fixing bar having a stepped surface on which the conductive film is seated; 상기 단턱면 상에 안착되는 도전 필름을 고정시키는 고정 블럭과;A fixing block fixing the conductive film seated on the stepped surface; 상기 필름 블럭 유닛의 위치를 조정하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.And a cylinder for adjusting the position of the film block unit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.And the conductive film is divided and connected to each of a plurality of signal pads corresponding to each driving integrated circuit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 모드에서는 상기 프로브 핀에 동일한 전기적 신호가 인가되며,In the first mode, the same electrical signal is applied to the probe pin. 상기 제2 모드에서는 상기 프로브 핀에 적어도 2 이상의 서로 다른 전기적 신호가 인가되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.And at least two different electrical signals are applied to the probe pins in the second mode. 표시 패널에 형성된 다수의 신호 패드와 상기 프로브 핀 사이에 도전 필름이 개재되도록 상기 도전 필름을 전방으로 이동시키는 단계와;Moving the conductive film forward so that the conductive film is interposed between the plurality of signal pads formed on the display panel and the probe pin; 상기 도전 필름과 접속된 다수의 신호 패드들에 상기 프로브 핀을 이용하여 1차 전기적 신호를 공급하는 단계와;Supplying a primary electrical signal to the plurality of signal pads connected to the conductive film using the probe pins; 상기 도전 필름을 후방으로 이동시켜 상기 다수의 신호 패드에 상기 프로브 핀을 직접 접속시키는 단계와;Moving the conductive film backwards to directly connect the probe pins to the plurality of signal pads; 상기 다수의 신호 패드들 각각에 상기 프로브 핀을 이용하여 2차 전기적 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사방법.And supplying a second electrical signal to each of the plurality of signal pads by using the probe pin. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 1차 전기적 신호를 공급하는 단계는 Supplying the primary electrical signal 상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 동일한 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.And supplying the same test signal to the plurality of signal pads by using the probe pins. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 2차 전기적 신호를 공급하는 단계는 Supplying the secondary electrical signal 상기 프로브 핀을 이용하여 상기 다수의 신호 패드들에 적어도 2 이상의 서로 다른 검사 신호를 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.And supplying at least two different test signals to the plurality of signal pads using the probe pins. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 도전 필름은 필름 블럭 유닛에 고정되어 상기 전후로 이동가능한 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.And the conductive film is fixed to the film block unit and is movable back and forth. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 도전 필름은 각 구동 집적 회로 당 대응되는 다수의 신호 패드들별로 구분되어 접속되는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.And the conductive film is divided and connected to each of a plurality of signal pads corresponding to each driving integrated circuit.
KR1020060035991A 2006-04-21 2006-04-21 Apparatus and method of testing display panel KR20070103990A (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060035991A KR20070103990A (en) 2006-04-21 2006-04-21 Apparatus and method of testing display panel
JP2007097668A JP5441315B2 (en) 2006-04-21 2007-04-03 Display panel inspection device
CN2007101010392A CN101059605B (en) 2006-04-21 2007-04-23 Apparatus and method of testing display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060035991A KR20070103990A (en) 2006-04-21 2006-04-21 Apparatus and method of testing display panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070103990A true KR20070103990A (en) 2007-10-25

Family

ID=38763484

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060035991A KR20070103990A (en) 2006-04-21 2006-04-21 Apparatus and method of testing display panel

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5441315B2 (en)
KR (1) KR20070103990A (en)
CN (1) CN101059605B (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100958007B1 (en) * 2008-07-30 2010-05-17 삼성모바일디스플레이주식회사 Testing Apparatus for Testing Flat Display Panel
KR101322725B1 (en) * 2012-03-20 2013-10-28 (주) 루켄테크놀러지스 Probe unit
CN110880288A (en) * 2019-03-29 2020-03-13 友达光电股份有限公司 Display device and method for manufacturing the same
KR20200062339A (en) * 2017-10-18 2020-06-03 선전 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 세미컨덕터 디스플레이 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 PSVA liquid crystal display panel

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5432460B2 (en) * 2008-02-25 2014-03-05 株式会社日本マイクロニクス Inspection device
CN103094737A (en) * 2011-11-05 2013-05-08 宝宸（厦门）光学科技有限公司 Pin structure and pin connecting structure
CN104614911A (en) * 2015-03-03 2015-05-13 京东方科技集团股份有限公司 Substrate as well as manufacturing method and display device thereof
CN107463014A (en) 2017-09-26 2017-12-12 武汉华星光电技术有限公司 Array base palte and array base palte test structure
CN109003566B (en) * 2018-06-19 2021-07-13 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 Detection device and detection method for display panel

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62284384A (en) * 1986-06-03 1987-12-10 日立電子エンジニアリング株式会社 Probing system
JP2865323B2 (en) * 1989-09-20 1999-03-08 三洋電機株式会社 Liquid crystal display
KR100299681B1 (en) * 1998-09-03 2001-10-27 윤종용 LCD Display
KR100586007B1 (en) * 2004-08-04 2006-06-08 주식회사 코디에스 Probe Unit for inspection of Flat Display Panels
JP2006071405A (en) * 2004-09-01 2006-03-16 Yamaha Corp Probe unit

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100958007B1 (en) * 2008-07-30 2010-05-17 삼성모바일디스플레이주식회사 Testing Apparatus for Testing Flat Display Panel
KR101322725B1 (en) * 2012-03-20 2013-10-28 (주) 루켄테크놀러지스 Probe unit
KR20200062339A (en) * 2017-10-18 2020-06-03 선전 차이나 스타 옵토일렉트로닉스 세미컨덕터 디스플레이 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 PSVA liquid crystal display panel
CN110880288A (en) * 2019-03-29 2020-03-13 友达光电股份有限公司 Display device and method for manufacturing the same
CN110880288B (en) * 2019-03-29 2022-09-02 友达光电股份有限公司 Display device and method for manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
CN101059605A (en) 2007-10-24
CN101059605B (en) 2010-09-01
JP2007292750A (en) 2007-11-08
JP5441315B2 (en) 2014-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5441315B2 (en) Display panel inspection device
US7362124B2 (en) Method and apparatus for testing liquid crystal display using electrostatic devices
US7852104B2 (en) Liquid crystal display device and testing method thereof
US6759867B2 (en) Inspection apparatus for liquid crystal display device
US7995184B2 (en) Display substrate, liquid crystal display device including the same, and method of repairing the same
CN107942547B (en) Lighting and back lighting fixture and method for detecting panel
US8193826B2 (en) Auto probe device and method of testing liquid crystal panel using the same
JP2011137795A (en) Apparatus for testing array
KR102578737B1 (en) Display device
KR101585253B1 (en) Liquid crystal display device
KR101594622B1 (en) Liquid Crystal Display device
KR20120075096A (en) Liquid crystal display device and inspection method thereof
KR20080027569A (en) Apparatus and method of testing display panel
KR102016076B1 (en) Testing apparatus and method for flat display device
KR101152491B1 (en) Liquid crystal display device
KR101140257B1 (en) Apparatus for testing array
KR102023926B1 (en) Method and apparatus for testing flat panel display
KR20070109357A (en) Liquid crystal display panel testing device and testing method thereof
KR101920224B1 (en) test apparatus for liquid crystal panel and test method using the same
KR100671342B1 (en) Apparatus and method for inspecting electricity-driven device
KR101192072B1 (en) Liquid crystal display device
KR20070121286A (en) Apparatus for testing fpd and drive method thereof
KR20110055861A (en) Inspection device of liquid crystal display device
KR20040095048A (en) Testing Apparatus of Liquid Crystal Display Panel
KR20070039837A (en) Liquid crystal display panel and apparatus for and method of testing lcd panel

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination