KR20070080964A - Thin film transistor array panel for display device and method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이다.1 is a layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 II-II선을 자른 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이다.3 is a layout view briefly illustrating a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 도 3의 IV-IV선을 자른 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 3.
도 5는 도 3의 V-V선을 자른 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along line V-V of FIG. 3.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이다.6 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 7은 도 6의 VII-VII선을 자른 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 6.
도 8은 도 6의 VIII-VIII선을 자른 단면도이다.FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line VIII-VIII of FIG. 6.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이다.9 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 10은 도 9의 X-X선을 자른 단면도이다.10 is a cross-sectional view taken along line X-X of FIG. 9.
도 11은 도 9의 XI-XI선을 자른 단면도이다.FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line XI-XI of FIG. 9. FIG.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하 게 도시한 배치도이다.12 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 13은 도 12의 XIII-XIII선을 자른 단면도이다.FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line XIII-XIII of FIG. 12.
도 14는 도 12의 XIV-XIV선을 자른 단면도이다.14 is a cross-sectional view taken along the line XIV-XIV of FIG. 12.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이다.15 is a layout view briefly illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 16은 도 15의 XVI-XVI선을 자른 단면도이다.FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line XVI-XVI of FIG. 15.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이다.17 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 18은 도 17의 XVIII-XVIII선을 자른 단면도이다.FIG. 18 is a cross-sectional view taken along the line XVIII-XVIII of FIG. 17.
도 19는 도 17의 XIX-XIX선을 자른 단면도이다.19 is a cross-sectional view taken along line XIX-XIX of FIG. 17.
도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이다.20 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 21은 도 20의 XXI-XXI선을 자른 단면도이다.21 is a cross-sectional view taken along the line XXI-XXI of FIG. 20.
도 22는 도 20의 XXII-XXII선을 자른 단면도이다.FIG. 22 is a cross-sectional view taken along the line XXII-XXII of FIG. 20.
<도면 부호의 설명><Description of Drawing>
110: 절연 기판 121: 게이트선110: insulating substrate 121: gate line
124: 게이트 전극 133a, 133b: 유지 전극 세로부124:
140: 게이트 절연막 151, 154: 반도체140: gate
161, 163, 165: 저항성 접촉층 171: 데이터선161, 163, and 165: ohmic contact layer 171: data line
173: 소스 전극 175: 드레인 전극173: source electrode 175: drain electrode
180: 보호막 191: 화소 전극180: protective film 191: pixel electrode
181, 182, 183a, 183b, 185: 접촉 구멍181, 182, 183a, 183b, 185: contact hole
81, 82: 접촉 보조 부재 83: 연결 다리81, 82: contact auxiliary member 83: connecting leg
220: 블랙 매트릭스 230: 컬러 필터220: black matrix 230: color filter
본 발명은 컬러 필터를 포함하는 박막 트랜지스터 표시판에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor array panel including a color filter.
일반적으로 액정 표시 장치는 가장 널리 사용되는 평판 표시 장치 중 하나로서, 화소 전극과 공통 전극 등 전기장을 생성하는 전계 생성 전극을 가지고 있으며, 간극(間隙)을 두고 있는 두 표시판과 표시판 사이의 간극에 채워진 액정층을 포함한다. 이러한 액정 표시 장치에서는 두 전계 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전계를 형성함으로써 액정 분자들의 배향을 결정하고 입사광의 편광을 조절하여 영상을 표시한다. In general, a liquid crystal display device is one of the most widely used flat panel display devices. The liquid crystal display device has a field generating electrode for generating an electric field such as a pixel electrode and a common electrode, and is filled in the gap between the display panel and the display panel having a gap therebetween. It includes a liquid crystal layer. In such a liquid crystal display, an electric field is formed on the liquid crystal layer by applying a voltage to two field generating electrodes to determine the alignment of liquid crystal molecules and to adjust the polarization of incident light to display an image.
이러한 액정 표시 장치는 전계 생성 전극과 이에 연결된 박막 트랜지스터를 포함하며 행렬의 형태로 배열되어 있는 복수의 화소와 이에 신호를 전달하는 복수의 신호선을 포함한다. 신호선에는 주사 신호를 전달하는 게이트선과 데이터 신호를 전달하는 데이터선 등이 있으며, 각 화소는 전계 생성 전극과 박막 트랜지스터 외에도 색상을 표시하기 위한 컬러 필터를 포함한다. The liquid crystal display includes a plurality of pixels including a field generating electrode and a thin film transistor connected thereto and arranged in a matrix form, and a plurality of signal lines transferring signals thereto. The signal line includes a gate line for transmitting a scan signal and a data line for transmitting a data signal. Each pixel includes a color filter for displaying colors in addition to the field generating electrode and the thin film transistor.
게이트선, 데이터선, 화소 전극 및 박막 트랜지스터는 두 표시판 중 한쪽에 배치되어 있으며 다른 표시판에는 공통 전극과 컬러 필터 따위가 구비되어 있는 것이 일반적이다. The gate line, the data line, the pixel electrode, and the thin film transistor are disposed on one of two display panels, and the other display panel is generally provided with a common electrode and a color filter.
이와 같이 컬러 필터와 박막 트랜지스터가 별도의 기판에 배치되는 경우에는 2개의 기판 모두에 복잡한 공정이 적용되어야 하는 단점이 있다.As such, when the color filter and the thin film transistor are disposed on separate substrates, a complex process must be applied to both substrates.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 액정 표시 장치를 형성함에 있어서 보다 간단하고 적은 비용이 들며, 간단한 공정을 통하여 액정 표시 장치를 형성하기 위한 발명이다.The technical problem to be achieved by the present invention is an invention for forming a liquid crystal display device through a simple process, a simpler and less expensive to form a liquid crystal display device.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 컬러 필터를 박막 트랜지스터 표시판 위에 잉크젯 방식으로 형성한다.In order to solve this problem, in the present invention, the color filter is formed on the thin film transistor array panel by inkjet method.
구체적으로, 본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 게이트선, 데이터선, 박막 트랜지스터, 상기 게이트선, 상기 데이터선 및 상기 박막 트랜지스터를 가리는 블랙 매트릭스 및 상기 블랙 매트릭스가 형성되어 있지 않은 영역에 형성되며, 적어도 하나 이상은 잉크젯 방식으로 형성되는 컬러 필터를 포함하며,Specifically, the thin film transistor array panel according to the present invention is formed in the gate line, the data line, the thin film transistor, the gate line, the black matrix covering the data line and the thin film transistor, and the region in which the black matrix is not formed. At least one includes a color filter formed in an inkjet manner,
상기 컬러 필터는 적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안 및 노란색을 포함할 수 있으며, The color filter may include red, green, blue, magenta, cyan and yellow,
상기 6색의 컬러 필터는 모두 잉크젯 방식으로 형성될 수 있고,The six color filters may be all formed by an inkjet method,
상기 6색의 컬러 필터 중 3색은 잉크젯 방식으로 형성되고, 나머지 3색은 코팅 방식으로 형성될 수 있고,Three of the six color filters may be formed by the inkjet method, the remaining three colors may be formed by the coating method,
상기 코팅 방식으로 형성되는 3색의 컬러 필터는 각각 세로 방향으로 스트라이프 형태로 형성되며, 상기 블랙 매트릭스의 위에 상기 블랙 매트릭스의 세로 방향을 따라서 형성될 수 있고,The three color filters formed by the coating method are each formed in a stripe shape in the vertical direction, and may be formed along the longitudinal direction of the black matrix on the black matrix.
상기 블랙 매트릭스는 상기 코팅 방식으로 형성되는 3색의 컬러 필터가 중첩되어 형성될 수 있고,The black matrix may be formed by overlapping three color filters formed by the coating method.
상기 6색의 컬러 필터 중 3색은 잉크젯 방식으로 형성되며, 나머지 3색은 상기 잉크젯 방식으로 형성되는 3색의 안료를 조합하여 잉크젯 방식으로 형성될 수 있고,Three of the six color filters are formed by the inkjet method, the remaining three colors may be formed by the inkjet method by combining the three colors of the pigment formed by the inkjet method,
상기 잉크젯 방식으로 형성되는 3색은 적색, 녹색 및 청색이며, 상기 마젠타 컬러 필터는 상기 적색 및 상기 청색의 안료를 조합하여 형성하며, 상기 시안 컬러 필터는 상기 녹색 및 상기 청색의 안료를 조합하여 형성하고, 상기 노랑 컬러 필터는 상기 적색 및 상기 녹색의 안료를 조합하여 형성할 수 있고,The three colors formed by the inkjet method are red, green, and blue, the magenta color filter is formed by combining the red and blue pigments, and the cyan color filter is formed by combining the green and blue pigments. The yellow color filter may be formed by combining the red and the green pigments.
상기 잉크젯 방식으로 형성되는 3색은 마젠타, 시안 및 노랑이며, 상기 적색 컬러 필터는 상기 노랑 및 상기 마젠타의 안료를 조합하여 형성하며, 상기 녹색 컬러 필터는 상기 노랑 및 상기 시안의 안료를 조합하여 형성하고, 상기 청색 컬러 필터는 상기 시안 및 상기 마젠타의 안료를 조합하여 형성할 수 있고,The three colors formed by the inkjet method are magenta, cyan and yellow, the red color filter is formed by combining the yellow and the magenta pigments, and the green color filter is formed by combining the yellow and the cyan pigments. In addition, the blue color filter may be formed by combining the pigments of the cyan and the magenta,
상기 안료를 조합하여 형성하는 방법은 상기 2개의 안료로 각각의 층을 형성하고 그 층을 서로 중첩시켜 형성할 수 있고,The method of combining the pigments may be formed by forming each layer with the two pigments and superimposing the layers with each other,
상기 안료를 조합하여 형성하는 방법은 상기 2개의 안료를 혼합한 후 잉크젯 방식으로 적하하여 형성할 수 있고,The method of forming a combination of the pigment may be formed by mixing the two pigments and then dropwise by an inkjet method,
상기 6색의 컬러 필터 중 한 색의 컬러 필터는 코팅 방식으로 형성되며, 나머지 5 색의 컬러 필터는 잉크젯 방식으로 형성될 수 있고,One color filter of the six color filters may be formed by a coating method, and the remaining five color filters may be formed by an inkjet method.
상기 코팅 방식으로 형성되어 있는 컬러 필터는 상기 블랙 매트릭스의 위에도 형성될 수 있고,The color filter formed by the coating method may be formed on the black matrix,
상기 컬러 필터는 적색, 녹색, 청색 및 화이트의 4색으로 형성되어 있으며, 상기 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터는 마젠타, 시안 및 노랑 안료를 조합하여 잉크젯 방식으로 형성될 수 있고,The color filter is formed of four colors of red, green, blue, and white, and the red, green, and blue color filters may be formed by an inkjet method combining magenta, cyan, and yellow pigments.
상기 컬러 필터는 마젠타, 시안, 노랑 및 화이트의 4색으로 형성되어 있으며, 상기 마젠타, 시안 및 노랑의 컬러 필터는 적색, 녹색 및 청색 안료를 조합하여 잉크젯 방식으로 형성될 수 있다.The color filter is formed of four colors of magenta, cyan, yellow, and white, and the color filters of magenta, cyan, and yellow may be formed by an inkjet method by combining red, green, and blue pigments.
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 게이트선, 데이터선 및 박막 트랜지스터를 포함하는 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및 상기 블랙 매트릭스가 형성되지 않은 영역에 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 컬러 필터를 형성하는 단계는 잉크젯 방식으로 각 색을 형성한다.A method of manufacturing a thin film transistor array panel according to the present invention includes forming a black matrix on a substrate including a gate line, a data line, and a thin film transistor; And forming a color filter in a region where the black matrix is not formed, wherein forming the color filter forms each color by an inkjet method.
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 게이트선, 데이터선 및 박막 트랜지스터를 포함하는 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및 상기 블랙 매트릭스가 형성되지 않은 영역에 적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안 및 노랑의 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 컬러 필터를 형성하는 단계는 상기 6가지 컬러 필터 중 3개의 컬러 필터를 형성하기 위한 안료를 코팅하고, 노광 현상하여 세로 방향을 따라 컬러 필터를 형성하는 단계 및 나머지 3개의 컬러 필터 를 각각 잉크젯 방식으로 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a thin film transistor array panel according to the present invention includes forming a black matrix on a substrate including a gate line, a data line, and a thin film transistor; And forming a color filter of red, green, blue, magenta, cyan and yellow in a region where the black matrix is not formed, wherein the forming of the color filter comprises three color filters of the six color filters. Coating a pigment for forming a film, and developing and exposing the pigment to form a color filter along the longitudinal direction, and forming the remaining three color filters by an inkjet method, respectively.
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 게이트선, 데이터선 및 박막 트랜지스터를 포함하는 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및 상기 블랙 매트릭스가 형성되지 않은 영역에 적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안 및 노랑의 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 컬러 필터를 형성하는 단계는 청색 안료를 상기 청색 컬러 필터, 상기 시안 컬러 필터 및 상기 마젠타 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계, 녹색 안료를 상기 녹색 컬러 필터, 상기 노랑 컬러 필터 및 상기 시안 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계 및 적색 안료를 상기 적색 컬러 필터, 상기 마젠타 컬러 필터 및 상기 노랑 컬러 필터를 형성하는 영역에 적하하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a thin film transistor array panel according to the present invention includes forming a black matrix on a substrate including a gate line, a data line, and a thin film transistor; And forming a color filter of red, green, blue, magenta, cyan and yellow in a region where the black matrix is not formed, wherein forming the color filter comprises a blue pigment as the blue color filter and the cyan. Dropping a color filter and an area in which the magenta color filter is formed by an inkjet method, dropping a green pigment in an area in which the green color filter, the yellow color filter and the cyan color filter are formed by an inkjet method and red pigment And dripping the red color filter, the magenta color filter, and the yellow color filter in a region forming the yellow color filter.
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 게이트선, 데이터선 및 박막 트랜지스터를 포함하는 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및 상기 블랙 매트릭스가 형성되지 않은 영역에 적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안 및 노랑의 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 컬러 필터를 형성하는 단계는 마젠타 안료를 상기 마젠타 컬러 필터, 상기 청색 컬러 필터 및 상기 적색 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계, 시안 안료를 상기 시안 컬러 필터, 상기 녹색 컬러 필터 및 상기 청색 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계 및 노랑색 안료를 상기 노랑 컬러 필터, 상기 적색 컬러 필터 및 상기 녹색 컬러 필터를 형성하는 영역에 적하하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a thin film transistor array panel according to the present invention includes forming a black matrix on a substrate including a gate line, a data line, and a thin film transistor; And forming a color filter of red, green, blue, magenta, cyan and yellow in a region where the black matrix is not formed, wherein forming the color filter comprises a magenta pigment as the magenta color filter and the blue color filter. Dropping a color filter and an area where the red color filter is formed by an inkjet method, dropping a cyan pigment into an area where the cyan color filter, the green color filter, and the blue color filter are formed by an inkjet method; and yellow pigment And dropping the color into a region forming the yellow color filter, the red color filter, and the green color filter.
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 게이트선, 데이터선 및 박막 트랜지스터를 포함하는 기판 위에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 및 상기 블랙 매트릭스가 형성되지 않은 영역에 적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안 및 노랑의 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 컬러 필터를 형성하는 단계는 상기 6가지 컬러 필터 중 1개의 컬러 필터를 형성하기 위한 안료를 코팅하고, 노광 현상하여 블랙 매트릭스의 상부를 포함하여 해당 색의 컬러 필터를 형성하는 단계 및 나머지 5개의 컬러 필터를 각각 잉크젯 방식으로 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a thin film transistor array panel according to the present invention includes forming a black matrix on a substrate including a gate line, a data line, and a thin film transistor; And forming a color filter of red, green, blue, magenta, cyan and yellow in a region where the black matrix is not formed, wherein the forming of the color filter comprises one color filter of the six color filters. Coating a pigment for forming a film, and exposing and developing the pigment to form a color filter of a corresponding color including an upper portion of the black matrix; and forming the remaining five color filters in an inkjet manner, respectively.
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 게이트선, 데이터선 및 박막 트랜지스터를 포함하는 기판 위에 청색의 안료를 코팅하고 노광 현상하여 블랙 매트릭스를 형성하는 영역 및 청색 컬러 필터를 형성하는 영역에 청색 컬러 필터를 형성하는 단계, 녹색의 안료를 코팅하고 노광 현상하여 상기 블랙 매트릭스를 형성하는 영역 및 녹색 컬러 필터를 형성하는 영역에 녹색 컬러 필터를 형성하는 단계, 적색의 안료를 코팅하고 노광 현상하여 상기 블랙 매트릭스를 형성하는 영역 및 적색 컬러 필터를 형성하는 영역에 적색 컬러 필터를 형성하는 단계, 및 마젠타, 시안 및 노랑 컬러 필터를 각각 잉크젯 방식으로 형성하는 단계를 포함하며, 상기 블랙 매트릭스는 상기 청색, 녹색 및 상기 적색의 컬러 필터가 중첩되어 형성되도록 한다.In the method of manufacturing a thin film transistor array panel according to the present invention, a blue color is coated on a substrate including a gate line, a data line, and a thin film transistor and exposed to light to form a black matrix and a blue color filter in a region forming a black matrix. Forming a filter, coating and exposing and developing a green pigment to form a green color filter in a region forming the black matrix and a region forming a green color filter, and coating and exposing and developing a red pigment to the black Forming a red color filter in a region forming a matrix and a region forming a red color filter, and forming magenta, cyan and yellow color filters in an inkjet manner, respectively, wherein the black matrix is formed of the blue, green And overlapping the red color filters.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only the other part being "right over" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.
먼저 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에 대하여 도 1 및 도 2를 참고로 하여 상세하게 설명한다.First, a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고, 도 2는 도 1의 II-II선을 자른 단면도이다. 1 is a layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1.
투명한 유리 또는 플라스틱 따위로 만들어진 절연 기판(110) 위에 복수의 게이트선(gate line)(121) 및 복수의 유지 전극선(storage electrode line)(131)이 형성되어 있다. 게이트선(121)은 게이트 신호를 전달하며 주로 가로 방향으로 뻗어 있다. 각 게이트선(121)은 아래위로 돌출한 복수의 게이트 전극(gate electrode)(124)과 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 끝 부분(129)을 포함한다. 유지 전극선(131)은 소정의 전압을 인가 받으며, 게이트선(121)과 거의 나란하게 뻗은 줄기선과 이로부터 갈라진 복수 쌍의 제1 및 제2 유지 전극(133a, 133b)을 포함한다. 유지 전극선(131) 각각은 인접한 두 게이트선(121) 사이에 위치하며 줄기선은 두 게이트선(121) 중 아래쪽에 가깝다. A plurality of
게이트선(121) 및 유지 전극선(131) 위에는 질화규소(SiNx) 또는 산화규소 (SiOx) 따위로 만들어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.A gate insulating layer 140 made of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) is formed on the
게이트 절연막(140) 위에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 또는 다결정 규소(polysilicon) 등으로 만들어진 복수의 선형 반도체(151)가 형성되어 있다. 선형 반도체(151)는 주로 세로 방향으로 뻗어 있으며, 게이트 전극(124)을 향하여 뻗어 나온 복수의 돌출부(projection)(154)를 포함한다. 선형 반도체(151)는 게이트선(121) 및 유지 전극선(131) 부근에서 너비가 넓어져 이들을 폭넓게 덮고 있다.A plurality of
반도체(151) 위에는 복수의 선형 및 섬형 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(161, 165)가 형성되어 있다. 저항성 접촉 부재(161, 165)는 인 따위의 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어지거나 실리사이드(silicide)로 만들어질 수 있다. 선형 저항성 접촉 부재(161)는 복수의 돌출부(163)를 가지고 있으며, 이 돌출부(163)와 섬형 저항성 접촉 부재(165)는 쌍을 이루어 반도체(151)의 돌출부(154) 위에 배치되어 있다.A plurality of linear and island ohmic
저항성 접촉 부재(161, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 복수의 데이터선(data line)(171)과 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175)이 형성되어 있다.A plurality of
데이터선(171)은 데이터 신호를 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차한다. 각 데이터선(171)은 또한 유지 전극선(131)과 교차하며 인접한 유지 전극(133a, 133b) 집합 사이를 달린다. 각 데이터선(171)은 게이트 전극(124)을 향하여 뻗은 복수의 소스 전극(source electrode)(173)과 다른 층 또는 외 부 구동 회로와의 접속을 위하여 면적이 넓은 끝 부분(179)을 포함한다. The
드레인 전극(175)은 데이터선(171)과 분리되어 있으며 게이트 전극(124)을 중심으로 소스 전극(173)과 마주한다. 각 드레인 전극(175)은 넓은 한 쪽 끝 부분과 막대형인 다른 쪽 끝 부분을 포함한다. 넓은 끝 부분은 유지 전극(137)과 중첩하며, 막대형 끝 부분은 구부러진 소스 전극(173)으로 일부 둘러싸여 있다.The
하나의 게이트 전극(124), 하나의 소스 전극(173) 및 하나의 드레인 전극(175)은 반도체(151)의 돌출부(154)와 함께 하나의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 돌출부(154)에 형성된다.One
저항성 접촉 부재(161, 165)는 그 아래의 반도체(151)와 그 위의 데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 사이에만 존재하며 이들 사이의 접촉 저항을 낮추어 준다. The
게이트선(121), 데이터선(171) 및 박막 트랜지스터 부분 위에는 블랙 매트릭스(220)가 형성되어 있다.The
블랙 매트릭스(220)는 빛샘을 막아주기 위하여 형성되며, 블랙 매트릭스(220)가 형성되지 않은 영역은 투과 영역(T)으로 컬러 필터(230)가 형성된다.The
컬러 필터(230)는 다양한 색의 조합으로 형성될 수 있다.The
일반적으로 적색, 녹색, 청색의 3색으로 이루어지는 조합을 가지며, 적색, 녹색, 청색 및 화이트의 4색 조합도 가능하다. 또한, 시안(cyan), 마젠타(magenta) 및 노랑(yellow)의 3색 조합으로 형성될 수도 있으며, 적색, 녹색, 청색, 시안 (cyan), 마젠타(magenta) 및 노랑(yellow)의 6색 조합도 가능하다.Generally, it has a combination consisting of three colors of red, green, and blue, and a combination of four colors of red, green, blue, and white is also possible. In addition, it may be formed by a combination of three colors of cyan, magenta and yellow, and a combination of six colors of red, green, blue, cyan, magenta and yellow. It is also possible.
컬러 필터(230)와 블랙 매트릭스(220)에 대해서는 도 3 및 도 22에서 실시예 별로 상세하게 살펴본다.The
블랙 매트릭스(220)와 컬러 필터(230)의 위에는 보호막(passivation layer)(180)이 형성되어 있다. 보호막(180)은 무기 절연물 또는 유기 절연물 따위로 만들어지며 표면이 평탄할 수 있다. A
보호막(180)에는 데이터선(171)의 끝 부분(179)과 드레인 전극(175)을 각각 드러내는 복수의 접촉 구멍(contact hole)(182, 185)이 형성되어 있으며, 보호막(180)과 게이트 절연막(140)에는 게이트선(121)의 끝 부분(129)을 드러내는 복수의 접촉 구멍(181), 제1 유지 전극(133a) 고정단 부근의 유지 전극선(131) 일부를 드러내는 복수의 접촉 구멍(183a), 그리고 제1 유지 전극(133a) 자유단의 돌출부를 드러내는 복수의 접촉 구멍(183b)이 형성되어 있다.In the
보호막(180) 위에는 복수의 화소 전극(pixel electrode)(191) 복수의 연결 다리(overpass)(83) 및 복수의 접촉 보조 부재(contact assistant)(81, 82)가 형성되어 있다. A plurality of
화소 전극(191)은 접촉 구멍(185)을 통하여 드레인 전극(175)과 물리적·전기적으로 연결되어 있으며, 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가 받는다. 데이터 전압이 인가된 화소 전극(191)은 공통 전압(common voltage)을 인가 받는 다른 표시판(200)의 공통 전극(common electrode)(270)과 함께 전기장을 생성함으로써 두 전극 사이의 액정층(3)의 액정 분자의 방향을 결정한다. 이와 같이 결정 된 액정 분자의 방향에 따라 액정층을 통과하는 빛의 편광이 달라진다. 화소 전극(191)과 공통 전극(270)은 축전기[이하 “액정 축전기(liquid crystal capacitor)”라 함]를 이루어 박막 트랜지스터가 턴 오프된 후에도 인가된 전압을 유지한다.The
화소 전극(191) 및 이와 연결된 드레인 전극(175)은 유지 전극(133a, 133b)을 비롯한 유지 전극선(131)과 중첩한다. 화소 전극(191) 및 이와 전기적으로 연결된 드레인 전극(175)이 유지 전극선(131)과 중첩하여 이루는 축전기를 유지 축전기(storage capacitor)라 하며, 유지 축전기는 액정 축전기의 전압 유지 능력을 강화한다.The
접촉 보조 부재(81, 82)는 각각 접촉 구멍(181, 182)을 통하여 게이트선(121)의 끝 부분(129) 및 데이터선(171)의 끝 부분(179)과 연결된다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 게이트선(121)의 끝 부분(129) 및 데이터선(171)의 끝 부분(179)과 외부 장치와의 접착성을 보완하고 이들을 보호한다.The contact
연결 다리(83)는 게이트선(121)을 가로지르며, 게이트선(121)을 사이에 두고 반대 쪽에 위치하는 접촉 구멍(183a, 183b)을 통하여 유지 전극선(131)의 노출된 부분과 유지 전극(133b) 자유단의 노출된 끝 부분에 연결되어 있다. 유지 전극(133a, 133b)을 비롯한 유지 전극선(131)은 연결 다리(83)와 함께 게이트선(121)이나 데이터선(171) 또는 박막 트랜지스터의 결함을 수리하는 데 사용할 수 있다.The connecting leg 83 crosses the
박막 트랜지스터 표시판(100)의 안쪽 면에는 배향막(alignment layer)(도시하지 않음)이 도포되어 있으며 이들은 수평 배향막 또는 수직 배향막일 수 있다. 박막 트랜지스터 표시판(100)의 바깥쪽 면에는 편광자(polarizer)(12)가 구비되어 있는데, 편광자(12)의 편광축은 게이트선(121) 또는 데이터선(171)에 대하여 나란한 것이 바람직하다.An alignment layer (not shown) is coated on an inner surface of the thin film
이상과 같은 구성을 가지는 박막 트랜지스터 표시판에서 블랙 매트릭스(220)와 컬러 필터(230)는 본 발명에 따라 다음과 같은 다양한 실시예를 가질 수 있다.In the thin film transistor array panel having the above configuration, the
본 발명은 잉크젯 방식을 이용하여 컬러 필터(230)를 형성하며, 컬러 필터(230)를 박막 트랜지스터 표시판 상에 형성하는 것을 특징으로 한다. 이하의 실시예에서 확인할 수 있는 바와 같이 컬러 필터(230)를 형성함에 있어서 잉크젯 방식 이외에도 컬러 필터용 안료를 코팅하고 노광 및 현상하여 형성하는 방식(이하에서는 코팅 방식이라 함)도 이용하여 형성할 수 있다.The present invention is characterized in that the
또한, 본 발명은 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터를 형성하기 위하여 시안(cyan), 마젠타(magenta) 및 노랑(yellow)의 안료를 조합하여 형성하거나, 그 반대로 시안(cyan), 마젠타(magenta) 및 노랑(yellow)의 컬러 필터를 형성하기 위하여 적색, 녹색 및 청색의 안료를 조합하여 형성할 수 있다.In addition, the present invention is formed by combining the pigments of cyan, magenta and yellow to form a color filter of red, green and blue, or vice versa, cyan, magenta And pigments of red, green, and blue to form a yellow color filter.
이하에서는 본 발명에 따른 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, the embodiment according to the present invention will be described in detail.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이고, 도 4는 도 3의 IV-IV선을 자른 단면도이며, 도 5는 도 3의 V-V선을 자른 단면도이다.3 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line V-V of FIG. 3.
도 3 내지 도 5는 도 1 및 도 2를 간략하게 도시한 도면으로 컬러 필터와 블랙 매트릭스만을 도시하고 있어서 도 4 및 도 5에서 컬러 필터 및 블랙 매트릭스의 하부 및 상부 구조는 생략되어 있으며, 이하 동일하다.3 to 5 schematically show FIGS. 1 and 2, and show only a color filter and a black matrix, and thus, lower and upper structures of the color filter and the black matrix are omitted in FIGS. 4 and 5. Do.
도 3에서 도시하고 있는 바와 같이 블랙 매트릭스(220)의 사이에 컬러 필터(230R, 230G, 230B, 230M, 230C, 230Y)가 형성되어 있다.As shown in FIG. 3,
본 실시예는 6개의 컬러(적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안, 노랑)를 이용하여 색을 표시하는 실시예이며, 잉크젯 방식을 이용하여 각 컬러 필터를 형성한다.This embodiment is an embodiment in which colors are displayed using six colors (red, green, blue, magenta, cyan and yellow), and each color filter is formed using an inkjet method.
도 3에서 도시하고 있는 바와 같이 본 실시예는 좌측 상부로부터 시계 방향으로 적색(203R), 녹색(230G), 청색(230B), 시안(230C), 노랑(230Y) 및 마젠타(230M)가 형성되며, 각 색은 잉크젯 방식으로 형성된다. 각 색의 컬러 필터가 형성되는 위치는 상대적으로 바뀔 수 있다.As shown in FIG. 3, in the present embodiment, red (203R), green (230G), blue (230B), cyan (230C), yellow (230Y), and magenta (230M) are formed in a clockwise direction from the upper left. , Each color is formed by the inkjet method. The position at which the color filter of each color is formed can be changed relatively.
잉크젯 방식은 컬러 필터용 안료를 적하하여 박막 패턴을 형성하는 방식으로 컬러 필터용 안료를 코팅하고 노광 현상하여 형성하는 코팅 방식에 비하여 간단하며, 제조 시간이 적게든다는 장점이 있다.The inkjet method is a method of forming a thin film pattern by dropping a pigment for color filters, and is simpler than a coating method for forming a pigment for color filter and exposing and developing the pigment, and has an advantage of shortening manufacturing time.
한편, 이하에서는 도 6 내지 도 8의 실시예에 대하여 설명한다.In the following description, the embodiments of FIGS. 6 to 8 will be described.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이며, 도 7은 도 6의 VII-VII선을 자른 단면도이고, 도 8은 도 6의 VIII-VIII선을 자른 단면도이다.6 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention, FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 6, and FIG. 8 is a cutaway line VIII-VIII of FIG. 6. It is a cross section.
본 실시예는 6개의 컬러(적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안, 노랑)를 이용하여 색을 표시하는 실시예인데, 도 3 내지 도 5의 실시예와 달리 적색(230R), 녹색(230G) 및 청색(230B)의 컬러 필터는 코팅 방식에 의하여 형성하며, 마젠타(230M), 시안(230C) 및 노랑(230Y) 컬러 필터는 잉크젯 방식으로 형성한다. 도 6에서 점선 영역은 블랙 매트릭스(220)가 형성되지 않은 투과 영역(T)을 구분 표시하며, 이하 동일하다.This embodiment is an embodiment in which colors are displayed using six colors (red, green, blue, magenta, cyan and yellow). Unlike the embodiments of FIGS. 3 to 5, red (230R) and green (230G) are represented. The color filter of blue 230B is formed by a coating method, and the magenta 230M,
본 실시예는 다음과 같은 순서로 형성된다.This embodiment is formed in the following order.
우선 적색(230R), 녹색(230G) 및 청색(230B) 컬러 필터는 각각 코팅, 노광 및 현상 단계를 거치면서 세로방향으로 스트라이프 형태로 형성된다. 이 때, 마젠타(230M), 시안(230C) 및 노랑(230Y) 컬러 필터가 형성될 부분은 개구 상태로 남겨둔다. 또한, 적색(230R), 녹색(230G) 및 청색(230B) 컬러 필터는 각각 블랙 매트릭스(220)의 위에 세로 방향으로 형성되어 있다.First, the red (230R), green (230G) and blue (230B) color filters are formed in a stripe shape in the vertical direction through coating, exposure, and development steps, respectively. At this time, the portion where the magenta 230M,
그 후 마젠타(230M), 시안(230C) 및 노랑(230Y) 컬러 필터가 형성될 개구 부분에 잉크젯 방식으로 각 색을 형성한다.Thereafter, each color is formed by an inkjet method in the opening portion where the magenta 230M,
한편, 이하에서는 도 9 내지 도 11의 실시예를 설명한다.Meanwhile, the embodiments of FIGS. 9 to 11 will be described below.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이며, 도 10은 도 9의 X-X선을 자른 단면도이고, 도 11은 도 9의 XI-XI선을 자른 단면도이다.FIG. 9 is a layout view briefly illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention, FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line XX of FIG. 9, and FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line XI-XI of FIG. 9. .
본 실시예는 6개의 컬러(적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안, 노랑)를 이용하여 색을 표시하는 실시예로 모든 컬러를 잉크젯 방식으로 형성한다. 다만 사용되는 안료가 마젠타, 시안, 노란색 안료만 사용되며, 적색, 녹색 및 청색은 마젠타, 시안 및 노란색 안료를 조합하여 형성하며, 마젠타, 시안 및 노랑 컬러 필터는 해당 색의 안료를 잉크젯 방식으로 형성한다.This embodiment is an embodiment in which colors are displayed using six colors (red, green, blue, magenta, cyan and yellow), and all colors are formed in an inkjet method. Only the pigments used are magenta, cyan and yellow pigments, and red, green and blue are formed by combining magenta, cyan and yellow pigments, and the magenta, cyan and yellow color filters form pigments of the corresponding colors by inkjet method. do.
적색(230R), 녹색(230G) 및 청색(230B) 컬러 필터를 형성하기 위하여 마젠타, 시안 및 노란색 안료를 조합하는 방법은 아래와 같은 2가지 방법으로 형성할 수 있다.The method of combining magenta, cyan and yellow pigments to form the red 230R, green 230G and blue 230B color filters may be formed in the following two ways.
도 10에서 도시하고 있는 바와 같이 2가지색의 안료를 2개의 층으로 형성하여 적색(230R), 녹색(230G) 및 청색(230B)의 컬러 필터를 형성하는 방법이다. 즉, 적색(230R)의 컬러 필터를 형성하기 위하여 노란색 및 마젠타의 안료를 2층으로 형성하며, 녹색(230G)의 컬러 필터를 형성하기 위하여는 노란색 및 시안의 안료를 2층으로 형성하고, 청색(230B)의 컬러 필터를 형성하기 위하여는 시안 및 마젠타의 안료를 2층으로 형성한다. 여기서 각 층의 두께는 얇게 형성되어 이를 통과한 빛이 다른 성분의 빛도 가질 수 있도록 형성하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 10, two color pigments are formed in two layers to form color filters of red 230R, green 230G, and blue 230B. That is, two layers of yellow and magenta are formed to form a color filter of red 230R, and two layers of yellow and cyan are formed to form a color filter of green 230G, and blue is formed of two layers. In order to form the
본 박막 트랜지스터 표시판에서 컬러 필터를 형성하는 단계를 순서대로 기술하면 다음과 같다.The steps of forming a color filter in the thin film transistor array panel are described in order as follows.
마젠타 안료를 상기 마젠타 컬러 필터, 상기 청색 컬러 필터 및 상기 적색 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계를 거친 후, 시안 안료를 상기 시안 컬러 필터, 상기 녹색 컬러 필터 및 상기 청색 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계를 수행한다. 그 후 노랑색 안료를 상기 노랑 컬러 필터, 상기 적색 컬러 필터 및 상기 녹색 컬러 필터를 형성하는 영역에 적하하는 단계를 수행하여 형성한다.After the step of dropping a magenta pigment in the area forming the magenta color filter, the blue color filter and the red color filter by an inkjet method, the cyan pigment is the cyan color filter, the green color filter and the blue color filter A step of dropping the inkjet method onto the region to be formed is performed. Thereafter, a yellow pigment is formed by dropping the yellow pigment into a region forming the yellow color filter, the red color filter, and the green color filter.
각 단계는 그 순서가 바뀔 수도 있다.Each step may be reversed in order.
이와 달리 2색의 안료를 혼합한 후 잉크젯 방식으로 적하하여 컬러 필터를 형성할 수 있다. 즉 적색의 컬러 필터를 형성하기 위하여 노랑 및 마젠타의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성하고, 녹색의 컬러 필터를 형성하기 위하여는 노랑 및 시안의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성하며, 청색의 컬리 필터를 형성하기 위하여는 시안 및 마젠타의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성한다.Alternatively, a color filter may be formed by mixing two pigments and dropping the inkjet method. In other words, to form a red color filter, a mixture of yellow and magenta pigments are mixed and dropped by an inkjet method, and to form a green color filter, yellow and cyan pigments are mixed and a drop is formed by an inkjet method. In order to form a blue Curley filter, pigments of cyan and magenta are mixed and then dropped by an inkjet method.
도 12 내지 도 14의 실시예는 도 9 내지 도 11의 실시예와 달리 마젠타, 시안 및 노랑의 컬러 필터를 형성하기 위하여 적색, 녹색 및 청색의 안료를 이용하여 형성한다.12 to 14 are formed using pigments of red, green, and blue to form color filters of magenta, cyan, and yellow, unlike the embodiments of FIGS. 9 to 11.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이며, 도 13은 도 12의 XIII-XIII선을 자른 단면도이고, 도 14는 도 12의 XIV-XIV선을 자른 단면도이다.FIG. 12 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention, FIG. 13 is a cross-sectional view taken along line XIII-XIII of FIG. 12, and FIG. 14 is a cutaway line taken along line XIV-XIV of FIG. 12. It is a cross section.
본 실시예는 6개의 컬러(적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안, 노랑)를 이용하여 색을 표시하는 실시예로 모든 컬러를 잉크젯 방식으로 형성한다. 다만 사용되는 안료가 적색, 녹색 및 청색 안료만 사용되며, 마젠타(230M), 시안(230C) 및 노랑(230Y) 컬러 필터는 적색, 녹색 및 청색 안료를 조합하여 형성하며, 적색, 녹색 및 청색 컬러 필터는 해당 색의 안료를 이용하여 잉크젯 방식으로 형성한다.This embodiment is an embodiment in which colors are displayed using six colors (red, green, blue, magenta, cyan and yellow), and all colors are formed in an inkjet method. Only the pigments used are red, green and blue pigments, and the magenta (230M), cyan (230C) and yellow (230Y) color filters are formed by combining red, green and blue pigments, and red, green and blue colors. The filter is formed by the inkjet method using the pigment of the corresponding color.
마젠타(230M), 시안(230C) 및 노랑(230Y) 컬러 필터를 형성하기 위하여 적색, 녹색 및 청색 안료를 조합하는 방법은 아래와 같은 2가지 방법으로 형성할 수 있다.The method of combining the red, green, and blue pigments to form the magenta 230M,
도 12에서 도시하고 있는 바와 같이 2가지색의 안료를 2개의 층으로 형성하여 마젠타, 시안 및 노랑 컬러 필터를 형성하는 방법이다. 즉, 마젠타(230M) 컬러 필터를 형성하기 위하여 적색 및 청색의 안료를 2층으로 형성하며, 노랑(230Y) 컬 러 필터를 형성하기 위하여는 적색 및 녹색의 안료를 2층으로 형성하고, 시안(230C) 컬러 필터를 형성하기 위하여는 녹색 및 청색의 안료를 2층으로 형성한다. 여기서 각 층의 두께는 얇게 형성되어 이를 통과한 빛이 다른 성분의 빛도 가질 수 있도록 형성하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 12, two colors of pigments are formed into two layers to form magenta, cyan and yellow color filters. That is, to form a magenta (230M) color filter, two layers of red and blue pigments are formed, and to form a yellow (230Y) color filter, two layers of red and green pigments are formed, and cyan ( 230C) In order to form a color filter, pigments of green and blue are formed in two layers. In this case, the thickness of each layer is preferably formed to be thin so that the light passing through it may have light of other components.
본 박막 트랜지스터 표시판에서 컬러 필터를 형성하는 단계를 순서대로 기술하면 다음과 같다.The steps of forming a color filter in the thin film transistor array panel are described in order as follows.
청색 안료를 상기 청색 컬러 필터, 상기 시안 컬러 필터 및 상기 마젠타 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계를 수행한 후 녹색 안료를 상기 녹색 컬러 필터, 상기 노랑 컬러 필터 및 상기 시안 컬러 필터를 형성하는 영역에 잉크젯 방식으로 적하하는 단계를 수행한다. 그 후적색 안료를 상기 적색 컬러 필터, 상기 마젠타 컬러 필터 및 상기 노랑 컬러 필터를 형성하는 영역에 적하하는 단계를 수행하여 컬러 필터를 형성한다.Performing a step of dropping a blue pigment into an area forming the blue color filter, the cyan color filter and the magenta color filter by an inkjet method, and then adding the green pigment to the green color filter, the yellow color filter and the cyan color filter. A step of dropping the inkjet method onto the region to be formed is performed. The red pigment is then added to the region forming the red color filter, the magenta color filter and the yellow color filter to form a color filter.
각 단계는 그 순서가 바뀔 수도 있다.Each step may be reversed in order.
이와 달리 2색의 안료를 혼합한 후 잉크젯 방식으로 적하하여 컬러 필터를 형성할 수 있다. 즉 마젠타 컬러 필터(230M)를 형성하기 위하여 적색 및 청색의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성하고, 노랑 컬러 필터(230Y)를 형성하기 위하여는 적색 및 녹색의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성하며, 시안 컬러 필터(230C)를 형성하기 위하여는 녹색 및 청색의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성한다.Alternatively, a color filter may be formed by mixing two pigments and dropping the inkjet method. That is, to form a
이하에서는 도 15 및 도 16의 실시예를 설명한다.Hereinafter, the embodiment of FIGS. 15 and 16 will be described.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이며, 도 16은 도 15의 XVI-XVI선을 자른 단면도이다.FIG. 15 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to yet another exemplary embodiment. FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line XVI-XVI of FIG. 15.
본 실시예는 4색(적색, 녹색, 청색 및 화이트)의 조합으로 컬러 필터를 형성하는 실시예로 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터는 마젠타, 시안 및 노란색 안료를 사용하여 잉크젯 방식으로 형성하며, 화이트 컬러 필터(230W)는 코팅 방식으로 형성한다. This embodiment forms a color filter with a combination of four colors (red, green, blue, and white). The red, green, and blue color filters are formed by an inkjet method using magenta, cyan, and yellow pigments. The
마젠타, 시안 및 노란색 안료를 조합하여 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터를 형성하는 방법은 도 도 9 내지 도 11의 실시예와 같이 2가지 방식으로 형성할 수 있다.The method of forming magenta, cyan and yellow pigments to form red, green and blue color filters can be formed in two ways as in the embodiment of FIGS. 9 to 11.
즉, 2가지 색의 안료를 2개의 층으로 형성하여 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터를 형성하는 방법과 2색의 안료를 혼합한 후 잉크젯 방식으로 적하하여 컬러 필터를 형성하는 방법이다.That is, a method of forming a color filter of red, green, and blue by forming a pigment of two colors in two layers, and a method of forming a color filter by mixing the two colors of the pigment and dropping by inkjet method.
2가지 색의 안료를 2개의 층으로 형성하여 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터를 형성하는 방법은 적색의 컬러 필터를 형성하기 위하여 노랑 및 마젠타의 안료를 2층으로 형성하며, 녹색의 컬러 필터를 형성하기 위하여는 노랑 및 시안의 안료를 2층으로 형성하고, 청색의 컬러 필터를 형성하기 위하여는 시안 및 마젠타의 안료를 2층으로 형성하는 방법이다. 여기서 각 층의 두께는 얇게 형성되어 이를 통과한 빛이 다른 성분의 빛도 가질 수 있도록 형성하는 것이 바람직하다.The method of forming two color pigments into two layers to form red, green and blue color filters involves forming two layers of yellow and magenta pigments to form a red color filter, and forming a green color filter. In order to form, a pigment of yellow and cyan is formed in two layers, and in order to form a blue color filter, cyan and magenta pigments are formed in two layers. In this case, the thickness of each layer is preferably formed to be thin so that the light passing through it may have light of other components.
한편, 2색의 안료를 혼합한 후 잉크젯 방식으로 적하하여 컬러 필터를 형성하는 방법은 적색의 컬러 필터를 형성하기 위하여 노랑 및 마젠타의 안료를 혼합하 고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성하고, 녹색의 컬러 필터를 형성하기 위하여는 노랑 및 시안의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성하며, 청색의 컬리 필터를 형성하기 위하여는 시안 및 마젠타의 안료를 혼합하고 이를 잉크젯 방식으로 적하하여 형성하는 방법이다.Meanwhile, a method of forming a color filter by mixing two pigments and dropping the inkjet method is performed by mixing yellow and magenta pigments and dropping the inkjet method to form a red color filter. In order to form a color filter, a mixture of yellow and cyan pigments is mixed and dropped by an inkjet method. To form a blue curly filter, a cyan and magenta pigment is mixed and dropped by an inkjet method. to be.
본 실시예와 달리 화이트 컬러 필터도 잉크젯 방식으로 형성할 수도 있으며, 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터 중 하나 이상을 코팅 방식으로 형성할 수도 있다.Unlike the present embodiment, a white color filter may also be formed by an inkjet method, and one or more of red, green, and blue color filters may be formed by a coating method.
또한, 4색의 조합도 적색, 녹색, 청색 및 화이트를 이용하지 않고 마젠타, 시안, 노랑 및 화이트를 이용하며, 적색, 녹색 및 청색 안료를 조합하여 마젠타, 시안 및 노랑 컬러 필터를 형성할 수도 있다.In addition, the combination of four colors may also use magenta, cyan, yellow, and white without using red, green, blue, and white, and magenta, cyan, and yellow color filters may be formed by combining red, green, and blue pigments. .
이하에서는 도 17 내지 도 19의 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, the embodiment of FIGS. 17 to 19 will be described.
도 17은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이며, 도 18은 도 17의 XVIII-XVIII선을 자른 단면도이고, 도 19는 도 17의 XIX-XIX선을 자른 단면도이다.FIG. 17 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention. FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line XVIII-XVIII of FIG. 17, and FIG. 19 is taken along line XIX-XIX of FIG. 17. It is a cross section.
본 실시예는 6개의 컬러(적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안, 노랑)를 이용하여 색을 표시하는 실시예로 한가지 색만 코팅 방식으로 형성하며, 나머지 모든 컬러는 잉크젯 방식으로 형성한다. In this embodiment, the color is displayed using six colors (red, green, blue, magenta, cyan and yellow). Only one color is formed by a coating method, and all other colors are formed by an inkjet method.
본 실시예에서는 한가지 색의 예로 청색을 선택하였으며, 본 실시예에 따른 컬러 필터를 형성하는 방법은 다음과 같다.In this embodiment, blue is selected as an example of one color, and a method of forming a color filter according to the present embodiment is as follows.
우선 블랙 매트릭스(220)가 형성된 박막 트랜지스터 표시판에 청색 안료를 코팅하고, 블랙 매트릭스가 형성되지 않은 개구 영역 중 청색의 컬러 필터가 형성 되는 영역을 제외한 나머지 개구 영역을 제거하는 노광 및 현상 단계를 통하여 청색 컬러 필터를 형성한다. 이때, 청색 컬러 필터는 블랙 매트릭스(220)의 상부에도 블랙 매트릭스(220)를 따라 형성된다.First, a blue pigment is coated on the thin film transistor array panel on which the
그 후 개구 영역에는 해당 색의 안료를 잉크젯 방식으로 형성한다. 이 방식은 도 6내지 도 9의 실시예보다 코팅 방식의 컬러 필터가 적어 간편하게 형성할 수 있다는 장점이 있다.After that, a pigment of a corresponding color is formed in the opening region by an inkjet method. This method has an advantage that the color filter of the coating method is less than the embodiment of Figures 6 to 9 can be easily formed.
이하에서는 도 20 내지 도 22의 실시예를 살펴본다.Hereinafter, the embodiment of FIGS. 20 to 22 will be described.
도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판을 간략하게 도시한 배치도이며, 도 21은 도 20의 XXI-XXI선을 자른 단면도이고, 도 22는 도 20의 XXII-XXII선을 자른 단면도이다.20 is a layout view schematically illustrating a thin film transistor array panel according to another exemplary embodiment of the present invention, FIG. 21 is a cross-sectional view taken along the line XXI-XXI of FIG. 20, and FIG. 22 is a cut line taken along the line XXII-XXII of FIG. 20. It is a cross section.
본 실시예는 6개의 컬러(적색, 녹색, 청색, 마젠타, 시안, 노랑)를 이용하여 색을 표시하는 실시예로 적색(230R), 녹색(230G) 및 청색(230B)의 컬러 필터는 코팅 방식을 이용하여 형성하며, 마젠타(230M), 시안(230C) 및 노랑(230Y) 컬러 필터는 잉크젯 방식으로 형성한다. 이때, 블랙 매트릭스(220)는 적색, 녹색 및 청색 컬러 필터의 중첩으로 형성한다.This embodiment displays the color using six colors (red, green, blue, magenta, cyan, yellow). The color filters of red 230R, green 230G, and blue 230B are coated. The magenta 230M,
본 실시예를 형성하는 방법은 다음과 같다.The method of forming this embodiment is as follows.
우선 청색의 안료를 코팅하고 노광 및 현상하여 청색 컬러 필터를 형성한다. 이 때, 블랙 매트릭스가 형성되는 영역에도 청색의 컬러 필터가 함께 형성되도록 한다.The blue pigment is first coated, exposed and developed to form a blue color filter. At this time, the blue color filter is formed together in the region where the black matrix is formed.
그 후 녹색의 안료를 코팅하고 노광 및 현상하여 녹색 컬러 필터를 형성한 다. 이 때, 블랙 매트릭스가 형성되는 영역에 형성되어 있는 청색의 컬러 필터의 상부에 녹색의 컬러 필터가 중첩하되도록 한다.The green pigment is then coated, exposed and developed to form a green color filter. At this time, the green color filter is superimposed on the blue color filter formed in the region where the black matrix is formed.
그 후 적색의 안료를 코팅하고 노광 및 현상하여 적색 컬러 필터를 형성한다. 이 때, 블랙 매트릭스가 형성되는 영역에 형성되어 있는 청색 및 녹색의 컬러 필터 위에 적색의 컬러 필터가 중첩되어 형성되도록 한다.The red pigment is then coated, exposed and developed to form a red color filter. At this time, the red color filter is superimposed on the blue and green color filters formed in the region where the black matrix is formed.
이렇게 청색, 녹색 및 적색의 컬러 필터가 중첩하여 형성되면 블랙 매트릭스와 동일한 역할을 수행한다.When the blue, green, and red color filters overlap each other, they play the same role as the black matrix.
그 후, 마젠타, 시안 및 노랑 컬러필터는 해당 영역에 마젠타, 시안 및 노랑 안료를 이용하여 잉크젯 방식으로 형성한다.Thereafter, magenta, cyan and yellow color filters are formed by inkjet method using magenta, cyan and yellow pigments in the corresponding areas.
본 실시예는 블랙 매트릭스를 형성하는 공정이 색필터 공정과 함께 진행되어 블랙 매트릭스를 형성하는데 사용되는 재료가 필요하지 않으며, 블랙 매트릭스를 형성하는 공정도 필요하지 않아 비용 절감 및 공정 시간 단축의 효과가 있다.In this embodiment, the process of forming the black matrix is performed together with the color filter process, so that no material used to form the black matrix is needed, and the process of forming the black matrix is also unnecessary, so that the effect of cost reduction and process time is reduced. have.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.
이상에서 살펴본 바와 같이, 컬러 필터를 잉크젯 방식으로 박막 트랜지스터 표시판 위에 형성하여 공정 시간을 단축하며, 제조 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.As described above, the color filter is formed on the thin film transistor array panel by an inkjet method to shorten the process time and reduce manufacturing costs.
또한, 일부의 컬러 필터를 다른 색 안료를 이용하여 형성함으로써 사용되는 안료의 수를 줄여 제조 비용을 절감하며, 제작 단계를 줄일 수 있다.In addition, by forming some color filters using other color pigments, the number of pigments used can be reduced to reduce manufacturing costs and to reduce manufacturing steps.
그리고 블랙 매트릭스를 형성함에 있어서도 컬러 필터를 형성할 때 함께 형성할 수 있어 제조 비용 및 공정 단계를 줄일 수 있다.In forming the black matrix, the color filters may be formed together to reduce manufacturing costs and process steps.
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
US8098360B2 (en) | 2008-11-28 | 2012-01-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display having particular barrier rib |
US8372702B2 (en) | 2010-01-22 | 2013-02-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of manufacturing TFT and array TFT |
-
2006
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