KR20070051424A

KR20070051424A - Inspection apparatus of liquid crystal display panel

Info

Publication number: KR20070051424A
Application number: KR1020050108932A
Authority: KR
Inventors: 김경숙
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-11-15
Filing date: 2005-11-15
Publication date: 2007-05-18

Abstract

본 발명은 액정 표시 패널 검사 장치에 관한 것으로, 기판의 가장자리 일부를 지지 고정시키는 기판 고정부와, 상기 기판 고정부에 고정된 상기 기판의 표면에 스팀을 분사하는 스팀 분사부와, 스팀을 생성하여 상기 스팀 분사부에 스팀을 공급하는 스팀 생성부와, 상기 기판 고정부에 고정된 기판에 광을 조사하는 광원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치를 제공한다. 이와 같이 기판의 가장자리 영역만을 지지 고정하는 고정부에 의해 기판 표면의 스크레치 발생을 줄일 수 있고, 기판의 측면 영역에 배치된 스팀 분사부를 통해 기판 전면에 스팀을 분사할 수도 있고, 부분적으로 스팀을 분사할 수도 있으며, 기판 하부에 광원을 배치하여 검사 시 충분한 시야를 확보하고 기판에 균일한 방향과 광량으로 광을 조사할 수 있으며, 의심되는 영역을 국부적으로 스팀 검사를 실시할 수 있게 되어 기판의 결함 검사를 더욱 정밀하게 수행할 수 있다.The present invention relates to a liquid crystal display panel inspection apparatus, comprising: a substrate fixing portion for supporting and fixing a portion of an edge of a substrate, a steam spraying portion for spraying steam onto a surface of the substrate fixed to the substrate fixing portion, and generating steam It provides a liquid crystal display panel inspection apparatus comprising a steam generating unit for supplying steam to the steam injection unit, and a light source unit for irradiating light to the substrate fixed to the substrate fixing unit. As described above, the fixing part for supporting and fixing only the edge region of the substrate can reduce the occurrence of scratches on the surface of the substrate, and may inject steam to the entire surface of the substrate through a steam injector disposed in the side region of the substrate. It is possible to arrange a light source under the substrate to ensure sufficient field of view during inspection, to irradiate light to the substrate in a uniform direction and amount of light, and to perform a steam inspection on a suspected area locally. Inspection can be done more precisely.

배향, 스팀 검사, 기판 고정, 회전 운동, 스팀 생성부 Orientation, Steam Inspection, Board Hold, Rotary Motion, Steam Generator

Description

액정 표시 패널 검사 장치{INSPECTION APPARATUS OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}Liquid crystal display panel inspection device {INSPECTION APPARATUS OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}

도 1은 종래의 액정 표시 소자를 개략적으로 나타낸 도면.1 is a view schematically showing a conventional liquid crystal display element.

도 2는 종래의 액정 표시 패널 검사 장치의 단면 개념도.2 is a cross-sectional conceptual view of a conventional liquid crystal display panel inspection apparatus.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널 검사 장치의 사시 개념도. 3 to 5 is a perspective conceptual view of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널 검사 장치의 단면 개념도.6 is a cross-sectional conceptual view of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 변형예에 따른 액정 표시 패널 검사 장치의 단면 개념도.7 is a cross-sectional conceptual view of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a modification of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 칼라 필터 기판 20 : TFT 기판10 color filter substrate 20 TFT substrate

30 : 백라이트 40 : 액정30: backlight 40: liquid crystal

50 : 테이블 60 : 스팀 발생부50: table 60: steam generator

70, 400 : 광원부 100 : 기판 고정부70, 400: light source 100: substrate fixing part

200 : 스팀 생성부 300 : 스팀 분사부200: steam generating unit 300: steam injection unit

500 : 제어부500: control unit

본 발명은 액정 표시 패널 검사 장치에 관한 것으로, 특히 러빙 공정후, 스팀을 이용하여 러빙 상태를 검사하는 액정 표시 패널 검사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal display panel inspection device, and more particularly, to a liquid crystal display panel inspection device that inspects a rubbing state by using steam after a rubbing process.

액정 표시 소자(Liquid Crystal Display Device; LCD)는 종래의 표시 장치인 CRT(Cathode Ray Tube)와 비교하여 소형, 경량화 및 대화면화의 장점을 갖고 있어, 이의 개발이 활발히 이루어지고 있다. 특히, 액정 표시 소자는 평판 표시 장치로서의 역할을 충분히 수행할 수 있을 정도로 개발되어 핸드 폰, 피디에이(PDA), 디지털 카메라, 캠코더의 액정으로 사용될 뿐 아니라, 데스크 탑형 컴퓨터의 모니터와 대형 표시장치에도 사용되고 있어 그의 사용범위가 급속도로 확대되고 있다. Liquid crystal display devices (LCDs) have advantages of small size, light weight, and large screen compared with conventional display devices, such as cathode ray tubes (CRTs), and their development has been actively performed. In particular, the liquid crystal display device has been developed to perform a sufficient role as a flat panel display device, and is used not only as a liquid crystal for hand phones, PDAs, digital cameras, camcorders, but also for monitors and large display devices of desktop computers. Therefore, his range of use is expanding rapidly.

이러한 액정 표시 소자는 각기 전극이 형성된 두 기판을 두 전극이 서로 마주보도록 배치하고, 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음 두 전극 사이에 전기장을 인가하여 전기장에 의해 액정 분자들을 움직이게 함으로써 빛의 투과율을 달리하여 화상을 표시하는 장치이다. 이는 액정의 광학적 이방성과 분극성을 이용한 것으로, 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자 배열에 방향성과 분극성을 갖고 있는 액정 분자들에 인위적으로 전기장을 인가하게 되면 분자 배열 방향을 조절할 수 있다. 이에 배향 방향을 임으로 조절하면 액정의 광학적 이방성에 의해 액정 분자의 배열 방향에 따라 빛을 투과 또는 차단할 수 있게 되어 색상 및 화상을 표현 할 수 있게 된다. The liquid crystal display device arranges two substrates on which electrodes are formed so that the two electrodes face each other, injects a liquid crystal material between the two substrates, and then applies an electric field between the two electrodes to move the liquid crystal molecules by the electric field, thereby transmitting light. It is a device for displaying an image by differently. This uses the optical anisotropy and polarization of the liquid crystal. Since the liquid crystal is thin and long in structure, when the electric field is artificially applied to the liquid crystal molecules having directionality and polarity in the molecular arrangement, the direction of the molecular arrangement can be controlled. Accordingly, if the orientation direction is arbitrarily adjusted, light may be transmitted or blocked according to the alignment direction of the liquid crystal molecules by optical anisotropy of the liquid crystal, thereby expressing color and image.

도 1은 종래의 액정 표시 소자를 개략적으로 나타낸 도면이다. 1 is a view schematically showing a conventional liquid crystal display device.

도 1을 참조하면, 종래의 액정 표시 소자는 화상을 표시하는 액정 패널(10, 20)과 액정 패널(10, 20)에 빛을 공급하는 백라이트(30)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a conventional liquid crystal display device includes liquid crystal panels 10 and 20 for displaying an image and a backlight 30 for supplying light to the liquid crystal panels 10 and 20.

상기의 액정 패널(10, 20)은 칼라 필터 기판(10)과, TFT기판(20)을 포함한다. The liquid crystal panels 10 and 20 include a color filter substrate 10 and a TFT substrate 20.

칼라 필터 기판(10)은 유리 등의 투명한 절연 물질로 이루어진 절연 기판(11)의 아래 면에 빛샘과 인접한 화소 영역들 사이의 광 간섭을 방지하기 위한 블랙 매트릭스(12)와 적색, 녹색, 청색의 컬러 필터(13)가 형성되고, 컬러 필터(13) 위에는 유기 물질로 이루어진 오버코트막(14)이 형성되어 있다. 오버코트막(14) 위에는 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질로 이루어진 공통 전극(15)이 형성된다. The color filter substrate 10 is formed of a red matrix, a green matrix, and a black matrix 12 to prevent light interference between light leakage and adjacent pixel regions on the bottom surface of the insulating substrate 11 made of a transparent insulating material such as glass. The color filter 13 is formed, and an overcoat film 14 made of an organic material is formed on the color filter 13. The common electrode 15 made of a transparent conductive material such as ITO or IZO is formed on the overcoat layer 14.

TFT기판(20)은 투광성 절연 기판(21) 위에 게이트 신호를 전달하며 제 1 방향으로 연장되고 제 2 방향으로 소정 간격을 갖도록 배열된 복수의 게이트 라인(미도시)과, 게이트 라인에 교차하여 형성된 복수의 데이터 라인(미도시)이 형성된다. 게이트 라인과 데이터 라인에 의해 정의된 화소 영역에 화소 전극(26)이 형성되고, 게이트 라인과 데이터 라인의 교차점에 매트릭스 형태로 게이트 전극(22), 반도체층(23), 소스 및 드레인 전극(24, 25)을 포함하는 복수의 박막 트랜지스터가 형성된다. The TFT substrate 20 is formed to cross a gate line and a plurality of gate lines (not shown) which transmit a gate signal on the transparent insulating substrate 21 and extend in a first direction and have a predetermined interval in a second direction. A plurality of data lines (not shown) are formed. The pixel electrode 26 is formed in the pixel region defined by the gate line and the data line, and the gate electrode 22, the semiconductor layer 23, the source and drain electrodes 24 are formed in a matrix form at the intersection of the gate line and the data line. , A plurality of thin film transistors including 25) are formed.

상술한 바와 같이 형성된 두 개의 기판(10, 20)을 일정 간격을 두고 서로 대향하여 부착하고, 그 사이에 액정 물질(40)을 채워 액정 패널을 형성한다. The two substrates 10 and 20 formed as described above are attached to face each other at a predetermined interval, and the liquid crystal material 40 is filled therebetween to form a liquid crystal panel.

이러한 액정 패널(10, 20)을 포함하는 액정 표시 소자는 액정의 전기광학적 효과를 이용한 것으로, 이런 전기광학효과는 액정 자체의 이방성과 액정의 분자배열 상태에 의해 결정된다. 따라서, 액정에 배향 질서를 효과적으로 부여하기 위해 상기 칼라 필터 기판(10)과 TFT 기판(20)에 배향막(41, 42)을 각기 형성한다. The liquid crystal display device including the liquid crystal panels 10 and 20 uses the electro-optical effect of the liquid crystal, and the electro-optic effect is determined by the anisotropy of the liquid crystal itself and the molecular arrangement state of the liquid crystal. Therefore, alignment films 41 and 42 are formed on the color filter substrate 10 and the TFT substrate 20, respectively, in order to effectively give the alignment order to the liquid crystal.

이러한 배향막은 무기 배향막과 유기 배향막으로 나누어지며 특히 유기 배향막중에 폴리이미드계 배향막이 많이 사용되고 있다. 배향막은 회전 도포법이나 인쇄 도포법으로 기판상에 유기 고분자막을 형성하고 이를 경화시킨 후 러빙(rubbing)공정을 실시한다. 즉, 배향막은 사이드 체인이 프리틸트를 갖기는 하지만 방향성이 없이 불규칙적으로 배열하고 있으므로 러빙공정을 통해 이를 일정한 방향으로 배향시킨다. Such an alignment film is divided into an inorganic alignment film and an organic alignment film, and polyimide-based alignment films are used in particular among organic alignment films. The alignment film is a rubbing process after forming an organic polymer film on the substrate by a rotary coating method or a printing coating method and curing it. That is, the alignment layer has a pretilt, but the side chains are arranged irregularly without direction, so that the alignment layer is aligned in a predetermined direction through a rubbing process.

이러한 러빙 공정중 불량이 발생하여 액정의 배향이 틀어지거나 규칙성이 붕괴되는 문제가 발생하였다. 이에 상기의 러빙 공정후, 소정의 검사 장치를 이용하여 러빙 공정후의 액정 패널 표면의 결함을 검출하였다. 이러한 액정 표시 표면의 결함 검출을 위한 장치로는 스팀을 이용하여 화소의 불량을 육안으로 쉽게 검사할 수 있는 방식이 있다. A defect occurs during the rubbing process, such that the alignment of the liquid crystal is distorted or the regularity is decayed. Thus, after the above rubbing step, a defect on the surface of the liquid crystal panel after the rubbing step was detected using a predetermined inspection device. As a device for detecting defects on the surface of the liquid crystal display, there is a method in which a defect of a pixel can be easily visually inspected using steam.

도 2는 종래의 액정 표시 패널 검사 장치의 단면 개념도이다. 2 is a cross-sectional conceptual view of a conventional liquid crystal display panel inspection apparatus.

도 2를 참조하면, 종래의 액정 표시 패널 검사 장치는 다수의 관통공을 갖는 패널 지지 테이블(50)과, 상기 패널 지지 테이블(50) 하부에 마련된 스팀 발생부 (60)와, 상기 패널 지지 테이블(50) 상단에 마련되어 상기 패널 지지 테이블(50) 상에 안착되는 액정 패널(51)에 광을 조사하는 광원부(70)를 포함한다. Referring to FIG. 2, a conventional liquid crystal display panel inspection apparatus includes a panel support table 50 having a plurality of through holes, a steam generator 60 provided below the panel support table 50, and the panel support table. A light source unit 70 provided at an upper end and irradiating light to the liquid crystal panel 51 mounted on the panel support table 50 is included.

이의 동작을 간략히 살펴보면 상기 패널 지지 테이블(50) 상에 액정 패널(51)을 안착시킨 다음, 패널 지지 테이블(50) 하부에 마련된 스팀 발생부(60)를 통해 스팀을 발생시킨다. 발생된 스팀을 패널 표면에 확산시킨 후, 광원부(70)인 스포트라이트를 패널 표면에 비추고, 패널 지지 테이블(50)을 이동시키면서 그 표면의 결함을 육안으로 검출하게 된다. Looking briefly at the operation thereof, the liquid crystal panel 51 is seated on the panel support table 50, and then steam is generated through the steam generator 60 provided below the panel support table 50. After the generated steam is diffused to the panel surface, the spotlight, which is the light source unit 70, is projected onto the panel surface, and the defects on the surface are visually detected while the panel support table 50 is moved.

종래의 스팀 발생부는 물이 담겨있는 용기와, 용기를 가열하는 가열 수단으로 구성되어 있다. 이로인해 용기 내부의 물을 주기적으로 보충해주어야 하고, 용기내에서 생성되는 스팀의 양을 제어하는 것이 매우 어려운 실정이다. 또한, 패널 지지 테이블 상부에 액정 패널을 안착시킨 다음 이를 움직여 표면의 결함을 검출할 경우 배양막이 손상을 입거나 액정 패널 표면에 스크레치가 발생되는 문제가 있다. 또한, 광원부가 기판의 상부에 위치하고 있어 액정의 표면을 육안으로 검사할 경우 기판의 일부가 광원부에 의해 가려지게 되어 광원부의 위치를 자주 변경하여야 한다. 하지만, 광원부의 위치를 자주 변경할 경우, 광원부의 위치 및 검사 각도에 따라 그 검사 상태가 변화되어 정확한 검사가 어려운 문제가 발생한다. The conventional steam generator is composed of a container containing water and heating means for heating the container. Because of this, it is necessary to periodically replenish the water in the container, it is very difficult to control the amount of steam generated in the container. In addition, when the liquid crystal panel is seated on the panel support table and then moved to detect a defect on the surface, the culture membrane is damaged or scratches are generated on the surface of the liquid crystal panel. In addition, since the light source unit is located on the upper part of the substrate, when the surface of the liquid crystal is visually inspected, part of the substrate is covered by the light source unit, and thus the position of the light source unit must be changed frequently. However, if the position of the light source is frequently changed, the inspection state is changed according to the position of the light source and the inspection angle, which makes it difficult to accurately inspect the light source.

따라서, 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 스팀 분사기를 이용하여 분사되는 스팀의 양을 조절할 수 있을 뿐만 아니라 특정 영역의 패널 결함을 검출할 수 있고, 액정 패널의 단부를 고정하는 홀더를 통해 배양막 손상 및 액정 패널 표면의 스크레치 발생을 방지할 수 있는 액정 표시 패널 검사 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. Therefore, the present invention is derived to solve the above problems, and can not only control the amount of steam injected using a steam injector, but also detect panel defects in a specific region, and fix the end of the liquid crystal panel. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display panel inspection apparatus capable of preventing damage to the culture film and occurrence of scratches on the surface of the liquid crystal panel through the holder.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판의 가장자리 일부를 지지 고정시키는 기판 고정부와, 상기 기판 고정부에 고정된 상기 기판의 표면에 스팀을 분사하는 스팀 분사부와, 스팀을 생성하여 상기 스팀 분사부에 스팀을 공급하는 스팀 생성부와, 상기 기판 고정부에 고정된 기판에 광을 조사하는 광원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치를 제공한다. In order to achieve the above object, a substrate fixing part for supporting and fixing a part of the edge of the substrate according to the present invention, a steam injection unit for injecting steam to the surface of the substrate fixed to the substrate fixing portion, and generating the steam A liquid crystal display panel inspection apparatus includes a steam generation unit supplying steam to a steam injection unit and a light source unit irradiating light onto a substrate fixed to the substrate fixing unit.

또한, 본 발명에 따른 기판의 가장자리 일부를 지지 고정시키는 기판 고정부와, 스팀을 생성하여 상기 기판 고정부에 고정된 상기 기판의 표면에 스팀을 분사하는 스팀 분사부와, 상기 기판 고정부에 고정된 기판에 광을 조사하는 광원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치를 제공한다. In addition, the substrate fixing unit for holding and fixing a portion of the edge of the substrate according to the present invention, a steam injection unit for generating steam to inject steam to the surface of the substrate fixed to the substrate fixing portion, and fixed to the substrate fixing portion A liquid crystal display panel inspection apparatus including a light source unit for irradiating light onto a printed substrate is provided.

상기에서, 상기 기판 고정부, 상기 스팀 분사부 및 상기 광원부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것이 바람직하다. In the above, preferably, a control unit for controlling the operation of the substrate fixing unit, the steam injection unit and the light source unit.

상술한 상기 기판 고정부는, 상기 스팀 분사부 내측에 마련된 몸체와, 상기 기판의 가장자리 일부가 안착되고, 상기 몸체 상에 지지 고정되는 가이드부를 포함하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 가이드부는 전후 운동을 통해 상기 몸체 상부로 인입 및 인출되거나, 180도 회전 운동을 통해 상기 몸체 상부로 장착되는 것이 효과적이다. 그리고, 상기 가이드부의 전후 운동과 180도 회전 운동의 동력을 인가하는 구동부를 더 포함하는 것이 바람직하다. 물론, 상기 가이드부는 일면이 개방된 프레임 형태로 제작하고, 상기 프레임의 적어도 일부에는 상기 기판의 가장자리 영역이 안착되는 단턱면과, 상기 단턱면 상에 안착된 상기 기판을 고정하는 고정부재를 포함하는 것이 바람직하다. Preferably, the substrate fixing part includes a body provided inside the steam injection part, and a guide part on which a part of an edge of the substrate is seated and supported and fixed on the body. In this case, it is effective that the guide portion is pulled in and out of the upper body through the front and rear movement, or is mounted to the upper body through the 180-degree rotation. And, it is preferable to further include a drive unit for applying the power of the front and rear movement of the guide portion and 180 degrees rotational movement. Of course, the guide part may be manufactured in a frame having an open surface, and at least a part of the frame may include a stepped surface on which an edge region of the substrate is seated, and a fixing member fixing the substrate seated on the stepped surface. It is preferable.

앞서 언급한 상기 스팀 분사부는, 상기 기판 고정부의 외측에 마련된 스팀 분사 몸체와, 상기 스팀 분사 몸체 내에 마련되어 스팀을 분사하는 다수의 노즐과, 상기 노즐에 스팀을 공급하는 스팀 공급관을 포함하는 것이 바람직하다. Preferably, the steam jetting unit includes a steam jetting body provided outside the substrate fixing part, a plurality of nozzles provided in the steam jetting body to inject steam, and a steam supply pipe for supplying steam to the nozzles. Do.

물론, 앞서 언급한 상기 스팀 분사부는, 상기 기판 고정부의 외측에 마련된 스팀 분사 몸체와, 상기 스팀 분사 몸체 내에 마련되어 스팀을 분사하는 다수의 노즐과, 가열 수단을 포함하여 스팀을 생성하고, 생성된 스팀을 상기 노즐에 공급하는 스팀 공급관을 포함할 수도 있다. Of course, the above-described steam injection unit, the steam injection body provided on the outside of the substrate fixing portion, a plurality of nozzles provided in the steam injection body to inject steam, and generating means to generate steam, It may also include a steam supply pipe for supplying steam to the nozzle.

상기 노즐은 상기 기판 고정부 상부 또는 하부에 마련되거나, 기판 고정부 상부 및 하부에 마련되는 것이 효과적이다. 그리고, 상기 스팀 공급관은 상기 개개의 노즐과 대응되도록 마련되거나, 다수의 노즐을 하나의 블록으로 하여 이 블록에 대응되도록 마련되는 것이 바람직하다. 물론, 상기 스팀 공급관은 제어 스위치를 포함하여 상기 노즐에 공급하는 스팀의 양이 조절되는 것이 효과적이다. The nozzle may be provided above or below the substrate fixing part, or may be provided above and below the substrate fixing part. The steam supply pipe may be provided to correspond to the individual nozzles or may be provided to correspond to this block using a plurality of nozzles as one block. Of course, it is effective that the steam supply pipe includes a control switch to control the amount of steam supplied to the nozzle.

그리고, 본 발명은 이동가능하고 스팀 분사가 가능한 스팀 건을 더 포함하는 것이 바람직하다. And, the present invention preferably further comprises a steam gun that is movable and capable of steam injection.

상기의 스팀 생성부는, 가열을 통해 스팀을 생성하고, 이를 상기 스팀 분사 부에 공급하는 스팀 발생부와, 상기 스팀 발생부에 물을 공급하는 물 공급부와, 상기 스팀 발생부를 가열하는 가열수단을 포함하는 것이 바람직하다. The steam generating unit includes a steam generating unit for generating steam through heating and supplying the steam to the steam injection unit, a water supply unit for supplying water to the steam generating unit, and heating means for heating the steam generating unit. It is desirable to.

상기의 광원부는 광을 발산하는 발광부와, 상기 발광부에 전원을 인가하는 전원부를 포함하는 것이 바람직하고, 상기 발광부는 점광원, 선광원 및 면광원을 포함하는 백라이트 또는 스포트라이트를 사용하는 것이 효과적이다. Preferably, the light source unit includes a light emitting unit for emitting light and a power source unit for applying power to the light emitting unit, and the light emitting unit may effectively use a backlight or spotlight including a point light source, a line light source, and a surface light source. to be.

또한, 본 발명에 따른 기판의 가장자리 일부를 고정하고, 전후 및 180도 회전운동을 하는 가이드부를 포함하는 기판 고정부와, 상기 기판 고정부의 양측에 마련된 스팀 분사부와, 상기 기판 하단에 마련된 광원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치를 이용한 액정 표시 검사 방법에 있어서, 상기 기판 고정부 내에 상기 기판을 안치시키는 단계와, 상기 스팀 분사부를 통해 상기 기판의 표면에 스팀을 분사하는 단계와, 상기 광원부를 통해 상기 기판에 광을 조사하는 단계를 포함하는 액정 표시 패널 검사 방법을 제공한다. In addition, the substrate fixing portion including a guide portion for fixing a portion of the edge of the substrate according to the present invention, and rotates back and forth and 180 degrees, the steam injection portion provided on both sides of the substrate fixing portion, the light source portion provided on the lower end of the substrate A liquid crystal display inspection method using a liquid crystal display panel inspection apparatus comprising: placing the substrate in the substrate fixing portion, spraying steam on the surface of the substrate through the steam injection portion, and the light source portion It provides a liquid crystal display panel inspection method comprising the step of irradiating light to the substrate through.

또한, 본 발명에 따른 기판의 가장자리 일부를 고정하고, 전후 및 180도 회전운동을 하는 가이드부를 포함하는 기판 고정부와, 상기 기판 고정부의 양측에 마련된 스팀 분사부와, 상기 기판 하단에 마련된 광원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치를 이용한 액정 표시 검사 방법에 있어서, 상기 기판 고정부 내에 상기 기판의 상면이 스팀 분사부 하부에 배치되도록 상기 기판을 안치시키는 단계와, 상기 스팀 분사부를 통해 상기 기판의 상면에 스팀을 분사하는 단계와, 상기 광원부를 통해 상기 기판에 광을 조사하는 단계와, 상기 기판의 하면이 스팀 분사부 하부에 배치되도록 상기 기판을 이동하는 단계와, 상기 스팀 분사부를 통해 상기 기판 의 하면에 스팀을 분사하는 단계를 포함하는 액정 표시 패널 검사 방법을 제공한다. In addition, the substrate fixing portion including a guide portion for fixing a portion of the edge of the substrate according to the present invention, and rotates back and forth and 180 degrees, the steam injection portion provided on both sides of the substrate fixing portion, the light source portion provided on the lower end of the substrate A liquid crystal display inspection method using a liquid crystal display panel inspection apparatus comprising: placing the substrate so that an upper surface of the substrate is disposed below a steam injection unit in the substrate fixing unit; Spraying steam on an upper surface, irradiating light onto the substrate through the light source unit, moving the substrate so that the lower surface of the substrate is disposed below the steam spraying unit, and the substrate through the steam spraying unit It provides a liquid crystal display panel inspection method comprising the step of spraying steam on the lower surface of the.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention in more detail. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and to those skilled in the art to fully understand the scope of the invention. It is provided to inform you. Like numbers refer to like elements in the figures.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널 검사 장치의 사시 개념도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널 검사 장치의 단면 개념도이고, 도 7은 본 발명의 변형예에 따른 액정 표시 패널 검사 장치의 단면 개념도이다. 3 to 5 are perspective conceptual views of a liquid crystal display panel inspection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention. 6 is a cross-sectional conceptual view of a liquid crystal display panel inspecting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional conceptual view of a liquid crystal display panel inspecting apparatus according to a modification of the present invention.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 액정 표시 패널 검사 장치는 기판(101)의 가장자리 일부를 지지 고정시키는 기판 고정부(100)와, 스팀을 생성하는 스팀 생성부(200)와, 상기 기판 고정부(100)에 고정된 기판(101)의 표면에 스팀을 분사하는 스팀 분사부(300)와, 상기 기판 고정부(100)에 고정된 기판(101)에 광을 조사하는 광원부(400)를 포함한다. 또한, 소정의 제어 신호를 이용하여 상기 기판 고정부(100), 스팀 생성부(200), 스팀 분사부(300) 및 광원부(400)의 동작을 제어하는 제어부(500)를 포함한다.3 to 6, the liquid crystal display panel inspection apparatus according to the present exemplary embodiment includes a substrate fixing part 100 for supporting and fixing a part of an edge of the substrate 101, a steam generating part 200 for generating steam, and A steam injection unit 300 for spraying steam onto a surface of the substrate 101 fixed to the substrate fixing unit 100 and a light source unit for irradiating light to the substrate 101 fixed to the substrate fixing unit 100; 400. In addition, the control unit 500 controls the operations of the substrate fixing unit 100, the steam generating unit 200, the steam injecting unit 300, and the light source unit 400 using a predetermined control signal.

먼저, 기판 고정부(100)는 몸체(110)와, 기판(101)의 가장자리 일부가 안착되고, 전후 운동을 통해 상기 몸체(110) 상부로 인입 및 인출되거나 180도 회전운동을 통해 상기 몸체(110) 상부로 장착되는 가이드부(120)를 포함한다. 그리고, 상기 가이드부(120)에 전후운동 또는 180도의 회전 운동을 인가하는 구동부(130)를 더 포함한다. First, the substrate fixing part 100 has a body 110, a part of the edge of the substrate 101 is seated, the body 110 through the front and rear movement through the front and rear movement or withdrawal or 180 degrees rotational movement ( 110) includes a guide portion 120 mounted to the top. In addition, the guide unit 120 further includes a driving unit 130 for applying a forward and backward movement or a rotational movement of 180 degrees.

상기 몸체(110)는 도면에 도시된 바와 같이 기판(101)의 길이 방향에 대응하는 소정 폭을 갖는 직선 형태로 제작되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 몸체(110)의 길이는 기판(101)의 축방향의 길이에 비해 1 내지 1.5배 정도 길게 형성하는 것이 바람직하다. As shown in the drawing, the body 110 may be manufactured in a straight form having a predetermined width corresponding to the length direction of the substrate 101. At this time, the length of the body 110 is preferably formed to be 1 to 1.5 times longer than the length in the axial direction of the substrate 101.

상기의 가이드부(120)는 도면에 도시된 바와 같이 일면이 개방된 프레임 형태로 제작된다. 그리고, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 가이드부(120)는 소정의 단턱면(121)이 마련되어 기판(101)의 가장자리 영역이 단턱면(121)에 안착되고, 별도의 고정부재(122)가 가이드부(120) 상부에 마련되어 상기 단턱면(121)에 안착된 기판(101)을 고정하도록 하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 고정부재(122)는 이동 가능하여 기판(101)이 가이드부(120)에 안착되기 전에는 가이드부(120)의 단턱면(121)을 노출시키고, 기판(101)이 안착된 후에는 단턱면(121)을 가리도록 하여 기판(101)을 지지 고정시킬 수 있다. 상기에서 단턱면(121)은 기판(101)의 가장자리 영역 중 패널의 동작에 영향을 미치지 않는 범위내의 폭으로 형성되는 것이 바람직하다. The guide part 120 is manufactured in the form of a frame having one surface open as shown in the drawing. As shown in FIG. 6, the guide part 120 is provided with a predetermined step surface 121 so that an edge region of the substrate 101 is seated on the step surface 121, and a separate fixing member 122 is provided. It is preferable to fix the substrate 101 mounted on the guide part 120 to the stepped surface 121. At this time, the fixing member 122 is movable so that the step surface 121 of the guide portion 120 is exposed before the substrate 101 is seated on the guide portion 120, and after the substrate 101 is seated, The substrate 101 may be supported and fixed by covering the stepped surface 121. In the above, the stepped surface 121 may be formed to have a width within a range that does not affect the operation of the panel among the edge regions of the substrate 101.

상기의 가이드부(120)는 몸체의 길이 방향을 기준으로 전후 운동을 수행할 수 있어 몸체(110)의 외부에서 기판(101)을 안전하게 로딩시킬 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 몸체(110)의 외부로 가이드부(120)가 돌출되고, 돌출된 가이드부(120) 상에 기판(101)을 장착한 다음, 가이드부(120)를 몸체(110) 방향으로 전진시켜 기판(101)을 장치내로 로딩할 수 있다. 또한, 가이드부(120)는 몸체(110)의 길이 방향을 기준으로 180도 회전 운동을 수행하여 기판(101)의 바닥면이 상측으로 가게 할 수 있다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 몸체(110)의 외측으로 돌출된 가이드부(120)가 180도 회전하여 몸체(110)의 상단으로 이동함으로 인해 기판(101)의 초기 로딩된 면과 반대의 면이 장치의 상측으로 위치되도록 할 수 있다. 이는 상기 스팀 분사부(300)는 기판(101)의 일면에만 스팀을 분사할 수 있기 때문이다. 하지만, 도 7에 도시된 바와 같이 스팀 분사부(300)가 기판(101)의 양면에 모두 스팀을 분사할 수 있을 경우 상기 가이드부(120)는 180도 회전을 하지 않을 수 있고, 단지 전후 운동만을 수행하는 것이 바람직하다. The guide unit 120 may perform the forward and backward movement based on the longitudinal direction of the body to safely load the substrate 101 from the outside of the body 110. That is, as shown in FIG. 3, the guide part 120 protrudes to the outside of the body 110, mounts the substrate 101 on the protruding guide part 120, and then guides the body 120 to the guide part 120. Advance in the (110) direction to load the substrate 101 into the device. In addition, the guide part 120 may perform a 180 degree rotational movement based on the longitudinal direction of the body 110 to allow the bottom surface of the substrate 101 to move upward. That is, as shown in FIG. 5, the guide part 120 protruding to the outside of the body 110 is rotated 180 degrees to move to the top of the body 110 so that the guide portion 120 is opposite to the initially loaded surface of the substrate 101. The face may be positioned above the device. This is because the steam spraying unit 300 may spray steam only on one surface of the substrate 101. However, as shown in FIG. 7, when the steam injector 300 may inject steam onto both sides of the substrate 101, the guide unit 120 may not rotate 180 degrees, and only back and forth movement. It is preferable to carry out only.

여기서, 상기 기판 고정부(100)는 도시되지는 않았지만 리니어 모션 가이드 형태로 제작하여 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 몸체(110)의 내측으로 리니어 레일이 마련되고, 상기 가이드부(120) 하부면에는 리니어 블록이 결합 고정된다. 이를 통해 상기 구동부(130)의 전후 운동에 의해 가이드부(120)가 상기 몸체(110)의 내부로 인입되거나 몸체(110)의 외부로 인출될 수 있다. 또한, 상기 몸체(110)의 내측으로 회전부재가 마련되어 이를 통해 상기 가이드부(120)의 인입 및 인출을 실시할 수도 있다. Here, although not shown, the substrate fixing part 100 is preferably manufactured and used in the form of a linear motion guide. That is, a linear rail is provided inside the body 110, and the linear block is fixedly coupled to the lower surface of the guide part 120. Through this, the guide part 120 may be drawn into the inside of the body 110 or may be drawn out of the body 110 by the front and rear motion of the driving unit 130. In addition, the rotating member is provided to the inside of the body 110, through which the guide portion 120 may be drawn in and out.

다음으로 상기 스팀 분사부(300)는 도면에 도시된 바와 같이 기판 고정부 (100)의 외측에 마련된 스팀 분사부 몸체(310)와, 스팀 생성부(200)에 접속되어 스팀을 인가받는 스팀 공급관(320)과, 상기 스팀을 분사하는 다수의 노즐(330)을 포함한다. Next, the steam injection unit 300 is connected to the steam injection unit body 310 and the steam generator 200 provided on the outside of the substrate fixing unit 100, as shown in the steam supply pipe to receive steam 320 and a plurality of nozzles 330 for spraying the steam.

상기 스팀 분사부(300)는 기판 고정부(100)에 안착된 기판(101)의 일면에 스팀을 분사하여 기판(101) 일면의 러빙 공정의 불량여부를 판단할 수 있다. 이는 상기 기판 고정부(100) 내의 가이드부(110)가 180도로 회전할 수 있기 때문에 처음에는 기판(101)의 일면을 검사한 다음, 기판(101)을 180도 회전시켜 기판(101)의 타면을 검사할 수 있어 기판(101)의 정밀 검사가 가능해진다. The steam injection unit 300 may inject steam on one surface of the substrate 101 seated on the substrate fixing unit 100 to determine whether the rubbing process of one surface of the substrate 101 is defective. Since the guide part 110 in the substrate fixing part 100 may rotate 180 degrees, the first surface of the substrate 101 is first inspected, and then the substrate 101 is rotated 180 degrees. Can be inspected so that a precise inspection of the substrate 101 is possible.

이를 위해 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이 스팀 분사부(300)의 노즐(330)을 상기 기판 고정부(110) 보다 더 높이 위치되도록 하여 기판(101)의 상부면에 스팀을 분사시킬 수 있다. 이는 기판 고정부(110) 내에 기판(101)이 안착 고정되어 있고, 이 기판 고정부(110)의 양측면으로 스팀 분사부(300)가 장착되어 있기 때문에 기판(101) 상측 즉, 기판 고정부(110) 상부에서 스팀을 분사할 경우 스팀이 기판(101)의 상부면에만 분사될 수 있게 된다. 물론 이와는 반대의 개념 즉, 스팀 분사부(300)의 노즐(330)이 상기 기판 고정부(110) 보다 아래에 배치되어 기판(101)의 하부면에 스팀을 분사시킬 수 있다. To this end, as shown in FIGS. 4 and 6, the nozzle 330 of the steam injector 300 may be positioned higher than the substrate fixing unit 110 to inject steam onto the upper surface of the substrate 101. have. This is because the substrate 101 is seated and fixed in the substrate fixing unit 110, and the steam injection unit 300 is mounted on both sides of the substrate fixing unit 110, that is, the substrate fixing unit ( When steam is sprayed from the upper portion, the steam can be sprayed only on the upper surface of the substrate 101. Of course, the opposite concept, that is, the nozzle 330 of the steam injection unit 300 may be disposed below the substrate fixing unit 110 to inject steam to the lower surface of the substrate 101.

물론 이에 한정되지 않고, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 스팀 분사부(300)의 노즐(330)이 상기 기판 고정부(110)의 상부와 하부에 모두 배치되어 상기 기판(101)의 상부면과 바닥면에 스팀을 동시에 또는 따로 따로 공급할 수도 있다. Of course, the present invention is not limited thereto, and as illustrated in FIG. 7, the nozzle 330 of the steam injection unit 300 may be disposed at both the upper and lower portions of the substrate fixing part 110, and the upper surface of the substrate 101 may be formed. Steam can also be supplied to the bottom simultaneously or separately.

상기 스팀 공급관(320)은 소정의 제어 스위치(미도시)가 마련되어 스팀 공급 관(320)으로 공급되는 스팀의 양을 조절할 수 있다. 상기 제어 스위치를 조절하기 위해 소정의 센서를 도입하여 스팀의 양을 수동 또는 자동으로 조절 가능하다. 이때, 상기 스팀 공급관(320)을 개개의 노즐(330)과 대응되도록 마련될 수 있고, 다수의 노즐(330)을 하나의 블록으로 하여 이 블록에 대응되도록 마련할 수 있다. 상기와 같은 구조의 스팀 분사부(300)를 통해 스팀 분사부(300)의 위치별로 스팀의 분사를 조절할 수 있다. 예를 들어 앞단의 제어 스위치를 개방하여 스팀 분사부(300)의 앞단에만 스팀이 분사되도록 할 수 있다. The steam supply pipe 320 may be provided with a predetermined control switch (not shown) to adjust the amount of steam supplied to the steam supply pipe 320. The amount of steam can be adjusted manually or automatically by introducing a predetermined sensor to adjust the control switch. In this case, the steam supply pipe 320 may be provided to correspond to the individual nozzles 330, it may be provided to correspond to this block with a plurality of nozzles 330 as one block. The steam injection unit 300 may control the injection of steam for each position of the steam injection unit 300. For example, the front end of the control switch can be opened so that steam is injected only to the front end of the steam injection unit 300.

또한, 본 실시예에 따른 스팀 분사부(300)는 도 4에 도시된 바와 같이 별도의 스팀 건(340)을 더 포함하여 원하는 영역에만 국부적으로 스팀을 분사할 수도 있다. 이를 통해 기판(101)의 특정 위치의 불량을 용이하게 검사할 수 있다. In addition, the steam injector 300 according to the present embodiment may further include a separate steam gun 340 as shown in FIG. 4 to locally inject steam only to a desired area. Through this, the defect of the specific position of the substrate 101 can be easily inspected.

또한, 본 발명에서는 상기 스팀 생성부(200)를 생략하고, 스팀 공급관(320)을 가열하여 스팀을 생성할 수도 있다. 또한, 스팀 분사부(300) 내에서 스팀을 생성하여 스팀을 공급할 수도 있다. In addition, in the present invention, the steam generator 200 may be omitted, and steam may be generated by heating the steam supply pipe 320. In addition, steam may be generated in the steam injection unit 300 to supply steam.

다음으로 스팀 생성부(200)는 도시되지는 않았지만 가열을 통해 스팀이 생성되는 스팀 발생부와, 상기 스팀 발생부에 물을 공급하는 물 공급부와, 상기 스팀 발생부를 가열하는 가열수단을 포함한다. 본 도면에서는 스팀 분사부(300)의 양측에 2개의 스팀 생성부(200)를 도시하였지만 본 발명은 이에 한정되지 않고 하나의 스팀 생성부(200)를 통해 상기 기판(101)의 양측에 마련된 스팀 분사부(300)에 스팀을 공급할 수도 있다. Next, although not shown, the steam generating unit 200 includes a steam generating unit for generating steam through heating, a water supply unit supplying water to the steam generating unit, and heating means for heating the steam generating unit. Although two steam generators 200 are shown on both sides of the steam injector 300 in the drawing, the present invention is not limited thereto, and steam provided on both sides of the substrate 101 through one steam generator 200 is provided. Steam may be supplied to the injection unit 300.

다음으로 광원부(400)는 상기 기판 고정부(110) 하부에 위치하여 기판(101) 의 하부에서 상부 방향으로 광을 조사시켜 액정 패널의 결함을 검출하도록 하는 것이 바람직하다. 이러한 광원부(400)는 도시되지는 않았지만 광을 발산하는 발광부와, 상기 발광부에 전원을 인가하는 전원부를 포함한다. 본 실시예에서는 상기 발광부로는 백라이트를 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 점광원, 선광원 및 면광원을 포함하는 백라이트를 사용하는 것이 효과적이다. 이러한 백라이트를 사용하여 도 6에 도시된 바와 같이 기판(101)의 전면에 균일하게 광을 조사할 수 있다. 또한, 백라이트 내의 편광시트과 확산시트 등과 같은 다양한 광학 시트를 추가하여 광의 조사 위치와 각도를 자유롭게 변경할 수도 있어 스팀을 이용한 기판(101)의 불량을 정밀하게 조사할 수 있다. 이뿐만 아니라 상기 발광부로 스포트라이트를 포함하는 다양한 형태의 조명광을 사용할 수 있다. Next, the light source unit 400 may be positioned under the substrate fixing unit 110 to irradiate light from the lower side of the substrate 101 to the upper side to detect defects of the liquid crystal panel. Although not shown, the light source unit 400 includes a light emitting unit for emitting light and a power supply unit for applying power to the light emitting unit. In the present embodiment, it is preferable to use a backlight as the light emitting unit. That is, it is effective to use a backlight including a point light source, a line light source and a surface light source. This backlight can be used to uniformly irradiate the entire surface of the substrate 101 as shown in FIG. In addition, by adding various optical sheets, such as a polarizing sheet and a diffusion sheet in the backlight, it is possible to freely change the irradiation position and angle of the light, it is possible to precisely investigate the defect of the substrate 101 using steam. In addition, various types of illumination light including a spotlight may be used as the light emitting unit.

상기 기판 고정부(100), 스팀 생성부(200), 스팀 분사부(300) 및 광원부(400)의 동작을 제어하는 제어부(500)는 수동 및 자동으로 상기 각각의 부들을 제어할 수 있다. 즉, 상기 각각의 부에 별도의 센서를 부착하여 이러한 센서에 의해 인가 받은 신호에 따라 이들을 제어할 수도 있고, 이러한 신호를 이용하여 사용자가 이들의 동작을 직접 조절할 수도 있다. 제어부에 의해 가이드부의 전후 운동 및 180도의 회전 운동을 제어할 수 있고, 스팀 생성부 내의 동작을 제어하여 스팀 생성을 조절할 수 있으며, 스팀 분사부의 스팀 공급관의 개폐를 조절하여 스팀의 분사량을 조절할 수 있으며, 광원부의 켜짐과 꺼짐을 제어할 수 있다. The control unit 500 controlling the operations of the substrate fixing unit 100, the steam generating unit 200, the steam spraying unit 300, and the light source unit 400 may control the respective units manually and automatically. That is, a separate sensor may be attached to each unit to control them according to a signal applied by such a sensor, and a user may directly control their operations using such a signal. The controller can control the forward and backward movement of the guide unit and the rotational movement of 180 degrees, can control the generation of steam by controlling the operation in the steam generating unit, and the amount of steam injection can be adjusted by controlling the opening and closing of the steam supply pipe of the steam injector It can control the light source on and off.

하기에서는 도면을 참조하여 상술한 구조를 갖는 본 실시예의 액정 표시 패널 검사 장치의 검사 방법에 관해 설명한다. Hereinafter, an inspection method of the liquid crystal display panel inspection device of the present embodiment having the structure described above with reference to the drawings will be described.

먼저 도 3을 참조하면 러빙 공정이 완료된 기판을 상기 기판 고정부의 가이드부상에 안착 고정시킨다. First, referring to FIG. 3, the substrate on which the rubbing process is completed is seated and fixed on the guide part of the substrate fixing part.

이때, 기판의 안착은 작업자가 직접 기판을 가이드부 상에 안착시킬 수 있고, 자동화 시스템을 이용하여 상기 가이드부 상에 기판을 안착시킬 수도 있다. 자동화 시스템을 사용할 경우를 예를 들어 설명하면, 제어부의 제어신호에 의해 기판 고정부 내의 가이드부가 몸체의 외부 즉, 도 3에서와 같이 몸체의 뒤쪽으로 빠져나가게 된다. 이후, 로봇 또는 기판 이송장치에 의해 기판이 이송되어 상기 가이드부 상에 놓이게 된다. 이때, 가이드부는 기판이 가장자리 영역을 지지 고정시켜 기판의 이탈을 방지한다. 또한, 기판 고정부는 기판의 가장자리 영역만을 지지 고정하기 때문에 본 실시예의 장치와 기판이 접하는 면적이 줄어들게 되어 기판 표면의 스크레치 발생을 줄일 수 있다.In this case, the mounting of the substrate may be carried out by the operator to directly seat the substrate on the guide portion, it may be mounted to the substrate on the guide portion using an automated system. In the case of using the automation system, for example, the guide part in the substrate fixing part is driven to the outside of the body, that is, to the rear of the body as shown in FIG. 3 by the control signal of the controller. Subsequently, the substrate is transferred by the robot or the substrate transfer device and placed on the guide part. At this time, the guide unit supports the edge region to prevent the separation of the substrate. In addition, since the substrate fixing part supports and fixes only the edge region of the substrate, the area of the substrate and the substrate in contact with the present embodiment can be reduced, thereby reducing the occurrence of scratches on the surface of the substrate.

도 3의 화살표로 표시된 바와 같이 이동시켜 도 4에 도시된 바와 같이 상기 기판을 스팀 분사부가 배치된 몸체 내부에 안착되도록 한다. 이후, 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이 스팀 분사부를 통해 스팀(도 4 및 도 6의 점선 참조)을 분사하고, 이와 동시에 하부 광원부를 턴온시켜 광(도 6의 실선 참조)을 기판에 인가하여 기판의 상면의 결함을 검사한다. As shown by arrows in FIG. 3, the substrate is seated inside the body in which the steam jet unit is disposed, as shown in FIG. 4. Thereafter, as illustrated in FIGS. 4 and 6, steam (see dotted lines in FIGS. 4 and 6) is sprayed through the steam injector, and at the same time, the lower light source is turned on to apply light (see solid line in FIG. 6) to the substrate. To inspect the defects on the upper surface of the substrate.

이때, 스팀 분사부를 통해 기판 상면 전체에 스팀을 분사시킬 수도 있고, 부분적으로 스팀을 분사시킬 수도 있다. 또한, 스팀건을 사용하여 국부적인 영역에 스팀을 분사할 수도 있다. 또한, 하부 광원부는 다수의 영역으로 분리될 수 있고, 이 영역들이 동시에 발광할 수도 있고, 각기 개별적으로 발광할 수 있다. 이를 통 해 상기 스팀을 이용하여 기판 상면의 결함 검사를 기판 전체에 걸쳐 실시할 수도 있고, 기판의 일부만을 실시할 수도 있다. 또한, 의심되는 영역만을 국부적으로 실시할 수 있게 되어 기판의 결함 검사를 더욱 정밀하게 수행할 수 있다. 그리고, 상기 기판 하면에 균일한 방향으로 일정한 광량을 조사하는 광원부를 통해 기판의 결함 검사시 오차를 줄일 수 있다. In this case, steam may be sprayed on the entire upper surface of the substrate through the steam sprayer, or steam may be partially sprayed. It is also possible to inject steam into the local area using a steam gun. In addition, the lower light source unit may be divided into a plurality of areas, and these areas may emit light simultaneously, or may emit light individually. Through this, the defect inspection of the upper surface of the substrate may be performed using the steam over the entire substrate, or only part of the substrate may be performed. In addition, only the suspected area can be performed locally, so that defect inspection of the substrate can be performed more precisely. In addition, an error in the defect inspection of the substrate may be reduced through the light source unit irradiating a constant amount of light in a uniform direction on the lower surface of the substrate.

또한, 본 실시예에서는 스팀 분사부 내의 스팀 분사량을 수동, 자동 및 반자동으로 조절할 수 있어 스팀을 기판 상에 균일하게 분사할 수 있다. In addition, in this embodiment, the steam injection amount in the steam injection unit can be adjusted manually, automatically, and semi-automatically to uniformly spray steam onto the substrate.

이와 같이 스팀 분사를 통해 육안으로 기판 상면의 검사한 다음 기판 하면의 검사를 위해 상기 기판 고정부의 가이드부를 몸체의 외부 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 뒤쪽으로 이송시킨다. 이후, 도 5에 도시된 바와 같이 가이드부를 180도 회전시켜 기판을 뒤집는다. 즉, 몸체 외부로 이동된 가이드부를 접어 몸체에 접속시켜 스팀 검사가 이루어지지 않은 기판 하면이 위로 올라오게 하고, 스팀 검사가 이루어진 기판 상면이 아래에 위치하도록 한다. As described above, the upper surface of the substrate is visually inspected through steam injection, and then the guide part of the substrate fixing part is transferred to the outside of the body, that is, to the rear of the body as illustrated in FIG. Thereafter, as shown in FIG. 5, the guide part is rotated 180 degrees to invert the substrate. That is, by fold the guide portion moved to the outside of the body connected to the body so that the bottom surface of the substrate is not steam test is up, and the upper surface of the substrate where the steam test is placed.

위로 올려진 기판 하면에 스팀 분사부를 통해 스팀을 분사하여 기판 하면의 결함을 검사한다. 스팀을 이용한 기판 검사가 완료된 다음 가이드부는 다시 반대 방향으로 180도 회전하여 몸체의 외부로 기판을 이송시킨다. 몸체의 외부로 이송된 기판은 검사 결과에 따라 다음 단계로 진행하거나 결함 치료 또는 폐기 된다.Inject the steam through the steam jet to the lower surface of the board to check for defects on the lower surface of the substrate. After the substrate inspection using steam is completed, the guide unit rotates 180 degrees in the opposite direction to transfer the substrate to the outside of the body. The substrate transferred to the outside of the body proceeds to the next step or the defect is treated or discarded depending on the test result.

상기에서 기판에 스팀을 분사할 경우, 스팀 건을 이용하여 기판 전면에 스팀을 균일하게 분사한 다음 이를 육안으로 검사하여 패널의 결함유무를 확인할 수도 있다. When the steam is sprayed on the substrate, by using a steam gun to spray the steam evenly on the front surface of the substrate may be visually inspected to determine the presence of defects in the panel.

상술한 바와 같이, 본 발명은 기판의 가장자리 고정 가능한 기판 고정부로 기판을 고정한 후, 스팀 분사 장치를 통해 기판에 스팀을 분사시켜 기판의 배향상태를 검사할 수 있다. As described above, according to the present invention, after fixing the substrate by the substrate fixing part capable of fixing the edge of the substrate, steam may be injected onto the substrate through a steam spraying device to inspect the orientation of the substrate.

또한, 기판의 가장자리 영역만을 지지 고정하기 때문에 기판 표면의 스크레치 발생을 줄일 수 있다.In addition, since only the edge region of the substrate is supported and fixed, scratches on the surface of the substrate can be reduced.

또한, 기판의 측면 영역에 배치된 스팀 분사부를 통해 기판 전면에 스팀을 분사할 수도 있고, 부분적으로 스팀을 분사할 수도 있다. In addition, steam may be sprayed on the entire surface of the substrate through a steam sprayer disposed in the side region of the substrate, or steam may be partially sprayed.

또한, 별도의 스팀 검을 사용하여 국부적으로 스팀을 분사할 수도 있다.It is also possible to spray steam locally using a separate steam gum.

또한, 기판 하부에 광원을 배치하여 기판에 균일한 방향과 광량으로 광을 조사할 수 있다. In addition, a light source may be disposed below the substrate to irradiate light onto the substrate in a uniform direction and in an amount of light.

또한, 의심되는 영역을 국부적으로 스팀 검사를 실시할 수 있게 되어 기판의 결함 검사를 더욱 정밀하게 수행할 수 있다.In addition, the steam inspection can be performed locally on the suspected area, so that defect inspection of the substrate can be performed more precisely.

본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.Although the invention has been described with reference to the accompanying drawings and the preferred embodiments described above, the invention is not limited thereto, but is defined by the claims that follow. Accordingly, one of ordinary skill in the art may variously modify and modify the present invention without departing from the spirit of the following claims.

Claims

기판의 가장자리 일부를 지지 고정시키는 기판 고정부;A substrate fixing portion supporting and fixing a portion of an edge of the substrate;

상기 기판 고정부에 고정된 상기 기판의 표면에 스팀을 분사하는 스팀 분사부;A steam injector for injecting steam onto a surface of the substrate fixed to the substrate fixing part;

스팀을 생성하여 상기 스팀 분사부에 스팀을 공급하는 스팀 생성부;A steam generator for generating steam and supplying steam to the steam injector;

상기 기판 고정부에 고정된 기판에 광을 조사하는 광원부;A light source unit irradiating light onto the substrate fixed to the substrate fixing unit;

를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치.Liquid crystal display panel inspection device comprising a.

스팀을 생성하여 상기 기판 고정부에 고정된 상기 기판의 표면에 스팀을 분사하는 스팀 분사부;A steam injector which generates steam and injects steam onto a surface of the substrate fixed to the substrate fixing part;

청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, The method according to claim 1 or 2,

상기 기판 고정부, 상기 스팀 분사부 및 상기 광원부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치.And a controller configured to control operations of the substrate fixing part, the steam injection part, and the light source part.

청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 기판 고정부는, The method according to claim 1 or 2, The substrate fixing portion,

상기 스팀 분사부 내측에 마련된 몸체;A body provided inside the steam injection unit;

상기 기판의 가장자리 일부가 안착되고, 상기 몸체 상에 지지 고정되는 가이드부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치. And a guide part on which a portion of an edge of the substrate is seated and supported on and fixed to the body.

청구항 4에 있어서, The method according to claim 4,

상기 가이드부는 전후 운동을 통해 상기 몸체 상부로 인입 및 인출되거나, 180도 회전 운동을 통해 상기 몸체 상부로 장착되는 액정 표시 패널 검사 장치. The guide unit may be inserted into or withdrawn from the upper portion of the body through front and rear motion, or mounted to the upper portion of the body through a 180 degree rotational movement.

청구항 4에 있어서, The method according to claim 4,

상기 가이드부의 전후 운동과 180도 회전 운동의 동력을 인가하는 구동부를 더 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치. And a driving unit configured to apply power to the front and rear motions of the guide unit and the rotational motion of 180 degrees.

청구항 4에 있어서, The method according to claim 4,

상기 가이드부는 일면이 개방된 프레임 형태로 제작하고, 상기 프레임의 적 어도 일부에는 상기 기판의 가장자리 영역이 안착되는 단턱면과, 상기 단턱면 상에 안착된 상기 기판을 고정하는 고정부재를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치. The guide part may be manufactured in a frame having an open surface, and at least a portion of the frame may include a stepped surface on which an edge region of the substrate is seated, and a fixing member configured to fix the substrate seated on the stepped surface. Display panel inspection device.

청구항 1에 있어서, 상기 스팀 분사부는, The method according to claim 1, wherein the steam injection unit,

상기 기판 고정부의 외측에 마련된 스팀 분사 몸체;A steam injection body provided outside the substrate fixing part;

상기 스팀 분사 몸체 내에 마련되어 스팀을 분사하는 다수의 노즐;A plurality of nozzles provided in the steam injection body to inject steam;

상기 노즐에 스팀을 공급하는 스팀 공급관을 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치.And a steam supply pipe for supplying steam to the nozzle.

청구항 2에 있어서, 상기 스팀 분사부는, The method of claim 2, wherein the steam injection unit,

가열 수단을 포함하여 스팀을 생성하고, 생성된 스팀을 상기 노즐에 공급하는 스팀 공급관을 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치.And a steam supply pipe for generating steam including heating means and supplying the generated steam to the nozzle.

청구항 8 또는 청구항 9에 있어서, The method according to claim 8 or 9,

상기 노즐은 상기 기판 고정부 상부 또는 하부에 마련되거나, 기판 고정부 상부 및 하부에 마련되는 액정 표시 패널 검사 장치.And the nozzle is provided above or below the substrate fixing part, or is disposed above and below the substrate fixing part.

상기 스팀 공급관은 상기 개개의 노즐과 대응되도록 마련되거나, 다수의 노즐을 하나의 블록으로 하여 이 블록에 대응되도록 마련된 액정 표시 패널 검사 장치.The steam supply pipe is provided to correspond to the individual nozzles, or the liquid crystal display panel inspection apparatus provided to correspond to this block using a plurality of nozzles as one block.

청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,The method according to claim 8 or 9,

상기 스팀 공급관은 제어 스위치를 포함하여 상기 노즐에 공급하는 스팀의 양이 조절되는 액정 표시 패널 검사 장치.And the steam supply pipe includes a control switch to control an amount of steam supplied to the nozzle.

청구항 1, 청구항 8 및 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 1, 8 and 9,

이동가능하고 스팀 분사가 가능한 스팀 건을 더 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치. A liquid crystal display panel inspection device further comprising a steam gun that is movable and capable of steam injection.

청구항 1에 있어서, 상기 스팀 생성부는,The method according to claim 1, wherein the steam generating unit,

가열을 통해 스팀을 생성하고, 이를 상기 스팀 분사부에 공급하는 스팀 발생부;A steam generating unit generating steam through heating and supplying the steam to the steam spraying unit;

상기 스팀 발생부에 물을 공급하는 물 공급부;A water supply unit supplying water to the steam generator;

상기 스팀 발생부를 가열하는 가열수단을 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치. And a heating means for heating the steam generator.

상기 광원부는 광을 발산하는 발광부와, 상기 발광부에 전원을 인가하는 전원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치.The light source unit includes a light emitting unit for emitting light, and a power supply unit for applying power to the light emitting unit.

청구항 15에 있어서, The method according to claim 15,

상기 발광부는 점광원, 선광원 및 면광원을 포함하는 백라이트 또는 스포트라이트를 사용하는 액정 표시 패널 검사 장치. The light emitting unit is a liquid crystal display panel inspection apparatus using a backlight or spotlight including a point light source, a line light source and a surface light source.

기판의 가장자리 일부를 고정하고, 전후 및 180도 회전운동을 하는 가이드부를 포함하는 기판 고정부와, 상기 기판 고정부의 양측에 마련된 스팀 분사부와, 상기 기판 하단에 마련된 광원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치를 이용한 액 정 표시 검사 방법에 있어서, A liquid crystal display panel comprising a substrate fixing part including a guide part which fixes a part of an edge of the substrate and rotates back and forth and 180 degrees, a steam spraying part provided at both sides of the substrate fixing part, and a light source part provided at the lower end of the substrate. In the liquid crystal display inspection method using the inspection device,

상기 기판 고정부 내에 상기 기판을 안치시키는 단계;Placing the substrate in the substrate fixing portion;

상기 스팀 분사부를 통해 상기 기판의 표면에 스팀을 분사하는 단계;Spraying steam onto a surface of the substrate through the steam spraying unit;

상기 광원부를 통해 상기 기판에 광을 조사하는 단계;Irradiating light onto the substrate through the light source unit;

를 포함하는 액정 표시 패널 검사 방법.Liquid crystal display panel inspection method comprising a.

기판의 가장자리 일부를 고정하고, 전후 및 180도 회전운동을 하는 가이드부를 포함하는 기판 고정부와, 상기 기판 고정부의 양측에 마련된 스팀 분사부와, 상기 기판 하단에 마련된 광원부를 포함하는 액정 표시 패널 검사 장치를 이용한 액정 표시 검사 방법에 있어서, A liquid crystal display panel comprising a substrate fixing part including a guide part which fixes a part of an edge of the substrate and rotates back and forth and 180 degrees, a steam spraying part provided at both sides of the substrate fixing part, and a light source part provided at the lower end of the substrate. In the liquid crystal display inspection method using the inspection device,

상기 기판 고정부 내에 상기 기판의 상면이 스팀 분사부 하부에 배치되도록 상기 기판을 안치시키는 단계;Placing the substrate in the substrate fixing part such that an upper surface of the substrate is disposed below the steam injection part;

상기 스팀 분사부를 통해 상기 기판의 상면에 스팀을 분사하는 단계;Spraying steam onto the upper surface of the substrate through the steam spraying unit;

상기 기판의 하면이 스팀 분사부 하부에 배치되도록 상기 기판을 이동하는 단계;Moving the substrate so that the lower surface of the substrate is disposed below the steam spraying unit;

상기 스팀 분사부를 통해 상기 기판의 하면에 스팀을 분사하는 단계;Spraying steam onto the lower surface of the substrate through the steam spraying unit;